[go: up one dir, main page]

KR100846682B1 - 테스트핸들러용 하이픽스보드 클램핑장치 - Google Patents

테스트핸들러용 하이픽스보드 클램핑장치 Download PDF

Info

Publication number
KR100846682B1
KR100846682B1 KR1020060125464A KR20060125464A KR100846682B1 KR 100846682 B1 KR100846682 B1 KR 100846682B1 KR 1020060125464 A KR1020060125464 A KR 1020060125464A KR 20060125464 A KR20060125464 A KR 20060125464A KR 100846682 B1 KR100846682 B1 KR 100846682B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
high fix
clamping
test
boards
clamp
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
KR1020060125464A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20080018079A (ko
Inventor
심재균
나윤성
전인구
구태흥
김동한
Original Assignee
(주)테크윙
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)테크윙 filed Critical (주)테크윙
Priority to KR1020060125464A priority Critical patent/KR100846682B1/ko
Publication of KR20080018079A publication Critical patent/KR20080018079A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100846682B1 publication Critical patent/KR100846682B1/ko
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2855—Environmental, reliability or burn-in testing
    • G01R31/286—External aspects, e.g. related to chambers, contacting devices or handlers
    • G01R31/2865—Holding devices, e.g. chucks; Handlers or transport devices
    • G01R31/2867—Handlers or transport devices, e.g. loaders, carriers, trays
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/04—Housings; Supporting members; Arrangements of terminals
    • G01R1/0408—Test fixtures or contact fields; Connectors or connecting adaptors; Test clips; Test sockets
    • G01R1/0433—Sockets for IC's or transistors
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
    • H01L22/30—Structural arrangements specially adapted for testing or measuring during manufacture or treatment, or specially adapted for reliability measurements

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

본 발명은 테스트핸들러용 하이픽스보드 클램핑장치에 관한 것으로, 본 발명에 따르면 나란히 배열되는 둘 이상의 하이픽스보드들 사이에 마련되어 상기 둘 이상의 하이픽스보드들의 마주보는 변들을 함께 클램핑할 수 있도록 마련되는 적어도 하나 이상의 회전운동식 클램핑유닛; 및 상기 둘 이상의 하이픽스보드들의 상기 마주보는 변들을 제외한 이외의 변들을 클램핑할 수 있도록 마련되는 다수의 직선운동식 클램핑유닛; 을 포함하며, 상기 회전운동식 클램핑유닛은, 위치고정된 회전점을 중심으로 회전함으로써 상기 둘 이상의 하이픽스보드들의 상기 마주보는 변들을 함께 클램핑하거나 클램핑을 해제하도록 마련되는 클램퍼; 및 상기 클램퍼에 회전력을 제공하기 위한 동력장치; 를 포함함으로써, 대형화된 테스트트레이와 하이픽스보드가 적절히 밀착될 수 있도록 하는 기술이 개시된다.
테스트핸들러, 클램핑, 하이픽스보드

Description

테스트핸들러용 하이픽스보드 클램핑장치{HIFIX BOARD CLAMPING APPARATUS FOR TEST HANDLER}
도1은 종래의 테스트핸들러에 대한 개략적인 사시도이다.
도2는 도1의 테스트핸들러의 주요부위를 상측에서 바라본 개념도이다.
도3은 도1의 테스트핸들러에 결합되는 종래의 테스터에 대한 개략적인 사시도이다.
도4는 도1의 테스트핸들러에 채용된 종래의 클램핑장치에 대한 개략도이다.
도5는 도1의 클램핑장치의 문제점을 설명하기 위한 참조도이다.
도6은 본 발명의 실시예에 따른 클램핑장치에 대한 개략도이다.
도7 내지 도9는 도6의 클램핑장치에 대한 작동상태를 설명하기 위한 작동상태도이다.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
610 : 직선운동식 클램핑유닛
620 : 회전운동식 클램핑유닛
611, 621 : 실린더
611a, 621a : 피스톤로드
612 : 직선운동식 클램퍼
622 : 회전운동식 클램퍼
623 : 연결링크
A : 회전점
본 발명은 테스트핸들러용 하이픽스보드 클램핑장치에 관한 것이다.
일반적으로 테스트핸들러는 소정의 제조공정을 거쳐 제조된 반도체소자를 테스터에 의해 테스트할 수 있도록 지원하며, 테스트 결과에 따라 반도체소자를 등급별로 분류하여 고객트레이에 적재하는 기기로서 이미 다수의 공개문서들을 통해 공개되어 있다.
도1은 그러한 테스트핸들러(100)에 대한 종래기술에 따른 개략사시도이고, 도2는 테스트핸들러(100)의 주요부위를 상측에서 바라본 개념도로서, 도1 및 도2를 참조하여 종래의 테스트핸들러의 주요부분에 대하여 개략적으로 설명하면 다음과 같다.
먼저 도1을 참조하여 보면, 종래의 테스트핸들러(100)는 로딩장치(110), 소크챔버(120), 테스트챔버(130), 디소크챔버(140), 언로딩장치(150) 및 프레스장치(160)를 갖추고 있다.
그리고 참고로 도2에 도시된 바와 같이 테스트챔버(130)의 후방으로는 테스 트챔버(130)에 위치한 테스트트레이 상의 반도체소자를 테스트하기 위한 테스터(170)가 배치된다. 도3은 테스터(170)를 보다 상세히 표현한 개략도로서, 도3을 참조하면, 테스터(170)는 행렬형태로 배열된 다수의 테스트소켓(171-1)을 가지는 두개의 하이픽스보드(171a, 171b)가 하나의 테스트헤드(172)에 상하로 배치되는 구성을 가지며, 하이픽스보드(171a, 171b) 각각이 하나씩의 테스트트레이(11a, 11b)를 담당하도록 하고 있다.
한편, 상기한 테스트핸들러(100)를 개략적으로 살펴보면 다음과 같다.
먼저 부호 10a의 고객트레이에 적재된 반도체 소자가 로딩장치(110)에 의해 로딩위치에 있는 테스트트레이로 로딩(이송 및 적재)되면, 반도체소자를 적재한 테스트트레이를 예열 또는 예냉을 위해 마련되는 소크챔버(120)를 경유시킨 후 테스트챔버(130)로 이송한다. 계속하여 두 장의 테스트트레이가 상하 2단 배열되어 테스트챔버(130) 상에서 도1 및 도2에서 참조되는 바와 같이 부호 11a 및 11b에서와 같은 위치상태를 가지면, 프레스장치(160)가 테스트트레이(11a, 11b)를 테스터(170)측으로 밀어서 테스트트레이(11a, 11b)가 테스터(170)의 하이픽스보드(171a, 171b)에 밀착(더 상세히는 테스트트레이에 적재된 반도체소자들과 하이픽스보드에 배열된 테스트소켓들 간의 교합)되도록 하고, 이어서 테스터(170)에 의해 적재된 반도체소자의 테스트가 이루어지면, 테스트트레이를 온도를 회복시키기 위해 마련되는 디소크챔버(140)를 경유시킨 후 언로딩위치로 이송한다. 그리고 언로딩장치(150)에 의해 언로딩위치에 있는 테스트트레이에 적재된 반도체소자가 궁극적으로 부호 10b의 고객트레이로 언로딩되면, 언로딩위치에 있는 테스트트레이를 다시 로딩위치로 이송한다.
위와 같은 과정에서 프레스장치(160)에 의해 테스트트레이(11a, 11b)를 하이픽스보드(171a, 171b)에 밀착시킬 경우, 하이픽스보드(171a, 171b)가 테스트챔버(130) 측에 견고히 결합되어 있지 아니하면, 테스트트레이(11a, 11b)와 하이픽스보드(171a, 171b)의 긴밀한 밀착이 이루어지지 않아 반도체소자들과 테스트소켓(171-1)들 간의 적절한 교합이 이루어지지 아니하므로, 클램핑장치에 의해 하이픽스보드(171a, 171b)가 테스트챔버(130) 측에 견고히 결합될 수 있도록 하고 있다.
도4는 그러한 클램핑장치에 대한 종래의 기술을 도시한 개략도이다.
도4를 참조하면, 종래의 클램핑장치는 하나의 하이픽스보드(171a, 171b) 당 4개의 클램핑유닛(190, 설명의 편의상 각 클램핑유닛의 구성이 모두 동일하므로 동일부호를 부여함)을 구비한다. 그리고 각 클램핑유닛(190)은, 실린더(191)와, 실린더(191)의 피스톤로드(191a)와 결합되어 전·후진함으로써 하이픽스보드(171a, 171b)의 변을 클램핑하는 클램퍼(192)를 포함하여 구성된다. 그리고 8개의 클램핑유닛(190)들 중 4개는 하이픽스보드(171a, 171b)의 좌측단을 클램핑하거나 클램핑 해제하도록 하고, 나머지 4개는 하이픽스보드(171a, 171b)의 우측단을 클램핑하거나 클램핑 해제하도록 하였다.
또 다른 한편으로 근래의 테스트핸들러에 대한 개발 추세를 보면, 반도체소자의 수요량 증가에 맞물려 동일시간당 테스트될 수 있는 반도체소자의 개수를 늘리는 방향으로 나아가고 있다. 지금까지는 주로 테스트핸들러의 각 구성들 중 로딩 장치나 언로딩장치의 가동률을 높이는 등 불필요하게 발생될 수 있는 시간지연요소를 극복하거나, 두 장의 테스트트레이에 적재된 반도체소자를 한꺼번에 테스트함으로써 처리속도를 증가시키는 점에 방향성을 가지고 있었다. 거기에 더하여 테스트트레이의 넓이를 확장하여 더 많은 반도체소자들을 적재시킴으로써 일회에 테스트될 수 있는 반도체소자의 개수를 늘려 처리속도를 증가시키도록 하는 방안이 강구되고는 있으나, 테스트트레이 및 그에 대응하는 구성요소들의 확장된 넓이만큼 더 확대되는 열변형 등에서 오는 문제점이나 기타 구조적인 문제점들 때문에 테스트트레이의 넓이를 더 넓히는 것은 곤란한 것으로 받아들여졌다. 그러나 테스트트레이를 확장함에 따라 일회에 테스트될 수 있는 반도체소자의 개수를 늘이는 것은 여전히 매력적인 방법이어서 지속적으로 연구개발되고 있으며, 그러한 연구개발의 성과로 멀지 않은 장래에는 테스트트레이의 넓이를 확장하게 될 것으로 예상된다. 따라서 만일 테스트트레이의 넓이를 확장하게 되면 그에 대응하는 하이픽스보드의 넓이도 확장하는 것은 당연히 고려되어져야 할 것이다.
그런데, 확장된 하이픽스보드를 테스트핸들러 측에 견고히 밀착시키기 위하여 도4와 같은 종래기술에 따른 클램핑장치를 채용하게 되면, 도5의 참조도에서 도시된 바와 같이 하이픽스보드(171a, 171b)의 중앙선(C) 부근의 지점에 틈새가 벌어지는 문제점이 필연적으로 발생하게 된다. 그러한 점들은 프레스장치(160)에 의해 테스트트레이(11a, 11b)가 하이픽스보드(171a, 171b)에 밀착될 때, 그 중앙선 부근의 일정 영역(E)에 위치한 반도체소자들과 테스트소켓들 간의 적절한 교합에 불량을 발생시킬 수밖에 없으므로, 테스트트레이(11a, 11b)의 크기를 확장시키는데 장 애를 가져오는 요소로 작용하게 될 것임이 분명하다.
만일 도4의 클램핑유닛(190)을 더 추가하여 하이픽스보드(171a, 171b)의 상단변 및 하단변을 클램핑하도록 구성하고자 한다면, 상하 2단으로 배열되는 두개의 하이픽스보드(171a, 171b)들 사이에 서로 마주하는 변들을 클램핑하기가 곤란하다. 왜냐하면, 클램핑유닛(190)의 구성요소인 실린더(191)의 설치공간과 하이픽스보드(171a, 171b)가 차지하는 공간 간에 서로 간섭이 발생하기 때문인데, 그렇다고 하여 하이픽스보드를 하나로만 구성시키는 것은 오히려 일회에 테스트될 수 있는 반도체소자의 개수를 감축시키게 되는 것이므로 고려할만한 사항이 되지 못한다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 일렬로 배열된 복수의 하이픽스보드의 중앙부분을 클램핑할 수 있는 테스트핸들러용 하이픽스보드 클램핑장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 테스트핸들러용 하이픽스보드 클램핑장치는, 나란히 배열되는 둘 이상의 하이픽스보드들 사이에 마련되어 상기 둘 이상의 하이픽스보드들의 마주보는 변들을 함께 클램핑할 수 있도록 마련되는 적어도 하나 이상의 회전운동식 클램핑유닛; 및 상기 둘 이상의 하이픽스보드들의 상기 마주보는 변들을 제외한 이외의 변들을 클램핑할 수 있도록 마련되는 다수의 클램핑유닛; 을 포함하며, 상기 회전운동식 클램핑유닛은, 위치고정된 회전점 을 중심으로 회전함으로써 상기 둘 이상의 하이픽스보드들의 상기 마주보는 변들을 함께 클램핑하거나 클램핑을 해제하도록 마련되는 클램퍼; 및 상기 클램퍼에 회전력을 제공하기 위한 동력장치; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 동력장치는, 실린더를 포함하는 것을 더 구체적인 특징으로 한다.
상기 다수의 클램핑유닛은 직선운동식이나 회전운동식이 선택적으로 채용된 것을 더 구체적인 특징으로 한다.
이하에서는 상술한 바와 같은 본 발명에 따른 테스트핸들러용 하이픽스보드 클램핑장치에 대한 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참고하여 설명한다.
본 실시예에 따른 클램핑장치는 상하 3단으로 나란히 배열되는 하이픽스보드를 클램핑하도록 구성되며, 도6은 그러한 클램핑장치에 대한 개략도이다.
도6에서 참조되는 바와 같이, 본 실시예에 따른 클램핑장치는, 부호 610으로 표기된 12개의 직선운동식 클램핑유닛과, 부호 620으로 표기된 4개의 회전운동식 클램핑유닛을 포함하여 구성된다(직선운동식 클램핑유닛은 모두 동일한 구성을 가지며, 4개의 회전운동식 클램핑유닛도 서로 동일한 구성을 가지므로, 설명의 편의상 직선운동식 클램핑유닛들은 부호 610으로 통일적으로 표기하고, 회전운동식 클램핑유닛들은 부호 620으로 통일적으로 표기함).
직선운동식 클램핑유닛(610)은, 종래기술에서와 같이, 실린더(611)와, 실린더(611)의 피스톤로드(611a)에 결합되어 피스톤로드(611a)의 직선운동과 함께 직선운동하면서 하이픽스보드(271a 내지 271c)의 변을 클램핑하는 직선운동식 클램 퍼(612)를 구비한다. 12개의 직선운동식 클램핑유닛(610) 중, 4개는 부호 271a의 하이픽스보드의 좌우 양단변을 클램핑하거나 클램핑 해제하고, 다른 4개는 부호 271b의 하이픽스보드의 좌우 양단변을 클램핑하거나 클램핑 해제하며, 나머지 4개는 부호 271c의 하이픽스보드의 좌우 양단변을 클램핑하거나 클램핑 해제한다.
그리고 4개의 회전운동식 클램핑유닛(620) 중 2개는 각각 부호 271a와 271b, 부호 271b와 271c의 하이픽스보드들 간에 상호 마주보는 변들을 함께 클램핑하거나 클램핑 해제하며, 나머지 2개는 각각 부호271a와 271c의 하이픽스보드의 상단변 및 하단변을 클램핑하거나 클램핑 해제한다. 이러한 회전운동식 클램핑유닛(620)을 더 구체적으로 살펴보면, 각각, 실린더(621), 회전운동식 클램퍼(622), 연결링크(623)를 구비한다. 여기서 회전운동식 클램퍼(622)는 중심(A)을 회전점으로 하여 회전가능하도록 고정되며, 연결링크(623)는 일 측이 실린더(621)의 피스톤로드(621a)에 회전가능하게 결합되고, 타 측은 회전운동식 클램퍼(622)의 중심(A)으로부터 소정간격 이격된 지점(B)에 회전가능하게 결합된다. 따라서 실린더(621)가 작동하여 피스톤로드(621a)가 전진 또는 후진하게 되면, 사각링크의 원리에 의해 직선운동이 원운동으로 전환되어, 회전운동식 클램퍼(622)는 중심(A)을 회전점으로 하여 회전하게 된다.
상기와 같이 구성되는 클램핑장치의 작동상태에 대하여 도7 내지 9를 참조하여 설명한다.
하이픽스보드(271a 내지 271c)들이 위치하기 전에는 도7에서와 같이 각 실린더(611, 621)의 피스톤로드(611a, 621a)는 후진상태에 있게 되어 클램핑 해제상태 로 있게 된다.
이후, 도8에서와 같이 하이픽스보드(271a 내지 271c)가 위치하게 되면, 각 클램핑유닛(610, 620)을 작동시켜 도9에서와 같이 하이픽스보드(271a 내지 271c)를 클램핑시킨다.
먼저, 직선운동식 클램핑유닛(610)을 살펴보면, 각 실린더(611)가 작동하여 피스톤로드(611a)가 전진하게 되고, 그에 따라 직선운동식 클램퍼(612)들이 전진함으로써 각각에 대응하는 하이픽스보드(271a 내지 271c)의 각 변들을 클램핑한다.
그리고 회전운동식 클램핑유닛(620)을 살펴보면, 각 실린더(621)의 작동에 의해 피스톤로드(621a)가 전진하게 되고, 피스톤로드(621a)의 직선운동은 연결링크(623)를 거치며 사각링크의 원리에 의해 원운동으로 전환되어, 클램퍼(622)가 중심(A)을 회전점으로 하여 회전함으로써 상하에 배열된 하이픽스보드들(271a, 271b / 271b, 271c)의 서로 마주하는 변들을 함께 클램핑하거나, 부호 271a의 하이픽스보드의 상단변 또는 부호 271c의 하이픽스보드의 하단변을 클램핑한다.
위와 같은 작동에 따라 도9에서와 같이, 하이픽스보드(271a 내지 271c)들의 좌우측 변뿐만 아니라 상하측 변들도 모두 클램핑되기 때문에, 하이픽스보드(271a 내지 271c)들의 중앙선 부근의 지점에 틈새가 벌어지는 문제점이 해결될 수 있다.
참고로 상술한 설명에서 하이픽스보드(271a 내지 271c)들의 좌우측 변은 직선운동식 클램핑유닛(610)을 채용하고, 부호 271a 및 271c의 하이픽스보드들의 상단변 및 하단변은 회전운동식 클램핑유닛(620)을 채용하고 있지만, 하이픽스보드(271a 내지 271c)들의 좌우측 변이나 부호 271a 및 271c의 하이픽스보드들의 상 단변 및 하단변, 즉, 하이픽스보드(271a 내지 271c)들 간에 서로 마주하는 변 이외의 변들에 대한 클램핑을 위해서는 회전운동식이나 직선운동식 클램핑유닛이 모두 채용 가능하므로, 실시하기에 따라서 직선운동식이나 회전운동식 클램핑유닛을 선택적으로 채용할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시예에 의해서 이루어졌지만, 상술한 실시예는 본 발명의 바람직한 예를 들어 설명하였을 뿐이기 때문에, 본 발명이 상기의 실시예에만 국한되는 것으로 이해되어져서는 아니 되며, 본 발명의 권리범위는 후술하는 청구범위 및 그 등가개념으로 이해되어져야 할 것이다.
이상에서 상세히 설명한 바와 같이 본 발명에 따르면 하이픽스보드들의 모든 변들이 클램핑될 수 있어, 하이픽스보드들의 중앙 부분에서 틈새가 벌어지는 문제점을 해결할 수 있게 되어, 테스트트레이의 넓이를 확장하는 것이 가능해지고, 그로 인하여 1회에 테스트될 수 있는 반도체소자의 개수를 늘일 수 있는 효과가 있다.

Claims (3)

  1. 나란히 배열되는 둘 이상의 하이픽스보드들 사이에 마련되어 상기 둘 이상의 하이픽스보드들의 마주보는 변들을 함께 클램핑할 수 있도록 마련되는 하나 이상의 회전운동식 클램핑유닛; 및
    상기 둘 이상의 하이픽스보드들의 상기 마주보는 변들을 제외한 이외의 변들을 클램핑할 수 있도록 마련되는 다수의 클램핑유닛; 을 포함하며,
    상기 회전운동식 클램핑유닛은,
    위치고정된 회전점을 중심으로 회전함으로써 상기 둘 이상의 하이픽스보드들의 상기 마주보는 변들을 함께 클램핑하거나 클램핑을 해제하도록 마련되는 클램퍼; 및
    상기 클램퍼에 회전력을 제공하기 위한 동력장치; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트핸들러용 하이픽스보드 클램핑장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 동력장치는, 실린더를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트핸들러용 하이픽스보드 클램핑장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 다수의 클램핑유닛은 직선운동식인 것을 특징으로 하는 테스트핸들러용 하이픽스보드 클램핑장치.
KR1020060125464A 2006-12-11 2006-12-11 테스트핸들러용 하이픽스보드 클램핑장치 Active KR100846682B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060125464A KR100846682B1 (ko) 2006-12-11 2006-12-11 테스트핸들러용 하이픽스보드 클램핑장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060125464A KR100846682B1 (ko) 2006-12-11 2006-12-11 테스트핸들러용 하이픽스보드 클램핑장치

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR2020060022522U Division KR200435062Y1 (ko) 2006-08-22 2006-08-22 테스트핸들러용 하이픽스보드 클램핑장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20080018079A KR20080018079A (ko) 2008-02-27
KR100846682B1 true KR100846682B1 (ko) 2008-07-17

Family

ID=39385299

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020060125464A Active KR100846682B1 (ko) 2006-12-11 2006-12-11 테스트핸들러용 하이픽스보드 클램핑장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100846682B1 (ko)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101045277B1 (ko) * 2009-07-07 2011-06-29 (주)테크윙 테스트 핸들러용 하이픽스보드 클램핑장치
KR101951206B1 (ko) * 2012-10-05 2019-02-25 (주)테크윙 테스트핸들러
KR102319387B1 (ko) * 2016-05-26 2021-11-01 주식회사 아이에스시 보정 클램핑 유닛 및 이를 구비하는 테스트 핸들러용 클램핑 장치
CN108918084B (zh) * 2018-06-15 2024-03-08 格力电器（郑州）有限公司 一种显示板测试用工装及显示板测试装置
CN112904178B (zh) * 2021-01-18 2021-09-07 深圳市宇昊森达科技有限公司 一种pcba板性能测试设备及测试方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH065676A (ja) * 1992-06-23 1994-01-14 Hitachi Ltd Ｉｃハンドラ
JPH0621191A (ja) * 1992-05-18 1994-01-28 Plasma Syst:Kk 基板搬送装置
KR970068784A (ko) * 1996-03-26 1997-10-13 배순훈 회로검사용 실장기판의 픽스처 장치
KR20050055884A (ko) * 2003-12-09 2005-06-14 삼성코닝정밀유리 주식회사 유리기판의 검사를 위한 클램핑장치

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0621191A (ja) * 1992-05-18 1994-01-28 Plasma Syst:Kk 基板搬送装置
JPH065676A (ja) * 1992-06-23 1994-01-14 Hitachi Ltd Ｉｃハンドラ
KR970068784A (ko) * 1996-03-26 1997-10-13 배순훈 회로검사용 실장기판의 픽스처 장치
KR20050055884A (ko) * 2003-12-09 2005-06-14 삼성코닝정밀유리 주식회사 유리기판의 검사를 위한 클램핑장치

Also Published As

Publication number Publication date
KR20080018079A (ko) 2008-02-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100846682B1 (ko) 테스트핸들러용 하이픽스보드 클램핑장치
JP4409585B2 (ja) Ｉｃソーティングハンドラ
JP4931617B2 (ja) プローバ
JP6727117B2 (ja) 基板着脱装置、めっき装置、基板着脱装置の制御装置、基板着脱装置の制御方法をコンピュータに実行させるためのプログラムを格納した記憶媒体
US20140312924A1 (en) Handler and inspection apparatus
KR100238929B1 (ko) 반도체 시험 장치
KR200435062Y1 (ko) 테스트핸들러용 하이픽스보드 클램핑장치
JP7561517B2 (ja) テスト装置
JP2004505251A (ja) 電気回路の電気的試験のための装置および方法
JP2006506629A5 (ko)
US8564304B2 (en) Integrated circuit device test apparatus
US7841071B2 (en) Position-correction device for correcting the position of a component holder for electronic components
WO2025092625A1 (zh) 定位治具及检测装置
JP2008117897A (ja) プローバ及びプロービング検査方法
KR100729008B1 (ko) 다수의 단자를 가진 기판의 전기 테스트용 장치
JP3457938B2 (ja) 表示基板又は回路基板の検査装置における表示基板又は回路基板の交換方法
KR20170002318U (ko) 디스플레이 패널 검사용 프로브 유닛 클램핑 장치
KR102724429B1 (ko) 검사 장치
JP2014185950A (ja) 被検査基板の基板固定装置およびその基板固定方法
KR102807425B1 (ko) 검사 장치
JP2008309540A (ja) 半導体チップの検査方法及び検査用治具
KR101045277B1 (ko) 테스트 핸들러용 하이픽스보드 클램핑장치
US20100194877A1 (en) Method and system for imaging an electrical circuit
CN214586883U (zh) 一种服务器多芯片单层板运算装置
KR100483514B1 (ko) 인쇄회로기판 지지장치

Legal Events

Date Code Title Description
A108 Dual application of patent
A201 Request for examination
PA0108 Dual application

Patent event code: PA01081R01D

Patent event date: 20061211

Comment text: Dual Application of Patent

PA0201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
PE0902 Notice of grounds for rejection

Comment text: Notification of reason for refusal

Patent event date: 20071220

Patent event code: PE09021S01D

PG1501 Laying open of application
E701 Decision to grant or registration of patent right
PE0701 Decision of registration

Patent event code: PE07011S01D

Comment text: Decision to Grant Registration

Patent event date: 20080628

GRNT Written decision to grant
PR0701 Registration of establishment

Comment text: Registration of Establishment

Patent event date: 20080710

Patent event code: PR07011E01D

PR1002 Payment of registration fee

Payment date: 20080711

End annual number: 3

Start annual number: 1

PG1601 Publication of registration
PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20110708

Start annual number: 4

End annual number: 4

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20120709

Start annual number: 5

End annual number: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130701

Year of fee payment: 6

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20130701

Start annual number: 6

End annual number: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140710

Year of fee payment: 7

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20140710

Start annual number: 7

End annual number: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150710

Year of fee payment: 8

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20150710

Start annual number: 8

End annual number: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160705

Year of fee payment: 9

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20160705

Start annual number: 9

End annual number: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170619

Year of fee payment: 10

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20170619

Start annual number: 10

End annual number: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180618

Year of fee payment: 11

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20180618

Start annual number: 11

End annual number: 11

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190620

Year of fee payment: 12

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20190620

Start annual number: 12

End annual number: 12

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20200616

Start annual number: 13

End annual number: 13

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20210614

Start annual number: 14

End annual number: 14

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20220621

Start annual number: 15

End annual number: 15

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20230619

Start annual number: 16

End annual number: 16