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KR100901446B1 - Package structure of optical connection module and its manufacturing method - Google Patents

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KR100901446B1
KR100901446B1 KR1020070009418A KR20070009418A KR100901446B1 KR 100901446 B1 KR100901446 B1 KR 100901446B1 KR 1020070009418 A KR1020070009418 A KR 1020070009418A KR 20070009418 A KR20070009418 A KR 20070009418A KR 100901446 B1 KR100901446 B1 KR 100901446B1
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ltcc
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mounting
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주식회사 두산
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Abstract

본 발명은 본 발명은 광접속 모듈의 패키지 구조 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 구동 IC, 상기 발광소자의 형상에 맞는 전극패턴과 광 신호를 외부로 전달하기 위한 관통홀 어레이, 외부 전원을 연결하기 위한 전원 패드와 그라운드 패드가 형성된 LTCC 베이스 기판, 및 상기 LTCC 베이스 기판의 일면 상에 적층되고 상기 구동 IC 실장용 제 1 공간, 상기 발광소자 실장용 제 2 공간을 각각 분리 형성하며, 상기 LTCC 베이스 기판에서 외부로 연결하기 위한 수직 관통된 비아홀이 형성되어 상부면의 소정위치에서 다수의 컨택 패드부를 구비하는 LTCC 블록을 포함하며, 상기 제 1 공간 내부는 자외선 또는 열로 경화되는 액상의 고분자 소재로 밀봉되어 있는 것으로, LTCC 기판을 적용한 하나의 소자로서 패키징함으로써 기판에 표면 실장을 통한 대량 생산이 가능하게 된다.The present invention relates to a package structure of the optical connection module and a method of manufacturing the same. A driving IC, an electrode pattern suitable for the shape of the light emitting device, a through-hole array for transmitting an optical signal to the outside, and connecting an external power source. An LTCC base substrate having a power pad and a ground pad formed thereon, and a first space for mounting the driver IC and a second space for mounting the light emitting device, respectively, stacked on one surface of the LTCC base substrate and separately formed on the LTCC base substrate. A through-hole is formed to connect to the outside in the LTCC block having a plurality of contact pads at a predetermined position of the upper surface, the inside of the first space is sealed with a liquid polymer material that is cured by ultraviolet or heat Packaged as an element with an LTCC substrate, mass production is possible through surface mounting on the substrate It is good.

광접속 모듈, LTCC, 패키지, 비아홀, 컨택패드, 표면실장, 실장 공간Fiber Optic Module, LTCC, Package, Via Hole, Contact Pad, Surface Mount, Mounting Space

Description

광접속 모듈의 패키지 구조 및 그 제조 방법 {Package structure for transmitting/receiving module and manufacturing method thereof}Package structure for optical connection module and manufacturing method thereof {Package structure for transmitting / receiving module and manufacturing method}

도1은 본 발명의 일실시예에 따른 광접속 모듈 패키지 구조의 3차원 사시도이다.1 is a three-dimensional perspective view of an optical connection module package structure according to an embodiment of the present invention.

도2는 상기 도1에 도시된 광접속 모듈 패키지 구조의 평면도이다.FIG. 2 is a plan view of the optical connection module package structure shown in FIG.

도3a 내지 도3e는 본 발명의 일실시예에 광접속 모듈의 패키지 구조의 제제작 공정을 나타내는 개략적인 사시도이다.3A to 3E are schematic perspective views showing a manufacturing process of a package structure of an optical connection module according to an embodiment of the present invention.

도4는 본 발명의 일 실시예에 따른 광접속 모듈을 광섬유를 이용해서 브리지 형태의 연결예이다.4 is a bridge-type connection example using an optical fiber to an optical connection module according to an embodiment of the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>         <Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

10 : LTCC 베이스 기판 12 : 전극패턴10: LTCC base substrate 12: electrode pattern

14 : 그라운드 패드 15 : 관통홀 14 ground pad 15 through hole

16 : 전원패드 20 : LTCC 블록 16: power pad 20: LTCC block

22 : 제 1 공간 23 : 비아홀 22: first space 23: via hole

24 : 제 2 공간 25 : 컨택패드24: second space 25: contact pad

30 : 구동칩 40 : 발광소자 또는 수광소자30: driving chip 40: light emitting device or light receiving device

100: 광 송신 모듈 200 : 광 수신 모듈100: optical transmission module 200: optical reception module

300 :광섬유300: optical fiber

본 발명은 광접속 모듈의 패키지 구조 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 광신호를 방출하고 수신하는 광송신부 또는 광수신부를 구성하는 모듈을 LTCC(low temperature co-fired ceramic) 기판을 적용한 하나의 소자로서 패키징함으로써 기판에 표면 실장을 통한 대량 생산이 가능하도록 한 광접속 모듈의 패키지 구조 및 그 제조 방법에 관한 것이다. The present invention relates to a package structure of an optical connection module and a method of manufacturing the same. More particularly, a low temperature co-fired ceramic (LTCC) substrate is applied to a module constituting an optical transmitter or an optical receiver that emits and receives an optical signal. The present invention relates to a package structure of an optical connection module and a method for manufacturing the same, which allow mass production through surface mounting on a substrate by packaging as one device.

일반적으로 저속의 전자 시스템에서 회로 기판과 회로기판, 칩과 칩 또는 시스템간의 연결은 전기적인 금속 배선을 통하여 이루어지나, 대용량 병렬 컴퓨터로 구성되는 차세대 정보통신 시스템이나 1Tb/s급 이상의 ATM 스위칭 시스템 등에서와 같이 정보가 대용량화되고, 전송 속도가 향상됨에 따라 이러한 금속 배선을 이용할 경우 스큐(skew), EMI(electromagnetic interference) 등과 같은 전기적인 문제가 발생되어 시스템의 동작 효율이 저하되고 시스템 집적화가 어려워진다.In general, in low-speed electronic systems, the connection between circuit boards and circuit boards, chips and chips or systems is made through electrical metal wiring, but in next-generation information and communication systems consisting of large parallel computers or ATM switching systems of 1 Tb / s or more As the information is increased in volume and the transmission speed is improved, electrical problems such as skew, electromagnetic interference (EMI), etc. are generated when the metal wiring is used, and thus the operation efficiency of the system is reduced and system integration becomes difficult.

근래에 들어 이동통신 분야의 발전으로 3G, 4G와 같은 미래의 휴대폰과 PDA에서 디지털 TV를 시청하거나 녹화가 가능할 것으로 예상되며 이로 인한 데이터 요구량이 증가할 것으로 예상된다.In recent years, with the development of mobile communication, it is expected that digital TV can be watched or recorded in future mobile phones and PDAs such as 3G and 4G, and the data demand is expected to increase.

또한, 향후 더 높은 전송 요구량에 따라 메인보드와 디스플레이 사이를 연결하는 기존의 폴리이미드를 이용하는 전기전송의 연성회로기판(flexible PCB)은 전 송의 한계에 도달하게 된다.In addition, in accordance with higher transmission requirements in the future, flexible PCBs for electric transmission using existing polyimides connecting the main board and the display will reach the limit of transmission.

한편, 최근에 광 송신/수신 모듈을 이용하여 광 연결을 이루는 기술이 개발되었는데, 광 송신/수신 모듈 내부의 광 결합 방식으로는 45°의 경사각으로 위치된 반사경을 구비하는 리본 광섬유 다채널 광 커넥터에 광 수신 소자를 직접 결합시키는 방식, 45°의 경사각으로 위치된 반사경을 구비하는 폴리머(polymer) 광도파로에 광 송수신 소자를 폴리머 광도파로에 수직으로 결합시키고 폴리머 광도파로를 다채널 광 커넥터에 연결시키는 방식, 플라스틱 팩키지에 고정된 광 송수신 소자를 다채널 광 커넥터에 수직으로 결합시키는 방식 등이 이용된다.On the other hand, recently, a technology for making an optical connection by using an optical transmission / reception module has been developed. In the optical coupling method inside the optical transmission / reception module, a ribbon optical fiber multichannel optical connector having a reflector positioned at an inclination angle of 45 ° is provided. Direct coupling of the optical transceiver to the polymer optical waveguide with a polymer optical waveguide having a reflector positioned at an inclination angle of 45 °, and connecting the polymer optical waveguide to the multichannel optical connector. And a method of vertically coupling an optical transmission / reception element fixed to a plastic package to a multi-channel optical connector.

상기 광원에서 광을 수직 연결하여 광 도파로로 결합하는 기술은 "광모듈" 또는 "광 접속 모듈"로 알려져 있다.The technique of vertically connecting light in the light source and coupling the light waveguide is known as an "optical module" or an "optical connection module".

그러나, 상기 광 모듈 또는 광 접속 모듈은 광 송신부 또는 광 수신부로 구성이 되고 구동 IC와 발광 소자 또는 수광 소자와 같은 반도체 소자들을 포함하고 있지만, 제조 공정상 동일한 웨이퍼 상에 형성되기가 어렵다.However, although the optical module or the optical connection module is composed of an optical transmitter or optical receiver and includes a semiconductor device such as a driving IC and a light emitting element or a light receiving element, it is difficult to form on the same wafer in the manufacturing process.

따라서, 상기 소자들은 기판 상에 플립칩 형태로 실장되고 주로 와이어 본딩을 통해 결선된다.Therefore, the devices are mounted on a substrate in the form of flip chips and are mainly connected through wire bonding.

그러나, 상기 제조 과정은 현재의 대량 생산에 적용되고 있는 표면실장기술(SMT, Surface Mounting Technology)을 적용하기가 매우 어려운 문제점이 있다.However, the manufacturing process has a problem that it is very difficult to apply the surface mounting technology (SMT, which is applied to the current mass production.

본 발명은 상술한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 광신호를 방출하고 수신하는 광송신부 또는 광수신부를 구성하는 모듈을 LTCC(low temperature co-fired ceramic) 기판을 적용한 하나의 소자로서 패키징함으로써 기판에 표면 실장을 통한 대량 생산이 가능하도록 한 광접속 모듈의 패키지 구조 및 그 제조 방법을 제공하기 위한 것이다.The present invention provides a substrate by packaging a module constituting the optical transmitter or optical receiver that emits and receives an optical signal as one element applying a low temperature co-fired ceramic (LTCC) substrate in order to solve the conventional problems as described above. The present invention provides a package structure of an optical connection module and a method of manufacturing the same, which enable mass production through surface mounting.

또한, 광송신부의 광원부 또는 광 수신부의 수광부를 전극 패드와 반대편에 위치시켜서 평판 도파로나 광섬유를 브리지 형태로 연결하기가 용이한 광접속 모듈의 패키지 구조 및 그 제조 방법을 제공하기 위한 것이다. Another object of the present invention is to provide a package structure of an optical connection module and a method of manufacturing the same, which easily connect a flat waveguide or an optical fiber in the form of a bridge by placing a light source unit of a light transmitting unit or a light receiving unit of a light receiving unit opposite to an electrode pad.

상기와 같은 종래의 문제점을 해결하고 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 광접속 모듈의 패키지 구조는, 구동 IC, 발광소자가 실장되는 위치에서 상기 구동 IC, 상기 발광소자의 형상에 맞는 전극패턴과 상기 발광소자로부터 방출되는 광 신호를 외부로 전달하기 위한 관통홀 어레이, 외부 전원을 연결하기 위한 전원 패드와 그라운드 패드가 형성된 LTCC(low temperature co-fired ceramic) 베이스 기판, 및 상기 LTCC 베이스 기판의 일면 상에 적층되고 상기 구동 IC 실장용 제 1 공간, 상기 발광소자 실장용 제 2 공간을 각각 분리 형성하며, 상기 LTCC 베이스 기판에서 외부로 연결하기 위한 상기 전극패턴, 상기 전원 패드 또는 상기 그라운드 패드에 연결되는 수직 관통된 비아홀이 형성되어 상부면의 소정위치에서 다수의 컨택 패드부를 구비하는 LTCC 블록을 포함하며, 상기 LTCC 블록의 상기 제 1 공간 내부에서 상기 LTCC 베이스 기판의 상기 전극패턴과 접촉하여 와이어 본딩에 의하여 구동 IC가 결선되며, 상기 제 2 공간 내부에 상기 전극패턴과 접촉하여 발광소자가 실장되고 상기 제 1 공간 내부는 자외선 또는 열로 경화되는 액상의 고분자 소재로 밀봉되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.The package structure of the optical connection module according to the present invention for solving the above-mentioned conventional problems and to achieve the above object, the driving pattern, the electrode pattern to match the shape of the driving IC, the light emitting device at the position where the light emitting device is mounted And a through-hole array for transmitting the optical signal emitted from the light emitting device to the outside, a low temperature co-fired ceramic (LTCC) base substrate having a power pad and a ground pad for connecting an external power source, and the LTCC base substrate. The first space for mounting the driver IC and the second space for mounting the light emitting device are separately formed on one surface, and the electrode pattern, the power pad, or the ground pad for connecting to the outside from the LTCC base substrate. An LTCC block having a plurality of contact pads formed at predetermined positions on an upper surface thereof is formed by connecting vertical through holes. The driving IC is connected by wire bonding in contact with the electrode pattern of the LTCC base substrate in the first space of the LTCC block, and the light emitting device is mounted in contact with the electrode pattern in the second space. And the inside of the first space is sealed with a liquid polymer material which is cured by ultraviolet rays or heat.

또한, 본 발명의 다른 실시예에 따른 광접속 모듈의 패키지 구조는, 구동 IC, 수광소자가 실장되는 위치에서 상기 구동 IC, 상기 수광소자의 형상에 맞는 전극패턴과 상기 수광소자로 수신되는 광 신호를 외부에서 전달받기 위한 관통홀 어레이, 외부 전원을 연결하기 위한 전원 패드와 그라운드 패드가 형성된 LTCC(low temperature co-fired ceramic) 베이스 기판, 및 상기 LTCC 베이스 기판의 일면 상에 적층되고 상기 구동 IC 실장용 제 1 공간, 상기 수광소자 실장용 제 2 공간을 각각 분리 형성하며, 상기 LTCC 베이스 기판에서 외부로 연결하기 위한 상기 전극패턴, 상기 전원 패드 또는 상기 그라운드 패드에 연결되는 수직 관통된 비아홀이 형성되어 상부면의 소정위치에서 다수의 컨택 패드부를 구비하는 LTCC 블록을 포함하며, 상기 LTCC 블록의 상기 제 1 공간 내부에서 상기 LTCC 베이스 기판의 상기 전극패턴과 접촉하여 와이어 본딩에 의하여 구동 IC가 결선되며, 상기 제 2 공간 내부에 상기 전극패턴과 접촉하여 수광소자가 실장되고 상기 제 1 공간 내부는 자외선 또는 열로 경화되는 액상의 고분자 소재로 밀봉되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.In addition, the package structure of the optical connection module according to another embodiment of the present invention, the driving IC, the electrode pattern matching the shape of the driving IC, the light receiving element at the position where the light receiving element is mounted and the optical signal received by the light receiving element Through-hole array for receiving the light from the outside, a low temperature co-fired ceramic (LTCC) base substrate on which a power pad and a ground pad for connecting an external power source are formed, and stacked on one surface of the LTCC base substrate to mount the driving IC The first space and the second space for mounting the light receiving element are separately formed, and a vertically penetrated via hole connected to the electrode pattern, the power pad, or the ground pad for connecting to the outside from the LTCC base substrate is formed. An LTCC block having a plurality of contact pads at a predetermined position on an upper surface thereof, the LTCC block being disposed in the first space of the LTCC block; The driving IC is connected by wire bonding in contact with the electrode pattern of the LTCC base substrate, the liquid crystal device is mounted in contact with the electrode pattern in the second space, and the inside of the first space is cured by ultraviolet rays or heat. It is characterized by being sealed with a polymeric material of.

또한, 본 발명에 따른 광접속 모듈의 패키지 구조에 있어서, 상기 관통홀 어레이의 관통홀 내부 표면에 금속막이 코팅된 것을 특징으로 하는 것이다.In addition, in the package structure of the optical connection module according to the present invention, a metal film is coated on the inner surface of the through hole of the through hole array.

또한, 본 발명에 따른 광접속 모듈의 패키지 구조에 있어서, 상기 관통홀의 내부 표면에 코팅된 금속막은 Au, Ag, Cu, Al, Pt에서 선택되는 것을 특징으로 하는 것이다. In addition, in the package structure of the optical connection module according to the present invention, the metal film coated on the inner surface of the through hole is characterized in that it is selected from Au, Ag, Cu, Al, Pt.

또한, 본 발명에 따른 광접속 모듈의 패키지 구조에 있어서, 상기 발광소자는 표면방출레이저(VCSEL) 어레이를 포함하는 것을 특징으로 하는 것이다.In addition, in the package structure of the optical connection module according to the present invention, the light emitting device is characterized in that it comprises a surface emitting laser (VCSEL) array.

또한, 본 발명에 따른 광접속 모듈의 패키지 구조에 있어서, 상기 수광소자는 포토 다이오드 어레이를 포함하는 것을 특징으로 하는 것이다.In addition, in the package structure of the optical connection module according to the present invention, the light receiving element is characterized in that it comprises a photodiode array.

한편, 본 발명에 따른 광접속 모듈의 패키지 구조의 제조 방법은 LTCC 베이스 기판에 구동 IC와 발광소자의 형상에 맞는 전극패턴, 그라운드 패드, 전원패드를 형성하는 단계와, 상기 LTCC 베이스 기판의 발광소자가 실장되는 위치에 정렬하여 광신호를 외부로 전송하는 통로가 되는 관통홀을 가공 형성하는 단계와, 상기 LTCC 베이스 기판의 일면 위로 상기 구동 IC를 실장하기 위한 제 1 공간과 상기 발광소자를 실장하기 위한 제 2 공간을 분리하여 구비하는 LTCC 블록을 적층 형성하는 단계와, 상기 LTCC 베이스 기판의 전극패턴, 전원패드, 그라운드패드와 대응되는 상기 LTCC 블록의 소정 부분에 수직으로 관통하는 비아홀을 형성하는 단계와, 상기 비아홀이 형성된 상기 LTCC 블록의 상면에서 컨택패드를 형성하는 단계와, 상기 제 1 공간 내부에서 상기 LTCC 베이스 기판의 상기 전극패턴과 접촉하여 와이어 본딩에 의하여 구동 IC를 결선하고, 상기 제 2 공간 내부에서 상기 제 2 공간 내부에 상기 전극패턴과 접촉하여 발광소자를 실장하는 단계, 및 상기 제 1 공간 내부에 액상의 고분자 소재를 충진하고 자외선 또는 열로 경화하여 밀봉하는 단계를 포함한다.On the other hand, the manufacturing method of the package structure of the optical connection module according to the present invention comprises the steps of forming an electrode pattern, ground pad, power pad in accordance with the shape of the driving IC and the light emitting element on the LTCC base substrate, and the light emitting element of the LTCC base substrate Forming a through hole that is a passage for transmitting an optical signal to the outside in alignment with the mounting position, and mounting the first space and the light emitting device to mount the driving IC on one surface of the LTCC base substrate. Stacking an LTCC block having a second space for separation, and forming a via hole vertically penetrating a predetermined portion of the LTCC block corresponding to an electrode pattern, a power pad, and a ground pad of the LTCC base substrate; And forming a contact pad on an upper surface of the LTCC block in which the via hole is formed, and the LTCC bay inside the first space. Connecting a driving IC by wire bonding in contact with the electrode pattern of the substrate, and mounting a light emitting device in contact with the electrode pattern in the second space in the second space, and in the first space Filling the liquid polymer material and curing with ultraviolet or heat to seal.

또한, 본 발명의 다른 실시예에 따른 광접속 모듈의 패키지 구조의 제조 방법은 LTCC 베이스 기판에 구동 IC와 수광소자의 형상에 맞는 전극패턴, 그라운드 패드, 전원패드를 형성하는 단계와, 상기 LTCC 베이스 기판의 수광소자가 실장되는 위치에 정렬하여 광신호를 외부부터 수신하는 통로가 되는 관통홀을 가공 형성하는 단계와, 상기 LTCC 베이스 기판의 일면 위로 상기 구동 IC를 실장하기 위한 제 1 공간과 상기 수광소자를 실장하기 위한 제 2 공간을 분리하여 구비하는 LTCC 블록을 적층 형성하는 단계와, 상기 LTCC 베이스 기판의 전극패턴, 전원패드, 그라운드패드와 대응되는 상기 LTCC 블록의 소정 부분에 수직으로 관통하는 비아홀을 형성하는 단계와, 상기 비아홀이 형성된 상기 LTCC 블록의 상면에서 컨택패드를 형성하는 단계와, 상기 제 1 공간 내부에서 상기 LTCC 베이스 기판의 상기 전극패턴과 접촉하여 와이어 본딩에 의하여 구동 IC를 결선하고, 상기 제 2 공간 내부에서 상기 제 2 공간 내부에 상기 전극패턴과 접촉하여 수광소자를 실장하는 단계, 및 상기 제 1 공간 내부에 액상의 고분자 소재를 충진하고 자외선 또는 열로 경화하여 밀봉하는 단계를 포함한다.In addition, the manufacturing method of the package structure of the optical connection module according to another embodiment of the present invention comprises the steps of forming an electrode pattern, ground pad, power pad to match the shape of the driving IC and the light receiving element on the LTCC base substrate, and the LTCC base Forming a through hole that is a passage for receiving an optical signal from the outside in alignment with the position where the light receiving element of the substrate is mounted; a first space for mounting the driving IC on one surface of the LTCC base substrate, and the light receiving Stacking an LTCC block having a second space for mounting the device, and forming a via hole penetrating perpendicularly to a predetermined portion of the LTCC block corresponding to an electrode pattern, a power pad, and a ground pad of the LTCC base substrate; Forming a contact pad on an upper surface of the LTCC block in which the via hole is formed; Connecting the driving IC by wire bonding in contact with the electrode pattern of the LTCC base substrate, and mounting a light receiving element in contact with the electrode pattern in the second space within the second space; and Filling the inside of the liquid polymer material in one space and curing by sealing with ultraviolet or heat.

또한, 본 발명에 따른 광접속 모듈의 패키지 구조의 제조 방법에 있어서, 상기 LTCC 베이스 기판에 형성된 관통홀의 내부 표면에 금속 반사면을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 것이다.In addition, the manufacturing method of the package structure of the optical connection module according to the present invention, characterized in that it further comprises the step of forming a metal reflective surface on the inner surface of the through-hole formed in the LTCC base substrate.

또한, 본 발명에 따른 광접속 모듈의 패키지 구조의 제조 방법에 있어서, 상기 LTCC 베이스 기판에 전원패드를 형성하는 단계에서 수동소자로서 커패시터를 상기 전원패드 아래에 형성하여 내장하고 그라운드 패드와 연결하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 것이다.In the method of manufacturing a package structure of an optical connection module according to the present invention, in the step of forming a power pad on the LTCC base substrate, a capacitor is formed under the power pad as a passive element and embedded therein and connected to a ground pad. It is characterized in that it further comprises.

이하, 본 발명에 대하여 첨부된 도면을 참조하여 도면에 도시된 실시예에 대 하여 더욱 상세히 설명한다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.

도1은 본 발명의 일실시예에 따른 광접속 모듈 패키지 구조의 3차원 사시도이고, 도2는 상기 도1에 도시된 광접속 모듈 패키지 구조의 평면도이다.1 is a three-dimensional perspective view of an optical connection module package structure according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a plan view of the optical connection module package structure shown in FIG.

도1, 도2를 참조하면, 본 발명의 일실시예에 광접속 모듈 패키지 구조는 LTCC(low temperature co-fired ceramic) 베이스 기판(10), 구동 IC 실장용 제 1 공간(22), 상기 발광소자 실장용 제 2 공간(24)을 각각 분리 형성하는 LTCC 블록(20)을 포함하여 이루어진다.1 and 2, an optical connection module package structure according to an embodiment of the present invention includes a low temperature co-fired ceramic (LTCC) base substrate 10, a first space 22 for mounting a driving IC, and the light emission. And an LTCC block 20 which separately forms the second spaces 24 for device mounting.

여기서, 상기 LTCC(low temperature co-fired ceramic)는 800~1000℃ 정도의 저온에서 세라믹과 금속의 동시 소성 방법을 이용하여 기판을 형성하는 것으로서, 녹는점이 낮은 글라스와 세라믹이 혼합되어 적당한 유전율을 갖는 그린 시트(green sheet)를 형성시키고 그 위에 은이나 동을 주원료로 한 도전성 페이스트를 인쇄하여 적층한 후 기판을 형성시키게 되며, 캐패시터, 저항, 인덕터 등의 수동소자들을 기판 내부에 내장(embeded)함으로써 고집적화, 경박단소화, 고 신뢰성을 이룰 수 있게 된다.Here, the low temperature co-fired ceramic (LTCC) is to form a substrate using a simultaneous firing method of ceramic and metal at a low temperature of about 800 ~ 1000 ℃, glass and ceramics having a low melting point is mixed to have an appropriate dielectric constant A green sheet is formed, and a conductive paste of silver or copper is printed and laminated thereon to form a substrate, and then passive elements such as capacitors, resistors, and inductors are embedded in the substrate. High integration, light and small, high reliability can be achieved.

또한, 세라믹과 은을 사용한 LTCC 패키지는 전기적, 열적 특성이 매우 우수하여, 광접속 모듈과 같이 수 GHz 이상으로 동작하는 부품들을 패키징하는 데 매우 적합하다.In addition, LTCC packages made of ceramic and silver have very good electrical and thermal properties, making them well suited for packaging components that operate beyond several GHz, such as optical interconnect modules.

상기 LTCC 베이스 기판(10)에는 구동 IC(30), 발광소자(40)가 실장되는 위치에서 상기 구동 IC(30), 상기 발광소자(40)의 형상에 맞는 전극패턴(12)과 상기 발광소자(40)로부터 방출되는 광 신호를 외부로 전달하기 위한 관통홀(15) 어레이, 외부 전원을 연결하기 위한 전원 패드(16)와 그라운드 패드(14)가 형성된다.In the LTCC base substrate 10, an electrode pattern 12 and the light emitting device that match the shape of the driving IC 30 and the light emitting device 40 are mounted at a position where the driving IC 30 and the light emitting device 40 are mounted. An array of through holes 15 for transmitting the optical signal emitted from the 40 to the outside, a power pad 16 and a ground pad 14 for connecting an external power source are formed.

또한, 상기 LTCC 블록(20)은 상기 LTCC 베이스 기판(10)의 일면 상에 적층되고 상기 구동 IC 실장용 제 1 공간(22), 상기 발광소자 실장용 제 2 공간(24)을 각각 독립적으로 분리 형성한다.In addition, the LTCC block 20 is stacked on one surface of the LTCC base substrate 10 and independently separates the first space 22 for mounting the driver IC and the second space 24 for mounting the light emitting device. Form.

그리고, 도1, 도2를 참조하면, 상기 LTCC 블록(20)의 주변 가장자리부에는 상기 LTCC 베이스 기판에서 외부로 연결하기 위한 상기 전극패턴(12), 상기 전원 패드(16) 또는 상기 그라운드 패드(14)에 연결되는 수직 관통된 비아홀(Via hole, 23)이 가공 형성되어 있다.1 and 2, at the peripheral edge of the LTCC block 20, the electrode pattern 12, the power pad 16, or the ground pad (not shown) for connecting from the LTCC base substrate to the outside. A vertical through hole (Via hole) 23 connected to 14 is formed.

상기 비아홀은 또한 상기 LTCC 블록(20) 상부면의 소정위치에서 노출되어 다수의 컨택 패드부((25)를 형성하게 된다.The via hole is also exposed at a predetermined position on the upper surface of the LTCC block 20 to form a plurality of contact pad portions 25.

이때, 상기 LTCC 블록(20)에서 비아홀(23)이 노출되는 상부면에 형성된 컨택 패드부(25)는 외부의 다른 기판과 전기적으로 접촉되는 경우와 같이 외부 인터페이스를 위한 것이다.In this case, the contact pad part 25 formed on the upper surface of the LTCC block 20 through which the via hole 23 is exposed is for an external interface as in the case of making electrical contact with another external substrate.

도1, 도2를 참조하면, 상기 구동 IC(30)와 발광소자(40)의 형상에 맞는 전극패턴을 형성하는 LTCC 베이스 기판(10)은 가능한 300㎛ 이하로 얇을수록 바람직한데, 그 이유로는 관통홀(15)을 통해 빛이 나가고 들어오는 과정에서 손실을 최소화하기 위한 것이다.1 and 2, the LTCC base substrate 10 for forming an electrode pattern suitable for the shape of the driving IC 30 and the light emitting element 40 is preferably as thin as 300 μm or less. It is to minimize the loss in the process of entering and exiting light through the through hole (15).

여기에서, 상기 LTCC 공정의 장점을 이용하여 LTCC 베이스 기판(10) 내부에 RLC 수동 소자를 내장하여 형성하는 것도 가능하다.Here, it is also possible to form the RLC passive element inside the LTCC base substrate 10 by using the advantages of the LTCC process.

상기 내장하는 수동소자로서 커패시터를 전원패드(16) 아래에 형성시켜 그라 운드 패드(14)와 연결시킨다면 외부 전원에서 유입되는 전원 노이즈를 감소시킬 수 있다.If the capacitor is formed under the power pad 16 as the built-in passive device and connected to the ground pad 14, power noise introduced from an external power source may be reduced.

광 송신 모듈에는 상기 제 2 공간(24) 내에 실장되는 발광소자(40)로서 VCSEL(Vertical Cavity Surface Emitting Laser) 어레이가 실장되고 상기 VCSEL 어레이로부터 광신호를 전달하는 관통홀 어레이(20)에는 금속 반사면이 형성된다.  In the optical transmission module, a vertical cavity surface emitting laser (VCSEL) array is mounted as the light emitting device 40 mounted in the second space 24, and a metal half is provided in the through hole array 20 for transmitting an optical signal from the VCSEL array. A slope is formed.

여기서, 상기 LTCC 베이스 기판(10)에 형성된 상기 관통홀 어레이(15)의 내벽에 도금되는 금속은 Au, Ag, Cu, Al, Pt에서 선택될 수 있는 것이다.Here, the metal to be plated on the inner wall of the through-hole array 15 formed in the LTCC base substrate 10 may be selected from Au, Ag, Cu, Al, Pt.

또한, 상기 LTCC 블록(20)의 상기 제 1 공간(22) 내부에서 상기 LTCC 베이스 기판(10)의 상기 전극패턴(12)과 접촉하고 와이어 본딩에 의하여 구동 IC(30)가 결선되며, 상기 제 2 공간 내부(24)에는 상기 전극패턴(12)과 접촉하여 발광소자(40)가 실장된다.In addition, the driving IC 30 is connected to the electrode pattern 12 of the LTCC base substrate 10 in the first space 22 of the LTCC block 20 by wire bonding. The light emitting device 40 is mounted in the two spaces 24 in contact with the electrode pattern 12.

이때, 상기 제 1 공간(22) 내부는 구동 IC의 실장 후에 와이어 본딩이 되어 있는데, 상기 와이어 본딩은 외부의 충격에 매우 민감하므로 소자의 신뢰성을 높이기 위해서 상기 제 1 공간(22) 내부는 자외선(UV) 또는 열로 경화되는 액상의 고분자 소재로 채워져서 밀봉(sealing)된다.In this case, the inside of the first space 22 is wire bonded after the mounting of the driving IC, the wire bonding is very sensitive to external impact, so to increase the reliability of the device inside the first space 22 is ultraviolet ( UV) or heat filled with a liquid polymer material that is cured and sealed.

상기 제 1 공간(22)과 상기 제 2 공간(24) 사이에는 벽에 의하여 분리 형성되어 있는데, 이는 제 1 공간(22) 내부를 고분자 소재로 충진하였을 때, 액상의 고분자 소재가 경화되기 전에 제 2 공간(24)으로 유입되고 모세관 현상에 의하여 제 2 공간(24) 바닥에 있는 관통홀(15)로 유입되어 빛이 오가는 통로를 오염시키는 것을 방지하는 역할을 한다.The first space 22 and the second space 24 are separated by a wall, which is formed when the inside of the first space 22 is filled with a polymer material before the liquid polymer material is cured. It flows into the second space 24 and flows into the through hole 15 at the bottom of the second space 24 by capillary action, thereby preventing contamination of the light passage.

따라서, 구동 IC(30)와 발광소자(40)를 패키징하기 위해서는 도1에 도시된 바와 같이 마치 욕조 형태의 구조가 매우 효율적이다.Therefore, in order to package the driving IC 30 and the light emitting device 40, as shown in FIG. 1, the tubular structure is very efficient.

상기 제 1 공간(22)을 채우고 있는 고분자 소재가 경화되면 LTCC 블록(20)의 상부면을 막는 특별한 공정이 없이도 바로 위의 소자를 사용 가능하게 된다.  When the polymer material filling the first space 22 is cured, the above device can be used without a special process of blocking the upper surface of the LTCC block 20.

이때, 상기 LTCC 블록(20)의 높이는 상기 제 1 공간(22)에서 구동칩(30)을 실장한 후 와이어 본딩했을 때 본딩 와이어의 높이보다 높아야 한다. At this time, the height of the LTCC block 20 should be higher than the height of the bonding wire when wire bonding after mounting the driving chip 30 in the first space (22).

도1, 도2에 도시된 패키지 구조는 광 수신 모듈에도 동일하게 적용할 수 있다.The package structure shown in FIGS. 1 and 2 can be equally applied to an optical receiving module.

따라서, 본 발명의 다른 실시예에 따른 광접속 모듈의 패키지 구조의 LTCC 베이스 기판(10)은 구동 IC, 수광소자가 실장되는 위치에서 상기 구동 IC, 상기 수광소자(40)의 형상에 맞는 전극패턴(12)과 상기 수광소자로 수신되는 광 신호를 외부에서 전달받기 위한 관통홀(15) 어레이, 외부 전원을 연결하기 위한 전원 패드(16)와 그라운드 패드(14)가 형성된다.Accordingly, the LTCC base substrate 10 of the package structure of the optical connection module according to another embodiment of the present invention has an electrode pattern suitable for the shape of the driving IC and the light receiving element 40 at the position where the driving IC and the light receiving element are mounted. 12 and an array of through holes 15 for receiving the optical signal received by the light receiving element from the outside, a power pad 16 and a ground pad 14 for connecting an external power source are formed.

또한, LTCC 블록(20)이 상기 LTCC 베이스 기판(10)의 일면 상에 적층되고 상기 구동 IC 실장용 제 1 공간(22), 상기 수광소자 실장용 제 2 공간(24)을 각각 분리 형성하며, 상기 LTCC 베이스 기판(10)에서 외부로 연결하기 위한 상기 전극패턴(12), 상기 전원 패드(16) 또는 상기 그라운드 패드(14)에 연결되는 수직 관통된 비아홀(23)이 형성되어 상부면의 소정위치에서 다수의 컨택 패드부(25)를 구비한다. In addition, an LTCC block 20 is stacked on one surface of the LTCC base substrate 10 to separately form the first space 22 for mounting the driver IC and the second space 24 for mounting the light receiving element, respectively. A vertically penetrated via hole 23 connected to the electrode pattern 12, the power pad 16, or the ground pad 14 for connecting to the outside from the LTCC base substrate 10 is formed to provide a predetermined upper surface. A plurality of contact pad portions 25 are provided in position.

이때, 상기 LTCC 블록(20)의 상기 제 1 공간(22) 내부에서 상기 LTCC 베이스 기판(10)의 상기 전극패턴(12)과 접촉하여 와이어 본딩에 의하여 구동 IC(30)가 결선되며, 상기 제 2 공간(24) 내부에 상기 전극패턴(12)과 접촉하여 수광소자(40)가 실장되고 상기 제 1 공간(22) 내부는 자외선 또는 열로 경화되는 액상의 고분자 소재로 밀봉되는 것이다.In this case, the driving IC 30 is connected by wire bonding in contact with the electrode pattern 12 of the LTCC base substrate 10 in the first space 22 of the LTCC block 20. The light receiving element 40 is mounted in contact with the electrode pattern 12 in the second space 24, and the first space 22 is sealed with a liquid polymer material that is cured by ultraviolet rays or heat.

여기에서, 상기 광 수신 모듈에는 수광소자(40)로서 포토다이오드(Photo Diode) 어레이가 사용된다. Here, a photo diode array is used as the light receiving element 40 in the light receiving module.

상기 LTCC 기판(10)에 형성되는 회로패턴(12)은 광송신부 또는 광수신부와 연결을 위한 커넥터와 발광소자 또는 수광소자(40)를 구동하기 위한 구동칩(30)에 전기 신호 전달을 위한 것이다.The circuit pattern 12 formed on the LTCC substrate 10 is for transmitting an electrical signal to a connector for connection with an optical transmitter or a light receiver and a driving chip 30 for driving the light emitting device or the light receiving device 40. .

상기 관통홀(15)의 내부 표면을 금속으로 도금하는 이유는 발광소자에서 방출되거나 또는 수광소자에서 수신되는 광신호가 도금된 금속에 의해서 전반사하여 발광소자의 광도파로 사이의 결합손실을 줄일 수 있고, 광도파로와 수광소자 사이의 결합 손실을 줄일 수 있기 때문이다. The reason for plating the inner surface of the through hole 15 with metal is that the optical signal emitted from the light emitting element or received from the light receiving element is totally reflected by the plated metal, thereby reducing the coupling loss between the optical waveguides of the light emitting element. This is because the coupling loss between the optical waveguide and the light receiving element can be reduced.

도3a 내지 도3e는 본 발명의 일실시예에 광접속 모듈의 패키지 구조의 제제작 공정을 나타내는 개략적인 사시도이다.3A to 3E are schematic perspective views showing a manufacturing process of a package structure of an optical connection module according to an embodiment of the present invention.

먼저, 광접속 모듈의 패키지 구조를 제작하기 위하여 도 3a와 같이 LTCC 베이스 기판(10)에 구동 IC(30)와 발광소자(40)의 형상에 맞는 전극패턴(12), 그라운드 패드(14), 전원패드(16)를 형성한다.First, in order to fabricate the package structure of the optical connection module, as shown in FIG. 3A, the electrode pattern 12, the ground pad 14, The power pad 16 is formed.

이때, 상기 LTCC 베이스 기판(10)에 전원패드(16)를 형성하는 단계에서 수동소자로서 커패시터를 상기 전원패드(16) 아래에 내장하고 그라운드 패드(14)와 연 결하는 과정을 더 포함할 수 있다. In this case, in the step of forming the power pad 16 on the LTCC base substrate 10, the method may further include a process of embedding a capacitor under the power pad 16 as a passive element and connecting the ground pad 14 to the ground pad 14. .

또한, 상기 LTCC 베이스 기판(10)의 발광소자(40)가 실장되는 위치에 정렬하여 광신호를 외부로 전송하는 통로가 되는 관통홀(15) 어레이를 기계적 드릴 또는 레이저 가공을 통하여 형성한다(도3a).In addition, an array of through holes 15, which serve as a passage for transmitting optical signals to the outside, is formed through a mechanical drill or laser processing in alignment with the positions where the light emitting devices 40 of the LTCC base substrate 10 are mounted (FIG. 3a).

다음으로, 상기 LTCC 베이스 기판(10)의 일면 위로 상기 구동 IC(30)를 실장하기 위한 제 1 공간(22)과 상기 발광소자(40)를 실장하기 위한 제 2 공간(24)을 분리하여 구비하는 LTCC 블록(20)을 적층하여 욕조형 구조로 형성한다(도3b).Next, a first space 22 for mounting the driver IC 30 and a second space 24 for mounting the light emitting device 40 are separately provided on one surface of the LTCC base substrate 10. The LTCC blocks 20 are stacked to form a tubular structure (FIG. 3B).

다음에, 상기 LTCC 베이스 기판(10)의 전극패턴(12), 전원패드(16), 그라운드패드(14)와 대응되는 상기 LTCC 블록(20)의 벽면을 타고 수직으로 관통하는 비아홀(23)을 형성하게 된다(도3c). Next, the via hole 23 vertically penetrates the wall surface of the LTCC block 20 corresponding to the electrode pattern 12, the power pad 16, and the ground pad 14 of the LTCC base substrate 10. Form (Fig. 3c).

다음으로, 상기 비아홀(23)이 형성된 상기 LTCC 블록(20)의 상면에서 컨택패드(25)를 형성하게 된다(도3d). Next, a contact pad 25 is formed on the upper surface of the LTCC block 20 in which the via hole 23 is formed (FIG. 3D).

마지막으로, 상기 제 1 공간(22) 내부에서 상기 LTCC 베이스 기판(10)의 상기 전극패턴(12)과 접촉하여 와이어 본딩에 의하여 구동 IC(30)를 결선하고, 상기 제 2 공간(24) 내부에서 상기 전극패턴(12)과 접촉하여 발광소자(40)를 실장한다(도3e).Finally, the driving IC 30 is connected by wire bonding in contact with the electrode pattern 12 of the LTCC base substrate 10 in the first space 22, and inside the second space 24. The light emitting device 40 is mounted in contact with the electrode pattern 12 (FIG. 3E).

이때, 상기 제 1 공간 내부(22)에 액상의 고분자 소재를 충진하고 자외선 또는 열로 경화하여 밀봉하게 된다.At this time, the first polymer 22 is filled with a liquid polymer material and cured with ultraviolet rays or heat to seal the inside of the first space 22.

상기 광접속 모듈의 패키지 구조의 제작 공정에 있어서, 광 수신 모듈인 경우에는 상기 발광소자 대신에 수신소자를 적용하여 제작하게 되면 광 수신 모듈의 패키지 구조가 제조된다. In the manufacturing process of the package structure of the optical connection module, in the case of the optical receiving module, if the manufacturing method is applied to the receiving device instead of the light emitting device, the package structure of the optical receiving module is manufactured.

도4는 본 발명의 일 실시예에 따른 광접속 모듈을 광섬유를 이용해서 브리지 형태로 연결한 모습을 나타낸다.Figure 4 shows the optical connection module according to an embodiment of the present invention connected in the form of a bridge using an optical fiber.

도4에서 광 송신 모듈(100)과 광 수신 모듈(200)은 각각 광 신호가 출사되거나 수신되는 부분은 전극패드(12)와 반대편에 위치하여 광섬유(300)에 의하여 연결되어 있다.In FIG. 4, the light transmitting module 100 and the light receiving module 200 are respectively connected to each other by the optical fiber 300 at positions opposite to the electrode pad 12.

또한, 상기 광접속 모듈의 패키지 구조에서 상기 LTCC 블록(20)의 상면에 형성된 컨택 패드(25)를 아래로 향하게 하고 다른 기판의 단자부에 상기 컨택패드는 전기적 접촉을 할 수 있게 된다. In addition, in the package structure of the optical connection module, the contact pad 25 formed on the upper surface of the LTCC block 20 is faced down and the contact pad is in electrical contact with a terminal portion of another substrate.

이상에서 살펴본 바와 같이 본 발명에 따른 광접속 모듈의 패키지 구조 및 그 제조 방법에 따르면 광송신부 또는 광수신부를 구성하는 모듈을 LTCC 기판을 적용한 하나의 소자로서 패키징함으로써 기판에 표면 실장을 통한 대량 생산이 가능하게 되는 장점이 있다.As described above, according to the package structure of the optical connection module and the manufacturing method thereof according to the present invention, by mass-packing the surface of the substrate by packaging the module constituting the optical transmitter or the optical receiver as a device applying the LTCC substrate There is an advantage to being possible.

또한, 광송신부의 광원부 또는 광 수신부의 수광부를 전극 패드와 반대편에 위치시켜서 평판 도파로나 광섬유를 브리지 형태로 연결하기가 용이하게 되는 효과가 있다.In addition, there is an effect that it is easy to connect the flat waveguide or the optical fiber in the form of a bridge by placing the light source portion of the light transmitting portion or the light receiving portion of the light receiving portion opposite to the electrode pad.

이상에서 본 발명은 기재된 구체적인 실시예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연 한 것이다.Although the invention has been described in detail only with respect to the specific embodiments described, it will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations are possible within the spirit of the invention, and such modifications and modifications belong to the appended claims. will be.

Claims (10)

구동 IC, 발광소자가 실장되는 위치에서 상기 구동 IC, 상기 발광소자의 형상에 맞는 전극패턴과 상기 발광소자로부터 방출되는 광 신호를 외부로 전달하기 위한 관통홀 어레이, 외부 전원을 연결하기 위한 전원 패드와 그라운드 패드가 형성된 LTCC(low temperature co-fired ceramic) 베이스 기판; 및A driving IC, an electrode pattern suitable for the shape of the driving IC, the light emitting device, a through-hole array for transmitting the optical signal emitted from the light emitting device to the outside, and a power pad for connecting an external power source A low temperature co-fired ceramic (LTCC) base substrate having a ground pad formed thereon; And 상기 LTCC 베이스 기판의 일면 상에 적층되고 상기 구동 IC 실장용 제 1 공간, 상기 발광소자 실장용 제 2 공간을 각각 분리 형성하며, 상기 LTCC 베이스 기판에서 외부로 연결하기 위한 상기 전극패턴, 상기 전원 패드 또는 상기 그라운드 패드에 연결되는 수직 관통된 비아홀이 형성되어 상부면의 소정위치에서 다수의 컨택 패드부를 구비하는 LTCC 블록을 포함하며, The electrode pattern and the power pad, which are stacked on one surface of the LTCC base substrate and separately form the first space for mounting the driving IC and the second space for mounting the light emitting device, and are connected to the outside from the LTCC base substrate. Or a LTCC block having a plurality of vertically penetrated via holes connected to the ground pads and having a plurality of contact pads at predetermined positions on an upper surface thereof. 상기 LTCC 블록의 상기 제 1 공간 내부에서 상기 LTCC 베이스 기판의 상기 전극패턴과 접촉하여 와이어 본딩에 의하여 구동 IC가 결선되며, 상기 제 2 공간 내부에 상기 전극패턴과 접촉하여 발광소자가 실장되고 상기 제 1 공간 내부는 자외선 또는 열로 경화되는 액상의 고분자 소재로 밀봉되어 있고, 상기 LTCC 기판에 형성된 상기 관통홀 어레이의 관통홀 내부 표면에 금속 반사면이 코팅된 것을 특징으로 하는 광접속 모듈의 패키지 구조. The driving IC is connected by wire bonding in contact with the electrode pattern of the LTCC base substrate in the first space of the LTCC block, and the light emitting device is mounted in contact with the electrode pattern in the second space, and the light emitting device is mounted. 1 The inside of the space is sealed with a liquid polymer material that is cured by ultraviolet rays or heat, the package structure of the optical connection module, characterized in that the metal reflective surface is coated on the inner surface of the through hole of the through hole array formed on the LTCC substrate. 구동 IC, 수광소자가 실장되는 위치에서 상기 구동 IC, 상기 수광소자의 형상에 맞는 전극패턴과 상기 수광소자로 수신되는 광 신호를 외부에서 전달받기 위한 관통홀 어레이, 외부 전원을 연결하기 위한 전원 패드와 그라운드 패드가 형성된 LTCC(low temperature co-fired ceramic) 베이스 기판; 및A driving IC, an electrode pattern suitable for the shape of the light receiving element, a through-hole array for receiving an optical signal received by the light receiving element from an external location, and a power pad for connecting an external power source at a position where the light receiving element is mounted A low temperature co-fired ceramic (LTCC) base substrate having a ground pad formed thereon; And 상기 LTCC 베이스 기판의 일면 상에 적층되고 상기 구동 IC 실장용 제 1 공간, 상기 수광소자 실장용 제 2 공간을 각각 분리 형성하며, 상기 LTCC 베이스 기판에서 외부로 연결하기 위한 상기 전극패턴, 상기 전원 패드 또는 상기 그라운드 패드에 연결되는 수직 관통된 비아홀이 형성되어 상부면의 소정위치에서 다수의 컨택 패드부를 구비하는 LTCC 블록을 포함하며, The electrode pattern and the power pad stacked on one surface of the LTCC base substrate and separately forming the first space for mounting the driving IC and the second space for mounting the light receiving element, respectively, for connecting to the outside from the LTCC base substrate. Or a LTCC block having a plurality of vertically penetrated via holes connected to the ground pads and having a plurality of contact pads at predetermined positions on an upper surface thereof. 상기 LTCC 블록의 상기 제 1 공간 내부에서 상기 LTCC 베이스 기판의 상기 전극패턴과 접촉하여 와이어 본딩에 의하여 구동 IC가 결선되며, 상기 제 2 공간 내부에 상기 전극패턴과 접촉하여 수광소자가 실장되고 상기 제 1 공간 내부는 자외선 또는 열로 경화되는 액상의 고분자 소재로 밀봉되어 있고, 상기 LTCC 기판에 형성된 상기 관통홀 어레이의 관통홀 내부 표면에 금속 반사면이 코팅된 것을 특징으로 하는 광접속 모듈의 패키지 구조.A driving IC is connected by wire bonding in contact with the electrode pattern of the LTCC base substrate in the first space of the LTCC block, and a light receiving element is mounted in contact with the electrode pattern in the second space and the first circuit is mounted. 1 The inside of the space is sealed with a liquid polymer material that is cured by ultraviolet rays or heat, the package structure of the optical connection module, characterized in that the metal reflective surface is coated on the inner surface of the through hole of the through hole array formed on the LTCC substrate. 삭제delete 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, The method according to claim 1 or 2, 상기 관통홀의 내부 표면에 코팅된 금속은 Au, Ag, Cu, Al 또는 Pt에서 선택되는 것을 특징으로 하는 광접속 모듈의 패키지 구조. The metal coated on the inner surface of the through hole is a package structure of the optical connection module, characterized in that selected from Au, Ag, Cu, Al or Pt. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 발광소자는 표면방출레이저(VCSEL) 어레이를 포함하는 것을 특징으로 하는 광접속 모듈의 패키지 구조.The light emitting device package structure of the optical connection module, characterized in that it comprises a surface emitting laser (VCSEL) array. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 수광소자는 포토 다이오드 어레이를 포함하는 것을 특징으로 하는 광접속 모듈의 패키지 구조.The light receiving device has a package structure of an optical connection module, characterized in that it comprises a photodiode array. LTCC 베이스 기판에 구동 IC와 발광소자의 형상에 맞는 전극패턴, 그라운드 패드, 전원패드를 형성하는 단계;Forming an electrode pattern, a ground pad, and a power pad on the LTCC base substrate in accordance with the shape of the driving IC and the light emitting device; 상기 LTCC 베이스 기판의 발광소자가 실장되는 위치에 정렬하여 광신호를 외부로 전송하는 통로가 되는 관통홀을 가공 형성하는 단계;Forming a through hole serving as a passage for transmitting an optical signal to the outside in alignment with a position where the light emitting device of the LTCC base substrate is mounted; 상기 LTCC 베이스 기판에 형성된 관통홀의 내부 표면에 금속 반사면을 형성하는 단계;Forming a metal reflective surface on an inner surface of a through hole formed in the LTCC base substrate; 상기 LTCC 베이스 기판의 일면 위로 상기 구동 IC를 실장하기 위한 제 1 공간과 상기 발광소자를 실장하기 위한 제 2 공간을 분리하여 구비하는 LTCC 블록을 적층 형성하는 단계;Stacking an LTCC block having a first space for mounting the driving IC and a second space for mounting the light emitting device on one surface of the LTCC base substrate; 상기 LTCC 베이스 기판의 전극패턴, 전원패드, 그라운드패드와 대응되는 상기 LTCC 블록의 소정 부분에 수직으로 관통하는 비아홀을 형성하는 단계; Forming a via hole vertically penetrating a predetermined portion of the LTCC block corresponding to an electrode pattern, a power pad, and a ground pad of the LTCC base substrate; 상기 비아홀이 형성된 상기 LTCC 블록의 상면에서 컨택패드를 형성하는 단계; Forming a contact pad on an upper surface of the LTCC block in which the via hole is formed; 상기 제 1 공간 내부에서 상기 LTCC 베이스 기판의 상기 전극패턴과 접촉하여 와이어 본딩에 의하여 구동 IC를 결선하고, 상기 제 2 공간 내부에서 상기 전극패턴과 접촉하여 발광소자를 실장하는 단계; 및Connecting a driving IC by wire bonding in contact with the electrode pattern of the LTCC base substrate in the first space, and mounting a light emitting device in contact with the electrode pattern in the second space; And 상기 제 1 공간 내부에 액상의 고분자 소재를 충진하고 자외선 또는 열로 경화하여 밀봉하는 단계를 포함하는 광접속 모듈의 패키지 구조의 제조 방법.The method of manufacturing a package structure of an optical connection module comprising the step of filling a liquid polymer material in the first space and curing it with ultraviolet rays or heat. LTCC 베이스 기판에 구동 IC와 수광소자의 형상에 맞는 전극패턴, 그라운드 패드, 전원패드를 형성하는 단계;Forming an electrode pattern, a ground pad, and a power pad corresponding to the shape of the driving IC and the light receiving element on the LTCC base substrate; 상기 LTCC 베이스 기판의 수광소자가 실장되는 위치에 정렬하여 광신호를 외부로부터 수신하는 통로가 되는 관통홀을 가공 형성하는 단계;Forming a through hole that is a passage for receiving an optical signal from the outside by aligning the light receiving element of the LTCC base substrate to a mounting position; 상기 LTCC 베이스 기판에 형성된 관통홀의 내부 표면에 금속 반사면을 형성하는 단계;Forming a metal reflective surface on an inner surface of a through hole formed in the LTCC base substrate; 상기 LTCC 베이스 기판의 일면 위로 상기 구동 IC를 실장하기 위한 제 1 공간과 상기 수광소자를 실장하기 위한 제 2 공간을 분리하여 구비하는 LTCC 블록을 적층 형성하는 단계;Stacking an LTCC block having a first space for mounting the driver IC and a second space for mounting the light receiving device on one surface of the LTCC base substrate; 상기 LTCC 베이스 기판의 전극패턴, 전원패드, 그라운드패드와 대응되는 상기 LTCC 블록의 소정 부분에 수직으로 관통하는 비아홀을 형성하는 단계; Forming a via hole vertically penetrating a predetermined portion of the LTCC block corresponding to an electrode pattern, a power pad, and a ground pad of the LTCC base substrate; 상기 비아홀이 형성된 상기 LTCC 블록의 상면에서 컨택패드를 형성하는 단계; Forming a contact pad on an upper surface of the LTCC block in which the via hole is formed; 상기 제 1 공간 내부에서 상기 LTCC 베이스 기판의 상기 전극패턴과 접촉하여 와이어 본딩에 의하여 구동 IC를 결선하고, 상기 제 2 공간 내부에서 상기 전극패턴과 접촉하여 수광소자를 실장하는 단계; 및Connecting a driving IC by wire bonding in contact with the electrode pattern of the LTCC base substrate in the first space, and mounting a light receiving element in contact with the electrode pattern in the second space; And 상기 제 1 공간 내부에 액상의 고분자 소재를 충진하고 자외선 또는 열로 경화하여 밀봉하는 단계를 포함하는 광접속 모듈의 패키지 구조의 제조 방법.The method of manufacturing a package structure of an optical connection module comprising the step of filling a liquid polymer material in the first space and curing it with ultraviolet rays or heat. 삭제delete 제 7 항 또는 제 8 항에 있어서,The method according to claim 7 or 8, 상기 LTCC 베이스 기판에 전원패드를 형성하는 단계에서 수동소자로서 커패시터를 상기 전원패드 아래에 형성하여 내장하고 그라운드 패드와 연결하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광접속 모듈의 패키지 구조의 제조 방법.And forming a capacitor under the power pad as a passive element in the step of forming a power pad on the LTCC base substrate and connecting the ground pad to a ground pad.
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