[go: up one dir, main page]

KR100750586B1 - 미소유체 가열 시스템 - Google Patents

미소유체 가열 시스템 Download PDF

Info

Publication number
KR100750586B1
KR100750586B1 KR1020030097056A KR20030097056A KR100750586B1 KR 100750586 B1 KR100750586 B1 KR 100750586B1 KR 1020030097056 A KR1020030097056 A KR 1020030097056A KR 20030097056 A KR20030097056 A KR 20030097056A KR 100750586 B1 KR100750586 B1 KR 100750586B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
microfluidic
chamber
membrane
heating system
lower substrate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
KR1020030097056A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20050065896A (ko
Inventor
김성진
양해식
이대식
임용택
정광효
김규원
박세호
김윤태
Original Assignee
한국전자통신연구원
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 한국전자통신연구원 filed Critical 한국전자통신연구원
Priority to KR1020030097056A priority Critical patent/KR100750586B1/ko
Priority to US10/899,143 priority patent/US7682571B2/en
Publication of KR20050065896A publication Critical patent/KR20050065896A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100750586B1 publication Critical patent/KR100750586B1/ko
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L3/00—Containers or dishes for laboratory use, e.g. laboratory glassware; Droppers
    • B01L3/50—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes
    • B01L3/502—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures
    • B01L3/5027—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip
    • B01L3/502707—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip characterised by the manufacture of the container or its components
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B1/00—Devices without movable or flexible elements, e.g. microcapillary devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L7/00—Heating or cooling apparatus; Heat insulating devices
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B3/00—Ohmic-resistance heating
    • H05B3/20—Heating elements having extended surface area substantially in a two-dimensional plane, e.g. plate-heater
    • H05B3/22—Heating elements having extended surface area substantially in a two-dimensional plane, e.g. plate-heater non-flexible
    • H05B3/26—Heating elements having extended surface area substantially in a two-dimensional plane, e.g. plate-heater non-flexible heating conductor mounted on insulating base
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/00274—Sequential or parallel reactions; Apparatus and devices for combinatorial chemistry or for making arrays; Chemical library technology
    • B01J2219/00277—Apparatus
    • B01J2219/00279—Features relating to reactor vessels
    • B01J2219/00281—Individual reactor vessels
    • B01J2219/00286—Reactor vessels with top and bottom openings
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/00274—Sequential or parallel reactions; Apparatus and devices for combinatorial chemistry or for making arrays; Chemical library technology
    • B01J2219/00277—Apparatus
    • B01J2219/00351—Means for dispensing and evacuation of reagents
    • B01J2219/00389—Feeding through valves
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/00274—Sequential or parallel reactions; Apparatus and devices for combinatorial chemistry or for making arrays; Chemical library technology
    • B01J2219/00277—Apparatus
    • B01J2219/00495—Means for heating or cooling the reaction vessels
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/00781—Aspects relating to microreactors
    • B01J2219/00783—Laminate assemblies, i.e. the reactor comprising a stack of plates
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/00781—Aspects relating to microreactors
    • B01J2219/00819—Materials of construction
    • B01J2219/00822—Metal
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/00781—Aspects relating to microreactors
    • B01J2219/00819—Materials of construction
    • B01J2219/00831—Glass
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/00781—Aspects relating to microreactors
    • B01J2219/00819—Materials of construction
    • B01J2219/00833—Plastic
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/00781—Aspects relating to microreactors
    • B01J2219/00851—Additional features
    • B01J2219/00869—Microreactors placed in parallel, on the same or on different supports
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/00781—Aspects relating to microreactors
    • B01J2219/00873—Heat exchange
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2300/00—Additional constructional details
    • B01L2300/18—Means for temperature control
    • B01L2300/1805—Conductive heating, heat from thermostatted solids is conducted to receptacles, e.g. heating plates, blocks
    • B01L2300/1827—Conductive heating, heat from thermostatted solids is conducted to receptacles, e.g. heating plates, blocks using resistive heater
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C40—COMBINATORIAL TECHNOLOGY
    • C40B—COMBINATORIAL CHEMISTRY; LIBRARIES, e.g. CHEMICAL LIBRARIES
    • C40B60/00—Apparatus specially adapted for use in combinatorial chemistry or with libraries
    • C40B60/14—Apparatus specially adapted for use in combinatorial chemistry or with libraries for creating libraries
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B2203/00—Aspects relating to Ohmic resistive heating covered by group H05B3/00
    • H05B2203/002—Heaters using a particular layout for the resistive material or resistive elements
    • H05B2203/003—Heaters using a particular layout for the resistive material or resistive elements using serpentine layout
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B2203/00—Aspects relating to Ohmic resistive heating covered by group H05B3/00
    • H05B2203/013—Heaters using resistive films or coatings
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B2203/00—Aspects relating to Ohmic resistive heating covered by group H05B3/00
    • H05B2203/017—Manufacturing methods or apparatus for heaters

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Clinical Laboratory Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Hematology (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Micromachines (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)

Abstract

본 발명은 미소유체 가열 시스템에 관한 것으로, 챔버, 유로 및 밸브를 제공하는 미소유체제어소자 및 이와 접촉되어 챔버의 내부를 가열시키는 모체로 구성된다. 상기 미소유체제어소자는 챔버, 유로 및 밸브가 형성된 상부기판과, 상부기판에 접합된 박막 형태의 하부기판으로 구성되고, 상기 모체는 가열수단이 형성된 멤브레인과 멤브레인을 지지하는 구조체로 구성된다. 상기 가열수단이 챔버 부분의 하부기판과 국부적으로 접촉되어 챔버의 내부를 가열시키기 때문에 열전달 효율이 극대화되며, 어레이 형태의 챔버를 갖는 구조의 경우 각 챔버의 온도를 독립적으로 제어할 수 있다.
미소유체제어소자, 모체, 마이크로 히터, 챔버, 멤브레인

Description

미소유체 가열 시스템 {Micro-fluidic heating system}
도 1a 및 도 1b는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 미소유체 가열 시스템을 설명하기 위한 단면도.
도 2a 및 도 2b는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 미소유체 가열 시스템을 설명하기 위한 사시도.
도 3a 및 도 3b는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 미소유체 가열 시스템을 설명하기 위한 단면도.
도 4a 및 도 4b는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 미소유체 가열 시스템을 설명하기 위한 사시도.
도 5는 본 발명의 제 3 실시에에 따른 미소유체 가열 시스템을 설명하기 위한 단면도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
100, 300: 미소유체제어소자 110, 310: 상부기판
120, 320: 하부기판 130, 330-1 내지 330-n: 챔버
140, 340: 유로 150, 350: 밸브
200, 400: 모체 210, 410: 멤브레인
220, 420: 구조체 230, 430-1 내지 430-n: 마이크로 히터
240, 440: 온도센서 250, 450: 전극패드
260: 냉각판
본 발명은 미세 자동분석 시스템 등에 적용되는 미소유체 가열 시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 가열 및 냉각 속도가 빠르고 낮은 비용으로 제작이 가능한 미소유체 가열 시스템에 관한 것이다.
바이오 센서, 바이오 칩, HTS(High Throughput Screening) 시스템, 조합 화학(Combinatory chemistry) 시스템 등과 같은 미세 자동분석 시스템에는 가열 기능을 갖는 미세 미소유체제어 시스템이 필요하다. 이러한 미세 미소유체제어 시스템은 시스템 내부의 단일 혹은 다수의 챔버를 빠른 시간 내에 가열 또는 냉각시키는 기능을 필요로 한다.
이를 위한 종래의 기술로서, 유로패턴을 다층으로 형성하고 미소유체제어소자 내부에 다수의 챔버와 가열기를 집적하는 방법이 연구되었다 [미국특허 제6,572,830호(2003. 6. 3)]. 그러나 가열기를 미소유체제어소자에 집적하면 가열기와 온도센서를 구성하는 미세패턴을 소자 내에 형성하고 값을 보정해야 하며, 열전달 성능을 높이기 위해 미소유체제어소자의 챔버 하부를 멤브레인으로 만들어야 한다. 따라서 공정 단가가 상승되는 단점이 있다.
가열 기능을 분리시킨 집적된 미소유체제어소자와 모체로 이루어지는 미소유 체제어 시스템이 소개되었다 [Liu etal., "DNA amplification and hybridization assys in integrated plastic monolithic devices", Analytical chemistry, Vol. 74, No. 13, pp.3063-3070]. 상기 시스템은 모체에서 열질량이 큰 펠티어(peltier) 소자를 가열기로 사용하고, 미소유체제어소자의 챔버 하부가 200㎛의 두꺼운 층으로 만들어지기 때문에 가열시 7.9oC/s, 냉각시 4.6oC/s 정도로 열전달 속도가 느린 단점이 있다.
멤브레인 형태의 가열기와 단일 챔버로 미소유체제어소자를 구성하였다 [Lee et al., "Submicroliter volume PCR chip with fast thermal response and very low power consumption”, Proc. Of MicroTAS 2003, pp.187-190, 2003. 10. 5]. 상기 미소유체제어소자는 열전달 계수가 작고 ~2㎛ 정도로 얇은 두께의 멤브레인을 사용하기 때문에 냉각 속도와 가열 속도가 60oC/s ~ 80oC/s 정도로 빠르다. 그러나 일회용으로 사용되는 미소유체소자에 가열 기능이 포함되므로 제작 공정이 복잡해지는 단점이 있다.
가열기와 단일 챔버가 분리된 구조를 가지며, 단일 챔버와 가열기가 접촉하는 지점에서 단일 챔버 부분을 막(film)으로 구성하고, 모체 부분의 가열기를 얇은 열판으로 구성하여 열전달 효율을 높였다 [국제특허 WO 98/38487호(1998. 9. 3), Chang Ronald et al., "Heat exchange, optically interrogated chemical reaction assembly"]. 상기 구조는 모체의 미소유체제어소자와 접촉하는 전체 부분을 열판으로 이용함으로써 집적된 미소유체제어소자의 경우 챔버 부분만 국부적으로 가열이 나 냉각 할 수 없다. 또한, 기존의 기계 가공 공정으로 열판을 제작하기 때문에 열판의 두께와 크기로 인하여 열질량이 커져 박막 가공(Surface micromachining) 공정으로 제작된 소자만큼 가열과 냉각 속도가 빠르지 못한 단점이 있다.
따라서 본 발명은 가열수단을 구비하는 모체와, 챔버 및 유로를 제공하는 미소유체제어소자가 독립적으로 구성하고, 모체에 구비된 가열수단이 챔버 부분의 얇은 하부기판과 국부적으로 접촉된 상태에서 챔버 내부를 가열시키도록 함으로써 상기한 단점을 해소할 수 있는 미소유체 가열 시스템을 제공하는 데 그 목적이 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 미소유체 가열 시스템은 챔버 및 상기 챔버로 미소유체를 이송하기 위한 유로를 제공하는 상부기판과, 상기 챔버 및 유로를 밀폐시키기 위해 상기 상부기판에 접합된 하부기판으로 이루어진 미소유체제어소자와, 멤브레인과, 상기 멤브레인 상에 형성된 가열수단과, 상기 멤브레인을 지지하는 구조체로 이루어진 모체를 포함하며, 상기 모체의 가열수단이 상기 챔버 부분의 하부기판과 접촉되도록 상기 미소유체제어소자와 상기 모체가 결합된 것을 특징으로 한다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 다른 미소유체 가열 시스템은 어레이 형태로 배열된 다수의 챔버 및 상기 각 챔버로 미소유체를 이송하기 위한 다수의 유로를 제공하는 상부기판과, 상기 챔버 및 유로들을 밀폐시키기 위해 상기 상부기판에 접합된 하부기판으로 이루어진 미소유체제어소자와, 멤브레인과, 상기 멤브레인 상에 형성된 다수의 가열수단과, 상기 멤브레인을 지지하는 구조체로 이 루어진 모체를 포함하며, 상기 모체의 각 가열수단이 상기 각 챔버 부분의 하부기판과 각각 접촉되도록 상기 미소유체제어소자와 상기 모체가 결합된 것을 특징으로 한다.
상기 구조체 하부에 부착된 냉각판을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 상부기판 및 하부기판은 유리, 고분자 또는 금속으로 이루어지고, 상기 구조체는 금속 또는 실리콘으로 이루어진 것을 특징으로 한다.
상기 하부기판은 1 내지 100㎛ 의 두께로 제작되고, 상기 멤브레인은 실리콘 질화막, 실리콘 산화막 또는 합성 고분자 물질로 이루어지며, 0.1 내지 20㎛ 의 두께로 제작된 것을 특징으로 한다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 그러나 본 발명의 실시예들은 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예들로 인해 한정지어지는 것으로 해석되어져서는 안 된다. 본 발명의 실시예들은 당 업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다. 도면에서 동일한 부호는 시종 동일한 요소를 의미한다. 나아가, 도면에서의 다양한 요소와 영역은 개략적으로 도시된 것이다.
도 1a 및 도 1b는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 미소유체 가열 시스템을 설명하기 위한 단면도이고, 도 2a 및 도 2b는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 미소유체 가열 시스템을 설명하기 위한 사시도이다.
본 발명의 제 1 실시예에 따른 미소유체 가열 시스템은 챔버, 유로 및 밸브를 제공하는 미소유체제어소자와, 상기 미소유체제어소자와 접촉되어 챔버를 가열하는 모체로 구성된다. 도 1a 및 도 2a는 미소유체제어소자를 도시하고, 도 1b 및 도 2b는 모체를 도시한다.
도 1a 및 도 2a를 참조하면, 미소유체제어소자(100)는 상부기판(110)과 하부기판(120)으로 구성된다. 상기 상부기판(110)에는 챔버(130), 상기 챔버(130)로 미소유체를 이송하는 유로(140) 등이 음각패턴 형태로 형성된다. 상기 유로(140)에는 이송되는 미소유체의 흐름을 제어하기 위한 밸브(150)가 형성될 수 있다. 상기 하부기판(120)은 상기 챔버(130), 유로(140) 및 밸브(150)를 밀폐시키기 위해 상기 상부기판(110)에 접합된다.
상기 상부기판(110) 및 하부기판(120)으로는 유리, 고분자 또는 금속 등의 모든 재료가 사용될 수 있으나, 일반적으로 PDMS(polydimethylsiloxane), PMMA(polymethylmethacrylate), PC(polycarbonate), COC(cycloolefin copolymer), PA(polyamide), PE(polyethylene), PP(polypropylene), PPE(polyphenylene ether), PS(polystyrene), POM(polyoxymethylene), PEEK(polyetheretherketone), PTFE(polytetrafluoroethylene), PVC(polyvinylchloride), PVDF(polyvinylidene fluoride), PBT(polybutyleneterephthalate), FEP(fluorinated ethylenepropylene), PFA(perfluoralkoxyalkane), PET(poly(ethylene terepthalate)) 등의 투명한 폴리머나 SU-8 등의 사진식각(photolithography)이 가능한 감광제(photoresist)등을 사용할 수 있다. 상기 상부기판(110)은 레이저 어블레이션(Laser Ablation), 쾌속조형(Rapid Prototyping), NC(Numerical Control) 머시닝과 같은 전통적인 기계가공법 또는 사진석판술(photolithography)과 식각을 이용한 반도체 가공법으로 제작된 금속 또는 실리콘 구조체를 매스터(master)로 한 핫 엠보싱(Hot Embossing), 사출성형(Injection Molding), 캐스팅(Casting)법을 이용하여 제작할 수 있다. 상기 하부기판(120)은 얇게 만들기 위하여 고분자 물질을 압출성형하여 만들 수 있다. 이 때 상기 하부기판(120)은 열질량을 낮추기 위하여 1 내지 100㎛ 정도의 두께로 제작하는 것이 적당하다. 상기 상부기판(110)과 하부기판(120)을 접합하기 위해 일반적으로 사용되는 접착제를 사용하거나, 재료에 따라 용접, 초음파, 열접합을 이용하가나 점착제를 사용할 수 있다.
도 1b 및 도 2b를 참조하면, 모체(200)는 박막 형태의 멤브레인(210), 상기 멤브레인(210) 상에 금속 등의 패턴으로 형성된 마이크로 히터(230) 및 상기 멤브레인(210)을 지지하기 위한 구조체(220)로 이루어진다. 상기 멤브레인(210)에는 온도감지를 위해 온도센서(240)가 금속 등의 패턴으로 형성될 수 있으며, 상기 히터(230) 및 온도센서(240)는 주변부에 형성된 전극패드(250)에 연결된다.
상기 멤브레인(210)은 실리콘 질화막, 실리콘 산화막 또는 합성 고분자 물질로 제작할 수 있는데, 열질량이 최소화되도록 하기 위하여 0.1 내지 20㎛ 정도의 두께로 제작한다. 상기 구조체(220)는 열전달 계수가 높은 금속 또는 실리콘을 반도체 가공법 등으로 가공하여 제작한다. 또한, 상기 마이크로 히터(230), 온도센서(240) 및 전극패드(250)는 백금, 금, 알루미늄 등과 같이 전도성 금속 물질로 제작한다.
상기 미소유체제어소자(100)와 상기 모체(200)는 상기 모체(200)의 마이크로 히터(230)가 상기 챔버(130) 부분의 하부기판(120)과 접촉되도록 결합된다. 상기 미소 미소유체제어소자(100)와 모체(200)를 서로 결합하기 위해 클립, 스프링 등의 기계적인 가압 장치를 사용할 수 있다.
그러면 상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 미소유체 가열 시스템의 동작을 설명하면 다음과 같다.
상기 전극패드(250)를 통하여 상기 마이크로 히터(230)에 전류를 흘리면 히터(230)가 가열된다. 이 때 열전달 특성이 양호한 금속 또는 실리콘으로 이루어진 구조체(220)는 외부의 공기와 접하고 있기 때문에 마이크로 히터(210)의 열이 어느 정도 전달되지만 상온으로 유지되며 상기 멤브레인(210) 부분의 온도만 상승하게 된다.
상기 마이크로 히터(230)로부터 발생된 열은 상기 미소유체제어소자(100)의 하부기판(120)으로 전달되어 상기 챔버(130)의 내부를 가열시킨다. 이 때 상기 하부기판(120)과 멤브레인(210)은 박막(film) 형태로 만들어져 열질량이 작기 때문에 빠른 속도로 가열되지만, 상기 모체(200)의 멤브레인(210) 이외의 부분 즉, 구조체(220)는 상온으로 유지되기 때문에 상기 미소유체제어소자(100)의 챔버(130)와 인접된 유로(140) 및 밸브(150) 부분이 상온을 유지할 수 있다. 또한, 상기 구조체(220) 부분이 항상 상온으로 유지되므로써 모체(200)와 미소유체제어소자(100)의 열질량이 작아 챔버(130)를 빠른 시간 내에 냉각시킬 수 있게 된다.
도 3a 및 도 3b는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 미소유체 가열 시스템을 설 명하기 위한 단면도이고, 도 4a 및 도 4b는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 미소유체 가열 시스템을 설명하기 위한 사시도이다.
본 발명의 제 2 실시예에 따른 미소유체 가열 시스템은 다수의 챔버, 유로 및 밸브를 제공하는 미소유체제어소자 및 상기 미소유체제어소자와 접촉되어 각 챔버를 가열하는 모체로 구성된다. 도 3a 및 도 4a는 미소유체제어소자를 도시하고, 도 3b 및 도 4b는 모체를 도시한다.
도 3a 및 도 4a를 참조하면, 미소유체제어소자(300)는 상부기판(310)과 하부기판(320)으로 구성된다. 상기 상부기판(310)에는 어레이 형태로 배열된 다수의 챔버(330-1 내지 330-n), 각 챔버(330-1 내지 330-n)의 양측부에 각각 연결된 다수의 미소유체 이송용 유로(340) 등이 음각패턴 형태로 형성된다. 상기 각 유로(340)에는 미소유체의 흐름을 제어하기 위한 밸브(350)가 형성될 수 있다. 상기 하부기판(320)은 상기 챔버(330-1 내지 330-n), 유로(340) 및 밸브(350)를 밀폐시키기 위해 상기 상부기판(310)에 접합된다.
도 3b 및 도 4b를 참조하면, 모체(400)는 박막 형태의 멤브레인(410), 상기 멤브레인(410) 상에 금속 등의 패턴으로 형성된 마이크로 히터(430-1 내지 43-n) 및 상기 멤브레인(410)을 지지하기 위한 구조체(420)로 이루어진다. 상기 멤브레인(410)에는 온도감지를 위해 온도센서(440)가 금속 등의 패턴으로 형성될 수 있으며, 상기 히터(430-1 내지 43-n) 및 온도센서(440)는 상기 멤브레인(410)의 주변부에 형성된 전극패드(450)에 연결된다.
상기 미소유체제어소자(300)와 상기 모체(400)는 상기 모체(400)의 각 마이 크로 히터(230-1 내지 230-n)가 상기 각 챔버(330-1 내지 330-n) 부분의 하부기판(320)과 접촉되도록 결합된다.
그러면 상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 미소유체 가열 시스템의 동작을 설명하면 다음과 같다.
본 발명의 제 2 실시예에 따른 미소유체 가열 시스템의 기본적인 동작은 상기 제 1 실시예에 따른 미소유체 가열 시스템과 기본적으로 동일하지만, 본 발명의 제 2 실시예에서는 상기 챔버(330-1 내지 330-n)와 히터(430-1 내지 43-n)가 어레이 형태로 배열됨으로써 전체 또는 일부의 챔버(330-1 내지 330-n)만을 독립적으로 가열시킬 수 있다. 즉, 상기 전극패드(450)를 통하여 마이크로 히터(430-2)에 전류를 흘리면 히터(430-2)만 가열되고, 마이크로 히터(430-1, 430-3 내지 430-n)는 가열되지 않고 상온으로 유지될 수 있다.
본 발명의 제 2 실시예에 따르면, 멤브레인(410) 상에 어레이 형태로 배열된 마이크로 히터(430-1 내지 43-n)에 흐르는 전류량을 각각 다르게 함으로써 각각의 마이크로 히터(430-1 내지 43-n)의 가열량의 차이를 두어 마이크로 히터(430-1 내지 43-n)와 접촉된 각각의 챔버 내부의 온도를 제어할 수 있다. 또한, 구조체(420)는 상온으로 유지되기 때문에 상기 미소유체제어소자(310)의 챔버(330-1 내지 330-n)와 인접된 유로(340) 및 밸브(350) 부분이 상온을 유지할 수 있다.
도 5는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 미소유체 가열 시스템을 설명하기 위한 단면도이다.
본 발명의 제 3 실시예에 따른 미소유체 가열 시스템은 상기 제 1 및 제 2 실시예의 구조에 모두 적용이 가능하다. 즉, 모체(100 또는 200)의 구조체(220 또는 420) 하부에 냉각판(260)이 부착된다. 냉각판(260)을 이용하여 모체(100 또는 200)를 지지하는 구조체(220 또는 420))의 온도를 상온이나 상온 이하로 유지시키므로써 챔버(130 또는 330)를 빠른 시간 내에 냉각시킬 수 있다. 상기 냉각판(260)은 열전달 계수가 높은 금속으로 제작할 수 있으며, 금속 내부에 부분적인 냉각이 가능하도록 수냉관(도시안됨)을 형성할 수 있다.
상술한 바와 같이 본 발명에 따른 미소유체 가열 시스템은 가열수단을 구비하는 모체와, 챔버 및 유로를 제공하는 미소유체제어소자가 독립적으로 구성된다. 모체에 구비된 가열수단이 챔버 부분의 얇은 하부기판과 국부적으로 접촉된 상태에서 챔버 내부를 가열시키기 때문에 가열시 열전달 효율이 극대화되어 가열 속도가 빨라지며, 챔버 이외의 부분이 상온으로 유지되므로 냉각 시간이 단축된다. 또한, 본 발명은 미소유체제어소자에 어레이 형태로 챔버를 배열하고, 상기 각 챔버에 대응되도록 모체에 가열수단들을 설치하므로써 각 챔버의 온도를 독립적으로 제어할 수 있게 한다.
본 발명은 가열수단을 재사용 가능한 모체에 부가하므로써 미소유체제어소자의 구성이 단순화되어 제작 과정이 단순해지고 제작 비용이 절감된다. 따라서 저가격의 일회용 제작에 유리하다.

Claims (11)

  1. 챔버 및 상기 챔버로 미소유체를 이송하기 위한 유로를 제공하는 상부기판과, 상기 챔버 및 유로를 밀폐시키기 위해 상기 상부기판에 접합된 하부기판으로 이루어진 미소유체제어소자와,
    멤브레인과, 상기 멤브레인 상에 형성된 가열수단과, 상기 멤브레인을 지지하는 구조체로 이루어진 모체를 포함하며,
    상기 모체의 가열수단이 상기 챔버 부분의 하부기판과 접촉되도록 상기 미소유체제어소자와 상기 모체가 결합되고,
    상기 하부기판은 고분자 또는 금속으로 이루어지고,
    상기 하부기판은 1 내지 100㎛ 의 두께로 제작된 것을 특징으로 하는
    미소유체 가열 시스템.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 가열수단은 마이크로 히터인 것을 특징으로 하는 미소유체 가열 시스템.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 멤브레인 상에 형성된 온도센서와,
    상기 멤브레인 상에 형성되며 상기 가열수단 및 상기 온도센서와 연결된 전극패드들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미소유체 가열 시스템.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 구조체 하부에 부착된 냉각판을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미소유체 가열 시스템.
  7. 제 1 항에 있어서, 상기 상부기판은 유리, 고분자 또는 금속으로 이루어진 것을 특징으로 하는 미소유체 가열 시스템.
  8. 제 1항 또는 7 항에 있어서, 상기 고분자는 PDMS, PMMA, PC, COC, PA, PE, PP, PPE, PS, POM, PEEK, PTFE, PVC, PVDF, PBT, FEP, PFA 또는 PET인 것을 특징으로 하는 미소유체 가열 시스템.
  9. 삭제
  10. 제 1 항에 있어서, 상기 멤브레인은 실리콘 질화막, 실리콘 산화막 또는 합성 고분자 물질로 이루어지며, 0.1 내지 20㎛ 의 두께로 제작된 것을 특징으로 하는 미소유체 가열 시스템.
  11. 제 1 항에 있어서, 상기 구조체는 금속 또는 실리콘으로 이루어진 것을 특징으로 하는 미소유체 가열 시스템.
KR1020030097056A 2003-12-26 2003-12-26 미소유체 가열 시스템 Expired - Fee Related KR100750586B1 (ko)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020030097056A KR100750586B1 (ko) 2003-12-26 2003-12-26 미소유체 가열 시스템
US10/899,143 US7682571B2 (en) 2003-12-26 2004-07-27 Micro-fluidic heating system

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020030097056A KR100750586B1 (ko) 2003-12-26 2003-12-26 미소유체 가열 시스템

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20050065896A KR20050065896A (ko) 2005-06-30
KR100750586B1 true KR100750586B1 (ko) 2007-08-20

Family

ID=34698493

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020030097056A Expired - Fee Related KR100750586B1 (ko) 2003-12-26 2003-12-26 미소유체 가열 시스템

Country Status (2)

Country Link
US (1) US7682571B2 (ko)
KR (1) KR100750586B1 (ko)

Families Citing this family (63)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6692700B2 (en) 2001-02-14 2004-02-17 Handylab, Inc. Heat-reduction methods and systems related to microfluidic devices
US8895311B1 (en) 2001-03-28 2014-11-25 Handylab, Inc. Methods and systems for control of general purpose microfluidic devices
US7829025B2 (en) 2001-03-28 2010-11-09 Venture Lending & Leasing Iv, Inc. Systems and methods for thermal actuation of microfluidic devices
US7010391B2 (en) 2001-03-28 2006-03-07 Handylab, Inc. Methods and systems for control of microfluidic devices
US6852287B2 (en) 2001-09-12 2005-02-08 Handylab, Inc. Microfluidic devices having a reduced number of input and output connections
WO2005011867A2 (en) 2003-07-31 2005-02-10 Handylab, Inc. Processing particle-containing samples
US8852862B2 (en) 2004-05-03 2014-10-07 Handylab, Inc. Method for processing polynucleotide-containing samples
JP2007147456A (ja) * 2005-11-28 2007-06-14 Seiko Epson Corp マイクロ流体システム、試料分析装置、及び標的物質の検出または測定方法
KR100768089B1 (ko) * 2005-11-30 2007-10-18 한국전자통신연구원 친화 크로마토그래피 미세장치, 이의 제조방법.
US8124033B2 (en) * 2006-02-17 2012-02-28 Agency, Science, Technology and Research Apparatus for regulating the temperature of a biological and/or chemical sample and method of using the same
WO2007107892A1 (en) * 2006-03-21 2007-09-27 Koninklijke Philips Electronics N.V. Microelectronic sensor device with sensor array
US8883490B2 (en) 2006-03-24 2014-11-11 Handylab, Inc. Fluorescence detector for microfluidic diagnostic system
US11806718B2 (en) 2006-03-24 2023-11-07 Handylab, Inc. Fluorescence detector for microfluidic diagnostic system
US10900066B2 (en) 2006-03-24 2021-01-26 Handylab, Inc. Microfluidic system for amplifying and detecting polynucleotides in parallel
DK3088083T3 (en) 2006-03-24 2018-11-26 Handylab Inc Method of carrying out PCR down a multi-track cartridge
US7998708B2 (en) 2006-03-24 2011-08-16 Handylab, Inc. Microfluidic system for amplifying and detecting polynucleotides in parallel
EP1876453A1 (en) * 2006-07-07 2008-01-09 Agilent Technologies, Inc. Integrated chip temperature control
US8709787B2 (en) 2006-11-14 2014-04-29 Handylab, Inc. Microfluidic cartridge and method of using same
US20080128341A1 (en) * 2006-12-04 2008-06-05 Electronics And Telecommunications Research Institute Micro filtration device for separating blood plasma and fabrication method therefor
EP2171460B1 (en) 2007-07-13 2017-08-30 Handylab, Inc. Polynucleotide capture materials, and methods of using same
US8182763B2 (en) 2007-07-13 2012-05-22 Handylab, Inc. Rack for sample tubes and reagent holders
US8287820B2 (en) 2007-07-13 2012-10-16 Handylab, Inc. Automated pipetting apparatus having a combined liquid pump and pipette head system
US9186677B2 (en) 2007-07-13 2015-11-17 Handylab, Inc. Integrated apparatus for performing nucleic acid extraction and diagnostic testing on multiple biological samples
US8105783B2 (en) 2007-07-13 2012-01-31 Handylab, Inc. Microfluidic cartridge
US9618139B2 (en) 2007-07-13 2017-04-11 Handylab, Inc. Integrated heater and magnetic separator
US8133671B2 (en) 2007-07-13 2012-03-13 Handylab, Inc. Integrated apparatus for performing nucleic acid extraction and diagnostic testing on multiple biological samples
US20090263870A1 (en) * 2007-09-10 2009-10-22 Agency For Science, Technology And Research System and method for amplifying a nucleic acid molecule
USD787087S1 (en) 2008-07-14 2017-05-16 Handylab, Inc. Housing
EP2293050B1 (en) * 2009-04-07 2016-09-07 ANBE SMT Co. Heating apparatus for x-ray inspection
CN102070118A (zh) * 2010-10-26 2011-05-25 南京工业大学 金属氧化物半导体纳米薄膜气体传感器用微加热板
AU2012242510B2 (en) 2011-04-15 2015-05-14 Becton, Dickinson And Company Scanning real-time microfluidic thermocycler and methods for synchronized thermocycling and scanning optical detection
KR101308132B1 (ko) * 2011-07-11 2013-09-12 경북대학교 산학협력단 마이크로 보트
CA2849917C (en) 2011-09-30 2020-03-31 Becton, Dickinson And Company Unitized reagent strip
USD692162S1 (en) 2011-09-30 2013-10-22 Becton, Dickinson And Company Single piece reagent holder
WO2013067202A1 (en) 2011-11-04 2013-05-10 Handylab, Inc. Polynucleotide sample preparation device
DK2810080T3 (da) 2012-02-03 2024-06-17 Becton Dickinson Co Eksterne filer til fordeling af molekylære diagnostiske tests og bestemmelse af kompatabilitet imellem tests
US10195610B2 (en) 2014-03-10 2019-02-05 Click Diagnostics, Inc. Cartridge-based thermocycler
GB201410221D0 (en) * 2014-06-09 2014-07-23 Victrex Mfg Ltd Polymeric materials
MX379999B (es) 2014-12-31 2025-03-11 Visby Medical Inc Dispositivos y métodos para prueba de diagnóstico molecular
NL2015055B1 (en) 2015-06-30 2017-01-24 Univ Delft Tech Multiple heaters in a MEMS device for drift-free HREM with high temperature changes.
US10987674B2 (en) * 2016-04-22 2021-04-27 Visby Medical, Inc. Printed circuit board heater for an amplification module
WO2017197040A1 (en) 2016-05-11 2017-11-16 Click Diagnostics, Inc. Devices and methods for nucleic acid extraction
US10352311B2 (en) * 2016-06-02 2019-07-16 The United States Of America, As Represented By The Secretary Of Agriculture Cryogenic trap system
JP2019518959A (ja) * 2016-06-21 2019-07-04 学校法人沖縄科学技術大学院大学学園 動的界面張力を測定するためのマイクロヒータ一体型温度制御可能マイクロ流体張力計
KR20180124739A (ko) 2017-05-11 2018-11-21 주식회사 케이티앤지 궐련의 종류별로 에어로졸 생성장치에 포함된 히터의 온도를 제어하는 방법 및 궐련의 종류별로 히터의 온도를 제어하는 에어로졸 생성장치
JP6813697B2 (ja) 2017-05-11 2021-01-13 ケーティー・アンド・ジー・コーポレーション 蒸気化器、及びそれを具備するエアロゾル生成装置
KR20190049391A (ko) 2017-10-30 2019-05-09 주식회사 케이티앤지 히터를 구비한 에어로졸 생성 장치
JP2020536574A (ja) 2017-10-30 2020-12-17 ケーティー・アンド・ジー・コーポレーション 光学モジュール、及びそれを含むエアロゾル生成装置
KR102138245B1 (ko) 2017-10-30 2020-07-28 주식회사 케이티앤지 에어로졸 생성 장치
KR102057216B1 (ko) 2017-10-30 2019-12-18 주식회사 케이티앤지 에어로졸 생성 장치 및 에어로졸 생성 장치용 히터 조립체
KR102057215B1 (ko) 2017-10-30 2019-12-18 주식회사 케이티앤지 에어로졸 생성 장치 및 생성 방법
CN110958841A (zh) 2017-10-30 2020-04-03 韩国烟草人参公社 气溶胶生成装置
CN110996693B (zh) 2017-10-30 2023-01-24 韩国烟草人参公社 气溶胶生成装置、加热器及制作气溶胶生成装置用加热器的方法
US11528936B2 (en) 2017-10-30 2022-12-20 Kt&G Corporation Aerosol generating device
KR102138246B1 (ko) 2017-10-30 2020-07-28 주식회사 케이티앤지 증기화기 및 이를 구비하는 에어로졸 생성 장치
KR102180421B1 (ko) 2017-10-30 2020-11-18 주식회사 케이티앤지 에어로졸 생성 장치
US11369145B2 (en) 2017-10-30 2022-06-28 Kt&G Corporation Aerosol generating device including detachable vaporizer
UA126868C2 (uk) 2017-10-30 2023-02-15 Кт&Г Корпорейшон Пристрій для генерування аерозолю і спосіб управління таким пристоєм
CA3078976A1 (en) 2017-11-09 2019-05-16 Visby Medical, Inc. Portable molecular diagnostic device and methods for the detection of target viruses
CN108443578B (zh) * 2018-01-21 2019-10-22 南京大学 一种离心力微流控芯片
WO2020051156A1 (en) 2018-09-03 2020-03-12 Visby Medical, Inc. Devices and methods for antibiotic susceptibility testing
CN110538680B (zh) * 2019-08-19 2024-08-06 昆山汇先医药技术有限公司 一种微流控样品处理设备
EP4085149A4 (en) 2020-01-03 2024-03-06 Visby Medical, Inc. Devices and methods for antibiotic susceptibility testing

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5356756A (en) 1992-10-26 1994-10-18 The United States Of America As Represented By The Secretary Of Commerce Application of microsubstrates for materials processing
US6300124B1 (en) 1999-11-02 2001-10-09 Regents Of The University Of Minnesota Device and method to directly control the temperature of microscope slides
US6509186B1 (en) 2001-02-16 2003-01-21 Institute Of Microelectronics Miniaturized thermal cycler
KR20030075359A (ko) * 2002-03-18 2003-09-26 학교법인 포항공과대학교 Ｍｅｍｓ 소자를 이용한 선택적 다중핵산 증폭장치 및그의 제작방법

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6132580A (en) * 1995-09-28 2000-10-17 The Regents Of The University Of California Miniature reaction chamber and devices incorporating same
EP2333520B1 (en) 1997-02-28 2014-06-25 Cepheid Heat exchanging, optically interrogated chemical reaction assembly
US6572830B1 (en) 1998-10-09 2003-06-03 Motorola, Inc. Integrated multilayered microfludic devices and methods for making the same
JP3993372B2 (ja) * 2000-09-13 2007-10-17 独立行政法人理化学研究所 リアクタの製造方法
US6692700B2 (en) * 2001-02-14 2004-02-17 Handylab, Inc. Heat-reduction methods and systems related to microfluidic devices
US7010391B2 (en) * 2001-03-28 2006-03-07 Handylab, Inc. Methods and systems for control of microfluidic devices

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5356756A (en) 1992-10-26 1994-10-18 The United States Of America As Represented By The Secretary Of Commerce Application of microsubstrates for materials processing
US6300124B1 (en) 1999-11-02 2001-10-09 Regents Of The University Of Minnesota Device and method to directly control the temperature of microscope slides
US6509186B1 (en) 2001-02-16 2003-01-21 Institute Of Microelectronics Miniaturized thermal cycler
KR20030075359A (ko) * 2002-03-18 2003-09-26 학교법인 포항공과대학교 Ｍｅｍｓ 소자를 이용한 선택적 다중핵산 증폭장치 및그의 제작방법

Also Published As

Publication number Publication date
KR20050065896A (ko) 2005-06-30
US20050142036A1 (en) 2005-06-30
US7682571B2 (en) 2010-03-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100750586B1 (ko) 미소유체 가열 시스템
KR100758273B1 (ko) 플라스틱 기반 미소 가열기 및 그 제조방법, 이를 이용한ｄｎａ 증폭칩 및 그 제조방법
US9023639B2 (en) Apparatus for amplifying nucleic acids
KR100480338B1 (ko) 극소량의 유체제어를 위한 미세 유체제어소자
US8735103B2 (en) Natural convection-driven PCR apparatus and method using disposable polymer chip
KR100535817B1 (ko) 바이오 칩을 위한 플라스틱 구조체, 그를 이용한 미소가열기, 미소 반응기, 미소 반응기 어레이 및 마이크로어레이
US6679279B1 (en) Fluidic valve having a bi-phase valve element
EP2902109B1 (en) Method of manufacturing a device for thermal insulation of micro-reactors
WO2007064117A1 (en) Affinity chromatography microdevice and method for manufacturing the same
KR20110111449A (ko) 미세유체 칩을 갖는 기구
KR20140039079A (ko) 마이크로 유체 디바이스
KR100900956B1 (ko) 일회용 폴리머 칩을 이용한 자연대류 ｐｃｒ 장치 및 그방법
WO2011050285A1 (en) Thermally driven knudsen pump
JP4119217B2 (ja) マイクロ流体素子、流体処理デバイス、および流体処理方法
WO2004085134A1 (en) Shallow multi-well plastic chip for thermal multiplexing
KR20120139206A (ko) 박막형 열 블록 및 박막형 ｐｃｒ 칩을 포함하는 휴대용 실시간 ｐｃｒ 장치
KR100452946B1 (ko) 저전력형 미세 열순환 소자 및 그 제조 방법
US7445754B2 (en) Device for controlling fluid using surface tension
US20080286153A1 (en) Affinity Chromatography Microdevice and Method for Manufacturing the Same
KR100466541B1 (ko) 미소 유체 이송 장치
KR100644807B1 (ko) 플라스틱 기판을 이용한 미소 가열기 및 그의 제조 방법
KR100995363B1 (ko) 미세 유체 제어 소자, 및 그 제조 및 작동 방법
KR100779083B1 (ko) 플라스틱 미세가열 시스템, 그 미세가열 시스템을 이용한랩온어칩, 및 그 미세가열 시스템의 제조방법
JP4581784B2 (ja) マイクロチャネル基板作製用鋳型の作製方法

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
PA0109 Patent application

Patent event code: PA01091R01D

Comment text: Patent Application

Patent event date: 20031226

PA0201 Request for examination
PG1501 Laying open of application
E902 Notification of reason for refusal
PE0902 Notice of grounds for rejection

Comment text: Notification of reason for refusal

Patent event date: 20050915

Patent event code: PE09021S01D

AMND Amendment
E601 Decision to refuse application
PE0601 Decision on rejection of patent

Patent event date: 20060313

Comment text: Decision to Refuse Application

Patent event code: PE06012S01D

Patent event date: 20050915

Comment text: Notification of reason for refusal

Patent event code: PE06011S01I

J201 Request for trial against refusal decision
PJ0201 Trial against decision of rejection

Patent event date: 20060411

Comment text: Request for Trial against Decision on Refusal

Patent event code: PJ02012R01D

Patent event date: 20060313

Comment text: Decision to Refuse Application

Patent event code: PJ02011S01I

Appeal kind category: Appeal against decision to decline refusal

Decision date: 20070725

Appeal identifier: 2006101003124

Request date: 20060411

AMND Amendment
PB0901 Examination by re-examination before a trial

Comment text: Amendment to Specification, etc.

Patent event date: 20060510

Patent event code: PB09011R02I

Comment text: Request for Trial against Decision on Refusal

Patent event date: 20060411

Patent event code: PB09011R01I

Comment text: Amendment to Specification, etc.

Patent event date: 20051115

Patent event code: PB09011R02I

B601 Maintenance of original decision after re-examination before a trial
E801 Decision on dismissal of amendment
PB0601 Maintenance of original decision after re-examination before a trial

Comment text: Report of Result of Re-examination before a Trial

Patent event code: PB06011S01D

Patent event date: 20060612

PE0801 Dismissal of amendment

Patent event code: PE08012E01D

Comment text: Decision on Dismissal of Amendment

Patent event date: 20060612

Patent event code: PE08011R01I

Comment text: Amendment to Specification, etc.

Patent event date: 20060510

Patent event code: PE08011R01I

Comment text: Amendment to Specification, etc.

Patent event date: 20051115

J301 Trial decision

Free format text: TRIAL DECISION FOR APPEAL AGAINST DECISION TO DECLINE REFUSAL REQUESTED 20060411

Effective date: 20070725

PJ1301 Trial decision

Patent event code: PJ13011S01D

Patent event date: 20070725

Comment text: Trial Decision on Objection to Decision on Refusal

Appeal kind category: Appeal against decision to decline refusal

Request date: 20060411

Decision date: 20070725

Appeal identifier: 2006101003124

PS0901 Examination by remand of revocation
S901 Examination by remand of revocation
GRNO Decision to grant (after opposition)
PS0701 Decision of registration after remand of revocation

Patent event date: 20070809

Patent event code: PS07012S01D

Comment text: Decision to Grant Registration

Patent event date: 20070801

Patent event code: PS07011S01I

Comment text: Notice of Trial Decision (Remand of Revocation)

GRNT Written decision to grant
PR0701 Registration of establishment

Comment text: Registration of Establishment

Patent event date: 20070813

Patent event code: PR07011E01D

PR1002 Payment of registration fee

Payment date: 20070813

End annual number: 3

Start annual number: 1

PG1601 Publication of registration
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20100802

Year of fee payment: 4

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20100802

Start annual number: 4

End annual number: 4

LAPS Lapse due to unpaid annual fee
PC1903 Unpaid annual fee