[go: up one dir, main page]

KR100699459B1 - Module test handler - Google Patents

Module test handler Download PDF

Info

Publication number
KR100699459B1
KR100699459B1 KR1020000007976A KR20000007976A KR100699459B1 KR 100699459 B1 KR100699459 B1 KR 100699459B1 KR 1020000007976 A KR1020000007976 A KR 1020000007976A KR 20000007976 A KR20000007976 A KR 20000007976A KR 100699459 B1 KR100699459 B1 KR 100699459B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
module
tray
test
loading
unit
Prior art date
Application number
KR1020000007976A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20010081820A (en
Inventor
이준호
전인구
박휴림
Original Assignee
삼성전자주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성전자주식회사 filed Critical 삼성전자주식회사
Priority to KR1020000007976A priority Critical patent/KR100699459B1/en
Publication of KR20010081820A publication Critical patent/KR20010081820A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100699459B1 publication Critical patent/KR100699459B1/en

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2893Handling, conveying or loading, e.g. belts, boats, vacuum fingers
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00Programme-controlled manipulators
    • B25J9/02Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type
    • B25J9/04Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type by rotating at least one arm, excluding the head movement itself, e.g. cylindrical coordinate type or polar coordinate type
    • B25J9/045Polar coordinate type
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67259Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/67333Trays for chips
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706Mechanical details, e.g. roller, belt

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

1회에 많은 모듈을 테스트할 수 있고, 모듈의 종류가 변화하여도 테스트의 중단없이 자동적으로 대응가능한 모듈 테스트 핸들러가 개시된다. 개시된 본 발명은, 테스트할 모듈이 담긴 회수트레이를 적재하여 순차적으로 공급하는 적어도 2개 이상의 공급스테이션을 갖는 모듈공급부와, 상기 모듈공급부로부터 운반된 모듈을 테스트하는 제 1 및 제 2 테스트부와, 적어도 2 개 이상의 모듈적재위치에 안치된 유저트레이에 테스트가 완료된 모듈이 채워지면 반출스택커에 적재하는 트레이 공급부와, 다수의 빈 유저트레이를 적재하여 상기 모듈적재위치에 순차적으로 공급하는 유저트레이 스택커와, 제 1 및 제 2 테스트부 각각의 주위에 설치되며 모듈의 테스트 결과에 따른 불량모듈 및 재검모듈이 각각 담기는 불량적재트레이 및 재검적재지그와, 제 1 및 제 2 테스트부 사이에 설치되어 모듈을 운반하는 제 1 및 제 2 이동버퍼와, 제 1 및 제 2 테스트부와 공급스테이션 및 모듈적재위치 상측에 설치되어 각 부분으로 모듈을 이송하는 제 1 및 제 2 이동로봇을 포함한다.A module test handler which can test a large number of modules at one time and automatically responds without interrupting the test even if the types of modules change is started. The disclosed invention includes a module supply unit having at least two supply stations for sequentially loading and supplying a recovery tray containing a module to be tested, first and second test units for testing a module carried from the module supply unit, A tray supply unit for loading a stacker when the module is tested is filled in a user tray placed in at least two module stacking positions, and a user tray stack for stacking a plurality of empty user trays and supplying them sequentially to the module stacking position. Kerr, installed around each of the first and second test units, and installed between the defective loading tray and the re-checking jig containing the defective module and the retest module according to the test result of the module, and between the first and second test units. The first and second mobile buffers, the first and second test sections, the supply station and the module loading position And first and second mobile robots for transferring the module to each part.

메모리모듈, 모듈핸들러, 픽앤플래이스유니트, 가변수단, 테스트사이트Memory Module, Module Handler, Pick & Place Unit, Variable Means, Test Site

Description

모듈 테스트 핸들러{Module test handler} Module test handler             

도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 모듈 테스트 핸들러를 나타낸 사시도.1 is a perspective view showing a module test handler according to an embodiment of the present invention.

도 2는 도 1의 회수트레이 스택커를 상세히 나타낸 사시도.Figure 2 is a perspective view showing in detail the recovery tray stacker of Figure 1;

도 3은 도 1의 테스트부의 소켓지그를 구체적으로 나타낸 사시도.3 is a perspective view showing in detail the socket jig of the test unit of FIG.

도 4는 도 1의 픽앤플래이스 유니트를 상세하게 보여주는 사시도.4 is a perspective view showing in detail the pick and place unit of FIG.

도 5는 도 1의 이동버퍼중의 모듈고정부를 나타낸 사시도. 5 is a perspective view showing the module fixing part of the moving buffer of FIG.

도 6은 도 1의 트레이 공급부의 트레이 로딩수단 및 트레이 이동수단의 폭자동조정수단을 나타낸 사시도.Figure 6 is a perspective view showing the width of the tray loading means and the tray moving means of the tray supply of Figure 1;

도 7은 도 1의 유저트레이 스택커의 폭자동조정수단을 나타낸 사시도7 is a perspective view showing the automatic width adjusting means of the user tray stacker of FIG.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명** Explanation of symbols for main parts of drawings *

1;회수트레이 2;유저트레이1; recovery tray 2; user tray

3,3';불량적재트레이 10;메인프레임3,3 '; Bad load tray 10; Main frame

51,52;이동로봇 60;픽앤플래이스 유니트51,52; mobile robot 60; pick and place unit

100;모듈 공급부 101;회수트레이 스택커100; module supply unit 101; recovery tray stacker

107;트레이 분리수단 120;공급스테이션 107; tray separating means 120; supply station

130,130';테스트부 140,140';이동버퍼 130,130 '; Test unit 140,140'; Moving buffer

160;트레이 공급부 170;트레이 이동수단 160; tray supply unit 170; tray moving means

180;트레이 언로딩수단 189;반출스택커180; tray unloading means 189; take-out stacker

190,190';재검적재지그 200;유저트레이 스택커190,190 '; Recheck Jig 200; User Tray Stacker

본 발명은 모듈 테스트 핸들러에 관한 것이며, 보다 구체적으로는 회수트레이로 공급되는 모듈을 자동으로 파지하여 테스트 사이트에 삽입하고, 테스트 결과에 따라 모듈을 분류하여 적재하는 모듈 테스트 핸들러에 관한 것이다.The present invention relates to a module test handler, and more particularly, to a module test handler which automatically grasps a module supplied to a recovery tray, inserts it into a test site, and classifies and loads a module according to a test result.

일반적으로, PC(personal computer)의 주메모리장치인 메모리 모듈의 생산에 있어서 조립공정에서 조립이 완료되면, 조립된 메모리 모듈의 양부(良否)를 검사할 필요가 있다. 이 검사의 효율을 높이기 위하여 검사를 자동으로 하는 모듈 테스트 핸들러라는 장치가 사용된다. In general, in the production of a memory module which is a main memory device of a personal computer (PC), when assembly is completed in an assembly process, it is necessary to inspect the quality of the assembled memory module. To increase the efficiency of this test, a device called a module test handler is used that performs the test automatically.

이와 같은 목적으로 사용되는 종래의 모듈 테스트 핸들러는, 크게 테스트할 모듈을 공급하는 회수트레이 공급부, 모듈 테스트를 위한 소켓이 있는 테스트부, 테스트된 모듈을 적재하는 유저트레이부 및 상기 각 공정간에 모듈을 운반하는 이동로봇으로 이루어진다.Conventional module test handlers used for this purpose include a recovery tray supply unit for supplying a module to be largely tested, a test unit with a socket for module testing, a user tray unit for loading a tested module, and a module between the above processes. It consists of a mobile robot that carries it.

회수트레이 공급부는, 매거진 타입으로 된 회수트레이 스택커와 회수트레이 스택커에 대해 트레이의 로딩/언로딩 및 회수트레이를 일정위치에 유지하여 모듈을 공급하는 공급스테이션을 포함한다.The recovery tray supply unit includes a recovery tray stacker of a magazine type and a supply station for supplying the module by holding / unloading the tray and maintaining the recovery tray at a predetermined position with respect to the recovery tray stacker.

테스트부는, 모듈 테스트기에 연결된 테스트 사이트, 모듈이 테스트 소켓에 삽입되는 것을 안내하는 모듈가이드 및 모듈을 테스트 소켓에서 취출하는 취출수단으로 이루어진다.The test unit includes a test site connected to the module tester, a module guide for guiding the module to be inserted into the test socket, and taking out means for taking out the module from the test socket.

유저트레이부는, 상기 회수트레이 공급부와 마찬가지로 매거진 타입의 유저트레이 스택커와 유저트레이 스택커에 대해 트레이의 로딩/언로딩 및 유저트레이를 일정위치에 유지하여 테스트된 모듈을 적재하는 모듈적재스테이션으로 구성된다.The user tray unit is composed of a magazine-type user tray stacker and a module loading station for loading / unloading trays and holding the user tray at a predetermined position for loading the tested module in the same manner as the recovery tray supply unit. do.

이동로봇은 공급스테이션, 테스트 사이트 및 모듈적재스테이션 상측에 위치하는 2축의 직교좌표로봇으로 모듈을 운반하기 위한 픽앤플래이스 유니트로 구성된다. 이 픽앤플래이스 유니트는 한 번에 8개의 모듈을 핸들링할 수 있다.The mobile robot consists of a pick and place unit for transporting the module to a two-axis rectangular coordinate robot located above the supply station, test site and module loading station. The pick and place unit can handle eight modules at a time.

회수트레이 스택커에 적재되어 있는 회수트레이는 공급스테이션에 의해 언로딩되어 모듈공급위치에 위치한다. 이동로봇이 회수트레이로부터 모듈을 파지하여 테스트부의 테스트소켓에 안치하면, 모듈삽입수단에 의해 모듈이 삽입된다. Recovery Tray The recovery tray loaded on the stacker is unloaded by the supply station and positioned at the module supply position. When the mobile robot grasps the module from the recovery tray and places it in the test socket of the test section, the module is inserted by the module insertion means.

테스트가 완료되면 이동로봇이 모듈을 파지하여 모듈반출위치의 유저트레이에 안치시킨다. 상기 유저트레이에 모듈이 다 차면 모듈반출위치에 있는 유저트레이를 반출스택커에 적재하고, 새로운 빈 유저트레이를 반출위치로 언로딩하여 반출 준비를 한다.When the test is completed, the mobile robot grasps the module and places it in the user tray at the module export position. When the module is full in the user tray, the user tray at the module export position is loaded in the export stacker, and a new empty user tray is unloaded to the export position to prepare for the export.

이와 같은 동작으로 메모리 모듈을 자동 테스트 할 수 있는 것이다.In this way, the memory module can be automatically tested.

그러나, 상기와 같은 종래의 모듈 테스트 핸들러는, 1회에 4개의 모듈을 테 스트할 수밖에 없기 때문에, 모듈생산의 효율이 낮고, 모듈을 공급하는 회수트레이 공급부와 테스트 완료된 모듈을 반출하는 곳이 하나뿐이기 때문에, 회수트레이나 유저트레이를 교체하는 시간에는 테스트를 진행할 수 없다고 하는 문제가 있었다.However, in the conventional module test handler as described above, since only four modules can be tested at a time, the module production efficiency is low, and the recovery tray supply unit for supplying the module and the one for carrying out the tested module are one place. There was a problem that the test could not be performed at the time of replacing the recovery tray or the user tray.

또한, 종래의 모듈 테스트 핸들러는, 모듈의 종류가 바뀌면 공급스테이션, 유저트레이부 및 이동로봇의 픽앤플래이스 유니트를 모듈에 맞는 것으로 교체해야 하므로 그 동안은 모듈의 생산이 중단된다고 하는 문제도 있었다.In addition, the conventional module test handler has a problem that the production of the module is interrupted in the meantime because the pick and place unit of the supply station, the user tray unit and the mobile robot must be replaced with the module when the type of the module is changed.

본 발명은 상기와 같은 문제를 해결하기 위하여 안출된 것으로, 1회에 테스트할 수 있는 모듈의 수량이 많아 모듈생산의 효율이 높고, 트레이 교체시 테스트가 중단되지 않으며, 또한 모듈의 종류에 따라 공급스테이션, 유저트레이부 및 이동로봇의 픽앤플래이스 유니트가 자동적으로 조절되어 생산중단이 없는 모듈 테스트 핸들러를 제공하는데 그 목적이 있다.
The present invention has been made to solve the above problems, the number of modules that can be tested at a time is high, the efficiency of module production, the test does not stop when replacing the tray, and also supply according to the type of module Its purpose is to provide a modular test handler without stationary production by automatically adjusting the pick and place units of stations, user tray units and mobile robots.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 모듈 테스트 핸들러는, 테스트할 모듈이 담긴 회수트레이를 적재하여 순차적으로 공급하는 적어도 2개 이상의 공급스테이션을 갖는 모듈공급부; 상기 모듈공급부로부터 운반된 모듈을 테스트하는 제 1 및 제 2 테스트부; 적어도 2 개 이상의 모듈적재위치에 안치된 유저트레이에 상기 테스트가 완료된 모듈이 채워지면 반출스택커에 적재하는 트레이 공급 부; 다수의 빈 유저트레이를 적재하여 상기 모듈적재위치에 순차적으로 공급하는 유저트레이 스택커; 상기 제 1 및 제 2 테스트부 각각의 주위에 설치되며, 상기 모듈의 테스트 결과에 따른 불량 모듈 및 재검할 모듈이 각각 담기는 제 1 및 제 2 불량적재트레이 및 재검적재지그; 상기 제 1 및 제 2 테스트부 사이에 설치되어 모듈을 운반하는 제 1 및 제 2 이동버퍼; 상기 제 1 테스트부와 상기 공급스테이션 상측에 설치되어 상기 제 1 테스트부, 상기 공급스테이션, 상기 이동버퍼, 상기 제 1 불량적재트레이 및 상기 제 1 재검적재지그 사이에서 모듈을 이동시키는 제 1 이동로봇; 그리고, 상기 제 2 테스트부와 상기 모듈적재위치 상측에 설치되어 상기 제 2 테스트부, 상기 모듈적재위치, 상기 이동버퍼, 상기 제 2 불량적재트레이 및 상기 제 2 재검적재지그 사이에서 모듈을 이동시키는 제 2 이동로봇;을 포함한다.Module test handler according to the present invention for achieving the above object, the module supply unit having at least two or more supply stations for sequentially supplying the recovery tray containing the module to be tested; First and second test units for testing modules carried from the module supply unit; A tray supply unit which loads a stacker on a take-out stacker when the module in which the test is completed is filled in a user tray placed in at least two module stacking positions; A user tray stacker stacking a plurality of empty user trays and sequentially supplying the empty user trays to the module stacking positions; First and second defective loading trays and rechecking jig installed around each of the first and second test units, each containing a defective module and a module to be retested according to a test result of the module; First and second moving buffers installed between the first and second test units to carry modules; A first mobile robot installed above the first test unit and the supply station to move a module between the first test unit, the supply station, the moving buffer, the first bad loading tray, and the first reloading jig; ; And, installed above the second test unit and the module loading position to move the module between the second test unit, the module loading position, the moving buffer, the second defective loading tray and the second reloading jig. And a second mobile robot.

모듈공급부는, 다수의 회수트레이를 벌크 타입으로 적재하며, 적재된 상기 회수트레이를 1개씩 분리하는 회수트레이 스택커; 상기 회수트레이 스택커에 상기 회수트레이를 로딩 및 언로딩하는 공급스테이션을 포함한다.The module supply unit includes: a recovery tray stacker for loading a plurality of recovery trays in a bulk type, and separating the stacked recovery trays one by one; And a supply station for loading and unloading the recovery tray to the recovery tray stacker.

제 1 및 제 2 테스트부는, 상기 모듈을 테스트기와 연결하기 위한 테스트 소켓; 상기 모듈을 상기 테스트 소켓에 삽입할 때 상기 모듈을 가이드하는 소켓지그를 포함한다.The first and second test units may include: a test socket for connecting the module with a tester; And a socket jig for guiding the module when inserting the module into the test socket.

소켓지그는, 모터, 상기 모터에 의해 구동되는 볼스크류, 상기 볼스크류에 나사합된 볼너트, 상기 볼너트가 고정된 가이드판 및 상기 가이드판을 안내하는 리니어가이드로 이루어진 가이드 조정수단을 포함한다.The socket jig includes a guide adjusting means including a motor, a ball screw driven by the motor, a ball nut screwed onto the ball screw, a guide plate to which the ball nut is fixed, and a linear guide for guiding the guide plate. .

유저트레이 스택커는, 모듈의 종류에 따라 스택커의 폭이 자동 조정된다.The user tray stacker automatically adjusts the width of the stacker according to the type of the module.

제 1 및 제 2 이동로봇은, 8개의 모듈을 동시에 파지할 수 있는 픽앤플래이스 유니트를 포함한다.The first and second mobile robots include a pick and place unit capable of simultaneously holding eight modules.

픽앤플래이스 유니트는, 상기 모듈을 테스트 소켓에 삽입하기 위한 삽입수단을 가지며, 모듈의 종류에 따라 자동으로 가변된다.The pick and place unit has an inserting means for inserting the module into the test socket, and is automatically changed according to the type of the module.

모듈삽입수단은, 상기 이동로봇에 결합되는 픽앤플래이스 베이스판, 상기 베이스판에 고정된 모터, 상기 모터와 연결되며 상기 베이스판에 회전운동이 가능하도록 부착된 볼스크류, 상기 볼스크류와 나사결합되는 볼너트, 상기 볼너트에 결합되는 픽앤플래이스 프레임 및 상기 베이스판과 상기 픽앤플래이스 프레임의 사이에 배치되어 직선운동을 안내하는 직선운동가이드로 이루어진다. Module inserting means, the pick and place base plate coupled to the mobile robot, a motor fixed to the base plate, a ball screw connected to the motor and attached to the base plate to enable rotational movement, the ball screw and screw coupling It consists of a ball nut, a pick and place frame coupled to the ball nut and a linear motion guide disposed between the base plate and the pick and place frame to guide a linear motion.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 보다 구체적으로 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings a preferred embodiment of the present invention will be described in more detail.

첨부된 도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 모듈 테스트 핸들러를 나타낸 사시도이고, 도 2는 도 1에 나타낸 회수트레이 공급부를 상세히 나타낸 사시도이다. 그리고, 도 3은 도 1에 나타낸 테스트부를 보다 구체적으로 나타낸 사시도이며, 도 4는 도 1에 나타낸 픽앤플래이스 우니트를 상세하게 보여주는 사시도이고, 도 5는 도 1에 나타낸 이동버퍼중의 모듈고정부를 도시한 사시도이다. 또한, 도 6은 도 1에 나타낸 트레이반출부에 폭자동조정수단이 부가된 경우를 나타낸 사시도이며, 도 7은 도 1에 나타낸 유저트레이 스택커에 폭자동조정수단이 부가된 경우를 나타낸 사시도이다.1 is a perspective view showing a module test handler according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a perspective view showing the recovery tray supply unit shown in FIG. 3 is a perspective view illustrating the test unit shown in FIG. 1 in more detail, FIG. 4 is a perspective view showing the pick and place unit shown in FIG. 1 in detail, and FIG. 5 is a module height in the mobile buffer shown in FIG. A perspective view of a government. 6 is a perspective view showing a case in which the automatic width adjusting means is added to the tray carrying section shown in FIG. 1, and FIG. 7 is a perspective view showing a case in which the automatic width adjusting means is added to the user tray stacker shown in FIG. .

본 발명의 실시예를 설명함에 있어서, 회수트레이와 유저트레이가 열을 이루 는 방향을 X방향, 회수트레이에서 테스트부의 방향으로 상기 X방향과 직각을 이루는 방향을 Y방향, 지면에서 수직한 방향을 Z방향으로 정의하여 설명한다.In describing the embodiment of the present invention, the direction in which the recovery tray and the user tray form heat is in the X direction, the direction perpendicular to the X direction in the direction of the test part in the recovery tray is Y direction, and the direction perpendicular to the ground. It defines by Z direction and demonstrates.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 의한 모듈 테스트 핸들러는, 크게 모듈공급부(100), 제 1 및 제 2 테스트부(130)(130'), 트레이 공급부(160), 유저트레이 스택커(200), 제 1 및 제 2 불량적재트레이 및 재검적재지그(3,3')(190,190'), 제 1 및 제 2 이동버퍼(140)(140') 및 제 1 및 제 2 이동로봇(51)(52)(51')(52')으로 이루어진다.As shown in FIG. 1, a module test handler according to an embodiment of the present invention includes a module supply unit 100, first and second test units 130 and 130 ′, a tray supply unit 160, and a user. Tray stacker 200, first and second defective loading trays and rechecking jigs (3,3 ') 190 and 190', first and second moving buffers 140 and 140 ', and first and second It consists of mobile robots 51, 52, 51 'and 52'.

상기 모듈공급부(100)는 메인프레임(10)의 전면에 설치되는 회수트레이 스택커(101)와 회수트레이 스택커(101)의 트레이 반출높이와 같은 높이로 Y방향으로 메인프레임(10)에 장착되는 공급스테이션(120)으로 이루어진다. The module supply unit 100 is mounted on the main frame 10 in the Y direction at the same height as the tray transport height of the recovery tray stacker 101 and the recovery tray stacker 101 installed on the front of the main frame 10. Consisting of a supply station 120.

회수트레이 스택커(101)는 도 2에 도시된 바와 같이, 트레이 승강수단(102)과 트레이 안내프레임(106)과 트레이 분리수단(107)으로 구성된다. 트레이 승강수단(102)은 메인프레임(10)의 전면에 Z방향으로 장착되며, 모터(미도시)와, 볼스크류(102a)와, LM가이드(linear motion guide)(103a)로 이루어 진다. 상기 볼스크류(102a)와 나사 결합되어 직선운동을 하는 볼너트에 트레이승강판(104)이 결합되어 있다. 트레이 안내프레임(106)은 상기 승강수단(102)과 동일방향으로 설치되며, 트레이가 상기 승강수단(102)에 의해 Z방향으로 승강할 수 있도록 안내하고, 작업자가 회수트레이(1)를 넣고 뺄 수 있도록 전면이 터진 ㄷ채널의 형상으로 되어 있다. 트레이 분리수단(107)은 트레이 안내프레임(106)의 중간부의 양측면에 상하로 설치된 2쌍의 제 1 및 제 2 경첩(108)(109)과 각각의 경첩의 일단에 로드단 이 결합된 공압실린더(110)(111)로 구성된다. 경첩(108)(109)은 토션스프링에 의해 회수트레이가 상승시에는 지나칠 수 있게 되어 있고 하강시에는 스프링에 의해 원복된 위치에서 회수트레이를 받칠 수 있도록 90도로 벌어져 있다. 또 경첩(108)(109)은 그 일단에 설치된 공압실린더(110)(111)에 의해 회수트레이(1)가 모든 작업이 끝나면 내려올 수 있도록 접혀진다. 그리고, 하측에 있는 제 2 경첩(108)은 경첩상승용 공압실린더(112)에 결합되어 있어 일정 높이의 승강이 가능하다.As shown in FIG. 2, the recovery tray stacker 101 includes a tray lifting means 102, a tray guide frame 106, and a tray separating means 107. The tray lifting means 102 is mounted on the front surface of the main frame 10 in the Z direction and includes a motor (not shown), a ball screw 102a, and an LM guide (linear guide) 103a. The tray elevating plate 104 is coupled to a ball nut that is screwed with the ball screw 102a to perform a linear motion. The tray guide frame 106 is installed in the same direction as the elevating means 102, guides the tray to be elevated in the Z direction by the elevating means 102, and the operator inserts and removes the recovery tray 1. Its front surface is shaped like a c channel. The tray separating means 107 is a pneumatic cylinder in which a rod end is coupled to one end of each hinge and two pairs of first and second hinges 108 and 109 vertically installed on both sides of the middle portion of the tray guide frame 106. It consists of 110 and 111. Hinges 108 and 109 are opened by a torsion spring so that the recovery tray can pass when it is raised, and when it is lowered, it can be opened 90 degrees so as to support the recovery tray in a position restored by the spring. In addition, the hinges 108 and 109 are folded by the pneumatic cylinders 110 and 111 installed at one end thereof so that the recovery tray 1 can be lowered after all work is completed. And, the second hinge 108 on the lower side is coupled to the pneumatic cylinder 112 for the hinge lift, it is possible to lift a certain height.

공급스테이션(120)은 메인프레임(10)의 상측에 설치된 제 1 공압실린더, 상기 제 1 공압실린더의 로드단에 고정된 제 2 공압실린더, 제 2 공압실린더의 로드에 고정된 트레이판 및 트레이판의 인입을 안내하기 위한 가이드레일로 구성된다. 공급스테이션(120)은 트레이판이 상기 회수트레이 스택커의 트레이 분리수단에 의해 분리된 트레이를 반출할 수 있도록 제 2 경첩(108)이 하강시 트레이 높이보다 약간 낮은 높이를 유지하도록 설치된다.Supply station 120 is the first pneumatic cylinder installed on the upper side of the main frame 10, the second pneumatic cylinder fixed to the rod end of the first pneumatic cylinder, tray plate and tray plate fixed to the rod of the second pneumatic cylinder It consists of a guide rail for guiding the retracting. The supply station 120 is installed so that the second hinge 108 maintains a height slightly lower than the tray height when the tray plate is able to carry out the tray separated by the tray separating means of the recovery tray stacker.

제 1 및 제 2 테스트부(130)(130')는 도 3에 도시된 바와 같이, 테스트 소켓(122)과 소켓지그(121)로 이루어진다. 테스트 소켓(122)은 모듈을 수용하며, 메인프레임(10) 상판의 하측으로부터 설치된다. 메인프레임(10)의 상판에는 테스트 소켓(122)이 노출될 수 있도록 관통공이 마련되어 있다. As illustrated in FIG. 3, the first and second test units 130 and 130 ′ may include a test socket 122 and a socket jig 121. The test socket 122 accommodates the module, and is installed from the lower side of the main plate 10. The top plate of the main frame 10 is provided with a through hole so that the test socket 122 can be exposed.

소켓지그(121)는 테스트 소켓(122)의 상측에 위치하도록 메인프레임(10) 상판에 설치되며, 피치이동수단(123), 삽입지지수단, 모듈취출수단(133) 및 모듈가이드수단(134)으로 구성된다. The socket jig 121 is installed on the upper plate of the main frame 10 so as to be positioned above the test socket 122, and includes a pitch shifting means 123, an insertion support means, a module ejecting means 133, and a module guide means 134. It consists of.

피치이동수단(123)은 메인프레임(10)의 상판에 고정된 공압실린더(124)와, 이 공압실린더(124)의 로드단에 결합되며 테스트 소켓(122)이 노출되는 관통공이 형성된 소켓하판(125)과, 상기 소켓하판(125)과 메인프레임(10) 상판 사이에 설치된 LM가이드(126)를 포함한다.The pitch shifting means 123 is a pneumatic cylinder 124 fixed to the upper plate of the main frame 10, and a socket lower plate having a through hole coupled to the rod end of the pneumatic cylinder 124, the test socket 122 is exposed ( 125 and an LM guide 126 installed between the socket lower plate 125 and the main frame 10 upper plate.

삽입지지수단은 메인프레임의 상판에 고정된 복수의 공압실린더(127)와 각각의 공압실린더(127) 로드에 결합되며 소켓(122) 조립 베이스판의 지지블럭의 하부를 지지할 수 있도록 형성된 지지브라켓으로 구성된다. 모듈취출수단(133)은 소켓하판(125)의 상면에 Z방향으로 설치된 복수의 공압실린더(129)와, 이 공압실린더(129)의 로드단에 고정되며 테스트 소켓이 노출되는 관통공이 형성된 소켓상판(131)과, 상기 소켓상판(131)과 하판(125)사이에 배치된 복수의 가이드바(132)를 포함한다. Insertion support means is coupled to the plurality of pneumatic cylinder 127 and the respective pneumatic cylinder 127 rod fixed to the upper plate of the main frame and is formed to support the lower portion of the support block of the socket 122 assembly base plate It consists of. The module extracting means 133 has a plurality of pneumatic cylinders 129 installed in the Z direction on the upper surface of the socket lower plate 125, and a socket upper plate having a through-hole fixed to the rod end of the pneumatic cylinder 129 and exposing a test socket. 131 and a plurality of guide bars 132 disposed between the socket upper plate 131 and the lower plate 125.

모듈가이드수단(134)은 모듈의 양측면을 가이드하도록 복수의 홈이 형성된 한쌍의 가이드부재 및 가이드부재 간의 간격을 조정하는 간격조정수단(135)으로 구성된다. 간격조정수단(135)은 모터(136), 볼스크류(137) 및 LM가이드(138)로 이루어지며, 가이드부재는 LM가이드(138)상에서 직선운동을 하는 가이드브라켓(139)과 가이드브라켓(139)에 일정간격으로 부착되며 일단에는 V홈 등의 형상이 형성된 복수의 가이드(134a)로 이루어진다. 또한, 일측의 가이드브라켓(139)에는 모듈취출용 가이드 후방에 공압실린더가 배치되어 취출 모듈을 가이드할 수 있다.The module guide means 134 is composed of a pair of guide member formed with a plurality of grooves to guide both side surfaces of the module and the gap adjusting means 135 for adjusting the distance between the guide member. The gap adjusting means 135 is composed of a motor 136, a ball screw 137 and an LM guide 138, the guide member is a guide bracket 139 and a guide bracket 139 for linear movement on the LM guide 138 A plurality of guides 134a are attached at regular intervals and have a shape such as a V groove at one end thereof. In addition, the pneumatic cylinder is arranged behind the module takeout guide at one side of the guide bracket 139 to guide the takeout module.

트레이 공급부(160)는 빈 유저트레이(2)가 적재된 유저트레이 스택커(200)로부터 유저트레이(2)를 모듈적재위치로 공급하는 2개의 트레이 로딩수단과, 모듈적 재가 완료된 유저트레이(2)를 반출위치까지 운반하는 트레이 이동수단(170)과, 반출위치에 위치한 유저트레이(2)를 반출트레이 스택커(189)로 언로딩하는 트레이 언로딩수단(180), 및 모듈이 적재된 유저트레이(2)를 쌓는 반출트레이 스택커(189)를 포함한다.The tray supply unit 160 includes two tray loading means for supplying the user tray 2 to the module stacking position from the user tray stacker 200 in which the empty user tray 2 is loaded, and the user tray 2 in which the modular loading is completed. Tray moving means 170 for carrying the up to the unloading position, the tray unloading means 180 for unloading the user tray 2 located at the unloading position to the unloading tray stacker 189, and the user on which the module is loaded. An export tray stacker 189 for stacking the trays 2 is included.

트레이 로딩수단은, 도 6에 도시된 바와 같이, 유저트레이 스택커의 트레이 반출높이와 동일한 높이에 Y방향으로 설치된 로드레스 실린더(161)와, 로드레스 실린더의 이동판에 장착된 트레이 서랍을 고정하기 위한 고정실린더와, 이 고정실린더의 로드단에 결합된 고정핀, 및 상기 로드레스 실린더(161)의 후방에 로드레스 실린더(161)와 직각방향으로 설치되는 한 쌍의 개폐실린더(165)(165')로 구성된다. 개폐실린더 중 한 쪽에는 간격조정수단(166)이 부착되어 있다. 이 간격조정수단(166)은 모터(168), 볼스크류(169), LM가이드(167)로 구성되어 한 개의 개폐실린더(165)를 X방향으로 이동시킨다. 본 발명에 의한 모듈 테스트 핸들러에서는 트레이 로딩수단이 2조가 배치된다.As shown in Fig. 6, the tray loading means fixes the rodless cylinder 161 installed in the Y direction at the same height as the tray unloading height of the user tray stacker and the tray drawer mounted on the moving plate of the rodless cylinder. A fixed cylinder, a fixed pin coupled to the rod end of the fixed cylinder, and a pair of open / close cylinders 165 installed at right angles to the rodless cylinder 161 at the rear of the rodless cylinder 161 ( 165 '). On one side of the opening / closing cylinder, a gap adjusting means 166 is attached. The gap adjusting means 166 is composed of a motor 168, a ball screw 169, and an LM guide 167 to move one open / close cylinder 165 in the X direction. In the module test handler according to the present invention, two sets of tray loading means are arranged.

트레이 이동수단(170)은, 트레이 로딩수단의 하측의 메인프레임상에 설치되며, 유저트레이(2)를 트레이 반출위치까지 운반하는 벨트 컨베이어유니트(171)와 트레이 승강유니트(172)로 이루어 진다. 벨트 컨베이어유니트(171)는 유저트레이가 X방향으로 이동되는 방향으로 한 쌍이 설치되며, 한 쌍의 벨트 컨베이어는 유저트레이를 지지할 수 있는 폭만큼 이격되어 있다. 또한, 한 측의 벨트 컨베이어는 한 쌍의 벨트 컨베이어 간의 간격을 조정하기 위한 간격조정수단(173)을 구비하고 있다. 이 간격조정수단(173)은 메인프레임의 상측에 설치된 모터(176), 회전운동을 하도록 메인프레임에 Y방향으로 장착된 볼스크류(175), 모터(176)와 볼스크류(175)를 연결하는 벨트와 풀리, 볼스크류(175)에 나사결합된 볼부쉬에 연결되어 Y방향의 직선운동을 하는 컨베이어 베이스 및 컨베이어 베이스의 직선운동을 가이드하는 LM가이드(174)로 이루어 진다. 간격조정용 벨트 컨베이어는 상기 컨베이어 베이스 상측에 설치된다. 트레이 승강유니트(172)는, 한 쌍의 벨트컨베이어(171) 사이에 설치되며, 각각의 로딩수단 및 트레이 반출위치 하측에 한 대씩 배치된다. 트레이 승강유니트(172)는 메인프레임의 상측에 Z방향으로 고정된 공압실린더(179), 공압실린더(179)의 로드에 결합된 승강판(177), 승강판(177)에 조립되어 승강운동을 보조하는 가이드샤프트(178) 및 승강판(177)의 일측에 설치된 회전실린더를 포함한다. 회전실린더의 로드에는 보조브라켓(177a)이 조립되어 있어 승강판에 대해 Y방향으로 90도까지 선회된다.The tray moving means 170 is provided on the main frame under the tray loading means, and is composed of a belt conveyor unit 171 and a tray lifting unit 172 for carrying the user tray 2 to a tray unloading position. A pair of belt conveyor units 171 are installed in a direction in which the user tray is moved in the X direction, and the pair of belt conveyors are spaced apart by a width capable of supporting the user tray. Further, the belt conveyor on one side is provided with a gap adjusting means 173 for adjusting the gap between the pair of belt conveyors. The gap adjusting means 173 connects the motor 176 installed on the upper side of the main frame, the ball screw 175 mounted in the Y direction to the rotary frame, and the motor 176 and the ball screw 175. Consists of a belt and pulley, a ball bush screwed to the ball screw 175 is composed of a conveyor base for linear movement in the Y direction and an LM guide 174 for guiding the linear movement of the conveyor base. An interval adjusting belt conveyor is installed above the conveyor base. The tray lifting units 172 are installed between the pair of belt conveyors 171, one by one under each loading means and the tray unloading position. The tray lifting unit 172 is assembled to a pneumatic cylinder 179 fixed to the upper side of the main frame in the Z direction, a lifting plate 177 coupled to the rod of the pneumatic cylinder 179, and a lifting plate 177 to perform the lifting movement. It includes a rotating cylinder installed on one side of the guide shaft 178 and the lifting plate 177 to assist. An auxiliary bracket 177a is assembled to the rod of the rotary cylinder, and is pivoted by 90 degrees in the Y direction with respect to the lifting plate.

트레이 언로딩수단(180)은, 벨트컨베이어(171) 상측에 트레이 반출위치에 Y방향으로 이동판(182)이 하측을 향하도록 설치된 로드레스 실린더(181)와 로드레스 실린더(181)의 이동판(182)에 장착된 그리퍼(183)로 구성된다. 그리퍼(183)는 이동조(jaw)와 고정조로 구성되며, 이동조는 모터, 볼스크류 및 LM가이드에 의해 조간의 간격을 조정할 수 있다. 또한 고정조 및 이동조는 조에 고정된 복수의 실린더(185)에 의해 유저트레이(2)를 파지하게 된다.The tray unloading means 180 is a movable plate of the rodless cylinder 181 and the rodless cylinder 181 provided so that the moving plate 182 is disposed downward in the Y direction at the tray unloading position above the belt conveyor 171. And a gripper 183 mounted at 182. The gripper 183 is composed of a moving jaw and a fixed jaw, and the moving jaw can adjust the spacing between the jaws by a motor, a ball screw, and an LM guide. In addition, the fixing tank and the moving tank are to hold the user tray 2 by a plurality of cylinders 185 fixed to the tank.

반출트레이 스택커(189)는, 메인프레임(10) 전면의 상기 회수트레이 스택커 (100)의 옆에 Z방향으로 설치된 볼스크류, 볼스크류에 나사결합되어 직선운동을 하는 볼너트, 볼너트에 결합되어 Z방향으로 승강하는 트레이 승강판(188) 및 상기 승 강판(188)의 승강을 안내하도록 볼스크류의 양측에 배치된 LM가이드로 이루어진다. 볼스크류는 옆에 장착된 모터에 연결되어 있다.The export tray stacker 189 is a ball screw and a ball nut which are screwed to a ball screw and a ball screw installed in the Z direction next to the recovery tray stacker 100 on the front side of the main frame 10 to a linear motion. Combination is made up of the tray elevating plate (188) for lifting in the Z direction and the LM guides disposed on both sides of the ball screw to guide the lifting of the elevating steel plate (188). The ball screw is connected to a motor mounted next to it.

유저트레이 스택커(200)는, 도 7에 도시된 바와 같이, 트레이 프레임(201), 간격조정판(202), 트레이서랍(204) 및 트레이 프레임 승강수단을 포함한다.As illustrated in FIG. 7, the user tray stacker 200 includes a tray frame 201, a spacing plate 202, a tray drawer 204, and a tray frame lifting means.

트레이 프레임 승강수단은 상기 반출트레이 스택커(189)가 설치된 면과 동일면의 메인프레임(10)에 수직으로 설치된 볼스크류 및 LM가이드로 이루어 지며, 승강운동의 동력원은 모터에 의한다.The tray frame lifting means is composed of a ball screw and an LM guide installed vertically on the main frame 10 on the same plane as the surface of the transport tray stacker 189 is installed, the power source of the lifting motion is by a motor.

트레이 프레임(201)은 하판이 상기 볼스크류에 나사결합된 볼너트와, LM가이드에 의해 가이드되는 LM블록에 고정되어 있다. 트레이 프레임(201)과 간격조정판(202) 내부의 일측면에는 트레이서랍(204)이 X방향으로 가이드되는 가이드레일(208)이 Y방향으로 다수 장착되어 있고, 상판의 하측과 하판의 상측에는 LM가이드(206)가 장착되어 있다.The tray frame 201 is fixed to a ball nut having a lower plate screwed to the ball screw, and an LM block guided by an LM guide. A plurality of guide rails 208 in which the tray drawer 204 is guided in the X direction are mounted on one side of the tray frame 201 and the space adjusting plate 202 in the Y direction, and the lower side of the upper plate and the upper side of the lower plate are LM. The guide 206 is mounted.

간격조정판(202)은 ㄷ자형의 채널의 형상을 하고, 채널의 상하측 부재는 상기 트레이 프레임(201)의 상하판에 장착된 LM가이드(206)상의 LM블록에 고정되어 있다. 채널하측의 LM블록이 고정된 면에 볼너트가 장착되고 이 볼너트는 트레이 프레임(201) 하판에 형성된 관통구멍을 통해 트레이 프레임 하판의 하부에 설치된 볼스크류(207)와 나사결합되어 있다. 이 볼스크류(207)는 옆에 장착되어 있는 모터(209)로 부터 타이밍 벨트와 풀리에 의해 동력을 전달받는다. 또한, 간격조정판(202)의 측면에는 상기 트레이 프레임(201)의 일측면에 장착된 가이드 레일(208)과 동일한 높이와 간격으로 가이드 레일(210)이 장착되어 있다.The gap adjusting plate 202 has a U-shaped channel shape, and the upper and lower members of the channel are fixed to the LM block on the LM guide 206 mounted on the upper and lower plates of the tray frame 201. The ball nut is mounted on the surface where the LM block on the lower side of the channel is fixed, and the ball nut is screwed with the ball screw 207 provided in the lower part of the tray frame lower plate through a through hole formed in the lower plate of the tray frame 201. The ball screw 207 is powered by a timing belt and a pulley from a motor 209 attached to the side. In addition, the side of the spacer plate 202 is mounted with a guide rail 210 at the same height and spacing as the guide rail 208 mounted on one side of the tray frame 201.

트레이 서랍(204)은 2개의 ㄱ자 형상 프레임으로 이루어진 ㄷ자형상으로 2개의 ㄱ자 프레임이 겹치는 부위에 가이드레일(213)이 설치되어 있어 폭조정이 가능한 구조이다. 또한 ㄱ자 프레임의 겹치지 않는 부위는 트레이를 받칠 수 있는 폭을 갖는 브라켓(211)이 경첩형태로 조립되어 있고 토션스프링에 의해 ㄴ자형상을 유지하도록 되어 있다. 그리고 트레이 서랍(204)의 외측 양측면에는 상기 트레이 프레임과 간격조정판에 장착된 가이드레일(208)(210)에 의해 가이드되는 가이드부가 형성되어 있다. 또한 트레이 서랍(204)의 일측면의 후단에는 X 방향으로 운반용 구멍(212)이 형성되어 있다.The tray drawer 204 is a U-shaped frame consisting of two L-shaped frame is a structure that can be adjusted by the width of the guide rail 213 is installed on the overlapping portion of the two L-shaped frame. In addition, the portion of the non-overlapping portion of the U-shaped frame is a bracket 211 having a width capable of supporting the tray is assembled in a hinge form and is to maintain the N-shape by the torsion spring. In addition, the outer side surfaces of the tray drawer 204 are formed with guides guided by the guide rails 208 and 210 mounted to the tray frame and the spacing plate. In addition, at the rear end of one side of the tray drawer 204, a carrying hole 212 is formed in the X direction.

제 1 및 제 2 불량적재트레이(3)(3')는 정해진 회수트레이를 일정한 위치에 고정시켜 놓은 것이다.The 1st and 2nd bad loading trays 3 and 3 'hold | maintain the fixed collection | recovery tray in a fixed position.

제 1 및 제 2 재검적재지그(190)(190')는 테스트 결과 재테스트가 필요한 모듈을 임시 적재하였다가 일정한 시기에 재테스트할 수 있도록 모듈을 삽입할 수 있는 가이드가 다수 형성된 지그이다. 가이드는 모듈의 종류에 따라 그 간격을 조정할 수 있도록 모터, 볼스크류, 및 LM가이드로 이루어진 가이드 간격조정수단이 구비되어 있다.The first and second rechecking jig 190 and 190 ′ is a jig in which a plurality of guides for inserting a module to temporarily reload a module requiring retesting and then retest at a predetermined time are formed. The guide is provided with a guide gap adjusting means consisting of a motor, a ball screw, and an LM guide to adjust the gap according to the type of module.

제 1 및 제 2 이동버퍼(140)(140')는 로드레스 실린더(141)와 로드레스 실린더의 이동판(142)에 설치된 모듈파지수단으로 이루어진다. 모듈파지수단은 이동판(142)에 고정된 2개의 고정블록(143)과, 고정블록(143) 사이에 위치하여 고정블록(143)과 상대운동을 하는 이동블록(144)과, 이동블록(144)의 일단에 로드가 결합되고 이동판(142)에 고정된 공압실린더(145)로 구성된다. 고정블록(143)에는 테스트 소켓 간격과 동일한 간격으로 고정편(143a)이 돌출되어 있고, 이동블록(144)에는 고정편(143a)과 대응되는 이동편(144a)이 부착된다. 이동편(144a)은 이동블록(143)에 스프링 지지되어 잡고있는 모듈의 두께가 편차가 있더라도 안정적으로 고정편(143a)과 이동편(144a) 사이에 놓인 모듈을 파지하게 된다.The first and second moving buffers 140 and 140 ′ are formed of a rodless cylinder 141 and a module holding means installed on the moving plate 142 of the rodless cylinder. The module holding means includes two fixed blocks 143 fixed to the moving plate 142, a moving block 144 positioned between the fixed block 143 and relative motion to the fixed block 143, and a moving block ( The rod is coupled to one end of the 144 and consists of a pneumatic cylinder 145 fixed to the moving plate 142. A fixing piece 143a protrudes from the fixing block 143 at the same interval as the test socket interval, and the moving piece 144a corresponding to the fixing piece 143a is attached to the moving block 144. The moving piece 144a is spring-supported to the moving block 143 to hold the module stably positioned between the stationary piece 143a and the moving piece 144a even if the thickness of the module being held is varied.

제 1 및 제 2 이동로봇(50)(50')은 픽앤플래이스 유니트(60)와, 픽앤플래이스 유니트를 X방향으로 이동시키는 X축(51)과, 픽앤플래이스 유니트(60)를 Y방향으로 이동시키는 Y축(52)을 갖는 2축의 직교좌표 로봇이다. 제 1 이동로봇(50)은 모듈공급부(100)에서 모듈을 파지하여 제 1 테스트 소켓(122)이나 제 1 이동버퍼(140)로 로딩할 수 있는 스트로크를 가지며, 제 2 이동로봇(50')은 제 2 테스트 소켓이나 제 2 이동버퍼(140')로부터 모듈을 파지하여 모듈반출위치에 모듈을 언로딩할 수 있는 스트로크를 갖는다.The first and second mobile robots 50 and 50'are Y, which pick-and-place unit 60, an X-axis 51 for moving the pick-and-place unit in the X direction, and a pick-and-place unit Y. It is a biaxial cartesian robot having a Y axis 52 moving in the direction. The first mobile robot 50 has a stroke that can be loaded into the first test socket 122 or the first mobile buffer 140 by holding the module in the module supply unit 100, the second mobile robot 50 ' Has a stroke that can hold the module from the second test socket or the second mobile buffer 140 'to unload the module to the module dispensing position.

픽앤플레이스 유니트(60)는 모듈삽입수단(65), 픽앤플래이스 프레임(70), 그리퍼 간격가변수단, 다수의 그리퍼 프레임(72), 가변조 유니트 및 그리퍼 승강수단을 포함한다.The pick-and-place unit 60 includes a module inserting means 65, a pick-and-place frame 70, a variable gripper gap stage, a plurality of gripper frames 72, variable tank units and gripper lifting means.

모듈삽입수단(65)은, 이동로봇에 장착된 픽앤플래이스 베이스판(61)과, 이 베이스판에 고정된 모터(62)와, 이 모터(62)에 연결되어 회전운동이 가능하도록 베이스판(61)에 부착된 볼스크류(64)와, 이 볼스크류(64)와 나사결합되는 볼너트와, 이 볼너트에 결합되는 픽앤플래이스 프레임(70)과, 베이스판(61)과 픽앤플래이스 프레임(70) 사이에 배치되어 Z방향의 직선운동을 안내하는 LM가이드(63)로 이루어 진다.The module insertion means 65 includes a pick and place base plate 61 mounted on a mobile robot, a motor 62 fixed to the base plate, and a base plate connected to the motor 62 to enable rotational movement. Ball screw 64 attached to 61, ball nut screwed with ball screw 64, pick and place frame 70 coupled to the ball nut, base plate 61 and pick and play The LM guide 63 is disposed between the frame 70 to guide the linear movement in the Z direction.

그리퍼 간격가변수단은, 다수의 그리퍼(99)간의 간격을 밀착상태와 벌린상태의 2단으로 가변시키는 것으로, 각각의 그리퍼 프레임(72)의 중앙에서 상측으로 돌출된 안내핀(75), 이 안내핀(75) 각각에 끼워진 링크판(76) 및 맨 앞의 그리퍼 프레임(72)에 로드가 결합되고 몸체는 픽앤플래이스 프레임(70)에 고정된 공압실린더(77)로 구성된다. 링크판(76)은 안내핀(75)과 동일한 직경을 갖는 관통공 및 그리퍼간 간격에 상당하는 장공이 형성된 얇은 판으로, 맨 처음의 그리퍼 프레임의 안내핀(75)에 관통공을 삽입하고 그 다음 그리퍼 프레임의 안내핀(75)에 장공을 끼운다. 3번째 안내핀과 4번째 안내핀에도 상기와 동일하게 링크판(76)을 삽입한다. 그 후 2번째 안내핀과 3번째 안내핀에 끼워진 링크판 위에 2번째 안내핀에 관통공이 끼워지고 3번째 안내핀에 장공이 끼워지도록 하여 조립한다. 상기와 같은 방법으로 다수의 그리퍼 프레임을 연결하면 공압실린더(77)가 맨 처음의 그리퍼 프레임(72)을 밀거나 당김으로서 그리퍼 프레임(72)간의 간격이 가변하게 된다. 그리퍼 프레임(72)의 간격조정을 원할하게 하기위해 픽앤플래이스 프레임(70)의 하측에는 LM가이드(78)가 가변방향으로 설치되고 각각의 그리퍼 프레임(72)에는 LM블록(79)이 고정되어 있다.The gripper spacing variable stages vary the distance between the plurality of grippers 99 into two stages in a close and open state, and guide pins 75 protrude upward from the center of each gripper frame 72, which guide The rod is coupled to the link plate 76 fitted to each of the pins 75 and the gripper frame 72 at the front, and the body is composed of a pneumatic cylinder 77 fixed to the pick and place frame 70. The link plate 76 is a thin plate having a through hole having the same diameter as the guide pin 75 and a long hole corresponding to the distance between the grippers, and inserts the through hole into the guide pin 75 of the first gripper frame. Insert the long hole into the guide pin (75) of the gripper frame. The link plate 76 is inserted into the third guide pin and the fourth guide pin in the same manner as described above. After that, the through-hole is inserted into the second guide pin and the long hole is inserted into the third guide pin on the link plate fitted to the second guide pin and the third guide pin. When a plurality of gripper frames are connected in the same manner as described above, the pneumatic cylinder 77 pushes or pulls the first gripper frame 72 to vary the distance between the gripper frames 72. In order to smoothly adjust the gap of the gripper frame 72, the LM guide 78 is installed at the lower side of the pick and place frame 70 in a variable direction, and the LM block 79 is fixed to each gripper frame 72. have.

가변조 유니트는 픽앤플래이스 프레임(70)의 하측에 고정된 2개의 LM가이드(81) 및 이 LM가이드(81)를 연결하도록 고정된 ㄱ자 채널형상의 이동프레임(82)으로 구성된다. 이 이동프레임(82)의 상면에는 브라켓(82a)이 결합되어 있어 픽앤플래이스 프레임(70)의 상면에 설치된 볼스크류(83)의 볼너트와 연결된다. 볼 스크류(83)를 구동하는 모터는 픽앤플래이스 프레임(70)에 고정되어 있으며, 타이밍 벨트 및 풀리에 의해 동력을 전달한다. 모터에 의해 이동프레임(82)이 이동되어 모듈의 종류에 따른 고정조(93)와 가변조(87)간의 간격이 조정이 이루어진다. 또한, 이동프레임(82)의 내측에는 LM가이드(84)가 설치되어 있고, 고정조(93)와 일대일 대응되는 다수의 가변조 베이스(85)가 LM블록에 의해 이 LM가이드(84)상에 고정되어 있다. 가변조 베이스(85)에는 또 다른 LM가이드(86)가 Z방향으로 장착되고 그 위에 가변조(87)가 결합되어 있어 가변조(87)의 승강운동을 안내한다.The variable jaw unit is composed of two LM guides 81 fixed to the lower side of the pick and place frame 70 and a moving frame 82 having an L channel shape fixed to connect the LM guides 81. The upper surface of the movable frame 82 is coupled to the bracket 82a is connected to the ball nut of the ball screw 83 installed on the upper surface of the pick and place frame 70. The motor driving the ball screw 83 is fixed to the pick and place frame 70 and transmits power by a timing belt and a pulley. The moving frame 82 is moved by the motor to adjust the interval between the fixing tank 93 and the variable tank 87 according to the type of module. In addition, an LM guide 84 is provided inside the movable frame 82, and a plurality of variable tank bases 85, which correspond one-to-one with the fixing tank 93, are placed on the LM guide 84 by the LM block. It is fixed. Another LM guide 86 is mounted to the variable tank base 85 in the Z direction, and the variable tank 87 is coupled thereon to guide the lifting motion of the variable tank 87.

그리퍼 승강수단은 상기 다수의 그리퍼 프레임(72)마다 양측면에 각각 Z방향으로 설치된 공압실린더(91), 양 실린더(91)의 로드단을 연결하는 조안내축(92)으로 이루어진다. 이 조안내축(92)의 일단부에서 이격되어 고정조(93)가 결합되어 있고 그 맞은 편에는 가변조(87)가 끼워져 있다. 공압실린더(91)에 의한 그리퍼(99)의 승강을 원할하게 하기 위해 그리퍼 프레임(72)의 양측에는 직선운동가이드(94)가 설치되어 있다.The gripper elevating means includes a pneumatic cylinder 91 installed at both sides of each of the plurality of gripper frames 72 in the Z direction, and a jaw guide shaft 92 connecting rod ends of both cylinders 91. A fixed tub 93 is coupled to one end of the jaw guide shaft 92 and a variable tub 87 is fitted on the opposite side thereof. In order to smoothly raise and lower the gripper 99 by the pneumatic cylinder 91, a linear motion guide 94 is provided on both sides of the gripper frame 72.

또한, 고정조(93) 및 가변조(87) 하단에는 모듈그립퍼(97)가 로드에 부착된 모듈파지용 공압실린더(96)가 부착되어 있다.In addition, the lower end of the fixing tank 93 and the variable tank 87 is attached to the pneumatic cylinder 96 for the module holding the module gripper 97 is attached to the rod.

픽앤플래이스 유니트(60)에 설치된 그리퍼(97)는 생산수량에 따라 적절하게 선택할 수 있으나 바람직스럽게는 8개의 그리퍼를 부착하는 것이다.The gripper 97 installed in the pick and place unit 60 can be appropriately selected according to the production quantity, but preferably eight grippers are attached.

이하, 상기와 같이 구성된 본 발명의 일 실시예에 의한 모듈 테스트 핸들러의 동작을 구체적으로 설명한다.Hereinafter, the operation of the module test handler according to an embodiment of the present invention configured as described above will be described in detail.

작업자가 조립완료된 모듈이 담긴 회수트레이(1)를 회수트레이 스택커(101) 에 벌크타입으로 적재한다. 회수트레이(1)가 적재되면 회수트레이 스택커(101)는 최상단의 회수트레이를 감지하여 트레이 분리수단(107)에 의하여 최상단의 회수트레이를 아래의 회수트레이와 분리하여 공급스테이션(120)이 회수트레이(1)를 모듈공급위치로 언로딩할 수 있도록 한다.The worker loads the recovery tray 1 containing the assembled module into the recovery tray stacker 101 in a bulk type. When the recovery tray 1 is loaded, the recovery tray stacker 101 detects the recovery tray at the uppermost level and separates the recovery tray at the uppermost level from the recovery tray below by the tray separating means 107 to recover the supply station 120. Allow the tray 1 to be unloaded to the module feed position.

트레이 분리수단(107)이 회수트레이(1)를 분리하는 동작을 보면 다음과 같다.The operation of separating the recovery tray 1 by the tray separating means 107 is as follows.

먼저 2 쌍의 회수트레이 지지용 경첩(108)(109)이 토션스프링에 의해 접혀질때까지 상승하고, 경첩이 원복하면 다시 하강시켜 경첩위에 얹혀 놓는다. 나머지 회수트레이는 센서 감지 지점까지 하강을 계속 하므로 최상단 회수트레이와 분리되게 된다. 이 후 제 2 경첩 승강실린더(112)가 동작하여 분리된 회수트레이를 일정 높이 상승시킨다.First, the pair of recovery tray support hinges 108 and 109 are raised until they are folded by the torsion spring, and when the hinges are retracted, they are lowered again and placed on the hinges. The remaining recovery tray continues to descend to the sensor detection point, so it is separated from the top recovery tray. After that, the second hinge lift cylinder 112 is operated to raise the separated recovery tray to a certain height.

회수트레이(1)의 분리가 완료되면 공급스테이션(120)의 제 1 및 제 2 공압실린더가 전진하여 트레이판을 분리된 최상단 트레이 하부에 위치시킨다. 트레이판이 트레이 하부에 위치하면 상기 제 2 경첩실린더(112)가 하강하여 분리된 회수트레이가 트레이판에 놓이게 된다. 그 뒤 제 1 및 제 2 공압실린더가 원상태로 복귀하면 회수트레이는 모듈공급위치에 있게 된다. 회수트레이가 모듈공급위치에 오면 제 1 이동로봇이 동작하여 모듈을 제 1 테스트부(130)나 제 1 이동버퍼(140)로 이동시킨다.When separation of the recovery tray 1 is completed, the first and second pneumatic cylinders of the supply station 120 are advanced to position the tray plate under the separated upper tray. When the tray plate is located under the tray, the second hinge cylinder 112 is lowered so that the separated recovery tray is placed on the tray plate. After that, when the first and second pneumatic cylinders are returned to their original state, the recovery tray is in the module supply position. When the recovery tray is in the module supply position, the first mobile robot operates to move the module to the first test unit 130 or the first mobile buffer 140.

모듈공급위치에 있는 회수트레이(1)가 비게 되면 공급스테이션(120)이 동작하여 회수트레이(1)를 회수트레이 스택커(101)의 제 2 경첩(108)에 로딩시킨다. 빈 회수트레이가 제 2 경첩(108)에 놓이면 경첩상승실린더(112)가 동작하여 회수트레이(1)를 상승시키고 공급스테이션(120)은 모듈공급위치로 복귀하게 된다. 트레이판이 복귀되면 트레이 승강수단이 모듈이 적재된 트레이를 상승시켜 빈 회수트레이를 제 1 경첩(109) 높이까지 밀어 올린다. 그 뒤 트레이 승강수단이 하강하면 빈 회수트레이는 제 1 경첩(109)에 걸리고 다음의 모듈이 적재된 회수트레이가 제 2 경첩(108)에 걸리게 되면, 제 2 경첩 승강실린더(112)를 작동시킨다. 이 후 공급스테이션(120)이 작동하여 트레이판이 회수트레이를 모듈공급위치로 이동시키게 된다. 이 동작을 적재된 회수트레이가 없을 때까지 수행한다. When the recovery tray 1 at the module supply position becomes empty, the supply station 120 operates to load the recovery tray 1 into the second hinge 108 of the recovery tray stacker 101. When the empty recovery tray is placed on the second hinge 108, the hinge lift cylinder 112 is operated to raise the recovery tray 1 and the supply station 120 returns to the module supply position. When the tray plate returns, the tray lifting means raises the tray on which the module is loaded, and pushes the empty recovery tray up to the height of the first hinge 109. Then, when the tray lifting means descends, the empty recovery tray is caught by the first hinge 109, and when the recovery tray on which the next module is loaded is caught by the second hinge 108, the second hinge lifting cylinder 112 is operated. . After that, the supply station 120 operates to move the tray plate to the module supply position. This operation is performed until there is no loaded recovery tray.

본 발명의 경우는 이 모듈공급부(100)가 2개로 구성되어 있어 회수트레이(1)를 교체하는 시간에도 테스트부에서는 테스트를 중지하지 않게 된다.In the case of the present invention, the module supply unit 100 is composed of two, so that the test unit does not stop the test even at the time of replacing the recovery tray 1.

공급스테이션(120)에 의해 모듈공급위치에 위치한 회수트레이에서 제 1 이동로봇(50)이 모듈을 운반하는 동작을 구체적으로 설명하면 다음과 같다.The operation of transporting the module by the first mobile robot 50 in the recovery tray located at the module supply position by the supply station 120 will be described in detail as follows.

제 1 이동로봇(50)의 X,Y축(51)(52)에 의해 픽앤플래이스 유니트(60)가 모듈을 파지할 수 있도록 회수트레이 상부에 위치한다. 그러면, 그리퍼 승강수단의 실린더(91)에 의해 그리퍼(99)가 하강하여 그리퍼의 고정조(93)와 가변조(87)가 파지할 모듈의 양옆에 위치하면, 모듈파지용 공압실린더(96)가 동작하여 모듈을 파지하게 된다. 파지 후 그리퍼 승강실린더(91)가 상승되고, 이동로봇(50)은 상황에 따라 제 1 테스트부(130)나 제 1 이동버퍼(140)의 상부로 이동한다. 이동로봇(50)은 기본적으로 한 번에 8개의 모듈을 파지하도록 되어 잇으나, 상황에 따라 선택적으로 임의의 갯수를 파지할 수 있다.The pick and place unit 60 is positioned above the recovery tray by the X and Y axes 51 and 52 of the first mobile robot 50. Then, when the gripper 99 is lowered by the cylinder 91 of the gripper elevating means, and the gripper fixing tank 93 and the variable tank 87 are located on both sides of the module to be gripped, the pneumatic cylinder for module holding 96 Will be activated to grasp the module. After the gripper, the gripper elevating cylinder 91 is raised, and the mobile robot 50 moves to the upper portion of the first test unit 130 or the first moving buffer 140 according to the situation. The mobile robot 50 is basically configured to grip eight modules at a time, but may selectively grasp any number according to circumstances.

제 1 이동로봇(50)이 제 1 테스트부(130) 상에 위치하면 픽앤플래이스 유니트(60)가 모듈을 테스트 소켓(122)에 직접 삽입하게 되는데, 이 동작을 구체적으로 설명하면 다음과 같다.When the first mobile robot 50 is located on the first test unit 130, the pick and place unit 60 inserts the module directly into the test socket 122. This operation will be described in detail as follows. .

테스트 소켓(122)에 테스트가 완료된 모듈이 삽입되어 있는 경우에, 모듈은 실린더장치 및 이젝터에 의해 소켓(122)로부터 어느 정도 빠져 있게 되는데, 소켓지그(121)에 부착된 취출용 가이드(134a)가 모듈을 파지하면 모듈취출수단(133)의 실린더(129)가 동작하여 모듈을 상승시킨다. 모듈이 빠지고 상승하면, 피치이동수단(123)에 의해 취출된 모듈이 한 피치 이동한다. 취출된 모듈이 피치이동되면 픽앤플래이스 유니트(60)는 그리퍼 승강수단의 실린더(91)로 모듈을 테스트 소켓(122)의 홈에 내려 놓고, 그리퍼(99)로 모듈을 놓은 상태에서 모듈삽입수단(65)의 모터(62)를 동작시켜 모듈을 각각의 소켓에 완전 삽입한다. 이 때 삽입되는 모듈은 소켓지그(121) 상의 모듈취출용 가이드(134a)가 파지하고 있는 이미 취출된 모듈 사이사이로 모듈삽입용 가이드(139a)에 의해 가이드 되면서 삽입된다.When the test module is inserted into the test socket 122, the module is partially removed from the socket 122 by the cylinder device and the ejector, and the ejection guide 134a attached to the socket jig 121 is provided. When the module is held, the cylinder 129 of the module ejecting means 133 is operated to raise the module. When the module is pulled out and raised, the module taken out by the pitch shifting means 123 moves one pitch. When the extracted module is pitch shifted, the pick and place unit 60 lowers the module into the groove of the test socket 122 with the cylinder 91 of the gripper lifting means, and the module inserting means with the module placed with the gripper 99. The motor 62 of 65 is operated to fully insert the module into each socket. At this time, the module to be inserted is inserted while being guided by the module insertion guide 139a between the already taken out modules held by the module extraction guide 134a on the socket jig 121.

이동로봇(50)은 픽앤플래이스 유니트(60)의 그리퍼가 모듈삽입을 완료하면, 상승후 피치이동하여 이미 취출된 모듈을 파지하고 상승하여 테스트 결과에 따라 모듈을, 양품 모듈은 제 2 이동버퍼(140')에, 재검할 모듈은 재검적재지그(190)에, 완전 불량 판정된 모듈은 불량적재트레이(3) 상에 적재한다.When the gripper of the pick and place unit 60 completes the insertion of the module, the mobile robot 50 moves the pitch after ascending, grasps the module which has already been taken out, and raises the module according to the test result. At 140 ', the module to be retested is loaded into the reloading jig 190, and the module which has been determined to be completely defective is loaded on the failing loading tray 3.

그리퍼가 모듈을 제 2 이동버퍼(140') 모듈파지수단의 이동편(144a)과 고정편(143a)사이에 내려놓으면 이동편 공압실린더(145)가 동작하여 모듈을 파지하게 된다. 이동편(144a)과 고정편(143a)에 의해 모듈의 하단을 잡고 있으므로 모듈이 정확하게 직각을 이루고 있게 되어 제 2 이동로봇(50')이 모듈을 파지하는 동작에서의 에러가 발생할 가능성이 줄어 든다. 모듈이 이동버퍼(140')에 파지되면 로드레스 실린더(141)에 의해 이동판(142)이 제 2 테스부(130')측으로 이동된다.When the gripper lowers the module between the moving piece 144a and the fixed piece 143a of the module holding means of the second moving buffer 140 ', the moving piece pneumatic cylinder 145 operates to hold the module. Since the lower end of the module is held by the moving piece 144a and the fixing piece 143a, the module is formed at right angles, thereby reducing the possibility of an error occurring when the second mobile robot 50 'grips the module. . When the module is gripped by the moving buffer 140 ', the moving plate 142 is moved to the second test part 130' by the rodless cylinder 141.

또한, 제 1 이동로봇(50)은 제 1 테스트부(130)에서 테스트 중일 때에는 공급스테이션(120)에서 테스트할 모듈을 파지하여 상술한 방법과 동일하게 제 1 이동버퍼(140)에 적재한다. 즉, 제 1 이동로봇(50)은 제 1 테스트부(130)의 상황에 따라 파지한 모듈을 제 1 테스트 소켓(122)과 제 1 이동버퍼(140)에 선택적으로 공급한다.In addition, when the first mobile robot 50 is being tested by the first test unit 130, the first mobile robot 50 is gripped by the supply station 120 and loaded into the first mobile buffer 140 in the same manner as described above. That is, the first mobile robot 50 selectively supplies the module held by the first test unit 130 to the first test socket 122 and the first mobile buffer 140.

재검적재지그(190)상의 모듈은 재검적재지그(190)가 가득차면 우선적으로 테스트 소켓(122)에 삽입하여 재테스트를 수행한다. 재테스트하는 모듈은 통상 테스트 결과 설정된 테스트가 계속되면 불량으로 처리한다.The module on the rechecking jig 190 is first inserted into the test socket 122 when the rechecking jig 190 becomes full to perform a retest. The module to be retested is usually treated as a failure if the set test is continued.

제 2 이동로봇(50')은 제 1 이동버퍼(140)에 적재된 테스트할 모듈을 제 2 테스트부(130')로 이동시켜 소켓에 삽입하고, 제 2 이동버퍼(140')에 적재된 제 1 테스트부(130)에서 테스트 완료된 모듈을 트레이 공급부(160)의 모듈적재위치에 위치한 복수의 유저트레이(2)에 적재하며, 제 2 테스트부(130')에서 테스트 완료된 모듈을 테스트 결과에 따라 상기 유저트레이(2)나 재검적재지그(190')나 불량적재트레이 (3')에 선택적으로 적재한다. 제 2 이동로봇(50')이 모듈을 각각의 위치로 이동시키는 것은 모듈핸들러의 테스트 효율이 최대로 될 수 있도록 메인제어반에서 제어한다.The second mobile robot 50 ′ moves the module to be tested loaded on the first mobile buffer 140 to the second test unit 130 ′ and inserts it into the socket, and is loaded on the second mobile buffer 140 ′. The module tested in the first test unit 130 is loaded in the plurality of user trays 2 located at the module loading position of the tray supply unit 160, and the module tested in the second test unit 130 ′ is placed on the test result. Therefore, it is selectively loaded into the user tray 2, the reloading jig 190 'or the defective loading tray 3'. The movement of the module to each position by the second mobile robot 50 ′ is controlled by the main control panel so that the test efficiency of the module handler can be maximized.

제 2 이동로봇(50')이 모듈을 제 2 테스트부(130')의 테스트 소켓에 삽입/취출하는 동작 및 유저트레이(2), 재검적재지그(190'), 불량적재트레이(3')에 적재하는 동작은 상기 제 1 이동로봇(50)의 동작과 동일하므로 상세한 설명은 생략한다.The second mobile robot 50 'inserts / takes out the module into the test socket of the second test unit 130' and the user tray 2, the reloading jig 190 ', and the bad loading tray 3'. Since the operation of loading in the same as the operation of the first mobile robot 50, a detailed description thereof will be omitted.

제 2 이동로봇(50')이 모듈적재위치에 위치한 유저트레이(2)에 테스트 완료된 양품의 모듈을 적재시키면, 모듈이 담긴 유저트레이는 트레이 이동수단(170)에 의해 트레이 반출위치까지 이동되어 트레이 언로딩수단(180)에 의해 반출트레이 스택커(189)에 적재된다.When the second mobile robot 50 'loads the tested good product module in the user tray 2 located at the module loading position, the user tray containing the module is moved to the tray unloading position by the tray moving means 170, and the tray is moved. The unloading means 180 is loaded on the unloading tray stacker 189.

모듈적재위치의 유저트레이가 반출트레이 스택커(189)에 적재되는 동작을 구체적으로 설명하면 아래와 같다.The operation in which the user tray of the module mounting position is loaded in the export tray stacker 189 will be described below in detail.

상기 유저트레이에 모듈이 다 차면 모듈적재위치 하측에 위치한 트레이 승강수단(172)의 실린더(179)에 의해 승강판(177)이 유저트레이 하단까지 상승한다. 승강판(177)은 유저트레이(2)의 크기에 따라 보조브라켓(177a)을 선택적으로 동작시킨다. 승강판(177)이 상승하면 트레이 로딩수단의 한쌍의 개폐실린더(165)(165')가 트레이 서랍(204)의 트레이 지지브라켓(211)을 하방으로 열게 된다. 지지브라켓(211)이 열리면 상기 승강판(177)이 하강하여 벨트컨베이어(171) 상에 유저트레이(2)를 안착시킨다. 트레이(2)가 벨트컨베이어(171) 상에 놓이면 벨트가 구동되어 반출위치까지 트레이(2)를 이동시킨다. When the module is filled in the user tray, the lifting plate 177 is raised to the lower end of the user tray by the cylinder 179 of the tray lifting means 172 located below the module loading position. The lifting plate 177 selectively operates the auxiliary bracket 177a according to the size of the user tray 2. When the lifting plate 177 is raised, a pair of opening and closing cylinders 165 and 165 'of the tray loading means opens the tray support bracket 211 of the tray drawer 204 downward. When the support bracket 211 is opened, the lifting plate 177 is lowered to seat the user tray 2 on the belt conveyor 171. When the tray 2 is placed on the belt conveyor 171, the belt is driven to move the tray 2 to the unloading position.

트레이(2)가 반출위치에 오면 반출위치의 트레이 승강유니트가 상승하여 트레이를 상승시킨다. 트레이가 상승되면 트레이 언로딩수단(180)의 그리퍼(183)가 트레이(2)를 파지하며, 승강유니트는 하강하고 언로딩수단(180)은 로드레스 실린더(181)에 의해 트레이(2)를 반출트레이 스택커(189) 상으로 반출시킨다. 트레이(2)가 반출트레이 스택커(189) 상에 오면 반출트레이 스텍커(189)의 트레이 승강판(188)이 상승하여 상기 트레이 하측에 센서 감지된 높이로 위치하고, 그리퍼(183)가 파지한 트레이(2)를 놓고 승강유니트가 하강하면, 트레이(2)를 언로딩한 그리퍼(183)는 원위치로 복귀하게 된다.When the tray 2 comes to the unloading position, the tray lifting unit at the unloading position is raised to raise the tray. When the tray is raised, the gripper 183 of the tray unloading means 180 grips the tray 2, the lifting unit is lowered, and the unloading means 180 moves the tray 2 by the rodless cylinder 181. Carried out on the unloading tray stacker 189. When the tray 2 comes on the take-out tray stacker 189, the tray lift plate 188 of the take-out tray stacker 189 is raised to be positioned at the sensor-sensed height under the tray, and the gripper 183 grips it. When the lifting unit is lowered on the tray 2, the gripper 183 unloading the tray 2 returns to its original position.

반출을 위해 모듈적재위치에 있던 유저트레이가 벨트 컨베이어(171) 상에 안치되면, 트레이 로딩수단의 로드레스 실린더(161)가 빈 트레이서랍(204)을 유저트레이 스택커(200)에 돌려 놓고 원복한다. 그러면 유저트레이 스택커(200)가 상승하여 다음의 트레이 서랍(204)을 유저트레이(2) 반출위치에 정지시킨다. 트레이 로딩수단이 로드레스 실린더(161) 이동판위에 장착된 고정실린더로 유저트레이 스택커(200)의 반출위치에 정지된 새로운 트레이 서랍(204)에 형성된 운반용 구멍(212)을 끼워 빈 유저트레이가 담긴 트레이 서랍(204)을 모듈적재위치로 이동시킨다. 이상의 동작이 유저트레이에 모듈이 다 적재되면 동일하게 반복된다.When the user tray placed in the module loading position for carrying out is placed on the belt conveyor 171, the rodless cylinder 161 of the tray loading means returns the empty tray drawer 204 to the user tray stacker 200, do. The user tray stacker 200 then ascends to stop the next tray drawer 204 at the user tray 2 unloading position. The tray loading means is a fixed cylinder mounted on the moving plate of the rodless cylinder 161, and an empty user tray is inserted into the conveying hole 212 formed in the new tray drawer 204 stopped at the user tray stacker 200. The containing tray drawer 204 is moved to the module loading position. The above operation is repeated in the same manner when the module is loaded in the user tray.

이상에서는 한 종류의 모듈을 테스트하는 모듈핸들러에 대해 설명하였으나, 모듈의 종류가 변화하여도 모듈 핸들러의 메인제어기에 의해 자동으로 대응이 가능하다. 모듈의 종류에 따라 자동적으로 가변되는 것은 제 1 및 제 2 이동로봇 (50)(50')의 픽앤플래이스 유니트(60)와, 제 1 및 제 2 테스트부 소켓지그의 가이드부재(139)와, 트레이 이동수단의 벨트 컨베이어 유니트(171) 및 승강판(177)과, 트레이 로딩수단의 트레이 지지부재 개폐실린더(165)와, 트레이 언로딩수단의 그리퍼(183) 및 유저트레이 스택커(200)의 재검적재지그이다.In the above, the module handler for testing one type of module has been described. However, even if the type of the module is changed, the module handler can be automatically handled by the main controller. The pick and place unit 60 of the first and second mobile robots 50 and 50 ', the guide member 139 of the first and second test part socket jig, , The belt conveyor unit 171 and the elevating plate 177 of the tray moving means, the tray supporting member opening and closing cylinder 165 of the tray loading means, the gripper 183 of the tray unloading means, and the user tray stacker 200. It is a rechecking jig of.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 모듈을 공급하는 모듈공급부와 모듈을 테스트하는 테스트부 및 테스트 완료된 모듈을 담는 모듈적재위치가 각각 2개로 구성되어 1회에 테스트할 수 있는 모듈의 수량이 16개로 늘어났기 때문에 모듈의 생산효율이 높아지고, 회수트레이나 유저트레이의 교체시 테스트가 중단되지 않으며, 또한 모듈의 종류에 따라 유저트레이 스택커 및 이동로봇의 픽앤플래이스 유니트 등이 자동적으로 조절되어 모듈의 종류가 변경되어도 테스트가 중단되지 않게 된다.As described above, according to the present invention, the module supply unit for supplying the module, the test unit for testing the module, and the module loading position for holding the tested module are each composed of two, each of which can be tested at a time Since the number is increased to 16, the production efficiency of the module is increased, the test is not interrupted when the recovery tray or the user tray is replaced, and the user tray stacker and the pick and place unit of the mobile robot are automatically adjusted according to the module type. Even if the type of is changed, the test is not interrupted.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고, 또한 설명하였으나, 본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 이하 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명아 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 다양한 변형실시가 가능할 것이다.Although the preferred embodiments of the present invention have been illustrated and described above, the present invention is not limited to the above-described specific preferred embodiments, and the present invention without departing from the gist of the present invention as claimed in the following claims. Those skilled in the art will be able to implement various modifications.

Claims (8)

조립된 메모리 모듈의 테스트를 위해 모듈을 테스트부에 반송하고, 반송된 모듈을 테스트부에 삽입하며, 테스트되어 배출되는 모듈을 테스트 결과에 따라 분류하여 적재하는 모듈 테스트 핸들러에 있어서,In the module test handler for returning the module to the test unit for the test of the assembled memory module, inserting the returned module to the test unit, classifying the module to be tested and discharged according to the test result, 테스트할 모듈이 담긴 회수트레이를 적재하여 순차적으로 공급하는 적어도 2개 이상의 공급스테이션을 갖는 모듈공급부;A module supply unit having at least two supply stations for sequentially loading and supplying a recovery tray containing a module to be tested; 상기 모듈공급부로부터 운반된 모듈을 고정하여 테스트하는 제 1 및 제 2 테스트부;First and second test units for fixing and testing a module carried from the module supply unit; 적어도 2 개 이상의 모듈적재위치에 안치된 유저트레이에 상기 테스트가 완료된 모듈이 채워지면 반출스택커에 적재하는 트레이 공급부;A tray supply unit for loading the stacker when the module in which the test is completed is filled in a user tray placed in at least two module stacking positions; 다수의 빈 유저트레이를 적재하여 상기 모듈적재위치에 순차적으로 공급하는 유저트레이 스택커;A user tray stacker stacking a plurality of empty user trays and sequentially supplying the empty user trays to the module stacking positions; 상기 제 1 및 제 2 테스트부 각각의 주위에 설치되며, 상기 모듈의 테스트 결과에 따라 불량모듈 및 재검모듈이 각각 담기는 제 1 및 제 2 불량적재트레이 및 재검적재지그;First and second defective loading trays and rechecking jig installed around each of the first and second test units, each of which contains a defective module and a rechecking module according to a test result of the module; 상기 제 1 및 제 2 테스트부 사이에 설치되어 모듈을 운반하는 제 1 및 제 2 이동버퍼;First and second moving buffers installed between the first and second test units to carry modules; 상기 제 1 테스트부와 상기 공급스테이션 상측에 설치되어 상기 제 1 테스트부, 상기 공급스테이션, 상기 이동버퍼, 상기 제 1 불량적재트레이 및 상기 제 1 재검적재지그 사이에서 모듈을 이동시키는 제 1 이동로봇; 및A first mobile robot installed above the first test unit and the supply station to move a module between the first test unit, the supply station, the moving buffer, the first bad loading tray, and the first reloading jig; ; And 상기 제 2 테스트부와 상기 모듈적재위치 상측에 설치되어 상기 제 2 테스트부, 상기 모듈적재위치, 상기 이동버퍼, 상기 제 2 불량적재트레이 및 상기 제 2 재검적재지그 사이에서 모듈을 이동시키는 제 2 이동로봇;을 포함하는 것을 특징으로 하는 모듈 테스트 핸들러.A second unit installed above the second test unit and the module loading position to move the module between the second test unit, the module loading position, the moving buffer, the second defective loading tray, and the second reloading jig; Module test handler, comprising: a mobile robot. 제 1 항에 있어서, 상기 모듈공급부는, The method of claim 1, wherein the module supply unit, 높이가 다른 2종의 다수의 회수트레이를 벌크타입으로 적재하며, 적재된 상기 회수트레이를 1개씩 중간 분리하는 회수트레이 스택커; 및A recovery tray stacker for loading a plurality of recovery trays having different heights in a bulk type, and separating the stacked recovery trays one by one; And 상기 회수트레이 스택커에 상기 회수트레이를 로딩 및 언로딩하는 공급스테이션;을 포함하는 것을 특징으로 하는 모듈 테스트 핸들러.And a supply station for loading and unloading the recovery tray to the recovery tray stacker. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 테스트부는 The method of claim 1, wherein the first and second test unit 상기 모듈을 테스트기와 연결하기 위한 테스트 소켓; 및A test socket for connecting the module with a tester; And 상기 모듈을 상기 테스트 소켓에 삽입하거나 취출할 때 상기 모듈을 가이드하는 소켓지그;를 포함하는 것을 특징으로 하는 모듈 테스트 핸들러.And a socket jig for guiding the module when the module is inserted into or taken out of the test socket. 제 3 항에 있어서, 상기 소켓지그는,The method of claim 3, wherein the socket jig, 모터, 상기 모터에 의해 구동되는 볼스크류, 상기 볼스크류에 나사결합된 볼너트, 상기 볼너트가 고정된 가이드판 및 상기 가이드판을 안내하는 리니어가이드로 이루어진 가이드 조정수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 모듈 테스트 핸들러.And a guide adjusting means comprising a motor, a ball screw driven by the motor, a ball nut screwed to the ball screw, a guide plate to which the ball nut is fixed, and a linear guide to guide the guide plate. Module test handler. 제 1 항에 있어서, 상기 유저트레이 스택커는,The method of claim 1, wherein the user tray stacker, 모듈의 종류에 따라 스택커의 폭이 자동 조정되는 것을 특징으로 하는 모듈 테스트 핸들러.Module test handler, characterized in that the width of the stacker is automatically adjusted according to the type of module. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 이동로봇은,The method of claim 1, wherein the first and second mobile robot, 8개의 모듈을 동시에 파지할 수 있는 픽앤플래이스 유니트를 포함하는 것을 특징으로 하는 모듈 테스트 핸들러.A module test handler comprising a pick and place unit that can hold eight modules simultaneously. 제 6 항에 있어서, 상기 픽앤플래이스 유니트는,The method of claim 6, wherein the pick and place unit, 상기 모듈을 테스트 소켓에 삽입하기 위한 삽입수단을 가지며, 모듈의 종류에 따라 자동으로 가변되는 것을 특징으로 하는 모듈 테스트 핸들러.And a means for inserting the module into a test socket, the module test handler being automatically changed according to the type of the module. 제 7 항에 있어서, 상기 모듈삽입수단은,The method of claim 7, wherein the module inserting means, 상기 이동로봇에 결합되는 픽앤플래이스 베이스판;Pick and place base plate coupled to the mobile robot; 상기 베이스판에 고정된 모터;A motor fixed to the base plate; 상기 모터와 연결되며 상기 베이스판에 회전운동이 가능하도록 부착된 볼스크류;A ball screw connected to the motor and attached to the base plate to enable rotational movement; 상기 볼스크류와 나사결합되는 볼너트;A ball nut screwed with the ball screw; 상기 볼너트에 결합되는 픽앤플래이스 프레임; 및A pick and place frame coupled to the ball nut; And 상기 베이스판과 상기 픽앤플래이스 프레임 사이에 배치되어 직선운동을 안내하는 직선운동가이드;로 이루어진 것을 특징으로 하는 모듈 테스트 핸들러.And a linear motion guide disposed between the base plate and the pick and place frame to guide linear motion.
KR1020000007976A 2000-02-19 2000-02-19 Module test handler KR100699459B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020000007976A KR100699459B1 (en) 2000-02-19 2000-02-19 Module test handler

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020000007976A KR100699459B1 (en) 2000-02-19 2000-02-19 Module test handler

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20010081820A KR20010081820A (en) 2001-08-29
KR100699459B1 true KR100699459B1 (en) 2007-03-26

Family

ID=19647979

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020000007976A KR100699459B1 (en) 2000-02-19 2000-02-19 Module test handler

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100699459B1 (en)

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100423946B1 (en) * 2001-09-12 2004-03-22 미래산업 주식회사 Indexing apparatus of semiconductor test handler and Method for operating the same
KR100517074B1 (en) 2003-06-05 2005-09-26 삼성전자주식회사 Transferring apparatus for tray and automatic test handler having thereof
KR100707717B1 (en) * 2005-10-04 2007-04-16 주식회사 프로텍 Semiconductor chip stacking method and apparatus
KR100759080B1 (en) * 2006-06-30 2007-09-19 주식회사 엔티에스 Socket for electronic module inspection
KR100892254B1 (en) * 2006-07-20 2009-04-17 (주)테크윙 Test handler
KR100842929B1 (en) * 2006-11-17 2008-07-02 에이엠티 주식회사 Module IC test handler
KR100958275B1 (en) * 2008-02-05 2010-05-19 에버테크노 주식회사 Handler Stacker
KR101032597B1 (en) * 2009-03-23 2011-05-06 에버테크노 주식회사 Stacker of handler
KR101911958B1 (en) * 2012-08-31 2018-10-25 세메스 주식회사 Customer tray stacker
KR101388925B1 (en) * 2012-11-20 2014-04-24 주식회사 아이비기술 Jig for flexible printed circuit board test
KR101375755B1 (en) * 2013-02-12 2014-03-18 주식회사 아이비기술 Method for controlling jig for flexible printed circuit board test
CN114029241A (en) * 2021-12-10 2022-02-11 山东爱德邦智能科技有限公司 Soft-packaged electrical core material loading sorting facilities

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR950012668A (en) * 1993-10-29 1995-05-16 문정환 Semiconductor device automatic storage device
KR970706502A (en) * 1995-07-28 1997-11-03 오오우라 히로시 Semiconductor device test system with semiconductor device test apparatus and plural semiconductor device test apparatus
KR19980042221A (en) * 1996-11-08 1998-08-17 오오우라히로시 Semiconductor device test device
KR19990070345A (en) * 1998-02-19 1999-09-15 구본준 Device loading device of semiconductor handler
KR20010098361A (en) * 2000-04-20 2001-11-08 박주천 Test handler

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR950012668A (en) * 1993-10-29 1995-05-16 문정환 Semiconductor device automatic storage device
KR970706502A (en) * 1995-07-28 1997-11-03 오오우라 히로시 Semiconductor device test system with semiconductor device test apparatus and plural semiconductor device test apparatus
KR19980042221A (en) * 1996-11-08 1998-08-17 오오우라히로시 Semiconductor device test device
KR19990070345A (en) * 1998-02-19 1999-09-15 구본준 Device loading device of semiconductor handler
KR20010098361A (en) * 2000-04-20 2001-11-08 박주천 Test handler

Also Published As

Publication number Publication date
KR20010081820A (en) 2001-08-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6346682B2 (en) Rambus handler
CN111606021B (en) Feeding and discharging device
KR100699459B1 (en) Module test handler
US5509193A (en) Apparatus for loading and unloading burn-in boards
US20020054813A1 (en) Apparatus for handling integrated circuits and trays for integrated circuits
CN218319190U (en) Automatic loading and unloading device
CN212944180U (en) Automatic test equipment for electronic element
KR19990014515A (en) Heat exchanger assembly device
CN110560388B (en) Automatic sorting device for metal samples
KR101824069B1 (en) Wire bonder distribution system and magazine transferring method thereof
US20090033352A1 (en) Handler and process for testing a semiconductor chips using the handler
KR100401014B1 (en) Test Handler
KR100295774B1 (en) sorting handler for burn-in test
JPH06127672A (en) Tray transfer method and device
KR102249305B1 (en) Electronic device test handler
KR100295776B1 (en) device for carrying tray in sorting handler for burr-iu tester
KR101015400B1 (en) Heat exchanger assembly device
CN113998457A (en) Multi-chip detection system
US5672040A (en) Parts feeding apparatus and parts feeding process
KR102249574B1 (en) Electric device unloading equipment
CN108453051B (en) Sorting and feeding device
JPS60153308A (en) Printed board supply/discharge device
KR102214037B1 (en) Electric device loading equipment
TW201327710A (en) Electronics equipment with a moving unit
KR102252639B1 (en) Electric device unloading equipment

Legal Events

Date Code Title Description
PA0109 Patent application

Patent event code: PA01091R01D

Comment text: Patent Application

Patent event date: 20000219

PG1501 Laying open of application
A201 Request for examination
PA0201 Request for examination

Patent event code: PA02012R01D

Patent event date: 20050218

Comment text: Request for Examination of Application

Patent event code: PA02011R01I

Patent event date: 20000219

Comment text: Patent Application

E902 Notification of reason for refusal
PE0902 Notice of grounds for rejection

Comment text: Notification of reason for refusal

Patent event date: 20060724

Patent event code: PE09021S01D

E902 Notification of reason for refusal
PE0902 Notice of grounds for rejection

Comment text: Notification of reason for refusal

Patent event date: 20060831

Patent event code: PE09021S01D

E701 Decision to grant or registration of patent right
PE0701 Decision of registration

Patent event code: PE07011S01D

Comment text: Decision to Grant Registration

Patent event date: 20070224

GRNT Written decision to grant
PR0701 Registration of establishment

Comment text: Registration of Establishment

Patent event date: 20070319

Patent event code: PR07011E01D

PR1002 Payment of registration fee

Payment date: 20070320

End annual number: 3

Start annual number: 1

PG1601 Publication of registration
PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20091224

Start annual number: 4

End annual number: 4

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20110103

Start annual number: 5

End annual number: 5

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20120229

Start annual number: 6

End annual number: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130228

Year of fee payment: 7

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20130228

Start annual number: 7

End annual number: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140228

Year of fee payment: 8

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20140228

Start annual number: 8

End annual number: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150302

Year of fee payment: 9

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20150302

Start annual number: 9

End annual number: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170228

Year of fee payment: 11

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20170228

Start annual number: 11

End annual number: 11

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180228

Year of fee payment: 12

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20180228

Start annual number: 12

End annual number: 12

LAPS Lapse due to unpaid annual fee
PC1903 Unpaid annual fee

Termination category: Default of registration fee

Termination date: 20191230