KR100833881B1 - 기판 이송 장치 - Google Patents

Abstract

평판 디스플레이 장치의 기판을 이송하기 위한 장치는, 기판이 수용되는 챔버, 상기 챔버 내부에 서로 평행하게 배치되고, 회전가능하게 제공된 다수의 샤프트, 중앙에 상기 샤프트가 관통되는 체결홀이 형성되고, 상기 기판을 지지하는 다수의 롤러, 상기 롤러의 체결홀에서 축방향을 따라 연장되어 상기 샤프트에 끼워맞춤되는 제1 결합부재 및 상기 샤프트가 관통되고, 상기 제1 결합부재에 착탈가능하도록 상기 샤프트 상에 제공되는 제2 결합부재를 포함할 수 있다. 따라서, 기판 이송 장치의 롤러들을 안정적으로 고정시킬 수 있으며, 상기 기판을 안정적으로 이송할 수 있다.

Description

기판 이송 장치{apparatus for drying substrate}

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 도시한 평면도이다.

도 2는 도 1의 롤러 어셈블리를 설명하기 위한 분해 사시도이다.

도 3은 도 2의 롤러 어셈블리가 조립된 상태를 도시한 단면도이다.

도 4a는 도 3의 롤러 어셈블리의 결합부재의 일 실시예를 설명하기 위한 요부 확대 단면도이다.

도 4b는 도 3의 롤러 어셈블리의 결합부재의 다른 실시예를 설명하기 위한 요부 확대 단면도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

1 : 기판 10 : 챔버

20 : 샤프트 30 : 구동부

50 : 롤러 어셈블리 51 : 제1 결합부재

51a : 제1 가이드홀 52 : 제2 결합부재

52a : 제2 가이드홀 52b : 안착부

53 : 고정부재 100 : 기판 이송 장치

121 : 지지부재 132 : 동력전달부재

150 : 롤러 150a : 체결홀

151 : 제1 결합가이드 151a : 돌출부

151b : 수용홈 152 : 제2 결합가이드

본 발명은 평판형 디스플레이 장치의 제조 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 액정 디스플레이 장치, 플라즈마 디스플레이 장치, OLED(Organic Light Emitting Diode) 디스플레이 장치 등과 같은 평판 디스플레이 장치를 제조하기 위한 제조 장치의 기판 이송 장치에 관한 것이다.

최근, 정보 처리 기기는 다양한 형태와 기능 및 더욱 빨라진 정보 처리 속도 등에 대한 요구에 따라 급속하게 발전하고 있으며, 이들 정보 처리 기기는 가공된 정보를 표시하기 위한 디스플레이 장치를 요구한다. 상기와 같은 정보 디스플레이 장치들은 주로 CRT 모니터를 사용하였으나, 최근 휴대형 정보 기기의 발달에 따라 휴대의 편의성, 소형 경량화에 대한 요구를 실현하기 위하여 액정 디스플레이 장치 또는 OLED 디스플레이 장치 등에 대한 요구가 증가되고 있다. 또한, 가정용 또는 사무용 디스플레이 장치의 경우에도 보다 선명한 화질, 응답 속도, 작업자의 피로도 감소, 공간 확보 등을 위하여 상기 평판 디스플레이 장치에 대한 요구가 증가되고 있다.

예를 들면, 상기 액정 디스플레이 장치의 경우, 상부 기판과 하부 기판 사이에 있는 액정 분자들의 배열 구조에 따른 광의 투과율 차이를 이용하는 디스플레이 장치로서, 최근에는 표시 정보량의 증가와 이에 따른 표시 면적의 증가 요구에 부응하기 위하여 화면을 구성하는 모든 화소에 대하여 개별적으로 구동 신호를 인가하는 액티브 매트릭스(Active Matrix) 방식의 액정 디스플레이 장치에 대한 연구가 활발하게 이루어지고 있다.

상기 액정 디스플레이 장치는 화상 데이터를 액정의 광학적 성질을 이용하여 디스플레이하는 액정 패널과 이를 구동하기 위한 구동 회로를 포함하는 액정 패널 어셈블리와, 화면 표시를 위한 광을 제공하는 백라이트 어셈블리와, 상기 구성요소들을 고정 및 수용하는 몰드 프레임 등을 포함할 수 있다.

상기 액정 디스플레이 장치의 패널로는 대면적의 유리 기판이 사용되며, 상기 유리 기판 상에 전극 패턴들을 형성하기 위하여 다양한 단위 공정들이 수행될 수 있다. 예를 들면, 상기 유리 기판 상에 막을 형성하는 성막 공정, 상기 막을 목적하는 패턴들로 형성하기 위한 식각 공정, 상기 유리 기판 상의 불순물을 제거하기 위한 세정 공정, 상기 유리 기판을 건조시키기 위한 건조 공정 등이 필요에 따라 반복적으로 수행될 수 있다.

상기 공정들을 수행하기 위한 기판 처리 장치는 기판의 로딩을 위한 기판 로더와, 상기 로더에 의해 반입된 기판에 대한 식각 또는 세정 공정을 수행하기 위한 제1 처리부와, 상기 식각 또는 세정 처리된 기판을 린스액을 이용하여 린스 처리하기 위한 제2 처리부와, 린스 처리된 기판을 건조시키기 위한 제3 처리부와, 상기 기판을 반출하기 위한 언로더 등을 포함할 수 있다. 또한, 상기 기판 처리 장치는 필요에 따라 기판 상의 정전기를 제거하기 위한 제전 장치, 기판의 일시 대기를 위 한 버퍼 저장 탱크 등을 더 포함할 수도 있다.

상기 기판 처리 장치를 사용하여 유리 기판과 같은 평판형 기판을 처리하는 경우, 상기 기판은 다수의 회전 롤러들에 의해 상기 로더로부터 언로더를 향하여 이송될 수 있다. 상기 회전 롤러들은 상기 기판의 이송 방향으로 배열된 다수의 샤프트에 장착되며, 상기 회전 롤러들은 상기 기판 처리를 위한 각 챔버의 외부에 배치되는 구동부에 의해 회전 가능하도록 설치된다.

상기와 같이 평판형 기판을 이송하기 위한 종래의 기판 이송 장치에서, 상기 롤러들은 각각의 샤프트에 나사 결합 방식을 이용하여 결합된다. 구체적으로, 각각의 롤러들의 일측에는 나사 결합을 위한 나사부가 구비되며, 상기 나사부에 체결 너트가 체결되며, 상기 나사부와 체결 너트 사이에는 상기 롤러의 고정을 위한 쐐기 형태의 고정부재가 삽입된다. 상기와 같은 종래의 고정 방식의 경우 다소의 문제점들이 발생될 수 있다. 예를 들면, 각각의 작업자들에 따른 체결력 차이에 의한 롤러 및 회전축의 손상이 발생될 수 있으며, 체결 너트의 풀림에 의해 롤러와 회전축 사이에서 슬립 현상이 발생될 수 있다. 상기와 같은 문제점들은 평판형 기판의 처리 공정에서 불순물 발생의 원인으로 작용할 수 있으며, 롤러의 불안정한 결합에 의해 기판의 손상이 발생될 수도 있다.

본 발명은 상술한 바와 같은 문제점들을 해소하고자 안출된 것으로서, 본 발명의 일 목적은 평판 디스플레이 장치의 기판을 이송하는 장치에서 롤러들을 안정적으로 결합시키기 위한 기판 이송 장치를 제공한다.

상기 본 발명의 일 목적을 달성하기 위해 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치는, 기판이 수용되는 챔버, 상기 챔버 내부에 서로 평행하게 배치되고, 회전가능하게 제공된 다수의 샤프트, 중앙에 상기 샤프트가 관통되는 체결홀이 형성되고, 상기 기판을 지지하는 다수의 롤러, 상기 롤러의 체결홀에서 축방향을 따라 연장되어 상기 샤프트에 끼워맞춤되는 제1 결합부재 및 상기 샤프트가 관통되고, 상기 제1 결합부재에 착탈가능하도록 상기 샤프트 상에 제공되는 제2 결합부재를 포함할 수 있다.

실시예에서, 상기 제1 결합부재의 표면에 돌출된 하나 이상의 제1 결합가이드 및 상기 제2 결합부재에서 상기 제1 결합가이드들과 대응되게 형성되어 상기 각 제1 결합가이드를 수용하는 제2 결합가이드를 갖고, 상기 제1 결합가이드와 상기 제2 결합가이드를 매개로 상기 제1 결합부재와 상기 제2 결합부재가 결합될 수 있다.

실시예에서, 상기 제1 결합가이드는, 상기 제1 결합부재에서 돌출되고 탄성 지지된 돌출부 및 상기 돌출부의 표면이 상기 제1 결합부재의 표면보다 낮아지거나 같아지게 후퇴할 수 있도록 상기 돌출부를 수용하는 수용홈을 포함하고, 상기 제1 결합부재와 상기 제2 결합부재는 상기 제1 결합가이드와 상기 제2 결합가이드를 매개로 착탈가능하게 결합될 수 있다.

실시예에서, 상기 제1 결합부재가 상기 샤프트에서 원주 방향 및 축방향으로 유동이 발생하는 것을 방지할 수 있도록 상기 제1 결합부재와 상기 샤프트 사이에 개재되는 고정부재를 더 포함할 수 있다.

실시예에서, 상기 제1 결합부재는 상기 롤러와 일체로 형성될 수 있다. 또한, 상기 샤프트에 회전력을 인가하는 구동부를 더 포함할 수 있다.

상기한 본 발명의 실시예들에 따르면, 기판을 지지하여 이송하기 위한 롤러에 항상 일정한 크기의 힘으로 장착시킬 수 있을 뿐만 아니라, 상기 롤러의 결합력을 안적적으로 유지시킬 수 있다. 따라서, 종래의 기술에서와 같이 상기 롤러들을 결합하기 위한 너트의 풀림에 의해 발생되는 상기 롤러들 및 회전축의 손상 및 이에 따른 불순물 발생을 방지할 수 있다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 따른 기판 이송 장치에 대해 상세히 설명한다.

본문에 개시되어 있는 본 발명의 실시예에 대해서, 특정한 구조적 내지 기능적 설명들은 단지 본 발명의 실시예를 설명하기 위한 목적으로 예시된 것으로, 본 발명의 실시예들은 다양한 형태로 실시될 수 있으며 본문에 설명된 실시예들에 한정되는 것으로 해석되어서는 아니 된다.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위로부터 이탈되지 않은 채 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.

어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 구성요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "~사이에"와 "바로 ~사이에" 또는 "~에 이웃하는"과 "~에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 설시된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 설명하기 위한 단면도이다. 도 2는 도 1에 도시된 롤러 어셈블리를 설명하기 위한 분해사시도이고, 도 3은 도 2의 롤러 어셈블리가 결합 상태를 설명하기 위한 단면도이다. 도 4a는 도 2의 롤러 어셈블리의 결합부재의 일 실시예를 설명하기 위한 요부 확대 단면도이고, 도 4b는 상기 결합부재의 다른 실시예를 설명하기 위한 요부 확대 단면도이다.

이하, 도 1 내지 도 4b를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치에 대해 상세히 설명한다.

도 1을 참조하면, 기판 이송 장치(100)는 기판(1)이 수용되어 소정의 처리 공정이 수행되는 챔버(10)와, 상기 기판(1)를 지지하고 이송하기 위한 다수의 샤프트(20)와 상기 각 샤프트(20) 상에 결합되어 상기 기판(1)을 지지하고 이송하기 위한 롤러 어셈블리(50)를 포함할 수 있다.

상기 처리 공정의 예로는 상기 기판(1) 상의 막 또는 불순물을 제거하기 위한 식각 공정, 상기 기판(1) 상의 불순물을 제거하기 위한 세정 공정, 식각 또는 세정 후 린스 처리하기 위한 린스 공정, 건조시키기 위한 건조 공정 등이 있다. 또 한, 도시하지는 않았으나, 상기 처리 공정들을 수행하기 위해서, 상기 기판 이송 장치(100)의 상부 또는 하부에는 상기 기판(1)의 처리를 위한 약액 또는 처리 가스 등을 제공하는 노즐들, 예를 들어, 에어 나이프(air knife) 또는 샤워 나이프(shower knife) 등이 구비될 수 있다.

상기 기판 이송 장치(100)는 다수의 샤프트(20)와, 상기 샤프트(20) 상에 장착되는 다수의 롤러 어셈블리(50) 및 상기 샤프트(20)에 회전력을 제공하는 구동부(30)를 포함할 수 있다. 한편, 상기 구동부(30)는 상기 챔버(10)의 외측에 배치될 수 있으며, 상기 챔버(10) 벽에는 상기 구동부(30)로부터 상기 샤프트(20)로 회전력을 전달하기 위한 동력전달부재(132)가 구비될 수 있다.

상기 샤프트(20)는 일 방향으로, 예를 들면, 상기 기판(1)의 이송 방향을 따라 서로 평행하게 배열될 수 있으며, 상기 각 샤프트(20) 상에는 다수의 롤러 어셈블리(50)가 장착되되, 상기 각 롤러 어셈블리(50)는 동일한 간격으로 배치될 수 있다. 여기서, 상기 샤프트(20) 및 롤러 어셈블리(50)의 수와 배치는 대상체가 되는 상기 기판(1)의 크기에 따라 실질적으로 다양하게 변화될 수 있으며, 이에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.

상기 샤프트(20)는 다수의 지지부재(121)에 의해 수평 또는 소정의 경사를 갖도록 지지될 수 있다. 예를 들어, 상기 지지부재(121)는, 상기 샤프트(20)가 관통되고, 상기 샤프트(20)의 외주연부를 둘러싸도록 형성되며, 상기 샤프트(20)를 회전가능하게 지지하는 베어링(미도시)을 포함할 수 있다.

상기 구동부(30)는 상기 챔버(10)의 외측벽에 인접하여 배치될 수 있으며, 예를 들어, 상기 구동부(30)는 회전력을 발생시키는 모터(미도시)와, 상기 모터(미도시)로부터 상기 샤프트(20)를 연결하여 회전력을 전달하기 위한 동력전달부(미도시), 회전 속도와 회전력을 조절하기 위한 감속기(미도시) 등을 포함할 수 있다.

도 2를 참조하면, 상기 롤러 어셈블리(50)는 상기 샤프트(20)에 삽입되는 롤러(150)와, 상기 롤러(150)를 상기 샤프트(20) 상에 고정시키기 위한 제1 결합부재(51)와 제2 결합부재(52)를 포함할 수 있다.

상기 롤러(150)는 상기 샤프트(20)와 같이 회동하여 상기 기판(1)을 실질적으로 지지하고 이송시키는 부분이다. 즉, 상기 롤러(150)는 상기 기판(1) 하부에 직접 접촉하여 상기 기판(1)과 상기 롤러(150) 사이에 작용하는 마찰력에 의해 상기 샤프트(20)가 회전함에 따라 상기 기판(1)을 일 방향으로 이송시킬 수 있다.

예를 들어, 상기 롤러(150)는 상기 샤프트(20)의 외주면에 고정될 수 있도록 상기 샤프트(20)에 대응되는 직경을 갖는 체결홀(150a)이 형성된 도넛 형상을 가질 수 있다. 여기서, 상기 롤러(150)는 상기 기판(1)과 면접촉될 수 있도록 소정의 두께를 갖는 짧은 원통 형태를 가질 수 있다. 또는, 상기 롤러(150)는 상기 기판(1)과 선접촉될 수 있도록 원반 형태 또는 상기 롤러(150)의 외주연부가 첨단부를 가질 수 있을 것이다.

상기 롤러(150)의 외주연부는 상기 기판(1)에 직접 접촉하게 되므로, 상기 롤러(150)와 상기 기판(1)의 접촉에 의해 상기 기판(1)의 손상되는 것을 방지하고, 상기 기판(1)과 상기 롤러(150) 사이의 슬립 현상이 발생하는 것을 방지하기 위하여 상기 롤러(150)는 소정의 마찰계수를 갖는 연성 재질로 형성됨이 바람직하다. 예를 들어, 상기 롤러(150)는 외주연부를 폴리우레탄 수지로 형성할 수 있다. 여기서, 폴리우레탄 수지는 마찰계수가 크므로 상기 롤러(150)와 상기 기판(1) 사이에 슬립이 발생하는 것을 방지하여, 상기 기판(1)을 안정적으로 이송할 수 있다. 또한, 상기 롤러(150)는 상기 기판(1)을 지지할 수 있도록 소정의 강도를 확보하고, 상기 챔버(10)에서 소정의 기판 처리 공정이 수행되는 경우, 상기 처리 공정 동안 상기 롤러(150)가 변형되는 것을 방지할 수 있도록 내열성과 내산화성 및 강도가 강한 재질로 형성하는 것이 바람직하다. 예를 들어, 상기 롤러(150)는 SUS 재질로 형성될 수 있다. 또한, 상기 롤러(150)는 SUS 재질로 형성된 원통 형상의 몸체부와, 상기 몸체부의 외주연부를 따라 소정 두께의 폴리우레탄 수지로 형성된 보호층을 갖는 2중 구조를 가질 수 있을 것이다.

상기 롤러(150)의 일측에는 상기 롤러(150)를 상기 샤프트(20)에 고정시키기 위한 결합부재(51,52)가 제공된다. 특히, 상기 결합부재(51,52)는 상기 롤러(150)를 상기 샤프트(20)의 외주면 상에 억지끼워맞춤 방식으로 결합시키기 위한 구성요소들이다.

구체적으로, 상기 롤러(150)의 일측에는 제1 결합부재(51)가 제공되며, 상기 제1 결합부재(51)는 상기 롤러(150)와 일체로 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 결합부재(51)는 상기 롤러(150)의 체결홀(150a)로부터 상기 샤프트(20)의 축방향을 따라 일측으로 소정 길이 연장된 원통형상을 가질 수 있다. 또한, 상기 제1 결합부재(51)는 상기 샤프트(20)의 직경에 대응되는 내경을 갖고 상기 샤프트(20) 외주면에 장착되는 제1 가이드홀(51a)이 형성될 수 있다. 특히, 상기 제1 결합부 재(51)는, 상기 샤프트(20)에 억지끼워맞춤 방식으로 결합시킬 수 있도록 상기 샤프트(20)의 직경보다 약간 작은 내경을 가질 수 있다.

또한, 상기 제1 결합부재(51)와 대응되고 상기 제1 결합부재(51)의 외측에 결합되는 제2 결합부재(52)가 제공될 수 있다. 마찬가지로, 상기 제2 결합부재(52)도 상기 샤프트(20)의 직경보다 약간 작은 내경을 갖는 제2 가이드홀(52a)과, 상기 제1 결합부재(51)의 외측에 결합되는 안착부(52b)가 형성될 수 있다.

즉, 상기 롤러 어셈블리(50)는 상기 롤러(150) 및 상기 결합부재들(51,52)이 억지끼워맞춤 방식에 의해 상기 샤프트(20) 상에 결합되고, 상기 제1 결합부재(51)와 상기 제2 결합부재(52)가 서로 맞물림으로써 상기 샤프트(20)의 원주방향으로 상기 롤러(150)가 유동하는 것을 방지할 수 있다.

한편, 상기 제1 결합부재(51)와 상기 제2 결합부재(52) 사이에는 고정부재(53)가 개재될 수 있다. 예를 들어, 상기 고정부재(53)는 일방향을 따라 단면의 직경이 커지는 테이퍼진 형태를 가질 수 있고, 상기 고정부재(53)의 측면, 즉, 상기 샤프트(20)의 축방향으로 개구된 갭(gap)을 가질 수 있다. 상기 갭은 상기 고정부재(53)가 탄성을 가지도록 하며, 상기 고정부재(53)에 의해 상기 결합부재들(51,52)이 탄력적으로 가압되어 긴밀한 결합이 가능하게 한다.

상기 결합부재들(51,52)에는, 결합된 상태에서 상기 롤러(150)의 원주 방향 유동으로 인해 결합부재들(51,52) 사이의 결합이 헐거워지는 것을 방지하기 위한 결합가이드(151,152)가 형성될 수 있다.

이하, 도 3 내지 도 4b를 참조하여 상기 결합부재들(51,52)의 구조 및 결합 방법에 대해 상세히 설명한다.

도 3에 도시한 바와 같이, 상기 제1 결합부재(51) 상에서 돌출된 제1 결합가이드(151)와, 상기 제2 결합부재(52)에서 상기 제1 결합가이드(151)와 대응되어 상기 제1 결합가이드(151)가 수용되는 홈 또는 홀의 형태를 갖는 제2 결합가이드(152)가 형성될 수 있다.

여기서, 도 4a에 도시한 바와 같이, 상기 제1 결합가이드(151)는 상기 제1 결합부재(51) 상에서 소정 높이로 돌출된 돌기 형상을 가질 수 있으며, 상기 제1 결합부재(51)의 둘레를 따라 다수가 형성될 수 있다. 또한, 상기 제2 결합가이드(152)는 상기 제1 결합가이드(151)가 수용되도록 상기 제2 결합부재(52)를 관통하여 형성된 개구부일 수 있다.

즉, 상기 제1 결합가이드(151)는 상기 결합부재들(51,52)이 맞물릴 때, 슬라이드 거동에 의해 상기 제2 결합가이드(152)에 수용되어 상기 결합부재들(51,52)의 결합이 완료된다. 여기서, 상기 제1 결합가이드(151)는 상기 결합부재들(51,52) 사이의 간격을 지날 수 있을 정도의 높이로 돌출되는 것이 바람직하다.

한편, 도 4b에 도시한 바와 같이, 상기 제1 결합가이드(151)는 상기 제1 결합부재(51) 상에서 돌출된 돌출부(151a)와, 상기 돌출부(151a)를 탄성지지하기 위한 수용홈(151b)을 포함할 수 있다. 구체적으로, 상기 돌출부(151a)는 상기 제1 결합부재(51) 상에서 소정 높이 돌출되되, 자체 탄성력을 가질 수 있도록 상기 제1 결합부재(51) 표면과 소정 간격을 두고 절곡된 바(bar) 형상을 가질 수 있다. 또한, 상기 돌출부(151a)는 상기 제1 결합부재(51)와 일체로 형성될 수 있다. 상기 수용홈(151b)은 상기 돌출부(151a)의 여유변위를 확보하기 위한 구성요소이다.

상기 제2 결합가이드(152)는 상기 돌출부(151a)와 대응되어 상기 돌출부(151a)가 수용되도록 상기 제2 결합부재(52)를 관통하여 형성된 개구부일 수 있다.

여기서, 상기 돌출부(151a)의 탄성 거동은 상기 제1 결합부재(51)와 상기 제2 결합부재(52)가 결합 및 분리가 용이하도록 한다. 즉, 상기 제1 결합부재(51)와 상기 제2 결합부재(52)가 맞물리고, 상기 돌출부(151a)가 상기 제2 결합가이드(152)에 수용되어 상기 결합부재들(51,52)이 결합되고, 상기 결합부재들(51,52) 및 상기 롤러(150)의 원주 방향 유동이 방지된다.

그리고, 상기 제2 결합가이드(152)를 통해 상기 돌출부(151a)를 가압하면 상기 돌출부(151a)가 후방의 수용홈(151b)에 수용되면서 상기 돌출부(151a)의 상면이 상기 제1 결합부재(51)의 표면보다 낮거나 같은 높이까지 후퇴하게 되고, 상기 제2 결합부재(52)를 분리하는 것이 가능하다.

또한, 상술한 실시예들에서는 유리 기판과 같은 평판 디스플레이 장치에 사용되는 기판의 이송 장치와 관련하여 본 발명의 실시예가 기술되고 있으나, 실리콘 웨이퍼와 같이 반도체 장치용 기판 등에 대하여도 본 발명의 실시예가 다양하게 적용될 수 있으며, 기판 이송 장치 이외에도 회전축 상에 구성 요소를 원주 방향으로의 유동 없이 고정시키고자 하는 어떠한 경우라도 본 발명의 실시예들이 바람직하게 적용될 수 있을 것이다.

상술한 바와 같이, 본 발명의 실시예들에 따르면 평판 디스플레이 장치의 기판을 이송하기 위한 샤프트들과 롤러들을 억지끼워맞춤 방식으로 결합시킴으로써, 상기 롤러의 슬립 및 유동을 방지하고, 상기 롤러를 안정적으로 결합시킬 수 있다. 특히, 상기 롤러들을 체결시키고 있는 힘이 상이하여 상기 롤러의 결합이 해제되는 문제점과, 상기 샤프트 및 롤러들이 손상되는 문제점을 방지할 수 있다. 더 나아가, 상기 롤러들과 샤프트들의 손상 및 롤러들의 결합 해제에 따른 불순물 발생을 방지할 수 있으므로, 상기 기판의 처리 공정에서의 불량 요인을 원천적으로 제거할 수 있다

또한, 상기 결합가이드는 상기 결합부재 및 롤러의 착탈이 가능하도록 하므로 상기 롤러의 조립 및 분해가 용이한 장점이 있다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (6)

1. 기판이 수용되는 챔버;

   상기 챔버 내부에 서로 평행하게 배치되고, 회전가능하게 제공된 다수의 샤프트;

   중앙에 상기 샤프트가 관통되는 체결홀이 형성되고, 상기 기판을 지지하는 다수의 롤러;

   상기 롤러의 체결홀에서 축방향을 따라 연장되어 상기 샤프트에 끼워맞춤되고, 표면에 돌출된 하나 이상의 제1 결합가이드를 갖는 제1 결합부재; 및

   상기 샤프트가 관통되고, 상기 제1 결합부재에 착탈가능하도록 상기 샤프트 상에 제공되며, 상기 제1 결합가이드들과 대응되게 형성되어 상기 각 제1 결합가이드를 수용하는 제2결합가이드를 갖는 제2 결합부재를 포함하고,

   상기 제1 결합가이드와 상기 제2 결합가이드를 매개로 상기 제1 결합부재와 상기 제2 결합부재가 결합되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
2. 삭제
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 제1 결합가이드는,

   상기 제1 결합부재에서 돌출되고 탄성 지지된 돌출부; 및

   상기 돌출부의 표면이 상기 제1 결합부재의 표면보다 낮아지거나 같아지게 후퇴할 수 있도록 상기 돌출부를 수용하는 수용홈을 포함하고,

   상기 제1 결합부재와 상기 제2 결합부재는 상기 제1 결합가이드와 상기 제2 결합가이드를 매개로 착탈가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
4. 제 1 항에 있어서, 상기 제1 결합부재가 상기 샤프트에서 원주 방향 및 축방향으로 유동이 발생하는 것을 방지할 수 있도록 상기 제1 결합부재와 상기 샤프트 사이에 개재되는 고정부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
5. 삭제
6. 삭제

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