KR100755392B1

KR100755392B1 - 조절수단을 구비한 박막 밸브

Info

Publication number: KR100755392B1
Application number: KR1020010013539A
Authority: KR
Inventors: 모에스비닐스피터
Original assignee: 플로우콘 인터내셔날 에이/에스
Priority date: 2001-02-21
Filing date: 2001-03-16
Publication date: 2007-09-04
Anticipated expiration: 2021-03-16
Also published as: KR20020068449A; DK200100281A

Abstract

본 발명은, 가열 또는 냉각 시스템이나 열 운반 매체를 갖는 유사한 시스템에서 액체 흐름의 차압을 일정한 레벨로 유지하기 위한 박막 밸브(1)로서, 이 박막 밸브(1)는 제1 체임버(5)에 연결된 입구 영역(3) 및 출구 영역(4)을 가지고 있고, 제1 체임버(5)는 제1 수단(7) 및 박막(8)을 구비하고 있고, 박막(8)의 일 측에서 유량이 제어되는 박막 밸브(1)에 관한 것이다. 상기 유량의 제어는 박막(8)의 일 측에 배치된 제2 체임버(6)내에서 행해지고, 제2 체임버(6)와 입구 영역(3) 사이에 통로(9)가 제공되어 있으며, 이 통로(9)내에, 제2 체임버(6)로 그리고 제2 체임버(6)로부터의 매체의 유량을 제어하기 위한 조절수단(2)이 배치되어 있다. 이것에 의해, 박막 밸브가 그 밸브를 일부로 포함하는 순환 시스템에서의 압력 변화를 보상하는 속도를 조절할 수 있고, 이에 따라, 상기 순환 시스템에서 파이프 또는 밸브의 파열이 발생되지 않는다.

박막 밸브, 박막, 압축 스프링, 스로틀 밸브

Description

조절수단을 구비한 박막 밸브{A membrane valve with regulation means}

도 1은 본 발명에 따른 박막 밸브 내에 장착하기 위한 스로틀 밸브를 나타내는 도면.

도 2는, 스로틀 밸브가 장착된, 본 발명의 제1 실시형태에 따른 박막 밸브를 나타내는 도면.

도 3은 본 발명의 제2 실시형태에 따른 박막 밸브를 나타내는 도면.

도 4는 본 발명에 따른 박막 밸브에 대한 압력 다이어그램을 나타내는 도면.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

1: 박막 밸브 2: 스로틀 밸브 3: 입구 영역

4: 출구 영역 5: 제1 체임버 6: 제2 체임버

7: 압축 스프링 8: 박막 9: 유압 통로

10: 스핀들 12: 슬롯 13: O-링

삭제

14: 하우징 16: 모터 구동식 서모스탯

17: 스크루 장치 18: 조절용 삽입체

삭제

본 발명은, 가열 또는 냉각 시스템이나 열 운반 매체를 갖는 유사한 시스템에서 액체 흐름의 차압을 일정한 레벨로 유지하기 위한 박막 밸브(membrane valve)으로서, 이 박막 밸브는 제1 체임버에 연결된 입구 영역 및 출구 영역을 가지고 있고, 제1 체임버는 제1 수단 및 박막을 구비하고 있고, 그 박막의 일 측에서 유량이 제어되는 박막 밸브에 관한 것이다.

예를 들어, WO 94/21949호에, 입구 및 출구 영역을 가지고 있고, 그 출구 영역에는, 상기 입구 및 출구 영역 내에 배치된 착좌부(seating)와 협동하는 밸브 원추체(cone)를 포함하는 스핀들(spindle)이 연결되어 있는, 가열 또는 냉각 시스템용 박막 밸브가 공지되어 있다.

스핀들은 부분적으로는, 축방향으로 변위가능한 정지 부재에 의해 지지된 압축 스프링에 의해 둘러싸여 있고, 또 부분적으로는 박막에 의해 둘러싸여 있으며, 그 박막은 박막 디스크를 통하여 스핀들을 스프링 이동의 반대로 향한 위치로 이동시킨다. 스핀들은 박막을 관통하여 연장하고, 이 영역에서 수동으로 조절가능하여, 스핀들이 정지 부재에 대하여 상이한 위치들을 취할 수 있다.

이 박막은 박막 디스크 및 스핀들에 의해 헐겁게 지지되어 있고, 그리하여, 박막을 박막 디스크로부터 들어올리는 것이 가능하고, 박막을 그의 중심 구멍을 통해 스핀들의 단부를 따라 슬라이드시키고 회전시키는 것이 가능하게 된다.

스핀들의 자유 단부에는, 외부로부터 도입되는 공구를 수용하기 위해 사용되는 구멍이 제공되어 있다. 따라서, 그 공구를 통해, 스핀들이 조절되어, 그에 따른 스프링 압력의 조절에 의해 정지 부재가 높은 위치 또는 낮은 위치를 차지할 수 있게 된다. 그리하여, 박막은 높은 또는 낮은 스프링 압력에 반작용하여, 밸브 원추체의 조절의 변화를 유발하고, 이에 따라, 착좌부를 관통하는 유량 및 차압 레벨의 변화를 유발한다.

소망의 차압 레벨은 가열 또는 냉각 시스템의 공급 파이프 및 복귀 파이프내에서 제어 밸브들에 의해 행해지고, 이 레벨을 변경하는 것이 요구될 경우에는, 스핀들이 수동 조절에 의해 조절된다.

그리하여, 밸브 자체는 차압 레벨의 가능한 변화를 보상할 수 없고, 수동 보상이 행하여지는 속도가 전체 유압 시스템 및 밸브의 고유 동역학에 적합하게 되지 않으면, 전체 시스템의 동역학의 강력한 증가가 유발되고, 그 결과, 설비내의 파이프 또는 밸브의 파열이 일어날 수 있다.

본 발명의 목적은, 상기한 단점들을 가지지 않고, 박막 밸브를 일부로 포함하는 순환 시스템에서의 압력 변화에 대한 보상이 가능한 박막 밸브를 제공하는데 있다.

이 목적은, 가열 또는 냉각 시스템이나 열 운반 매체를 갖는 유사한 시스템에서 액체 흐름의 차압을 일정한 레벨로 유지하기 위한 박막 밸브로서, 그 박막 밸브는 제1 체임버에 연결된 입구 영역 및 출구 영역을 가지고 있고, 상기 제1 체임버가 제1 수단 및 박막을 구비하고 있고, 그 박막의 일 측에서 유량이 제어되는 박막 밸브에 있어서, 상기 유량의 제어가 상기 박막의 일 측에 배치된 제2 체임버 내에서 행해지고, 상기 제2 체임버와 상기 입구 영역 사이에 통로가 제공되어 있고, 상기 통로 내에, 상기 제2 체임버로 그리고 상기 제2 체임버로부터의 매체의 유량을 제어하기 위한 조절수단이 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 박막 밸브에 의해 달성된다.

이 박막 밸브는, 박막 밸브가 순환 시스템 내에 삽입되었을 때, 입구 영역과 출구 영역 사이에서의 매체의 유량이, 예를 들어, 스로틀 밸브 형태의 조절수단에 의해 조절되어, 순환 시스템에 관하여 박막 변위의 속도가 제어되도록 기능한다. 그리하여, 박막 밸브의 고유한 동역학이 전체 유압 시스템에 적합하게 되고, 그에 의해, 전체 시스템의 동역학의 급격한 증가를 일으키지 않는다. 그 결과, 그 시스템 내에서의 파이프 등의 파열이 일어나지 않는다. 순환 시스템에서 압력 변화가 발생되면, 그에 대응하여 스로틀 밸브가 조절되어, 박막 변위의 속도 및 이에 따른 박막 밸브의 동적 특성과, 순환 시스템에 존재하는 압력이 항상 적합하게 된다. 특정 시스템에 독특하게 최적의 속도가 얻어진다.

박막 밸브가 삽입된 시스템의 운전 중, 압력의 순간적인 증가가 일어날 수 있고, 이에 따라, 파이프 파열의 위험이 일어날 수 있다. 액체의 흐름이 통로를 통하여 일어나도록 조절수단에 의한 조절에 의해, 박막은 주어진 소망의 위치를 차지한다. 박막 전후에서 일어나는 압력 평형의 결과로, 파이프 파열의 위험이 제거된다. 그러나, 스로틀 밸브라고도 불리는 조절수단은 설비가 최초로 가동될 때에는 조절되지 않는다.

본 발명에 따른 박막 밸브에 있어서, 상기 조절수단이 스핀들 및 안내 나사부를 구비하고, 상기 통로가 박막 밸브의 구조체를 관통하여 제공되는 구멍으로 구성됨으로써, 상기 통로를 통한 유량이 상기 스핀들의 변위에 의해 조절될 수 있고, 주어진 시스템에 따라 외부로부터 조절이 실행될 수 있다. 또한, 박막 밸브의 초기 구성 시에 상기 통로가 제공될 수 있어, 박막 밸브의 연장과 관련되는 비용이 최소로 될 수 있다.

본 발명에 따른 박막 밸브에 있어서, 제2 체임버가 입구 영역과 출구 영역 사이에 배치되고, 제2 체임버에 가변 체적을 제공하도록 변위 가능한 박막에 의해 한정되어 있고, 상기 제1 수단이 압축 스프링으로 이루어짐으로써, 소형의 단순화된 밸브가 얻어져, 최적 구조가 달성된다. 또한, 시스템이 가동되었을 때 박막 밸브의 변위는 제1 수단에 의해서만 행해진다.

본 발명에 따른 박막 밸브에 있어서, 상기 제1 체임버 내에 슬롯들이 제공되어 있고, 상기 슬롯들은 상기 박막에 대한 상기 제1 수단의 작용 방향에 평행하게 형성됨으로써, 가변적인 변위를 갖는 박막이 매체의 관통 흐름의 다소의 일부를 차단하여, 박막 밸브는 매체의 최적 관통 흐름을 제공하는 조건을 조성하기 위해 상이한 위치들, 예를 들어, 완전 폐쇄 위치, 완전 개방 위치 또는 다른 위치를 취할 수 있다.

또한, 공지의 박막 밸브를 분해할 필요가 없고, 박막 밸브의 단일 부품을 떼어내거나 장착시키는 것으로 충분하다. 따라서, 박막 밸브의 전환에 따른 단점 및 비용 발생이 최소로 될 수 있다.

본 발명은 또한, 가열 또는 냉각 시스템의 구역 온도 조절을 위해 상기 박막 밸브를 사용하는 것도 포함한다.

이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명을 더 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명에 따른 박막 밸브(1)에 장착하기 위한, 스핀들(10)을 구비한 스로틀 밸브(2) 형태의 조절수단을 나타낸다.

스핀들(10)은 2개의 단부, 즉, 제1 단부(10')와 제2 단부(10")를 가지고 있고, 제2 단부(10")의 연장부에는, 슬롯이 형성된 스크루로서 구성된 안내 나사부(11)가 제공되어 있다. 스핀들(10)의 제2 단부(10") 및 안내 나사부(11)는 하우징(14)에 의해 부분적으로 둘러싸여 있고, 표준 공구(도시되지 않음)에 의한 안내 나사부(11)의 조작을 통해, 스핀들(10)이 하우징(14)에 대하여 축방향으로 조절될 수 있고, 이에 따라, 제1 단부(10')는 하우징(14)에 의해 부분적으로 둘러싸이게 된다. 조절은 부분적으로는 전체 시스템의 폐쇄 중에 그리고 또 부분적으로는 전체 시스템의 가동 중에 행해질 수 있다.

외부 누출을 방지하기 위해, O-링(13) 형태의 시일(seal)이 제2 단부(10") 둘레에 제공되어 있다.

도 2 및 도 3은, 도 1에 도시된 스로틀 밸브(2)가 장착된, 본 발명에 따른 박막 밸브를 나타낸다.

박막 밸브(1)는 입구 영역(3)과 출구 영역(4)을 가지고 있고, 출구 영역(4)은 입구 영역(3)에 대향하여 있지만, 입구 영역(3)의 연장부에 위치하지는 않는다. 입구 영역(3)과 출구 영역(4) 사이에는, 제1 체임버(5)와 제2 체임버(6)가 제공되어 있고, 제2 체임버(6)는 제1 체임버(5) 아래에 위치한다. 이들 제1 체임버(5)와 제2 체임버(6) 사이에 박막(membrane)(8)이 제공되어 있다. 박막(8)은 압축 스프링 형태의 제1 수단(7)에 의해 수직방향으로 변위될 수 있고, 이것에 의해, 제2 체임버(6)의 체적이 변화될 수 있다.

공지의 원리에 따라, 제2 체임버(6)의 연장선 상에서 그리고 입구 영역(3) 및 출구 영역(4)의 한정부(limitation)(15) 위에서 연장하는 스크루 장치(17)가 제공되어 있고, 이 스크루 장치(17)는 박막 밸브(1)의 설정을 위한 모터 구동식 서모스탯(thermostat)(16)을 구비하고, 이것에 의해, 전체 시스템에 의해 발생되거나 또는 발산되도록 요구되는 온도가 필요조건에 따라 선택될 수 있다.

상기한 바와 같이, 제1 체임버(5)내에는, 압축 스프링으로 구성되는 제1 수단(7)이 제공되어 있고, 제1 수단(7)의 일 단부는 제1 체임버(5)의 상부 벽(5')에 고정되고, 제1 수단(7)의 다른 단부는 박막(8)에 지탱되어 있다. 압축 스프링(7)은 그의 수직방향 변위에 의해 박막(8)에 힘을 가함으로써, 박막(8)이 많거나 적은 정도로 제2 체임버(6)의 영역을 감소시킨다.

제1 체임버(5)의 둘레에는 조절용 삽입체(18)가 배치되어 있고, 이 조절용 삽입체(18)에 인접하여 슬롯(12)들이 제공되어 있다. 이들 슬롯(12)은 박막(8)에 대한 압축 스프링(7)의 작용방향에 대하여 축방향으로 평행하게 형성되어 있고, 또한, 이들 슬롯(12)은 제1 체임버(5) 전체에서 균일하게 고정되어 있어, 압축 스프링(7)이 슬롯(12)들에 대하여 수직방향 변위될 수 있다. 이들 슬롯(12)이 도 3에는 도시되어 있지 않다.

입구 영역(3)의 맨 아래 부분과 제2 체임버(6) 사이에는, 박막 밸브(1)의 구조체(22)를 관통하는 구멍 형태의 유압(hydraulic) 통로(9)가 제공되어 있고, 이 유압 통로의 목적은 입구 영역(3)으로부터 제2 체임버(6)로의 매체의 관통 흐름(through-flow)을 제공하기 위한 것이다. 유압 통로(9)는 3개의 부분, 즉, 제1 부분(19), 제2 부분(20) 및 제3 부분(21)으로 이루어져 있다. 도 2에서, 제1 부분(19)은 제2 체임버(6)쪽으로 배향되어 있고, 입구 영역(3)의 실질적으로 수평의 하부 부분(3')에 대하여 예각을 이룬다. 제2 부분(20)은 제1 부분(19)으로부터 연장하여 제1 체임버(5) 또는 제2 체임버(6)에 대하여 평행하게 배치되어 있고, 제2 부분(20)의 제2 단부(20')가 스로틀 밸브(2)의 상부에 배치되어 있다. 스로틀 밸브(2)는 입구 영역(3)에 축방향으로 평행하게 배치되고, 슬롯이 형성된 스크루(11) 및 스핀들(10)을 포함한다. 유압 통로(9)의 제3 부분(21)은 스핀들(10)의 제1 단부(10')의 연장선 상에 축방향으로 배치되어 있다. 제3 부분(21)으로부터 제2 체임버(6)에 직접 접근할 수 있다.

도 3에서는, 유압 통로(9)의 제1 부분(19)이 제2 체임버(6)의 바닥 쪽으로 수직방향으로 그리고 입구 영역(3)의 수평의 하부 부분(3')에 대하여 실질적으로 직각으로 배향되어 있다. 유압 통로(9)의 제2 부분(20)은 수직의 제1 부분(19)으로부터 연장하여 입구 영역(3)에 대하여 실질적으로 평행하게 배치되어 있고, 제3 부분(21)은 제2 부분(20)으로부터 바로 연장하여 제1 부분(19)에 평행하게 배치되어 있다. 이 제3 부분(21)으로부터 제2 체임버(6)에 직접 접근할 수 있다. 스로틀 밸브(2)는 유압 통로(9)의 제1 부분(19)과 연결되어 장착된다.

조절수단인 스로틀 밸브(2)는 3가지 상태, 즉, 완전 개방 상태, 부분 개방 상태 및 완전 폐쇄 상태를 취할 수 있다. 스로틀 밸브(2)가 완전 개방 상태에 있을 때, 매체는 파이프(도시되지 않음)를 경유하여 입구 영역(3)을 통해 박막 밸브(1)로 흐르고, 부분적으로는 슬롯이 형성된 스크루(11)로 흐르고 또 부분적으로는 조절용 삽입체(18) 주위로 흐르도록 분할된다. 즉, 그 흐름은 부분적으로는 슬롯(12)들을 통과하여 제1 체임버(5)로부터 출구 영역(4)으로 반경방향으로 계속 흐르고, 또 부분적으로는 스로틀 밸브(2)의 슬롯가 형성된 스크루(11)를 경유하여 박막(8) 아래의 제2 체임버(6)로 흐른다. 그리하여, 박막(8)의 변위에 의해, 박막 밸브(1)가 매체의 관통 흐름에 대해 제공하는 저항이 조절된다. 이 변위는, 박막(8)의 하측면 및 상측면에 대한 유압 및 박막의 압력 제공 면적의 결과인 대향하는 힘들 사이의 균형과 압축 스프링(7)에 의해 결정된다. 유압 통로(9)를 경유하여 박막(8) 아래의 제2 체임버(6)로 통하는 박막 밸브(1) 전방에서의 유압과, 박막(8) 위의 제1 체임버(5)내의 유압(이 유압은 박막 밸브(1) 및 제1 체임버(5)의 전방에서의 유압보다 감소된다)과의 사이의 압력차(dP)가 박막(8)의 압력 제공 면적(A)과 함께 힘(P)를 발휘하므로, 다음의 식이 성립된다.
dP × A = P
이 힘 P는 압축 스프링(7)의 압축에 의해 생성되는 힘과 동일하다.

따라서, 박막 밸브(1)의 전방, 즉, 제1 체임버(5)내에서의 유압의 변화는, 유압들과 압축 스프링 사이의 힘의 평형이 재확립될 때까지 박막(8)의 변위를 개시시킨다. 이러한 변위의 변화, 즉, 박막(8) 아래의 제2 체임버(6)의 억제 체적(repression volume)의 변화가 일어나는 속도는, 매체가 유압 통로(9)를 통하여 제2 체임버(6)로 또는 제2 체임버(6)로부터 얼마나 빠르게 흐를 수 있는가에 따라 좌우된다. 따라서, 스로틀 밸브(2)의 완전 개방 상태에서는, 주지(周知)의 효과만이 달성된다. 즉, 박막 밸브(1)는 매체의 조절된 관통 흐름을 유지한다.

제1 체임버(5)를 통과한 후, 매체는 출구 영역(4)으로 흐르고, 여기서부터 배출 파이프(도시되지 않음)로 흐른다.

스로틀 밸브(2)의 완전 폐쇄 상태에서는, 제2 체임버(6)로의 매체의 관통 흐름이 폐쇄되고, 이것에 의해, 박막(8)의 동적(動的) 이동이 정지된다. 이 상태에서, 박막 밸브(1)는 정적(靜的) 조절 밸브가 된다.

스로틀 밸브(2)의 부분 개방 상태에서는, 즉, 스로틀 밸브(2)내의 조절 수단인, 슬롯이 형성된 스크루(11)가 축방향으로 조절되어 스핀들(10)의 일 단부(10')가 제2 체임버(6)로의 매체의 소정의 관통 흐름을 허용할 때는, 박막(8)의 가변적인 변위에 의해 제2 체임버(6)의 체적이 조절될 수 있다. 따라서, 제2 체임버(6)로 또는 제2 체임버(6)로부터의 매체의 유량이 조절되어, 박막 밸브(1)의 동적 특성이, 박막 밸브(1)를 일부로 포함하는 특정 순환 시스템에 적합하게 될 수 있다. 모터 구동식 서모스탯(16)이 활성화된 때, 압축 스프링(7)은 상이한 위치들을 취하여, 박막(8)도 상이한 위치들을 취하고, 제2 체임버(6)는 상이한 체적들을 가지게 된다.

도 4는 입구 영역(3), 출구 영역(4), 제1 체임버(5) 및 제2 체임버(6) 각각에 대한 압력 표시를 포함하는, 본 발명에 따른 박막 밸브(1)에 대한 압력 다이어그램을 나타낸다.

예를 들어, 박막 밸브(1)의 동적 특성이 박막 밸브(1)를 일부로 포함하는 특정 순환 시스템에 적합하게 되도록 스로틀 밸브(2)가 정확하게 설정된 상태에서는, 입구 영역(3)내의 압력(P1)은 출구 영역(4)내의 압력(P3)과 대략 동일하다.

온도 상승이 요구되어, 모터 구동식 서모스탯(16)이 압축 스프링(7)을 압축시키면, 제2 체임버(6)의 체적이 감소되고, 매체가 제2 체임버(6)로 흐르는 속도가 증가하여, 압력(P1)이 증가한다. 그에 대응하여 제1 체임버(5)의 체적이 감소되기 때문에, 압력(P2)도 증가한다. 따라서, 매체가 출구 영역(4)으로 흐르는 속도가 증가하고, 압력(P1)의 변화에 대응하여 압력(P3)이 증가한다. 그리하여, 소정의 상황에서는, 입구 영역(3)과 출구 영역(4) 사이에서 압력 평형이 이루어지게 된다.

낮은 온도가 요구되는 경우에는, 제2 체임버(6)의 체적이 증가되고, 매체가 제2 체임버(6)로 흐르는 속도가 감소되어, 압력(P1)이 떨어진다. 그에 대응하여, 제1 체임버(5)의 체적이 증가되기 때문에, 압력(P2)도 감소된다. 마찬가지로, 매체가 출구 영역(4)으로 흐르는 속도가 감소되고, 압력(P1)의 변화에 대응하여 압력(P3)이 증가한다. 그리하여, 스로틀 밸브(2)가 올바르게 설정된 때, 박막(8)에서 압력의 평형이 이루어지게 된다. 이에 따라, 순환 시스템에서의 파이프 또는 밸브의 파열 위험이 제거된다.

이상과 같이, 본 발명에 따르면, 순환 시스템에서의 압력 변화에 대한 보상이 가능한 박막 밸브가 제공된다.

박막 밸브가 순환 시스템 내에 삽입되었을 때, 입구 영역과 출구 영역 사이에서의 매체의 유량이, 예를 들어, 스로틀 밸브 형태의 조절수단에 의해 조절되어, 순환 시스템에 관하여 박막 변위의 속도가 제어된다. 그리하여, 박막 밸브의 고유한 동역학이 전체 유압 시스템에 적합하게 되고, 그에 의해, 전체 시스템의 동역학의 급격한 증가를 일으키지 않는다. 그 결과, 그 시스템 내에서의 파이프 등의 파열이 일어나지 않는다. 순환 시스템에서 압력 변화가 발생되면, 그에 대응하여 스로틀 밸브가 조절되어, 박막 변위의 속도 및 이에 따른 박막 밸브의 동적 특성과, 순환 시스템에 존재하는 압력이 항상 적합하게 된다. 특정 시스템에 독특하게 최적의 속도가 얻어진다.

박막 밸브가 삽입된 시스템의 운전중, 압력의 순간적인 증가가 일어날 수 있고, 이에 따라, 파이프 파열의 위험이 일어날 수 있다. 액체의 흐름이 통로를 통하여 일어나도록 조절수단에 의한 조절에 의해, 박막은 주어진 소망의 위치를 차지한다. 박막 전후에서 일어나는 압력 평형의 결과로, 파이프 파열의 위험이 제거된다.

본 발명에 따른 박막 밸브에 있어서, 제2 체임버가 입구 영역과 출구 영역 사이에 배치되고, 제2 체임버에 가변 체적을 제공하도록 변위 가능한 박막에 의해 한정되어 있고, 상기 제1 수단이 압축 스프링으로 이루어짐으로써, 소형의 단순화된 밸브가 얻어져, 최적의 구조가 달성된다.

Claims

가열 또는 냉각 시스템이나 열 운반 매체를 갖는 유사한 시스템에서 액체 흐름의 차압을 일정한 레벨로 유지하기 위한 박막 밸브(1)로서, 그 박막 밸브(1)는 제1 체임버(5)에 연결된 입구 영역(3) 및 출구 영역(4)을 가지고 있고, 상기 제1 체임버(5)가 압축 스프링(7) 및 박막(8)을 구비하고 있고, 그 박막(8)의 일 측에서 유량이 제어되는 박막 밸브(1)에 있어서,

상기 유량의 제어가 상기 박막(8)의 일 측에 배치된 제2 체임버(6)내에서 행해지고, 상기 제2 체임버(6)와 상기 입구 영역(3) 사이에 통로(9)가 제공되어 있고, 상기 통로(9)내에, 상기 제2 체임버(6)로 그리고 상기 제2 체임버(6)로부터의 매체의 유량을 제어하기 위한 조절수단(2)이 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 박막 밸브.
제 1 항에 있어서, 상기 조절수단(2)이 스핀들(10) 및 안내 나사부를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 밸브.
제 1 항에 있어서, 상기 통로(9)가 상기 박막 밸브(1)의 구조체(22)를 관통하여 제공된 구멍으로 구성되는 것을 특징으로 하는 박막 밸브.
제 1 항에 있어서, 상기 제2 체임버(6)가 상기 입구 영역(3)과 상기 출구 영역(4) 사이에 배치되고, 상기 제2 체임버(6)에 가변 체적을 제공하도록 변위 가능한 박막(8)에 의해 한정되어 있는 것을 특징으로 하는 박막 밸브.
삭제
제 1 항에 있어서, 상기 제1 체임버(5)내에 슬롯(12)들이 제공되어 있고, 상기 슬롯(12)들은 상기 박막(8)에 대한 상기 압축 스프링(7)의 작용 방향에 평행한 것을 특징으로 하는 박막 밸브.
제 1 항 내지 제 4 항, 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 박막 밸브가 가열 또는 냉각 시스템의 구역 온도 조절을 위해 사용되는 것을 특징으로 하는 박막 밸브.