KR100838108B1 - 평판 디스플레이 패널의 제조장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 평판 디스플레이의 연마장치 및 방법에 관한 것으로서, 본 발명에 의한 평판 디스플레이의 연마장치는 상기 패널을 제 1 장변과 제 1 단변 연마가 가능한 상태로 흡착하는 제 1 테이블; 상기 제 1 테이블에 흡착된 패널의 제 1 장변을 연마하는 제 1 연마부; 상기 제 1 테이블에 흡착된 패널의 제 1 단변을 연마하는 제 2 연마부; 상기 제 1 장변과 제 1 단변이 연마된 패널을 수평방향으로 이송하는 수평이송수단; 이송된 상기 패널을 제 2 장변과 제 2 단변 연마가 가능한 상태로 흡착하는 제 2 테이블; 상기 제 2 테이블에 흡착된 패널의 제 2 장변을 연마하는 제 3 연마부; 및 상기 제 2 테이블에 흡착된 패널의 제 2 단변을 연마하는 제 4 연마부;를 포함하여 이루어진다. 즉, 패널의 제 1 장변과 제 1 단변을 연마하는 모듈과, 패널의 제 2 장변과 제 2 단변을 연마하는 모듈을 분리한 것이다. 따라서 패널의 회전 없이 4변을 모두 연마할 수 있게 된다.
본 발명에 따르면, 패널 또는 패널을 흡착한 테이블의 회전없이 패널의 4변을 연속하여 연마할 수 있는 효과가 있다.
평판 디스플레이 패널. 테이블. 진공흡착.
Description
도 1 및 도 2는 종래 연마테이블을 도시한 것이다.
도 3은 종래 연마장치를 도시한 것이다.
도 4는 본 발명에 따른 테이블의 제 1 실시예를 도시한 것이다.
도 5는 상기 제 1 실시예의 회전부재를 도시한 것이다.
도 6는 도 4에 도시된 테이블을 구비한 연마장치를 나타낸 것이다.
도 7a 및 도 7b는 도 6에 도시된 연마장치의 사용상태를 나타낸 것이다.
도 8은 본 발명에 따른 테이블의 제 2 실시예 및 이를 구비한 연마장치를 나타낸 것이다.
**도면의 주요부분에 대한 부호의 설명**
100: 테이블 110: 'ㄱ'형태 테이블
111: 진공홀 121,122,123: 보조테이블
200: 연마장치 210: 제 1 연마모듈
220: 제 2 연마모듈 230: 제 1 연마부
231: 스핀들 232: 연마지석
240: 제 2 연마부 250: 제 3 연마부
260: 제 4 연마부 270: 수평이송수단
280: 수직이송수단
A: 제 1 장변 B: 제 1 단변
C: 제 2 장변 D: 제 2 단변
본 발명은 평판 디스플레이의 연마장치 및 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 패널 또는 패널을 흡착한 테이블의 회전없이 패널의 4변을 연속하여 연마할 수 있는 연마장치 및 방법에 관한 것이다.
일반적으로 평판 디스플레이 패널은 원판유리에서 필요한 크기로 절단하여 사용한다. 이렇게 절단된 패널은 모서리가 날카롭기 때문에 연마지석을 이용하여 네 변을 연마하는 공정을 거치게 된다.
도 1을 참조하면, 종래의 연마장치는 패널(p')을 흡착하는 사각형상의 테이블(10)과 연마지석(20)을 포함하여 이루어진다. 상기 테이블(10)은 베이스(12)와 상판(11)으로 구성된다. 또한 상기 연마지석(20)은 상하 한쌍(21,22)의 구비되어 패널(p')의 모서리 상,하부를 동시에 연마한다.
그러나 이와 같이 구성된 종래의 테이블(10)은 흡착할 수 있는 패널의 면적 이 정해져 있기 때문에 면적이 달라질 경우에는 상판을 교체해야 하는 번거로움이 있었다(도 2 참조).
도 3을 참조하면, 종래의 연마장치(30)는 제 1 연마모듈(31)로 패널(p)을 로딩하여 테이블이 흡착하면, 상기 테이블이 수평이동하면서 고정설치된 단변연마용 연마부(20a, 20b)를 지나면서 제 1 단변(B) 및 제 2 단변(D)이 동시에 연마된다. 물론, 이 때 단변(B,D)의 상하부 모서리를 동시에 연마하는 것이다.
이와 같이 양 단변(B,D)이 연마되면, 상기 패널(p)은 회전모듈(32)로 이송되어 상기 패널을 90°회전한다.
회전된 상기 패널은 제 2 연마모듈(33)로 이송되어 마찬가지 방법으로 테이블이 수평이동하면서 고정설치된 장변연마용 연마부(20c, 20d)를 지나면서 제 1 장변(A) 및 제 2 장변(C)을 동시에 연마하는 것이다.
그러나 이러한 종래의 연마장치(30)는 패널의 4변을 연마하기 위하여는 반드시 90°회전을 해야 하는데, 이러한 패널의 회전 때문에 패널 회전반경이 필요하여 장비 폭이 지나치게 넓다는 문제점이 있었다. 패널은 갈수록 대형화되는 추세인데, 예를 들어 100인치 패널의 경우 회전반경을 감안한 장비의 폭은 3m 가까이 되어 제작비용 상승 뿐만 아니라 장비를 운반하는데 매우 곤란한 실정이다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 패널 또는 패널을 흡착한 테이블의 회전없이 패널의 4변을 연속하여 연마할 수 있는 연마장치 및 방법을 제공함에 있다.
본 발명의 다른 목적은 패널의 면적에 대응하여 테이블을 교체할 필요가 없는 연마장치 및 방법을 제공함에 있다.
위와 같은 기술적 과제를 해결하기 위하여 본 발명에 의한 평판 디스플레이의 연마장치는 상기 패널을 제 1 장변과 제 1 단변 연마가 가능한 상태로 흡착하는 제 1 테이블; 상기 제 1 테이블에 흡착된 패널의 제 1 장변을 연마하는 제 1 연마부; 상기 제 1 테이블에 흡착된 패널의 제 1 단변을 연마하는 제 2 연마부; 상기 제 1 장변과 제 1 단변이 연마된 패널을 수평방향으로 이송하는 수평이송수단; 이송된 상기 패널을 제 2 장변과 제 2 단변 연마가 가능한 상태로 흡착하는 제 2 테이블; 상기 제 2 테이블에 흡착된 패널의 제 2 장변을 연마하는 제 3 연마부; 및 상기 제 2 테이블에 흡착된 패널의 제 2 단변을 연마하는 제 4 연마부;를 포함하여 이루어진다. 즉, 패널의 제 1 장변과 제 1 단변을 연마하는 모듈과, 패널의 제 2 장변과 제 2 단변을 연마하는 모듈을 분리한 것이다. 따라서 패널의 회전 없이 4변을 모두 연마할 수 있게 된다.
이 경우, 상기 패널은 각 테이블에 고정된 상태에서, 상기 제 1, 2, 3 및 4 연마부가 각각 연마하는 변을 따라 이동하도록 구동되는 것이 바람직하다.
또한 패널의 면적에 따라, 또는 동일 패널이라 하더라고 장변인지 단변인지에 따라 흡착면적이 달라지므로, 이들 모두에 적용 가능하도록 각 테이블을 충분히 크게 하는 것이 바람직하다. 이 때, 진공소실을 방지하기 위하여 상기 제 1 테이블 또는 제 2 테이블은 복수의 진공홀이 형성되되, 복수의 진공홀들은 복수의 밸브에 의해 진공제어되는 것이 더욱 바람직하다.
또한 상기 제 1 테이블 또는 제 2 테이블은 'ㄱ'자 형태로 형성될 수 있는데, 상기 제 1 테이블과 제 2 테이블은 흡착하지 않는 면을 지지하는 보조테이블이 구비되는 것이 바람직하다. 상기 보조테이블은 이동가능하게 설치될 수 있고, 역시 패널을 흡착하기 위해 진공홀이 형성될 수도 있다.
또한 상기 제 1 테이블 또는 제 2 테이블은 'ㅁ'자 형태로 형성되는 것도 가능하다.
특히, 상기 제 2 테이블이 수평이송된 패널을 제 2 장변 및 제 2 단변의 연마가 가능한 상태로 흡착하도록 패널의 위치를 조정하는 정렬수단이 더 구비되는 것이 바람직한데, 이러한 정렬수단은 상기 수평이동수단에 의한 패널의 이송방향과 직교방향으로 패널을 이송시키는 수직이송수단일 수 있다.
본 발명에 의한 평판 디스플레이 패널의 모서리를 연마하는 방법은 1) 상기 패널의 제 1 장변과, 상기 제 1 장변에 이웃하는 제 1 단변을 각각 제 1 연마부와 제 2 연마부를 이용하여 연마하는 단계; 2) 상기 제 1 장변과 제 1 단변이 연마된 패널을 수평이송하는 단계; 및 3) 수평이송된 패널의 제 2 장변과, 상기 제 2 장변에 이웃하는 제 2 단변을 각각 제 3 연마부와 제 4 연마부를 이용하여 연마하는 단계;를 포함하여 이루어진다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구성 및 작용을 구체적으로 설명한다.
도 4는 본 발명에 의한 연마장치의 구성요소인 테이블(100)의 일 실시예를 도시한 것이다.
이를 참조하면, 패널(P)을 제 1 장변(A)과 제 1 단변(B) 연마가 가능하도록 흡착하는 'ㄱ'자 형태의 테이블(110)이 구비되어 있다. '제 1 장변(A)과 제 1 단변(B) 연마가 가능하도록 흡착한다' 함은 연마지석의 동작에 테이블(111)이 간섭하지 않도록 패널을 흡착한 상태에서 제 1 장변(A)과 제 1 단변(B)이 테이블(110)의 외측으로 돌출되도록 흡착한다는 것이다. 다시 말하면, 연마지석이 어떤 변을 연마하기 위하여는 패널, 특히, 연마되는 변부가 유동되지 않도록 고정하여야 하는 것이지만, 한편으로는 연마지석의 동작에 테이블이 간섭하지 않아야 하는 것은 당연하다.
따라서 제 1 장변(A)과 제 1 단변(B)이 테이블(110)의 외측으로 돌출되도록 'ㄱ'자 형태의 테이블(110)을 제 1 장변(A)의 소정거리 내측과 제 1 단변(B)의 소정거리 내측을 흡착하여 고정하는 것이다.
물론, 패널을 진공흡착하기 위하여 상기 테이블(110)상에는 복수의 진공홀(111)이 형성되어 있다. 상기 복수의 진공홀(111)은 또한 다양한 면적의 패널에 적응할 수 있도록 복수의 진공 차단/공급밸브에 의해 제어된다. 즉, 복수의 진공홀들을 2개 이상의 블럭으로 분할하여 진공소실이 없도록 패널의 면적에 따라 진공제어하는 것이다.
한편, 상기 테이블(100)은 흡착하지 않는 부분에서 패널이 처짐을 방지하기 위하여 보조테이블(121, 122, 123)을 구비한다. 상기 보조테이블(121, 122, 123)은 단순히 패널을 하방에서 지지할 수 있는 구조이면 충분하지만, 이 또한 테이블(110)과 같이 진공홀(111)을 형성할 수도 있다. 상기 진공홀 또한 복수의 밸브에 의해 진공제어될 수도 있다.
다만, 보조테이블(121, 122, 123)이 지지하는 제 2 장변(C)과 제 2 단변(D)은 연마되는 변이 아니기 때문에, 반드시 제 2 장변(C)과 제 2 단변(D)이 테이블의 외측으로 돌출되도록 지지할 필요는 없는 것이다. 즉, 제 2 장변(C)과 제 2 단변(D)을 지지하도록 설치될 수 있고, 이들의 내측을 지지할 수도 있는 것이다. 또한 상기 보조테이블(121, 122, 123)은 고정설치되는 테이블(110)과 달리 이동식으로 구비하여 패널의 면적에 따라 적절한 위치에 배치하는 것으로도 충분하다.
한편, 상기 패널(p)이 테이블(110)의 정위치에 흡착되어야 정확한 연마를 할 수 있는 것이다. 이러한 패널(p)의 미세정렬을 위해 상기 테이블(110)에는 회전부재(130)가 구비된다. 즉, 패널(p)을 테이블(110)에 로딩한 후, 상부에 구비된 비전카메라(미도시)로 패널의 위치를 검출하여, 패널의 중심을 지지하고 있는 회전부재(130)를 회전하여 상기 패널을 미세정렬하는 것이다. 상기 회전부재(130)에는 복수의 진공홀이 형성되어 상기 패널(p)을 흡착한 상태에서 회전한다. 물론, 상기 패널을 회전할 때는 테이블(110) 및 보조테이블(121,122,123)에 진공을 인가하지 않아야 한다.
도 5를 참조하면, 상기 회전부재(130)는 회전구동력을 제공하는 구동부(133) 와, 상기 패널을 흡착한 상태에서 승강구동하는 승강부(132)와, 상기 패널을 흡착하는 상부플레이트(131)로 구성된다. 상기 승강부(132)는 패널을 회전하기 전에 패널을 상승한 후, 회전시키는 것이다. 이것은 상기 패널의 회전시, 테이블에 의한 간섭이나 손상을 방지하기 위한 것이다.
도 6을 참조하면, 본 발명에 의한 연마장치(200)는 패널(p)의 제 1 장변(A)과 제 1 단변(B)을 연마하는 제 1 연마모듈(210)과, 제 2 장변(C)과 제 2 단변(D)을 연마하는 제 2 연마모듈(220)로 구분되어 있다.
상기 제 1 연마모듈(210)은 'ㄱ'자 형태의 제 1 테이블(110a)과, 제 1 보조테이블(121a, 122a, 123a)이 구비되고, 상기 제 1 장변(A)을 따라 이동하면서 연마하는 제 1 연마부(230)와, 상기 제 1 단변(B)을 따라 이동하면서 연마하는 제 2 연마부(240)로 구성된다.
또한 상기 제 2 연마모듈(220)은 'ㄴ(보는 방향에 따라 다를 뿐, 실질적으로는 제 1 연마테이블과 동일한 형태임)'자 형태의 제 2 테이블(110b)과, 제 2 보조테이블(121b, 122b, 123b)이 구비되고, 상기 제 2 장변(C)을 따라 이동하면서 연마하는 제 3 연마부(250)와, 상기 제 2 단변(D)을 따라 이동하면서 연마하는 제 4 연마부(260)로 구성된다.
여기서 상기 연마부(230,240,250,260)는 연마지석(232)과, 상기 연마지석(232)을 고속회전시키는 스핀들(231)로 구성된다. 또한 각 연마부(230,240,250,260)는 도 1과 같이 상하로 배치되는 한 쌍으로 구성되어 각 변의 상부모서리와 하부모서리를 동시에 연마할 수 있다.
또한 상기 제 1 테이블(110a)에 흡착된 패널(p)을 제 2 테이블(110b)로 수평이송하는 수평이송수단(270)이 구비된다.
이와 같이 구성된 연마장치의 작동상태 및 연마방법을 설명한다. 먼저, 패널(p)을 제 1 테이블(110a)에 흡착하는데, 이 때 연마되는 변인 제 1 장변(A)과 제 1 단변(B)이 제 1 테이블(110a)의 외측으로 돌출되도록 흡착한다. 즉, 제 1 장변(A)과 제 1 단변(B)의 소정거리 내측을 흡착하도록 패널(p)을 로딩하는 것이다. 물론, 제 1 보조테이블(121a, 122a, 123a)에 의해 패널의 처짐은 방지된다.
이와 같이 패널(p)을 로딩하면, 제 1 연마부(230)를 이동하면서 제 1 장변(A)을 연마하고, 제 2 연마부(240)를 이동하면서 제 1 단변(B)을 연마한다. 이들 동작은 동시에 이루어질 수도 있고, 시간차를 두고 이루어질 수도 있다.
이러한 공정으로 패널의 제 1 장변(A) 및 제 1 단변(B)이 연마되면, 수평이동수단(270)으로 패널을 제 2 테이블(110b)로 이송한다.
이송된 패널은 마찬가지 방법으로 제 2 장변(C) 및 제 2 단변(D)이 제 2 테이블(110b)의 외측방향으로 돌출되도록 흡착한다.
이 상태에서 제 3 연마부(250)를 이동하면서 제 2 장변(C)을 연마하고, 제 4 연마부(260)를 이동하면서 제 2 단변(D)을 연마한다.
이로써, 패널의 회전없이 4변을 모두 연마할 수 있는 것이다.
도 7a 및 도 7b는 도 6의 장치를 이용하여 소면적 패널(p')을 연마하는 방법 을 도시한 것이다.
제 1 연마모듈(210)에서 패널의 제 1 장변(A)과 제 1 단변(B)을 연마하는 것은 위와 동일하므로 여기서는 생략한다.
도 7a를 참조하면, 제 1 장변(A)과 제 1 단변(B)이 연마된 패널을 수평이송수단(270)에 의해 제 2 연마모듈(220)의 제 2 테이블(110b)로 이송한다. 그런데 패널의 면적이 작은 경우, 수평이송만으로는 제 2 장변(C)과 제 2 단변(D) 연마가 가능한 상태로 흡착할 수가 없다. 즉, 도 7a의 상태에서는 제 2 단변(D)은 연마가능한 상태이지만, 제 2 장변(C)은 연마가능한 상태가 아닌 것이다.
따라서 제 2 테이블(110b)이 제 2 장변(C)과 제 2 단변(D) 연마가 가능한 상태로 흡착할 수 있도록 위치를 조정해야 한다. 이러한 위치정렬은 도 7b와 같이, 상기 수평이동수단(270)에 의한 패널의 이송방향과 직교방향으로 패널을 이송시키는 것으로 가능하다. 이를 위하여 정렬수단으로서 패널을 수직방향으로 이송시키는 수직이송수단(280)이 이용될 수 있다.
여기서 수평이송수단(270)이나 수직이송수단(280)은 공지의 수단을 모두 적용할 수 있은 것이므로, 별도의 구성을 설명하지는 않았다.
도 8은 본 발명에 의한 다른 연마장치를 도시한 것으로서, 도 6에 도시된 실시예와 비교하면, 테이블이 다른 것을 알 수 있다.
보다 구체적으로 설명하면, 테이블(110c, 110d)은 'ㅁ'자 형태로 형성되어 있음을 알 수 있다. 이것은 도 1에 도시된 종래의 테이블과 구성상 차이가 없으나, 사용상태는 다른 것이다. 즉, 사각형상의 제 1 테이블(110c)을 구비하되, 제 1 테이블(110c)상에 패널의 제 1 장변(A)과 제 1 단변(B)이 측방향으로 돌출형성되도록 흡착한다. 마찬가지로 사각형상의 제 2 테이블(110d)을 구비하되, 제 2 테이블(110d)상에 패널의 제 2 장변(C)과 제 2 단변(D)이 측방향으로 돌출형성되도록 흡착한다.
이러한 테이블(110c, 110d)을 제외하고는 기타의 구성은 도 6의 연마장치와 구성상 동일하다. 따라서 도시되지는 않았으나, 소면적 패널(p')의 적용을 위하여 수직이송수단도 구비된다.
본 발명에 따르면, 패널 또는 패널을 흡착한 테이블의 회전없이 패널의 4변을 연속하여 연마할 수 있는 효과가 있다.
또한 테이블의 교체없이 면적이 다른 패널 또는 하나의 패널에서 장변과 단변을 연마할 수 있다는 효과가 있다. 따라서 다양한 패널 면적에 대한 호환성이 뛰어나 설비 및 공정이 매우 간편하다. 더욱이, 대형 패널 또는 장변일지라도 양 변부의 길이방향 전체를 하부에서 지지하고 고정하기 때문에 연마품질을 높일 수 있다.
Claims (19)
- 평판 디스플레이 패널의 모서리를 연마하는 장치에 있어서,상기 패널을 제 1 장변과 제 1 단변 연마가 가능한 상태로 흡착하는 제 1 테이블;상기 제 1 테이블에 흡착된 패널의 제 1 장변을 연마하는 제 1 연마부;상기 제 1 테이블에 흡착된 패널의 제 1 단변을 연마하는 제 2 연마부;상기 제 1 장변과 제 1 단변이 연마된 패널을 수평방향으로 이송하는 수평이송수단;이송된 상기 패널을 제 2 장변과 제 2 단변 연마가 가능한 상태로 흡착하는 제 2 테이블;상기 제 2 테이블에 흡착된 패널의 제 2 장변을 연마하는 제 3 연마부; 및상기 제 2 테이블에 흡착된 패널의 제 2 단변을 연마하는 제 4 연마부;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널의 연마장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 제 1, 2, 3 및 4 연마부는 각각 연마하는 변을 따라 이동하도록 구동되는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널의 연마장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 제 1 테이블 또는 제 2 테이블은 복수의 진공홀이 형성되되, 복수의 진공홀들은 복수의 밸브에 의해 진공제어되는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널의 연마장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 제 1 테이블 또는 제 2 테이블은 'ㄱ'자 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널의 연마장치.
- 제 4 항에 있어서,상기 제 1 테이블은 상기 제 2 장변이나 제 2 단변, 또는 이들의 내측을 지지하는 제 1 보조테이블이 더 구비되고,상기 제 2 테이블은 상기 제 1 장변이나 제 1 단변, 또는 이들의 내측을 지지하는 제 2 보조테이블이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널의 연마장치.
- 삭제
- 제 5 항에 있어서,상기 제 1 또는 제 2 보조테이블은 이동가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널의 연마장치.
- 제 5 항에 있어서,상기 제 1 또는 제 2 보조테이블에는 복수의 진공홀이 형성되는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널의 연마장치.
- 제 8 항에 있어서,상기 복수의 진공홀들은 복수의 밸브에 의해 진공제어되는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널의 연마장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 제 1 테이블 또는 제 2 테이블은,상기 패널의 중심을 지지한 상태에서 회전하여 상기 패널을 정렬하는 회전부재가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널의 연마장치.
- 제 10 항에 있어서,상기 회전부재에는 복수의 진공홀이 형성되는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널의 연마장치.
- 제 10 항에 있어서,상기 회전부재는 승강구동되는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널의 연마장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 제 1 테이블 또는 제 2 테이블은 'ㅁ'자 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널의 연마장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 제 2 테이블이 수평이송된 패널을 제 2 장변 및 제 2 단변의 연마가 가능한 상태로 흡착하도록 패널의 위치를 조정하는 정렬수단이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널의 연마장치.
- 제 14 항에 있어서,상기 정렬수단은 상기 수평이동수단에 의한 패널의 이송방향과 직교방향으로 패널을 이송시키는 수직이송수단인 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널의 연마장치.
- 평판 디스플레이 패널의 모서리를 연마하는 방법에 있어서,1) 상기 패널의 제 1 장변과, 상기 제 1 장변에 이웃하는 제 1 단변을 각각 제 1 연마부와 제 2 연마부를 이용하여 연마하는 단계;2) 상기 제 1 장변과 제 1 단변이 연마된 패널을 수평이송하는 단계; 및3) 수평이송된 패널의 제 2 장변과, 상기 제 2 장변에 이웃하는 제 2 단변을 각각 제 3 연마부와 제 4 연마부를 이용하여 연마하는 단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널의 연마방법.
- 제 16 항에 있어서,상기 1)단계 또는 3)단계는,상기 패널을 고정한 상태에서 각 연마부가 각 변을 따라 이동하면서 연마하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널의 연마방법.
- 제 16 항에 있어서,상기 2)단계 후에,2-1) 수평이송된 패널의 상기 제 2 장변 및 제 2 단변을 연마할 수 있도록 패널의 위치를 조정하는 단계가 더 부가되는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널의 연마방법.
- 제 18 항에 있어서,상기 2-1)단계는 상기 2)단계의 수평이송방향과 직교방향으로 패널을 이송시키는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널의 연마방법.
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