KR100898639B1

KR100898639B1 - 저 질량 구동 시스템을 갖는 저 질량 코리올리 질량 유량계

Info

Publication number: KR100898639B1
Application number: KR1020057013950A
Authority: KR
Inventors: 마크 제임스 벨; 로져 스코트 러빙; 요셉 씨. 딜레
Original assignee: 마이크로 모우션, 인코포레이티드
Priority date: 2005-07-28
Filing date: 2003-02-04
Publication date: 2009-05-22
Anticipated expiration: 2023-02-04
Also published as: KR20050090465A

Abstract

저 질량 구동 시스템을 갖는 코리올리 질량 유량계(300)는 흐름관 수단(102)을 진동시키기 위한 드라이브 코일(D)을 포함한다. 코리올리 질량 유량계는 흐름관 수단에 부착된 자석을 사용하지 않는다. 그 대신, 흐름관 수단은 흐름관 수단을 진동시키는 드라이버 코일에 의해 발생된 자기장에 반응하는 자성재료(103)로 코팅되거나, 자성재료와 일체로 형성된다. 흐름관 수단은 하나(102) 이상의 흐름관(1402C1,1402C2)들을 포함할 수 있다. 자성재료는 내부 자기장이 없는 철 재료일 수 있다. 대안적으로 자성재료는 내부 자기장을 갖는 강 또는 스테인리스강일 수 있다.

Description

저 질량 구동 시스템을 갖는 저 질량 코리올리 질량 유량계 {LOW MASS CORIOLIS MASS FLOWMETER HAVING A LOW MASS DRIVE SYSTEM}

본 발명은 코리올리 질량 유량계에 관한 것이며, 보다 상세하게는 저 질량 구동 시스템을 갖는 경량의 코리올리 질량 유량계에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 작은 직경의 흐름관을 갖는 경량의 코리올리 질량 유량계에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 부피가 작은 질량 유량을 측정하는데 적합한 경량의 코리올리 질량 유량계에 관한 것이다.

문제점

코리올리 질량 유량계는 물질 유동(material flow)을 측정하여 질량 유량, 밀도 등과 같은 물질 유동에 관한 정보를 발생시키도록 다양한 크기 및 유량에서 이용 가능하다. 일반적으로 코리올리 질량 유량계는 전자기 드라이버에 의해 횡방향으로 진동되는 하나 이상의 직선형 또는 불규칙한 형태의 흐름관을 갖는다. 흐름관을 지나는 물질 유동은 흐름관의 코리올리 편향을 야기하며, 코리올리 편향은 하나 이상의 픽-오프(pick-offs)에 의해 탐지된다. 픽-오프는 출력 신호를 발생시켜, 물질 유동 정보를 발생시키기 위한 관련 미터 일렉트로닉스(meter electronics)로 출력 신호를 보낸다. 코리올리 편향 및 픽-오프에 의해 발생된 합성 출력신호(resultant output signals)는 흐름관을 통하여 흐르는 유동의 질량에 비례한다. 코리올리 편향 및 픽-오프에 의해 발생된 합성 출력신호는 흐름관에 채워진 물질이 관련 드라이버 및 픽-오프의 질량에 비해 비교적 큰 질량을 가질 때 커진다.

통상적인 이중 곡선관 코리올리 유량계(dual curved-tube Coriolis flowmeters)는 약 100 내지 700,000kg/h 범위의 유속(flow rates)을 가지며, 약 0.3 내지 11cm 범위의 내경을 갖는 흐름관을 갖는다. 통상적으로, 물질이 충진된 흐름관의 질량 대 드라이버 및 픽-오프의 질량의 바람직한 비율은 10 대 1 또는 그보다 크다. 이 비율은 관련 드라이버 및 픽-오프의 비교적 작은 질량에 비해 물질이 충진된 흐름관의 질량이 비교적 크기 때문에 종래의 코리올리 유량계에서 얻을 수 있다.
진동하는 흐름관 구조물에 부착되는 관련 장착 장치 및 종래의 자석을 이용하여 경량의 코리올리 질량 유량계에서 허용 가능한 질량비를 얻는 것이 문제이다. 일반적으로 물질이 충진된 금속 흐름관을 진동시키는데 이용되는 드라이버는 자석 및 코일의 결합구조인데, 일반적으로 자석은 흐름관에 부착되고 코일은 다른 흐름관 또는 지지 구조물에 부착된다. 자석의 질량은 경량의 유량계 제공에 문제가 되는데, 이는 야금학적 이유(metallurgical consideration)로 자석의 유효한 최소 사이즈(size)가 약 5mg로 제한되기 때문이다. 흐름관에 자석을 부착하는데 쓰이는 관련 하드웨어와 통합된 질량은 약 7mg이다. 바람직한 질량비 10 대 1을 얻기 위해서는 물질이 충진된 흐름관의 질량이 적어도 70mg이 되어야 한다. 문제는 부피가 작은 질량 유량을 측정하기 위해 질량이 약 70mg 이하인 물질적으로 충진되어 진동하는 흐름관 구조를 갖는 코리올리 질량 유량계를 제공하는 것이다.

삭제

해결책

전술한 문제점 및 다른 문제점들은, 코리올리 질량 유량계가 소형 경량이며, 질량 유동 및 소량의 물질 유동을 위한 밀도 정보의 측정에 이론적으로 적합하도록 제공됨에 따라 본 발명에 의해 해결된다. 본 발명의 유량계는 소형이며, 약 10kg/h 또는 그 이하의 유량 및 약 2mm 또는 그 이하의 내경을 갖는 흐름관을 갖는다. 예를 들면, 흐름관 자체는 비례하는 벽 두께를 갖는 인간의 머리카락만큼 작을 수 있다.

본 발명에서, 흐름관은 어떠한 적합한 재료로도 형성될 수 있으며 자성재료로 코팅된다. 자성재료는 분무 또는 증착에 의해 흐름관 위에 형성될 수 있다. 자성재료는 대안적으로 흐름관과 일체 성형으로 제조될 수 있거나, 흐름관이 자성재료 자체로 제조될 수 있다. 본 발명은 별도의 자석을 제거할 수 있게 함으로써 흐름관에 대한 자석의 부착 및 정렬과 관련된 제조상의 문제뿐만 아니라 과도한 질량으로 인한 물리적 문제를 방지한다.

본 발명으로 드라이버와 센서 자석(sensor magnets)이 모두 제거될 수 있다. 일반적으로 코리올리 센서는 흐름관에서 코리올리 편향 정도에 대한 정보를 제공하는 위상감지(phase-sensing) "픽-오프" 조립체로서 자석과 코일을 사용한다. 본 발명에 따르면, 픽-오프 조립체용 자석은 드라이버용 자석과 동일한 방식으로 구성된다. 그러므로 드라이버 또는 픽-오프 자석 또는 이들 모두는 본 발명에 개시된 방식으로 구성될 수 있다.

매우 가벼운 흐름관의 대안적 구현은 설명한 바와 같은 구조의 드라이버와, 광 계측기기(optical measurements)에 의해 발생된 픽-오프 신호를 갖는다. 적합한 픽-오프는 흐름관의 맞은편에 배치된 광 이미터(light emitter)와 집광기(light collector)를 갖는 광 장치(light device)이다. 흐름관의 굴곡은 전송된 광선을 조절하며, 광선은 수신되어, 코리올리 반응을 포함하는 흐름관의 진동을 표시하는 출력 신호로 변환된다.

본 발명의 코리올리 질량 유량계의 중요한 이점은 흐름관에 자성 도금(magnetic plating) 또는 코팅을 하는 것이다. 이러한 도금은, 도금 욕조(plating bath), 증착(vapor deposition), 플라즈마 증착(plasma deposition) 또는 다른 도금 시스템을 통해 도포될 수 있다. 이는 흐름관에 매우 얇은 박층을 증착하거나 흐름관에 박층을 일체로 형성할 수 있는 점에서 유리하다. 이로 인해 매우 적은 양의 질량이 명시된 관의 길이에 걸쳐 분포되어, 드라이브 코일과 함께 적절한 진동으로 흐름관을 구동시키는데 이용된다. 도금된 질량이 작을 뿐 아니라 분포되어 있으면 발생된 출력 정보에 밀도 변화의 효과를 감소시킬 수 있다. 또한, 낮은 도금 질량은 개선된 밀도 정확도를 허용하는 허용 주파수(acceptable frequency)에서 코리올리 질량 유량계가 공진하게 한다.

본 발명의 가능한 일 실시예에 따르면, 흐름관에는 자석 코팅(magnet coating)이 이용되어 내부 N/S 자기장을 갖는 자석과 똑같이 작용한다. 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 흐름관에 연성 자성재료("철성(ferrous)" 또는 "투과성")를 증착하는데 도금 욕조가 사용된다. 철 재료는 드라이버 코일에 의해 끌어 당겨진다. 단일 드라이버 코일을 갖는 이러한 재료를 이용하는 구동 시스템은 종래의 코리올리 질량 유량계의 표준 "푸쉬-풀 시스템"이 아닌 "풀-온리" 타입이다. 그러나 구동 파형의 각 절반에 의해 구동되는 마주하는 드라이브 코일은 흐름관을 구동 주파수에서 반대 방향으로 번갈아 끌어당길 수 있을 것이다. 다른 실시예에 따르면, 흐름관 자체는 내부 N/S 자기장을 갖는 자성재료로 형성될 수 있다.

자성재료의 도금은 전체 흐름관에 연속적으로 제조되거나, 최종 도금 패턴을 형성하는데 사용될 선택적 식각(etching)으로 축방향 부분에만 제조될 수 있다. 철 재료는 또한 합성 흐름관(composite flow tube)으로 제조될 수도 있는데, 합성 흐름관의 철 재료는 흐름관의 외부에 함께 형성되어 선택적으로 식각된다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 흐름관은 직선형이고 흐름관의 축방향 중심부에 증착되는 자성재료를 갖는다. 다른 실시예는 좌측 및 우측 레그, 및 좌측 및 우측 레그의 상부와 연결되는 중앙부를 갖는 U자형 흐름관이다. U자형 흐름관의 중앙부는 중앙부에 증착된 자성재료 층을 갖는다.

직선형 관 실시예 및 U자형 흐름관 실시예는 모두 흐름관이 자성재료의 증착층과 가까운 자석에 의해 진동될 때, 흐름관의 코리올리 반응을 탐지하기 위한 광학 픽-오프를 활용하는 유량계를 포함한다. 다른 실시예에 따르면, 자성 층은 철 재료로 형성되고 단일 드라이브 코일에 의해 풀-온리 모드로 진동된다. 다른 실시예는 연자성 철재료(soft, magnetic ferrous material) 층을 갖는 흐름관이며, 흐름관은 흐름관의 맞은편에 배치된 한 쌍의 코일을 이용하여 푸쉬-풀 모드로 진동된다. 다른 실시예는 흐름관의 축방향 중심부에만 배치된 자성재료를 갖는다. 다른 실시예는 전체 축방향 길이에 자성재료 증착 층을 갖는 흐름관을 포함한다. 다른 실시예는 전체가 자성재료로 형성된 흐름관을 갖는다. 다른 실시예는 흐름관의 전체 축방향 길이에 도포된 자성재료를 갖는다.

다른 실시예에 따르면, 유량계는 상부 중앙에 자성재료가 도포되는 한 쌍의 U자형 흐름관, 흐름관의 각 레그 상의 광학 검출기 및 흐름관들 사이에 배치된 구동 자석을 갖는다. 다른 실시예에서, 코리올리 질량 유량계는 광학 검출기 및 흐름관들 중간에 배치된 드라이버 코일과 함께, 자성재료가 증착된 한 쌍의 직선형 흐름관을 갖는다. 다른 실시예에서, 한 쌍의 직선형 흐름관들은 서로 평행하게 방향이 정해지며 흐름관의 외부에 배치된 자석에 의해 진동된다. 다른 실시예에서, 코리올리 질량 유량계는, 자성이며 구동 자석을 갖는 자성재료로 형성된 평행한 흐름관들 및 이 흐름관들 사이에 배치된 한 쌍의 픽-오프 자석을 갖는다.

따라서 본 발명의 코리올리 질량 유량계는 금속으로 형성된 현행의 코리올리 질량 유량계와 비교하여 크기순으로 더 작고 질량이 더 작은 코리올리 질량 유량계를 제공함으로써 기술에 있어서의 발전을 이룰 수 있음을 알 수 있다. 본 발명은 소형 코리올리 질량 유량계에 관한 것이지만, 전술한 해결책에 의해 설명된 이점들은 대형 센서에도 동일하게 적용 가능하다.

본 발명의 일 양태는,

물질 유동을 수용하며, 상기 물질 유동과 함께 진동함으로써 코리올리 편향을 발생시키는 흐름관 수단,

드라이버 코일,

상기 드라이버 코일에 구동 신호를 인가하여 물질 유동과 함께 상기 흐름관 수단을 진동시키는 미터 일렉트로닉스,

상기 흐름관 수단의 상기 코리올리 편향을 표시하는 픽-오프 신호를 발생시키도록 상기 흐름관 수단에 연결되는 픽-오프 수단, 및

상기 물질 유동을 표시하는 출력 신호의 발생을 위해 상기 미터 일렉트로닉스로 상기 픽-오프 신호를 인가하기 위한 수단을 포함하는, 코리올리 유량계에 있어서,

상기 흐름관 수단이 자성재료로 이루어져 있으며,

상기 드라이버 코일은 상기 구동 신호의 인가에 응답하여 상기 물질이 충진된 상기 흐름관 수단을 진동시키도록 상기 자성재료와 상호작용하는 자기장을 발생시키는 것을 특징으로 하는 코리올리 유량계이다.

상기 자성재료는 상기 흐름관 수단의 외부 표면의 적어도 일 부분에 포함되어 있는 철 재료 층을 포함하는 것이 바람직하다.

상기 자성재료는 상기 흐름관 수단의 전체 축방향 길이보다 짧게 존재하는 것이 바람직하다.

상기 자성재료는 상기 흐름관 수단의 전체 축방향 길이에 존재하는 것이 바람직하다.

상기 자성재료는 상기 흐름관의 적어도 외측 반경 방향 부분에 일체로 형성된 철 재료를 포함하며,

상기 철 재료는 내부 자기장이 없는 것이 바람직하다.

상기 자성재료는 상기 흐름관 수단의 전체 축방향 길이보다 짧게 도포되는 것이 바람직하다.

상기 자성재료는 상기 흐름관 수단의 전체 축방향 길이에 도포되는 것이 바람직하다.

상기 자성재료는 자가(self-contained) 자기장을 갖는 강자성 재료를 포함하는 것이 바람직하다.

상기 자성재료는 상기 흐름관 수단의 전체 축방향 길이보다 짧게 존재하는 외부층을 포함하는 것이 바람직하다.

상기 자성재료는 상기 흐름관 수단의 전체 축방향 길이에 존재하는 외부층을 포함하는 것이 바람직하다.

상기 자성재료는 상기 흐름관 수단의 적어도 외측 반경 방향 부분에 일체로 형성되는 것이 바람직하다.

상기 자성재료는 상기 흐름관 수단의 전체 축방향 길이보다 짧게 일체로 형성되는 것이 바람직하다.

상기 자성재료는 상기 흐름관 수단의 전체 축방향 길이에 일체로 형성되는 것이 바람직하다.

상기 흐름관 수단은 직선형인 것이 바람직하다.

상기 흐름관 수단은 불규칙한 형상인 것이 바람직하다.

상기 흐름관 수단은 U자형인 것이 바람직하다.

상기 픽-오프 수단은 수신된 빛을 전기신호로 변환하는 광 이미터와 광 수신기를 각각 포함하는 제 1 및 제 2 광학 픽-오프를 포함하는 것이 바람직하다.

상기 드라이버 코일은 풀-온리 모드로 상기 흐름관 수단을 진동시키고, 전류가 인가될 때, 상기 풀-온리 모드에서 상기 흐름관 수단의 재료는 상기 드라이버 코일에 자기적으로 부착되고, 전류가 중단될 때 상기 흐름관 수단 고유의 탄성력이 상기 흐름관 수단을 정지 상태로 되돌리는 것이 바람직하다.

상기 드라이버 코일은 제 1 드라이버 코일을 형성하고,

상기 코리올리 유량계는 제 2 드라이버 코일을 더 포함하며,

상기 제 1 드라이버 코일과 상기 제 2 드라이버 코일은 상기 흐름관 수단의 맞은편에 배치되고,

상기 미터 일렉트로닉스는 상기 제 1 드라이버 코일과 상기 제 2 드라이버 코일에 반대 정현파 전류를 인가하여 주기적으로 변화하는 자기장을 발생시키며, 상기 주기적으로 변화하는 자기장은 상기 흐름관 수단을 상기 제 1 드라이버 코일과 상기 제 2 드라이버 코일 사이에서 푸쉬-풀 모드로 주기적으로 진동시키는 것이 바람직하다.

상기 물질 유동의 질량 유량은 10,000g/h보다 작은 것이 바람직하다.

상기 흐름관 수단은 2mm보다 작은 내경을 갖는 것이 바람직하다.

상기 흐름관 수단은 2mm보다 작은 내경을 갖고, 상기 물질 유동의 상기 질량 유량은 10,000g/h보다 작은 것이 바람직하다.

상기 물질 유동의 질량 유량은 10g/h보다 작은 것이 바람직하다.

상기 흐름관 수단은 0.2mm보다 작은 내경을 갖는 것이 바람직하다.

상기 흐름관 수단은 0.2mm보다 작은 내경을 갖고, 상기 물질 유동의 질량 유량은 10g/h보다 작은 것이 바람직하다.

상기 흐름관 수단은 0.9mm보다 작은 내경을 갖는 것이 바람직하다.

상기 흐름관 수단은 0.9mm보다 작은 내경을 갖고, 상기 질량 유량은 10,000g/h보다 작은 것이 바람직하다.

상기 흐름관 수단은 단일 흐름관을 포함하는 것이 바람직하다.

상기 흐름관 수단은 제 1 흐름관 및 상기 제 1 흐름관과 평행한 제 2 흐름관을 포함하고,

상기 드라이버 코일은 상기 제 1 흐름관 및 상기 제 2 흐름관의 중간에 배치되어 반대 위상에서 상기 제 1 흐름관과 상기 제 2 흐름관을 진동시키는 것이 바람직하다.

상기 제 1 흐름관과 상기 제 2 흐름관은 각각 상부 중앙 소자에 의해 연결되어 있는 좌측 레그와 우측 레그를 갖는 U자형상이고,

상기 픽-오프 수단은 상기 흐름관의 상기 코리올리 편향을 표시하는 상기 픽-오프 신호를 발생시키기 위해 상기 흐름관과 인접한 제 1 및 제 2 광학 픽-오프를 포함하는 것이 바람직하다.

상기 드라이버 코일은 상기 상부 중앙 소자의 축방향 중심부에 가까이 배치되는 것이 바람직하다.

상기 자성재료는 내부 자기장을 갖는 강자성 재료를 포함하고,

상기 자성재료의 자기장이 상기 픽-오프에 인가되도록 상기 흐름관의 축방향 길이를 따라 상기 자성재료가 연장되며,

상기 픽-오프는 상기 자성재료의 자기장 및 상기 U자형 흐름관의 상기 코리올리 편향에 반응하여 상기 코리올리 편향을 표시하는 상기 픽-오프 신호를 발생시키는 것이 바람직하다.

상기 픽-오프 수단은 상기 흐름관의 상기 코리올리 편향을 표시하는 상기 출력 신호를 발생시키기 위해 상기 흐름관과 인접한 제 1 및 제 2 광학 픽-오프를 포함하는 것이 바람직하다.

상기 흐름관은 스테인리스 강으로 형성되는 것이 바람직하다.

상기 흐름관 수단은 내부의 N/S 자기장을 갖는 강자성 재료로 형성되고,

상기 픽-오프 수단은 자성 변환기이며,

상기 자성재료는 상기 드라이버 코일 및 상기 자성 변환기와 인접한 상기 흐름관 수단에 축방향으로 연장되며,

상기 흐름관 수단에 채워진 물질의 상기 진동은 상기 자성 변환기에서 상기 코리올리 편향을 표시하는 자기장을 야기하는 것이 바람직하다.

흐름관 수단은 이중 직선형 흐름관을 포함하고,

상기 드라이버 코일은 상기 흐름관들 중간에 배치되며 반대 위상에서 상기 이중 흐름관을 진동시키는데 효과적인 것이 바람직하다.

상기 흐름관은 이중의 평행한 흐름관을 포함하고,

상기 코리올리 유량계는 상기 흐름관의 외부 측면에 배치되고 반대 위상에서 상기 이중 흐름관들을 진동시키는데 효과적인 한 쌍의 드라이버 코일을 더 포함하는 것이 바람직하다.

상기 픽-오프는 광학 픽-오프인 것이 바람직하다.

상기 픽-오프는 자성 변환기인 것이 바람직하다.

상기 드라이버 코일은 푸쉬-풀 모드로 반대위상에서 상기 흐름관 수단을 진동시키는데 효과적이고,

상기 픽-오프 수단은 상기 픽-오프 신호를 발생시키도록 상기 진동하는 흐름관 수단의 자기장과 상호작용하는 자성 변환기를 포함하는 것이 바람직하다.

상기 흐름관 수단은 한 쌍의 상기 직선형 흐름관을 포함하고,

상기 드라이버 코일은 상기 흐름관의 축방향 중앙부와 인접한 상기 흐름관들 중간에 배치되어 반대 위상에서 횡방향으로 상기 흐름관을 진동시키며,

상기 변환기는 상기 드라이버 코일 맞은편의 상기 흐름관 중간에 배치되는 것이 바람직하다.

상기 흐름관 수단은 한 쌍의 U자형 흐름관을 포함하고,

상기 드라이버 코일은 상기 흐름관의 상부 축방향 중앙부에 가까운 상기 흐름관들 사이에 배치되며,

상기 변환기는 상기 드라이버 코일 맞은편의 상기 흐름관들 사이에 배치되는 것이 바람직하다.

본 발명의 전술한 이점 및 다른 특징들은 도면과 함께 하기의 상세한 설명을 참조로 보다 잘 이해된다.

도 1은 직선형 흐름관의 가능한 예시적인 일 실시예를 상세히 나타낸 도면,

도 2는 U자형 흐름관의 예시를 상세히 나타낸 도면,

도 3 및 도 4는 도 1의 직선형 흐름관을 포함하는 코리올리 질량 유량계를 상세히 나타낸 도면,

도 5 및 도 6은 도 2의 U자형 흐름관을 포함하는 코리올리 질량 유량계를 상세히 나타낸 도면,

도 7은 도 3 내지 도 6의 픽-오프를 포함하는 발광다이오드 및 광 수신기를 상세히 나타낸 도면,

도 8은 단일 "풀-온리" 드라이버 코일과 연결된 도 1의 흐름관을 나타낸 도면,

도 9는 "푸시-풀" 타입의 드라이버와 연결된 도 1의 흐름관을 나타낸 도면,

도 10 내지 도 13은 직선형 흐름관의 다른 실시예를 나타낸 도면,

도 14는 본 발명의 이중 U자형 흐름관의 실시예를 나타낸 도면, 및

도 15 내지 도 17은 본 발명의 이중 직선형 흐름관을 나타낸 도면이다.

도 1의 상세한 설명

도 1은 강자성 재료(hard magnetic material) 또는 연철 자성재료(soft ferrous magnetic material)를 포함할 수 있는 자성재료로 둘러싸인 축부를 갖는 중공관(102)을 포함하는 직선형 흐름관(101)을 상세히 나타낸다. 중공관(102)은 좌측 단부(104L)와 우측 단부(104R)를 갖는다. 자성 소자(103)는 직선형 관(102)의 표면에 사용된 도금용 금속(plating)일 수 있다. 도금용 금속은 약 0.0013cm의 두께를 갖는 박층(thin layer)이다. 도금된 소자(103)는 도 11에 도시된 바와 같이 흐름관(102)의 전체 축방향 길이에 도포되거나, 도 1 및 도 10에 도시된 바와 같이 흐름관(102)의 축부 한가운데에 집중될 수도 있다. 가능한 일 실시예에서, 소자(103)는 자석과 똑같이 반응하는 자성 피복재(magnetic coating)일 수 있다. 자성 피복재는 플라즈마 증착 시스템으로 증착될 수 있다. 자성 피복재의 사용으로 소자(103)는 N 또는 S 자기장을 갖는 자석과 똑같이 반응할 수 있다. 또한, 자성 피복재는 "푸쉬-풀(push-pull)" 작용 중에 단일 드라이버 코일(single driver coil)에 의해 흐름관(101)이 진동될 수 있게 한다.

가능한 제 2 실시예에 따르면, 소자(103)는 고유의 N/S 자기장을 갖지 않지만 소자(103)를 코일 쪽으로 당기기만 할 수 있는 단일 코일에 대하여 작동될 수 있는 연철 자성재료를 포함할 수 있다. 이러한 유형의 구동 시스템은 드라이버 코일이 철 재료(103)를 끌어당기기만 할 수 있기 때문에 "풀-온리(pull-only)"라 한다. 철 재료(103)는 코일을 통과하는 전류의 방향에 관계없이 여기된 코일쪽으로 끌린다. 흐름관(101)은 연철(103)을 코일 쪽으로 당기도록, 관련된 드라이버 코일에 전압을 인가함으로써 사용중일 때 진동된다. 흐름관(101)의 고유 탄성(inherent elasticity)은, 드라이버 코일에 통하는 전류가 끊길 때 흐름관이 다시 정지 상태로 굽혀지는데 이용된다. 이러한 유형의 흐름관 및 관련 코일은 도 8에 도시된다.

대안적으로, 흐름관(101)은 도 9에 도시되어 있는 바와 같이, 코일(D1,D2)에 교대로 전압이 인가될 때 흐름관(102)과 소자(103)를 진동시키는 두 개의 드라이버 코일로 작동될 수 있다.

도 2의 상세한 설명

도 2는 흐름관(101)과 유사한 U자형 흐름관(201)을 나타낸다. U자형 흐름관(201)은, 관(202)의 상부 중앙부(202C)에 연결된 자성 소자(203)와 함께 좌측(202L) 및 우측(202R)을 갖는 관 소자(202)를 포함한다. U자형 관(202)은 하부 좌측 말단(204L) 및 하부 우측 말단(204R)을 갖는다. 사용중 일 때, 흐름관(202)은 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이 자성 소자(203)와 관련 드라이버 코일 사이의 자기적 상호작용(magnetic interaction)에 의해 진동된다.

도 3 및 도 4의 상세한 설명

도 3 및 도 4는 코리올리 질량 유량계(300)에 포함된 흐름관(101)을 나타낸다. 코리올리 질량 유량계(300)는 흐름관 조립체(101)를 포함하며, 흐름관 조립체는 흐름관(102), 자성재료(103), 드라이버 코일(D), 좌측 픽-오프(LP0), 우측 픽-오프(RP0), 좌측 플랜지 또는 좌측 프로세스 연결부(process connection,105) 및 우측 플랜지 또는 우측 프로세스 연결부(106)를 포함한다. 코리올리 질량 유량계(300)는 미터 일렉트로닉스(meter electronics,321)를 더 포함하는데, 미터 일렉트로닉스의 도선(306,307)은 풀-온리 모드로 흐름관(101)을 진동시키도록 드 라이버 코일(D)을 제어 가능하게 인가시키고, 풀-온리 모드로 인가된 코일(D)에 통하는 전류는 드라이버 코일(D)에 통하는 전류가 끊길 때 흐름관(101)을 정지 상태로 복원시키는 흐름관(101) 본래의 탄성력에 의해 드라이버 코일 쪽으로 흐름관(101)을 편향시킨다.

처리되어야 할 물질 유동은 도시되지 않은 재료 공급원으로부터 프로세스 연결부(105)에 의해 수용된다. 재료는 흐름관(102)을 통해 코리올리 질량 유량계로부터 나가는 프로세스 연결부(106)를 향하여 오른쪽으로 흐른다. 물질 유동과 더불어 드라이버 코일(D)에 의한 흐름관(102)의 진동은 흐름관(102)에 코리올리 편향(Coriolis deflections)을 야기한다. 이러한 편향은 픽-오프(LP0,RP0)에 의해 검출되어 전기신호로 변환된다. 전기신호는 경로(304,305,308,309)를 통해 미터 일렉트로닉스(321)에 인가되고, 미터 일렉트로닉스는 신호를 처리하여 물질 유동에 관한 정보를 발생시킨다. 정보는 출력 경로(322)를 통하여, 도시되지 않은 이용회로(utilization circuit)에 사용된다. 미터 일렉트로닉스(321)는 도면의 복잡성을 최소화하기 위해 도 3에만 도시된다.

드라이버 코일(D)은 도선(306,307)에 의해 간헐적으로 인가될 때, 인가된 코일(D)이 흐름관(102)을 간헐적으로 끌어당기는 "풀-온리" 모드로 흐름관(102)을 진동시킨다. 흐름관(102)은 코일(D)에 통하는 전류가 각각 중지되면 고유의 탄성력으로 인해 정지 상태로 복귀된다. 드라이버 코일(D)은 도 4에 도시되어 있는 바와 같이 흐름관을 상하로 진동시킨다. 도 3에 도시된 흐름관(102)은 도 3 지면에 대해 안팎으로 진동한다. 도 7에 도시되어 있는 바와 같이, 픽-오프(LP0,RP0)는 발광다이오드(LED,701) 및 광 수신기(702)를 포함하는 광학 픽-오프인 것이 유리하다. 흐름관(102)은 드라이버 코일(D)의 영향하에서 진동함으로써, LED(701)로부터 광 수신기(702)를 향해 전달된 광선(703)을 저지하고 조정한다. 광 수신기(702)는 수신된 광파의 패턴을 출력신호로 바꾸고, 출력신호는 경로(304,305,308,309)를 통해 미터 일렉트로닉스(321)로 전달된다.

도 5 및 도 6의 상세한 설명

도 5 및 도 6은 각각 코리올리 질량 유량계(500)에 구현된, 도 2 흐름관(201)의 정면도 및 사시도를 나타낸다. U자형 흐름관(202)의 레그(202L,202R)는 프로세스 연결부(501)에서 물질 유동을 수용하는 매니폴드(503)에 부착되며, 레그(202L)를 통해 수용된 유동을 연장시키고, 중앙부(202C)와 우측 레그(202R)를 통해 더 연장시키며, 그 과정에서 물질 유동은 매니폴드(503)의 출력단(output end)에 의해 수용되어 우측 프로세스 연결부(502)에 적용된다. 드라이버 코일(D)은 도 3 및 도 4의 코리올리 질량 유량계(300)에 관하여 설명된 것과 유사한 방식인 "풀-온리" 모드로 흐름관(202C)을 진동시킨다. 물질 유동과 함께 흐름관(202)의 진동은 흐름관(202)의 코리올리 편향을 야기하는데, 코리올리 편향은 픽-오프(LP0,RP0)에 의해 검출되어 도선(304,305,308,309)을 통해 미터 일렉트로닉스(321)에 이용되며, 미터 일렉트로닉스는 신호를 처리하여 물질 유동에 관한 출력 정보를 발생시킨다. 이러한 출력 정보는 경로(322)를 통하여, 도시되지 않은 이용회로로 도달한다.

도 5 및 도 6의 코리올리 질량 유량계는 물질이 충진된 흐름관의 질량 대 드라이버 및 픽-오프의 질량의 비가 10 대 1을 충족하도록 제작되어 제공된다. 이러한 일 실시예는 0.2mm의 내경과 10g/h의 유량을 갖는 흐름관을 포함한다. 제 2 실시예는 0.9mm의 내경과 10,000g/h의 유량을 갖는 흐름관을 포함한다.

도 8 및 도 9의 상세한 설명

흐름관(102)은 도 8에 도시되어 있는 바와 같이 흐름관에 결합된 단일 드라이버 코일(D)을 이용해 "풀-온리" 진동모드로 작동된다. "풀-온리" 모드에서, 드라이버 코일(D)을 지나는 전류는 본래의 정지상태로부터 흐름관(102)을 끌어당긴다. 유동이 정지하면 흐름관(102) 고유의 탄성력에 의해 흐름관이 정지 상태로 복원된다. 대안적으로, 도 9에 도시되어 있는 바와 같이, 흐름관(102)은 한 쌍의 드라이버 코일(D1,D2)을 이용해 "푸쉬-풀" 모드로 진동될 수도 있다. "푸쉬-풀" 모드에서, 코일(D1)을 지나는 전류는 소자(103)와 흐름관(102)을 위쪽으로 편향시킨다. 드라이버 코일(D1)을 지나는 전류와 더불어 드라이버 코일(D2)을 지나는 전류의 정지는 소자(103)와 흐름관(102)을 아래쪽으로 편향시킨다. 도 9에 도시되어 있는 바와 같이, 드라이버 코일(D1,D2)의 이러한 교류의 인가(energization) 및 비인가(de-energization)는 흐름관(102)을 횡방향으로 진동시키는 교류 자기장을 발생시킨다. 도 8의 실시예는 드라이버 코일(D)이 인가되지 않을 때 흐름관(102) 구조 본래의 탄성력이 흐름관(102)을 정지 상태로 복원시키기에 적합한 경우에 이용될 수도 있다. 도 9의 "푸쉬-풀" 실시예는 흐름관의 길이방향 출구를 가로지르는 각 방향에서 자기장의 영향을 받아 진동되는 것이 바람직한 경우에 이용될 수도 있다. U자형 흐름관(202)은 "풀-온리" 또는 "푸쉬-풀" 모드로 유사하게 작동될 수 있다. 도 9의 도선(306A,307A)은 미터 일렉트로닉스(321)에 연결된다.

도 10 내지 도 13의 상세한 설명

도 10 내지 도 13은 흐름관(101,202)을 도포하는데 사용될 수 있는 상이한 대안적 구조를 도시한다. 도 10은 자성재료가 흐름관(1000)의 축방향 중심부(1002)에 일체로 형성되는 흐름관을 도시한다. 단부(1001,1003)는 자성재료를 포함하지 않는다. 도 11의 실시예는, 자성재료가 전체 흐름관 길이에 대해 일체로 형성되는 것을 표시하기 위해 흐름관(1100) 전체를 어둡게 한 점에서, 도 10의 실시예와 상이하다. 도 11 흐름관(1100)의 자성재료는 연성(soft) 또는 경성(hard) 타입일 수 있다. 흐름관(1100)은 또한 내부 N/S 자기장을 갖는 강 또는 스테인리스 강 400과 같은 재료로 전체가 형성될 수도 있다. 도 12는 자성재료가 흐름관의 표면에 막으로 도포된 실시예를 도시한다. 도 12에서, 자성재료(1202)는 흐름관의 중심부에 도포되지만 단부(1201,1203)는 자성재료를 갖지 않는다. 도 13의 실시예는, 흐름관이 전체 흐름관 길이의 표면에 도포된 자성재료(1301)를 갖는 점에서, 도 12의 실시예와 상이하다. 도 10 내지 도 13의 흐름관의 자성재료는 연성 또는 경성 타입일 수 있다.

도 10 내지 도 13은 도 1의 직선형 관(101)에 대한 대안적인 실시예를 나타낸다. U자형 관(203)은 자성재료가 흐름관의 전체 또는 전체보다 적게 일체로 형성될 수 있는 범위 내에서 유사한 실시예들을 가질 수 있다. 대안적으로, 자성재료는 도 2의 U자형 전제 흐름관(203)의 길이 또는 전체보다 짧은 길이의 표면에 증착될 수 있다. 대안적으로, 도 2의 U자형 흐름관은 내부 N/S 자기장을 갖는 강 또는 스테인리스 강 400과 같은 재료로 형성될 수도 있다.

본 발명에 사용된 "자성재료"는 고유의 N/S 자기장을 갖지 않는 "연성" 연철재료로 사용된다. 영구 N/S 자기장을 가질 수 있는 강자성 재료로 사용될 수도 있다.

도 14의 상세한 설명

도 14는 본 발명을 구체화하는 이중 U자형 흐름관 코리올리 질량 유량계(1400)를 나타낸다. 코리올리 질량 유량계(1400)는, 도 14의 코리올리 유량계가 한 쌍의 U자형 흐름관(1402-1,1402-2)들을 갖는 것 외에는, 도 6의 단일 U자형 흐름관 코리올리 유량계와 유사하다. 드라이버 코일(D)은 두 개의 흐름관들 중간에 배치된다. 흐름관 상부 소자의 축방향 중앙부분에 있는 자성재료는 1403-1 및 1403-2로 지시된다. 자성재료는 경성 또는 연성 타입일 수 있다. 자성재료가 연성 타입인 경우 드라이버 코일(D)은, 전류가 흐를 때 드라이버 코일(D)에 끌어 당겨지는 흐름관들과 반대 위상에서 두 개의 흐름관들을 진동시키고, 전류가 흐르지 않을 때 고유의 탄성력으로 인해 정상 정지 상태로 되돌려진다. 자성재료가 내부 N/S 자기장을 갖는 경성 타입인 경우, 드라이버 코일(D)은 반대 위상에서 양방향으로 두 개의 흐름관들을 진동시킬 수 있다. 픽-오프(LP0,RP0)는 광 이미터(light emitter)와 광 수신기를 포함한다. 광 이미터와 광 수신기는 공지된 방법으로 작동하여 두 흐름관들의 진동을 나타내는 출력 신호를 발생시킨다. 출력 신호는 흐름관들의 진동 상태에 응답하는 광 수신기에 의해 수용된 빛의 양에 따라 조절된다. 미터 일렉트로닉스(321)까지 이어진 출력 도선(304,305,308,309,306,307)들은 도 6으로 설명된 것과 동일하게 표시된다. 도선들의 기능은 드라이버(D)를 제어하여 물질이 유동하는 흐름관들의 공진 주파수(resonant frequency)에서 두 개의 흐름관들을 진동시키는 것이다. 도선들의 기능은 또한 픽-오프 출력 신호를 미터 일렉트로닉스(321)로 연장하여 물질 유동에 관한 정보를 발생시키고 이러한 정보를 경로(322)를 통해 도시되지 않은 이용회로로 연장시키는 것이다. 매니폴드(503)는 도 6에 관하여 기술된 것과 동일한 방식으로 작동한다. U자형 흐름관의 좌측 레그들은 1402L1과 1402L2로 지시된다. 우측 레그들은 1402R1과 1402R2로 지시된다. 흐름관들의 상부 소자는 1402C1과 1402C2로 지시된다.

도 15 및 도 16의 상세한 설명

도 15 및 도 16은 이중 직선관 코리올리 질량 유량계(1500,1600)를 나타낸다. 도 15의 실시예는 반대 위상에서 흐름관들을 진동시키기 위해 두 개의 진동관들 중간에 배치된 단일 드라이버 코일(D)을 이용한다. 흐름관 소자(1503-1,1503-2)가 연자성 재료를 포함할 때, 드라이버 코일(D)은 풀-온리 모드를 이용해 반대 위상에서 흐름관들을 진동시키는데 효과적이다. 풀-온리 모드에서, 흐름관들은 전류가 인가될 때에만 드라이버 코일(D)에 끌어 당겨진다. 전류 흐름이 멈출 때, 흐름관들은 고유 탄성력으로 인해 정지 상태로 되돌아간다. 자성재료가 내부 N/S 자기장을 갖는 경성 타입일 때, 드라이버 코일(D)은 "푸쉬-풀" 모드로 흐름관들을 진동시키는 것이 효율적이다. 픽-오프(RP0 상부 및 RP0 하부)뿐 아니라, 픽-오프(LP0 상부 및 LP0 하부)는 흐름관들의 진동 상태를 나타내는 픽-오프 신호를 발생시키기 위해 도 14에서 도시되어 설명된 바와 같은 광학 타입일 수도 있다. 픽-오프 신호는 도 14로 설명된 것과 동일한 방식으로 미터 일렉트로닉스(321)에 전달된다.

도 15 및 도 16의 실시예는 개구(1508)로 물질 유동을 수용하는 좌측 입력 매니폴드(1505)를 포함한다. 도 10 및 도 15의 실시예는 흐름관의 우측에 연결되며 코리올리 질량 유량계에 의해 물질이 방출되는 출력(1509)을 갖는 출력 매니폴드(1506)를 더 포함한다.

도 16은 D1 및 D2로 지시된 한 쌍의 드라이버 코일의 제공만이 도 15의 실시예와 상이하다. 이러한 드라이버 코일(D1,D2)은 미터 일렉트로닉스(321)의 제어에 따라 반대 위상에서 두 개의 흐름관을 진동시키는 기능을 한다. "풀-온리" 모드는 자성재료가 연성 타입일 때 이용된다. "푸쉬-풀" 모드는 자성재료가 경성 타입일 때 이용된다.

도 17의 상세한 설명

도 17은 흐름관이 내부 N/S 자기장을 갖는 마그넷 강(magnetic steel)으로 만들어지는 이중 직선관 코리올리 질량 유량계를 나타낸다. 이러한 유형의 강은 스테인리스 강 400 또는 내부 자기장을 가질 수 있는 통상적인 강일 수 있다. 전술한 강을 사용하면, 개별적 자화코팅(magnetic coating) 또는 자성재료가 내부 또는 외부에 불필요하다. 대신, 전술한 강으로 만들어진 흐름관의 내부 자기장이 이용될 수 있다. 도 17에 도시되어 있는 바와 같이, 단일 드라이버 코일(D)은 미터 일렉트로닉스(321)에 의해 제어되어 반대 위상에서 두 개의 흐름관(1703-1,1703-2)을 진동시킨다. 두 개의 흐름관들의 진동상태는 자성 픽-오프(LP0,RP0)에 의해 탐지되며, 자성 픽-오프는 물질 유동과 함께 흐름관을 진동시켜 발생된 코리올리 편향을 포함하여 흐름관의 진동을 표시하는 미터 일렉트로닉스(321)로 신호를 보낸다. 도 17의 코리올리 질량 유량계의 이점은 외부 자화코팅재(external magnetic coating)의 증착 또는 흐름관에 자성재료를 추가하기 위한 특수한 제조기술의 사용이 불필요하다는 것인데, 이는 흐름관이 자체의 자기장을 갖는 재료로 형성되기 때문이다. 도 5, 6 및 도 14에 도시되어 있는 바와 같이, U자 형상을 갖는 코리올리 질량 유량계는 강성 또는 연성 자화코팅재 대신 마그넷 강을 이용하여 흐름관/흐름관들이 형성하도록 제공될 수 있다. 도 17에 도시된 바와 같이, 이중 U자형 관의 실시예는, 물질 유동으로부터 코리올리 편향을 포함하는 흐름관의 편향을 탐지하기 위한 픽-오프로 자성 변환기(magnetic transducers)를 이용하는 "푸쉬-풀" 모드로 흐름관/흐름관들을 진동시키는 드라이버 코일을 사용한다.

청구된 발명은 특정 실시예의 설명에 한정되지 않지만 본 발명의 사상과 범주 내의 다른 수정 및 변경을 포함하는 것이 명백히 이해된다. "연자성 재료" 또는 "철재료"는 자기장에 의해 끌어 당겨지지만 자체의 내부 N/S 자기장을 갖지 않는 특징적 재료로서 이해될 것이다.

"연성" 또는 "경성 자성재료"는 모두 이미 형성된 흐름관에 코팅재, 피막(film) 또는 외부 층으로 도포되거나, 연성 또는 경성 자성재료로서 기능하는 통합 구조를 형성하도록 제조될 때 흐름관과 결합될 수도 있다.

본 발명에 사용된 "물질" 및 "물질 유동"은 플러리(flurries), 플라즈마, 가스 등과 같이 유동하는 어떤 물질뿐만 아니라 액체 등과 같은 물질을 포함하는 것으로 이해될 것이다. 또한, 본 발명은 소형 흐름관 및 저유량을 갖는 소형 코리올리 질량 유량계의 이용에 특히 유리하지만, 본 발명의 원리는 어떠한 크기 및 어떠한 재료로 형성된 유량계에라도 유리하게 적용 가능함이 이해될 것이다.

Claims

물질 유동을 수용하며, 상기 물질 유동과 함께 진동함으로써 코리올리 편향을 발생시키는 흐름관 수단(102),

드라이버 코일(D),

상기 드라이버 코일(D)에 구동 신호를 인가하여 물질 유동과 함께 상기 흐름관 수단을 진동시키는 미터 일렉트로닉스(321),

상기 흐름관 수단의 상기 코리올리 편향을 표시하는 픽-오프 신호를 발생시키도록 상기 흐름관 수단에 연결되는 픽-오프 수단(LP0,RP0), 및

상기 물질 유동을 표시하는 출력 신호의 발생을 위해 상기 미터 일렉트로닉스로 상기 픽-오프 신호를 인가하기 위한 수단(304,305,308,309)을 포함하는, 코리올리 유량계에 있어서,

상기 흐름관 수단이 자성재료(103,203)로 이루어져 있으며,

상기 드라이버 코일이 상기 구동 신호의 인가에 응답하여 상기 물질이 충진된 흐름관 수단을 진동시키도록 상기 자성재료와 상호작용하는 자기장을 발생시키는 것을 특징으로 하는,

코리올리 유량계.
제 1 항에 있어서,

상기 자성재료(103,203)가 상기 흐름관 수단의 외부 표면의 적어도 일 부분에 포함되어 있는 철 재료 층을 포함하는 것을 특징으로 하는,

코리올리 유량계.
제 2 항에 있어서,

상기 자성재료(103,203)가 상기 흐름관 수단의 전체 축방향 길이보다 짧게 존재하는 것을 특징으로 하는,

코리올리 유량계.
제 2 항에 있어서,

상기 자성재료(103,203)가 상기 흐름관 수단의 전체 축방향 길이에 존재하는 것을 특징으로 하는,

코리올리 유량계.
제 1 항에 있어서,

상기 자성재료(103,203)가 상기 흐름관의 적어도 외측 반경 방향 부분에 일체로 형성된 철 재료를 포함하며,

상기 철 재료는 내부 자기장이 없는 것을 특징으로 하는,

코리올리 유량계.
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제 1 항에 있어서,

상기 자성재료(103,203)가 자가 자기장을 갖는 강자성 재료를 포함하는 것을 특징으로 하는,

코리올리 유량계.
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청구항 11은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 8 항에 있어서,

상기 자성재료(103,203)가 상기 흐름관 수단의 적어도 외측 반경 방향 부분에 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는,

코리올리 유량계.
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청구항 17은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 1 항에 있어서,

상기 픽-오프 수단이 수신된 빛을 전기신호로 변환하는 광 이미터와 광 수신기를 각각 포함하는 제 1 및 제 2 광학 픽-오프(700)를 포함하는 것을 특징으로 하는,

코리올리 유량계.
제 1 항에 있어서,

상기 드라이버 코일(D)이 풀-온리 모드로 상기 흐름관 수단을 진동시키고, 상기 풀-온리 모드에서 전류가 인가될 때 상기 흐름관 수단의 재료가 상기 드라이버 코일에 자기적으로 부착되며, 전류가 중단될 때 상기 흐름관 수단 고유의 탄성력이 상기 흐름관 수단을 정지 상태로 되돌리는 것을 특징으로 하는,

코리올리 유량계.
제 1 항에 있어서,

상기 드라이버 코일이 제 1 드라이버 코일(D1)을 형성하고,

상기 코리올리 유량계가 제 2 드라이버 코일(D2)을 더 포함하며,

상기 제 1 드라이버 코일과 상기 제 2 드라이버 코일이 상기 흐름관 수단의 맞은편에 배치되고,

상기 미터 일렉트로닉스가 상기 제 1 드라이버 코일과 상기 제 2 드라이버 코일에 반대 정현파 전류를 인가하여 주기적으로 변화하는 자기장을 발생시키며, 상기 주기적으로 변화하는 자기장은 상기 흐름관 수단을 상기 제 1 드라이버 코일과 상기 제 2 드라이버 코일 사이에서 푸쉬-풀 모드로 주기적으로 진동시키는 것을 특징으로 하는,

코리올리 유량계.
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청구항 29은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 1 항에 있어서,

상기 흐름관 수단이 제 1 흐름관(1402C1) 및 상기 제 1 흐름관과 평행한 제 2 흐름관(1402C2)을 포함하고,

상기 드라이버 코일이 상기 제 1 흐름관 및 상기 제 2 흐름관의 중간에 배치되어 반대 위상에서 상기 제 1 흐름관과 상기 제 2 흐름관을 진동시키는 것을 특징으로 하는,

코리올리 유량계.
청구항 30은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 29 항에 있어서,

상기 제 1 흐름관과 상기 제 2 흐름관이 각각 상부 중앙 소자에 의해 연결되어 있는 좌측 레그와 우측 레그를 갖는 U자 형상이고,

상기 픽-오프 수단이 상기 흐름관의 상기 코리올리 편향을 표시하는 상기 픽-오프 신호를 발생시키기 위해 상기 흐름관과 인접한 제 1 및 제 2 광학 픽-오프를 포함하는 것을 특징으로 하는,

코리올리 유량계.
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청구항 32은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 29 항에 있어서,

상기 자성재료가 내부 자기장을 갖는 강자성 재료를 포함하고,

상기 자성재료의 자기장이 상기 픽-오프(LP0,RP0)에 인가되도록 상기 흐름관의 축방향 길이를 따라 상기 자성재료가 연장되며,

상기 픽-오프(LP0,RP0)가 상기 자성재료의 자기장 및 상기 U자형 흐름관의 상기 코리올리 편향에 반응하여 상기 코리올리 편향을 표시하는 상기 픽-오프 신호를 발생시키는 것을 특징으로 하는,

코리올리 유량계.
청구항 33은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 29 항에 있어서,

상기 픽-오프 수단이 상기 흐름관의 상기 코리올리 편향을 표시하는 상기 출력 신호를 발생시키기 위해 상기 흐름관과 인접한 제 1 및 제 2 광학 픽-오프(700)를 포함하는 것을 특징으로 하는,

코리올리 유량계.
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제 1 항에 있어서,

상기 흐름관 수단이 내부의 N/S 자기장을 갖는 강자성 재료로 형성되고,

상기 픽-오프 수단(LP0,RP0)이 자성 변환기이며,

상기 자성재료가 상기 드라이버 코일 및 상기 자성 변환기와 인접한 상기 흐름관 수단에 축방향으로 연장되며,

상기 흐름관 수단에 충진된 물질의 진동이 상기 자성 변환기의 상기 코리올리 편향을 표시하는 자기장을 야기하는 것을 특징으로 하는,

코리올리 유량계.
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제 1 항에 있어서,

상기 드라이버 코일(D)이 푸쉬-풀 모드로 반대위상에서 상기 흐름관 수단(1703-1,1703-2)을 진동시키는데 효과적이고,

상기 픽-오프 수단이 상기 픽-오프 신호를 발생시키도록 상기 진동하는 흐름관 수단의 자기장과 상호작용하는 자성 변환기를 포함하는 것을 특징으로 하는,

코리올리 유량계.
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