KR100707686B1

KR100707686B1 - Panel Inspecting Apparatus

Info

Publication number: KR100707686B1
Application number: KR1020050064888A
Authority: KR
Inventors: 마사유끼 안자이; 히데끼 이케우찌; 유타까 코사까
Original assignee: 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스
Priority date: 2004-10-22
Filing date: 2005-07-18
Publication date: 2007-04-16
Anticipated expiration: 2025-07-18
Also published as: JP2006119031A; KR20060039845A; JP4570930B2; TW200613817A; TWI319498B

Abstract

본 발명에 따른 패널의 검사장치는, 검사 스테이지의 교환을 하지 않고 다른 크기의 표시용 패널의 검사를 가능하게 하기 위한 것이다. 패널의 검사장치는, 제1 개구를 갖는 판상의 제1 베이스와, 판상을 한 4개의 제2 베이스로서 제1 베이스에 틀 형상으로 배치된 제2 베이스와, 최소한 2개의 서로 이웃하는 제2 베이스에 배치된 복수의 접촉자 유닛을 포함한다. 제2 베이스는, 제1 베이스와 평행한 면내에서 이차원적으로 이동 가능하게 되어 있고, 또 표시용 패널을 받는 패널 받이로써 제1 개구와 마주보는 제2 개구를 함께 형성하는 패널 받이를 갖추고 있다.The inspection apparatus for panels according to the present invention is for enabling inspection of display panels of different sizes without replacing the inspection stages. The inspection apparatus of the panel includes a plate-shaped first base having a first opening, a second base arranged in a frame shape on the first base as four plate-shaped second bases, and at least two neighboring second bases. And a plurality of contact units disposed in the. The second base is movable in two dimensions in a plane parallel to the first base, and is provided with a panel support which together with the display panel forms a second opening facing the first opening.

검사 스테이지, 접속장치, 표시용 패널 Inspection stage, connector, display panel

Description

Panel Inspecting Apparatus}

도1은 본 발명에 따른 패널의 검사장치의 한 실시예를 나타내는 평면도이다.1 is a plan view showing one embodiment of an inspection apparatus for a panel according to the present invention.

도2는 도1에서의 2-2선을 따라 얻은 단면도이다.FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line 2-2 in FIG. 1.

도3은 도1에 나타낸 패널의 검사장치에서의 제1 및 제2 베이스와 결합장치와의 관계를 나타내는 평면도이다.FIG. 3 is a plan view showing the relationship between the first and second bases and the coupling device in the inspection device of the panel shown in FIG.

도4는 도1에 나타낸 패널의 검사장치에서의 제1 및 제2 베이스와 결합장치와의 관계를 나타내는 사시도로서, 몇 개의 부재를 제거하여 나타낸 도면이다.FIG. 4 is a perspective view showing the relationship between the first and second bases and the coupling device in the inspection device of the panel shown in FIG. 1, with some members removed.

도5는 도3에서의 3-3선을 따라 얻은 단면도이다.FIG. 5 is a cross-sectional view taken along line 3-3 in FIG. 3.

도6은 하나의 제2 베이스와 그것에 설치된 각종 부재를 나타내는 사시도이다.Fig. 6 is a perspective view showing one second base and various members installed thereon.

도7은 도6에서의 화살표(7) 방향에서 본 도면이다.FIG. 7 is a view seen from the direction of the arrow 7 in FIG.

도8은 접촉자 유닛 및 푸셔 부근의 확대 사시도이다.8 is an enlarged perspective view of the vicinity of the contactor unit and the pusher.

도9는 도8에서의 화살표(9) 방향에서 본 단면도이다.FIG. 9 is a sectional view seen from the direction of the arrow 9 in FIG.

도10은 스토퍼 핀 및 푸셔의 위치 실시예를 나타내는 도면이다.10 is a view showing an embodiment of the position of the stopper pin and the pusher.

도11은 접촉자 유닛의 한 실시예를 나타내는 사시도이다.11 is a perspective view showing one embodiment of a contact unit.

도12는 도11에 나타낸 접촉자 유닛의 평면도이다.12 is a plan view of the contact unit shown in FIG.

도13은 도12에서의 13-13선을 따라 얻은 단면도이다.FIG. 13 is a sectional view taken along line 13-13 in FIG. 12;

도14는 접촉자 유닛의 동작을 설명하기 위한 도면으로, (A)는 제1 이동 블록이 후퇴위치에 있을 때의 도면, (B)는 제1 이동 블록이 전진 종료시기 및 후퇴 개시시기에 있을 때의 도면, (C)는 제1 이동 블록이 전진위치에 있을 때의 도면이다.14 is a view for explaining the operation of the contact unit, (A) is a view when the first moving block is in the retracted position, (B) is when the first moving block is at the forward end time and the retreat start time (C) is a diagram when the first moving block is in the forward position.

* 도면의 주요 부호에 대한 설명 *Description of the main symbols in the drawings

10: 패널의 검사장치 12: 패널10: inspection device of panel 12: panel

14: 검사 스테이지 16: 지지대14: Inspection stage 16: support

18: 스테이지 본체 20: 백라이트 유닛18: stage main body 20: backlight unit

34: 제1 베이스 36: 제2 베이스34: first base 36: second base

38: 접촉자 유닛 40, 44: 개구38: contact unit 40, 44: opening

42: 패널 받이(panel retainer) 46: 결합장치42: panel retainer 46: coupling device

48: 광 확산판 52, 56, 60: 제1, 제2, 제3 레일48: light diffuser 52, 56, 60: first, second, third rail

54, 58, 62: 제1, 제2, 제3 가이드 66: 제1 고정장치54, 58, 62: first, second, third guide 66: first fixing device

68, 70: 제1, 제2 부재 72, 74, 76: 나사부재68, 70: first and second members 72, 74, 76: screw member

80: 스토퍼 핀 82: 푸셔80: stopper pin 82: pusher

84, 92, 96: 레일 86, 94, 98: 가이드84, 92, 96: rails 86, 94, 98: guide

88: 스토퍼 편(片) 90: 지지핀88: stopper piece 90: support pin

99: 정지구 100: 푸쉬 편(片)99: stopper 100: push piece

102: 지지핀 104: 푸쉬 기구102: support pin 104: push mechanism

110: 베이스 판 112: 제1 이동 블록110: base plate 112: first moving block

114: 제2 이동 블록 116: 접촉자 블록114: second moving block 116: contact block

118: 레일 120: 가이드118: rail 120: guide

122: 접촉자 150: 레일122: contact 150: rail

152: 가이드 160: 제2 고정장치152: guide 160: second fixing device

162: 금구(金具) 164, 168: 나사부재162: bracket 164, 168: screw member

166: 나사구멍166: screw hole

발명의 분야Field of invention

본 발명은, 액정 표시 패널과 같은 표시용 패널의 검사장치에 관한 것이다.The present invention relates to an inspection apparatus for a display panel such as a liquid crystal display panel.

발명의 배경Background of the Invention

액정 표시 패널과 같은 표시용 패널을 검사하는 장치의 하나로서, 복수의 접촉자 유닛(즉, 프로브 유닛)을, 표시용 패널을 받아 이동시키는 검사 스테이지에 설치한 것이 있다(일본공개특허공보 제2002-350485호).As an apparatus for inspecting a display panel such as a liquid crystal display panel, a plurality of contactor units (that is, probe units) are provided in an inspection stage for receiving and moving the display panel (JP-A-2002-A). 350485).

복수의 접촉자 유닛은, 그들 전체로 표시용 패널을 이것으로의 통전회로에 접속하기 위한 전기적 접속장치로서 작용한다.The plurality of contact units act as electrical connection devices for connecting the display panel to the energizing circuit therewith as a whole.

각 접촉자 유닛은, 표시용 기판의 전극에 접촉되는 복수의 프로브 즉 접촉자를 갖춘 접촉자 블록을 지지 블록에 지지시키고 있고, 또 표시용 패널을 받아 이동시키는 검사 스테이지에 지지 블록에서 설치되어 있다.Each contactor unit supports a plurality of probes that are in contact with the electrodes of the display substrate, that is, a contact block having a contactor on the support block, and is provided in the support block on an inspection stage for receiving and moving the display panel.

검사 스테이지는, 패널을 패널 받음부에 받는 척 톱(top face of chuck)과 같은 패널 받이를 스테이지 본체의 상부에 설치하고 있다. 접촉자 유닛은 패널 받이에 설치되어 있다. 검사 스테이지는, 패널 받이를 스테이지 본체에 의해 최소한 삼차원적으로 이동시킨다.The inspection stage is provided with a panel support such as a top face of chuck that receives the panel to the panel receiving part on the upper part of the stage main body. The contact unit is installed in the panel tray. The inspection stage moves the panel receiver at least three-dimensionally by the stage body.

그러나 상기 종래의 검사장치에서는, 패널 받이의 패널 받음부의 크기가 불변이기 때문에, 검사 가능한 표시용 패널의 크기가 패널 받이 및 접촉자 유닛에 의해 결정되고, 따라서 크기가 다른 패널의 검사에 적용할 수 없다.However, in the conventional inspection apparatus, since the size of the panel receiving portion of the panel receiving is invariant, the size of the inspectable display panel is determined by the panel receiving and contactor unit, and thus cannot be applied to inspection of panels having different sizes. .

상기의 결과, 종래의 검사장치에서는, 패널 받이를 검사 스테이지에 설치하고 있는 것과 더불어, 크기가 다른 표시용 패널의 검사를 할 때는, 접촉자 유닛 및 검사 스테이지 양자의 교환을 하지 않으면 안되어, 그 작업이 번잡하다.As a result of the above, in the conventional inspection apparatus, in addition to providing the panel support to the inspection stage, when inspecting a display panel having a different size, both the contact unit and the inspection stage must be replaced. It is troublesome.

본 발명의 목적은, 검사 스테이지의 교환을 하지 않고, 다른 크기의 표시용 패널의 검사를 가능하게 하기 위한 것이다.An object of the present invention is to enable inspection of display panels of different sizes without replacing the inspection stages.

본 발명의 상기의 목적 및 기타의 목적들은 하기 설명되는 본 발명에 의하여 모두 달성될 수 있다. 이하 본 발명의 내용을 하기에 상세히 설명한다.The above and other objects of the present invention can be achieved by the present invention described below. Hereinafter, the content of the present invention will be described in detail.

본 발명에 따른 패널의 검사장치는, 제1 개구를 갖는 판상의 제1 베이스와, 판상을 한 4개의 제2 베이스로서 상기 제1 베이스에 틀 형상으로 배치된 제2 베이스와, 최소한 2개의 서로 이웃하는 제2 베이스에 배치된 복수의 접촉자 유닛을 포함한다. 상기 제2 베이스는, 상기 제1 베이스와 평행한 면내에서 이차원적으로 이동 가능하게 되어 있고, 또 표시용 패널을 받는 패널 받이로써 상기 제1 개구와 마주보는 제2 개구를 함께 형성하는 패널 받이를 갖추고 있다.An inspection apparatus for a panel according to the present invention includes a plate-shaped first base having a first opening, a second base arranged in a frame shape on the first base as four plate-shaped second bases, and at least two of each other. And a plurality of contact units disposed in the neighboring second base. The second base is a panel receiver which is movable two-dimensionally in a plane parallel to the first base, and receives a panel for display, which together form a second aperture facing the first opening. Equipped.

본 발명에 따른 패널의 검사장치는, 제2 베이스가 표시용 패널을 받는 패널 받이를 갖추고, 그들 패널 받이가 제1 베이스에 형성된 제1 개구와 마주보는 제2 개구를 함께 형성한다.An inspection apparatus for a panel according to the present invention has a panel base receiving a panel for display by a second base, and together forming a second opening facing the first opening formed in the first base.

또 본 발명에 따른 패널의 검사장치는, 이것이 검사 스테이지에 설치된 상태에서, 검사해야 할 표시용 패널을 제2 베이스에 갖추어진 패널 받이에 받는다.Moreover, the inspection apparatus of the panel which concerns on this invention receives the display panel to be inspected by the panel base equipped in the 2nd base, in the state in which it was installed in the inspection stage.

게다가 본 발명에 따른 패널의 검사장치는, 검사해야 할 표시용 패널의 종류를 변경할 때에는 제2 베이스가 이차원적으로 이동되고, 그에 따라 제2 개구의 크기가 변경된다.Further, in the panel inspection apparatus according to the present invention, when the type of display panel to be inspected is changed, the second base is moved two-dimensionally, and the size of the second opening is changed accordingly.

이 때문에, 본 발명에 의하면, 서로 이웃하는 2개의 제2 베이스의 각각에 접 촉자 유닛이 설치되어 있는 것과 더불어, 검사해야 할 표시용 패널을 크기가 다른 다른 표시용 기판으로 변경할 때에는, 제2 베이스를 새로운 표시용 패널에 적합하도록 이차원적으로 이동시키는 것만으로 된다. 따라서 검사 스테이지를 교환하지 않고, 다른 크기의 표시용 패널의 검사가 가능해진다. 또, 패널 받이를 검사 스테이지에 갖출 필요가 없다.For this reason, according to the present invention, the contact unit is provided in each of the two neighboring second bases, and when the display panel to be inspected is changed to another display substrate having a different size, the second base is used. Is simply moved two-dimensionally so as to be suitable for a new display panel. Therefore, it is possible to inspect the display panels of different sizes without replacing the inspection stages. In addition, it is not necessary to equip the panel stage with the inspection stage.

각 제2 베이스는, 상기 제2 베이스의 이동방향 중, 상기 제2 개구의 크기에 변화를 주는 제1 방향과, 상기 제2 개구의 크기에 변화를 주지 않는 제2 방향으로 이동 가능해도 좋다. 그와 같이 하면, 검사해야 할 패널의 크기에 맞추어 제2 베이스를 용이하고 정확하게 이동시킬 수 있다.Each 2nd base may be movable in the 1st direction which changes the magnitude | size of the said 2nd opening among the moving directions of the said 2nd base, and the 2nd direction which does not change the magnitude | size of the said 2nd opening. By doing so, the second base can be easily and accurately moved in accordance with the size of the panel to be inspected.

각 접촉자 유닛은, 상기 제2 방향에서의 위치를 변경 가능하게 상기 제2 베이스에 설치되어 있을 수 있다. 그와 같이 하면, 전극의 배치 위치가 다른 표시용 패널의 검사에도 이용할 수 있다.Each contact unit may be provided in the said 2nd base so that the position in a said 2nd direction can be changed. By doing so, it can also be used for the inspection of display panels having different electrode placement positions.

패널의 검사장치는, 상기 제2 베이스를 이차원적으로 이동 가능하게 상기 제1 베이스에 각각 결합하는 4개의 결합장치를 더 포함하고, 각 결합장치는 상기 제1 및 제2 베이스의 어느 한쪽에 설치되고, 상기 제1 방향으로 연장하는 제1 레일과, 상기 제1 레일에 이동 가능하게 결합된 제1 가이드와, 상기 제1 및 제2 베이스의 다른쪽에 설치되어 상기 제2 방향으로 연장하는 제2 레일과, 상기 제2 레일에 상대적 이동이 가능하게 결합되어 있음과 동시에 상기 제1 가이드에 상대적 이동이 불가능하게 결합된 제2 가이드를 포함할 수 있다.The inspection apparatus of the panel further includes four coupling devices for coupling the second base to the first base so as to be two-dimensionally movable, and each coupling device is installed on either one of the first and second bases. And a first rail extending in the first direction, a first guide movably coupled to the first rail, and a second installed on the other side of the first and second bases and extending in the second direction. It may include a rail and a second guide coupled to the second rail so as to be relatively movable, and coupled to the first guide so as not to be relatively movable.

각 결합장치는, 대응하는 제2 베이스 및 그 이웃하는 제2 베이스의 어느 한 쪽에 설치되어 상기 제2 레일과 평행하게 연장하는 제3 레일과, 상기 제3 레일에 상대적 이동이 가능하게 결합되어 있음과 동시에 대응하는 제2 베이스 및 그 이웃하는 제2 베이스의 다른쪽에 상대적 이동이 불가능하게 결합된 제3 가이드를 더 포함할 수 있다. 그와 같이 하면, 하나의 제2 베이스를 이동시키면, 이것에 결합된 이웃하는 제2 베이스가 필연적으로 이동하기 때문에, 제2 베이스의 이동을 용이하고 정확하게 할 수 있다.Each coupling device is provided on one of a corresponding second base and a neighboring second base, and is coupled to the third rail and extends in parallel with the second rail so as to be movable relative to the third rail. And a third guide coupled to the corresponding second base and the other side of the neighboring second base so that relative movement is impossible. In such a case, when one second base is moved, the neighboring second bases coupled thereto are inevitably moved, so that the movement of the second base can be easily and accurately performed.

패널의 검사장치는, 상기 제2 베이스를 상기 제1 베이스에 해제 가능하게 각각 고정하는 4개의 제1 고정장치를 더 포함하고, 각 제1 고정장치는 설치 위치를 변경 가능하게 상기 제1 베이스에 설치된 제1 부재와, 대응하는 제2 베이스에 설치된 제2 부재와, 상기 제1 및 제2 부재의 어느 한쪽에 결합되어 상기 제1 및 제2 부재의 상대적 위치를 해제 가능하게 고정하는 한 쌍의 나사부재를 포함할 수 있다.The inspection device of the panel further includes four first fixing devices for releasably fixing the second base to the first base, and each first fixing device is mounted on the first base to change an installation position. A pair of first members provided, a second member provided on a corresponding second base, and a pair of ones coupled to one of the first and second members to releasably fix the relative positions of the first and second members. It may include a screw member.

게다가, 패널의 검사장치는 상기 접촉자 유닛을 대응하는 제2 베이스에 해제 가능하게 각각 고정하는 복수의 제2 고정장치를 포함하고, 각 제2 고정장치는 상기 접촉자 유닛을 사이에 두고 상기 제2 방향에서의 설치 위치를 변경 가능하게 상기 제2 베이스에 설치된 한 쌍의 금구와, 상기 금구에 결합되어 상기 접촉자 유닛을 함께 끼우는 최소한 한 쌍의 나사부재를 포함할 수 있다.In addition, the inspection device of the panel includes a plurality of second fixing devices each releasably fixing the contact unit to a corresponding second base, wherein each second fixing device is arranged in the second direction with the contact unit interposed therebetween. In order to be able to change the mounting position in the second base and a pair of brackets, and coupled to the bracket may include at least a pair of screw member for fitting the contact unit together.

각 제2 베이스는 상기 제2 방향으로 연장해 있고, 상기 패널 받이는 대응하는 제2 베이스 중, 상기 제2 개구쪽 가장자리에 배치되어 있어도 좋다.Each second base extends in the second direction, and the panel support may be disposed at an edge of the second opening side of the corresponding second base.

패널의 검사장치는, 상기 제2 개구를 폐쇄하도록 상기 제1 베이스에 설치된 광 확산판을 더 포함할 수 있다. 그와 같이 하면, 검사해야 할 표시용 패널이 광 확산판의 가까이에 받아지기 때문에, 광 확산판에서 확산된 빛이 패널에 효과적으로 조사된다.The inspection apparatus of the panel may further include a light diffuser plate installed in the first base to close the second opening. In this case, since the display panel to be inspected is received near the light diffusion plate, light diffused from the light diffusion plate is effectively irradiated to the panel.

게다가 패널의 검사장치는, 상기 패널 받이에 받아진 표시용 패널의 가장자리가 접할 수 있게 서로 이웃하는 2개의 제2 베이스에 배치된 복수의 스토퍼 핀과, 상기 패널 받이에 받아진 표시용 패널을 상기 스토퍼 핀을 향해 누르도록, 서로 이웃하는 다른 2개의 제2 베이스에 배치된 복수의 푸셔를 포함할 수 있다. 그와 같이 하면, 패널 받이에 받아진 표시용 패널이 패널의 검사장치에 대하여, 용이하게 위치가 정해진다.In addition, the inspection device for the panel includes a plurality of stopper pins disposed on two adjacent second bases so that the edges of the display panel received by the panel receiver are in contact with each other, and the display panel received by the panel receiver. It may include a plurality of pushers disposed in two different second bases adjacent to each other to press toward the stopper pin. By doing so, the display panel received by the panel receiver is easily positioned with respect to the inspection device of the panel.

각 접촉자 유닛은, 상기 패널 받이에 받아진 표시용 패널의 전극에 해제 가능하게 접촉되는 복수의 접촉자를 갖는 접촉자 블록을 갖출 수 있다.Each contact unit may be provided with a contact block having a plurality of contacts releasably contacting the electrodes of the display panel received by the panel receiver.

각 제2 베이스는 상기 제1 개구의 대응하는 가장자리의 길이치수 이상의 길이치수를 가질 수 있다.Each second base may have a length dimension that is greater than or equal to the length dimension of the corresponding edge of the first opening.

도1∼도10을 참조하면, 패널의 검사장치(10)는 표시용 패널(12)(도10 참조)을 통전회로에 접속하여, 점등검사와 같은 통전시험을 하는 검사장치에 이용된다.1 to 10, the panel inspection apparatus 10 is used for an inspection apparatus that connects the display panel 12 (see FIG. 10) to an energization circuit and performs an energization test such as lighting inspection.

피검사체로서의 패널(12)은 사각형의 형상을 갖고 있고, 또 사각형의 변의 몇 개에 대응하는 가장자리의 각각에 복수의 전극을 갖춘다. 도시한 예에서는, 패널(12)은 액정을 봉입한 액정 표시 패널이고, 또 마주보는 2개의 가장자리 및 남은 하나의 가장자리의 각각에 복수의 전극을 대응하는 가장자리의 길이방향으로 간격을 두고 갖고 있다.The panel 12 as a test object has a rectangular shape and has a plurality of electrodes on each of edges corresponding to some of the square sides. In the illustrated example, the panel 12 is a liquid crystal display panel in which liquid crystal is enclosed, and the plurality of electrodes are spaced in the lengthwise direction of the corresponding edge at each of the two opposite edges and the remaining one edge.

검사장치는, 도2에 나타낸 바와 같이, 도시하지 않은 하우징 프레임에 설치된 검사 스테이지(14)를 포함한다. 검사 스테이지(14)는, 지지대(16)를 스테이지 본체(18) 위에 설치하고, 지지대(16)에 백라이트 유닛(20)을 배치하고 있다.As shown in Fig. 2, the inspection apparatus includes an inspection stage 14 provided in a housing frame (not shown). The inspection stage 14 installs the support base 16 on the stage main body 18, and arrange | positions the backlight unit 20 in the support base 16.

지지대(16)는, 사각형의 판 형상을 갖는 지지 베이스(22)와 사각형의 판 형상을 갖는 받음 베이스(24)를, 이들이 상하방향으로 간격을 두고 평행한 상태로, 복수의 지주(26)에 의해 맞붙이고 있다.The support base 16 has a support base 22 having a rectangular plate shape and a receiving base 24 having a rectangular plate shape in a plurality of struts 26 in a state in which they are parallel at intervals in the vertical direction. Is working by.

받음 베이스(24)는, 이것의 중앙영역을 두께 방향으로 관통하는 개구(28)에 의해, 틀 형상으로 형성되어 있다. 이에 의해, 개구(28)를 통하여 위쪽으로 개방하는 공간이 지지대(16)에 형성되어 있다.The receiving base 24 is formed in the frame shape by the opening 28 which penetrates the center area | region in this thickness direction. Thereby, the space which opens upward through the opening 28 is formed in the support stand 16. As shown in FIG.

스테이지 본체(18)는, 지지대(16)를 X, Y 및 Z의 세 방향으로(삼차원적으로) 변위시킴과 동시에, Z방향으로 연장하는 θ 축선 주위에 각도적으로 회전시킨다.The stage main body 18 displaces the support 16 in three directions (three-dimensionally) of X, Y, and Z, and rotates it angularly around the (theta) axis extended in a Z direction.

백라이트 유닛(20)은, 백색 전구나 백색 형광등과 같은 복수의 백라이트(30)를 위쪽으로 개방하는 수납용기(32)에 수용하고 있다(도2 참조). 수납용기(32)는 지지대(16)의 상기 공간에 배치되고, 지지 베이스(22)에 설치되어 있다.The backlight unit 20 houses a plurality of backlights 30, such as a white bulb and a white fluorescent lamp, in a storage container 32 that opens upwards (see FIG. 2). The storage container 32 is arrange | positioned in the said space of the support stand 16, and is provided in the support base 22. As shown in FIG.

패널의 검사장치(10)는, 받음 베이스(24)에 놓인 사각형의 판상을 한 설치 베이스 즉 제1 베이스(34)와, 제1 베이스(34) 위에 사각형으로 배치된 4개의 프로브 베이스 즉 제2 베이스(36)와, 3개의 제2 베이스(36)에 배치된 복수의 접촉자 유닛(38)을 포함한다.The inspection device 10 of the panel includes a rectangular plate-shaped mounting base placed on the receiving base 24, that is, a first base 34, and four probe bases arranged in a square shape on the first base 34, that is, the second. A base 36 and a plurality of contact units 38 disposed on the three second bases 36 are included.

제1 베이스(34)는, 받음 베이스(24)의 개구(28)와 유사한 사각형의 개구(40)를 중앙에 갖고 있고, 또 복수의 나사부재(도시하지 않음)에 의해 받음 베이스(24) 위에 탈착 가능하게 설치되어 있다. 개구(40)는 제1 베이스(34)의 두께 방향으로 관통하고 있다.The first base 34 has a rectangular opening 40 similar to the opening 28 of the receiving base 24 in the center, and is placed on the receiving base 24 by a plurality of screw members (not shown). It is detachably installed. The opening 40 penetrates in the thickness direction of the first base 34.

각 제2 베이스(36)는, 긴 판의 형상을 갖고 있고, 또 개구(40)의 대응하는 가장자리의 길이치수 이상의 길이치수를 갖고 있다. 각 제2 베이스(36)는, 이것의 길이방향에서의 일단면을 도1 및 도3에 있어서 개구(44) 주위에 있어서의 시계방향으로 옆에 위치하는 다른 제2 베이스(36)의 개구(44)쪽 가장자리에 접하게 하고 있다.Each second base 36 has the shape of an elongated plate, and has a length dimension equal to or greater than the length dimension of the corresponding edge of the opening 40. Each of the second bases 36 has one end face in the longitudinal direction thereof with an opening of another second base 36 located laterally clockwise around the opening 44 in FIGS. 1 and 3. 44) is facing the edge.

제2 베이스(36)는, 패널(12)을 제1 베이스(34)와 평행하게 받는 패널 받이(42)를 상부에 갖추고 있다. 패널 받이(42)는 장방형의 단면형상을 갖는 소위 각주형상을 한 긴 부재의 형상을 하고 있고, 또 대응하는 제2 베이스(36)의 폭방향에서의 개구(40)쪽 단부를 대응하는 제2 베이스(36)의 길이방향으로 연장하고 있다.The 2nd base 36 has the panel base 42 which receives the panel 12 in parallel with the 1st base 34 at the upper part. The panel support 42 has the shape of a long member having a rectangular cross-sectional shape having a rectangular cross section, and has a second end corresponding to an end portion of the opening 40 in the width direction of the corresponding second base 36. It extends in the longitudinal direction of the base 36.

각 제2 베이스(36)는, 4개의 패널 받이(42)가 개구(40)와 마주보는 개구(44)를 형성하도록, 결합장치(46)에 의해 제1 베이스(34)와 평행한 면내에서 이차원적으로 이동 가능하게 제1 베이스(34)에 결합되어 있다. 개구(44)는 개구(28 및 40)와 유사한 사각형의 형상을 갖는다.Each second base 36 is in-plane parallel to the first base 34 by the coupling device 46 such that the four panel receivers 42 form an opening 44 facing the opening 40. It is coupled to the first base 34 to be movable two-dimensionally. The opening 44 has a rectangular shape similar to the openings 28 and 40.

패널의 검사장치로서 조립된 상태에 있어서, 패널 받이(42)의 개구(44)쪽 가장자리는, 개구(44)를 함께 형성하는 가장자리로서 작용한다. 개구(28 및 40)는 같은 크기를 갖지만, 개구(44)는 개구(28 및 40)보다 작다.In the state assembled as the inspection apparatus of a panel, the edge of the opening 44 side of the panel receiver 42 functions as an edge which forms the opening 44 together. The openings 28 and 40 have the same size, but the opening 44 is smaller than the openings 28 and 40.

개구(44)는, 복수의 설치부재(50)에 의해 제1 베이스(34)의 아래쪽에 설치된 광 확산판(48)에 의해 폐쇄되어 있다. 광 확산판(48)은, 백라이트(30)로부터의 빛 을 확산시켜 패널(12)의 배면에 효과적이고 균일하게 조사한다.The opening 44 is closed by the light diffusion plate 48 provided below the first base 34 by the plurality of mounting members 50. The light diffusion plate 48 diffuses the light from the backlight 30 and irradiates the back surface of the panel 12 effectively and uniformly.

각 결합장치(46)는, 제2 베이스(36)의 길이방향과 직교하는 방향(제1 방향)으로 연장하도록 제1 베이스(34)의 윗면에 설치된 제1 레일(52)과, 제1 레일(52)에 이동 가능하게 결합된 제1 가이드(54)와, 제2 베이스(36)의 길이방향(제2 방향)으로 연장하도록 제2 베이스(36)의 아래면에 설치된 제2 레일(56)과, 제2 레일(56)에 상대적 이동이 가능하게 결합되어 있음과 동시에 제1 가이드(54)에 상대적 이동이 불가능하게 결합된 제2 가이드(58)를 포함한다.Each coupling device 46 includes a first rail 52 provided on an upper surface of the first base 34 so as to extend in a direction orthogonal to the longitudinal direction of the second base 36 (first direction), and the first rail. The first guide 54 movably coupled to the 52 and the second rail 56 provided on the bottom surface of the second base 36 to extend in the longitudinal direction (second direction) of the second base 36. And a second guide 58 coupled to the second rail 56 so as to be relatively movable, and coupled to the first guide 54 so as not to be relatively movable.

이 때문에, 개구(44)의 크기는 모든 제2 베이스(36)가 동시에 이동되면 변화한다. 또 각 제2 베이스(36)가 제1 레일(52)을 따라서만 단독으로 이동되면 변화하지만, 각 제2 베이스(36)가 제2 레일(56)을 따라서만 단독으로 이동되어도 변화하지 않는다. For this reason, the size of the opening 44 changes when all the second bases 36 are moved at the same time. Moreover, although each 2nd base 36 moves only along the 1st rail 52, it changes, but it does not change even if each 2nd base 36 moves only along the 2nd rail 56 only.

또 각 결합장치(46)는, 대응하는 제2 베이스(36)에 설치되고 제2 레일(56)과 평행하게 연장하는 제3 레일(60)과, 제3 레일(60)에 상대적 이동이 가능하게 결합된 제3 가이드(62)를 포함한다. 제3 가이드(62)는 연결부재(64)에 의해 대응하는 제2 베이스(36)에 대하여, 도1 및 도3에 있어서 개구(44) 주위에 있어서의 반시계방향으로 옆에 위치하는 다른 제2 베이스(36)에 상대적 이동이 불가능하게 결합되어 있다.In addition, each coupling device 46 is relatively movable to the third rail 60 and the third rail 60 provided in the corresponding second base 36 and extending in parallel with the second rail 56. And a third guide 62 coupled thereto. The third guide 62 is formed of another agent positioned laterally counterclockwise around the opening 44 in FIGS. 1 and 3 with respect to the corresponding second base 36 by the connecting member 64. The relative movement of the two bases 36 is impossible.

이 때문에, 각 제2 베이스(36)는, 이것이 제1 방향으로 이동됨으로써, 반시계방향으로 옆에 위치하는 제2 베이스(36)를 같은 방향으로 이동시키고, 제2 방향으로 이동됨으로써, 시계방향으로 옆에 위치하는 제2 베이스(36)를 같은 방향으로 이동시킨다.For this reason, each 2nd base 36 moves a 2nd base 36 located next to it counterclockwise by moving it to a 1st direction by moving it to a 2nd direction, and a clockwise direction by moving to 2nd direction. Next, the second base 36 located next to is moved in the same direction.

상기와는 반대로, 각 제2 베이스(36)는, 반시계방향으로 옆에 위치하는 제2 베이스(36)가 이것의 제2 방향으로 이동됨으로써, 같은 방향으로 이동되고, 시계방향으로 옆에 위치하는 제2 베이스(36)가 이것의 제1 방향으로 이동됨으로써, 같은 방향으로 이동된다.Contrary to the above, each second base 36 is moved in the same direction by moving the second base 36 which is located in the counterclockwise direction in the second direction thereof, and is positioned in the clockwise direction. The second base 36 to be moved in its first direction is moved in the same direction.

각 제2 베이스(36)는, 제1 고정장치(66)에 의해 제1 베이스(34)에 해제 가능하게 각각 고정된다.Each second base 36 is releasably fixed to the first base 34 by the first fixing device 66.

각 제1 고정장치(66)는 도6 및 도7에 나타낸 바와 같이, 설치 위치를 변경 가능하게 제1 베이스(34)에 설치된 제1 부재(68)와, 대응하는 제2 베이스(36)에 설치된 제2 부재(70)와, 제1 및 제2 부재(68 및 70)의 상대적 위치를 해제 가능하게 고정하는 한 쌍의 나사부재(72 및 74)를 포함한다.As shown in Figs. 6 and 7, each first fixing device 66 is provided with a first member 68 provided on the first base 34 and a corresponding second base 36 so that the installation position can be changed. A second member 70 provided and a pair of screw members 72 and 74 for releasably fixing the relative positions of the first and second members 68 and 70.

제1 부재(68)는, 두개의 변에 의해 L자상으로 형성된 L금구(金具)이고, 또 한쪽 변이 제1 베이스(34)로부터 일어서는 상태로, 다른쪽 변에서 한 쌍의 나사부재(76)에 의해 제1 베이스(34) 윗면의 임의의 부분에 탈착 가능하게 설치되어 있다. 이 때문에, 제1 베이스(34)는, 나사부재(76)를 결합시키기 위한 다수의 나사구멍을 소정의 간격으로 갖고 있다.The first member 68 is an L bracket formed in an L shape by two sides, and a pair of screw members 76 on the other side, with one side standing up from the first base 34. ) Is detachably attached to any portion of the upper surface of the first base 34. For this reason, the 1st base 34 has many screw holes for engaging the screw member 76 at predetermined spaces.

제2 부재(70)는 긴 판상의 부재이고, 또 제2 베이스(36)의 패널 받이(42)쪽과 반대쪽 가장자리에 고정되어 있고, 게다가 패널 받이(42)와 평행하게 연장해 있다.The 2nd member 70 is an elongate plate-shaped member, is fixed to the edge on the opposite side to the panel receiver 42 of the 2nd base 36, and extends parallel to the panel receiver 42 further.

한쪽 나사부재(72)는 제2 부재(72)를 관통하여 제1 부재(68)에 결합해 있고, 다른쪽 나사부재(74)는 제1 부재(68)의 나사구멍에 결합되어 선단을 제2 베이스(36)에 접하게 하고 있다.One screw member 72 is coupled to the first member 68 through the second member 72, and the other screw member 74 is coupled to the screw hole of the first member 68 to remove the tip. The two bases 36 are in contact with each other.

각 제1 고정장치(66)는, 한쪽 나사부재(72)를 제1 부재(68)에 조여 넣고, 제2 베이스(36)를 나사부재(74)의 선단에 누름으로써, 제2 베이스(36)를 제1 베이스(34)에 해제 가능하게 고정한다.Each 1st fixing device 66 clamps one screw member 72 to the 1st member 68, and presses the 2nd base 36 to the front-end | tip of the screw member 74, and the 2nd base 36 is carried out. ) Is releasably fixed to the first base 34.

제1 베이스(34)에 대한 제2 베이스(36)의 엉성한 위치관계는, 제1 베이스(34)에의 제1 부재(68)의 설치 위치에 의해 결정된다. 제1 베이스(34)에 대한 제2 베이스(36)의 정밀한 위치관계는, 나사부재(74)의 조임 양에 의해 조정할 수 있다.The loose positional relationship of the 2nd base 36 with respect to the 1st base 34 is determined by the installation position of the 1st member 68 to the 1st base 34. As shown in FIG. The precise positional relationship of the 2nd base 36 with respect to the 1st base 34 can be adjusted with the fastening amount of the screw member 74. FIG.

서로 이웃하는 2개의 제2 베이스(36)의 각각에는, 패널(12)의 가장자리가 접할 수 있는 복수의 스토퍼 핀(80)이 설치되어 있다. 서로 이웃하는 다른 2개의 제2 베이스(36)의 각각에는 패널(12)을 마주보는 스토퍼 핀(80)을 향해 누르는 1 이상의 푸셔(82)가 설치되어 있다.In each of the two second bases 36 adjacent to each other, a plurality of stopper pins 80 which the edges of the panel 12 can contact are provided. Each of the two other second bases 36 which are adjacent to each other is provided with one or more pushers 82 for pressing toward the stopper pin 80 facing the panel 12.

도시한 예에서는, 2개의 스토퍼 핀(80)이 서로 이웃하는 2개의 제2 베이스(36)에 패널 받이(42)의 길이방향으로 간격을 두고 설치되어 있음과 동시에, 2개의 푸셔(82)가 서로 이웃하는 다른 2개의 제2 베이스(36)의 각각에 설치되어 있다.In the illustrated example, two stopper pins 80 are provided on two second bases 36 adjacent to each other at intervals in the longitudinal direction of the panel receiver 42, and two pushers 82 are provided. It is provided in each of two other 2nd bases 36 which adjoin each other.

도10에 나타낸 바와 같이, 각 스토퍼 핀(80)은 대응하는 제2 베이스(36)의 윗면에 제2 베이스(36)의 길이방향으로 이동 가능하게, 그리고 제2 베이스(36)의 길이방향에서의 위치를 변경 가능하게 배치되어 있다.As shown in FIG. 10, each stopper pin 80 is movable in the longitudinal direction of the second base 36 on the upper surface of the corresponding second base 36 and in the longitudinal direction of the second base 36. The position of is arrange | positioned so that change is possible.

도시한 예에서는, 패널의 검사장치(10)는 스토퍼 핀(80)을 위해, 레일(84)을 제2 베이스(36)의 윗면에 그 길이방향으로 연장하는 상태로 배치하고, 가이드(86)를 레일(84)로 이동 가능하게 끼우고 있다. 스토퍼 핀(80)은, 가이드(86)에 설치되어 있다.In the example shown, the panel inspection apparatus 10 arranges the rail 84 on the upper surface of the second base 36 in the longitudinal direction for the stopper pin 80, and guides 86. Is inserted into the rail 84 to be movable. The stopper pin 80 is provided in the guide 86.

가이드(86)는, 1 이상의 적절한 정지구(도시하지 않음)에 의해 제2 베이스(36)에 해제 가능하게 설치된다. 각 제2 베이스(36)는, 그와 같은 정지구에 이용되는 나사부재가 결합되는 복수의 나사 구멍을 길이방향으로 간격을 두고 갖고 있다. 이 때문에, 제2 베이스(36)에의 가이드(86)의 고정 위치를 변경함으로써, 제2 베이스(36)의 길이방향에서의 스토퍼 핀(80)의 위치를 변경할 수 있다.The guide 86 is releasably attached to the second base 36 by one or more suitable stoppers (not shown). Each second base 36 has a plurality of screw holes spaced in the longitudinal direction to which the screw member used for such a stopper is engaged. For this reason, the position of the stopper pin 80 in the longitudinal direction of the 2nd base 36 can be changed by changing the fixing position of the guide 86 to the 2nd base 36. FIG.

각 스토퍼 핀(80)은 원형의 스토퍼 편(88)과, 스토퍼 편(88)을 지지하는 지지핀(90)을 갖추고 있고, 또 스토퍼 편(88)이 대응하는 제2 베이스(36)의 패널 받이(42)로부터 위쪽으로 돌출하는 상태로, 가이드(86)에 지지핀(90)에 있어서 설치되어 있다.Each stopper pin 80 has a circular stopper piece 88 and a support pin 90 for supporting the stopper piece 88, and the panel of the second base 36 to which the stopper piece 88 corresponds. It is provided in the support pin 90 in the guide 86 in the state which protrudes upwards from the support 42.

도8 및 도10에 나타낸 바와 같이, 각 푸셔(82)는 대응하는 제2 베이스(36)의 윗면에 제2 베이스(36)의 길이방향으로 이동 가능하게, 그리고 제2 베이스(36)의 길이방향에서의 위치를 변경 가능하게 배치되어 있다.As shown in FIGS. 8 and 10, each pusher 82 is movable on the top surface of the corresponding second base 36 in the longitudinal direction of the second base 36 and the length of the second base 36. It is arrange | positioned so that the position in a direction can be changed.

도시한 예에서는, 패널의 검사장치(10)는 또 푸셔(82)를 위해, 레일(92)을 제2 베이스(36)의 윗면에 그 길이방향으로 연장하는 상태로 배치하고, 가이드(94)를 레일(92)에 이동 가능하게 끼우고, 레일(96)을 가이드(94)에 레일(92)과 직교하는 방향으로 연장하는 상태로 설치하고, 가이드(98)를 레일(96)에 이동 가능하게 끼우고 있다. 푸셔(82)는 가이드(98)에 설치되어 있다.In the example shown, the panel inspection apparatus 10 further arranges the rail 92 on the upper surface of the second base 36 in the longitudinal direction for the pusher 82, and guides 94. To the rail 92 so as to be movable, the rail 96 is installed in the guide 94 in a state extending in the direction orthogonal to the rail 92, and the guide 98 is movable to the rail 96. Is wearing. The pusher 82 is installed in the guide 98.

가이드(94)는, 한 쌍의 정지구(99)에 의해 제2 베이스(36)에 해제 가능하게 설치된다. 각 제2 베이스(36)는, 그와 같은 정지구(99)에 이용하는 나사부재가 결합되는 복수의 나사구멍을 길이방향으로 간격을 두고 갖고 있다. 이 때문에, 제2 베이스(36)에의 가이드(94)의 고정 위치를 변경함으로써, 제2 베이스(36)의 길이방향에서의 푸셔(82)의 위치를 변경할 수 있다.The guide 94 is detachably attached to the second base 36 by a pair of stoppers 99. Each second base 36 has a plurality of screw holes spaced in the longitudinal direction to which the screw member used for such a stopper 99 is engaged. For this reason, by changing the fixing position of the guide 94 to the 2nd base 36, the position of the pusher 82 in the longitudinal direction of the 2nd base 36 can be changed.

각 푸셔(82)는, 원형의 푸쉬 편(100)과, 푸쉬 편(100)을 지지하는 지지핀(102)과, 가이드(98) 및 지지핀(102)을 사이에 두고 푸쉬 편(100)을 진퇴시키는 푸쉬기구(104)를 갖추고 있고, 또 푸쉬 편(100)이 대응하는 제2 베이스(36)의 패널 받이(42)로부터 위쪽으로 돌출하는 상태로, 가이드(98)에 지지핀(102)에 있어서 설치되어 있다.Each pusher 82 has a circular push piece 100, a support pin 102 for supporting the push piece 100, a push piece 100 with a guide 98 and a support pin 102 interposed therebetween. The support pin 102 on the guide 98 with a push mechanism 104 for advancing and retracting the push piece 100, and the push piece 100 protrudes upward from the panel support 42 of the corresponding second base 36. ) Is installed.

푸쉬기구(104)는, 솔레노이드 기구나 실린더 기구와 같이 왕복운동을 이용할 수 있다. 푸쉬기구(104)도 가이드(98)에 설치되어 있다.The push mechanism 104 can utilize a reciprocating motion like a solenoid mechanism and a cylinder mechanism. The push mechanism 104 is also provided in the guide 98.

각 푸셔(82)는, 푸쉬 편(100)이 패널(12)을 향해 전진됨으로써, 그 패널(12)을 스토퍼 핀(80)을 향해 누른다. 이에 의해, 패널(12)은 스토퍼 핀(80)과 푸셔(82)와의 공동작용에 의해 위치가 결정됨과 동시에, 파지(把持)된다.Each pusher 82 pushes the panel 12 toward the stopper pin 80 by pushing the push piece 100 toward the panel 12. As a result, the panel 12 is gripped at the same time as the position is determined by the cooperative action of the stopper pin 80 and the pusher 82.

푸쉬 편(100)이 패널(12)에 대하여 후퇴되면, 각 푸셔(82)는 스토퍼 핀(80)과의 공동에 의한 패널(12)의 파지를 해제한다.When the push piece 100 is retracted with respect to the panel 12, each pusher 82 releases the grip of the panel 12 by the cavity with the stopper pin 80.

각 접촉자 유닛(38)은 도11에서 도13에 나타낸 바와 같이, 제2 베이스(36)에 배치된 베이스판(110)과, 패널 받이(42)에 대하여 전진 및 후퇴 가능하게 베이스판(110)에 놓인 제1 이동 블록(112)과, 패널 받이(42)에 받아진 패널(12)에 대하여 경사진 방향으로 이동 가능하게 제1 이동 블록(112)에 배치된 제2 이동 블록(114) 과, 제2 이동 블록(114)에 지지된 접촉자 블록(116)을 포함한다.As shown in FIGS. 11 to 13, each contact unit 38 includes a base plate 110 disposed on the second base 36 and a base plate 110 so as to be able to move forward and backward with respect to the panel support 42. The first moving block 112 placed on the second moving block 114 disposed in the first moving block 112 so as to be movable in an inclined direction with respect to the panel 12 received by the panel support 42; And a contactor block 116 supported by the second moving block 114.

제1 이동 블록(112)의 이동방향은 패널 받이(42)에 받아진 패널(12)과 평행한 방향이고, 제2 이동 블록(114)의 이동방향은 그 패널(12)에 대하여 경사져 비스듬하게 상하방향으로 연장하는 방향이다.The moving direction of the first moving block 112 is a direction parallel to the panel 12 received by the panel receiving 42, and the moving direction of the second moving block 114 is inclined with respect to the panel 12 and obliquely. It is a direction extending in an up-down direction.

베이스판(110)은, 이 위에 가이드 레일(118)을 이것이 대응하는 제2 베이스(36)의 길이방향과 직교하는 방향(제1 방향)으로 연장하는 상태로 설치하고, 가이드(120)를 가이드 레일(118)에 미끄러질 수 있게 끼우고, 가이드(120)에 제1 이동 블록(112)을 지지시키고 있다.The base plate 110 installs the guide rail 118 in this state in the state which extends in the direction (1st direction) orthogonal to the longitudinal direction of the 2nd base 36 to which it corresponds, and guides the guide 120. It slides in the rail 118, and the 1st moving block 112 is supported by the guide 120. As shown in FIG.

베이스판(110)에는, 2조(組)의 스토퍼(124, 126)가 제1 이동 블록(112)의 이동방향으로 간격을 둔 상태로 설치되어 있다. 스토퍼(124, 126)는, 도시한 예에서는, 베이스판(110)에 직립으로 설치되어 있고, 또 스토퍼(124, 126)의 조 마다 제1 이동 블록(112)을 사이에 두고 제1 이동 블록(112)의 이동방향과 직교하는 방향으로 간격을 두고 있다.The base plate 110 is provided with two stoppers 124 and 126 spaced apart in the moving direction of the first moving block 112. In the illustrated example, the stoppers 124 and 126 are provided upright on the base plate 110, and the first moving block is disposed between the stoppers 124 and 126 with the first moving block 112 therebetween. There is a gap in the direction orthogonal to the moving direction of 112.

제1 이동 블록(112)은, 도시하지 않은 구동기구에 의해 나중에 설명하는 접촉자(122)가 패널(12)의 전극에 접촉하는 전진 위치와, 접촉자(122)가 패널(12)로부터 멀어져 후퇴하는 대기 위치 즉 후퇴 위치로 이동된다.The first moving block 112 is a forward position in which the contactor 122 described later is brought into contact with the electrode of the panel 12 by a driving mechanism (not shown), and the contactor 122 retreats away from the panel 12. It is moved to the standby position, ie the retracted position.

상기와 같은 이동기구로서, 잭(jack)식 구동기구, 솔레노이드 구동기구 등, 제1 방향에서의 제1 이동 블록(112)의 위치를 조정 가능한 것을 이용할 수 있다.As the above moving mechanism, a jack type drive mechanism, a solenoid drive mechanism, or the like, which can adjust the position of the first moving block 112 in the first direction, can be used.

제1 이동 블록(112)은, 이것이 전진 위치로 전진한 때에, 스토퍼(124)에 접하여 제1 이동 블록(112)의 전진을 제한하는 제한 블록(128)을 각 측부에 갖추고 있다.The first moving block 112 has a limiting block 128 on each side that contacts the stopper 124 and restricts the advance of the first moving block 112 when it is advanced to the forward position.

제2 이동 블록(114)은, 이것이 제1 이동 블록(112)과 함께 전진한 때에, 스토퍼(126)에 접하는 2조의 회전체(130)를 갖추고 있다. 각 조의 회전체(130)는 제2 이동 블록(114)으로부터 제1 이동 블록(112)의 옆쪽을 제2 이동 블록(114)이 후퇴하는 방향으로 연장하는 스토퍼 암(132)의 후단부에, 수평방향으로 연장하는 축선 주위에 회전 가능하게 설치되어 있다.When the 2nd moving block 114 advances with the 1st moving block 112, the 2nd moving block 114 is equipped with two sets of rotating bodies 130 which contact the stopper 126. As shown in FIG. Each set of the rotating body 130 is at the rear end of the stopper arm 132 extending from the second moving block 114 to the side of the first moving block 112 in the direction in which the second moving block 114 retreats, It is rotatably provided around the axis line extended in a horizontal direction.

제1 이동 블록(112)이 전진 위치 및 후퇴 위치로 이동된 것을, 각각 베이스판(110)에 배치된 센서(도시하지 않음)로 검출해도 좋다.You may detect that the 1st moving block 112 was moved to the forward position and the retracted position by the sensor (not shown) arrange | positioned at the base board 110, respectively.

제1 이동 블록(112)의 선단면(즉, 패널 받이(42)쪽 면)은, 패널 받이(42)쪽만큼 패널 받이(42)로부터 위쪽으로 멀어지도록, 패널(12)에 대하여 경사진 비스듬하게 아래쪽을 향하는 경사면(134)으로 되어 있다. 제1 이동 블록(112)은 경사면(134)을 따라 비스듬하게 상하방향으로 연장하는 가이드 레일(136)을 경사면(134)에 설치하고 있다.The front end surface of the first movable block 112 (ie, the panel receiver 42 side) is inclined with respect to the panel 12 so as to be spaced upward from the panel receiver 42 by the panel receiver 42 side. The inclined surface 134 is directed downward. The first moving block 112 is provided with a guide rail 136 on the inclined surface 134 extending obliquely along the inclined surface 134.

제2 이동 블록(114)은, 가이드 레일(136)에 이동 가능하게 끼워진 가이드(138)에 의해, 제1 이동 블록(112)에 설치되어 있다. 스토퍼 암(132)은 제2 이동 블록(114)에 나사로 고정되어 있다.The 2nd moving block 114 is provided in the 1st moving block 112 by the guide 138 inserted so that the movement to the guide rail 136 is possible. The stopper arm 132 is screwed to the second moving block 114.

각 조의 회전체(130)는, 스토퍼(126)에 접촉하여 회전하면서 경사면(134)의 경사방향으로 이동하도록, 상하방향으로 간격을 두고 있다. 각 회전체(130)는, 도시한 예에서는 스토퍼 암(132)에 장착된 롤러이지만, 볼(ball)과 같은 다른 부재여도 좋다.The rotary bodies 130 of the pairs are spaced in the vertical direction so as to move in the inclined direction of the inclined surface 134 while rotating in contact with the stopper 126. Each rotating body 130 is a roller attached to the stopper arm 132 in the illustrated example, but may be another member such as a ball.

제1 이동 블록(112)은, 경사면(134)에 경사면(134)과 직각으로 설치된 지지부(140)와, 지지부(140)로부터 경사면(134)과 평행하게 경사 위쪽으로 연장하는 로드(rod)(142)를 갖춘다.The first moving block 112 includes a support portion 140 installed on the inclined surface 134 at a right angle with the inclined surface 134, and a rod extending upwardly inclined from the support portion 140 in parallel with the inclined surface 134 ( 142).

제2 이동 블록(114)은, 로드(142)를 이것의 상부로부터 받아들이는 구멍(144)을 갖추고 있고, 또 로드(142)에 배치된 압축 코일 스프링과 같은 탄성체(146)에 의해 제1 이동 블록(112)으로부터 멀어지도록 제2 방향으로 힘이 가해지고 있다.The second moving block 114 has a hole 144 that receives the rod 142 from the top thereof, and is first moved by an elastic body 146 such as a compression coil spring disposed in the rod 142. Force is applied in the second direction away from the block 112.

각 접촉자(122)는, 포고(pogo) 핀 타입 또는 스프링 핀 타입의 프로브이고, 접촉자 블록(116)을 관통하여 연장하고 있다. 접촉자(122)는 패널(12)의 전극의 배열과 동일한 배열로 배치되어 있고, 또 접촉자 블록(116)에 설치된 배선기판(도시하지 않음)과, 이 배선기판에 설치된 커넥터(도시하지 않음)와, 이 커넥터에 접속된 플렉시블(flexible) 인쇄 배선판(도시하지 않음)을 사이에 두고, 검사장치의 전기회로에 전기적으로 접속된다.Each contactor 122 is a pogo pin type or a spring pin type probe and extends through the contactor block 116. The contacts 122 are arranged in the same arrangement as that of the electrodes of the panel 12, and a wiring board (not shown) provided on the contact block 116, a connector (not shown) provided on the wiring board, And a flexible printed wiring board (not shown) connected to this connector is electrically connected to the electric circuit of the inspection apparatus.

접촉자(122)의 선단과 패널(12)과의 평행도나 높이 위치는, 접촉자 유닛(38)마다 조정할 수 있다. 이 때문에, 그와 같은 평행도나 높이 위치의 조정작업이 용이해지고, 패널(12)과 접촉자(122)와의 사이에 콘택트 벗어남(contact misalignment)이 생길 우려가 저감된다.The parallelism and the height position of the tip of the contactor 122 and the panel 12 can be adjusted for each contactor unit 38. For this reason, the adjustment work of such a parallel degree and a height position becomes easy, and the possibility of contact misalignment between the panel 12 and the contactor 122 is reduced.

각 접촉자 유닛(38)은, 대응하는 제2 베이스(36)의 윗면에 제2 베이스(36)의 길이방향으로 이동 가능하게, 그리고 제2 베이스(36)의 길이방향에서의 위치를 변경 가능하게 배치되어 있다.Each contact unit 38 is movable on the upper surface of the corresponding second base 36 in the longitudinal direction of the second base 36 and in a position changeable in the longitudinal direction of the second base 36. It is arranged.

도8 및 도9에 나타낸 바와 같이, 패널의 검사장치(10)는 게다가 접촉자 유닛(38)을 위해, 레일(150)을 제2 베이스(36)의 윗면에 그 길이방향으로 연장하는 상태로 배치하고, 가이드(152)를 레일(150)에 이동 가능하게 끼우고 있다. 접촉자 유닛(38)은 베이스판(110)에서 가이드(152)에 설치되어 있다. 레일(150)은 볼록형(凸型)의 단면형상을 갖는다.As shown in Figs. 8 and 9, the inspection device 10 of the panel is further arranged for the contact unit 38, with the rail 150 extending in the longitudinal direction on the upper surface of the second base 36. The guide 152 is inserted into the rail 150 to be movable. The contact unit 38 is provided in the guide 152 on the base plate 110. The rail 150 has a convex cross-sectional shape.

각 접촉자 유닛(38)은, 제2 고정장치(160)에 의해 대응하는 제2 베이스(36)에 해제 가능하게 고정된다. 각 제2 고정장치(160)는, 상기 접촉자 유닛을 사이에 두고 상기 제2 방향에서의 설치 위치를 변경 가능하게 상기 제2 베이스에 설치된 한 쌍의 금구(162)와, 금구(162)의 나사구멍에 결합된 한 쌍의 나사부재(164)를 포함한다.Each contact unit 38 is releasably fixed to the corresponding second base 36 by the second fixing device 160. Each second fixing device 160 includes a pair of metal fittings 162 and screws of the metal fittings 162 provided in the second base such that the installation position in the second direction can be changed with the contact unit therebetween. It includes a pair of screw member 164 coupled to the hole.

각 금구(162)는, 2개의 변에 의해 L자상으로 형성된 L금구이고, 한쪽 변이 레일(150)로부터 일어서는 상태로 다른쪽 변을 관통하여 레일(150)의 나사구멍(166)에 결합된 한 쌍의 나사부재(168)에 의해 레일(150)의 윗면에 탈착 가능하게 설치되어 있다.Each bracket 162 is an L bracket formed in an L shape by two sides, and is coupled to the screw hole 166 of the rail 150 by passing through the other side with one side standing up from the rail 150. The pair of screw members 168 are detachably attached to the upper surface of the rail 150.

각 금구(162)의 한쪽 편(片) 부분은, 나사부재(164)가 결합된 나사구멍을 갖고 있다. 레일(150)은 나사부재(168)가 결합되는 복수의 나사구멍(166)을 레일(140)의 길이방향으로 일정한 간격을 두고 갖고 있다. 이 때문에, 나사부재(168)를 결합시키는 레일(150)의 나사구멍(166)을 변경함으로써, 제2 베이스(36)의 길이방향에서의 접촉자 유닛(38)의 위치를 변경할 수 있다.One side portion of each metal fitting 162 has a screw hole in which the screw member 164 is engaged. The rail 150 has a plurality of screw holes 166 to which the screw member 168 is coupled at regular intervals in the longitudinal direction of the rail 140. For this reason, by changing the screw hole 166 of the rail 150 which engages the screw member 168, the position of the contact unit 38 in the longitudinal direction of the 2nd base 36 can be changed.

제2 고정장치(160)는, 양 금구(162)의 나사구멍에 결합된 나사부재(164)에 의해 접촉자 유닛(38)을 함께 끼움으로써, 접촉자 유닛(38)을 제2 베이스(36)에 대하여 위치 결정한다.The second fixing device 160 fits the contactor unit 38 to the second base 36 by inserting the contactor unit 38 together by the screw member 164 coupled to the screw holes of both brackets 162. To determine the position.

제2 베이스(36)에 대한 접촉자 유닛(38)의 정밀한 위치 조정은, 금구(162)의 나사구멍에의 나사부재(164)의 조임 양을 조정함으로써 행할 수 있다.Precise position adjustment of the contact unit 38 with respect to the 2nd base 36 can be performed by adjusting the fastening amount of the screw member 164 to the screw hole of the metal fitting 162. FIG.

앞에 서술한 정지구(99)로서, 상기와 같은 구조를 갖는, 금구(162), 나사부재(164, 168) 및 나사구멍(166)을 이용할 수 있다.As the stopper 99 described above, the metal fittings 162, the screw members 164 and 168 and the screw holes 166 having the above structure can be used.

이어서 도14를 참조하여 검사장치의 동작을 설명한다.Next, the operation of the inspection apparatus will be described with reference to FIG.

대기 시, 제1 이동 블록(112)은 도14(A)에 나타낸 바와 같이, 패널 받이(42)로부터 대기 위치로 후퇴되어 있다. 이 때문에 제2 이동 블록(114)은, 패널 받이(42) 위의 패널(12)로부터 후퇴되어 있음과 동시에, 탄성체(146)에 의해 경사 위쪽으로 힘이 가해져 패널(12)로부터 위쪽으로 떨어져 있다.In the standby, the first moving block 112 is retracted from the panel receiver 42 to the standby position as shown in Fig. 14A. For this reason, the 2nd moving block 114 is retracted from the panel 12 on the panel support 42, and is urged upward by the elastic body 146, and is separated from the panel 12 upwards. .

대기상태에 있어서는, 제1 및 제2 이동 블록(112, 114) 및 접촉자 블록(116)이 패널 받이(42)에의 패널(12)의 배치 영역으로부터 떨어져 있기 때문에, 패널(12)을 패널 받이(42)에 대하여 용이하게 탈착할 수 있다.In the standby state, since the first and second moving blocks 112 and 114 and the contactor block 116 are separated from the arrangement area of the panel 12 on the panel receiver 42, the panel 12 is mounted on the panel receiver ( It can be easily detached with respect to 42).

푸셔(82)는, 패널(12)을 패널 받이(42)에 대하여 탈착할 때, 푸쉬 편(100)을 패널 받이(42)로부터 떨어지도록 후퇴시키고 있다.The pusher 82 retracts the push piece 100 from the panel support 42 when the panel 12 is detached from the panel support 42.

상기 상태에 있어서, 패널(12)이 패널 받이(42)에 놓이면, 푸셔(82)는 푸쉬 편(100)을 패널(12)을 향해 전진시킨다. 이에 의해, 패널 받이(42) 위의 패널(12)은 스토퍼 핀(80)에 눌리고, 패널 받이(42)에 대하여 소정의 상태로 위치가 결정된다. 이 때문에, 패널 받이(42)에 받아진 패널(12)을 패널의 검사장치(10)에 대하여 용이하게 위치 결정할 수 있다.In the above state, when the panel 12 is placed on the panel support 42, the pusher 82 advances the push piece 100 toward the panel 12. Thereby, the panel 12 on the panel support 42 is pressed by the stopper pin 80, and the position is determined with respect to the panel support 42 in a predetermined state. For this reason, the panel 12 received by the panel support 42 can be easily positioned with respect to the inspection apparatus 10 of a panel.

검사 시, 제1 이동 블록(112)이 패널 받이(42)를 향해 전진된다. 도14(B)에 나타낸 바와 같이, 제1 이동 블록(112)의 전진의 종료 시, 제2 이동 블록(114)의 회전체(130)가 스토퍼(126)에 접촉한다. 이에 의해, 제2 이동 블록(114)의 전진이 저지되고, 그 상태로 제1 이동 블록(112)이 더 전진된다.In inspection, the first moving block 112 is advanced toward the panel receiver 42. As shown in Fig. 14B, at the end of advancement of the first moving block 112, the rotating body 130 of the second moving block 114 contacts the stopper 126. As a result, the movement of the second moving block 114 is prevented, and the first moving block 112 is further advanced in that state.

제1 이동 블록(112)의 더한 전진에 의해, 제2 이동 블록(114)이 탄성체(146)가 가하는 힘에 저항하여 제1 이동 블록(112)에 대하여 후퇴된다. 이 때, 제2 이동 블록(114)은, 제1 이동 블록(112)이 패널 받이(42)에 접근하면 할수록 접촉자 블록(36)이 패널(12) 쪽으로 변위하도록 하강된다. 이 때 회전체(130)는 스토퍼(126)에 접촉하여 회전하면서 하강한다.By further advancing of the first moving block 112, the second moving block 114 is retracted with respect to the first moving block 112 against the force exerted by the elastic body 146. At this time, the second moving block 114 is lowered such that the contactor block 36 is displaced toward the panel 12 as the first moving block 112 approaches the panel support 42. At this time, the rotating body 130 is lowered while rotating in contact with the stopper 126.

도14(C)에 나타낸 바와 같이, 제1 이동 블록(112)이 전진 위치까지 전진되면, 제한 블록(128)이 스토퍼(124)에 접함으로써, 정지된다. 이에 의해, 제2 이동 블록(114) 및 접촉자 블록(116)은 접촉자(122)가 패널(12)의 전극에 눌린 상태로, 하강이 정지된다.As shown in Fig. 14C, when the first moving block 112 is advanced to the advanced position, the limit block 128 is brought into contact with the stopper 124 to stop. As a result, the lowering of the second moving block 114 and the contact block 116 is stopped while the contact 122 is pressed against the electrode of the panel 12.

상기 상태로, 패널(12)에 통전되고 점등검사가 행해진다. 검사가 종료하면, 패널의 검사장치(10)는 상기와 반대로 동작하여, 도14(A)에 나타낸 상태로 되돌아간다. 이 상태에서, 패널(12)의 교환이 행해진다.In this state, the panel 12 is energized and a lighting test is performed. When the inspection ends, the panel inspection apparatus 10 operates in the reverse manner to the above, and returns to the state shown in Fig. 14A. In this state, the panel 12 is replaced.

점등검사 시, 광 확산판(48)이 제1 베이스(34)에 설치되어 있기 때문에, 검사해야 할 패널(12)이 광 확산판(48)의 가까이에 받아지고, 그 결과 광 확산판(48)에서 확산된 빛이 패널(12)에 효과적으로 조사된다.In the lighting inspection, since the light diffusion plate 48 is provided in the first base 34, the panel 12 to be inspected is received near the light diffusion plate 48, and as a result, the light diffusion plate 48 The light diffused from) is effectively irradiated to the panel 12.

제1 이동 블록(112)의 전진 종료 시 및 후퇴 개시 시, 제1 이동 블록(112)의 이동로를 사이에 둔 2조의 회전체(130)가 조마다 스토퍼(126)의 2개소에 접촉하면서 회전 이동하기 때문에, 제3 방향으로의 제2 이동 블록(114)의 이동이 안정하고 원활해진다.At the end of the forward movement of the first moving block 112 and at the start of the retreat, the two sets of the rotating body 130 with the moving path of the first moving block 112 in contact with the two places of the stopper 126 for each group. Because of the rotational movement, the movement of the second moving block 114 in the third direction becomes stable and smooth.

상기와 같이 패널의 검사장치(10)에 있어서는, 패널 받이(42)를 이동시키지 않고, 패널(12)을 패널 받이(42)에 대하여 탈착할 수 있고, 제1 이동 블록(112)을 패널(12)에 대하여 전진 후퇴시키는 것만으로, 접촉자(122)를 이것이 패널(12)에 접촉하는 위치와 패널(12)로부터 멀어지는 위치로 변위시킬 수 있다. 그 결과, 패널(12)을 패널 받이(42)에 대하여 탈착하는 시간이 단축한다.In the panel inspection apparatus 10 as described above, the panel 12 can be detached from the panel receiver 42 without moving the panel tray 42, and the first moving block 112 is mounted on the panel ( Only by retracting forward 12, the contact 122 can be displaced to the position where it contacts the panel 12 and away from the panel 12. FIG. As a result, the time for detaching the panel 12 from the panel receiver 42 is shortened.

검사해야 할 패널을 크기가 다른 다른 패널로 변경할 때, 패널의 검사장치(10)는, 제2 베이스(36), 접촉자 유닛(38), 제1 고정장치(66), 스토퍼 핀(80), 푸셔(82), 정지구(99) 및 제2 고정장치(160)가 새로운 패널(12)에 적합하도록 제1 및 제2 방향으로 이동된다.When the panel to be inspected is changed to another panel having a different size, the inspection device 10 of the panel includes the second base 36, the contactor unit 38, the first fixing device 66, the stopper pin 80, The pusher 82, stop 99 and second fastener 160 are moved in the first and second directions to fit the new panel 12.

따라서 검사 스테이지(14)를 교환하지 않고, 다른 크기의 패널의 검사가 가능해진다. 또 패널 받이(42)를 검사 스테이지(14)에 갖출 필요가 없다.Therefore, inspection of panels of different sizes is possible without replacing the inspection stage 14. In addition, it is not necessary to equip the inspection stage 14 with the panel support 42.

본 발명은, 액정 표시 패널뿐만 아니라, 그와 같은 유리기판, 유기 EL 등, 다른 표시용 패널의 검사에 이용하는 전기적 접속장치에도 적용할 수 있다.The present invention can be applied not only to liquid crystal display panels, but also to electrical connection devices used for inspection of other display panels such as glass substrates, organic ELs, and the like.

본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고, 그 취지를 벗어나지 않는 한, 각종 변경이 가능하다.The present invention is not limited to the above embodiments, and various changes can be made without departing from the spirit thereof.

본 발명에 따른 패널의 검사장치는, 검사 스테이지의 교환을 하지 않고, 다른 크기의 표시용 패널의 검사를 가능하게 하는 발명의 효과를 갖는다.The inspection apparatus for a panel according to the present invention has the effect of the invention that enables inspection of display panels of different sizes without replacing the inspection stages.

본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 이 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의하여 용이하게 이용될 수 있으며, 이러한 변형이나 변경은 모두 본 발명의 영역에 포함되는 것으로 볼 수 있다.Simple modifications and variations of the present invention can be readily used by those skilled in the art, and all such variations or modifications can be considered to be included within the scope of the present invention.

Claims

A plurality of plates disposed on a plate-shaped first base having a first opening, a second base arranged in a frame shape on the first base as four plate-shaped second bases, and at least two neighboring second bases; A contact unit,

The second base is a panel receiver which is movable two-dimensionally in a plane parallel to the first base, and receives a panel for display, which together form a second aperture facing the first opening. Panel inspection apparatus, characterized in that provided.

2. The second base according to claim 1, wherein each of the second bases includes a first direction that changes the size of the second opening in a moving direction of the second base, and a second direction that does not change the size of the second opening. Inspection device of the panel, characterized in that movable to.

The panel inspection apparatus according to claim 2, wherein each contact unit is provided in the second base such that the position in the second direction can be changed.

The apparatus of claim 2, further comprising four coupling devices that respectively couple the second base to the first base to be two-dimensionally movable, wherein each coupling device is installed on either one of the first and second bases. And a first rail extending in the first direction, a first guide movably coupled to the first rail, and a second installed on the other side of the first and second bases and extending in the second direction. And a second guide coupled to the second rail so as to be relatively movable to the second rail and coupled to the first guide.

4. The coupling unit according to claim 3, wherein each coupling device has a third rail installed on one of the corresponding second base and its neighboring second base and extending in parallel with the second rail and relative movement to the third rail. And a third guide coupled to the corresponding second base and the other side of the neighboring second base such that it is possibly coupled to the other side of the neighboring second base.

The apparatus of any one of claims 2 to 5, further comprising four first fixing devices for releasably fixing the second base to the first base, respectively, wherein each first fixing device changes an installation position. A relative position of the first and second members, possibly coupled to a first member provided on the first base, a second member provided on a corresponding second base, and one of the first and second members. An inspection apparatus for a panel, comprising a pair of screw members that can be fixed.

6. The apparatus according to any one of claims 2 to 5, further comprising a plurality of second fasteners each releasably fixing the contactor unit to a corresponding second base, wherein each second fastener is adapted for the contactor unit. And a pair of brackets installed in the second base so as to change the installation position in the second direction, and at least one pair of screw members coupled to the brackets to fit the contactor unit together. Panel inspection device.

The method according to any one of claims 2 to 5, wherein each second base extends in the second direction, and the panel rest is disposed at the second opening side edge of the corresponding second base. Panel inspection device.

6. The inspection apparatus of a panel according to any one of claims 1 to 5, further comprising a light diffusion plate provided on the first base to close the second opening.

The display panel receiver according to any one of claims 1 to 5, wherein a plurality of stopper pins disposed on two second bases adjacent to each other such that the edges of the display panel received by the panel receiver are in contact with each other. And a plurality of pushers disposed on two different second bases adjacent to each other so as to press the panel received at the stopper pin toward each other.

6. The panel according to any one of claims 1 to 5, wherein each contact unit has a contact block having a plurality of contacts releasably contacted with electrodes of a display panel received by the panel receiver. Inspection device.

6. The panel inspection apparatus according to any one of claims 1 to 5, wherein each second base has a length dimension equal to or greater than the length dimension of the corresponding edge of the first opening.