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KR100820913B1 - Semiconductor package, manufacturing method and semiconductor package module for image sensor - Google Patents

Semiconductor package, manufacturing method and semiconductor package module for image sensor Download PDF

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KR100820913B1
KR100820913B1 KR1020060077933A KR20060077933A KR100820913B1 KR 100820913 B1 KR100820913 B1 KR 100820913B1 KR 1020060077933 A KR1020060077933 A KR 1020060077933A KR 20060077933 A KR20060077933 A KR 20060077933A KR 100820913 B1 KR100820913 B1 KR 100820913B1
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semiconductor
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최현규
코초홍
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Abstract

경박 단소화되며, 공정이 단순화될 수 있는 반도체 패키지가 제공되며, 본 발명의 반도체 패키지는, 복수 개의 본딩패드들이 형성되어 있는 반도체 칩과, 상기 반도체 칩의 측벽으로부터 이격 배치되며, 하부면들이 상기 반도체 칩의 하부면과 본질적으로 동일 평면상에 놓이는 복수개의 리드들을 포함하며, 상기 반도체 칩의 본딩패드들과 상기 복수개의 리드들을 전기적으로 연결하는 복수개의 본딩와이어들과 상기 반도체 칩의 하부면 및 상기 리드들의 하부면을 노출시키면서 상기 반도체 칩, 본딩와이어들 및 리드들을 고정하여 밀봉시키는 봉지재를 포함한다.There is provided a semiconductor package, which is light and short, can be simplified, and a semiconductor package according to the present invention includes a semiconductor chip having a plurality of bonding pads formed thereon, spaced apart from a sidewall of the semiconductor chip, and having lower surfaces A plurality of leads lying on substantially the same plane as the bottom surface of the semiconductor chip, a plurality of bonding wires electrically connecting the bonding pads of the semiconductor chip and the plurality of leads, and a bottom surface of the semiconductor chip; An encapsulant for fixing and sealing the semiconductor chip, bonding wires, and leads while exposing the lower surfaces of the leads.

패키지, 리드, 봉지재, 투명물질, 테이프, 싱귤레이션 Packages, leads, encapsulants, transparent materials, tapes, singulation

Description

반도체 패키지, 그 제조방법 및 이미지 센서용 반도체 패키지 모듈{Semiconductor package, method of fabricating the same and semiconductor package module for image sensor}Semiconductor package, method of fabricating the same and semiconductor package module for image sensor

도 1은 종래의 세라믹 반도체 패키지의 일 예를 나타내는 단면도이다.1 is a cross-sectional view showing an example of a conventional ceramic semiconductor package.

도 2a, 2b 및 2c는 본 발명의 일 실시 예에 따른 반도체 패키지를 나타내는 평면도, 저면도 및 단면도이다. 2A, 2B, and 2C are plan views, bottom views, and cross-sectional views illustrating a semiconductor package according to an embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 패키지를 나타내는 단면도이다.3 is a cross-sectional view illustrating a semiconductor package according to another embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 반도체 패키지를 나타내는 단면도이다.4 is a cross-sectional view illustrating a semiconductor package according to still another embodiment of the present invention.

도 5a는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 반도체 패키지를 나타내는 단면도이며, 도 5b는 도 5a의 저면도이다.5A is a cross-sectional view illustrating a semiconductor package in accordance with still another embodiment. FIG. 5B is a bottom view of FIG. 5A.

도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 반도체 패키지와 카메라 홀더가 결합된 이미지 센서용 패키지 모듈을 나타내는 개략 단면도이다. 6 is a schematic cross-sectional view showing a package module for an image sensor in which a semiconductor package and a camera holder are coupled according to another embodiment of the present invention.

도 7은 본 발명의 실시예들에 따른 반도체 패키지를 제조하기 위한 리드 프레임의 평면도이다.7 is a plan view of a lead frame for manufacturing a semiconductor package according to embodiments of the present invention.

도 8a 내지 도 8f는 도 3c의 반도체 패키지를 제조하는 일 예의 과정을 도 7 의 B-B'선을 따라 절단하여 나타낸 단면도들이다.8A to 8F are cross-sectional views illustrating an example process of manufacturing the semiconductor package of FIG. 3C taken along the line BB ′ of FIG. 7.

* 도면의 주요 부분에 부호의 설명* Explanation of symbols on the main parts of the drawings

30 ; 리드프레임 31 ; 하부도금층 30; Leadframe 31; Lower Plating Layer

32, 32a ; 리드 33 ; 상부도금층 32, 32a; Lead 33; Upper plating layer

34 ; 반도체 칩 36 ; 본딩패드34; Semiconductor chip 36; Bonding pad

38 ; 본딩 와이어 40 ; 봉지재38; Bonding wire 40; Encapsulant

32b ; 다이 패드 31a ; 다이패드 도금층32b; Die pad 31a; Die Pad Plating Layer

50 ; 카메라 홀더 52 ; 카메라 렌즈50; Camera holder 52; Camera lens

60 ; 테이프60; tape

본 발명은 반도체 패키지에 관한 것이다. 보다 상세하게는 이미지 센서용 반도체 칩을 포함하는 반도체 패키지, 그의 제조방법 및 이미지 센서용 반도체 패키지 모듈에 관한 것이다.The present invention relates to a semiconductor package. More particularly, the present invention relates to a semiconductor package including a semiconductor chip for an image sensor, a method of manufacturing the same, and a semiconductor package module for an image sensor.

최근 급성장하고 있는 핸드폰용 카메라나 CCD(Charge Coupled Device) 카메라용으로 널리 사용되는 광검출소자인 CIS(CMOS Image Sensor)용 반도체 칩을 탑재한 패키지를 인쇄회로기판(PCB) 위에 실장하는 데 있어서 소비자들의 욕구가 점차 고기능화 및 경박 단소화되는 추세에 따라 칩 사이즈 패키지로서 적합한 반도체 패키지에 대한 연구가 이루어지고 있다. 이러한 이미지 센서용 칩 사이즈 패키지로서 종래에는 세라믹 패키지 및 플라스틱 패키지를 일반적으로 사용하였다.In mounting a package containing a semiconductor chip for a CMOS image sensor (CIS), a photodetector device widely used for a mobile phone camera or a CCD (Charge Coupled Device) camera, which has recently grown rapidly, As demands are gradually increased in functionality and light weight, the research on semiconductor packages suitable as chip size packages is being conducted. As the chip size package for such an image sensor, a ceramic package and a plastic package have been generally used.

도 1은 종래의 이미지 센서용 세라믹 패키지의 일 예를 나타내는 단면도이다.1 is a cross-sectional view showing an example of a ceramic package for a conventional image sensor.

도 1을 참조하면, 세라믹 재료로 된 패키지 바닥부(11a) 상에 반도체 칩(12)이 에폭시계 접착제(16)에 의해 탑재되어 있다. 반도체 칩(12)의 상부면 가장자리를 따라 복수개의 본딩 패드(12a)들이 형성되어 있다. 패키지 바닥부(11a)에는 복수개의 외부 리드(15)와 내부 리드(17)들이 형성되어 있다. 상기 외부 리드(15)들은 인쇄회로기판(도시 안됨)의 특정 회로와 전기적으로 연결될 수 있는 접촉부 역할을 하며, 내부 리드(17)들은 반도체 칩(12)의 상부 가장자리를 따라 형성된 복수개의 본딩 패드(12a)와 본딩 와이어(13)에 의해 전기적으로 연결될 수 있는 접촉부 역할을 한다. 반도체 칩(12)으로부터 이격되면서 세라믹 재료로 된 패키지 벽체부(11b)가 형성되며, 패키지 벽체부(11b)의 상측으로는 그라스 등과 같은 투명 판(14)이 형성되어 있다. Referring to Fig. 1, a semiconductor chip 12 is mounted on the package bottom portion 11a made of a ceramic material by an epoxy adhesive 16. A plurality of bonding pads 12a are formed along the upper edge of the semiconductor chip 12. A plurality of outer leads 15 and inner leads 17 are formed on the package bottom portion 11a. The external leads 15 serve as a contact portion that may be electrically connected to a specific circuit of a printed circuit board (not shown), and the internal leads 17 may include a plurality of bonding pads formed along an upper edge of the semiconductor chip 12. 12a) and a contact portion that can be electrically connected by the bonding wire 13. A package wall portion 11b made of ceramic material is formed while being spaced apart from the semiconductor chip 12, and a transparent plate 14 such as glass or the like is formed above the package wall portion 11b.

그러나 상기와 같은 종래의 세라믹 패키지는 그 구조적으로 복잡하기 때문에 경박 단소화를 구현하는 데 한계가 있으며, 세라믹 패키지의 가격이 고가이며, 단품 단위의 생산으로 제조비용이 높다는 한계가 있다.However, the conventional ceramic package as described above has a limitation in implementing a light and thin shortening because of its structural complexity, the price of the ceramic package is expensive, there is a limitation that the manufacturing cost is high due to the production of a single unit.

따라서, 종래의 이미지 센서용 반도체 패키지에 비하여 보다 경박 단소화되며, 제조 공정이 단순화되고, 대량 생산에 유리하며, 생산 원가를 절감할 수 있는 이미지 센서용 반도체 패키지가 요구되고 있다.Accordingly, there is a demand for an image sensor semiconductor package that is lighter and shorter than the conventional image sensor semiconductor package, which simplifies the manufacturing process, is advantageous for mass production, and can reduce the production cost.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 상기 종래 기술의 문제점을 감안하여 경박 단소화된 반도체 패키지를 제공하는 데 있다.DISCLOSURE OF THE INVENTION Technical problem to be solved by the present invention is to provide a light and thin semiconductor package in view of the problems of the prior art.

본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는, 상기 경박 단소화된 본 발명의 반도체 패키지를 단순하고 저가격으로 제조할 수 있는 반도체 패키지 제조방법을 제공하는 데 있다.Another technical problem to be achieved by the present invention is to provide a semiconductor package manufacturing method capable of manufacturing the above-mentioned thin and simple semiconductor package of the present invention in a simple and low cost.

본 발명이 이루고자 하는 또다른 기술적 과제는, 상기 경박 단소화된 본 발명의 반도체 패키지를 이용한 이미지 센서용 반도체 패키지 모듈을 제공하는 데 있다.Another object of the present invention is to provide a semiconductor package module for an image sensor using the semiconductor package of the present invention, which is light and thin.

상기 본 발명의 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 형태에 따른 반도체 패키지는, 복수 개의 본딩패드들이 형성되어 있는 반도체 칩과, 상기 반도체 칩의 측벽으로부터 이격 배치되며, 하부면들이 상기 반도체 칩의 하부면과 본질적으로 동일 평면상에 놓이는 복수개의 리드들을 포함하며, 상기 반도체 칩의 본딩패드들과 상기 복수개의 리드들을 전기적으로 연결하는 복수개의 본딩와이어들과 상기 반도체 칩의 하부면 및 상기 리드들의 하부면을 노출시키면서 상기 반도체 칩, 본딩와이어들 및 리드들을 고정하여 밀봉시키는 봉지재를 포함한다.According to one aspect of the present invention, there is provided a semiconductor package including a semiconductor chip having a plurality of bonding pads formed thereon, spaced apart from sidewalls of the semiconductor chip, and lower surfaces of the semiconductor chip. A plurality of leads that are substantially coplanar with the bottom surface, the plurality of bonding wires electrically connecting the bonding pads of the semiconductor chip and the plurality of leads, the bottom surface of the semiconductor chip, and the leads An encapsulant for fixing and sealing the semiconductor chip, bonding wires, and leads while exposing a bottom surface thereof.

바람직하기로는 상기 봉지재는 투명물질이며, 상기 봉지재는 상기 리드들의 상부면 이상의 높이로 형성될 수 있다. 또한 상기 리드들의 높이는 상기 반도체 칩의 높이 보다 높거나 낮을 수도 있다.Preferably, the encapsulant is a transparent material, and the encapsulant may be formed at a height greater than or equal to an upper surface of the leads. In addition, the height of the leads may be higher or lower than the height of the semiconductor chip.

한편, 상기 리드들의 노출된 상부면 및 하부면 상에는 각기 상부도금층 및 하부도금층이 더 형성되어 있으며, 상기 본딩 와이어들이 상기 상부면에 형성된 상부도금층과 연결되며, 상기 반도체 칩의 하부면에는 반도체 칩 패드가 더 형성되어 있으며, 상기 반도체 칩 패드의 하부면과 상기 리드들의 하부면이 동일 평면상에 놓이게 할 수 있다. Meanwhile, upper and lower plating layers are further formed on the exposed upper and lower surfaces of the leads, respectively, and the bonding wires are connected to the upper plating layer formed on the upper surface, and a semiconductor chip pad is provided on the lower surface of the semiconductor chip. Is further formed, and the lower surface of the semiconductor chip pad and the lower surface of the leads may be placed on the same plane.

한편, 상기 본 발명의 다른 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 다른 형태에 따른 반도체 패키지 제조방법은, 내측 공간을 향하여 돌출된 복수개의 리드들을 포함하는 리드 프레임을 준비한 후, 상기 리드 프레임의 하부면 상에 테이프를 부착한다. 이어서, 상기 리드 프레임의 내측 공간 내에서 노출된 상기 테이프 상에 반도체 칩을 접착한 후, 상기 리드들과 상기 반도체 칩을 전기적으로 연결하기 위해 본딩 와이어들로 와이어 본딩한다. 이어서, 상기 리드들, 본딩 와이어들 및 반도체 칩을 밀봉하도록 봉지재로 몰딩한 후, 상기 반도체 칩으로부터 상기 테이프를 제거한다.On the other hand, the semiconductor package manufacturing method according to another aspect of the present invention for achieving another technical problem of the present invention, after preparing a lead frame comprising a plurality of leads protruding toward the inner space, the lower surface of the lead frame Stick the tape on. Subsequently, after bonding the semiconductor chip on the exposed tape in the inner space of the lead frame, wire bonding with bonding wires for electrically connecting the leads and the semiconductor chip. Subsequently, after molding the encapsulant to seal the leads, the bonding wires, and the semiconductor chip, the tape is removed from the semiconductor chip.

상기 리드 프레임의 하부면 상에 테이프를 부착하기 전에 상기 리드들의 상부면 및 하부면에 각기 상부 도금층 및 하부 도금층을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있으며, 상기 테이프를 제거하기 전에 리드 프레임을 싱귤레이션하여 단위 패키지로 분리할 수 있다.The method may further include forming an upper plating layer and a lower plating layer on the upper and lower surfaces of the leads, respectively, before attaching the tape to the lower surface of the lead frame, and singulating the lead frame before removing the tape. Can be separated into unit packages.

한편, 본 발명의 상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 또다른 형태에 따른 이미지 센서용 반도체 패키지 모듈은, 반도체 패키지와 상기 반도체 패키지의 상측에 배치되는 렌즈 홀더를 포함하며, 상기 반도체 패키지는 복수 개의 본딩패드들이 형성되어 있는 반도체 칩과 상기 반도체 칩의 측벽으로부터 이격 배치 되며, 하부면들이 상기 반도체 칩의 하부면과 본질적으로 동일 평면상에 놓이는 복수개의 리드들을 포함하며, 상기 반도체 칩의 본딩패드들과 상기 복수개의 리드들을 전기적으로 연결하는 복수개의 본딩와이어들 및 상기 반도체 칩의 하부면 및 상기 리드들의 하부면을 노출시키면서 상기 반도체 칩, 본딩와이어들 및 리드들을 고정하여 밀봉시키는 봉지재를 포함한다.On the other hand, the semiconductor package module for an image sensor according to another aspect of the present invention for achieving the technical problem of the present invention includes a semiconductor package and a lens holder disposed above the semiconductor package, the semiconductor package is a plurality Bonding pads spaced apart from sidewalls of the semiconductor chip and the plurality of bonding pads, the lower surfaces of the semiconductor chip being substantially coplanar with the lower surface of the semiconductor chip, and bonding pads of the semiconductor chip And a plurality of bonding wires electrically connecting the plurality of leads to the plurality of leads, and an encapsulant for fixing and sealing the semiconductor chip, the bonding wires and the leads while exposing the bottom surface of the semiconductor chip and the bottom surface of the leads. do.

이하, 첨부 도면을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

다음에 설명되는 실시예들은 여러가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술되는 실시예에 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 본 발명의 실시예를 설명하는 도면에 있어서, 어떤 층이나 영역들의 두께는 명세서의 명확성을 위해 과장되어진 것으로, 도면상의 동일한 부호는 동일한 요소를 지칭한다. 또한, 어떤 층이 다른 층 또는 기판의 "상부"에 있다고 기재된 경우, 상기 어떤 층이 상기 다른 층 또는 기판의 상부에 직접 존재할 수도 있고, 그 사이에 제3의 층이 개재되어 질 수도 있다.The embodiments described below may be modified in many different forms, and the scope of the present invention is not limited to the embodiments described below. The embodiments of the present invention are provided to more completely explain the present invention to those skilled in the art. In the drawings illustrating embodiments of the present invention, the thicknesses of certain layers or regions are exaggerated for clarity of specification, and like numerals in the drawings refer to like elements. In addition, where a layer is described as being on the "top" of another layer or substrate, the layer may be directly on top of the other layer or substrate, with a third layer intervening therebetween.

도 2a, 2b 및 2c는 본 발명의 일 실시 예에 따른 이미지 센서용 반도체 패키지를 나타내는 각기 평면도, 저면도 및 단면도이다. 도 2a, 2b에서는 설명의 편의를 위해 상부 도금층(33) 및 하부 도금층(31)을 도시하지 않았으며 단지 리드들(32)의 도면번호에 그 도면번호들을 병기하였다. 또한, 평면도에서도 비록 상부에 봉지재(40)가 덮혀 있지만, 리드들(32)의 배치관계를 보여주기 위해 리드들(32) 및 본딩 와이어(38) 및 반도체 칩(34) 등이 나타나도록 도시하였다. 도 2c는 도 2a의 A-A'선을 따라 자른 단면도이다.2A, 2B, and 2C are plan views, bottom views, and cross-sectional views illustrating semiconductor packages for image sensors according to embodiments of the present disclosure. 2A and 2B, the upper plating layer 33 and the lower plating layer 31 are not shown for convenience of description, and only the reference numbers are given in the reference numbers of the leads 32. In addition, in the plan view, although the encapsulant 40 is covered thereon, the leads 32, the bonding wires 38, the semiconductor chip 34, and the like are shown to show the arrangement of the leads 32. It was. FIG. 2C is a cross-sectional view taken along the line AA ′ of FIG. 2A.

도 2a 내지 도 2c를 참조하면, 반도체 패키지의 중앙에는 반도체 칩(34)이 위치하며, 반도체 칩(34)을 둘러싸는 형태로 이격되어 배치된 복수개의 리드들(32)이 형성되어 있다. 반도체 칩(34)의 상부면에는 가장자리를 따라 복수개의 본딩패드(36)들이 형성되어 있다. 각 리드(32)의 상부면에는 상부 도금층(33)이 형성되어 있으며, 하부면 상에는 하부 도금층(31)이 각기 형성되어 있다.2A to 2C, a semiconductor chip 34 is positioned at the center of the semiconductor package, and a plurality of leads 32 are formed to be spaced apart from each other to surround the semiconductor chip 34. A plurality of bonding pads 36 are formed along the edge of the upper surface of the semiconductor chip 34. The upper plating layer 33 is formed on the upper surface of each lead 32, and the lower plating layer 31 is formed on the lower surface, respectively.

또한, 상부 도금층(33)과 반도체 칩(34)의 본딩패드(36)는 본딩 와이어(38)들에 의해 전기적으로 연결되어 있으며, 상기 리드들(32) 및 반도체 칩(34)을 밀봉하여 고정시키는 봉지재(40)가 형성되어 있다. 도 2c에서 보여지는 바와 같이, 본질적으로 반도체 칩(34)의 하부면과 리드들(32)의 하부면, 또는 리드들(32)의 하부면 상에 형성된 하부 도금층(31)의 하부면은 동일 평면상에 놓이도록 구성된다. In addition, the upper plating layer 33 and the bonding pads 36 of the semiconductor chip 34 are electrically connected to each other by bonding wires 38, and seal and fix the leads 32 and the semiconductor chip 34. An encapsulant 40 to be formed is formed. As shown in FIG. 2C, the bottom surface of the semiconductor chip 34 and the bottom surface of the leads 32, or the bottom surface of the bottom plating layer 31 formed on the bottom surface of the leads 32 are essentially the same. It is configured to lie on a plane.

상기 봉지재(40)는 일체로 형성되어 있으며, 예를 들어 빛이 투과할 수 있는 투명물질인 투명 에폭시 몰드 컴파운드(EMC)를 이용하여 형성할 수 있다. 한편, 본 실시예에서는 상기 반도체 칩(34) 주위로 이격되어 배치되는 상기 리드(32)의 높이는 적어도 상기 반도체 칩(32)의 상부면의 높이 보다 크도록 형성하였다. The encapsulant 40 is integrally formed, and may be formed using, for example, a transparent epoxy mold compound (EMC), which is a transparent material through which light can pass. In the present embodiment, the height of the lead 32 spaced apart from the semiconductor chip 34 is formed to be at least greater than the height of the upper surface of the semiconductor chip 32.

상기 반도체 칩(34)은 핸드폰용 카메라나 CCD용 카메라에서 사용되는 광검출소자인 CMOS 이미지 센서가 형성되어 있다. 반도체 칩(34)의 상부면에는 가장자리를 따라 외부 회로와 전기적으로 연결될 수 있는 복수개의 본딩패드(36)들이 형성되어 있다. 상기 복수개의 본딩패드(36)는 본딩 와이어(38)에 의해 상기 노출된 리 드(32)들의 상부면과 전기적으로 연결된다. 본 발명에서는 알루미늄, 금 등으로 된 본딩 와이어(38)와의 본딩력을 향상시키기 위해 금(Au), 은(Ag) 등의 금속 또는 NiPd 등의 합금으로 된 상부 도금층(33)을 리드(32)들의 노출된 상부면 상에 형성한다. The semiconductor chip 34 is formed with a CMOS image sensor, which is a light detecting element used in a mobile phone camera or a CCD camera. A plurality of bonding pads 36 may be formed on the upper surface of the semiconductor chip 34 to be electrically connected to an external circuit along an edge thereof. The plurality of bonding pads 36 are electrically connected to upper surfaces of the exposed leads 32 by bonding wires 38. In the present invention, in order to improve the bonding force with the bonding wire 38 made of aluminum, gold, or the like, the upper plating layer 33 made of a metal such as gold (Au), silver (Ag) or an alloy such as NiPd may be used. On the exposed top surface of the field.

한편, 리드(32)들의 노출된 하부면 상에는 상기 상부 도금층(33)과 동일한 물질로 이루어진 하부 도금층(31)이 형성되거나, 반도체 패키지를 장착하기 위한 기판(도시 안됨)과의 솔더 접착력을 향상시키기 위해 예를 들어 SnPb 솔더 도금층이 형성될 수도 있다. 상부 도금층(33)으로서 상기 금, 은 등의 금속 대신에 Ni, Pd, Au 등의 금속층으로 층이 구성된 PPF(Pre-Plated Frame) 도금층을 사용하고, 하부 도금층(31)으로서 SnPb 솔더 도금층 대신에 Ni, Pd, Au 등의 금속층으로 층이 구성된 PPF 도금층을 사용할 수도 있다. On the other hand, a lower plating layer 31 made of the same material as the upper plating layer 33 is formed on the exposed lower surfaces of the leads 32 or to improve solder adhesion with a substrate (not shown) for mounting a semiconductor package. For example, a SnPb solder plating layer may be formed. Instead of the metals such as gold and silver as the upper plating layer 33, a PPF (Pre-Plated Frame) plating layer composed of metal layers such as Ni, Pd and Au is used, and instead of the SnPb solder plating layer as the lower plating layer 31, It is also possible to use a PPF plated layer composed of a metal layer such as Ni, Pd or Au.

도 3은 도 2c에 대응하는 본 발명의 다른 실시예에 따른 이미지 센서용 반도체 패키지를 나타내는 단면도이다. 도 3을 참조하면, 도 2c와 비교하여 전체적으로 유사하지만, 봉지재(40)의 높이가 반도체 칩(34) 주변에 배치된 리드들(32)의 높이, 또는 리드들(32)의 상부면에 형성된 상부 도금층(33)의 표면 높이와 거의 동일하다는 점에서 상이하다. 3 is a cross-sectional view illustrating a semiconductor package for an image sensor according to another exemplary embodiment of the inventive concept corresponding to FIG. 2C. Referring to FIG. 3, the overall height of the encapsulant 40 is similar to that of FIG. 2C, but the height of the leads 32 disposed around the semiconductor chip 34, or the upper surface of the leads 32. It is different in that it is substantially the same as the surface height of the formed upper plating layer 33. FIG.

도 4는 도 2c에 대응하는 본 발명의 또다른 실시예에 따른 이미지 센서용 반도체 패키지를 나타내는 단면도이다. 도 4를 참조하면, 도 2c와 비교하여 전체적으로 유사하지만, 반도체 칩(34) 주변에 배치된 리드들(32a)의 높이, 또는 리드들(32)의 상부면에 형성된 상부 도금층(33a)의 표면 높이가 반도체 칩(34)의 표면 높이 보다 낮은 경우라는 점에서 상이하다.4 is a cross-sectional view illustrating a semiconductor package for an image sensor according to another exemplary embodiment of the present invention corresponding to FIG. 2C. Referring to FIG. 4, the overall similarity with that of FIG. 2C, but the height of the leads 32a disposed around the semiconductor chip 34, or the surface of the upper plating layer 33a formed on the upper surface of the leads 32. The height is different in that the case is lower than the surface height of the semiconductor chip 34.

도 5a는 도 2c에 대응하는 본 발명의 또다른 실시예에 따른 이미지 센서용 반도체 패키지를 나타내는 단면도이며, 도 5b는 저면도이다. 도 5a 및 도 5b를 참조하면, 도 2c 및 도 2b와 비교하여 전체적으로 유사하지만, 리드 프레임의 형태가 다르다. 즉, 리드 프레임에서 리드들(32) 사이의 공간에 리드들(32)과 동일한 재질이지만 높이가 리드들(32) 보다 낮은 다이패드(32b)가 형성되며, 반도체 칩(34)이 다이패드(32b) 상에 접착제(도시안됨)에 의해 탑재된다. 따라서 리드들(32)의 하부면에 하부 도금층(31)이 형성될 때 다이패드(32b)의 하부면 상에도 동일하게 다이패드 도금층(31a)이 형성된다는 점에서 상이하다. 따라서 본 실시예에서는 리드들(32) 또는 리드들(32)의 하부면 상에 형성된 하부 도금층(31)의 하부면과 다이패드 도금층(31a)이 동일 평면상에 위치한다.FIG. 5A is a cross-sectional view illustrating a semiconductor package for an image sensor according to another exemplary embodiment of the inventive concept corresponding to FIG. 2C, and FIG. 5B is a bottom view. 5A and 5B, the overall similarity to that of FIGS. 2C and 2B, but the shape of the lead frame is different. That is, the die pad 32b having the same material as the leads 32 but having a lower height than the leads 32 is formed in the space between the leads 32 in the lead frame, and the semiconductor chip 34 is formed by the die pad ( It is mounted by adhesive (not shown) on 32b). Accordingly, when the lower plating layer 31 is formed on the lower surface of the leads 32, the die pad plating layer 31a is formed on the lower surface of the die pad 32b in the same manner. Therefore, in the present exemplary embodiment, the lower surface of the lower plating layer 31 formed on the leads 32 or the lower surface of the leads 32 and the die pad plating layer 31a are positioned on the same plane.

도 6은 본 발명의 또다른 실시 예에 따른 반도체 패키지와 카메라 홀더가 결합된 모듈을 개략적으로 나타내는 단면도이다. 본 실시예에서는 반도체 패키지로서 도 2c에 도시된 반도체 패키지를 적용한 예를 나타내지만, 도 3 내지 도 5에서 도시된 다른 실시예의 반도체 패키지를 적용할 수 있음은 물론이다. 6 is a cross-sectional view schematically illustrating a module in which a semiconductor package and a camera holder are coupled according to another embodiment of the present invention. In the present embodiment, an example in which the semiconductor package shown in FIG. 2C is applied as the semiconductor package is illustrated, but the semiconductor package of another embodiment shown in FIGS. 3 to 5 may be applied.

도 6을 참조하면, 도 2c에 도시된 패키지에서 반도체 패키지의 가장자리를 따라 렌즈 홀더(50)를 접착제(도시안됨)로 접착시킨 형태를 갖는다. 렌즈 홀더(50)에는 카메라용 렌즈(52)가 결합되어 있다. 상기와 같이 렌즈 홀더(50)가 결합된 반도체 패키지는 인쇄회로기판 등의 기판(도시안됨) 상에 탑재될 수 있다. Referring to FIG. 6, in the package shown in FIG. 2C, the lens holder 50 is adhered with an adhesive (not shown) along the edge of the semiconductor package. The lens 52 for the camera is coupled to the lens holder 50. The semiconductor package to which the lens holder 50 is coupled as described above may be mounted on a substrate (not shown) such as a printed circuit board.

도 7, 도 8a 내지 도 8f를 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 반도체 패키지 를 제조하는 과정을 구체적으로 살펴본다. 도 7은 도 2c에 도시한 반도체 패키지를 제조하기 위한 리드 프레임의 평면도이며, 도 8a 내지 도 8f는 도 2c의 반도체 패키지를 제조하는 일 예의 과정을 도 7의 B-B'선을 따라 절단하여 나타낸 단면도들이다. 7, a process of manufacturing a semiconductor package according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. FIG. 7 is a plan view of a lead frame for manufacturing the semiconductor package illustrated in FIG. 2C, and FIGS. 8A to 8F illustrate an example of manufacturing the semiconductor package of FIG. 2C taken along the line BB ′ of FIG. 7. The cross-sectional views are shown.

도 7을 참조하며, 복수개의 단위 유니트가 배치된 리드 프레임(30)이 준비된다. 리드 프레임은 구리, 구리 또는 구리와 기타 철, 니켈 화합물등의 도전성 물질을 사용할 수 있다. 단위 유니트에는 내측 공간(35)을 향하여 일정한 길이 만큼 연장된 복수개의 리드(32)들이 형성되어 있다. 본 발명의 리드 프레임(30)의 두께, 즉 리드(32)의 두께는 도 2c에서 알 수 있는 바와 같이 반도체 칩(34)의 두께 보다 큰 것이 바람직하며 수십 내지 수백 ㎛ 이상이 될 수 있다. 그러나 도 4의 실시예에서는 리드(32a)의 두께가 반도체 칩(34)의 두께 보다 낮을 수도 있다.Referring to FIG. 7, a lead frame 30 in which a plurality of unit units are disposed is prepared. The lead frame may use a conductive material such as copper, copper or copper, and other iron and nickel compounds. The unit unit is formed with a plurality of leads 32 extending by a predetermined length toward the inner space 35. The thickness of the lead frame 30, that is, the thickness of the lead 32 of the present invention is preferably larger than the thickness of the semiconductor chip 34, as can be seen in Figure 2c and may be tens to hundreds of micrometers or more. However, in the embodiment of FIG. 4, the thickness of the lead 32a may be lower than the thickness of the semiconductor chip 34.

도 8a를 참조하면, 리드 프레임(30), 보다 구체적으로는 리드들(32)의 상부면 및 하부면 상에 각기 상부 도금층(33) 및 하부 도금층(31)을 동일 공정 또는 별도의 공정으로 형성한다. 상부 도금층(33)은 알루미늄, 금 등으로 된 본딩 와이어(도 8d의 38)와의 본딩력을 향상시키기 위해 금(Au), 은(Ag) 등의 금속 또는 NiPd 등의 합금으로 된 상부 도금층(33)을 리드(32)들의 노출된 상부면 상에 형성한다. 한편, 리드(32)들의 노출된 하부면 상에는 상기 상부 도금층(33)과 동일한 물질로 이루어진 하부 도금층(31)이 형성되거나, 반도체 패키지를 장착하기 위한 기판(도시 안됨)과의 솔더 접착력을 향상시키기 위해 예를 들어 SnPb 솔더 도금층이 형성될 수도 있다. 상부 도금층(33)으로서 상기 금, 은 등의 금속 대신에 Ni, Pd, Au 등의 금속층으로 층이 구성된 PPF(Pre-Plated Frame) 도금층을 사용하고, 하부 도금층(31)으로서 SnPb 솔더 도금층 대신에 Ni, Pd, Au 등의 금속층으로 층이 구성된 PPF 도금층을 사용할 수도 있다. Referring to FIG. 8A, the upper plating layer 33 and the lower plating layer 31 are formed on the lead frame 30, more specifically, on the upper and lower surfaces of the leads 32 by the same process or separate processes, respectively. do. The upper plating layer 33 is an upper plating layer 33 made of a metal such as gold (Au) or silver (Ag) or an alloy such as NiPd to improve bonding strength with a bonding wire (38 of FIG. 8D) made of aluminum, gold, or the like. ) Is formed on the exposed top surface of the leads 32. On the other hand, a lower plating layer 31 made of the same material as the upper plating layer 33 is formed on the exposed lower surfaces of the leads 32 or to improve solder adhesion with a substrate (not shown) for mounting a semiconductor package. For example, a SnPb solder plating layer may be formed. Instead of the metals such as gold and silver as the upper plating layer 33, a PPF (Pre-Plated Frame) plating layer composed of metal layers such as Ni, Pd and Au is used, and instead of the SnPb solder plating layer as the lower plating layer 31, It is also possible to use a PPF plated layer composed of a metal layer such as Ni, Pd or Au.

도 8b를 참조하면, 리드 프레임(30)의 하부면 상에 접착성과 유연성이 있는 테이프(60)를 부착한다. Referring to FIG. 8B, an adhesive and flexible tape 60 is attached to the lower surface of the lead frame 30.

도 8c를 참조하면, 리드 프레임(30)의 각 단위 유니트 별로 리드들(32) 사이에 형성된 내측 공간(35)에 미리 형성된 반도체 칩(34)을 부착한다(다이 어태칭).Referring to FIG. 8C, the semiconductor chip 34 formed in advance is attached to the inner space 35 formed between the leads 32 for each unit unit of the lead frame 30 (die attaching).

도 8d를 참조하면, 반도체 칩(34)의 상부면에 형성된 본딩패드(36)들과 리드들(32)의 상부면에 형성된 상부 도금층(33)을 전기적으로 연결하기 위해 본딩 와이어(38)로 와이어 본딩한다.Referring to FIG. 8D, the bonding pads 36 formed on the upper surface of the semiconductor chip 34 and the upper plating layer 33 formed on the upper surface of the leads 32 may be electrically connected to the bonding wires 38. Wire bond.

계속하여 도 8e를 참조하면, 봉지재(40)로서 투명 EMC를 사용하여 상기 반도체 칩(34), 본딩 와이어(38) 및 리드들(32)을 고정시키면서 몰딩한다. Subsequently, referring to FIG. 8E, the semiconductor chip 34, the bonding wires 38, and the leads 32 may be molded while using the transparent EMC as the encapsulant 40.

도 8f를 참조하면, 몰딩이 완료된 후 블레이드를 사용하여 각 단위 유니트 별로 분리하는 싱귤레이션(singulation) 공정을 수행한 후 테이프(60)를 제거함으로써 본 발명의 단위 반도체 패키지를 완성한다.Referring to FIG. 8F, after the molding is completed, the unit semiconductor package of the present invention is completed by removing the tape 60 after performing a singulation process of separating each unit unit using a blade.

이상에서는 본 발명을 여러 가지 실시예를 들어 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시예들에 한정되지 않으며 본 발명이 속하는 기술적 사상 내에서 당분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 많은 변형이 가능함은 물론이다. 예를 들어, 반도체 칩(34)의 두께에 대하여 리드들(32)과 봉지재(40)의 높이를 적절하게 선택하여 사용할 수 있으며, 봉지재(40)로서 투명 에폭시 물질을 사용하였지만 본 발명이 적용 되는 한 다양한 몰딩 물질을 선택하여 사용할 수 있다. 또한, 도 7 내지 도 8f는 다이패드가 없는 리드 프레임을 사용하여 본 발명의 반도체 패키지를 제조하는 과정에 대하여 설명한 것이지만, 도 5a 및 도 5b의 반도체 패키지를 제조하기 위해서는 리드들 사이의 내측 공간에 다이패드가 형성된 리드 프레임을 사용하여 전술한 공정과 같은 공정을 수행할 수 있음은 물론이다.The present invention has been described with reference to various embodiments, but the present invention is not limited to the above-described embodiments, and many modifications are possible by those skilled in the art within the technical spirit to which the present invention belongs. Of course. For example, the heights of the leads 32 and the encapsulant 40 may be appropriately selected and used with respect to the thickness of the semiconductor chip 34. Although the transparent epoxy material is used as the encapsulant 40, the present invention Various molding materials can be selected and used as long as it is applicable. 7 to 8F illustrate a process of manufacturing the semiconductor package of the present invention using a lead frame without a die pad, but in order to manufacture the semiconductor package of FIGS. Of course, the same process as described above can be performed using a lead frame having a die pad.

이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명에 따르면, 경박 단소화된 반도체 패키지를 실현할 수 있으며, 공정이 매우 단순하면서도 대량 생산에 유리하다. As described above, according to the present invention, it is possible to realize a light and small-sized semiconductor package, the process is very simple and advantageous for mass production.

Claims (14)

복수 개의 본딩패드들이 형성되어 있는 반도체 칩;A semiconductor chip in which a plurality of bonding pads are formed; 상기 반도체 칩의 측벽으로부터 이격 배치되며, 하부면 상에 하부도금층이 형성되고, 상기 하부도금층이 상기 반도체 칩의 하부면과 본질적으로 동일 평면상에 놓이는 복수개의 리드들;A plurality of leads spaced apart from the sidewalls of the semiconductor chip, the lower plating layer being formed on a lower surface, the lower plating layer being substantially coplanar with the lower surface of the semiconductor chip; 상기 반도체 칩의 본딩패드들과 상기 복수개의 리드들을 전기적으로 연결하는 복수개의 본딩와이어들; 및A plurality of bonding wires electrically connecting the bonding pads of the semiconductor chip and the plurality of leads; And 상기 반도체 칩의 하부면 및 상기 리드들의 하부면 상의 상기 하부도금층과, 상기 리드들의 외측면을 노출시키면서 상기 반도체 칩, 본딩와이어들 및 리드들을 고정하여 밀봉시키는 봉지재; An encapsulant that fixes and seals the semiconductor chip, bonding wires, and leads while exposing the lower plating layer on the lower surface of the semiconductor chip and the lower surface of the leads and the outer surface of the leads; 를 포함하는 반도체 패키지. Semiconductor package comprising a. 제1항에 있어서, 상기 봉지재가 투명물질인 것을 특징으로 하는 반도체 패키지.The semiconductor package of claim 1, wherein the encapsulant is a transparent material. 제1항에 있어서, 상기 봉지재는 상기 리드들의 상부면 이상의 높이로 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 패키지.The semiconductor package of claim 1, wherein the encapsulant has a height greater than or equal to an upper surface of the leads. 제1항에 있어서, 상기 리드들의 상부면 상에는 상부도금층이 더 형성되어 있으며, 상기 본딩 와이어들이 상기 상부면에 형성된 상부도금층과 연결되는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지.The semiconductor package of claim 1, wherein an upper plating layer is further formed on upper surfaces of the leads, and the bonding wires are connected to an upper plating layer formed on the upper surface. 제1항에 있어서, 상기 반도체 칩의 하부면에는 반도체 칩 패드가 더 형성되어 있으며, 상기 반도체 칩 패드의 하부면과 상기 리드들의 하부면이 동일 평면상에 놓이는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지.The semiconductor package of claim 1, wherein a semiconductor chip pad is further formed on a bottom surface of the semiconductor chip, and a bottom surface of the semiconductor chip pad and a bottom surface of the leads are disposed on the same plane. 내측 공간을 향하여 돌출된 복수개의 리드들을 포함하는 리드 프레임을 준비하는 단계;Preparing a lead frame including a plurality of leads protruding toward an inner space; 상기 리드 프레임의 하부면 상에 테이프를 부착하는 단계;Attaching a tape to a bottom surface of the lead frame; 상기 리드 프레임의 내측 공간 내에서 노출된 상기 테이프 상에 반도체 칩을 접착하는 단계;Bonding a semiconductor chip onto the tape exposed in the inner space of the lead frame; 상기 리드들과 상기 반도체 칩을 전기적으로 연결하기 위해 본딩 와이어들로 와이어 본딩하는 단계;Wire bonding with bonding wires to electrically connect the leads and the semiconductor chip; 상기 리드들, 본딩 와이어들 및 반도체 칩을 밀봉하도록 봉지재로 몰딩하는 단계; 및Molding with encapsulant to seal the leads, bonding wires, and semiconductor chip; And 상기 반도체 칩으로부터 상기 테이프를 제거하는 단계;Removing the tape from the semiconductor chip; 를 포함하는 반도체 패키지 제조방법. Semiconductor package manufacturing method comprising a. 제6항에 있어서, 상기 리드 프레임의 하부면 상에 테이프를 부착하기 전에 상기 리드들의 상부면 및 하부면에 각기 상부 도금층 및 하부 도금층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지 제조방법.The method of claim 6, further comprising forming upper and lower plating layers on upper and lower surfaces of the leads, respectively, before attaching the tape to the lower surface of the lead frame. . 제6항에 있어서, 상기 반도체 칩을 밀봉하는 단계에서는, 상기 봉지재가 상기 리드들의 높이 이상이 되도록 수행하는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지 제조방법. The method of claim 6, wherein the sealing of the semiconductor chip is performed such that the encapsulant is greater than or equal to the height of the leads. 제6항에 있어서, 상기 봉지재는 투명물질임을 특징으로 하는 반도체 패키지 제조방법.The method of claim 6, wherein the encapsulant is a transparent material. 반도체 패키지와 상기 반도체 패키지의 상측에 배치되는 렌즈 홀더를 포함하는 이미지 센서용 반도체 패키지 모듈에 있어서,In the semiconductor package module for an image sensor comprising a semiconductor package and a lens holder disposed on the semiconductor package, 상기 반도체 패키지는,The semiconductor package, 복수 개의 본딩패드들이 형성되어 있는 반도체 칩;A semiconductor chip in which a plurality of bonding pads are formed; 상기 반도체 칩의 측벽으로부터 이격 배치되며, 하부면 상에 하부도금층이 형성되고, 상기 하부도금층이 상기 반도체 칩의 하부면과 본질적으로 동일 평면상에 놓이는 복수개의 리드들;A plurality of leads spaced apart from the sidewalls of the semiconductor chip, the lower plating layer being formed on a lower surface, the lower plating layer being substantially coplanar with the lower surface of the semiconductor chip; 상기 반도체 칩의 본딩패드들과 상기 복수개의 리드들을 전기적으로 연결하는 복수개의 본딩와이어들; 및A plurality of bonding wires electrically connecting the bonding pads of the semiconductor chip and the plurality of leads; And 상기 반도체 칩의 하부면 및 상기 리드들의 하부면 상의 상기 하부도금층과, 상기 리드들의 외측면을 노출시키면서 상기 반도체 칩, 본딩와이어들 및 리드들을 고정하여 밀봉시키는 봉지재;를 포함하는 것을 특징으로하는 이미지 센서용 반도체 패키지 모듈.And an encapsulant for fixing and sealing the semiconductor chip, bonding wires, and leads while exposing the lower plating layer on the lower surface of the semiconductor chip and the lower surface of the leads and the outer surface of the leads. Semiconductor package module for image sensors. 복수 개의 본딩패드들이 형성되어 있는 반도체 칩;A semiconductor chip in which a plurality of bonding pads are formed; 상기 반도체 칩의 측벽으로부터 이격 배치되며, 하부면 상에 하부도금층이 형성되고, 상기 하부도금층이 상기 반도체 칩의 하부면과 본질적으로 동일 평면상에 놓이며, 상부면의 표면 높이가 상기 반도체 칩의 표면 높이 보다 높은 복수개의 리드들;Spaced apart from the sidewalls of the semiconductor chip, a lower plating layer is formed on a lower surface, the lower plating layer is substantially coplanar with the lower surface of the semiconductor chip, and the surface height of the upper surface is greater than that of the semiconductor chip. A plurality of leads higher than the surface height; 상기 반도체 칩의 본딩패드들과 상기 복수개의 리드들을 전기적으로 연결하는 복수개의 본딩와이어들; 및A plurality of bonding wires electrically connecting the bonding pads of the semiconductor chip and the plurality of leads; And 상기 반도체 칩의 하부면 및 상기 리드들의 하부면 상의 상기 하부도금층과, 상기 리드들의 외측면을 노출시키면서 상기 반도체 칩, 본딩와이어들 및 리드들을 고정하여 밀봉시키는 봉지재; An encapsulant that fixes and seals the semiconductor chip, bonding wires, and leads while exposing the lower plating layer on the lower surface of the semiconductor chip and the lower surface of the leads and the outer surface of the leads; 를 포함하는 반도체 패키지. Semiconductor package comprising a. 제11항에 있어서, 상기 봉지재가 투명물질인 것을 특징으로 하는 반도체 패키지.The semiconductor package of claim 11, wherein the encapsulant is a transparent material. 제11항에 있어서, 상기 봉지재는 상기 리드들의 상부면 이상의 높이로 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 패키지.The semiconductor package of claim 11, wherein the encapsulation material has a height greater than or equal to an upper surface of the leads. 제1항에 있어서, 상기 리드들의 상부면 상에는 상부도금층이 더 형성되어 있으며, 상기 본딩 와이어들이 상기 상부면에 형성된 상부도금층과 연결되는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지.The semiconductor package of claim 1, wherein an upper plating layer is further formed on upper surfaces of the leads, and the bonding wires are connected to an upper plating layer formed on the upper surface.
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