KR100863262B1 - Method of manufacturing light emitting display device and organic EL display device - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 15
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims abstract description 111
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 82
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 82
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims abstract description 50
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 claims abstract description 23
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 21
- 230000004927 fusion Effects 0.000 claims abstract description 12
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 claims description 15
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 14
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims description 10
- 238000000605 extraction Methods 0.000 abstract description 14
- 240000006829 Ficus sundaica Species 0.000 abstract 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 13
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 6
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 4
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 4
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 4
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 3
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 3
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 3
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 3
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000005215 recombination Methods 0.000 description 1
- 230000006798 recombination Effects 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Images
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-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B33/00—Electroluminescent light sources
- H05B33/02—Details
- H05B33/06—Electrode terminals
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/80—Constructional details
- H10K59/87—Passivation; Containers; Encapsulations
- H10K59/871—Self-supporting sealing arrangements
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Abstract
발광 소자의 전극과 인출 전극의 접속 부분에서의 전기 저항을 작게 하여 양호한 신호 공급을 행한다.Good signal supply is performed by reducing the electrical resistance at the connection portion between the electrode of the light emitting element and the extraction electrode.
투명 기판(1) 상에 제1 전극(2), 유기층(3) 및 제2 전극(4)을 차례로 적층하여 유기 EL 소자를 형성하고, 밀봉 부재(8) 내에 제2 전극(4)을 형성하는 금속 전극(4L)과 금속 인출 전극층(6)의 접속 부분(S)을 형성하여, 이 접속 부분(S)에 레이저광 조사에 의한 용융 접합부(9a)를 형성하였다.The first electrode 2, the organic layer 3, and the second electrode 4 are sequentially stacked on the transparent substrate 1 to form an organic EL element, and the second electrode 4 is formed in the sealing member 8. The connection part S of the metal electrode 4L and the metal extraction electrode layer 6 which were mentioned above was formed, and the fusion | bonding junction part 9a by laser beam irradiation was formed in this connection part S. FIG.
발광 소자, 유기 EL 소자, 전기 저항, 밀봉 부재, 유기층, 용융 접합부Light emitting element, organic EL element, electrical resistance, sealing member, organic layer, melt junction
Description
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 EL 표시 장치를 나타내는 설명도이다.1 is an explanatory diagram showing an organic EL display device according to an embodiment of the present invention.
도 2는 본 발명의 다른 실시예를 나타내는 설명도이다.2 is an explanatory diagram showing another embodiment of the present invention.
도 3은 본 발명의 또 다른 실시예를 나타내는 설명도이다.3 is an explanatory diagram showing still another embodiment of the present invention.
도 4는 종래예의 유기 EL 표시 장치를 나타내는 설명도이다.4 is an explanatory diagram showing an organic EL display device of a conventional example.
도 5는 종래예의 유기 EL 표시 장치를 나타내는 설명도이다.5 is an explanatory diagram showing an organic EL display device of a conventional example.
* 도면의 주요 부호에 대한 설명 *Description of the main symbols in the drawings
1 : 투명 기판 2 : 제1 전극1
3 : 유기층 4 : 제2 전극3: organic layer 4: second electrode
5A, 5B : 인출 전극 6 : 금속 인출 전극층5A, 5B: lead-out electrode 6: metal lead-out electrode layer
7A, 7B : 절연막 8 : 밀봉 부재7A, 7B: insulating film 8: sealing member
9a, 9b : 용융 접합부 L : 발광 영역9a, 9b: melt junction L: light emitting region
S : 접속 부분S: connection part
본 발명은 발광 소자에서의 전극에 표시 신호를 공급하는 인출 전극을 접속시킨 발광 표시 장치, 이러한 발광 표시 장치의 하나인 유기 EL 표시 장치, 및 그 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a light emitting display device in which a drawing electrode for supplying a display signal to an electrode in a light emitting element is connected, an organic EL display device which is one of such light emitting display devices, and a manufacturing method thereof.
자기 발광형의 발광 표시 장치로는 근래 여러 가지가 개발되어 있지만, 기본적인 구조는 점등 또는 비점등의 구동이 가능한 발광 소자를 요소로 하여, 이 발광 소자를 평면적으로 배열한 것이다. 이러한 발광 표시 장치로는 방전 공간에 의해서 구획된 셀을 발광 소자로 하는 PDP(Plasma Display Panel)를 비롯하여 VFE(Vacuum Fluorescence Display), EL(Electroluminescencc), LED(Light Emitting Diode), FED(Field Emission Display) 등을 예로 들 수 있다. 이러한 발광 표시 장치의 중에서, 특히 저전압으로 고휘도의 면(面) 발광을 얻을 수 있고 재료 선택에 의해 색 순도가 높은 RGB 발광을 얻을 수 있는 유기 EL 소자를 요소로 한 유기 EL 표시 장치가 초박형·경량화 및 풀 컬러(full color)화를 가능하게 하는 표시 장치로서 주목을 모으고 있다.Various self-emission light emitting display devices have been developed in recent years, but the basic structure is a light emitting element capable of driving light or non-lighting, and the light emitting elements are arranged in a planar manner. Such a light emitting display device includes a plasma display panel (PDP) that uses cells partitioned by discharge spaces as light emitting elements, a vacuum fluorescence display (VFE), an electroluminescencc (EL), a light emitting diode (LED), and a field emission display (FED). ) And the like. Among such light emitting display devices, an organic EL display device having an organic EL element capable of obtaining high luminance surface emission at low voltage and obtaining RGB light emission having high color purity by material selection is particularly thin and lightweight. And a display device that enables full colorization.
이 유기 EL 소자는 정(正)전압이 인가되는 양극과 부(負)전압이 인가되는 음극으로 이루어지는 한 쌍의 전극 사이에 발광 기능층을 포함하는 유기층을 사이에 둔 것이며, 전극 사이에 전압을 인가함으로써 음극으로부터 전자가, 양극으로부터 정공이 각각 유기층에 주입되어 이 유기층 속에서 전자-정공 재결합이 일어남으로써 발광이 생기는 것이다. 이러한 유기 EL 소자로 이루어지는 유기 EL 표시 장치 의 종래예를 도 4를 이용하여 설명한다.The organic EL device is provided with an organic layer including a light emitting functional layer between a pair of electrodes consisting of an anode to which a positive voltage is applied and a cathode to which a negative voltage is applied, and a voltage is applied between the electrodes. When applied, electrons are injected from the cathode and holes are injected from the anode into the organic layer, respectively, and electron-hole recombination occurs in the organic layer to generate light emission. The conventional example of the organic electroluminescence display which consists of such organic electroluminescent element is demonstrated using FIG.
유기 EL 표시 장치는 투명 기판(1)의 한쪽 측면 상에, ITO 등의 투명 전극으로 이루어지는 제1 전극(양극)(2), Alq3 등의 발광 재료로 이루어지는 발광 유기층을 포함하는 유기층(3), Al 등의 금속 전극으로 이루어지는 제2 전극(음극)(4)을 차례로 적층한 유기 EL 소자로 이루어지는 것으로, 이 유기 EL 소자의 제1 전극(2) 및 제2 전극(4)에서는 표시 신호를 공급하기 위한 인출 전극(5A, 5B)이 형성되어 있다.The organic EL display device includes, on one side of the
여기서, 제1 전극(2)측의 인출 전극(5A)은 제1 전극(2)을 형성할 때의 투명 전극층(2L) 상에 배선 저항을 낮추기 위한 금속 인출 전극층(6)을 형성하며, 이 인출 전극(5A)과 제2 전극(4) 사이는 절연막(7A)을 형성하여 단락 방지를 꾀하고 있다. 또한, 제2 전극측의 인출 전극(5B)은 패터닝된 투명 전극층(2L) 상에 금속 인출 전극층(6)을 형성하고, 그 위에 제2 전극(4)에 연결되는 금속 전극층(4L)을 형성하며, 이 인출 전극(5B)과 제1 전극(2) 사이는 절연막(7B)을 형성하여 단락 방지를 꾀하고 있다. 또한 이 유기 EL 소자는 외기(外氣)에 접촉하면 열화가 현저하기 때문에 밀봉 부재(8)를 설치하여 유기 EL 소자의 발광 영역(L) 부근을 기밀 상태로 밀봉한다.Here, the
이러한 유기 EL 표시 장치의 제조 공정은, 먼저 투명 기판(1) 상에 투명 전극층(2L)을 형성한 후, 이를 표시에 필요한 패턴으로 패터닝하여 제1 전극(2)을 형성하고, 아울러 이 투명 전극층(2L)으로 인출 전극(5A, 5B)의 베이스를 형성한다. 다음에, Cr 등으로 이루어지는 금속 인출 전극층(6)을 투명 전극층(2L) 상에 형성한 후, 이것을 패터닝하여 인출 전극(5A, 5B)을 형성한다. 그리고, 발광 영역(L)을 만들어 절연막(7A, 7B)을 형성한 후, 제1 전극(2)의 노출면 상에 유기층(3)을 형성하여 그 유기층(3) 위 및 인출 전극(5B)의 금속 인출 전극층(6) 위에 금속 전극층(4L)을 형성하여 유기층(3) 상에 제2 전극(4)을 형성한다. 그리고 그 위에 발광 영역(L)을 덮도록 밀봉 부재(8)를 피복하여 밀봉 처리를 한다.In the manufacturing process of such an organic EL display device, first, the
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이 종래예의 제2 전극(4)측의 인출 전극(5B)은 Al 등으로 이루어지는 금속 전극층(4L)을 밀봉 부재(8) 밖으로 노출시키고, 이 노출시킨 금속 전극층(4L)과 ITO 등으로 이루어지는 투명 전극층(2L)의 사이에 금속 인출 전극층(6)을 사이에 둔 구조를 이루고 있다.The lead-out
이러한 구조를 취한 이유는 ITO 등으로 이루어지는 투명 전극층(2L) 상에 직접 Al 등의 금속 전극층(4L)을 접촉시키면 금속 전극층(4L)이 부식하기 쉽기 때문이지만, 이러한 인출 전극(5B) 구조에서는 금속 전극층(4L)의 표면이 외부에 노출되기 때문에 열·습기의 영향으로 금속 전극층(4L)의 노출 부분이 열화하여 제2 전극(4)으로의 전기 공급에 지장이 생기는 문제가 있다. 또한, 제2 전극(4)을 형성하는 금속 전극층(4L)을 인출 전극(5B) 상에 형성할 때에 제2 전극으로 기능하는 부분과 인출 전극으로 기능하는 부분에서 서로 다른 패턴이 되기 때문에 각각 상이한 패턴을 형성하기 위한 마스크가 2매 필요하고, 또 상이한 패턴을 형성하기 위하여 공정적으로도 복잡하게 되며, 비용도 높아지는 다른 문제도 있다.The reason for taking this structure is that when the
이것에 대처한 다른 종래예로서, 도 5에 도시한 바와 같은 구조가 채용된다(전술한 종래예와 동일한 부분은 동일한 부호를 부여하여 중복하는 설명을 일부 생략한다). 이 종래예에서, 제2 전극(4)은 유기층(3) 위와 인출 전극(5B)에서의 금속 인출 전극층(6)의 일부에 걸치는 접속 부분(S) 위에만 형성되고, 이 제2 전극 전체를 밀봉 부재(8) 내에 수용하여 기밀로 밀봉하고 있다. 즉, 인출 전극(5B)은 투명 전극층(2L) 상에 금속 인출 전극층(6)을 형성한 것뿐인 구조를 이루고 있다.As another conventional example to cope with this, the structure as shown in Fig. 5 is adopted (the same parts as those in the conventional example described above are given the same reference numerals and some overlapping descriptions are omitted). In this conventional example, the
이 종래예에서는 금속 전극층(4L)은 제2 전극(4)으로서의 패턴을 형성하는 것만으로 끝나므로 단일 마스크를 이용하여 형성할 수 있으며, 공정도 단순화할 수 있어 비용면에서도 유리하며, 또 제2 전극(4)을 형성하는 금속 전극층(4L)을 완전히 밀봉하기 때문에 전극이 열화하여 전기 공급에 지장이 발생하는 경우는 없다.In this conventional example, since the
그러나, 제2 전극(4)과 인출 전극(5B) 사이에는 다른 종류의 금속간 접합이고, 그것도 접촉 면적이 작은 접속 부분(S)을 사이에 두고, 또 인출 전극(5B) 상에 금속 전극층(4L)을 형성하기까지의 사이에 통상 열처리 공정을 사용하므로 인출 전극(5B) 표면에 산화막이 발생하기 쉽고, 충분히 접촉 저항을 작게할 수 없는 문제가 있었다.However, another type of intermetallic junction is formed between the
그래서, 여기서는 유기 EL 표시 장치를 예로 들어 설명하고 있지만 이것에 한정되지 않으며, 발광 소자를 요소로 하는 다른 발광 표시 장치에서도 발광 소자의 전극과 인출 전극 사이에 접속 부분을 갖는 것에서는 동일한 문제가 발생하고 있다.Therefore, although the organic EL display device is described here as an example, the present invention is not limited thereto, and the same problem occurs in other light emitting display devices using the light emitting element as having a connection portion between the electrode and the extraction electrode of the light emitting element. have.
본 발명은 이러한 사정에 대처하기 위하여 제안된 것으로, 표시 신호가 공급되는 전극을 구비한 발광 소자로 이루어지며, 이 전극에 대해 표시 신호를 공급하기 위한 인출 전극을 접속한 발광 표시 장치, 이러한 발광 표시 장치의 하나인 유기 EL 표시 장치 및 그 제조 방법으로서, 이 전극과 인출 전극의 접합 부분에서의 전기 저항을 작게하여 양호한 신호 공급을 행하는 것을 과제로 한다.The present invention has been proposed to cope with such a situation, and comprises a light emitting device having an electrode to which a display signal is supplied, and a light emitting display device connected to a drawing electrode for supplying a display signal to the electrode, such a light emitting display. As an organic EL display device which is one of the devices and a method of manufacturing the same, an object of the present invention is to provide a good signal supply by reducing the electrical resistance at the junction between the electrode and the drawing electrode.
상기한 과제를 해결하기 위하여 본 발명의 이하여 특징을 갖는 것이다.In order to solve the above problems, the present invention has the following features.
일 실시예에 따른 발명은 투명 기판 상에 형성된 제1 전극, 상기 제1 전극 상에 형성된 최소한 한 층 이상의 발광 기능층, 및 상기 발광 기능층 상에 형성된 제2 전극을 구비한 발광 소자를 포함하고, 상기 제2 전극에 표시 신호를 공급하기 위한 인출 전극을 접속한 발광 표시 장치로서, 상기 제2 전극과 상기 인출 전극의 접속 부분의 적어도 한 곳 이상을 용융 접합한 것을 특징으로 한다.The invention according to an embodiment includes a light emitting device having a first electrode formed on a transparent substrate, at least one light emitting functional layer formed on the first electrode, and a second electrode formed on the light emitting functional layer; A light emitting display device comprising a lead electrode for supplying a display signal to the second electrode, characterized in that at least one or more of the connection portions of the second electrode and the lead electrode are melt-bonded.
다른 실시예에 따른 발명은 투명 기판 상에 형성된 제1 전극과, 상기 제1 전극 상에 형성된 적어도 한 층 이상의 발광 기능층, 및 상기 발광 기능층 상에 형성된 제2 전극을 구비한 발광 소자를 포함하고, 상기 제2 전극에 표시 신호를 공급하기 위한 인출 전극을 접속한 발광 표시 장치로서, 상기 발광 소자를 덮는 밀봉 부재를 설치하고, 상기 제2 전극 전체를 상기 밀봉 부재로 밀봉하는 동시에 상기 상기 밀봉 부재 내에 상기 제2 전극과 상기 인출 전극을 접속하는 접속 부분을 형성하며, 상기 접속 부분의 적어도 한 곳 이상을 용융 접합한 것을 특징으로 한다.According to another embodiment of the present invention, there is provided a light emitting device including a first electrode formed on a transparent substrate, at least one light emitting functional layer formed on the first electrode, and a second electrode formed on the light emitting functional layer. A light emitting display device comprising a drawing electrode connected to a drawing electrode for supplying a display signal to the second electrode, comprising: a sealing member covering the light emitting element, sealing the entire second electrode with the sealing member; A connecting portion for connecting the second electrode and the lead electrode is formed in the member, and at least one or more of the connecting portions are melt-bonded.
또 다른 실시예에 따른 발명은 상기 실시예들의 발광 표시 장치를 전제로 하여, 상기 인출 전극은 상기 제2 전극과 다른 금속으로 형성되는 것을 특징으로 한다.According to another embodiment of the present invention, the extraction electrode may be formed of a metal different from that of the second electrode.
또 다른 실시예에 따른 발명은 상기 실시예의 발광 표시 장치를 전제로 하여, 상기 제1 전극은 투명 전극이며, 상기 제2 전극은 금속 전극인 것을 특징으로 한다.According to another embodiment of the present invention, the first electrode is a transparent electrode, and the second electrode is a metal electrode.
또 다른 실시예에 따른 발명은 상기 실시예들의 발광 표시 장치를 전제로 하여, 상기 접속 부분의 용융 접합을 레이저광의 조사에 의해 행해지는 것을 특징으로 한다.The invention according to still another embodiment is characterized in that fusion bonding of the connection portion is performed by irradiation of laser light on the premise of the light emitting display device of the above embodiments.
또 다른 실시예에 따른 발명은 상기 실시예들의 발광 표시 장치를 전제로 하고, 상기발광 소자는 유기 EL 소자인 것을 특징으로 한다.The invention according to another embodiment is based on the light emitting display device of the above embodiments, and the light emitting element is an organic EL element.
또 다른 실시예에 따른 발명의 유기 EL 표시 장치는 투명 기판 상에 형성된 투명 전극층으로 이루어지는 제1 전극과, 상기 제1 전극 상에 형성된 적어도 한 층 이상의 발광 기능층으로 이루어지는 유기층, 및 상기 유기층 상에 형성된 금속 전극층으로 이루어지는 제2 전극을 구비한 유기 EL 소자를 포함하고, 상기 제2 전극에 표시신호를 공급하기 위한 인출 전극을 접속한 유기 EL 표시 장치로서, 상기 인출 전극은 상기 제1 전극으로부터 절연된 상기 투명 전극층 상에 형성된 금속 인출 전극층으로 이루어지고, 상기 금속 인출 전극층 상의 일부에 상기 제2 전극과의 접속 부분을 형성하고, 상기 제2 전극 및 접속 부분을 밀봉 부재에 내에 형성하여 기밀 상태로 밀봉하고, 상기 접속 부분의 적어도 한 곳 이상에 레이저광 조사에 의한 용융 접합부를 형성하는 것을 특징으로 한다.An organic EL display device according to another embodiment of the present invention includes a first electrode made of a transparent electrode layer formed on a transparent substrate, an organic layer made of at least one light emitting functional layer formed on the first electrode, and an organic layer formed on the organic layer. An organic EL display device comprising: an organic EL element having a second electrode formed of a formed metal electrode layer; and an extraction electrode for supplying a display signal to the second electrode, wherein the extraction electrode is insulated from the first electrode. A metal lead-out electrode layer formed on the transparent electrode layer, wherein a portion of the metal lead-out electrode layer is formed with a connection portion with the second electrode, and the second electrode and the connection portion are formed in a sealing member in an airtight state. Sealing and forming a fusion spliced portion by laser light irradiation on at least one of the connection portions It is characterized by.
또 다른 실시예에 따른 발명의 유기 EL 표시 장치의 제조 방법은 투명 기판 상에 필요 패턴의 투명 전극층을 형성하는 공정과, 상기 투명 전극층을 패터닝하여 제1 전극을 형성하는 공정과, 상기 투명 전극층 또는 투명 기판 상에 금속 인출 전극층을 형성하는 공정과, 상기 제1 전극의 노출면 상에 적어도 한 층 이상의 발광 기능층을 포함하는 유기층을 형성하는 공정과, 상기 유기층의 노출면 상에 제2 전극을 형성하는 동시에 상기 금속 인출 전극층 상에 접속 부분을 형성하는 금속 전극층을 형성하는 공정, 및 적어도 상기 금속 전극층의 전체를 밀봉 부재로 밀봉하는 밀봉 공정을 포함하며, 상기 밀봉 공정의 이전 또는 이후, 상기 접속 부분에서의 금속 인출 전극층과 금속 전극층을 레이저광의 조사에 의해 용융 접합시키는 것을 특징으로 한다.In another embodiment, a method of manufacturing an organic EL display device includes: forming a transparent electrode layer having a required pattern on a transparent substrate; forming a first electrode by patterning the transparent electrode layer; Forming a metal drawing electrode layer on the transparent substrate, forming an organic layer including at least one light emitting functional layer on the exposed surface of the first electrode, and forming a second electrode on the exposed surface of the organic layer. Forming a metal electrode layer that simultaneously forms a connection portion on the metal lead-out electrode layer; and a sealing step of sealing at least the entirety of the metal electrode layer with a sealing member, wherein the connection is performed before or after the sealing step. It is characterized in that the metal lead-out electrode layer and the metal electrode layer in the portion are melt-bonded by irradiation with laser light.
이러한 특징을 가지는 본 발명은 이하의 작용을 한다.The present invention having such characteristics has the following functions.
각 청구항의 발광 표시 장치에 의하면, 발광 소자에서 표시 신호가 공급되는 전극과 인출 전극의 접속 부분을 용융 접합하였기 때문에, 형성 시에 접속 부분의 접촉 상태에 문제가 있는 경우에도, 그 후에 용융 접합을 행하기 때문에 접속 부분의 전기적인 접합이 확실하게 이루어져 전기 저항을 저하시킬 수 있다. 이렇게 함으로써 발광 소자에의 신호 공급을 양호하게 행할 수 있다.According to the light emitting display device of each claim, since the connection portion between the electrode to which the display signal is supplied and the lead electrode is melt-bonded in the light emitting element, even if there is a problem in the contact state of the connection portion at the time of formation, the fusion bonding is performed after that. As a result, electrical joining of the connecting portion can be securely performed, and electrical resistance can be lowered. By doing in this way, a signal supply to a light emitting element can be performed favorably.
그리고, 또 다른 실시예의 발광 표시 장치에서는 발광 소자를 덮는 밀봉 부재를 설치하여 제2 전극 전체를 이 밀봉 부재로 밀봉하고, 상기한 접속 부분을 밀봉 부재 내에 형성하고 있기 때문에 제2 전극 및 접속 부분의 열화를 방지할 수 있으며, 또한 접속 부분의 전기 저항을 저하시킬 수 있다. 또, 제2 전극은 발광 기능층 위와 인출 전극의 접속 부분 위에 형성되면 되므로 단일 마스크 패턴의 형성으로 충분하고, 공정도 단순화할 수 있으므로 비용을 낮출 수 있다.In the light emitting display device according to another embodiment, the sealing member covering the light emitting element is provided to seal the entire second electrode with the sealing member, and the connecting portion is formed in the sealing member. Deterioration can be prevented and the electrical resistance of a connection part can be reduced. In addition, since the second electrode only needs to be formed on the light-emitting functional layer and the connection portion of the extraction electrode, the formation of a single mask pattern is sufficient, and the process can be simplified, thereby reducing the cost.
또한 또 다른 실시예들의 발광 표시 장치에서는 인출 전극을 제2 전극과 다른 금속 전극으로 형성하기 때문에, 이 인출 전극을 투명 전극층(제1 전극층)과 제2 전극층 사이에 끼워 버퍼층으로 할 수 있다. 이로써 투명 전극층 상에 제2 전극을 형성하는 경우에도 투명 전극층과 제2 전극이 직접 접촉하는 일이 없게 되어, 이 직접 접촉에 의한 제2 전극의 부식 또는 열화를 방지할 수 있다.Further, in the light emitting display device of yet another embodiment, the lead electrode is formed of a metal electrode different from the second electrode, so that the lead electrode can be interposed between the transparent electrode layer (first electrode layer) and the second electrode layer to form a buffer layer. Thus, even when the second electrode is formed on the transparent electrode layer, the transparent electrode layer and the second electrode do not directly contact each other, and corrosion or deterioration of the second electrode due to the direct contact can be prevented.
또, 본 발명에서는 제2 전극과 인출 전극의 접속 부분이 다른 종류의 금속 사이의 접속이 되지만, 이 접속 부분을 용융 접합하고 있기 때문에 다른 종류의 금속 사이의 접속이더라도 전기 저항을 저하시킬 수 있다. 이로 인해, 투명 전극층을 패터닝할 때에 이 층을 일부 남겨 그 위에 인출 전극층을 형성하고, 그 위에 제2 전극과의 접속 부분을 형성할 수 있기 때문에 제1 전극의 패터닝 공정을 간이화할 수 있다.Moreover, in this invention, although the connection part of a 2nd electrode and a drawing electrode becomes a connection between metals of different types, since this connection part is melt-bonded, even if it is a connection between other types of metal, electrical resistance can be reduced. For this reason, when patterning a transparent electrode layer, a part of this layer can be left and the extraction electrode layer can be formed on it, and the connection part with a 2nd electrode can be formed on it, and the patterning process of a 1st electrode can be simplified.
실시예의 발광 표시 장치에서는 접속 부분의 용융 접합을, 레이저광을 조사하여 행함으로써 접속 부분에 스폿형의 용융 접합부를 형성할 수 있기 때문에, 소면적의 접속 부분이더라도 확실하게 전기 저항을 저하시킬 수 있다.In the light-emitting display device of the embodiment, the spot-type fusion-junction portion can be formed in the connection portion by performing fusion bonding of the connection portion by irradiating laser light, so that even if the connection portion has a small area, the electrical resistance can be reliably lowered. .
또, 접속 부분을 밀봉 부재 내에 형성하는 경우라도, 밀봉 부재에 의한 밀봉 후에 투명 기판을 통하여 레이저광을 접속 부분에 조사할 수 있기 때문에, 발광 표시 장치의 제조 공정 도중의 공정을 특히 변경하지 않고 접속 부분의 용융 접합을 실행할 수 있다. 밀봉 부재를 유리 등의 투명한 부재로 한 경우에는 이 밀봉 부재를 통하여 레이저광을 접속 부분에 조사할 수도 있다. 나아가, 인출 전극을 제2 전극과 다른 금속으로 형성한 경우라도 레이저광을 조사하여 다른 종류의 금속 사이의 접속 부분이 용융하여 합성되기 때문에, 확실히 접속 부분의 전기 저항을 저하시킬 수 있다.In addition, even when the connecting portion is formed in the sealing member, since the laser beam can be irradiated to the connecting portion through the transparent substrate after sealing by the sealing member, the connection during the manufacturing process of the light emitting display device is not particularly changed. Melt joining of parts can be performed. When making a sealing member into transparent members, such as glass, a laser beam can also be irradiated to a connection part through this sealing member. Further, even when the lead electrode is formed of a metal different from the second electrode, the connection portion between the different kinds of metals is melted and synthesized by irradiating laser light, so that the electrical resistance of the connection portion can be reliably lowered.
실시예의 발광 표시 장치에서는 전술한 특징을 유기 EL 소자에 적용할 수 있기 때문에, 투명 기판 상에 직접 형성되지 않는 제2 전극을 인출 전극에 확실하게 접속하여 저(低)저항에서의 인출이 가능하게 된다. 또, 제2 전극 및 접속 부분을 밀봉 부재에 밀봉하는 것에서는 전극이 열화되는 일이 없이 제2 전극에의 전기공급을 확실하게 행할 수 있고, 또 유기 EL의 발광 기능층을 외기로부터 차단할 수 있어 발광 표시 장치의 수명을 연장시킬 수 있다.In the light emitting display device of the embodiment, the above-described features can be applied to the organic EL element, so that the second electrode, which is not formed directly on the transparent substrate, can be reliably connected to the lead-out electrode to enable drawing at low resistance. do. In addition, in sealing the second electrode and the connecting portion to the sealing member, electricity can be reliably supplied to the second electrode without deterioration of the electrode, and the light emitting functional layer of the organic EL can be blocked from the outside air. The lifespan of the light emitting display device can be extended.
실시예들의 유기 EL 표시 장치 및 그 제조 방법에서는 투명 기판 상에 형성된 투명 전극층 상에 제2 전극에 접속하는 금속 인출 전극층을 형성하는 구조로 하고 있기 때문에, 투명 전극층을 일부 남겨 그 위에 금속 인출 전극층을 형성할 수 있어서, 투명 전극층의 패터닝을 간이화할 수 있다. 또, 금속 전극층으로 이루어지는 제2 전극은 금속 인출 전극층 상에 접속 부분이 형성되기 때문에, 금속 전극층과 투명 전극층이 직접 접촉하여 전극의 부식을 초래할 우려가 없다. 게다가, 접속 부분을 포함해서 금속 전극층을 밀봉 부재 내에 형성하여 기밀 상태로 밀봉하기 때문에, 금속 전극층이 열화될 우려가 없고, 제2 전극에의 전기 공급을 확실하게 행할 수 있다. 또, 금속 전극층은 제2 전극을 형성하는 유기층 위와 금속 인출 전극층 위의 일부에 형성하면 되므로, 제2 전극을 형성하는 단일 마스크 패턴의 형성으로 충분하며, 형성 공정을 간소화할 수도 있기 때문에, 비용을 줄이는 것도 된다.In the organic EL display device and the method of manufacturing the same, the metal lead-out electrode layer for connecting to the second electrode is formed on the transparent electrode layer formed on the transparent substrate, so that the metal lead-out electrode layer is left on the transparent electrode layer. It can form, and the patterning of a transparent electrode layer can be simplified. Further, in the second electrode made of the metal electrode layer, since the connection portion is formed on the metal lead-out electrode layer, there is no fear that the metal electrode layer and the transparent electrode layer directly contact and cause corrosion of the electrode. In addition, since the metal electrode layer including the connecting portion is formed in the sealing member and sealed in the hermetic state, there is no fear of deterioration of the metal electrode layer, and the supply of electricity to the second electrode can be reliably performed. In addition, since the metal electrode layer may be formed on a part of the organic layer forming the second electrode and on the metal drawing electrode layer, the formation of a single mask pattern for forming the second electrode is sufficient, and since the formation process can be simplified, the cost can be reduced. It can also be reduced.
그리고, 접속 부분에서는 금속 전극층과 다른 종류의 금속의 금속 인출 전극층이 접속되지만, 이 접속 부분에 레이저광 조사에 의한 용융 접합부를 형성하기 때문에 다른 종류의 금속 사이의 접속이며, 또 형성 시의 밀착성에 문제가 있더라도 낮은 전기 저항의 접속을 얻을 수 있다. 또, 이 레이저광 조사에 의한 용융 접합 처리는 투명 기판 또는 투명한 밀봉 부재를 통하여 레이저광을 접속 부분에 조사하는 것으로, 밀봉 부재에 의한 밀봉 공정 후에 행할 수 있기 때문에, 유기 EL 표시 장치의 제조 공정 도중의 공정을 변경하지 않고 필요한 처리을 행할 수 있다.In addition, although the metal electrode layer and the metal extraction electrode layer of a different kind of metal are connected in a connection part, since the fusion | melting junction part by laser light irradiation is formed in this connection part, it is a connection between other types of metals, Even if there is a problem, low electrical resistance connections can be obtained. Moreover, since the fusion | melting bonding process by this laser beam irradiation can irradiate a connection part with a laser beam through a transparent substrate or a transparent sealing member, and can be performed after the sealing process by a sealing member, it is during the manufacturing process of an organic electroluminescence display. The necessary processing can be performed without changing the process of.
이하, 본 발명의 실시예를 도면을 참조하여 설명한다(종래 기술과 동일한 부분에는 동일한 부호를 부여하고 일부 설명을 생략한다). 또, 이하의 실시예에서는 유기 EL 표시 장치를 예로 들어 설명하지만, 본 발명은 동일한 발광 소자에서의 전극과 인출 전극의 구조를 가지는 다른 발광 표시 장치에서도 적용할 수 있는 것이다.Best Mode for Carrying Out the Invention Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings (the same parts as in the prior art are denoted by the same reference numerals and some description thereof will be omitted). In the following embodiments, the organic EL display device is described as an example. However, the present invention can be applied to other light emitting display devices having structures of electrodes and extraction electrodes in the same light emitting element.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 EL 표시 장치를 나타내는 설명도이다. 유기 EL 표시 장치는 유리 등으로 이루어지는 투명 기판(1)의 한쪽 측면 상에 ITO 등의 투명 전극층(2L)으로 이루어지는 제1 전극(양극)(2), Alq3 등의 발광 재료로 이루어지는 적어도 한 층 이상의 발광 기능층을 포함하는 유기층(3), Al 등의 금속 전극층으로 이루어지는 제2 전극(음극)(4)을 차례로 적층한 유기 EL 소자로 이루어지는 것으로, 이 유기 EL 소자의 제1 전극(2) 및 제2 전극(4)에서는 표시 신호를 공급하기 위한 인출 전극(5A, 5B)이 형성되어 있다.1 is an explanatory diagram showing an organic EL display device according to an embodiment of the present invention. The organic EL display device comprises at least one layer made of a light emitting material such as Alq 3 and a first electrode (anode) 2 made of
여기서, 제1 전극(2)측의 인출 전극(5A)은 제1 전극(2)을 형성할 때의 투명 전극층(2L) 상에 배리어층이 되는 금속 인출 전극층(6)을 형성하고 있으며, 이 인출 전극(5A)과 제2 전극(4) 사이는 절연막(7A)을 형성하여 단락 방지를 꾀하며, 제2 전극측 인출 전극(5B)은 패터닝된 투명 전극층(2L)의 일부에 배리어층이 되는 금속 인출 전극층(6)을 형성하여, 이 인출 전극(5B)과 제1 전극(2) 사이는 절연막(7B)을 형성하여 단락방지를 꾀하고 있다.Here, the
금속 인출 전극층(6)의 재료는 제2 전극(4)을 형성하는 금속 전극층(4L) 또는 투명 전극층(2L)과는 상이한 도전성의 금속 재료이며, Cr 등의 재료가 사용되고, 금속 전극층(4L) 전체를 금속 또는 유리로 이루어지는 밀봉 부재(8)로 밀봉하여, 이 밀봉 부재(8) 내에 금속 인출 전극층(6)과 금속 전극층(4L)의 접속 부분(S)을 형성하고 있다. 그리고, 이 접속 부분(S)에는 투명 기판(1)을 통하여 레이저광 (La)이 조사되고, 스폿형의 용융 접합부(9a)가 적어도 한 곳, 필요에 따라 여러 곳에 형성되어 있다. 이 용융 접합부(9a)는 밀봉 부재(8)를 유리 등의 투명 부재로 형성한 경우에는 밀봉 부재(8)를 통한 레이저광(La')의 조사에 의해서도 형성할 수 있다.The material of the metal lead-out
이러한 실시예의 유기 EL 표시 장치에 의하면, 다른 종류의 금속의 금속 인출 전극층(6)과 금속 전극층(4L)이 접속 부분(S)에서 레이저광에 의한 국부적인 가열에 의해서 용융 접합되기 때문에, 이 접속 부분(S)에서의 전기 저항을 저감시킬 수 있게 된다. 또, 접속 부분(S)을 포함하여 금속 전극층(4L) 전체를 밀봉 부재(8)로 밀봉하기 때문에, 제2 전극(4)을 형성하는 금속 전극층(4L)이 열이나 습기에 접촉하여 열화되는 일도 없다. 이에 따라 제2 전극에 전기 공급을 양호하게 행할 수 있게 된다.According to the organic EL display device of this embodiment, since the metal
이 실시예에서의 유기 EL 표시 장치의 제조 방법에 대하여 설명한다. 제1 공정에서는 투명 기판(1) 상에 투명 전극층(2L)을 형성하고, 표시에 필요한 패터닝을 실시하여 제1 전극(2)을 형성한다. 이 때에 패터닝은 최소한으로 그치고, 투명 전극층(2L)을 인출 전극(5A, 5B)의 베이스로 남겨 둠으로써 패터닝 처리를 간이화할 수 있다.The manufacturing method of the organic electroluminescence display in this Example is demonstrated. In the first step, the
다음 공정에서는, 인출 전극(5A, 5B) 상에 금속 인출 전극층(6)을 형성하고, 계속하여 발광 영역(L)을 마스크하여 절연막(7A, 7B)을 필요한 영역에 형성한다. 그리고, 제1 전극(2)의 노출면 상에 유기층(3)을 증착 등에 의해 형성한 후, 이 유기층(3) 위와 금속 인출 전극층(6)의 접속 부분(S) 위에 제2 전극(4)이 되는 금속 전극층(4L)을 형성한다.In the next step, the metal lead-out
그리고, 금속 전극층(4L) 전체를 덮는 밀봉 부재(8)를 설치하는 밀봉 공정을 거치고, 그 후에 레이저광(La 또는 La')의 조사에 의한 용융 접합부(9a)의 형성을 실시한다. 이 레이저광 조사에서의 사용 광원은 YAG 레이저 등의 원하는 출력을 얻을 수 있는 레이저이며, 그 출력광을 광학 시스템에 의해 스폿형으로 집광하여 투명 기판(1) 또는 투명한 밀봉 부재(8)를 통하여 접속 부분에 조사한다.Then, through the sealing step of providing the sealing
이러한 제조 방법에 의하면, 투명 전극층(2L)을 인출 전극(5B)의 베이스로 남긴 경우에도 금속 인출 전극(6)이 사이에 끼어 투명 전극층(2L)과 제2 전극(4)을 직접 접촉시키지 않기 때문에, 전극의 부식을 발생시키는 일이 없다. 또, 레이저광 조사에 의한 용융 접합부(9a)의 형성은 밀봉 공정 종료후에 행하기 때문에, 유기 EL 표시 장치의 일련의 제조 공정을 변경할 필요가 없다.According to this manufacturing method, even when the
도 2는 본 발명의 다른 실시예를 나타내는 설명도이다. 전술한 실시예와 동 일 부분에는 동일 부호를 부여하여 중복되는 설명을 일부 생략한다. 이 실시예에서는 접속 부분(S)에 형성되는 용융 접합부(9b)를 레이저광 조사에 의한 스폿 구멍으로 한 것이다. 이렇게 하여도 스폿 구멍의 내면에 금속 인출 전극층(6)과 금속 전극층(4L)의 용융 접합 부분이 형성되기 때문에, 전술한 실시예와 동일한 작용 효과가 있다. 또, 제조 방법은 전술한 실시예와 동일한 공정으로 행할 수 있다.2 is an explanatory diagram showing another embodiment of the present invention. The same parts as in the above-described embodiment are given the same reference numerals, and some overlapping descriptions are omitted. In this embodiment, the fusion spliced
도 3은 본 발명의 다른 실시예를 나타내는 설명도이다. 전술한 실시예와 동일 부분에는 동일 부호를 부여하여 중복되는 설명을 일부 생략한다. 이 실시예에서는 투명 전극층(2L)을 패터닝할 때에, 인출 전극(5B)에서의 베이스층을 제거한 것이다. 이에 의하면, 제2 전극(4)측 인출 전극(5B)은 Cr 등으로 이루어지는 금속 인출 전극층(6)에 따라서만 형성되고, 밀봉 부재(8) 내의 접속 부분(S)에서 제2 전극(4)을 형성하는 금속 전극층(4L)과 접속되어 있다. 이 실시예에서도, 밀봉 부재(8) 내의 접속 부분(S)에 용융 접합부(9b)를 형성함으로써, 전술한 실시예와 동일한 작용을 나타내는 것이다. 또, 이 실시예의 제조 방법도 투명 전극층(2L)의 패터닝을 제외하고는 전술한 실시예와 동일한 공정으로 행할 수 있다.3 is an explanatory diagram showing another embodiment of the present invention. The same reference numerals are given to the same parts as in the above-described embodiment, and some overlapping descriptions are omitted. In this embodiment, when the
또, 전술한 도 1 ∼ 도 5에서는 발명의 이해를 용이하게 하기 위하여 단독의 발광 영역(L)으로 이루어지는 발광 표시 장치를 나타내고 있지만, 본 발명에서의 발광 표시 장치는 이러한 형태에 한정되는 것은 아니며, 발광 영역(L)이 복수 개 도트 매트릭스형으로 배열된 발광 표시 장치를 대상으로 삼을 수 있다.In addition, although the light emitting display device which consists of a single light emitting area | region L is shown in FIGS. 1-5 mentioned above in order to make understanding of an invention easy, the light emitting display device in this invention is not limited to this form, A light emitting display device having a plurality of light emitting regions L arranged in a dot matrix may be used as an object.
본 발명은 이와 같이 구성되기 때문에, 표시 신호가 공급되는 전극을 구비한 발광 소자로 이루어지고, 이 전극에 표시 신호를 공급하기 위한 인출 전극을 접속한 발광 표시 장치, 이러한 발광 표시 장치의 하나인 유기 EL 표시 장치 및 그 제조 방법에서, 이 전극과 인출 전극의 접속 부분에서의 전기 저항을 작게 하여 양호한 신호공급을 행할 수 있다.Since the present invention is constituted as described above, a light emitting display device comprising an light emitting element having an electrode to which a display signal is supplied, and connected to a drawing electrode for supplying a display signal to the electrode, an organic light emitting display which is one of such light emitting display devices. In the EL display device and the method of manufacturing the same, good signal supply can be performed by reducing the electrical resistance at the connection portion between the electrode and the drawing electrode.
Claims (8)
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002061674A JP3904950B2 (en) | 2002-03-07 | 2002-03-07 | Light emitting display device, organic EL display device, and manufacturing method thereof |
JPJP-P-2002-00061674 | 2002-03-07 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20030074136A KR20030074136A (en) | 2003-09-19 |
KR100863262B1 true KR100863262B1 (en) | 2008-10-15 |
Family
ID=29195845
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020030008173A Expired - Lifetime KR100863262B1 (en) | 2002-03-07 | 2003-02-10 | Method of manufacturing light emitting display device and organic EL display device |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3904950B2 (en) |
KR (1) | KR100863262B1 (en) |
TW (1) | TWI222612B (en) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005203286A (en) * | 2004-01-16 | 2005-07-28 | Sanyo Electric Co Ltd | Display panel manufacturing method and display panel |
JP5001270B2 (en) * | 2005-06-30 | 2012-08-15 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | Organic device and method of manufacturing the same |
JP2008262749A (en) * | 2007-04-10 | 2008-10-30 | Tdk Corp | El panel |
WO2010106638A1 (en) * | 2009-03-17 | 2010-09-23 | パイオニア株式会社 | Method for manufacturing organic el panel and organic el panel |
US9825248B2 (en) | 2013-04-01 | 2017-11-21 | Pioneer Corporation | Optical device |
WO2014162932A1 (en) | 2013-04-01 | 2014-10-09 | パイオニア株式会社 | Optical device |
KR102309620B1 (en) * | 2014-11-18 | 2021-10-07 | 삼성디스플레이 주식회사 | Organic light emitting display apparatus and method for manufacturing the same |
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-
2002
- 2002-03-07 JP JP2002061674A patent/JP3904950B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2003
- 2003-02-10 KR KR1020030008173A patent/KR100863262B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2003-03-06 TW TW092104879A patent/TWI222612B/en not_active IP Right Cessation
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW200304105A (en) | 2003-09-16 |
JP3904950B2 (en) | 2007-04-11 |
TWI222612B (en) | 2004-10-21 |
KR20030074136A (en) | 2003-09-19 |
JP2003264064A (en) | 2003-09-19 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PA0109 | Patent application |
Patent event code: PA01091R01D Comment text: Patent Application Patent event date: 20030210 |
|
PG1501 | Laying open of application | ||
A201 | Request for examination | ||
PA0201 | Request for examination |
Patent event code: PA02012R01D Patent event date: 20070413 Comment text: Request for Examination of Application Patent event code: PA02011R01I Patent event date: 20030210 Comment text: Patent Application |
|
E902 | Notification of reason for refusal | ||
PE0902 | Notice of grounds for rejection |
Comment text: Notification of reason for refusal Patent event date: 20080320 Patent event code: PE09021S01D |
|
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
PE0701 | Decision of registration |
Patent event code: PE07011S01D Comment text: Decision to Grant Registration Patent event date: 20080905 |
|
GRNT | Written decision to grant | ||
PR0701 | Registration of establishment |
Comment text: Registration of Establishment Patent event date: 20081007 Patent event code: PR07011E01D |
|
PR1002 | Payment of registration fee |
Payment date: 20081008 End annual number: 3 Start annual number: 1 |
|
PG1601 | Publication of registration | ||
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20110920 Start annual number: 4 End annual number: 4 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20120924 Year of fee payment: 5 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20120924 Start annual number: 5 End annual number: 5 |
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FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20130924 Year of fee payment: 6 |
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PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20130924 Start annual number: 6 End annual number: 6 |
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FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20141001 Year of fee payment: 7 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20141001 Start annual number: 7 End annual number: 7 |
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FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20150918 Year of fee payment: 8 |
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PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20150918 Start annual number: 8 End annual number: 8 |
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FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20160920 Year of fee payment: 9 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20160920 Start annual number: 9 End annual number: 9 |
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FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20170919 Year of fee payment: 10 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20170919 Start annual number: 10 End annual number: 10 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20180918 Year of fee payment: 11 |
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PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20180918 Start annual number: 11 End annual number: 11 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20200928 Start annual number: 13 End annual number: 13 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20210915 Start annual number: 14 End annual number: 14 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20220915 Start annual number: 15 End annual number: 15 |
|
PC1801 | Expiration of term |
Termination date: 20230810 Termination category: Expiration of duration |