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KR100775024B1 - 유리기판 에지 검사장치 및 이를 이용한 유리기판 에지검사방법 - Google Patents

유리기판 에지 검사장치 및 이를 이용한 유리기판 에지검사방법 Download PDF

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KR100775024B1
KR100775024B1 KR1020060050635A KR20060050635A KR100775024B1 KR 100775024 B1 KR100775024 B1 KR 100775024B1 KR 1020060050635 A KR1020060050635 A KR 1020060050635A KR 20060050635 A KR20060050635 A KR 20060050635A KR 100775024 B1 KR100775024 B1 KR 100775024B1
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KR
South Korea
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glass substrate
edge
substrate
scan module
edge inspection
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KR1020060050635A
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English (en)
Inventor
백운영
나선복
Original Assignee
주식회사 케이씨텍
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Publication date
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Abstract

본 발명은 유리기판 에지 검사장치 및 이를 이용한 유리기판 에지 검사방법에 관한 것으로, 유리기판을 일방향으로 이송하는 이송부와, 유리기판의 일면 양측에서 초점거리만큼 이격설치되어 이송상태의 유리기판 양측 에지를 스캔하는 고정식 스캔모듈과, 유리기판의 이송방향 전단(前段)부를 따라 직선왕복주행하여, 최초 주행시 정지상태의 유리기판 전단부 에지를 스캔하고, 복귀 주행시 정지상태의 유리기판 후단(後段)부를 따라 직선왕복주행하여 유리기판 후단부 에지를 스캔하는 이동식 스캔모듈과, 상기 각 스캔모듈에서 스캔된 이미지를 수집하여 유리기판 에지의 결함여부를 판단하는 제어부를 포함하는 유리기판 에지 검사장치 및 이를 이용한 유리기판 에지 검사방법을 제공한다. 본 발명에 의하면, 단일의 이동식 스캔모듈과 한쌍의 고정식 스캔모듈로 이루어지는 비교적 단순한 구성의 조합으로 유리기판 에지 결함여부를 신속하고 정확하게 검사하여 검사수율을 대폭 향상시키는 효과가 있다.
유리기판, 에지, 스캔모듈, 촬상기재, 조명기재

Description

유리기판 에지 검사장치 및 이를 이용한 유리기판 에지 검사방법{Device for testing edge of glass substrate and method thereof}
도 1은 종래 유리기판 에지 검사장치의 일실시예에 따른 사시도이다.
도 2는 종래 유리기판 에지 검사장치의 다른 실시예에 따른 사시도이다.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 유리기판 에지 검사장치를 도시한 사시도이다.
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 유리기판 에지 검사장치를 도시한 측면도이다.
도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 유리기판 에지 검사장치의 구성도이다.
도 6a 내지 도 6e는 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 유리기판 에지 검사장치를 이용한 에지 검사방법을 설명하기 위한 작동상태도이다.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
100 : 이송부 110 : 지지기재
200 : 고정식 스캔모듈 201 : 촬상기재
202 : 조명기재 300 : 이동식 스캔모듈
301 : 촬상기재 302 : 조명기재
310 : 연결기재 320 : 주행기재
330 : 회전기재 340 : 승강기재
400 : 제어부 500 : 언로딩부
본 발명은 유리기판 에지 검사장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 유리기판 에지의 결함여부를 검사하는 유리기판 에지 검사장치 및 이를 이용한 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 유리기판(glass substrate)은 평판 디스플레이(FPD; flat panel display)를 제조하기 위한 피처리기판의 일종으로서 융용 제조공정을 거쳐 제조된다.
이와 같은 유리기판의 제조공정은 여러 가공과정 및 검사과정을 포함하는데, 특히 공정 중에 결함이 발생된 유리기판이 후공정으로 투입되는 것을 방지하여 원가절감과 양품률이 향상되도록 유리기판의 결함여부를 검사하는 검사과정을 포함한다.
일례로, 유리기판의 가공과정 중에는 유리기판을 평판 디스플레이의 규격에 맞는 크기로 절단하고, 절단에 의하여 날카로워진 유리기판 에지(edge)를 연마하게 된다.
이러한 가공과정을 거치다 보면 특히 유리기판 에지에 여러 결함이 발생할 수 있고, 이러한 결함들은 평판 디스플레이의 품질에 심대한 영향을 미치므로 유리기판 에지의 결함여부를 검사하여 결함이 발생한 것으로 판단된 유리기판은 후공정으로 투입되지 않도록 한다.
도 1은 종래 유리기판 에지 검사장치의 일실시예에 따른 사시도이다.
도 1을 참조하면, 종래 유리기판 에지 검사장치는 이송방향을 기준으로 유리기판(S; glass substrate)의 전단부 에지(FE)와 양측 에지(SE)와 후단부 에지(BE)를 따라 순회하며 스캔하는 스캔모듈(10)을 포함한다.
상기 스캔모듈(10)은 유리기판(S)의 이송경로상에 설치되어 정지된 상태의 유리기판(S) 또는 별도의 공정존 예컨데 검사존 등에 지지된 상태의 유리기판(S)에 대하여 에지를 따라 순회하며 스캔작업을 수행한다.
이러한 스캔모듈(10)은 촬상기재(11)와, 유리기판(S)을 투과하여 상기 촬상기재(11)에 조명을 부여하는 조명기재(12)를 포함하고, 라인스캔캐방식으로 유리기판(S)의 각 에지를 따라 이동하며 스캔된 이미지를 별도의 제어부(미도시)로 송출한다.
따라서, 상기 제어부는 스캔된 이미지를 수집하고, 기프로그램된 로직에 의해 유리기판(S) 에지의 결함여부를 판단하게 된다.
그러나, 상기한 종래 유리기판 에지 검사장치는 단일 스캔모듈이 유리기판의 전체 에지를 순회하며 스캔하므로, 스캔경로가 길어져 텍트타임(tact time)을 증대시킨다는 문제점이 있었다.
더욱이, 전자소재 제조기술의 발달에 따라 유리기판의 크기도 갈수록 대형화되고, 이에 대응하여 이러한 대면적 유리기판을 처리하는 각종 처리장치도 갈수록 대형화되고 있다. 따라서, 상기 종래기술에 의한 유리기판 에지 검사장치는 유리기판의 결함여부 검사에 소요되는 텍트타임을 더욱 증가시키는 단점이 있었다.
도 2는 종래 유리기판 에지 검사장치의 다른 실시예에 따른 사시도이다.
도 2를 참조하면, 종래 유리기판 에지 검사장치는 유리기판(S)의 이송방향을 따라 순차설치되는 제1스캔모듈(20)과 제2스캔모듈(30)을 포함하고, 상기 제1스캔모듈(20)과 제2스캔모듈(30)은 상술한 종래 스캔모듈(10)과 촬상기재와 조명기재를 각각 포함한다.
상기 제1스캔모듈(20)은 고정타입으로 유리기판(S)의 이송시 유리기판(S)의 양측 에지(SE)에 대하여 라인스캔을 수행하는 구성부품이고, 상기 제2스캔모듈(30)은 고정타입으로 유리기판(S)이 상기 제1스캔모듈(20)에 의해 스캔완료 후 이송경로상에서 90도 회전되어 이송시 유리기판(S)의 전단부 에지(FE)와 후단부 에지(BE)에 대하여 라인스캔을 수행하는 구성부품이다.
그러나, 상기한 종래 유리기판 에지 검사장치는 복수의 스캔모듈과 유리기판을 회전시키기 위한 장치가 더 구비되어야 하므로 장치의 복잡성을 초래하는 문제점과, 설치공간을 더 많이 차지하게 된다는 단점이 있었다.
상기와 같은 문제점을 감안한 본 발명은, 단순하게 구성되면서도 신속/정확 하게 유리기판 에지의 결함여부를 검사하는 유리기판 에지 검사장치를 제공함에 그 목적이 있다.
본 발명의 또 다른 목적은, 스캔모듈의 스캔경로를 최소화하며 유리기판 에지의 결함여부를 검사하는 유리기판 에지 검사방법을 제공함에 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 유리기판을 일방향으로 이송하는 이송부와, 유리기판의 일면 양측에서 초점거리만큼 이격설치되어 이송상태의 유리기판 양측 에지를 스캔하는 고정식 스캔모듈과, 유리기판의 이송방향 전단(前段)부를 따라 직선왕복주행하여, 최초 주행시 정지상태의 유리기판 전단부 에지를 스캔하고, 복귀 주행시 정지상태의 유리기판 후단(後段)부를 따라 직선왕복주행하여 유리기판 후단부 에지를 스캔하는 이동식 스캔모듈과, 상기 각 스캔모듈에서 스캔된 이미지를 수집하여 유리기판 에지의 결함여부를 판단하는 제어부를 포함한다.
또한 본 발명은, 유리기판 에지를 라인스캔하여 획득된 이미지를 판단하여 유리기판 에지의 결함여부를 검사하는 유리기판 에지 검사방법에 있어서, (a) 유리기판 전단부 에지를 이동식 스캔모듈의 주행경로상에 일치하도록 이송시키는 단계와, (b) 상기 이동식 스캔모듈이 정지상태의 유리기판 전단부 에지를 따라 주행하며 스캔하는 단계와, (c) 유리기판 전단부 에지가 스캔완료된 후 유리기판 후단부 에지를 상기 이동식 스캔모듈의 주행경로상에 일치하도록 이송시키는 동시에 고정식 스캔모듈에 의해 이동되는 유리기판 양측 에지를 스캔하는 단계와, (d) 유리기판 양측 에지가 스캔완료된 후 상기 이동식 스캔모듈이 유리기판 후단부 에지를 따 라 복귀주행하며 스캔하는 단계를 포함한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다. 그러나 이하의 실시예는 이 기술분야에서 통상적인 지식을 가진 자에게 본 발명이 충분히 이해되도록 제공되는 것으로서 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 다음에 기술되는 실시예에 한정되는 것은 아니다. 그리고 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 유리기판 에지 검사장치를 도시한 사시도이며, 도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 유리기판 에지 검사장치를 도시한 측면도이다. 도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 유리기판 에지 검사장치의 구성도이다.
도 3 내지 도 5를 참조하면, 본 발명에 따른 유리기판 에지 검사장치의 일실시예는 유리기판(S)을 일방향으로 이송하는 이송부(100)와, 유리기판(S)의 일면 양측에서 초점거리만큼 이격설치되어 이송상태의 유리기판(S) 양측 에지를 스캔하는 고정식 스캔모듈(200)과, 유리기판(S)의 이송방향 전단부를 따라 직선왕복주행하여 최초 주행시 정지상태의 유리기판(S) 전단부 에지를 따라 스캔하고 복귀 주행시 정지상태의 유리기판(S) 후단부 에지를 따라 스캔하는 이동식 스캔모듈(300)과, 상기 각 스캔모듈에서 스캔된 이미지를 수집하여 유리기판(S) 에지의 결함여부를 판단하는 제어부(400)를 포함한다.
본 발명의 일실시예에서는 유리기판(S)이 이송부(100)에 의해 일방향으로 이 송 및 언로딩부(500)에 언로딩되는 과정에서 에지 결함여부를 검사하는 것을 예시한다.
즉, 본 발명의 일실시예는 유리기판(S)이 별도의 검사존 등으로 투입되어 에지 결함여부에 대한 검사과정을 거치 후 다시 반출될 필요없이 통상적인 유리기판(S)의 반송과정에서 에지 결함여부가 검사될 수 있다는 장점이 있다.
상기 이송부(100)는 유리기판(S)을 지지기재(110)의 상면에 지지하여 수평하게 일방향으로 이송하고 언로딩부(500)에 언로딩하는 구성부품이다.
이와 같이 유리기판(S)은 이송부(100)에 의해 이송되는 과정중에 고정식 스캔모듈(200)의 의해 양측 에지가 스캔된다.
상기 고정식 스캔모듈(200)은 유리기판(S)의 이송경로상에 설치되되, 유리기판(S)의 일면 양측에서 촬상기재(201)의 초점거리만큼 이격설치된다.
구체적으로, 고정식 스캔모듈(200)은 유리기판(S)의 일면에서 초점거리만큼 이격설치되는 촬상기재(201)와, 유리기판(S)의 타면에서 소정간격 이격되어 상기 촬상기재(201)와 대면하게 설치되는 조명기재(202)를 포함한다.
일례로, 상기 촬상기재(201)는 외부 본체(341)을 형성하는 경통과, 상기 경통 내에 설치되는 렌즈와, 상기 렌즈를 통하여 입사된 이미지를 전기적신호로 전환하여 상기 제어부(400)로 송출하는 CCD센서(charge coupled device; 고체촬상소자)를 포함한다.
일례로, 상기 조명기재(202)는 형광램프나 수은램프 등이 사용될 수 있고, 상기 촬상기재(201)에 의해 유리기판(S) 에지가 스캔될 시에 조명원의 역할을 하는 구성부품으로, 촬상기재(201)의 상기 렌즈 및 상기 CCD센서를 연결하는 일직선상에 위치시켜 유리기판(S)을 투사한 빛이 촬상기재(201)의 상기 렌즈에 입사되도록 한다.
이와 같은 구성에 의해, 고정식 스캔모듈(200)은 유리기판(S)이 이송되는 과정중에 유리기판(S) 에지에 대하여 스캔작업을 수행한다.
그리고, 유리기판(S)은 그의 이송속도가 고정식 스캔모듈(200)의 스캔속도에 대응하여 가감될 수 있다.
상기 제어부(400)는 고정식 스캔모듈(200) 및 이동식 스캔모듈(300)이 유리기판(S) 에지를 스캔하여 획득한 스캔이미지를 수집하고, 획득된 스캔이미지를 기프로그램된 로직에 의해 판단하여 유리기판(S) 에지의 결함여부를 판단한다.
또한, 제어부(400)는 획득된 스캔이미지 및 판단결과를 디스플레이하는 출력부(410)를 더 구비할 수도 있다.
이러한, 제어부(400)는 원활한 스캔작업이 수행되도록 이송부(100)의 구동 및 이동식 스캔모듈(300)의 구동을 제어하게 된다.
즉, 제어부(400)는 이동식 스캔모듈(300)에 의해 유리기판(S)의 전단부 에지 및 후단부 에지가 스캔되도록 후술할 이동식 스캔모듈(300)의 주행기재(320)와 회전기재(330)와 승강기재(340)의 구동을 제어한다.
도 4를 참조하면, 상기 이동식 스캔모듈(300)은 상술한 고정식 스캔모듈(200)과 같은 촬상기재(301) 및 조명기재(302)와, 상기 촬상기재(301)와 조명기재(302)를 연결설치하는 연결기재(310)와, 상기 연결기재(310)를 유리기판(S)의 이송방향 전단부 에지를 따라 직선왕복주행시키는 주행기재(320)와, 상기 연결기재(310)와 결합하되 상기 촬상기재(301)와 상기 조명기재(302)를 직선연결하는 가상선(X)을 회전축으로 하여 상기 연결기재(310)를 회전시키는 회전기재(330)와, 상기 주행기재(320)와 상기 회전기재(330) 사이에 설치되어 상기 회전기재(330)를 상기 가상선(X)을 따라 승강시키는 승강기재(340)를 포함한다.
이러한 이동식 스캔모듈(300)은 고정식 스캔모듈(200)이 유리기판(S) 이송경로상에 고정설치되어 이송상태의 유리기판(S)에 대하여 스캔을 수행하는 것임에 반하여, 정지상태의 유리기판(S) 이송방향 전단부를 따라 직선왕복주행하며 스캔을 수행하는 구성부품이다.
상기 연결기재(310)는 대체로 'ㄷ'자형으로 형성되어 상부에 촬상기재(301)가 설치되고 대향하는 하부에 조명기재(302)가 설치되며, 상기 촬상기재(301)와 조명기재(302)가 유리기판(S)의 표면과 소정간격을 유지하도록 개구된 측으로 유리기판(S) 전단부 에지 또는 후단부 에지가 진입된다.
이처럼, 이동식 스캔모듈(300)의 촬상기재(301)와 조명기재(302)는 연결기재(310)에 의해 연결되어 일체되고, 연결기재(310)는 상기 주행기재(320)에 의해 유리기판(S) 전단부 에지와 후단부 에지를 따라 주행하며 스캔을 수행하고, 스캔된 이미지는 상기 제어부(400)로 송출한다.
상기 주행기재(320)는 유리기판(S)의 이송방향에 대하여 직교하는 방향으로 설치되는 가이드(321)와, 상기 가이드(321)를 따라 직선왕복주행되는 슬라이 더(322)를 포함한다.
상기 가이드(321)는 이동식 스캔모듈(300)이 유리기판(S)의 너비 전체에 대하여 주행하며 스캔작업이 이루어지도록 그 길이가 유리기판(S)의 너비이상으로 형성되는 것이 바람직하다.
상기 슬라이더(322)는 구동원(323)의 전원인가 및 전류흐름전환에 의해 상기 가이드(321)에 가이드(321)되어 직선왕복주행하는 구성부품이다.
상기 회전기재(330)는 그의 회전축(332)이 연결기재(310)의 상단부에 수직하게 결합되어 촬상기재(301)와 조명기재(302)를 직선연결하는 가상선(X)을 회전축으로 하여 연결기재(310)를 회전시킨다.
상기 승강기재(340)는 상기 회전기재(330)의 하우징(331)과 결합되어 상기 가상선(X)을 따라 승강되는 이동체(342)와, 상기 이동체(342)를 가이드(321)하여 승강시키고 상기 주행기재(320)의 슬라이더(322)와 결합하여 직선왕복주행되는 본체(341)를 포함한다.
상기한 바와 같이, 이동식 스캔모듈(300)은 회전기재(330)가 연결기재(310)의 상측으로 결합되고, 승강기재(340)가 회전기재(330)의 하우징(331)에 결합되며, 주행기재(320)가 승강기재(340)의 본체(341)에 결합되는 바 다수의 구동장치가 최적의 상태로 유기적인 구성관계를 가지며 결합되므로 장치의 구성을 간소화하면서도 유리기판(S) 전단부 에지와 후단부 에지를 따라 원활하게 스캔한다는 장점이 있다.
이하에서, 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 유리기판 에지 검사장치를 이용한 에지 검사방벙을 설명한다.
도 6a 내지 도 6e는 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 유리기판 에지 검사장치를 이용한 에지 검사방법을 설명하기 위한 작동상태도이다.
도 6a를 참조하면, 유리기판(S)은 이송부(100)에 의해 언로딩부(500)측으로 이송되는 도중에 그의 전단부 에지가 이동식 스캔모듈(300)의 주행경로상에 일치하는 위치에 도달하면 정지시킨다.
이때, 연결기재(310)는 그의 개구된 부위가 유리기판(S)의 진입방향측으로 회전된 상태를 유지하여야 하며, 이에 유리기판(S) 전단부 에지가 개구된 부위로 진입된 상태에서 유리기판(S)을 정지시킨다.
도 6b를 참조하면, 이동식 스캔모듈(300)은 주행기재(320)의 슬라이더(322)가 가이드(321)를 따라 주행하므로 함께 주행하여 정지상태의 유리기판(S) 전단부 에지를 스캔하고, 촬상기재(301)에 획득된 스캔이미지는 제어부(400)로 송출한다.
이때, 연결기재(310)는 유리기판(S) 전단부 에지를 스캔완료한 후에 유리기판(S)의 전진이송시 유리기판(S)과 간섭되지 않을만큼 회피된 위치에서 정지되는 것이 바람직하다.
도 6c를 참조하면, 유리기판(S)은 이송부(100)에 의해 언로딩부(500)측으로 이송되는 도중에 그의 후단부 에지가 이동식 스캔모듈(300)의 주행경로상에 일치하는 위치에 도달하면 정지시킨다.
이때, 고정식 스캔모듈(200)은 유리기판(S)의 이송경로상에 고정설치되어 있 으므로 유리기판(S) 양측 에지를 스캔하고, 촬상기재(301)에 획득된 스캔이미지는 제어부(400)로 송출한다.
도 6d를 참조하면, 이동식 스캔모듈(300)은 주행기재(320)의 슬라이더(322)가 가이드(321)를 따라 복귀주행하므로 함께 복귀주행하여 정지상태의 유리기판(S) 후단부 에지를 스캔하고, 촬상기재(301)에 획득된 스캔이미지는 제어부(400)로 송출한다.
이때, 이동식 스캔모듈(300)은 연결기재(310)의 개구된 측으로 유리기판(S)의 후단부 에지를 진입시켜야 간섭을 회피할 수 있으므로, 회전기재(330)의 회전구동에 의해 연결기재(310)를 180도 회전시킨 후 유리기판(S)의 후단부 에지를 따라 복귀주행시킨다.
일례로, 유리기판(S)은 그의 후단부 에지가 이동식 스캔모듈(300)의 주행경로상에 일치하는 위치에 도달하면 도 4에 도시된 바와같이 언로딩부(500)에서 상향돌출하는 지지핀(510)에 지지된다.
이에 유리기판(S)은 지지핀(510)에 지지되고, 이송부(100)의 지지기재(110)는 후속하는 유리기판(S)을 이송하기 위해 후퇴되며, 지지핀(510)에 지지된 유리기판(S)은 지지핀(510)이 하향복귀하여 언로딩부(500)의 평면상에 지지되므로 이송부(100)에 의해 이송될 시의 높이보다 하강된다.
이와 같은 이송조건 하에서 이동식 스캔모듈은(300)은 연결기재(310)가 승강기재(340)의 구동에 의해 유리기판(S)의 하강된 높이만큼 하강되어야만 언로딩 상태의 유리기판(S) 후단부 에지를 초점변화없이 정상스캔할 수 있다.
즉, 이동식 스캔모듈(300)은 유리기판(S)이 언로딩부(500)에 언로딩되어 이송시 높이보다 하강되어도 초점거리의 변화에 대응하여 스캔을 수행할 수 있다는 장점이 있다.
한편, 이동식 스캔모듈(300)은 촬상기재(301)에 초점을 가변하여 조정할 수 있는 줌렌즈방식을 적용하여 승강기재(340)를 생략하는 것도 고려해 볼 수 있다.
일례로, 이동식 스캔모듈(300)은 유리기판(S)이 그의 후단부 에지가 이동식 스캔모듈(300)의 주행경로상에 일치하는 위치에 도달하는 한편 언로딩부(500)에 하강지지되기 전 예컨데, 지지기재(110)에 지지된 상태에서 후단부 에지를 스캔하는 것도 고려해 볼 수 있다. 즉, 지지기재(110)는 연결기재(310)가 복귀주행하는 구간을 절곡형성하여 연결기재(310)의 복귀주행시 간섭을 회피하도록 구성할 수도 있다.
이상에서는 본 발명을 특정의 바람직한 실시 예를 들어 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시 예에 한정되지 않으며 본 발명의 개념을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변경과 수정이 가능하다.
상기한 바와 같이 본 발명은, 단일의 이동식 스캔모듈과 한쌍의 고정식 스캔모듈로 이루어지는 비교적 단순한 구성의 조합으로 유리기판 에지 결함여부를 신속하고 정확하게 검사하여 검사수율을 대폭 향상시키는 효과가 있다.
또한 본 발명은, 이동식 스캔모듈을 주행, 회동 및 승강시키는 각 구성부품이 상호 유기적으로 연결되어 장치구성을 간소화하므로 경제적일 뿐만 아니라 다양한 이송조건하의 유리기판에 대하여 원활하게 적용할 수 있다는 효과가 있다.
또한 본 발명은, 유리기판의 반송로상에 별도의 구조변경 없이 모듈화된 이동식 스캔모듈을 설치하여 유리기판 에지 결함여부를 검사하므로 경제적이라는 효과가 있다.
또한 본 발명은, 이동식 스캔모듈이 유리기판 전단부 에지와 후단부 에지를 교번하여 스캔하므로 스캔경로를 최소화할 뿐만 아니라 유리기판의 정지시간도 최소화하므로 검사에 소요되는 전체 텍트타임도 대폭 단축하는 효과가 있다.

Claims (8)

  1. 유리기판을 일방향으로 이송하는 이송부;
    유리기판의 일면 양측에서 초점거리만큼 이격설치되어 이송상태의 유리기판 양측 에지를 스캔하는 고정식 스캔모듈;
    유리기판의 이송방향 전단(前段)부를 따라 직선왕복주행하여, 최초 주행시 정지상태의 유리기판 전단부 에지를 스캔하고, 복귀 주행시 정지상태의 유리기판 후단(後段)부를 따라 직선왕복주행하여 유리기판 후단부 에지를 스캔하는 이동식 스캔모듈; 및
    상기 각 스캔모듈에서 스캔된 이미지를 수집하여 유리기판 에지의 결함여부를 판단하는 제어부를 포함하는 유리기판 에지 검사장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 이동식 스캔모듈은,
    유리기판의 일면에서 초점거리만큼 이격설치되는 촬상기재와, 유리기판의 타면에서 소정간격 이격되어 상기 촬상기재와 대면하게 설치되는 조명기재를 연결설치하는 연결기재;
    상기 연결기재를 유리기판의 이송방향 전단부 에지를 따라 직선왕복주행시키는 주행기재; 및
    상기 연결기재와 결합하되, 상기 촬상기재와 상기 조명기재를 직선연결하는 가상선을 회전축으로 하여 상기 연결기재를 회전시키는 회전기재를 포함하는 유리기판 에지 검사장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 이동식 스캔모듈은,
    상기 주행기재와 상기 회전기재 사이에 설치되어 상기 회전기재를 상기 가상선을 따라 승강시키는 승강기재를 더 포함하는 유리기판 에지 검사장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 승강기재는,
    상기 회전기재와 결합되어 상기 가상선을 따라 승강되는 이동체; 및
    상기 이동체를 가이드하여 승강시키고, 상기 주행기재와 결합하여 유리기판 전단부 에지를 따라 직선왕복주행되는 본체를 포함하는 유리기판 에지 검사장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 주행기재는,
    유리기판의 이송방향에 대하여 직교하는 방향으로 설치되는 가이드; 및
    상기 승강기재의 본체와 결합되어 상기 가이드를 따라 직선왕복주행되는 슬라이더를 포함하는 유리기판 에지 검사장치.
  6. 유리기판 에지를 라인스캔하여 획득된 이미지를 판단하여 유리기판 에지의 결함여부를 검사하는 유리기판 에지 검사방법에 있어서:
    (a) 유리기판 전단부 에지를 이동식 스캔모듈의 주행경로상에 일치하도록 이송시키는 단계;
    (b) 상기 이동식 스캔모듈이 정지상태의 유리기판 전단부 에지를 따라 주행하며 스캔하는 단계;
    (c) 유리기판 전단부 에지가 스캔완료된 후 유리기판 후단부 에지를 상기 이동식 스캔모듈의 주행경로상에 일치하도록 이송시키는 동시에 고정식 스캔모듈에 의해 이동되는 유리기판 양측 에지를 스캔하는 단계; 및
    (d) 유리기판 양측 에지가 스캔완료된 후 상기 이동식 스캔모듈이 유리기판 후단부 에지를 따라 복귀주행하며 스캔하는 단계를 포함하는 제1항의 유리기판 에지 검사장치를 이용한 유리기판 에지 검사방법.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 (d)단계는,
    상기 이동식 스캔모듈이 유리기판 후단부 에지와 간섭되지 않도록 180도 회전 후 복귀주행하는 것을 특징으로 하는 제1항의 유리기판 에지 검사장치를 이용한 유리기판 에지 검사방법.
  8. 제6항 또는 제7항에 있어서,
    상기 (d)단계는,
    상기 이동식 스캔모듈이 상기 유리기판의 언로딩 높이에 대응하여 승강 후 복귀주행하는 것을 특징으로 하는 제1항의 유리기판 에지 검사장치를 이용한 유리기판 에지 검사방법.
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