KR100914897B1 - 롤링 및 프로세싱 설비에서 표면 형상을 광학적으로 측정하고 이동하는 스트립들의 광학적 표면 검사를 위한 방법 및 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 표면 형상을 광학적으로 측정하고 이동하는 세장체를 광학적으로 표면 검사하기 위한 방법 및 장치에 관한 것이며, 그것에 따라서 표면 형상 측정과 표면 검사가 통합된다. 프로젝터는 라인 패턴을 측정되는 대상물에 가한다. 카메라는 측정되는 목표물의 표면을 기록하고 이미지 정보를 기준 패턴과 비교한다. 두 개의 고해상도 카메라들이 측정되는 목표물 상의 결함을 추가적으로 탐지한다. 이러한 독창적인 측정 기술은 롤링 설비에서 금속 스트립의 결합된 평면과 표면 측정을 위해 특히 적합하다.

Description

롤링 및 프로세싱 설비에서 표면 형상을 광학적으로 측정하고 이동하는 스트립들의 광학적 표면 검사를 위한 방법 및 장치{METHOD AND DEVICE FOR OPTICALLY MEASURING THE SURFACE SHAPE AND FOR THE OPTICAL SURFACE INSPECTION OF MOVING STRIPS IN ROLLING AND PROCESSING INSTALLATIONS}

본 발명은 롤링 및 프로세싱 설비에서 표면 형상을 광학적으로 측정하기 위한 그리고 이동하는 스트립들의 광학적 표면 검사를 위한 방법 및 장치에 관한 것이다.

콜드 스트립 밀(cold strip mill)에 일반적으로 사용되는 접촉 측정(contact measurement)은 약 1000℃의 높은 스트립 온도 때문에, 유지하는데 상당한 지출 비용을 들여 핫 스트립 필드(hot strip field)에서만 가능하다.

스트립 평탄도(strip flatness)는 그것을 위해 바람직하게는 열간압연(hot rolling mills)에 접촉하지 않고 측정된다. 예를 들어, 스트립 위에 투사된 광 스폿들에 의한 평탄도로부터 경선거리(departure)를 측정하는 것이 공지된다. 스트립의 표면에 발생된 광 스폿의 공간에서의 위치는, 바람직하게는 레이저 빔에 의하여, 거리 측정계(range finder)를 사용하여 탐지된다.

표면 상의 특정 포인트의 두 개 평면 위치 공통-세로좌표들은 스트립의 표면과 관련된 스캐닝 또는 조사 빔의 위치로부터 알 수 있다. 현재 측정되고 있는 표면상 포인트의 높이 공통-세로좌표는 위치 감지 센서에 의해 탐지된다. 센서 상의 이미지 포인트의 위치는 높이 공통-세로좌표와 함께 동시에 변화한다.

다중 방사원과 센서를 사용하여, 평탄 이미지가 떨어진 특정 거리로 스트립에 투사된 광 스폿들의 측정 결과로부터 만들어진 스트립의 전체 폭에 걸쳐 만들어질 수 있다. 그럼에도 불구하고, 이 방법에서 광의 포인트들 사이의 영역들은 탐지되지 않으며, 연속적인 스트립이 스트립-형상화된 측정 갭들(gaps)을 형성하는 경우에는 평탄도가 결정되지 않는다. 또한, 이것은 예컨대 스트립의 비평탄도 (unevenness) 같은 측정 방법에 의해 탐지되는 스트립의 플러터링(fluttering)을 통해, 측정 에러로 귀착될 수 있다.

자동차 산업에서는 모아레 기법(Moire technique)을 사용하여 비교적 작은 표면을 측정하는 것이 공지되어 있다. 이 방법에서 광원에 의해 대상의 표면에 간섭 패턴이 발생된다. 간섭 패턴은 CCD(charge-coupled device)를 사용하여 탐지된다. 카메라가 정렬되어 광원, 표면 및 카메라 사이에 각(angle)이 형성된다. 이미지 평면에서 기준 그리드(reference grid)를 사용하여, 소위 모아레 효과가 탐지된 패턴 및 기준 패턴의 중첩(superposition)에 의해 얻어진다. 높이 차는 모아레 라인으로부터 정량적으로 결정될 수 있다.

모아레 기법은 광 스폿들을 사용한 측정보다 정확한 측정 결과들을 제공하며, 게다가 그것은 측정될 표면 전체를 실질적으로 커버하며 전술한 측정 갭들을 회피한다. 그러나, 그것의 사용은 특히 열간압연(hot rolling mill)에서 문제점들을 포함한다.

롤링된 스트립의 높이 차를 결정하기 위해, 카메라에 의해 탐지된 패턴의 복잡한 전환이 필요하다. 모아레 라인으로서 묘사된 높이 차는 실시간으로 양적 측정값들로 전환될 수 없다.

연속적인 스트립의 평탄도를 향상시키기 위해서 롤링 파라미터들의 직접 조정하기 위한 측정을 사용하는 것이 거의 가능하지 않으므로, 롤링 밀 트레인 (rolling mill train)에서 빠른 결과는 정확하게 측정들로부터 요구되는 것이다. 게다가, 산업적 응용을 위한 우수한 간섭 패턴들은 콘트라스트(contrast) 및 강도가 부족하다.

US 5,488,478으로부터, 금속 표면에 라인들을 생성하는 레이저 빔을 이용하여, 금속 스트립의 표면 측정을 위한 장치가 공지되며, 그것은 몇 개의 라인스캔-카메라들에 의해 기록되며 기준 패턴들과의 비교함여 표면 기하학 구조(geometry)를 결정하기 위해 분석된다. 이 장치는 상당한 구조상의 노력을 필요로 하며, 게다가 단지 스트립의 표면 기하학 구조에 관하여 개략적이고 부분적인 정보를 허용할 뿐다.

DE 197 98 922 B1으로부터, 라인 패턴이 측정 표면 상에 발생되고, 라인 패턴은 그것을 분해할 수 있는 카메라에 의해 탐지되며, 얻어진 측정 데이터가 기준 측정과 비교되는 방법이 공지된다. 프로세스 제어 컴퓨터에 의한 측정 결과들은 피니슁 트레인(finishing train)을 위한 제어 파라미터들로 직접 전환되며 서로 조정된다. 감지 레이저 광학기(optics)가 아닌 무감지 슬라이드 프로젝터 (insensitive slide projector)가 사용되기 때문에, 이 방법은 특히 롤링 밀에서 중요한, 교란(disturbance)에 대한 높은 무감지성의 이점을 가진다.

이동하거나 정지한 롤링 스톡의 스트립의 표면은 표면을 측정하여 이해될 것이다.

도1은 스트립의 길이에서 측정라인들을 산출하고 탐지하는 것을 나타낸다.

도2는 피니싱 트레인(finishing train) 뒤에 정렬된 프로젝터와 카메라를 나타낸다

도3은 코일러 피트(coiler pit) 앞에 배열된 프로젝터와 카메라를 나타낸다.

도4는 평탄도 제어 시스템의 블록도이다.

도5 및 도6은 하나의 장치에서 평탄도 측정과 표면 검사를 통합하는 것을 나타낸다.

슬라이드를 구비한 프로젝터는 스트립 표면 상에 라인 패턴을 생성한다. 이 목적을 위해 프로젝터는 금속 스트립 위쪽에 장착되고 금속 스트립의 표면 상에 라인 패턴을 투사하며, 따라서 라인들은 바람직하게 스트립 표면을 가로질러 주행하고 그 결과 스트립의 전체 폭을 기록한다.

예를 들어, 라인 당 8픽셀의 해상도를 가지는 CCD 카메라는, 스트립 표면을 가로질러 교차하여 주행하는 라인을 탐지한다. 스트립이 완전히 평평한 경우에, 일정한 라인 간격을 가진 직선 라인의 균일한 패턴이 형성된다.

이상적인 평면으로부터 스트립 표면의 굴곡은, 평탄하지 않은 영역에서 라인 사이에 간격 변화를 초래한다. 이러한 변화가 카메라에 의해 기록된다. 그것은 이상적인 패턴과의 비교하여 간단한 방식으로 계산하여 높이 차이로 변환될 수 있다.

이러한 시스템은 스트립 표면의 실제 높이 차의 빠른 결정을 가능하게 하며, 이런 식으로 스트립의 연속적인 길이의 측정을 실시간으로 가능케 한다. 이것은, 측정 결과가 롤링 파라미터들이 비평탄도가 나타난 후 즉시 적합해지게 하는 결과를 가져온다는 이점을 가진다.

이것는 잘못된(spurious) 측정 결과의 영향을 받지 않는 측정을 가능케 한다. 그러한 잘못된 결과는, 예컨대 높이 공통-세로좌표 (플러터링)와 관련하여 전체 스트립 표면의 이동 결과로서, 기존의 측정 시스템을 사용하여 얻어진다. 또한, 발명은 스트립의 가로지르는 아칭(transverse arching)이 결정되게 한다. 기존의 측정 시스템들은 오직, 스트립 섬유의 길이만을 측정한다. 또한, 측정 라인들의 강도 및 두께는 다른 조건에 부합하도록 적합해 질 수 있다. 미세한(fine) 저-강도 및 저-콘트라스트 모아레 라인들의 문제들이 발생하지 않는다.

발명의 시스템은 코일러(coiler) 상의 스트립의 측정과 결합된 피니싱 스탠드(finishing stand)로부터 나오는 스트립 상에서 측정하는데 특히 적합하다. 피니싱 스탠드와 코일러 사이의 스트립 냉각으로 인한 스트립의 평탄도에서 이러한 배열 변동에 의해, 평탄도 제어에 대해 탐지 및 평가될 수 있다.

측정 자료는 피니싱 스탠드와 코일러의 제어 및 코일링(coiling) 라인의 제어에 대해 평가될 수 있다.

의도된 값으로부터의 이탈을 통합하는 측정 결과는 피니싱 스탠드,냉각 라인 및 코일러에 관한 변수를 즉시 그리고 상호 의존적으로 적합하게 한다.

피니싱 트레인에서 평탄도 측정을 위해 그것을 사용하는 것 외에, 발명에 따른 시스템은, 예컨대 스트레치 스트레이트닝 장치(stretch straightening device) 및 피클링 라인들(pickling lines)의 제어에서와 같이, 수반하는 생산라인에서 사용될 수 있다.

평탄도에 더하여, 표면 검사 시스템에 의해 탐지된 표면 조건뿐만 아니라, 두께, 횡단 두께 프로파일 및 폭과 같은, 기하학적 값의 수치적 안정성은, 롤링과 스트립 및 시트의 추가 프로세싱에 있어서 하는 상대적인 품질 특성의 부분이다. 엄격한 공차를 유지하는 것이 바람직하며, 특히 계속적으로 증가하는 생산 공정의 자동화에 따라, 완제품의 품질을 측정하고 가능한 한 장애로부터 자유로운 상태에서 전 처리 공정을 측정하는 것 또한 중요하다.

따라서, 제어와 폐루프 제어를 통한 처리 공정 및 공정 최적화에 있어서 전술한 품질 특성의 온라인 획득은, 품질 향상에 중요한 역할에 속한다.

전술한 특징들의 측정 기술에 의한 결정을 위하여, 평탄도를 결정하기 위한 광학 시스템(평탄도 측정 시스템), 스트립 폭(폭 측정 시스템) 및 표면 상태(표면 검사 시스템) 그리고 스트립 두께를 결정하거나 스트립 두께에 교차하는 프로파일을 결정하기 위한 방사성 시스템과 같은 "일목적 장치"(one-purpose-devices)가 종래 기술에서 공지되어 있다. 이들 시스템은, 서로 독립적으로 작동하며, 상당한 구조 공간을 요하여, 서로 간에 간섭을 배제하기 위해, 서로 공간적으로 이격된다.

표면 검사 광학 시스템에는 바람직하게는 선행 기술이 사용된다. 이들은 통상적으로 하기의 구성요소를 포함한다:

스트립 표면을 조명하는 조명 유닛(illumination units), 갭이 없이 스트립 표면을 기록하기 위한 카메라 유닛, 카메라 이미지 정보를 처리하기 위한 처리 유닛 및 종별 결과와 표시를 처리하기 위한 인터페이스 유닛.

일반적으로, 스트립 표면 검사의 시스템 유형은, 라인 카메라들를 구비한 시스템과 수 개의 CCD-매트릭스-카메라들을 구비한 시스템으로 구별된다.

조명은 바람직하게는 특정 생산 라인에서 발생할 수 있는 에러가 가능한 한 최선의 광학 콘트라스트로 탐지될 수 있는 방식으로 디자인되어야 한다. 일반적으로 매트릭스-카메라 스트로보스코픽(stroboscopic) 조명은 짧은 시간 간격으로 필요한 광량을 전달하는데 사용된다. 라인 카메라 영구 조명 유닛이 일반적으로 사용됨에 따라서, 모션 블러(motion blur)가 전자 카메라 셔터에 의해 억제된다.

조명의 고균질성을 달성하도록 시도되어 왔는데, 이미지 품질과 탐지 성능이 그것에 의해 직접적인 영향을 받기 때문이다. 조명에 있어서 각각의 이질성은 이미지 신호를 증폭하여 적합해져야 한다. 이것은 결국 신호-노이즈-분리에 있어서 감소를 가져온다. 매트릭스-카메라를 사용하면 조명의 동질성이 유리해 지는데, 두 방향에서 이미지 증폭을 통한 보정이 라인-카메라 같이 단일 라인을 통한 것보다 훨씬 광범위하기 때문이다. 모든 조명들은, 스펙트럼 중 가시광선과 적외선 또는 자외선에서 수행된다. 광 방사는 발산될 수 있거나 적절한 광학 구성요소를 통해 집중될 수 있다.

카메라 기술은 바람직하게는 스트립의 모든 속도 조건 하에서 최소 에러 크기가 분해될 수 있는 방식으로 치수화된다. 이미지 기록은 스트립 길이와 관련하여 일어난다. 카메라의 다이나믹-스펙트럼을 충분히 사용하기 위하여, 이미지 휘도는 바람직하게는 자동적으로 제어된다.

잠시동안 충분히 사용되어온 시스템에 관하여, 뚜렷한 불균형(overbalance)이 "라인-카메라"에 관해 등록되는데, 라인-카메라 시스템이 시장 선점이 가능했었고, 초기에는 검사가 상당히 간단했던 낮은 요구사항을 가진 표면에 사용되었기 때문이다. 매트릭스-카메라를 사용하는 많은 시스템은 단지 지난 2, 3년 내에 확립되었고, 런닝-인 페이즈(running-in phase) 또는 성능 점검에서는 단지 그러한 이유 때문은 아니다. 현재는 원칙적으로 매트릭스와 라인 카메라 시스템 사이의 성능에 있어서 상당한 차이가 없다고 말할 수 있다. 그러나, 라인 카메라 시스템은 설정 및 작동면에서 보면 보다 적은 범위에 걸친다.

카메라 해상도는 분류될 수 있는 가장 작은 에러 크기에 의해 결정되며, 광학 이미징 법칙에 의해 제한된다. 하향 공정에서 좋은 등급을 얻기 위해, 최소 에러 크기는 바람직하게는 시스템에 의하여 결점으로서 탐지된 픽셀인, 적어도 16개의 탐지된 픽셀에 의해 커버될 수 있다. 특정 에러 이미징의 최적화를 위해, 관측 방향의 선택 및 카메라의 경사가 중요하다. 명시야(bright field) 및 암시야(dark field) 관측이 두드러지고, 최근에는 사이드-필드(side-field) 관측도 사용되고 있다.

별개의 조명들과 카메라 배열들을 조합함으로써, 각각의 적용을 위한 최적의 설치 조건이 개선될 수 있다.

이미지 프로세싱 유닛에서, 연속적으로 기록되는 표면 이미지는 정보 항목에 관하여 점검된다. "에러 이미지"의 특성들은 로징된(lodged) 에러 특성들과 비교될 수 있다. 각각 일치하는 경우, "미리-트레인된"(pre-trained)에러 클래스 중 하나에서 자동 분류가 유효해질 수 있다. 이미지 특성들의 추출과 비교는 현재는 큰 계산 능력을 요한다.

현재의 검사 시스템은 기록된 이미지 포인트를 문턱레벨과 비교한다. 결함으로 식별된 이미지 포인트가 설정되고, 다른 모든 것들은 설정되지 않는다. 이들 "이진 이미지"로부터 그리고 각각의 이미지 포인트에 관해 로징된 휘도 정보를 사용하여 분류를 위한 파라미터가 얻어진다.

표면 검사 시스템에 중요한 스트립 정보 및 제어 정보를 적시에 제공하기 위하여, 인터페이스 유닛은 통상적으로 특정 적용으로 디자인된다. 이것은 자동화 및 데이터베이스 기술에 관하여 표준 임무이다.

선행 기술에서는, 상당한 구조 공간을 요하는 서로 간에 간섭을 배제하기 위해, 서로 공간적으로 이격되고 서로 독립적으로 작동하는, 평탄도 측정을 위한 시스템과 표면 검사를 위한 시스템이 기술된다.

본 발명의 목적은 향상된 측정을 가능하게 하며, 더욱이 공간을 절약하게 디자인될 수 있는 시스템을 제공하는 것이다..

말미에 독립항에 따른 장치 및 방법이 제시된다.

장치와 방법의 통합 가능성을 통하여, 측정 신뢰도를 높이는 시너지 효과가 얻어진다.

본 발명은 바람직하게는 고해상도를 가진 빠른 라인-카메라를 사용하는 이미지 인식에 기초하여 평탄도 측정과 표면 검사를 통합하는데 기초한다. 본 시스템은 스트립-폭이나 시트-폭을 결정하기 위하여 추가적으로 사용될 수 있다.

실시예에 의해서, 다음 이점이 제기될 수 있다:

필요한 구성요소의 수는 "다중 용도"을 통하여, 특히 조명 유닛과 관련하여 감소된다.

필요한 설치 공간은 단일 용도 시스템과 비교하여 현저히 감소된다.

표면 형상 측정으로부터의 결과를 폭 측정 내로 포함시키는 것은 평탄하지 않은 스트립 형상의 경우에 있어서 폭 측정의 측정 신뢰도를 증가시킨다. 표면 형상 측정으로부터의 결과를 표면 검사 내 포함시키는 것은 특히 플래터링 (flattering)으로 인해 패스-라인(pass-line)에 있지 않거나 평평한 스트립 형상을 가지지 않는 스트립에 관하여 왜곡 없는 오류 표시(distortion free error-representation)를 가능하게 한다. 따라서, 스트립이 편향 롤러(deflection roller) 같은 추가 장치에 의해 죄어지지(tightened) 않는 섹션에서, 라인 카메라들에 의한 이미지 레코딩이 가능하다. 표면-형상 분석 능력의 결과를 통합하는 것은 표면 검사의 허위-에러(pseudo-error) 부분을 상당히 감소시킨다. 본 발명은 도면에서 묘사된 실시예를 참고하여 실시예에 의해 보다 상세하게 설명될 것이다.

표면 형상의 광학적 측정과 광학적 표면 검사를 위한 본 발명에 따른 방법은 움직이거나 정지한 세장체(elongated body), 바람직하게는 스트립이나 시트(sheet)에 대하여 사용될 수 있다.

본 발명에 따른 장치는, 바람직하게는, 라인 카메라들이 프로젝터와 동축에 위치된, 도5에 따른 구조를 가진다. 스트립(1)을 가로지르는 측정 라인들(2)은 프로젝터(3)를 사용하여 측정 또는 스트립 표면(4) 상에 산출된다.

측정 배열은 기계 케이스(instrument case)(13) 상에서 피니싱 스탠드(6)로부터 나가는 한 케이스와 코일러(7) 앞의 다른 케이스에 배치된다. CCD 카메라(5)는 수냉 하이징에서 코일러(7)에 가까운 기계 케이스의 측면에 위치된다. 프로젝터(3)는 코일러(7)로부터 떨어진 기계 케이스의 측면에 위치된다. 열을 제거하기 위해 하이징은 공기로 냉각된다. 프로젝터(3)와 카메라(5)의 냉각은 그것들의 고유열과 스트립(1)으로부터의 방사열을 제거하기 위해 필요하고, 그것은 약 1000℃이다.

카메라(5)와 프로젝터(3)는 스트립의 이동 방향과 관련하여 연속적으로 배열되고 그것들 사이에 위치된 스트립 영역으로 조준되며, 그곳에서 파인 패턴이 산출되고 샘플링된다. 사용되는 프로젝터는 예컨대, 크세논 광원일 수 있으며, 그것은 뜨거운 슬라브(slab)에서도 쉽게 읽을 수 있는 라인 패턴을 산출한다.

스트립 표면(4)의 비평탄(unevenness)은 측정 라인들(2)이 불규칙한 코스를 따르도록 하거나 기하학적 일직선에서 벗어나도록 한다.

따라서, 측정 라인들(2)에서 CCD 카메라(5)에 의해, 비평탄에 의해 유발된 진로에 있어서의 변화들이 또한 탐지된다. 그것이 탐지된 후 측정 이미지는 컴퓨터로 전에 기록된 기준 패턴과 비교된다. 높이 차이와 피니싱 트레인의 제어를 위한 파라미터들이 편차로부터 곧바로 유도된다.

스트립이나 시트(1)의 평탄도의 완전한 그림은 화살표 방향으로 따라서 그것이 이동함에 따라 그것에 의해 얻어진다. 원칙적으로 측정은 고정 롤링 스톡(stationary rolling stock)과 함께 또한 일어날 수 있다.

평탄도 제어 시스템의 도면(도4)으로부터 본 발명에 따른 디자인을 볼 수 있다. 핫 스트립(hot strip)(1)은 피니싱 롤들(6)과 스트립 냉락 라인(8)을 통하여 코일러 피트의 코일러(7)로 지나간다. 피니싱 롤들(6)로부터 나가는 주행에서, 핫 스트립의 평탄도가 탐지되고, 분석되고, 피니싱 롤들의 마지막 스탠드의 제어를 위해 평가된다 (롤 구부리기(bending) 및 기울이기(tilting)). 이러한 내부 평탄도-제어 루프(9)는 외부 평탄도-제어 루프(10)에 의해 보충된다. 스트립 냉각 라인(8) 후 코일러(7) 전 스트립 평탄도의 측정에 의하여, 외부 평탄도-제어 루프(10)는 내부 제어 루프의 의도된 값을 적합하게 하기 위해 디자인된다.

스트립 냉각 라인 뒤에서 탐지된 측정값을 사용하여, 냉각 라인(8)에 관한 의도된 값이 적합해지도록 하는 제1 이차 제어 루프(11)와 코일 장력(7)에 관한 의도된 값이 적합해지도록 하는 제2 이차 제어 루프(12)가 산출된다.

결함(에러)을 탐지하기 위한 스트립 표면의 샘플링은 추가적으로 설치된 고해상력 라인 카메라들에 의해 달성되며(도5), 그것은 전체 스트립 폭을 가로지르는 표면을 탐지할 수 있도록 한다. 두 개의 라인 카메라들은 프로젝터에 의해 조사되는 "명"(bright) 스트립으로 겨냥된다. 카메라의 광축은 스트립 표면의 높이 변화가 있는 경우에도 라인 카메라를 통하여 각각의 조사된 스트립을 기록하기 위하여 투사 빔들의 방향으로 배향된다. 스트립 표면과 관련된 프로젝터의 배열을 고려하여 두 라인 카메라들의 적합해진 배열로 인해, 하나의 카메라는 "명시야"(bright field)에서 작동하고 다른 카메라는 "암시야"(dark field)에서 작동하게 되며(도5), 그것은 서로 다른 특성의 표면 결함에 대한 탐지 성능을 최적화하는데 필요하다.

라인 카메라들의 이미지의 기하학적 기울기 보정(deskewing)을 위해, 평탄도 측정 시스템에 의해 얻어진 측정 필드(measuring fields)를 따르는 높이 프로파일들이 사용될 수 있다.

또한, 특히 세로 방향을 가로지르는 신장 프로파일(elongation profile)인 평탄도 측정으로부터의 정보와 에러 이미지들을 곧바로 연결하는데 있어서, 예컨대 파괴 강도(breaking strength)의 국부 초과(local exceedance)로 인해 롤링 과정 중 전개될 수 있는, 횡단 크랙(transverse crack)과 단부(edge) 크랙 같은 에러의 식별이 개선될 수 있고, 그것에 의하여 에러 원인에 관한 도수(indication)가 동시에 감소될 수 있다.

표면 검사에 더하여, 두 개의 라인 카메라들의 이미지 정보가 스트립 단부 위치와 스트립 폭의 높이 해상도 양적 결정을 위해 평행 평탄도 측정의 결과에 조합하여 사용될 수 있다. 평탄도 측정 시스템을 사용하여 결정된 측정 필드를 따라 이러한 높이 프로파일과 라인 카메라들에 의해 탐지된 스트립 단부 정보들이 기하학적 변형을 위해 사용될 수 있다.

Claims (10)

1. 세장체의 표면 형상을 광학적으로 측정하고 세장체의 표면을 광학적으로 검사하는 방법에 있어서,

   상기 세장체를 이동시키는 단계;

   광원을 사용한 투사(프로젝터)에 의해 상기 이동하는 세장체의 표면에 복수의 라인들의 패턴을 생성하는 단계;

   제1 카메라에 의해 상기 패턴의 이미지를 기록하는 단계;

   두 개의 라인 카메라들에 의해 상기 패턴의 두 개의 추가 이미지들을 기록하는 단계; 및

   상기 기록된 이미지들에 기초하여 표면 형상 측정 및 표면 검사를 수행하는 단계;

   를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학적 표면 형상 측정 및 표면 검사 방법.
2. 제1항에 있어서, 상기 표면 형상 측정의 결과가 표면 검사 내로 포함되는 것을 특징으로 하는 광학적 표면 형상 측정 및 표면 검사 방법.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 라인 카메라들이 상기 프로젝터와 하나의 축에서 위치되는 것을 특징으로 하는 광학적 표면 형상 측정 및 표면 검사 방법.
4. 제1항에 있어서, 상기 패턴이, 상기 제1 카메라에 의해 탐지된 후, 컴퓨터에 의해 기준 패턴과 비교되는 것을 특징으로 하는 광학적 표면 형상 측정 및 표면 검사 방법.
5. 제1항에 있어서, 상기 표면 형상의 측정된 값이 피니싱 트레인을 제어하기 위해 사용되는 것을 특징으로 하는 광학적 표면 형상 측정 및 표면 검사 방법.
6. 제1항에 있어서, 상기 프로젝터의 광원으로서 크세논 광이 사용되는 것을 특징으로 하는 광학적 표면 형상 측정 및 표면 검사 방법.
7. 세장체의 광학적 표면 형상 측정 및 표면 검사를 위한 장치에 있어서,

   상기 세장체의 표면에 복수의 라인들의 패턴을 생성하기 위한 프로젝터;

   상기 패턴의 이미지를 기록하도록 배열된 제1 카메라; 및

   상기 패턴의 두 개의 추가 이미지들을 기록하도록 배열된 두 개의 라인 카메라들;

   을 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
8. 삭제
9. 삭제
10. 삭제