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KR100891406B1 - Method of erasing for non-Volatile Memory device - Google Patents

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KR100891406B1
KR100891406B1 KR1020070079477A KR20070079477A KR100891406B1 KR 100891406 B1 KR100891406 B1 KR 100891406B1 KR 1020070079477 A KR1020070079477 A KR 1020070079477A KR 20070079477 A KR20070079477 A KR 20070079477A KR 100891406 B1 KR100891406 B1 KR 100891406B1
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주식회사 하이닉스반도체
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Abstract

본 발명은 불휘발성 메모리 소자의 소거 방법에 관한 것으로, 멀티 레벨 셀을 포함하는 블록을 하나 이상 포함하는 메모리 셀 어레이를 포함하는 불휘발성 메모리 소자의 소거 방법에 있어서, 소거를 위해 선택된 블록의 모든 멀티 레벨 셀에 대한 프로그램을 수행하여, 모든 멀티 레벨 셀의 문턱전압 레벨을 최상위 레벨로 이동시키는 프리 프로그램 단계; 상기 프리 프로그램된 메모리 블록에 대한 소거 동작 및 검증을 수행하는 하드(hard) 소거 검증 단계; 상기 소거된 멀티 레벨 셀의 모든 워드라인에 대한 소프트 프로그램 및 검증을 수행하는 제 1 소프트 프로그램 및 검증 단계; 및 상기 제 1 소프트 프로그램이 패스되면, 반복적으로 모든 워드라인에 대해 설정된 레벨 단위로 나누어 소프트 프로그램 및 검증을 수행하는 제 n 소프트 프로그램 및 검증 단계를 포함한다.The present invention relates to a method of erasing a nonvolatile memory device, comprising: a method of erasing a nonvolatile memory device including a memory cell array including at least one block including a multi-level cell, wherein all multi-blocks of the selected block are erased. Performing a program for the level cells to move the threshold voltage levels of all the multi-level cells to the highest level; A hard erase verification step of performing an erase operation and a verification on the preprogrammed memory block; A first soft program and verify step of performing soft program and verify on all word lines of the erased multi-level cell; And an nth soft program and a verification step of performing a soft program and verification by repeatedly dividing the first soft program into levels set for all word lines.

MLC, 소프트 프로그램 MLC, Soft Program

Description

불휘발성 메모리 소자의 소거 방법{Method of erasing for non-Volatile Memory device}Method of erasing nonvolatile memory device {Method of erasing for non-Volatile Memory device}

본 발명은 불휘발성 메모리 소자(Non-Volatile Memory Device)의 소거 동작에 관한 것으로, 특히 멀티 레벨 셀(Multi Level Cell; MLC)을 가지는 메모리 소자의 소거 동작이후의 셀 분포 특성을 향상시키기 위한 불휘발성 메모리 소자의 소거 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an erase operation of a non-volatile memory device, and in particular, to improve cell distribution characteristics after an erase operation of a memory device having a multi-level cell (MLC). A method of erasing a memory device.

최근에는 이러한 플래시 메모리의 집적도를 더욱 향상시키기 위해 한 개의 메모리 셀의 복수개의 데이터를 저장할 수 있는 다중 비트 셀에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 이러한 방식의 메모리 셀을 통상 멀티 레벨 셀(Multi Level Cell; MLC)라고 한다. 이와 대비되는 단일 비트의 메모리 셀을 싱글 레벨 셀(Single Level Cell; SLC)이라 한다.Recently, in order to further improve the density of such flash memories, studies on multiple bit cells capable of storing a plurality of data of one memory cell have been actively conducted. This type of memory cell is commonly referred to as a Multi Level Cell (MLC). In contrast, a single bit memory cell is referred to as a single level cell (SLC).

상기한 MLC는 상술한 바와 같이 복수 비트의 데이터를 저장하기 위해 복수의 셀 전압 레벨을 가지게 되며, 각각의 셀 문턱전압에 따라 데이터가 다르게 저장됨을 의미한다.As described above, the MLC has a plurality of cell voltage levels for storing a plurality of bits of data, and means that data is stored differently according to each cell threshold voltage.

따라서 복수개의 레벨로 나뉘어 분포하는 셀의 문턱전압에 대해 소거동작을 수행할 때는 다음의 과정을 거친다.Therefore, when the erase operation is performed on the threshold voltage of a cell divided into a plurality of levels, the following process is performed.

먼저, 복수개로 나뉘어 분포하는 셀 문턱전압을 가장 높은 전압 레벨의 셀 분포로 한꺼번에 모으기 위해 프리 프로그램 과정을 수행한다.First, a preprogram process is performed to collect cell threshold voltages that are divided into a plurality of cells into a cell distribution having the highest voltage level.

도 1a는 불휘발성 메모리 소자의 소거를 위한 프리 프로그램 시 전압인가 모습을 나타낸 회로도이다.1A is a circuit diagram illustrating a voltage application during preprogramming for erasing a nonvolatile memory device.

도 1a를 참조하면, 프리 프로그램 과정을 위해서는 모든 셀의 워드라인(Word Line; WL)에 프로그램 전압(Vpgm)을 인가하고, 드레인 선택 트랜지스터(Drain Select Transistor; DST)의 DSL(Drain Select Line; DSL)에 전원전압(VDD)을 인가하며, 소오스 선택 트랜지스터(Source Select Transistor; SST)의 소오스 선택 라인(Source Select Line; SSL)에는 0V를 인가한다. 그리고 기판에는 0V를 인가한 후, 공통 접지라인에 전원전압(VDD)을 인가하여 블록단위의 프로그램을 수행한다.Referring to FIG. 1A, a program voltage Vpgm is applied to a word line WL of all cells and a drain select line (DSL) of a drain select transistor (DST) for a pre-program process. The power supply voltage VDD is applied, and 0V is applied to the source select line SSL of the source select transistor SST. After 0V is applied to the substrate, a power supply voltage VDD is applied to the common ground line to perform a block unit program.

상기 블록단위는 복수개의 워드라인을 포함하며, 일반적인 불휘발성 메모리 소자는 상기의 블록을 복수개 포함하는 메모리 셀 어레이(미도시)를 포함한다. 단, 상기 도 1a는 프리 프로그램시의 전압인가를 표시하기 위해 일부 스트링만을 도시한 도면이다.The block unit includes a plurality of word lines, and a general nonvolatile memory device includes a memory cell array (not shown) including a plurality of the above blocks. FIG. 1A is a diagram illustrating only a portion of strings to indicate voltage application during preprogramming.

상술한 바와 같이 전압을 인가하고, 프로그램 동작을 수행하면, 앞서 언급한 바와 같이 모든 셀들이 상위 전압 레벨의 셀 분포로 모이게 된다.As described above, when the voltage is applied and the program operation is performed, all the cells are collected in the cell distribution of the higher voltage level as mentioned above.

그리고 하나로 모인 셀 분포에 대해 소거 동작을 수행한다.The erase operation is performed on the cell distributions.

도 1b는 불휘발성 메모리 소자의 소거를 위한 전압 인가 모습을 나타낸 회로도이다.1B is a circuit diagram illustrating a voltage application for erasing a nonvolatile memory device.

도 1b를 참조하면, 소거를 위해서는 DSL과 SSL을 플로팅(floating) 시키고, 모든 워드라인(WL)에 0V를 인가한 후, 기판(Well)에 20V의 고전압을 인가한다. 이와 같은 전압이 인가되면, 해당 블록의 모든 메모리 셀들의 데이터는 소거가 되며, 셀의 문턱전압도 0V 이하로 떨어진다. 이때 메모리 셀들의 특성에 따라 과도하게 소거가 된 경우는, 원하는 셀 문턱전압에 훨씬 못 미치게 문턱전압이 떨어지게 된다.Referring to FIG. 1B, for erasing, the DSL and SSL are floated, 0 V is applied to all word lines WL, and a high voltage of 20 V is applied to the substrate Well. When such a voltage is applied, the data of all the memory cells of the block are erased, and the threshold voltage of the cell also falls below 0V. At this time, if the erase is excessively performed according to the characteristics of the memory cells, the threshold voltage falls far below the desired cell threshold voltage.

이를 보정하기 위해 소프트 프로그램을 수행한다.To correct this, run a soft program.

도 1c는 불휘발성 메모리 소자의 소거를 위한 소프트 프로그램 시 전압 인가 모습을 나타낸 회로도이다.1C is a circuit diagram illustrating a voltage application during soft program for erasing a nonvolatile memory device.

도 1c를 참조하면, 소프트 프로그램을 위해서는 기판에는 0V를 인가하고, DSL에는 전원전압(VDD)을, SSL에는 0V를 인가한다. 그리고 모든 워드라인(WL)에 프로그램전압(Vpgm)을 인가하여 과도하게 낮아진 문턱전압을 0V 이하이면서 너무 낮은 전압이 되지 않도록, 즉 원하는 좁은 넓이의 셀 분포를 가지도록 프로그램한다. 이때 프로그램 전압(Vpgm)은 낮은 전압으로 0V 이상으로 셀들이 프로그램되지 않도록 한다.Referring to FIG. 1C, 0 V is applied to a substrate, a power supply voltage VDD is applied to a DSL, and 0 V is applied to an SSL for a soft program. The program voltage Vpgm is applied to all word lines WL so that the excessively lowered threshold voltage is 0V or less and is not too low, that is, programmed to have a desired cell width. At this time, the program voltage Vpgm is a low voltage so that cells are not programmed above 0V.

상기 도 1c와 같이 소프트 프로그램이 수행된 이후에는 검증이 수행된다.After the soft program is performed as shown in FIG. 1C, verification is performed.

도 1d는 도 1c의 소프트 프로그램 이후의 검증 동작을 위한 전압 인가 모습을 나타낸 회로도이다.FIG. 1D is a circuit diagram illustrating a voltage application for the verify operation after the soft program of FIG. 1C.

도 1d를 참조하면, 검증 동작은 블록단위의 컬럼 바이 컬럼(Column by Column)으로 수행되는데, 각 컬럼별로 DSL과 SSL은 전원전압(VDD)을 인가하고, 모 든 워드라인에 0V를 인가하여 독출동작을 수행함으로써 제대로 소프트 프로그램이 되었는지를 판단한다. 이때 소프트 프로그램이 패스된 것으로 판단하는 것은, 하나의 메모리 셀이라도 검증 전압에 대해 패스되면, 해당 메모리 셀을 포함하는 컬럼 전체를 패스 된것으로 판단한다.Referring to FIG. 1D, the verifying operation is performed by a column by column in a block unit. DSL and SSL apply a power supply voltage (VDD) to each column and apply 0V to all word lines. It is determined whether the program is properly executed by performing the operation. At this time, the determination that the soft program has passed is determined that even if one memory cell passes the verification voltage, the entire column including the memory cell is passed.

상기한 방식으로 멀티 레벨 셀의 소거 동작을 수행하면, 블록단위로 셀 소거를 수행한 후, 컬럼 단위로 검증을 하기 때문에 소거가 완료되었을 때의 셀 분포가 좁아지지 않아 프로그램 동작을 수행할 때, 간섭효과를 통해 주변의 셀 문턱전압에 영향을 끼쳐 전체적인 셀 분포 특성을 넓게 만든다.When the erase operation of the multi-level cell is performed in the above-described manner, since the cell erase is performed in units of blocks and the unit is verified in units of columns, the cell distribution when the erasing is completed is not narrowed. The interference effect affects the surrounding cell threshold voltage, which widens the overall cell distribution characteristics.

이러한 문제를 해결하기 위해 비트 바이 비트(Bit by Bit)로 검증동작을 수행할 수 있으나, 비트 바이 비트 방식을 사용하는 경우 검증 시간이 오래 소요되어 전체적인 효율을 떨어뜨릴 수 있다.In order to solve this problem, the verification operation may be performed by bit by bit. However, when the bit by bit method is used, verification may take a long time, thereby reducing the overall efficiency.

따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 멀티 레벨 셀의 소거 동작시 소프트 프로그램에 대한 검증을 수행하는데 새로운 방식을 제안하여 보다 좁은 셀 분포로 소거가 되도록 함으로써 셀 간섭 효과를 줄여 메모리 소자의 성능을 향상시키는 불휘발성 메모리 소자의 소거 방법을 제공하는데 있다.Accordingly, a technical problem of the present invention is to propose a new method for performing a soft program verification during an erase operation of a multi-level cell, and to erase the cells with a narrower cell distribution, thereby reducing the cell interference effect and improving the performance of the memory device. The present invention provides a method of erasing a nonvolatile memory device.

본 발명의 과제를 해결하기 위하여 불휘발성 메모리 소자의 소거 방법으로,In order to solve the problem of the present invention, a nonvolatile memory device erase method,

멀티 레벨 셀을 포함하는 블록을 하나 이상 포함하는 메모리 셀 어레이를 포함하는 불휘발성 메모리 소자의 소거 방법에 있어서, 소거를 위해 선택된 블록의 모든 멀티 레벨 셀에 대한 프로그램을 수행하여, 모든 멀티 레벨 셀의 문턱전압 레벨을 최상위 레벨로 이동시키는 프리 프로그램 단계; 상기 프리 프로그램된 메모리 블록에 대한 소거 동작 및 검증을 수행하는 하드(hard) 소거 검증 단계; 상기 메모리 블록에 대한 소프트 프로그램 및 검증을 수행하는 제 1 소프트 프로그램 및 검증 단계; 상기 검증결과가 패스되면, 상기 메모리 블록을 제 1 및 제 2 그룹으로 분할하는 단계; 상기 제 1 그룹에 대해 검증을 수행하고, 패스가 되지 않은 경우 소프트 프로그램 및 검증을 수행하는 단계; 및 상기 제 1 그룹에 대한 검증 결과가 패스되면, 상기 제 2 그룹에 대해 검증을 수행하고, 패스가 되지 않은 경우 소프트 프로그램 및 검증을 수행하는 단계를 포함한다.A method of erasing a nonvolatile memory device including a memory cell array including one or more blocks including multi-level cells, the method comprising: performing a program for all multi-level cells of a block selected for erasing, thereby A pre-programming step of moving the threshold voltage level to the highest level; A hard erase verification step of performing an erase operation and a verification on the preprogrammed memory block; A first soft program and verify step of performing a soft program and verify on the memory block; Dividing the memory block into first and second groups when the verification result passes; Performing verification on the first group, and performing a soft program and verification if the path is not passed; And if the verification result for the first group passes, performing verification on the second group, and if not, performing a soft program and verification.

또한, 본 발명의 또 다른 불휘발성 메모리 소자의 소거 방법을 위하여,In addition, for another method of erasing the nonvolatile memory device of the present invention,

멀티 레벨 셀을 포함하는 블록을 하나 이상 포함하는 메모리 셀 어레이를 포함하는 불휘발성 메모리 소자의 소거 방법에 있어서, 소거를 위해 선택된 블록의 모든 멀티 레벨 셀에 대한 프로그램을 수행하여, 모든 멀티 레벨 셀의 문턱전압 레벨을 최상위 레벨로 이동시키는 프리 프로그램 단계; 상기 프리 프로그램된 메모리 블록에 대한 소거 동작 및 검증을 수행하는 하드(hard) 소거 검증 단계; 상기 메모리 블록에 대한 소프트 프로그램 및 검증을 수행하는 제 1 소프트 프로그램 및 검증 단계; 상기 검증결과가 패스되면, 상기 메모리 블록을 제 1 및 제 2 그룹으로 분할하는 단계; 상기 제 1 및 제 2 그룹에 대한 검증을 수행하고, 패스되지 못한 그룹에 대해 플래그 표시를 하는 단계; 및 상기 제 1 및 제 2 그룹 중 플래그 표시된 그룹에 대하여 소프트 프로그램 및 검증을 수행하는 단계를 포함한다.A method of erasing a nonvolatile memory device including a memory cell array including one or more blocks including multi-level cells, the method comprising: performing a program for all multi-level cells of a block selected for erasing, thereby A pre-programming step of moving the threshold voltage level to the highest level; A hard erase verification step of performing an erase operation and a verification on the preprogrammed memory block; A first soft program and verify step of performing a soft program and verify on the memory block; Dividing the memory block into first and second groups when the verification result passes; Performing verification on the first and second groups and flagging a group that has not passed; And performing a soft program and verification on the flagged group of the first and second groups.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 불휘발성 메모리 소자의 소거 방법은 멀티 레벨 셀의 소거동작 이후에 소거 셀 분포를 좁게 만들어 이후의 프로그램시 간섭효과를 줄이고, 효율을 높일 수 있다.As described above, the erase method of the nonvolatile memory device according to the present invention can narrow the erase cell distribution after the erase operation of the multi-level cell, thereby reducing the interference effect during subsequent programming and increasing the efficiency.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시 예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. As those skilled in the art would realize, the described embodiments may be modified in various different ways, all without departing from the spirit or scope of the present invention. It is provided to inform you.

도 2a는 불휘발성 메모리 소자의 소거 동작을 위한 프리 프로그램 에 따르는 셀 분포의 이동모습을 나타낸 도면이고, 도 2b는 도 2a의 프리 프로그램 이후의 소거 동작에 따른 셀 분포의 이동모습을 나타낸 도면이며, 도 2c는 상기 도 2b의 소거동작 이후의 소프트 프로그램 동작에 따른 셀 분포의 이동모습을 나타낸 도면이다.FIG. 2A is a diagram illustrating a movement of a cell distribution according to a preprogram for an erase operation of a nonvolatile memory device, and FIG. 2B is a diagram of a movement of a cell distribution according to an erase operation after a preprogram of FIG. 2A. FIG. 2C is a diagram illustrating a movement of cell distribution according to the soft program operation after the erase operation of FIG. 2B.

도 2a를 참조하면, 멀티 레벨 셀은 각각 프로그램 상태에 따라 다수의 셀 분포(201 내지 210)를 가진다. 따라서 소거를 위해서 먼저 다수의 셀 분포(201 내지 210)들을 최상위 레벨의 셀 분포(210)로 모으기 위한 프리 프로그램을 수행한다.Referring to FIG. 2A, each of the multi-level cells has a plurality of cell distributions 201 to 210 according to the program state. Therefore, for erasing, a pre-program is first performed to collect a plurality of cell distributions 201 to 210 into the highest level cell distribution 210.

프리 프로그램을 위해서는 불휘발성 메모리 소자에 포함되는 메모리 셀 어레이(미도시)의 블록단위로 수행되는데, 모든 워드라인(Word Line; WL)에 프로그램 전압(Vpgm)을 인가하고, 드레인 선택 라인(Drain Select Line; DSL)에는 전원전압(VDD)을 인가하며, 소오스 선택 라인(Source Select Line; SSL)에는 0V를 인가한 후 프로그램을 수행한다.Pre-programming is performed in units of blocks of a memory cell array (not shown) included in a nonvolatile memory device. A program voltage Vpgm is applied to all word lines WL, and a drain select line is applied. A power supply voltage VDD is applied to a line DSL, and 0V is applied to a source select line SSL to perform a program.

따라서 프리 프로그램이 완료되면, 모든 셀 분포들(201 내지 203)은 최상위 레벨의 셀 분포(210)로 모인다.Therefore, when the preprogram is completed, all cell distributions 201 to 203 are gathered into the highest level cell distribution 210.

그리고 최상위 레벨로 모인 셀 분포(210)에 대하여 소거 동작을 수행한다. 소거 동작에 따라 변경되는 셀 분포가 도 2b에 나타난다.The erase operation is performed on the cell distribution 210 collected at the highest level. The cell distribution that changes according to the erase operation is shown in FIG. 2B.

도 2b를 참조하면, 최상위 레벨(210)에 대해 소거동작을 수행하면 최상위 레벨의 셀 분포(210)로 모였던 모든 셀들은 0V 이하로 소거되어 이동(220)한다. 자세하게 소거동작은 블록단위로 이루어지며, 기판(Well)에 20V 이상의 고전압을 인가 하고 모든 워드라인(WL)에는 0V를 인가한 후, DSL과 SSL을 플로팅 시켜 소거 동작을 수행한다. 소거 동작이 수행된 메모리 셀들은 소거 기준전압(HEV)이하로 이동한다.Referring to FIG. 2B, when the erase operation is performed on the highest level 210, all cells collected in the cell distribution 210 of the highest level are erased to 0 V or less and moved 220. In detail, the erase operation is performed in units of blocks. After applying a high voltage of 20V or higher to the substrate Well and applying 0V to all word lines WL, the erase operation is performed by floating the DSL and SSL. Memory cells on which the erase operation is performed move below the erase reference voltage HEV.

상기 소거 기준전압(HEV) 이하로 이동된 메모리 셀들을 보정하여 도 2c와 같이 좁은 폭의 메모리 셀 분포로 만들기 위해 소프트 프로그램을 수행한다.A soft program is performed to correct memory cells moved below the erasing reference voltage HEV to form a narrow memory cell distribution as shown in FIG. 2C.

도 2c를 참조하면, 소거 기준전압(HEV)의 이하로 소거된 메모리 셀들(220)은 과도하게 소거되었다고 할 수 있다. 따라서 소프트 프로그램을 하고 검증전압(Pv)을 이용하여 좁은 분포의 메모리 셀(230)로 보정한다. Referring to FIG. 2C, the memory cells 220 erased below the erase reference voltage HEV may be over erased. Therefore, a soft program is performed and corrected by the narrow distribution memory cell 230 using the verification voltage Pv.

상기와 같이 좁은 분포의 메모리 셀(230)들로 소거를 수행하는 방법은 다음과 같은 소프트 프로그램 동작에 의해 만들어진다.As described above, a method of erasing the memory cells 230 having a narrow distribution is made by the following soft program operation.

도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 소프트 프로그램 동작 플로우를 도시한 블록도이다.3 is a block diagram illustrating a soft program operation flow according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 3을 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 소프트 프로그램 동작은 먼저 모든 메모리 블록(301)에 대한 소프트 프로그램을 수행하고, 컬럼 스캔 방식으로 검증을 한다.Referring to FIG. 3, a soft program operation according to an embodiment of the present invention first performs a soft program on all the memory blocks 301 and performs verification by a column scan method.

전체 메모리 블록(301)에 대한 소프트 프로그램에 대한 검증 결과가 패스되면, 이후에는 메모리 블록(301)을 제 1 및 제 2 그룹(302, 303)으로 나눈다. 본 발명의 실시 예에서는 제 1 그룹(302)과 제 2 그룹(303)을 모든 워드라인의 1/2씩(WL0 내지 WL15와 WL16 내지 WL31)으로 나눈다. 상기 소프트 프로그램의 패스 여부는 하나의 메모리 셀이라도 검증 전압에 의해 패스되면 해당 메모리 셀을 포함하 는 전체 컬럼이 패스된 것으로 판단한다.If the verification result for the soft program for the entire memory block 301 is passed, then the memory block 301 is divided into first and second groups 302 and 303. In an embodiment of the present invention, the first group 302 and the second group 303 are divided into half of all word lines (WL0 to WL15 and WL16 to WL31). If the soft program passes, even if one memory cell passes by the verify voltage, it is determined that the entire column including the corresponding memory cell has passed.

그리고 제 1 및 제 2 그룹(302, 303)에 대해 검증을 수행한 후, 패스되지 못한 그룹에 대해 소프트 프로그램을 다시 하도록 한다. 이때의 검증 방식은 컬럼 방식을 사용하지만, 선택되지 않은 그룹의 워드라인에는 패스 전압을 제공하여 영향을 받지 않도록 한다.After verifying the first and second groups 302 and 303, the soft program is performed again for the group that has not been passed. In this case, the verification method uses the column method, but the pass voltage is provided to the word lines of the unselected group so as to be unaffected.

즉, 먼저 제 1 그룹(302)에 대해 검증을 수행하고, 패스되지 못하는 경우, 검증에 대한 패스가 될때까지 제 1 그룹(302)을 소프트 프로그램한다. 제 1 그룹(302)에 대한 검증 결과가 패스가 되면, 제 2 그룹(303)에 대해서도 검증을 먼저 수행하고, 패스되지 못한 경우 소프트 프로그램을 한다.That is, the first group 302 is first verified, and if not passed, the first group 302 is soft programmed until the pass is verified. If the verification result for the first group 302 passes, the verification is also performed for the second group 303 first, and if not, a soft program is performed.

상기와 다른 방법으로, 제 1 그룹(302)과 제 2 그룹(303)에 대해 검증을 순서대로 수행하고, 패스되지 못한 그룹을 플래그를 이용하여 표시한 후, 제 1 및 제 2 그룹(302, 303)에 대한 검증이 끝나면, 플래그가 표시된 그룹에 대해서 선택적으로 소프트 프로그램을 수행하는 방법을 이용할 수 있다.In a manner different from that described above, verification is performed on the first group 302 and the second group 303 in order, and a group that has not been passed is indicated using a flag, and then the first and second groups 302, After the verification of 303), a method of selectively executing the soft program for the flagged group may be used.

제 1 및 제 2 그룹(302, 303)에 대한 소프트 프로그램이 끝나면, 제 1 및 제 2 그룹(302, 303)을 각각 제 3, 4그룹(304, 305)과 제 5, 6그룹(306, 307)으로 분할한다. 본 발명의 실시 예에서는 제 3 그룹(304)은 제 1 내지 제 7 워드라인(WL0 내지 WL7)을 포함하고, 제 4 그룹(305)은 제 8 내지 제 15 워드라인(WL8 내지 WL15)을 포함하며, 제 5 그룹(306)은 제 16 내지 제 23 워드라인(WL16 내지 WL23)을 포함하고, 제 6 그룹(307)은 제 24 내지 제 31 워드라인(WL24 내지 WL31)을 포함한다.After the soft program for the first and second groups 302 and 303 is finished, the first and second groups 302 and 303 are divided into the third and fourth groups 304 and 305 and the fifth and sixth groups 306 and 306, respectively. 307). According to an embodiment of the present invention, the third group 304 includes first to seventh word lines WL0 to WL7, and the fourth group 305 includes eighth to fifteen word lines WL8 to WL15. The fifth group 306 includes sixteenth to twenty-third word lines WL16 to WL23, and the sixth group 307 includes twenty-fourth to thirty-first word lines WL24 to WL31.

제 3 내지 제 6 그룹(304 내지 307)에 대해서도 앞서 설명한 것과 같이 각각의 그룹에 대한 검증을 수행하여 패스되지 않은 그룹은 소프트 프로그램을 패스가 될 때까지 수행한다. As described above, the third to sixth groups 304 to 307 are also verified for each group so that the non-passed group performs the soft program until the pass.

또는, 제 3 내지 제 6 그룹(304 내지 307)에 대한 검증을 각각 수행하여, 패스되지 않은 그룹만을 플래그 표시한 후, 플래그 표시된 그룹에 대한 소프트 프로그램을 수행하는 방법을 적용할 수 있다. 상기의 그룹은 임의로 나누는 것이 가능하며, 본 발명의 실시 예에서는 편의를 위해 워드라인을 1/2 씩 나누는 방식으로 그룹을 나눈 것으로 표현하였다.Alternatively, the verification of the third to sixth groups 304 to 307 may be performed to flag only the unpassed groups, and then a method of executing a soft program for the flagged groups may be applied. The group may be divided arbitrarily, and in the exemplary embodiment of the present invention, the group is expressed by dividing the group by dividing the word lines by 1/2 for convenience.

상기 소프트 프로그램과 검증은 다음과 같이 수행하여, 선택되지 않은 영역이 프로그램되지 않도록 하고, 검증결과에 영향을 미치지 않도록 한다.The soft program and the verification are performed as follows, so that an unselected area is not programmed and does not affect the verification result.

도 4a는 본 발명의 실시 예에 따른 소프트 프로그램 시 전압 인가 모습을 나타낸 회로도이다.4A is a circuit diagram illustrating a voltage application during soft programming according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 4a를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 플래시 메모리 소자는 메모리 셀들을 포함하는 메모리 셀 어레이(410)와, 상기 메모리 셀 어레이(410)에 연결되어 프로그램이나 소거 또는 독출 동작 등을 위해 동작하는 주변 회로부(420) 및 주변 회로부(420)를 제어하는 제어부(430)를 포함한다.Referring to FIG. 4A, a flash memory device according to an embodiment of the present invention is connected to a memory cell array 410 including memory cells and connected to the memory cell array 410 to operate for a program, an erase, a read operation, or the like. And a controller 430 for controlling the peripheral circuit unit 420 and the peripheral circuit unit 420.

메모리 셀 어레이(410)는 다수의 메모리 셀들이 드레인 선택 트랜지스터(Drain Select Transistor; DST)와 소오스 선택 트랜지스터(Source Select Transistor; SST)의 사이에 직렬로 연결되는 셀 스트링을 복수개 포함하고, 각각의 셀 스트링은 비트라인에 연결된다. The memory cell array 410 includes a plurality of cell strings in which a plurality of memory cells are connected in series between a drain select transistor (DST) and a source select transistor (SST), and each cell The string is connected to the bit line.

그리고 셀 스트링들의 드레인 선택 트랜지스터들의 게이트는 드레인 선택 라인(Drain Select Line;DSL)에 공통 연결되고, 소오스 선택 트랜지스터들의 게이트는 소오스 선택 라인(Source Select Line; SSL)에 공통 연결된다.The gates of the drain select transistors of the cell strings are commonly connected to a drain select line DSL, and the gates of the source select transistors are commonly connected to a source select line SSL.

또한, 메모리 셀들의 게이트는 각각 횡방향으로 워드라인(WL<0> 내지 WL<31>)에 연결된다. 본 발명의 실시 예에서는 상기 메모리 셀 어레이(410)를 상기 도 3에 나타난 바와 같이 제 1 내지 제 16 워드라인(WL<0> 내지 WL<15>)을 제 1 그룹(302)로 하고, 제 17 내지 제 31 워드라인(WL<16> WL<31>)을 제 2 그룹(303)으로 분할한다.In addition, gates of the memory cells are connected to word lines WL <0> to WL <31> in the horizontal direction, respectively. According to an exemplary embodiment of the present invention, as shown in FIG. 3, the memory cell array 410 includes first to sixteenth word lines WL <0> to WL <15> as a first group 302. The seventeenth to thirty first word lines WL <16> WL <31> are divided into a second group 303.

주변 회로부(420)는 동작 명령에 따라 상기 메모리 셀 어레이(410)에 데이터를 저장하거나, 상기 메모리 셀 어레이(410)에 저장된 데이터를 독출하기 위한 동작을 수행한다. 주변 회로부(420)에는 페이지 버퍼 회로, X 디코더, Y 디코더 등이 포함된다.The peripheral circuit unit 420 stores data in the memory cell array 410 or reads data stored in the memory cell array 410 according to an operation command. The peripheral circuit unit 420 includes a page buffer circuit, an X decoder, a Y decoder, and the like.

제어부(430)는 주변 회로부(420)의 동작 제어를 위한 제어신호를 제공하고, 메모리 셀 어레이(410)의 프로그램 또는 소거 상태에 따른 플래그 정보를 저장하는 저장부(431)를 포함한다.The controller 430 provides a control signal for controlling the operation of the peripheral circuit unit 420, and includes a storage unit 431 for storing flag information according to a program or erase state of the memory cell array 410.

상기와 같은 본 발명의 실시 예에 따라 제 1 그룹(302)와 제 2 그룹(303)으로 나눈 경우에 제 1 그룹(302)에 소프트 프로그램을 수행하는 경우를 나타낸 것으로, 소프트 프로그램을 수행하기 위해 선택되는 워드라인(WL0 내지 WL15)에는 프로그램 전압(Vpgm)을 인가하고, 선택되지 않는 워드라인(WL16 내지 WL31)은 패스 전압(Vpass)을 인가한다.According to the exemplary embodiment of the present invention as described above, a case in which the soft program is executed in the first group 302 when divided into the first group 302 and the second group 303 is provided. The program voltage Vpgm is applied to the selected word lines WL0 to WL15, and the pass voltage Vpass is applied to the word lines WL16 to WL31 which are not selected.

따라서 선택되지 않는 워드라인(WL16 내지 WL31)은 프로그램이 방지되어 영향을 받지 않는다. 그리고 프로그램 이후에 검증을 수행할 때는 다음과 같이 전압이 인가된다.Therefore, the word lines WL16 to WL31 that are not selected are prevented because the program is prevented. When the verification is performed after the program, the voltage is applied as follows.

도 4b는 도 4a의 소프트 프로그램 후의 검증을 위한 전압 인가 모습을 나타낸 회로도이다.4B is a circuit diagram illustrating a voltage application for verification after the soft program of FIG. 4A.

도 4b를 참조하면, 소프트 프로그램을 위해 선택된 워드라인(WL0 내지 WL15)은 0V를 인가하고, 선택되지 않은 워드라인(WL16 내지 WL31)에는 독출전압(Vread)을 인가하여 검증결과에 영향을 끼치지 않도록 한다.Referring to FIG. 4B, the word lines WL0 to WL15 selected for the soft program apply 0V, and the read voltage Vread is applied to the unselected word lines WL16 to WL31 to not affect the verification result. Do not

상술한 본 발명의 실시 예에 따른 소프트 프로그램에 의해 좁은 셀 분포의 소거셀이 생성된다. 상기 소프트 프로그램 방법은 세부 그룹으로 나누어, 후반부로 갈수록 소프트 프로그램에 의해 검증결과가 대부분 패스되고, 프로그램 전압이 인가되는 횟수가 줄어들게 된다. 이로 인해 전체적인 셀 문턱전압 분포폭이 좁아지게 된다.An erase cell having a narrow cell distribution is generated by the soft program according to the exemplary embodiment described above. The soft program method is divided into sub-groups, and the verification results are mostly passed by the soft program toward the second half, and the number of times the program voltage is applied is reduced. This narrows the overall cell threshold voltage distribution.

앞서 언급한 소프트 프로그램 방법은 크게 두 가지 방식을 설명하였다. 각각이 방법을 실시 예에 따라 설명하면 다음과 같다.The soft program method mentioned above has largely been described in two ways. Each of these methods will be described according to an embodiment as follows.

도 5a 및 도 5b는 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 소프트 프로그램 방법의 동작 순서도이다. 상기 도5b는 도 5a에 연속한 동작 순서도이다. 다음의 동작 설명에서 소프트 프로그램은 상기 도 4a와 같이 수행하고, 검증은 상기 도 4b와 같이 수행한다. 5A and 5B are operational flowcharts of a soft program method according to a first embodiment of the present invention. FIG. 5B is a flowchart illustrating the operation following FIG. 5A. In the following operation description, the soft program is performed as shown in FIG. 4A, and the verification is performed as shown in FIG. 4B.

먼저, 도 5a를 참조하면, 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 소프트 프로그램 방법은 전체 메모리 블록에 대해 소거가 수행된 후(S501), 모든 메모리 블록에 대해 제 1 소프트 프로그램하고 검증을 수행한다(S503, S505). 제1 소프트 프로그램은 메모리 블록 전체에 대해 패스가 될때까지 수행한다. First, referring to FIG. 5A, in the soft program method according to the first embodiment of the present invention, after erasing is performed on all memory blocks (S501), the first soft program and verification are performed on all memory blocks (S501). S503, S505). The first soft program executes until it passes through the entire memory block.

전체 메모리 블록에 대한 제 1 소프트 프로그램과 검증이 완료되면, 메모리 블록을 제 1 및 제 2 그룹으로 분할하고(S507), 제 1 그룹에 대한 검증을 수행하여 패스 여부를 확인한다(S509, S511). 단계 S511에서 패스 여부 확인 결과, 제 1 그룹이 검증을 패스하지 못한 경우, 제 2 소프트 프로그램을 패스가 될 때까지 반복한다(S513, S511). 그리고 제 1 그룹에 대한 검증 결과 패스가 되면, 제 2 그룹을 검증한다(S515). 상기 제 1 및 제 2 그룹은 상기 도 3에 나타난 바와 같이 분할한다.When the first soft program and the verification of the entire memory block are completed, the memory block is divided into first and second groups (S507), and the verification is performed on the first group (S509 and S511). . If the first group does not pass the verification as a result of confirming the pass in step S511, the second soft program is repeated until the pass (S513, S511). If the verification result passes for the first group, the second group is verified (S515). The first and second groups are divided as shown in FIG.

제 2 그룹에 대해서도, 검증 결과가 패스가 될때까지 제 2 소프트 프로그램과 검증을 반복한다(S517, S519). 제 1 및 제 2 그룹에 대한 검증 패스가 되면, 제 1 그룹을 제 3 및 제 4 그룹으로 분할하고, 제 2 그룹을 제 5 및 제 6 그룹으로 분할한다(S521).Also for the second group, the verification is repeated with the second soft program until the verification result passes (S517 and S519). When the verification passes for the first and second groups are performed, the first group is divided into third and fourth groups, and the second group is divided into fifth and sixth groups (S521).

제 3 내지 제 6 그룹에 대한 소프트 프로그램은 도 5b와 같다. 도 5b를 참조하면, 먼저 제 3 그룹에 대해 검증을 수행한다(S523).The soft program for the third to sixth groups is shown in FIG. 5B. Referring to FIG. 5B, first, a verification is performed on the third group (S523).

상기 단계 S523에서 제 3 그룹에 대한 검증 패스가 되면(S525), 제 4 그룹을 검증한다(S531). 그러나 제 3 그룹이 패스되지 못한 경우, 제 3 소프트 프로그램을 수행하여 검증을 수행한다(S527). 상기 단계 S527는 제 3 그룹에 대한 검증 패스가 될 때까지 반복된다(S529, S527).When the verification pass for the third group is made in step S523 (S525), the fourth group is verified (S531). However, if the third group has not passed, verification is performed by executing the third soft program (S527). The step S527 is repeated until the verification pass for the third group (S529, S527).

제 3 그룹에 대한 검증 결과가 패스가 되면, 제 4 그룹에 대한 검증을 수행하고(S531), 제 4 그룹에 대한 검증 결과가 패스가 되면(S533), 제 5 그룹에 대한 검증을 수행하고(S539), 제 5 그룹에 대한 검증 패스가 되면 제 6 그룹에 대한 검증을 수행한다(S547).When the verification result for the third group passes, the verification for the fourth group is performed (S531). When the verification result for the fourth group passes (S533), the verification for the fifth group is performed (S533). S539), when the verification pass for the fifth group is performed, verification for the sixth group is performed (S547).

또한, 상기 제 3 그룹과 동일하게, 제 4 내지 제 6 그룹 각각에 대해 검증 결과가 패스되지 않으면, 제 3 프로그램을 수행하여 검증결과가 패스가 되도록 한다.In addition, similarly to the third group, if the verification result does not pass for each of the fourth to sixth groups, the third program is executed to pass the verification result.

상기 도 5a 및 도 5b에 따른 본 발명의 제 1 실시 예는 메모리 블록을 제 1 및 제 2 그룹으로 나누어 각각의 그룹이 검증 패스가 될때까지 제 2 소프트 프로그램을 수행하게 하고, 제 1 내지 제 2 그룹을 분할한 제 3 내지 제 6 그룹도 각각 검증 패스가 될 때까지 제 3 소프트 프로그램을 수행한다. 이때 각각의 그룹은 우선적으로 검증을 실행하여 패스 여부를 판단하고, 패스되지 않은 경우에만 소프트 프로그램을 수행하도록 한다. The first embodiment of the present invention according to FIGS. 5A and 5B divides the memory block into first and second groups so that the second soft program is executed until each group becomes the verification pass, and the first to second operations are performed. The third to sixth groups in which the groups are divided also execute the third soft program until they each have a verification pass. At this time, each group first performs verification to determine whether it passes or not, and executes a soft program only when it does not pass.

도 6a 및 도 6b는 본 발명의 제 2 실시 예에 따른 소프트 프로그램 방법의 동작 순서도이다. 상기 도 6b는 도 6a에 연속한 동작 순서도이다. 다음의 동작 설명에서 소프트 프로그램은 상기 도 4a와 같이 수행하고, 검증은 상기 도 4b와 같이 수행한다.6A and 6B are flowcharts illustrating a soft program method according to a second embodiment of the present invention. FIG. 6B is a flowchart illustrating the operation following FIG. 6A. In the following operation description, the soft program is performed as shown in FIG. 4A, and the verification is performed as shown in FIG. 4B.

도 6a를 참조하면, 본 발명의 제 2 실시 예에 따른 소프트 프로그램 방법은 전체 메모리 블록에 대해 소거가 수행된 후(S601), 모든 메모리 블록에 대해 제 1 소프트 프로그램하고 검증을 수행한다(S603, S605). 제1 소프트 프로그램은 메모리 블록 전체에 대해 패스가 될때까지 수행한다.Referring to FIG. 6A, in the soft program method according to the second embodiment of the present invention, after erasing is performed on all memory blocks (S601), first soft programming and verification are performed on all memory blocks (S603, S605). The first soft program executes until it passes through the entire memory block.

메모리 블록 전체에 대한 소프트 프로그램 검증이 패스되면, 메모리 블록을 제 1 및 제 2 그룹으로 분할한다(S607). 제 1 및 제 2 그룹은 상기 도 3에 나타난 바와 같이 분할한다.If the soft program verification for the entire memory block passes, the memory block is divided into first and second groups (S607). The first and second groups are divided as shown in FIG. 3 above.

그리고 제 1 그룹을 검증하고(S609), 검증 결과가 패스가 되면(S611), 다음으로 제 2 그룹을 검증한다(S613). 그러나 제 1 그룹의 검증 결과가 패스되지 않으면 제 1 그룹에 대한 플래그 정보를 이용하여 이를 표시한다(S613). 이때의 플래그 표시는 별도의 플래그 정보를 저장하는 수단을 이용하거나, 제어부(430)의 저장수단(431)에 저장된다.The first group is verified (S609), and when the verification result passes (S611), the second group is verified next (S613). However, if the verification result of the first group does not pass, this is indicated by using flag information of the first group (S613). At this time, the flag display may be stored in the storage means 431 of the controller 430 or by using means for storing separate flag information.

제 1 그룹에 대한 검증이 완료되면, 제 2 그룹을 검증하고(S615), 검증결과가 패스되지 않으면(S617), 플래그 표시를 한다(S619).When the verification of the first group is completed, the second group is verified (S615). If the verification result is not passed (S617), a flag is displayed (S619).

제 1 및 제 2 그룹에 대한 검증이 완료되면, 플래그 표시된 그룹이 있는지를 확인하고(S621), 플래그 표시된 그룹이 있는 경우, 해당 그룹에 대해 검증결과가 패스가 되도록 제 2 소프트 프로그램과 검증을 수행한다(S623, S625). 이때 제어부(430)는 제 2 소프트 프로그램을 통해 검증 패스가 된 그룹의 플래그를 리셋한다.When the verification of the first and second groups is completed, check whether there is a flagged group (S621), and if there is a flagged group, perform verification with the second soft program so that the verification result is a pass for the group. (S623, S625). At this time, the control unit 430 resets the flag of the group that has become the verification path through the second soft program.

제 1 및 제 2 그룹이 모두 검증 결과가 패스되면, 각각의 그룹을 제 3 및 제 4 그룹과, 제 5 및 제 6 그룹으로 분할한다(S627). 이때의 제 3 내지 제 6 그룹은 도 3에 나타난 바와 같이 분할 할 수 있다. 즉 제 3 그룹은 제 1 내지 제 8 워드라인(WL<0> 내지 WL<7>)을 포함하고, 제 4 그룹은 제 9 내지 제 16 워드라인(WL<9> 내지 WL<16>)을 포함하고, 제 5 그룹은 제 17 내지 제 24 워드라인(WL<17> 내지 WL<24>)을 포함하며, 제 6 그룹은 제 25 내지 제 32 워드라인(WL<25> 내지 WL<31>)을 포함한다.If both the first and second groups pass the verification result, each group is divided into third and fourth groups and fifth and sixth groups (S627). In this case, the third to sixth groups may be divided as shown in FIG. 3. That is, the third group includes first to eighth word lines WL <0> to WL <7>, and the fourth group includes ninth to sixteenth word lines WL <9> to WL <16>. And a fifth group includes seventeenth to twenty-fourth wordlines WL <17> to WL <24>, and a sixth group includes twenty-fifth to thirtieth wordlines WL <25> to WL <31>. ).

제 3 내지 제 6 그룹에 대한 소프트 프로그램은 도 6b에 나타난다. 도 6b를 참조하면, 우선 제 3 그룹에 대해 검증을 수행하고(S629), 패스되지 못하면(S631), 플래그 표시를 한다(S633).The soft program for the third to sixth groups is shown in Figure 6b. Referring to FIG. 6B, first, verification is performed on the third group (S629), and if not passed (S631), a flag is displayed (S633).

제 3 그룹 이후에는 제 4 그룹, 제 5 그룹 및 제 6 그룹에 대한 검증을 수행하여 패스되지 못한 그룹에 플래그 표시를 한다(S635 내지 S651). 제 3 내지 제 6 그룹을 모두 검증한 후에는, 4 개의 그룹중 플래그 표시된 그룹이 있는지를 확인하고(S653), 플래그 표시된 그룹이 있는지를 확인한다(S653).After the third group, the fourth group, the fifth group, and the sixth group are verified to flag the group that has not passed (S635 to S651). After verifying all the third to sixth groups, it is checked whether there is a flagged group among the four groups (S653), and it is checked whether there is a flagged group (S653).

단계 S653의 확인결과, 플래그 표시된 그룹이 있다면, 해당 그룹만 제 3 소프트 프로그램을 수행하고 검증한다(S655, S657). 제 3 소프트 프로그램을 수행하여 패스된 그룹은 플래그 표시를 해제한다. 제 3 내지 제 6 그룹이 모두 패스되면 소프트 프로그램 과정이 종료된다. 상기 도 5a 및 도 5b와 도 6a 및 도 6b는 메모리 블록을 제 1 및 제 2 그룹으로 나누고, 다시 제 3 내지 제 6 그룹으로 나누는 과정까지의 소프트 프로그램만을 수행하는 경우를 설명하였으며, 보다 하위의 그룹을 나누어 하는 것도 가능하다.As a result of checking in step S653, if there is a flagged group, only that group executes and verifies the third soft program (S655, S657). The group passed by executing the third soft program releases the flag display. If all of the third to sixth groups pass, the soft program process ends. 5A, 5B, 6A, and 6B illustrate a case in which only a soft program up to a process of dividing a memory block into first and second groups and dividing into a third to sixth groups is performed. It is also possible to divide groups.

제 1 실시 예와 같이 각각의 그룹에 대해 검증을 하고, 패스되지 않은 경우 소프트 프로그램을 하여 패스가 된 이후에, 다음의 그룹을 검증하는 과정을 수행하는 방법을 이용할 수 있으며, 제 2 실시 예와 같이 모든 그룹에 대해 검증을 우선 적으로 하고, 패스되지 못한 그룹에 플래그 표시를 한 후, 플래그 표시가 된 그룹만을 소프트 프로그램하도록 하는 방법을 사용할 수 있다. 제 1 및 제 2 실시 예는 As in the first embodiment, each group is verified, and if it is not passed, a method of performing a process of verifying the next group after the pass is performed through a soft program is performed. Similarly, verification can be given to all groups first, flagged groups that have not been passed, and then only soft flagged groups can be programmed. The first and second embodiments are

상기에서 설명한 본 발명의 기술적 사상은 바람직한 실시 예에서 구체적으로 기술되었으나, 상기한 실시 예는 그 설명을 위한 것이며 그 제한을 위한 것이 아님을 주의하여야 한다. 또한, 본 발명은 본 발명의 기술 분야의 통상의 전문가라면 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 다양한 실시예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.Although the technical spirit of the present invention described above has been described in detail in a preferred embodiment, it should be noted that the above-described embodiment is for the purpose of description and not of limitation. In addition, the present invention will be understood by those skilled in the art that various embodiments are possible within the scope of the technical idea of the present invention.

도 1a는 불휘발성 메모리 소자의 소거를 위한 프리 프로그램 시 전압인가 모습을 나타낸 회로도이다.1A is a circuit diagram illustrating a voltage application during preprogramming for erasing a nonvolatile memory device.

도 1b는 불휘발성 메모리 소자의 소거를 위한 전압 인가 모습을 나타낸 회로도이다.1B is a circuit diagram illustrating a voltage application for erasing a nonvolatile memory device.

도 1c는 불휘발성 메모리 소자의 소거를 위한 소프트 프로그램 시 전압 인가 모습을 나타낸 회로도이다.1C is a circuit diagram illustrating a voltage application during soft program for erasing a nonvolatile memory device.

도 1d는 도 1c의 소프트 프로그램 이후의 검증 동작을 위한 전압 인가 모습을 나타낸 회로도이다.FIG. 1D is a circuit diagram illustrating a voltage application for the verify operation after the soft program of FIG. 1C.

도 2a는 불휘발성 메모리 소자의 소거 동작을 위한 프리 프로그램 에 따르는 셀 분포의 이동모습을 나타낸 도면이다.FIG. 2A is a diagram illustrating a movement of a cell distribution according to a free program for an erase operation of a nonvolatile memory device.

도 2b는 도 2a의 프리 프로그램 이후의 소거 동작에 따른 셀 분ㅍ의 이동모습을 나타낸 도면이다.FIG. 2B is a diagram illustrating the movement of cells according to the erase operation after the preprogram of FIG. 2A.

도 2c는 상기 도 2b의 소거동작 이후의 소프트 프로그램 동작에 따른 셀 분포의 이동모습을 나타낸 도면이다.FIG. 2C is a diagram illustrating a movement of cell distribution according to the soft program operation after the erase operation of FIG. 2B.

도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 소프트 프로그램 동작 플로우를 도시한 블록도이다.3 is a block diagram illustrating a soft program operation flow according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 4a는 본 발명의 실시 예에 따른 소프트 프로그램 시 전압 인가 모습을 나타낸 회로도이다.4A is a circuit diagram illustrating a voltage application during soft programming according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 4b는 도 4a의 소프트 프로그램 후의 검증을 위한 전압 인가 모습을 나타 낸 회로도이다.FIG. 4B is a circuit diagram illustrating a voltage application for verification after the soft program of FIG. 4A.

도 5a 및 도 5b는 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 소프트 프로그램 방법의 동작 순서도이다.5A and 5B are operational flowcharts of a soft program method according to a first embodiment of the present invention.

도 6a 및 도 6b는 본 발명의 제 2 실시 예에 따른 소프트 프로그램 방법의 동작 순서도이다.6A and 6B are flowcharts illustrating a soft program method according to a second embodiment of the present invention.

Claims (15)

멀티 레벨 셀을 포함하는 블록을 하나 이상 포함하는 메모리 셀 어레이를 포함하는 불휘발성 메모리 소자의 소거 방법에 있어서,A method of erasing a nonvolatile memory device including a memory cell array including one or more blocks including multi-level cells, the method comprising: 소거를 위해 선택된 블록의 모든 멀티 레벨 셀에 대한 프로그램을 수행하여, 모든 멀티 레벨 셀의 문턱전압 레벨을 최상위 레벨로 이동시키는 프리 프로그램 단계;Performing a program for all multi-level cells of the block selected for erasing to move the threshold voltage levels of all multi-level cells to the highest level; 상기 프리 프로그램된 메모리 블록에 대한 소거 동작 및 검증을 수행하는 하드(hard) 소거 검증 단계;A hard erase verification step of performing an erase operation and a verification on the preprogrammed memory block; 상기 하드 소거 검증이 패스된 경우, 상기 메모리 블록에 대한 소프트 프로그램 및 검증을 수행하는 제 1 소프트 프로그램 및 검증 단계;A first soft program and verify step of performing a soft program and verify on the memory block when the hard erase verify passes; 상기 검증결과가 패스되면, 상기 메모리 블록을 제 1 및 제 2 그룹으로 분할하는 단계;Dividing the memory block into first and second groups when the verification result passes; 상기 제 1 그룹에 대해 검증을 수행하고, 패스가 되지 않은 경우 소프트 프로그램 및 검증을 수행하는 단계; 및Performing verification on the first group, and performing a soft program and verification if the path is not passed; And 상기 제 1 그룹에 대한 검증 결과가 패스되면, 상기 제 2 그룹에 대해 검증을 수행하고, 패스가 되지 않은 경우 소프트 프로그램 및 검증을 수행하는 단계Performing a verification on the second group when the verification result for the first group passes, and performing a soft program and verification on the second group if the verification result does not pass 를 포함하는 불휘발성 메모리 소자의 소거 방법.Erasing method of a nonvolatile memory device comprising a. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 검증은 소프트 프로그램에 대한 검증과 동일하게 수행되는 것을 특징으 로하는 불휘발성 메모리 소자의 소거 방법.And the verification is performed in the same way as the verification for the soft program. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 프리 프로그램 단계는,The pre-program step, 선택된 블록의 모든 워드라인에 프로그램 전압을 인가하는 단계;Applying a program voltage to all word lines of the selected block; 상기 선택된 블록의 드레인 선택 라인에 전원전압을 인가하는 단계;Applying a power supply voltage to a drain select line of the selected block; 상기 선택된 블록의 소오스 선택 라인에 0V를 인가하는 단계; 및Applying 0V to a source select line of the selected block; And 상기 선택된 블록에 프로그램을 수행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 불휘발성 메모리 소자의 소거 방법.And performing a program on the selected block. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 소거 단계는,The erasing step, 상기 선택된 블록의 워드라인에 0V를 인가하는 단계;Applying 0V to the word line of the selected block; 상기 선택된 블록의 드레인 선택라인과 소오스 선택라인을 플로팅 상태로 만드는 단계; 및Floating the drain select line and the source select line of the selected block; And 기판(또는 웰)에 고전압을 인가하여 소거를 수행하는 단계를 포함하는 불휘발성 메모리 소자의 소거 방법. Erasing by applying a high voltage to the substrate (or well). 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 소프트 프로그램은,The soft program, 선택된 블록에서 소프트 프로그램을 위해 선택된 워드라인에 프로그램 전압을 인가하는 단계;Applying a program voltage to a word line selected for soft program in the selected block; 상기 선택된 워드라인을 제외한 비선택 워드라인에 패스 전압을 인가하는 단계; 및Applying a pass voltage to an unselected word line except for the selected word line; And 상기 선택된 블록의 드레인 선택 라인에 전원전압을 인가하고, 소오스 선택 라인에 0V를 인가하고, 프로그램을 수행하는 단계를 포함하는 불휘발성 메모리 소자의 소거 방법.And applying a power supply voltage to a drain select line of the selected block, applying 0V to a source select line, and performing a program. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 소프트 프로그램이후의 검증은,Verification after the soft program, 상기 선택된 블록 중에 소프트 프로그램을 수행한 선택된 워드라인에 0V를 인가하는 단계;Applying 0V to the selected word line on which the soft program is performed in the selected block; 상기 선택된 워드라인 이외의 비선택 워드라인에 패스 전압을 인가하는 단계: 및Applying a pass voltage to an unselected word line other than the selected word line; and 상기 선택된 블록의 드레인 선택라인과 소오스 선택라인에 전원전압을 인가하고, 검증을 수행하는 단계를 포함하는 불휘발성 메모리 소자의 소거 방법.And applying a power supply voltage to the drain select line and the source select line of the selected block, and performing verification. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제 1 및 제 2 그룹을 각각 하위 그룹으로 분할하는 단계; 및Dividing the first and second groups into subgroups, respectively; And 상기 분할된 그룹들 중 어느 하나에 대해 검증을 수행하고, 패스되지 않은 경우 소프트프로그램 및 검증을 수행하여 패스가 된 후에 다음의 그룹에 대해 동일한 과정을 수행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 불휘발성 메모리 소자의 소거 방법.Performing verification for any one of the divided groups, and if not passed, performing a soft program and verification to perform the same process for the next group after passing. Erasing Method of Memory Device. 멀티 레벨 셀을 포함하는 블록을 하나 이상 포함하는 메모리 셀 어레이를 포함하는 불휘발성 메모리 소자의 소거 방법에 있어서,A method of erasing a nonvolatile memory device including a memory cell array including one or more blocks including multi-level cells, the method comprising: 소거를 위해 선택된 블록의 모든 멀티 레벨 셀에 대한 프로그램을 수행하여, 모든 멀티 레벨 셀의 문턱전압 레벨을 최상위 레벨로 이동시키는 프리 프로그램 단계;Performing a program for all multi-level cells of the block selected for erasing to move the threshold voltage levels of all multi-level cells to the highest level; 상기 프리 프로그램된 메모리 블록에 대한 소거 및 검증 동작을 수행하는 하드(hard) 소거 및 검증 단계;A hard erase and verify step of performing an erase and verify operation on the pre-programmed memory block; 상기 하드 소거 검증이 패스되면, 상기 메모리 블록에 대한 소프트 프로그램 및 검증을 수행하는 제 1 소프트 프로그램 및 검증 단계;A first soft program and verify step of performing a soft program and verify on the memory block if the hard erase verify passes; 상기 검증결과가 패스되면, 상기 메모리 블록을 제 1 및 제 2 그룹으로 분할하는 단계;Dividing the memory block into first and second groups when the verification result passes; 상기 제 1 및 제 2 그룹에 대한 검증을 수행하고, 패스되지 못한 그룹에 대해 플래그 표시를 하는 단계; 및Performing verification on the first and second groups and flagging a group that has not passed; And 상기 제 1 및 제 2 그룹 중 플래그 표시된 그룹에 대하여 소프트 프로그램 및 검증을 수행하는 단계Performing a soft program and verification on a flagged group of the first and second groups 를 포함하는 불휘발성 메모리 소자의 소거 방법.Erasing method of a nonvolatile memory device comprising a. 제 8항에 있어서,The method of claim 8, 상기 검증은 소프트 프로그램에 대한 검증과 동일하게 수행되는 것을 특징으로 하는 불휘발성 메모리 소자의 소거 방법.And the verification is performed in the same way as the verification for the soft program. 제 8항에 있어서,The method of claim 8, 상기 프리 프로그램 단계는,The pre-program step, 선택된 블록의 모든 워드라인에 프로그램 전압을 인가하는 단계;Applying a program voltage to all word lines of the selected block; 상기 선택된 블록의 드레인 선택 라인에 전원전압을 인가하는 단계;Applying a power supply voltage to a drain select line of the selected block; 상기 선택된 블록의 소오스 선택 라인에 0V를 인가하는 단계; 및Applying 0V to a source select line of the selected block; And 상기 선택된 블록에 프로그램을 수행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 불휘발성 메모리 소자의 소거 방법.And performing a program on the selected block. 제 8항에 있어서,The method of claim 8, 상기 소거 단계는,The erasing step, 상기 선택된 블록의 워드라인에 0V를 인가하는 단계;Applying 0V to the word line of the selected block; 상기 선택된 블록의 드레인 선택 라인과 소오스 선택 라인을 플로팅 상태로 만드는 단계; 및Floating a drain select line and a source select line of the selected block; And 시판(또는 웰)에 고전압을 인가하여 소거를 수행하는 단계를 포함하는 불휘발성 메모리 소자의 소거 방법.And erasing by applying a high voltage to a commercially available (or well) device. 제 8항에 있어서,The method of claim 8, 상기 소프트 프로그램은,The soft program, 상기 선택된 메모리 블록의 플래그 표시된 그룹의 워드라인에 프로그램 전압을 인가하는 단계; Applying a program voltage to word lines of a flagged group of the selected memory block; 상기 선택된 메모리 블록의 플래그 표시되지 않은 그룹의 워드라인에 패스전압을 인가하는 단계; 및Applying a pass voltage to a word line of an un flagged group of the selected memory block; And 상기 선택된 그룹의 드레인 선택 라인에 전원전압을 인가하고, 소오스 선택 라인에 0V를 인가하고, 프로그램을 수행하는 단계를 포함하는 불휘발성 메모리 소자의 소거 방법.And applying a power supply voltage to the drain select line of the selected group, applying 0V to a source select line, and performing a program. 제 8 항에 있어서,The method of claim 8, 상기 소프트 프로그램 이후의 검증은,Verification after the soft program, 상기 선택된 메모리 블록의 플래그 표시된 그룹의 워드라인에 0V를 인가하는 단계; Applying 0V to a wordline of a flagged group of the selected memory block; 상기 선택된 메모리 블록의 플래그 표시되지 않은 그룹의 워드라인에 패스전압을 인가하는 단계; 및Applying a pass voltage to a word line of an un flagged group of the selected memory block; And 상기 선택된 블록의 드레인 선택라인과 소오스 선택 라인에 전원전압을 인가하고, 검증을 수행하는 단계를 포함하는 불휘발성 메모리 소자의 소거 방법.And applying a power supply voltage to the drain select line and the source select line of the selected block, and performing verification. 제 8항에 있어서,The method of claim 8, 상기 플래그 표시된 그룹에 대한 소프트 프로그램의 검증 결과가 상기 제 1 및 제 2 그룹을 각각 하위 그룹으로 분할하는 단계;Dividing the first and second groups into subgroups, respectively, by a verification result of the soft program for the flagged group; 상기 분할된 각각의 그룹에 대해 순서대로 검증을 수행하고, 패스되지 않은 그룹에 대해 플래그 표시를 하는 단계; 및Performing verification on each of the divided groups in order, and flagging groups that are not passed; And 상기 플래그 표시된 그룹들에 대해 소프트 프로그램 및검증을 수행하는 단계Performing a soft program and verification on the flagged groups 를 포함하는 불휘발성 메모리 소자의 소거 방법.Erasing method of a nonvolatile memory device comprising a. 제 14항에 있어서,The method of claim 14, 상기 플래그 표시된 그룹들에 대해 소프트 프로그램 및 검증을 수행하고, 패스된 그룹은 플래그 표시를 삭제하는 것을 특징으로 하는 불휘발성 메모리 소자의 소거 방법.And performing a soft program and verification on the flagged groups, wherein the passed group deletes a flag indication.
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