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KR100719568B1 - OLED display and manufacturing method thereof - Google Patents

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KR100719568B1
KR100719568B1 KR1020050099945A KR20050099945A KR100719568B1 KR 100719568 B1 KR100719568 B1 KR 100719568B1 KR 1020050099945 A KR1020050099945 A KR 1020050099945A KR 20050099945 A KR20050099945 A KR 20050099945A KR 100719568 B1 KR100719568 B1 KR 100719568B1
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light emitting
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wiring
organic light
layer
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김은아
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삼성에스디아이 주식회사
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Abstract

본 발명은 기존의 배선 또는 전극 구조를 반사막으로 활용할 수 있는 유기 발광 표시장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.An object of the present invention is to provide an organic light emitting display device which can utilize an existing wiring or electrode structure as a reflective film.

이를 위하여, 본 발명은, 기판과, 상기 기판 상에 형성되고, 광반사 재질로 구비된 배선과, 상기 배선을 덮는 절연막과, 상기 절연막 상에 형성된 유기 발광 소자를 포함하고, 상기 유기 발광 소자는 상기 배선과 중첩되어, 상기 배선이 상기 유기 발광 소자의 반사막이 되는 유기 발광 표시장치를 제공한다.To this end, the present invention includes a substrate, a wiring formed on the substrate and provided with a light reflecting material, an insulating film covering the wiring, and an organic light emitting element formed on the insulating film. An organic light emitting display device overlapping the wiring line, and the wiring line is a reflective film of the organic light emitting diode is provided.

Description

유기 발광 표시 장치 및 그 제조방법{Organic light emitting display device and manufacturing method thereof}Organic light emitting display device and manufacturing method thereof

도 1은 본 발명의 평판 표시장치의 일 실시예인 유기 발광 표시장치의 일 단위 픽셀의 픽셀 회로를 개략적으로 도시한 회로도,1 is a circuit diagram schematically illustrating a pixel circuit of a unit pixel of an organic light emitting diode display according to an exemplary embodiment of the flat panel display of the present invention;

도 2는 도 1에 대한 보다 구체적인 예를 도시한 회로도,2 is a circuit diagram illustrating a more specific example of FIG. 1;

도 3은 제1배선과 화소 전극의 어레이 상태를 도시한 평면도,3 is a plan view showing an array state of a first wiring and a pixel electrode;

도 4는 제2배선과 화소 전극의 어레이 상태를 도시한 평면도,4 is a plan view showing an array state of a second wiring and a pixel electrode;

도 5는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 유기 발광 표시장치의 단면도,5 is a cross-sectional view of an organic light emitting diode display according to an exemplary embodiment of the present invention;

도 6은 본 발명의 바람직한 다른 일 실시예에 따른 유기 발광 표시장치의 단면도,6 is a cross-sectional view of an organic light emitting diode display according to another exemplary embodiment of the present invention;

도 7은 본 발명의 바람직한 또 다른 일 실시예에 따른 유기 발광 표시장치의 단면도,7 is a cross-sectional view of an organic light emitting diode display according to another exemplary embodiment of the present invention;

도 8은 본 발명의 바람직한 또 다른 일 실시예에 따른 유기 발광 표시장치의 단면도,8 is a cross-sectional view of an organic light emitting diode display according to another exemplary embodiment of the present invention;

도 9는 제1배선과 화소 전극의 어레이 상태에 다른 예를 도시한 평면도,9 is a plan view showing another example of an array state of a first wiring and a pixel electrode;

도 10은 제2배선과 화소 전극의 어레이 상태에 대한 다른 예를 도시한 평면도,10 is a plan view illustrating another example of an array state of a second wiring and a pixel electrode;

도 11은 본 발명의 바람직한 또 다른 일 실시예에 따른 유기 발광 표시장치의 단면도.11 is a cross-sectional view of an organic light emitting diode display according to another exemplary embodiment of the present invention.

본 발명은 유기 발광 표시장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반사막 구조를 간단하게 얻을 수 있고, 개구율을 향상시킬 수 있는 유기 발광 표시장치에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an organic light emitting display device, and more particularly, to an organic light emitting display device in which a reflective film structure can be easily obtained and an aperture ratio can be improved.

액티브 매트릭스형(Active Matrix type, AM) 유기 발광 표시장치는 각 픽셀마다 픽셀회로를 구비하며, 이 픽셀회로는 스캔 라인, 데이터 라인, 및 전원 공급 라인에 전기적으로 연결되며, 박막 트랜지스터, 스토리지 커패시터를 포함한다.The active matrix type organic light emitting diode display (AM) has a pixel circuit for each pixel, which is electrically connected to the scan line, the data line, and the power supply line. Include.

한편, 상기 액티브 매트릭스형 유기 발광 표시장치는 밀봉 부재의 방향으로 화상을 구현하는 전면 발광(top-emission) 구조에서는 애노드인 ITO 하부에 별도의 반사막을 더 구비하기도 한다. 그런데, ITO 하부에 ITO와 접하여 위치하는 반사막은 Al, Mg, Ag 등과 같이, 산화가 쉬운 금속으로 이루어져, 구동 박막 트랜지스터와 ITO의 콘택을 위한 홀의 형성 시 ITO와의 사이에 산화막을 형성하기 쉽다. 이러한 산화막은 ITO의 저항을 증대시키는 결과를 초래하며, 구동 박막 트랜지스터와의 콘택 특성을 저하시키게 된다.The active matrix organic light emitting diode display may further include a separate reflective film under the ITO, which is an anode, in a top-emission structure for realizing an image in the direction of the sealing member. However, the reflective film positioned below the ITO in contact with the ITO is made of a metal which is easy to oxidize, such as Al, Mg, Ag, etc., so that an oxide film is easily formed between the ITO and the ITO when forming a hole for contact between the driving thin film transistor and the ITO. Such an oxide film results in increasing the resistance of ITO and degrades contact characteristics with the driving thin film transistor.

한편, 상기 픽셀 회로에 연결되는 배선들, 특히, 전원 공급 라인과 같은 배 선은 전압 강하, 즉, IR Drop을 방지하기 위해 어느 정도 두꺼운 폭을 갖도록 형성되는 데, 이로 인해 양면 발광형 구조의 경우, 개구율을 높이는 데 한계가 있다. 뿐만 아니라, 양면 발광형 구조의 경우, 반사막을 채용할 수 없기 때문에, 전면측에서 광공진구조를 채용할 수 없고, 이에 따라 광취출효율이 저하될 수 있다.On the other hand, the wirings connected to the pixel circuit, in particular, such as a power supply line is formed to have a somewhat thick width to prevent a voltage drop, that is, IR Drop, which is because of the double-sided light emitting structure However, there is a limit to increasing the aperture ratio. In addition, in the case of the double-sided light emission type structure, since the reflective film cannot be adopted, the light resonance structure cannot be adopted at the front side, and thus the light extraction efficiency can be reduced.

Vdd 라인과 동일한 물질을 사용하여 반사막을 형성한 구조가 본 출원인에 의한 대한민국 공개특허공보 제2005-21718호에 개시되어 있지만, 이도, 반사막을 위한 어레이를 별도로 갖추어야 하므로, 이 어레이로 인해 개구율이 낮아지는 문제가 있다.Although the structure in which the reflective film is formed using the same material as the Vdd line is disclosed in Korean Patent Laid-Open Publication No. 2005-21718 by the present applicant, since the array for the reflective film must be provided separately, the aperture ratio is low due to the array. There is a problem.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 기존의 배선 또는 전극 구조를 반사막으로 활용할 수 있는 유기 발광 표시장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide an organic light emitting display device that can utilize a conventional wiring or electrode structure as a reflective film.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은, 기판과, 상기 기판 상에 형성되고, 광반사 재질로 구비된 배선과, 상기 배선을 덮는 절연막과, 상기 절연막 상에 형성된 유기 발광 소자를 포함하고, 상기 유기 발광 소자는 상기 배선과 중첩되어, 상기 배선이 상기 유기 발광 소자의 반사막이 되는 유기 발광 표시장치를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention includes a substrate, a wiring formed on the substrate, provided with a light reflection material, an insulating film covering the wiring, and an organic light emitting element formed on the insulating film The organic light emitting diode is overlapped with the wiring, and the organic light emitting diode is provided as a reflective film of the organic light emitting diode.

본 발명은 또한 전술한 목적을 달성하기 위하여, 기판과, 상기 기판 상에 형성되고, 소오스/드레인 전극과 게이트 전극을 구비하는 박막 트랜지스터와, 상기 소오스/드레인 전극 또는 게이트 전극과 전기적으로 연결된 반사막과, 상기 박막 트랜지스터 및 반사막을 덮는 절연막과, 상기 절연막 상에 형성되고, 상기 반사막 상에 위치하는 유기 발광 소자를 포함하는 유기 발광 표시장치를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention also provides a substrate, a thin film transistor formed on the substrate and having a source / drain electrode and a gate electrode, and a reflective film electrically connected to the source / drain electrode or the gate electrode. The present invention provides an organic light emitting display device including an insulating film covering the thin film transistor and the reflective film, and an organic light emitting element formed on the insulating film and positioned on the reflective film.

이하, 첨부된 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예들에 대하여 보다 상세히 설명한다 . Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 유기 발광 표시장치의 일 단위 픽셀의 픽셀 회로(PC)를 개략적으로 도시한 것이다.FIG. 1 schematically illustrates a pixel circuit PC of one unit pixel of an organic light emitting diode display of the present invention.

도 1에서 볼 수 있듯이, 각 픽셀에는 데이터 라인(Data), 스캔 라인(Scan)이 유기 발광 소자(OLED: Organic Light Emitting Diode)의 일 구동전원이 되는 Vdd 전원라인(Vdd)이 구비된다. As shown in FIG. 1, each pixel includes a Vdd power line Vdd in which a data line Data and a scan line serve as one driving power of an organic light emitting diode (OLED).

각 픽셀의 픽셀 회로(PC)는 이들 데이터 라인(Data), 스캔 라인(Scan), 및 Vdd 전원라인(Vdd)에 전기적으로 연결되어 있으며, 유기 발광 소자(OLED)의 발광을 제어하게 된다.The pixel circuit PC of each pixel is electrically connected to the data line Data, the scan line, and the Vdd power line Vdd, and controls the light emission of the OLED.

도 2는 위 도 1에 대한 보다 구체적인 예를 도시한 것으로, 각 픽셀의 픽셀회로(PC)가 2개의 박막 트랜지스터(M1)(M2)와 하나의 커패시터 유닛(Cst)을 포함한 것이다.FIG. 2 illustrates a more specific example of FIG. 1, in which the pixel circuit PC of each pixel includes two thin film transistors M1 and M2 and one capacitor unit Cst.

도 2를 참조하여 볼 때, 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 유기 발광표시장치의 각 픽셀은 스위칭 TFT(M2)와, 구동 TFT(M1)의 적어도 2개의 박막 트랜지스터와, 커패시터 유닛(Cst) 및 유기 전계 발광 소자(OLED)를 구비한다. Referring to FIG. 2, each pixel of the organic light emitting diode display according to the exemplary embodiment of the present invention may include a switching TFT M2, at least two thin film transistors of the driving TFT M1, and a capacitor unit Cst. And an organic electroluminescent element (OLED).

상기 스위칭 TFT(M2)는 스캔 라인(Scan)에 인가되는 스캔 신호에 의해 ON/OFF되어 데이터 라인(Data)에 인가되는 데이터 신호를 스토리지 커패시터(Cst) 및 구동 TFT(M1)에 전달한다. 스위칭 소자로는 반드시 도 4와 같이 스위칭 TFT(M2)만에 한정되는 것은 아니며, 복수개의 박막 트랜지스터와 커패시터를 구비한 스위칭 회로가 구비될 수도 있고, 구동 TFT(M1)의 Vth값을 보상해주는 회로나, 구동전원(Vdd)의 전압강하를 보상해주는 회로가 더 구비될 수도 있다.The switching TFT M2 is turned on / off by a scan signal applied to the scan line Scan to transfer a data signal applied to the data line Data to the storage capacitor Cst and the driving TFT M1. The switching element is not necessarily limited to the switching TFT M2 as shown in FIG. 4, and may include a switching circuit including a plurality of thin film transistors and capacitors, and a circuit that compensates for the Vth value of the driving TFT M1. Alternatively, a circuit for compensating for the voltage drop of the driving power source Vdd may be further provided.

상기 구동 TFT(M1)는 스위칭 TFT(M2)를 통해 전달되는 데이터 신호에 따라, 유기 발광 소자(OLED)로 유입되는 전류량을 결정한다. The driving TFT M1 determines the amount of current flowing into the organic light emitting element OLED according to the data signal transmitted through the switching TFT M2.

상기 커패시터 유닛(Cst)은 스위칭 TFT(M2)를 통해 전달되는 데이터 신호를 한 프레임동안 저장한다. The capacitor unit Cst stores a data signal transmitted through the switching TFT M2 for one frame.

도 2에 따른 회로도에서 구동 TFT(M1) 및 스위칭 TFT(M2)는 PMOS TFT로 도시되어 있으나, 본 발명이 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 상기 구동 TFT(M1) 및 스위칭 TFT(M2) 중 적어도 하나를 NMOS TFT로 형성할 수도 있음은 물론이다. 그리고, 상기와 같은 박막 트랜지스터 및 커패시터의 개수는 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 이보다 더 많은 수의 박막 트랜지스터 및 커패시터를 구비할 수 있음은 물론이다.In the circuit diagram according to FIG. 2, the driving TFT M1 and the switching TFT M2 are illustrated as PMOS TFTs, but the present invention is not limited thereto, and at least one of the driving TFT M1 and the switching TFT M2 is not limited thereto. Can be formed of an NMOS TFT, of course. In addition, the number of the thin film transistors and capacitors as described above is not necessarily limited thereto, and of course, a larger number of thin film transistors and capacitors may be provided.

도 3 및 도 4는 본 발명의 일 특징이 되는 배선 및 유기 발광 소자의 관계를 도시한 것으로, 유기 발광 소자의 화소 전극과 배선의 관계를 도시한 것이다.3 and 4 illustrate the relationship between the wiring and the organic light emitting device which are one feature of the present invention, and illustrate the relationship between the pixel electrode and the wiring of the organic light emitting device.

전술한 도 1 및 도 2에서 볼 수 있는 데이터 라인(Data), 스캔 라인(Scan), 및 Vdd 전원라인(Vdd) 등은 픽셀들을 횡방향 또는 종방향으로 관통한다. 도 3는 종방향으로 배치되어 있는 제1배선(10)과 그 위에 위치하는 화소 전극(111)을 도시한 것이고, 도 4는 횡방향으로 배치되어 있는 제2배선(20)과 그 위에 위치하는 화소 전극(111)을 도시한 것이다.1 and 2 described above, the data line Data, the scan line, the Vdd power line Vdd, and the like penetrate the pixels horizontally or vertically. FIG. 3 shows the first wiring 10 arranged in the longitudinal direction and the pixel electrode 111 positioned thereon, and FIG. 4 shows the second wiring 20 arranged in the lateral direction and positioned thereon. The pixel electrode 111 is shown.

도 1 및 도 2에서 볼 때, 제1배선(10)은 데이터 라인(Data) 또는 Vdd 전원라인(Vdd)이 될 수 있고, 제2배선(20)은 스캔 라인(Scan)이 될 수 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 배선이 픽셀의 레이아웃에 따라 지그재그형태이던 다양한 모양으로 형성될 수 있음은 물론이다.1 and 2, the first wiring 10 may be a data line Data or a Vdd power line Vdd, and the second wiring 20 may be a scan line. It is not necessarily limited thereto, and the wirings may be formed in various shapes that are zigzag according to the layout of the pixels.

도 3 및 도 4에서는 제1배선(10) 및 제2배선(20)이 화소 전극(111) 전체와 중첩되도록 도시되어 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니고, 화소 전극(111)의 일부와 중첩되도록 할 수도 있다. 설계 레이아웃과 후술하는 바와 같이 광취출효율을 고려하여 제1배선(10) 및 제2배선(20)이 반사막으로서의 기능을 하기에 충분한 정도로 화소 전극(111)과 중첩시킬 수 있다.In FIGS. 3 and 4, the first wiring 10 and the second wiring 20 are illustrated to overlap the entire pixel electrode 111. However, the present disclosure is not limited thereto and overlaps with a portion of the pixel electrode 111. You may. In consideration of the design layout and the light extraction efficiency, the first wiring 10 and the second wiring 20 can be overlapped with the pixel electrode 111 to an extent sufficient to function as a reflective film.

본 발명에 있어 상기 제1배선(10) 및 제2배선(20)은 광반사가 가능한 재료로 형성될 수 있는 데, 아울러 전기 전도성이 양호한 재료로 형성되는 것이 바람직하다. Ag, Mg, Al, Pt, Pd, Au, Ni, Nd, Ir, Cr, Li, Ca 및 이들의 화합물 등의 금속재료로 구비됨이 바람직하다.In the present invention, the first wiring 10 and the second wiring 20 may be formed of a material capable of light reflection, and is preferably formed of a material having good electrical conductivity. It is preferable to be provided with metal materials such as Ag, Mg, Al, Pt, Pd, Au, Ni, Nd, Ir, Cr, Li, Ca, and compounds thereof.

상기와 같은 제1 배선(10) 및 제2배선(20)은 그 폭이 화소 전극(111)의 최소 폭보다 넓기 때문에 전면 발광형(Top-emission) 구조에서 반사막으로서의 기능을 하기에 충분하다. 이하에서는 구체적인 구조를 예로 설명하도록 한다.Since the width of the first wiring 10 and the second wiring 20 is larger than the minimum width of the pixel electrode 111, the first wiring 10 and the second wiring 20 are sufficient to function as a reflective film in a top-emission structure. Hereinafter, a specific structure will be described as an example.

도 5에 따른 실시예에 의하면, 기판(100) 상에 구동 박막 트랜지스터(M1) 및 Vdd 전원 라인(Vdd)이 구비되고, 이들을 덮도록 패시베이션막(108)이 형성되며, 이 패시베이션막(108) 상에 유기 발광 소자(OLED)가 형성된다.According to the embodiment of FIG. 5, the driving thin film transistor M1 and the Vdd power line Vdd are provided on the substrate 100, and the passivation film 108 is formed to cover the passivation film 108. An organic light emitting diode OLED is formed on the substrate.

상기 기판(100)은 글라스재를 사용할 수 있는 데, 반드시 이에 한정되지 않으며, 플라스틱재를 사용할 수도 있으며, SUS, Ti과 같은 금속재를 사용할 수도 있다.The substrate 100 may use a glass material, but is not limited thereto, and may also use a plastic material, and may use a metal material such as SUS and Ti.

기판(100)의 상면에는 유기화합물 및/또는 무기화합물로 이루어진 버퍼층(101)이 더 형성되는 데, SiOx(x≥1), SiNx(x≥1)로 형성되는 것이 바람직하다.A buffer layer 101 made of an organic compound and / or an inorganic compound is further formed on the upper surface of the substrate 100. Preferably, the substrate 100 is formed of SiOx (x ≧ 1) or SiNx (x ≧ 1).

이 버퍼층(101) 상에 소정의 패턴으로 배열된 반도체 활성층(102)이 형성된 후, 반도체 활성층(102)이 게이트 절연층(103)에 의해 매립된다. 반도체 활성층(102)은 소스 영역(102b)과 드레인 영역(102c)을 갖고, 그 사이에 채널 영역(102a)을 더 포함한다. 이러한 반도체 활성층(102)은 버퍼층(101) 상에 비정질 실리콘막을 형성한 후, 이를 결정화하여 다결정질 실리콘막으로 형성하고, 이 다결정질 실리콘막을 패터닝하여 형성할 수 있다. 상기 반도체 활성층(102)은 구동 TFT(M1), 스위칭 TFT(M2) 등 TFT 종류에 따라, 그 소스 및 드레인 영역(102b)(102c)이 불순물에 의해 도핑된다. 도 2 및 도 5에 따른 실시예에서는 PMOS형 구동 TFT(M1)를 도시하였으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, NMOS형으로도 형성될 수 있음은 물론이다.After the semiconductor active layer 102 arranged in a predetermined pattern is formed on the buffer layer 101, the semiconductor active layer 102 is embedded by the gate insulating layer 103. The semiconductor active layer 102 has a source region 102b and a drain region 102c, and further includes a channel region 102a therebetween. The semiconductor active layer 102 may be formed by forming an amorphous silicon film on the buffer layer 101 and then crystallizing it to form a polycrystalline silicon film, and then patterning the polycrystalline silicon film. The source and drain regions 102b and 102c of the semiconductor active layer 102 are doped with impurities in accordance with the type of the TFT such as the driving TFT M1 and the switching TFT M2. 2 and 5 illustrate the PMOS type driving TFT M1, but the present invention is not limited thereto, and the PMOS type driving TFT M1 may be formed as an NMOS type.

상기 게이트 절연층(103)의 상면에는 상기 반도체 활성층(102)과 대응되는 게이트 전극(104)과 이를 매립하는 층간 절연층(105)이 형성된다. A gate electrode 104 corresponding to the semiconductor active layer 102 and an interlayer insulating layer 105 embedded therein are formed on the top surface of the gate insulating layer 103.

그리고, 상기 층간 절연층(105)과 게이트 절연층(103)에 콘택홀을 형성한 후, 층간 절연층(105) 상에 소스 전극(106) 및 드레인 전극(107)을 각각 소스 영역 (102b) 및 드레인 영역(102c)에 콘택되도록 형성한다. After forming contact holes in the interlayer insulating layer 105 and the gate insulating layer 103, the source electrode 106 and the drain electrode 107 are respectively formed on the interlayer insulating layer 105 and the source region 102b. And the drain region 102c.

이 때, 소스 전극(106)에 전기적으로 연결되도록 Vdd 전원 라인(Vdd)도 형성한다. 이 Vdd 전원 라인(Vdd)은 도 3의 제1배선(10)과 같이 종방향의 스트라이프 형태로 배열되도록 할 수 있다. At this time, the Vdd power supply line Vdd is also formed to be electrically connected to the source electrode 106. The Vdd power line Vdd may be arranged in the form of a stripe in the longitudinal direction as shown in the first wiring 10 of FIG. 3.

이렇게 형성된 구동 박막 트랜지스터(M1)와 Vdd 전원 라인(Vdd)의 상부로는 패시베이션막(108)이 형성되고, 이 패시베이션막(108) 상부에 유기 발광 소자(OLED)의 화소 전극(111)이 형성된다. 이 화소 전극(111)은 패시베이션막(108)에 형성된 비아 홀에 의해 구동 TFT(M1)의 드레인 전극(107)에 콘택된다. 상기 패시베이션막(108)은 무기물 및/또는 유기물로 형성될 수 있는 데, 도 5에서와 같이, 하부 막의 굴곡에 관계없이 상면이 평탄하게 되도록 평탄화막으로 형성될 수도 있는 반면, 하부에 위치한 막의 굴곡을 따라 굴곡이 가도록 형성될 수 있다. 그리고, 이 패시베이션막(108)은 후술하는 바와 같이, 공진 효과를 달성할 수 있도록 투명 절연체로 형성되는 것이 바람직하다.The passivation film 108 is formed on the driving thin film transistor M1 and the Vdd power line Vdd, and the pixel electrode 111 of the organic light emitting diode OLED is formed on the passivation film 108. do. The pixel electrode 111 contacts the drain electrode 107 of the driving TFT M1 by the via hole formed in the passivation film 108. The passivation film 108 may be formed of an inorganic material and / or an organic material. As shown in FIG. 5, the passivation film 108 may be formed as a flattening film so that the top surface is flat regardless of the bending of the lower film. It may be formed to go along the bend. As described later, the passivation film 108 is preferably formed of a transparent insulator so as to achieve a resonance effect.

패시베이션막(108) 상에 화소 전극(111)을 형성한 후에는 이 화소 전극(111) 및 패시베이션막(108)을 덮도록 화소 정의막(109)이 유기물 및/또는 무기물에 의해 형성되고, 화소전극(111)이 노출되도록 개구된다.After the pixel electrode 111 is formed on the passivation film 108, the pixel defining layer 109 is formed of an organic material and / or an inorganic material so as to cover the pixel electrode 111 and the passivation film 108. The electrode 111 is opened so as to be exposed.

그리고, 적어도 상기 화소 전극(111) 상에 유기 발광층층(112) 및 대향 전극(113)이 형성된다.The organic emission layer 112 and the counter electrode 113 are formed on at least the pixel electrode 111.

상기 화소 전극(111)은 애노우드 전극의 기능을 하고, 상기 대향 전극(113)은 캐소오드 전극의 기능을 하는 데, 물론, 이들 화소 전극(111)과 대향 전극(113) 의 극성은 반대로 되어도 무방하다. The pixel electrode 111 functions as an anode electrode, and the counter electrode 113 functions as a cathode electrode. Of course, the polarities of the pixel electrode 111 and the counter electrode 113 may be reversed. It's okay.

상기 화소 전극(111)은 일함수가 높은 재료로 형성될 수 있는 데, ITO, IZO, In2O3, 및 ZnO 등의 투명 도전체로 형성될 수 있다.The pixel electrode 111 may be formed of a material having a high work function, and may be formed of a transparent conductor such as ITO, IZO, In2O3, and ZnO.

대향 전극(113)은 일함수가 낮은 Ag, Mg, Al, Pt, Pd, Au, Ni, Nd, Ir, Cr, Li, Ca 및 이들의 화합물 등의 금속재로 구비될 수 있는 데, 광투과가 가능하도록 Mg, Ag 등으로 반투과 반사막이 되도록 얇게 형성될 수 있다.The counter electrode 113 may be formed of a metal material such as Ag, Mg, Al, Pt, Pd, Au, Ni, Nd, Ir, Cr, Li, Ca, and a compound thereof having a low work function. Mg, Ag or the like may be formed to be thin so as to be a transflective film.

상기 화소 전극(111)과 대향 전극(113)은 상기 유기층(112)에 의해 서로 절연되어 있으며, 유기층(112)에 서로 다른 극성의 전압을 가해 유기층(112)에서 발광이 이뤄지도록 한다.The pixel electrode 111 and the opposite electrode 113 are insulated from each other by the organic layer 112, and light is emitted from the organic layer 112 by applying voltages having different polarities to the organic layer 112.

상기 유기층(112)은 저분자 또는 고분자 유기막이 사용될 수 있다. 저분자 유기막을 사용할 경우, 홀 주입층(HIL: Hole Injection Layer), 홀 수송층(HTL: Hole Transport Layer), 발광층(EML: Emission Layer), 전자 수송층(ETL: Electron Transport Layer), 전자 주입층(EIL: Electron Injection Layer) 등이 단일 혹은 복합의 구조로 적층되어 형성될 수 있으며, 사용 가능한 유기 재료도 구리 프탈로시아닌(CuPc: copper phthalocyanine), N,N-디(나프탈렌-1-일)-N,N'-디페닐-벤지딘 (N,N'-Di(naphthalene-1-yl)-N,N'-diphenyl-benzidine: NPB) , 트리스-8-하이드록시퀴놀린 알루미늄(tris-8-hydroxyquinoline aluminum)(Alq3) 등을 비롯해 다양하게 적용 가능하다. 이들 저분자 유기막은 진공증착의 방법으로 형성된다. 이 때, 홀 주입층, 홀 수송층, 전자 수송층, 및 전자 주입층 등은 공통층으로서, 적, 녹, 청색의 픽셀에 공통으로 적용될 수 있다. 따라서, 도 5와는 달리, 이들 공통층들은 대향전극(113)과 같이, 전체 픽셀들을 덮도록 형성될 수 있다.The organic layer 112 may be a low molecular or high molecular organic film. When using a low molecular organic film, a hole injection layer (HIL), a hole transport layer (HTL), an emission layer (EML), an electron transport layer (ETL), an electron injection layer (EIL) : Electron Injection Layer) can be formed by stacking single or complex structure, and usable organic materials are copper phthalocyanine (CuPc), N, N-di (naphthalen-1-yl) -N, N '-Diphenyl-benzidine (N, N'-Di (naphthalene-1-yl) -N, N'-diphenyl-benzidine: NPB), tris-8-hydroxyquinoline aluminum ( Alq3) can be used in various ways. These low molecular weight organic films are formed by the vacuum deposition method. In this case, the hole injection layer, the hole transport layer, the electron transport layer, the electron injection layer and the like can be commonly applied to red, green, and blue pixels as a common layer. Thus, unlike FIG. 5, these common layers may be formed to cover all pixels, such as the counter electrode 113.

고분자 유기막의 경우에는 대개 홀 수송층(HTL) 및 발광층(EML)으로 구비된 구조를 가질 수 있으며, 이 때, 상기 홀 수송층으로 PEDOT를 사용하고, 발광층으로 PPV(Poly-Phenylenevinylene)계 및 폴리플루오렌(Polyfluorene)계 등 고분자 유기물질을 사용하며, 이를 스크린 인쇄나 잉크젯 인쇄방법 등으로 형성할 수 있다.In the case of the polymer organic film, the structure may include a hole transporting layer (HTL) and a light emitting layer (EML). In this case, PEDOT is used as the hole transporting layer, and polyvinylvinylene (PPV) and polyfluorene are used as the light emitting layer. Polymer organic materials such as (Polyfluorene) are used and can be formed by screen printing or inkjet printing.

상기와 같은 유기층은 반드시 이에 한정되는 것은 아니고, 다양한 실시예들이 적용될 수 있음은 물론이다.The organic layer as described above is not necessarily limited thereto, and various embodiments may be applied.

이렇게 유기 발광 소자(OLED)를 형성한 후에는, 이를 밀봉하여 외기로부터 차단한다. After the organic light emitting diode OLED is formed, the organic light emitting diode OLED is sealed and shielded from outside air.

한편, 본 발명에 있어서, 상기 Vdd 전원 라인(Vdd)과 화소 전극(111)은 도 3과 같이 서로 중첩되는 구조를 갖도록 어레이된다. 따라서, Vdd 전원 라인(Vdd)이 반사막으로서의 기능을 하게 된다. 이 경우, Vdd 전원 라인(Vdd)과 대향 전극(113)의 사이의 거리(R)를 조절하여, 공진 거리를 맞추면, 유기층(112)으로부터 발광된 빛이 Vdd 전원 라인(Vdd)과 대향 전극(113)의 사이에서 광공진을 일으킨 후 대향 전극(113)의 방향으로 취출되어 광취출효율을 더욱 향상시킬 수 있다. 따라서, 반사막을 형성하기 위한 별도의 공정을 진행하지 않아도 된다.Meanwhile, in the present invention, the Vdd power line Vdd and the pixel electrode 111 are arranged to have a structure overlapping each other as shown in FIG. 3. Therefore, the Vdd power supply line Vdd functions as a reflecting film. In this case, when the distance R between the Vdd power line Vdd and the counter electrode 113 is adjusted to adjust the resonance distance, the light emitted from the organic layer 112 causes the Vdd power line Vdd and the counter electrode ( After the light resonance is generated between 113, the light extraction efficiency may be further improved by being taken out in the direction of the counter electrode 113. Therefore, it is not necessary to carry out a separate process for forming the reflective film.

한편, 본 발명에 있어, 상기 Vdd 전원 라인(Vdd)은 구동 TFT(M1)의 소오스 전극(106)과는 별도로 형성될 수 있다. 즉, 도 6에서 볼 수 있듯이, 구동 TFT(M1)를 덮도록 제1패시베이션막(108a)을 형성하고, 이 제1패시베이션막(108a)에 Vdd 전원 라인(Vdd)을 형성한 후, 다시 이를 덮도록 제2패시베이션막(108b)을 형성한 후, 이 제2패시베이션막(108b) 상에 화소 전극(111)을 형성한다. 이 경우, Vdd 전원 라인(Vdd)이 구동 TFT(M1)의 어레이 구조에 영향을 덜 받게 되므로, 그 폭을 충분히 넓게 가져갈 수 있어, 전압 강하(IR Drop) 현상을 예방할 수 있다. 그리고, 이에 따라 화소 전극(111)도 Vdd 전원 라인(Vdd)의 좌우측 설계 마진의 범위까지 넓게 형성할 수 있어, 개구율을 대폭 향상시킬 수 있다.Meanwhile, in the present invention, the Vdd power line Vdd may be formed separately from the source electrode 106 of the driving TFT M1. That is, as shown in FIG. 6, the first passivation film 108a is formed to cover the driving TFT M1, and after the Vdd power line Vdd is formed on the first passivation film 108a, it is again formed. After forming the second passivation film 108b so as to cover, the pixel electrode 111 is formed on the second passivation film 108b. In this case, since the Vdd power line Vdd is less affected by the array structure of the driving TFT M1, the width thereof can be sufficiently wide, thereby preventing the voltage drop IR drop phenomenon. As a result, the pixel electrode 111 can also be formed to the wide range of the left and right design margins of the Vdd power supply line Vdd, and the aperture ratio can be greatly improved.

이상 설명한 것은 반사막이 되는 배선으로 Vdd 전원 라인(Vdd)을 사용한 실시예를 설명하였으나, 본 발명이 반드시 이에 한정되는 것이 아님은 물론이다.The above description has been made of an embodiment in which the Vdd power line Vdd is used as the wiring to be a reflective film, but the present invention is not necessarily limited thereto.

도 7은 도 2에서 스위칭 TFT(M2)와, 데이터 라인(Data) 및 유기 발광 소자(OLED)를 도시한 것으로, 데이터 라인(Data)은 PMOS형 스위칭 TFT(M2)의 소오스 전극(206)에 연결되어 있다. 스위칭 TFT(M2)의 구조는 전술한 구동 TFT(M1)와 동일하므로, 그 설명을 생략한다.FIG. 7 illustrates the switching TFT M2, the data line Data, and the organic light emitting diode OLED in FIG. 2, wherein the data line Data is connected to the source electrode 206 of the PMOS type switching TFT M2. It is connected. Since the structure of the switching TFT M2 is the same as that of the above-described driving TFT M1, the description thereof is omitted.

도 7에 따른 실시예에 있어서, 상기 데이터 라인(Data)과 화소 전극(111)의 관계도 도 3과 같은 형태로 어레이될 수 있다. 따라서, 이 때에는, 데이터 라인(Data)이 반사막의 역할을 하게 되고, 데이터 라인(Data)과 대향 전극(113) 간에 공진 구조가 형성된다. In the exemplary embodiment of FIG. 7, the relationship between the data line Data and the pixel electrode 111 may also be arranged in the form of FIG. 3. Therefore, at this time, the data line Data serves as a reflection film, and a resonance structure is formed between the data line Data and the counter electrode 113.

도 8은 스캔 라인(Data)과 화소 전극(111)을 도 4와 같은 형태로 어레이한 것으로, 스캔 라인(Data)은 게이트 전극(204)과 동시에 동일 물질로 형성될 수 있다. 이 때에는, 스캔 라인(Scan)이 반사막의 역할을 하게 되고, 스캔 라인(Scan)과 대향 전극(113) 간에 공진 구조가 형성된다.8 is an array of the scan line Data and the pixel electrode 111 as shown in FIG. 4, and the scan line Data may be formed of the same material at the same time as the gate electrode 204. In this case, the scan line Scan serves as a reflection film, and a resonance structure is formed between the scan line Scan and the counter electrode 113.

이렇게 데이터 라인(Data) 및 스캔 라인(Scan)을 반사막으로 사용한 경우에 도, 도 6에서 볼 수 있듯이, 패시베이션막을 제1,2패시베이션막으로 나누고, 데이터 라인(Data) 및 스캔 라인(Scan)을 제1패시베이션막 상에 소오스 전극(206)과는 별도로 형성할 수 있다.Even in the case where the data line and the scan line are used as the reflective film, as shown in FIG. 6, the passivation film is divided into the first and second passivation films, and the data line and the scan line Scan are divided. The source electrode 206 may be formed on the first passivation layer separately from the source electrode 206.

이상 살명한 것은 화상이 대향 전극(113)의 방향으로 구현되는 전면 발광형 구조를 나타낸 것으로, 이러한 본 발명은 반드시 전면 발광형 구조에만 한정되는 것은 아니며, 화상이 대향전극(113)의 방향 및 기판(100)의 방향으로 구현되는 양면 발광형 구조에도 동일하게 적용될 수 있다.As described above, the image shows the top emission type structure in which the image is implemented in the direction of the counter electrode 113. The present invention is not limited to the top emission type structure, and the image is the direction of the counter electrode 113 and the substrate. The same may be applied to the double-sided light emitting structure implemented in the direction of 100.

도 9 및 도 10은 본 발명을 양면발광형 구조에 적용한 일 예를 도시한 것으로, 도 9는 제1배선(10)과 화소 전극(111)의 관계, 도 10은 제2배선(20)과 화소전극(111)간의 관계를 도시한 것이다.9 and 10 illustrate an example in which the present invention is applied to a double-sided light emitting structure. FIG. 9 illustrates a relationship between the first wiring 10 and the pixel electrode 111, and FIG. 10 shows a second wiring 20. The relationship between the pixel electrodes 111 is shown.

양면 발광형 구조에서는 제1배선(10) 및 제2배선(20)을 화소 전극(111)의 폭보다 좁게 형성함으로써, 제1배선(10) 및 제2배선(20)과 화소 전극(111)이 겹쳐지는 부분에서는 전면 발광의 공진 효과를 얻어 전면 발광측의 광효율을 향상시키고, 제1배선(10) 및 제2배선(20)과 화소 전극(111)이 겹쳐지지 않는 부분에서는 배면 발광으로 화상 구현을 할 수 있다.In the double-sided light emission type structure, the first wiring 10 and the second wiring 20 are formed to be narrower than the width of the pixel electrode 111, so that the first wiring 10 and the second wiring 20 and the pixel electrode 111 are formed. In this overlapping portion, the resonance effect of the front emission is obtained to improve the light efficiency on the front emission side, and in the part where the first wiring 10 and the second wiring 20 and the pixel electrode 111 do not overlap, the image is generated by the back emission. You can do it.

이 때의 구조를 도 11에 도시하였는 데, 도 11에서는 전술한 도 5에서와 같이, Vdd 전원 배선(Vdd)을 반사막으로 채용한 구조를 일 예로 나타낸 것으로, 화상이 구현되는 부분에 대해 부분 확대한 단면이다.The structure at this time is shown in FIG. 11. In FIG. 11, as shown in FIG. 5, the structure in which the Vdd power supply wiring Vdd is used as the reflecting film is shown as an example, and the portion of the image is enlarged. It is a cross section.

도 11에서 볼 수 있듯이, Vdd 전원 배선(Vdd)과 유기 발광 소자(OLED)가 중첩되는 부분에서는 Vdd 전원 배선(Vdd)에 의해 전면 발광측의 광효율이 향상될 수 있다. 즉, 기존의 양면 발광 구조에서는 반사막을 채용할 수 없었기 때문에, 전면 발광측에서 공진 구조를 채용할 수 없었으나, 본 발명에 따르면, 전면 발광측에도 반사막을 채용한 구조가 되므로, 광취출 효율을 더욱 향상시킬 수 있다.As shown in FIG. 11, in the portion where the Vdd power line Vdd and the organic light emitting diode OLED overlap, the light efficiency of the front emission side may be improved by the Vdd power line Vdd. In other words, the conventional double-sided light emitting structure could not adopt the reflective film, and therefore, the resonance structure could not be adopted on the front light emitting side. However, according to the present invention, the light emitting efficiency was further improved since the reflective film was also adopted on the front light emitting side. Can be improved.

이러한 구조는 전술한 도 6 내지 도 8에 따른 실시예에도 그대로 적용할 수 있음은 물론이다.Such a structure can be applied to the embodiment according to FIGS. 6 to 8 as described above.

상기한 실시예들은 유기 발광 표시장치에 대하여 기술되었으나, 유기 발광 표시장치 이외에 액정 표시장치 등 다양한 종류의 평판 표시장치에도 적용될 수 있다.Although the above embodiments have been described with respect to an organic light emitting display, the present invention can be applied to various kinds of flat panel displays such as a liquid crystal display in addition to the organic light emitting display.

상기한 바와 같은 본 발명에 따르면, 별도의 반사막 형성공정을 거치지 않고도, 반사막을 채용한 유기 발광 표시장치를 제공할 수 있다. 이에 따라, 전면 발광에 있어, 공진 구조를 채용할 수 있다. 또한, 반사막의 너비만큼 개구율을 높일 수 있다.According to the present invention as described above, it is possible to provide an organic light emitting display device employing a reflective film, without going through a separate reflective film forming process. As a result, a resonance structure can be adopted for the front emission. In addition, the aperture ratio can be increased by the width of the reflective film.

본 발명은 첨부된 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 보호 범위는 첨부된 청구 범위에 의해서만 정해져야 할 것이다.Although the present invention has been described with reference to one embodiment shown in the accompanying drawings, this is merely exemplary, and it will be understood by those skilled in the art that various modifications and equivalent other embodiments are possible. Could be. Therefore, the true scope of protection of the present invention should be defined only by the appended claims.

Claims (13)

삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 기판;Board; 상기 기판 상에 형성되고, 소오스/드레인 전극과 게이트 전극을 구비하는 박막 트랜지스터;A thin film transistor formed on the substrate and having a source / drain electrode and a gate electrode; 상기 소오스/드레인 전극 또는 게이트 전극과 전기적으로 연결된 반사막;A reflective film electrically connected to the source / drain electrode or the gate electrode; 상기 박막 트랜지스터 및 반사막을 덮는 절연막; 및 An insulating film covering the thin film transistor and the reflective film; And 상기 절연막 상에 형성되고, 상기 반사막 상에 위치하는 유기 발광 소자;를 포함하는 유기 발광 표시장치.And an organic light emitting element formed on the insulating layer and positioned on the reflective layer. 제8항에 있어서,The method of claim 8, 상기 반사막은 상기 소오스/드레인 전극과 동일 물질로 구비된 유기 발광 표시장치.The reflective layer is formed of the same material as the source / drain electrodes. 제8항에 있어서,The method of claim 8, 상기 반사막은 상기 게이트 전극과 동일 물질로 구비된 유기 발광 표시장치.The reflective layer is formed of the same material as the gate electrode. 제 8 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 8 to 10, 상기 유기 발광 소자는 화소 전극, 유기 발광층, 및 대향 전극을 포함하고, 상기 반사막은 상기 화소 전극과 중첩되는 유기 발광 표시장치.The organic light emitting diode includes a pixel electrode, an organic emission layer, and an opposite electrode, and the reflective layer overlaps the pixel electrode. 제 11 항에 있어서,The method of claim 11, 상기 화소 전극 및 대향 전극은 광투과형 전극체인 유기 발광 표시장치.The pixel electrode and the opposite electrode are light transmissive electrode bodies. 제 8 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 8 to 10, 상기 절연막은 투명 절연체인 유기 발광 표시장치.And the insulating layer is a transparent insulator.
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