KR100671251B1 - Substrate processing equipment - Google Patents
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Abstract
본 발명은, 설치에 필요한 바닥 면적이 적고, 간단한 기구로 기판을 경사 자세로 반송할 수 있어서, 설비 코스트의 저감화에 공헌하는 기판 처리 장치를 제공한다.The present invention provides a substrate processing apparatus that has a low floor area required for installation, can convey the substrate in an inclined position by a simple mechanism, and contributes to the reduction of facility cost.
제 1 처리부(20)에서 처리가 실시된 후의 기판을, 반송 방향 전환부(40)가 반송 방향을 전환하고, 경사 반송부(49)에 의해, 제 1 반송로(41)의 구배로 경사 자세가 된 상태를 대략 유지한 채로 제 2 반송로(43)까지 반송한다. 이 경사 반송부(49)에 의해 반송되는 기판(B)의 주면에 대해서는 액 공급부가 처리액을 공급한다. 제 2 반송로(43) 및 제 2 처리부(30)에서는, 경사 반송부(49)에 의해 경사 자세가 유지되어 있는 기판을, 그 자세인 채로 제 1 처리부(20)와 역방향으로 반송시켜 처리한다.The conveyance direction switching part 40 switches a conveyance direction, and the inclination attitude | position in the gradient of the 1st conveyance path 41 by the inclination conveyance part 49 by the board | substrate after a process performed in the 1st process part 20 is carried out. It conveys to the 2nd conveyance path 43, maintaining the state which became into substantially. The liquid supply unit supplies the processing liquid to the main surface of the substrate B conveyed by the inclined conveyance unit 49. In the 2nd conveyance path 43 and the 2nd processing part 30, the board | substrate with which the inclination posture was hold | maintained by the inclination conveyance part 49 is conveyed and processed in the opposite direction to the 1st processing part 20 with the attitude | position. .
Description
도 1은 본 발명의 제 1 실시형태에 관한 기판 처리 장치의 개략을 도시한 평면도.1 is a plan view showing an outline of a substrate processing apparatus according to a first embodiment of the present invention.
도 2는 도 1에 도시한 기판 처리 장치의 개략을 측면시 등으로 도시한 도면으로서, (가)는 제 1 처리부로부터 반송 방향 전환부를 도시한 측면도, (나)는 반송 방향 전환부의 측면 사시도, (다)는 반송 방향 전환부로부터 제 2 처리부를 도시한 측면도.FIG. 2 is a view showing the outline of the substrate processing apparatus shown in FIG. 1 in side view, (a) is a side view showing a conveying direction switching unit from a first processing unit, (b) is a side perspective view of a conveying direction switching unit, (C) is a side view which shows a 2nd process part from a conveyance direction switching part.
도 3은 기판 전환 장치의 일 실시형태를 도시한 설명도로서, (가)는 수평 자세의 기판이 기판 전환 장치에 재치된 상태를 도시한 측면도, (나)는 동 배면도, (다)는 기판 전환 장치 상의 기판이 제 1 처리부의 기판 반송로에 옮겨 실린 상태를 도시한 측면도, (라)는 동 배면도.3 is an explanatory view showing an embodiment of a substrate switching device, (a) is a side view showing a state in which a substrate in a horizontal posture is placed on the substrate switching device, (b) is the same rear view, and (c) is The side view which shows the state in which the board | substrate on the board | substrate switching apparatus was carried to the board | substrate conveyance path of the 1st process part, (D) is the same back view.
도 4는 기판 처리 장치의 일부분을 도시한 사시도이고, 기판이 제 1 처리부에 반송되어 있는 상태를 도시한 도면.4 is a perspective view showing a part of the substrate processing apparatus, and illustrates a state in which the substrate is conveyed to the first processing unit.
도 5는 기판 처리 장치의 일부분을 도시한 사시도이고, 제 1 반송로에 반입된 기판이 경사 반송부에 반출되어 있는 상태를 도시한 도면.FIG. 5 is a perspective view showing a part of the substrate processing apparatus, and showing a state in which the substrate carried in the first conveying path is carried out to the inclined conveying unit; FIG.
도 6은 기판 처리 장치의 일 부분을 도시한 사시도이고, 제 2 반송로에 반입된 기판이 제 2 처리부를 향하여 반출되고 있는 상태를 도시한 도면.FIG. 6 is a perspective view showing a part of the substrate processing apparatus, and illustrates a state in which the substrate carried in the second conveying path is carried out toward the second processing unit. FIG.
도 7은 기판 승강 장치 근방의 제 1 반송로를 도시한 평면도.The top view which shows the 1st conveyance path of the board | substrate lifting apparatus vicinity.
도 8(a),(b),(c)은 각각 기판의 수도(受渡)시의 기판 승강 장치의 동작을 도시한 도면으로, 도 4의 +X방향으로 본 측면도.8 (a), 8 (b) and 8 (c) are views showing the operation of the substrate elevating device at the time of water supply of the substrate, respectively, and are side views seen in the direction of + X in FIG.
도 9는 기판의 수도 시의 반송 방향 전환부 각 부의 동작을 도시한 도 4의 -Y방향으로 본 개략 측면도로서, (a)는 기판 승강 장치 근방의 제 1 반송로 부분을 도시한 측면도, (b)는 기판 승강 장치로부터 경사 반송부 및 기판 승강 장치에 관한 제 1 반송로, 경사 반송부 및 제 2 반송로 부분을 도시한 도면, (c)은 기판 승강 장치 근방의 제 2 반송로 부분을 도시한 측면도. Fig. 9 is a schematic side view viewed from the -Y direction of Fig. 4 showing the operation of each part of the conveyance direction switching unit at the time of water supply of the substrate, (a) is a side view showing a part of the first conveyance path in the vicinity of the substrate lifting apparatus, ( (b) is a figure which shows the 1st conveyance path, the inclined conveyance part, and the 2nd conveyance path part which concern on the inclination conveyance part and the board | substrate elevating apparatus from a board | substrate elevating apparatus, (c) shows the 2nd conveyance path part of the board | substrate elevating apparatus vicinity. Side view shown.
도 10은 본 발명의 제 2 실시형태에 관한 기판 처리 장치를 도시한 측면시에 의한 설명도로서, (가)는 제 2 실시형태에 관한 기판 처리 장치의 제 1 처리부의 개략 구성을 도시한 측면도, (나)는 제 2 실시형태에 관한 기판 처리 장치의 제 2 처리부의 개략 구성을 도시한 측면도. It is explanatory drawing by the side view which shows the substrate processing apparatus which concerns on 2nd Embodiment of this invention, (a) is a side view which shows schematic structure of the 1st processing part of the substrate processing apparatus which concerns on 2nd Embodiment. (B) is a side view which shows schematic structure of the 2nd process part of the substrate processing apparatus which concerns on 2nd Embodiment.
〈도면의 주요부분에 대한 부호의 설명〉 <Explanation of symbols for main parts of drawing>
10 : 기판 처리 장치 12 : 기판 반송 롤러10
20 : 제 1 처리부 21 : 기판 전환 장치20: first processing unit 21: substrate switching device
29 : 기판 반송로 30 : 제 2 처리부29
39 : 기판 반송로 40 : 반송 방향 전환부39: substrate conveyance path 40: conveying direction switching unit
41 : 제 1 반송로 42 : 액 공급부41: 1st conveyance path 42: liquid supply part
43 : 제 2 반송로 49 : 경사 반송부43: second conveying path 49: inclined conveying unit
60 : 기판 승강 장치 61 : 롤러 지지 프레임체60: substrate lifting device 61: roller support frame
62 : 방향 전환 롤러 63 : 지지축62: direction change roller 63: support shaft
80 : 기판 승강 장치 81 : 롤러 지지 프레임체80
82 : 방향 전환 롤러 121 : 분할 반송 롤러82: direction change roller 121: split conveying roller
211 : 기판 재치부 212 : 실린더211: substrate placing unit 212: cylinder
B : 기판 C : 기판 수납 카세트 B: substrate C: substrate storage cassette
R : 로봇부R: Robot part
본 발명은, 액정 표시 장치나 PDP(Plasma Display Panel), 혹은 각종 반도체장치의 제조 공정에 이용되어, 액정 표시용 유리 기판, PDP용 유리 기판, 반도체 웨이퍼나 포토마스크용 유리 기판 등의 각종 기판에 대하여 각각 소정의 처리를 실시하는 기판 처리 장치에 관한 것이다. INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention is used in the manufacturing process of a liquid crystal display device, a plasma display panel (PDP), or various semiconductor devices, and is applied to various substrates such as a liquid crystal display glass substrate, a PDP glass substrate, a semiconductor wafer, or a photomask glass substrate. It relates to a substrate processing apparatus which performs predetermined processing with respect to each.
종래부터, 예를 들어, 특허문헌 1에 나타난 바와 같이, 평면에서 보아 대략 「コ」자 형상으로 각 처리부가 배치되고, 레지스트 도포 처리, 노광 처리, 현상 처리 등의 미리 정해진 일련의 처리를 기판에 실시하는 기판 처리 장치가 알려져 있다. 이 기판 처리 장치는, 기판 수납 카세트로부터 취출된 기판을, 일 방향을 향하여 반송되면서 소정의 처리를 실시하는 제 1 반송로(51)와, 이 제 1 반송로(51)에서의 처리가 완료된 기판의 반송 방향을 전환시키는 반전 경로(53)와, 이 반전 경로(53)로부터 수취한 기판을, 제 1 반송로(51)의 반송 방향과는 역방향으로 반송하면서 기판에 소정의 처리를 실시하는 제 2 반송로(52)를 가지고, 장치 전체로는, 평면에서 보아 대략 「コ」자 형상으로 구성되어 있다. Conventionally, for example, as shown in Patent Literature 1, each processing unit is arranged in a substantially “co” shape in plan view, and a predetermined series of processes such as a resist coating process, an exposure process, and a developing process are applied to a substrate. The substrate processing apparatus to be implemented is known. The substrate processing apparatus includes a first transport path 51 for carrying out a predetermined process while transporting a substrate taken out from the substrate storage cassette toward one direction, and a substrate on which the processing in the first transport path 51 is completed. An inverting path 53 for switching the conveying direction of the substrate and a substrate for performing a predetermined process on the substrate while conveying the substrate received from the inverting path 53 in the opposite direction to the conveying direction of the first conveying path 51. It has 2 conveyance paths 52, and the whole apparatus is comprised in substantially "co" shape by planar view.
이 특허문헌 1에 나타난 기판 처리 장치에서는, 상기 반전 경로(53)가, 기판을 경사지게 한 상태로 반송하는 경사 반송 기구를 가지고, 이 경사 상태의 기판 반송에 의해, 기판에 대하여 처리액을 공급하였을 때에 있어서 기판으로부터 액체가 튀는 것을 저감하는 것을 가능하게 한다. In the substrate processing apparatus shown in this patent document 1, the said inversion path 53 has the inclination conveyance mechanism which conveys in the state which inclined the board | substrate, and the process liquid was supplied to the board | substrate by the board conveyance of this inclination state. This makes it possible to reduce the liquid splashing from the substrate.
또한, 수평 상태의 기판을 경사 자세로 전환하는 기구로는, 특허문헌 2에 나타난 기판 자세 변경 장치가 제안되어 있다. 이 기판 자세 변경 장치는, 이 특허문헌 2의 도 2에 도시된 바와 같이, 기판(B)을 경사 자세로 반송하는 부분 지지형 롤러(93)와, 이 부분 지지형 롤러(93)의 상류 측에 설치되어, 수평 자세의 기판(B)을 경사 자세로 변경하여 부분 지지형 롤러(93)에 도입하는 입구 측 이재(移載) 장치(3)를 가지고, 기판(B)의 반송 방향에 직교하는 축심을 구비하여 병설된 복수의 단위 롤러(R1∼R5)를 개별적으로 수평 자세와 경사 자세와의 사이에서 자세 변경시키는 복수의 자(子) 실린더(C1∼C5)에 의해, 기판(B)을 수평 자세와 경사 자세와의 사이에서 자세 변경시키는 장치이다.Moreover, the board | substrate attitude | position change apparatus shown in patent document 2 is proposed as a mechanism which switches a board | substrate of a horizontal state to inclined attitude | position. As shown in FIG. 2 of this patent document 2, this board | substrate attitude | position change apparatus is the partial support roller 93 which conveys the board | substrate B in an inclined attitude | position, and the upstream side of this partial support roller 93. It is provided in the inlet side transfer apparatus 3 which is installed in the horizontal posture, and changes the board | substrate B of a horizontal posture into inclination posture, and introduces into the partial support roller 93, and is orthogonal to the conveyance direction of the board | substrate B. The board | substrate B is provided by the several cylinder cylinders C1-C5 which change the attitude | position between the horizontal posture and the inclined posture individually with the several unit roller R1-R5 provided with the axial center to make. Is a device for changing the posture between a horizontal posture and an inclined posture.
[특허문헌 1] [Patent Document 1]
일본국 특개 2000-31239호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-31239
[특허문헌 2][Patent Document 2]
일본국 특개평 9-226916호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-226916
그러나, 상기 기판 자세 변경 장치를 적용한 기판 처리 장치의 경우, 수평 자세의 기판을 경사 자세로 변경하기 위해 복잡한 기구가 필요하게 되어(특허문헌 2의 도 2 등), 코스트도 높아진다. 또한, 이러한 기판 자세 변경 장치를 기판 반송로에 추가하여 설치하기 때문에, 그만큼, 기판 처리 장치를 설치하기 위해 필요한 바닥 면적이 커지게 된다.However, in the case of the substrate processing apparatus to which the said board | substrate attitude change apparatus was applied, in order to change a board | substrate of a horizontal attitude | position to an inclined attitude | position, a complicated mechanism is needed (FIG. 2 of patent document 2), and cost also becomes high. Moreover, since such a board | substrate attitude change apparatus is installed in addition to a board | substrate conveyance path, the floor area required for installing a board | substrate processing apparatus becomes large by that much.
본 발명은, 이러한 상황을 감안하여 이루어진 것으로서, 설치에 필요한 바닥 면적이 적고, 간단한 기구로 기판을 경사 자세로 반송할 수 있어, 설비 코스트의 저감화에 공헌하는 기판 처리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.This invention is made | formed in view of such a situation, and an object of this invention is to provide the board | substrate processing apparatus which has few floor spaces for installation, can convey a board | substrate in inclined attitude by a simple mechanism, and contributes to reduction of equipment cost. .
청구항 1에 기재된 발명은, 미리 정해진 방향으로 기판을 반송시키면서 해당 기판을 처리하는 제 1 처리부와,1st processing part which processes this board | substrate, conveying a board | substrate in a predetermined direction, and the invention of Claim 1,
상기 제 1 처리부와 대략 평행하게 배치되어, 상기 미리 정해진 방향과 역방향으로 기판을 반송시키면서 해당 기판을 처리하는 제 2 처리부와,A second processing unit disposed substantially parallel to the first processing unit and processing the substrate while conveying the substrate in the opposite direction to the predetermined direction;
상기 제 1 처리부의 기판 반송 종료단과 상기 제 2 처리부의 기판 반송 개시단 사이에서 기판을 반송하면서, 상기 제 1 처리부에 의한 기판 반송 방향을 상기 제 2 처리부에 의한 기판 반송 방향으로 전환하는 반송 방향 전환부를 구비한 기판 처리 장치에서,Transfer direction switching which switches the board | substrate conveyance direction by a said 1st process part to the board | substrate conveyance direction by a said 2nd process part, conveying a board | substrate between the board | substrate conveyance end end of a said 1st process part, and the board | substrate conveyance start end of a said 2nd process part. In the substrate processing apparatus provided with a part,
상기 반송 방향 전환부는, 상기 제 1 처리부의 기판 반송 종료단으로부터 기판을 수취하고, 기판 반송 방향을 향하여 구배(句配)를 가지는 제 1 반송로와, A said 1st conveyance path which receives a board | substrate from the board | substrate conveyance end of the said 1st process part, and has a gradient toward a board | substrate conveyance direction, The said conveyance direction switching part,
상기 제 1 반송로가 가지는 상기 구배에 의해 경사지게 된 기판의 자세를 대략 유지한 상태로 기판을 반송하는 경사 반송부와,An inclined conveying unit for conveying the substrate in a state in which the posture of the substrate inclined by the gradient of the first conveying path is substantially maintained;
상기 경사 반송부에 의해 반송되는 기판의 주면에 처리액을 공급하는 액 공급 수단을 구비하는 것이다.It is provided with the liquid supply means which supplies a process liquid to the main surface of the board | substrate conveyed by the said inclined conveyance part.
이 구성에서는, 제 1 처리부에서 처리가 실시된 후의 기판을, 반송 방향 전환부가 반송 방향을 전환하고, 그 경사 반송부에 의해, 제 1 반송로의 구배로 경사 자세가 된 상태를 대략 유지한 채로 제 2 처리부까지 반송한다. 이 경사 반송부에 의해 반송되는 기판의 주면에 대하여 액 공급 수단이 처리액을 공급하고, 제 2 처리부에서는, 이 기판을, 제 1 처리와는 역방향으로 반송시키면서 처리하도록 되어 있다. In this structure, the conveyance direction switching part switches the conveyance direction, and the board | substrate after a process was performed by the 1st processing part, and keeps the state which became the inclination posture by the gradient of a 1st conveyance path by the inclination conveyance part substantially. It returns to a 2nd process part. The liquid supply means supplies the processing liquid to the main surface of the substrate conveyed by the inclined conveying unit, and the second processing unit processes the substrate while conveying the substrate in the reverse direction to the first processing.
청구항 2에 기재된 발명은, 청구항 1에 기재된 기판 처리 장치에서, 상기 경사 반송부로부터 반송되어온 기판을, 그 경사 자세를 대략 유지하면서, 상기 제 2 반송로의 기판 반송 개시단을 향하여 반송하고, 기판 반송 방향에 대하여 상기 제 1 처리부의 상기 구배와는 반대 방향으로 경사진 구배를 가지는 제 2 반송로를 구비한 것이다.Invention of Claim 2 conveys the board | substrate conveyed from the said inclination conveyance part toward the board | substrate conveyance start end of a said 2nd conveyance path in the substrate processing apparatus of Claim 1, maintaining substantially the inclination posture, and a board | substrate It is equipped with the 2nd conveyance path which has the gradient inclined in the direction opposite to the said gradient of the said 1st process part with respect to a conveyance direction.
이 구성은, 제 1 반송로의 구배에 의한 경사 자세를 대략 유지하여 경사 반송부로부터 반송되어오는 기판을, 기판 반송 방향에 대하여 제 1 반송로의 구배와 반대 방향으로 경사진 구배를 가지는 제 2 반송로가, 기판 반송부에 의해 경사지게 된 상태를 대략 유지한 채로, 제 2 처리부의 기판 반송 개시단을 향하여 반송하도록 함으로써, 제 1 반송로 및 기판 반송부로부터 제 2 반송로에 걸쳐, 기판을 그 경사 자세를 변경하지 않고 반송하는 것이다.This structure is the 2nd which has the gradient which inclined the board | substrate conveyed from the inclined conveyance part about the inclination posture by the gradient of a 1st conveyance path in the direction opposite to the gradient of a 1st conveyance path with respect to a board | substrate conveyance direction. The substrate is transported from the first conveying path and the substrate conveying part to the second conveying path by causing the conveying path to be conveyed toward the substrate conveying start end of the second processing part while substantially maintaining the state inclined by the substrate conveying part. It conveys without changing the inclination posture.
청구항 3에 기재된 발명은, 청구항 2에 기재된 기판 처리 장치로서, 상기 제 1 반송로에는, 해당 제 1 반송로의 구배에 의해 부여되는 기판 경사 자세를 유지한 채로, 상기 제 1 처리부에 의한 기판 반송 방향에 직교하는 방향으로 기판 반송 방향을 전환하는 반송 방향 전환 장치가 설치되고,Invention of Claim 3 is a substrate processing apparatus of Claim 2 WHEREIN: The board | substrate conveyance by a said 1st process part is maintained in the said 1st conveyance path, maintaining the board | substrate inclination posture provided by the gradient of the said 1st conveyance path. The conveying direction switching apparatus which switches a board | substrate conveyance direction in the direction orthogonal to a direction is provided,
상기 경사 반송부는, 상기 반송 방향 전환 장치로부터 수취한 기판을, 상기 제 1 처리부에 의한 기판 반송 방향과 동일 방향으로서, 또한, 해당 경사 반송부에 의한 기판 반송 방향에 직교하는 방향으로 경사지게 하여 반송하는 것이다.The said inclined conveyance part inclines and conveys the board | substrate received from the said conveyance direction switching apparatus in the same direction as the board | substrate conveyance direction by the said 1st process part, and also to the direction orthogonal to the board | substrate conveyance direction by the said inclination conveyance part. will be.
이 구성에서는, 반송 방향 전환 장치에 의해, 제 1 반송로의 구배에 의해 부여되는 기판 경사 자세를 유지한 채로 기판의 반송 방향을 전환시키고, 경사 반송부에서는 제 1 반송로에서 경사지게 된 기판의 상태를 변경하지 않고, 이 방향 전환 후의 기판을 반송하여, 그때까지의 경사 자세를 유지한 채로 제 2 반송로로 반송하게 되어 있다.In this structure, the conveyance direction switching device changes the conveyance direction of a board | substrate, maintaining the board | substrate inclination attitude | position provided by the gradient of a 1st conveyance path, and the state of the board | substrate inclined by the 1st conveyance path in the inclination conveyance part. The board | substrate after this change of direction is conveyed, without changing to, and it is conveyed to the 2nd conveyance path, maintaining the inclined attitude up to then.
청구항 4에 기재된 발명은, 청구항 3에 기재된 기판 처리 장치로서, 상기 제 2 반송로에는, 상기 경사 반송부에 의해 반송되는 기판의 경사 자세를 유지한 채로, 상기 제 2 처리부에 의한 기판 반송 방향으로 기판 반송 방향을 전환하는 반송 방향 전환 장치가 더 설치되어 있는 것이다.Invention of Claim 4 is a substrate processing apparatus of Claim 3, Comprising: The board | substrate conveyance direction by a said 2nd process part is maintained in the said 2nd conveyance path, maintaining the inclination posture of the board | substrate conveyed by the said inclination conveyance part. The conveyance direction switching apparatus which switches a board | substrate conveyance direction is further provided.
이 구성에 의하면, 기판이 경사 반송부로부터 제 2 반송로로 반송된 후, 그때까지의 경사 자세를 유지한 채로 제 2 처리부를 향하여 기판 반송 방향을 전환하여, 기판을 제 2 처리부에 반송하게 되어 있다.According to this structure, after a board | substrate is conveyed from an inclined conveyance part to a 2nd conveyance path, the board | substrate conveyance direction is changed toward a 2nd process part, maintaining the inclination posture until then, and a board | substrate is conveyed to a 2nd process part have.
청구항 5에 기재된 발명은, 청구항 1 내지 4중 어느 한 항에 기재된 기판 처리 장치로서, 상기 제 1 처리부 또는 제 2 처리부에는, 상기 제 1 반송로 또는 제 2 반송로의 구배와 동일한 구배가 형성되고, 기판 수납 카세트로부터 기판을 넣거나 빼내는 기판 반송 로봇 사이에서 기판을 수도하여, 상기 제 1 처리부 또는 제 2 처리부에 기판을 재치하는 기판 수도 기구가 설치되어 있는 것이다. The invention according to claim 5 is the substrate processing apparatus according to any one of claims 1 to 4, wherein a gradient similar to a gradient of the first transfer path or the second transfer path is formed in the first processing unit or the second processing unit, The board | substrate water supply mechanism which transfers a board | substrate between the board | substrate conveyance robots which puts in or removes a board | substrate from a board | substrate accommodation cassette, and mounts a board | substrate to the said 1st process part or a 2nd process part is provided.
이 구성에 의하면, 제 1 처리부 또는 제 2 처리부에서도, 그 구배에 의해 기판을 경사 자세로 하여, 기판 처리 시에 기판 표면상에서의 처리액의 배수성을 향상시켜 처리 효율을 높일 수 있고, 또한, 기판 수도 기구에 의해, 구배를 가지는 제 1 처리부 또는 제 2 처리부와 기판 반송 로봇 사이에서의 기판 수도를 원활하게 행할 수 있다. According to this structure, also in a 1st process part or a 2nd process part, the board | substrate is made in the inclined attitude | position by the gradient, and the drainage of the processing liquid on the substrate surface can be improved at the time of a board | substrate process, and processing efficiency can be improved, and a board | substrate is also The water supply mechanism can smoothly carry out the substrate transfer between the first processing unit or the second processing unit having the gradient and the substrate transfer robot.
도 1은, 본 발명의 제 1 실시형태에 관한 기판 처리 장치의 개략을 도시한 평면도, 도 2는 도 1에 도시한 기판 처리 장치의 개략을 측면시 등으로 도시한 도면으로서, (가)는 제 1 처리부로부터 반송 방향 전환부를 도시한 측면도, (나)는 반송 방향 전환부의 측면 사시도, (다)는 반송 방향 전환부로부터 제 2 처리부를 도시한 측면도이다.1 is a plan view showing an outline of a substrate processing apparatus according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a view showing an outline of the substrate processing apparatus shown in FIG. 1 in a side view and the like. The side view which showed the conveyance direction change part from a 1st process part, (B) is the side perspective view of the conveyance direction change part, (C) is the side view which shows the 2nd process part from a conveyance direction change part.
본 실시형태에 관한 기판 처리 장치(10)는, 기판(B)에 대하여 미리 정해져 있는 일련의 처리를 실시하는 것으로, 도 1에 도시한 바와 같이, 기판 수납 카세트(C)로부터 반출된 기판(B)을 도 1의 오른쪽 방향으로 반송하면서, 이 기판(B)에 대하여 일련의 처리를 실시하는 제 1 처리부(20)와, 이 제 1 처리부(20)에서의 처리가 완료한 기판(B)을, 제 1 처리부(20)의 반송 방향과 역방향으로 반송하면서 다시 처리를 실시하는 제 2 처리부(30)를 가지고 있다. 이들 제 1 처리부(20) 및 제 2 처리부(30)는, 제 1 처리부(20)의 하류단으로부터 제 2 처리부(30)의 상류단으로 기판(B)을 중계하는 반송 방향 전환부(40)에 의해 서로 연결되어 있다. 그 때문에, 기판 처리 장치(10)는, 평면에서 보아 대략 「コ」자 형상을 나타내는 상태로 되어 있다. The
한편, 기판 처리 장치(10)에서의 제 1 처리부(20)의 상류 측과, 제 2 처리부(30)의 하류 측에 대응하는 장소에는, 기판(B)을 수납하는 복수의 기판 수납 카세트(C)와, 이 기판 수납 카세트(C)로부터 기판(B)을 넣거나 빼내는 로봇부(R)를 구비한 인덱서부(11)가 배치되어 있다. 처리 대상이 되는 기판(B)은, 기판 수납 카세트(C)로부터 로봇부(R)에 의해 순차 반출되어 제 1 처리부(20)로 반송된다. 처리가 끝난 기판(B)은, 로봇부(R)에 의해 제 2 처리부(30)로부터 기판 수납 카세트(C)로 돌아간다. On the other hand, in the place corresponding to the upstream side of the
제 1 처리부(20)는, 도 1 및 도 2(가)에 도시한 바와 같이, 기판 수납 카세트(C)로부터 로봇부(R)에 의해 수평 자세로 반송되어오는 기판(B)을 수취하여, 제 1 처리부(20) 내의 기판 반송로(반송로)(29)의 구배에 맞는 경사 자세로 자세 변경하는 기판 전환 장치(21)와, 상기 구배에 맞는 경사 자세로 반송되는 기판(B)에 대하여, 자외선을 조사하여 해당 기판(B)에 부착되어 있는 유기물로 이루어지는 더러움을 분해 처리하는 자외선 조사부(22)를 구비하고 있다. 본 실시형태에서는, 제 1 처리부(20)내의 기판 반송로(반송로)(29)는, 복수 개의 기판 반송 롤러(12)가 기판 반송 방향을 향하여 앞이 내려간 하강 구배가 되도록 형성되어 있다. As shown in FIG. 1 and FIG. 2A, the
기판 수납 카세트(C)로부터 로봇부(R)에 의해 수평 자세로 반출되어온 기판 (B)은, 기판 전환 장치(21)의 기판 재치부(211)의 핀(2111) 상에 수평인 자세로 재치되고, 이 기판 재치부(211)가 실린더(212)에 의해 하강되면, 기판 재치부(211) 상의 기판(B)은 기판 반송로(29) 상에 옮겨 실어진다. 기판 반송로(29)는, 도 2(가)에 도시한 바와 같이, 기판 반송 방향을 향하여 앞이 내려간 하강 구배를 가지고 있다. 이에 의해, 기판(B)은, 하강 구배를 가지는 기판 반송로(29)에 옮겨 실린 시점에서 수평 자세로부터 경사 자세로 전환된다. The board | substrate B carried out by the robot part R from the board | substrate accommodation cassette C to the horizontal attitude | position is mounted in the horizontal attitude | position on the
자외선 조사부(22)에는, 제 1 처리부(20)를 상하로 끼워 자외선 램프(221)가 설치되고, 도시하지 않는 구동 모터의 구동에 의해 기판 반송 롤러(12)가 회전 구동되어 반송되는 기판(B)은, 표리면이 이들 자외선 램프(221)로부터의 자외선의 조사에 의해, 기판(B)에 부착되어 있는 유기물에 의한 더러움이, 이후의 세정 처리에서 쉽게 제거되도록 분해된다. The
제 2 처리부(30)의 기판 반송로(39)는, 도 2(다)에 도시한 바와 같이, 복수 개의 기판 반송 롤러(12)가, 기판 반송 방향에 대하여 상승 구배를 형성하도록 하류 측(도 2의 왼쪽)을 향하여 앞이 올라가도록 병설되어 이루어진다. 이 제 2 처리부(30)는, 도 1 및 도 2(다)에 도시한 바와 같이, 반송 방향 전환부(40)로부터 기판 반송로(39)의 상승 구배를 따른 경사 자세가 되어 반송되어오는 기판(B)에 대하여 건조 처리를 실시하는 건조부(31)와, 로봇부(R)에 기판(B)을 수취하게 하기 위한 기판 반출부(32)를 구비하고 있다. 이 기판 반출부(32)에는, 건조부(31)에 의해 건조 처리가 실시된 기판(B)의 경사 자세를, 로봇부(R)에 의한 기판(B)의 수취가 가능해지도록 수평 자세로 되돌리는 기판 전환 장치(21)가 설치된다. As shown in FIG. 2 (c), the
건조부(31)는, 반송 방향 전환부(40)에서 세정 처리가 된 후의 기판(B)에 대하여 건조 처리를 실시하는 것이다. 건조부(31)에는, 기판 반송로(39)를 상하로 끼워 설치된 한 쌍의 에어 나이프(311)가 설치되어 있다. 각 에어 나이프(311)는, 각각의 대향면 측에 폭 방향으로 연장된 장척의 에어 분출 구멍을 가지고, 도시하지 않는 압축 공기원으로부터 청정 압축 공기가 이들 에어 분출 구멍으로부터 분출되도록 되어 있다. 이에 의해, 젖은 기판(B)이 기판 반송 롤러(12)에 의한 반송으로 에어 나이프(311) 사이를 통과할 때, 그 표리면에 부착되어 있는 세정액이 상하의 에어 나이프(311)의 에어 분출 구멍으로부터 분출되는 건조용 청정 에어에 의해 날아가, 기판(B)의 표리면이 건조되도록 되어 있다. The drying
기판 반출부(32)에서는, 건조부(31)에서 건조 처리가 실시된 기판(B)이, 기판 전환 장치(21)에 의해, 기판 반송부(39)를 따른 경사 자세로부터 수평 자세로 자세가 변경된다. 즉, 기판 반송 롤러(12) 상에 있는 경사 자세의 기판(B)을, 기판 전환 장치(21)의 기판 재치부(211)의 핀(2111)에 의해, 기판 반송 롤러(12) 사이로부터 위쪽으로 들어 올려 수평 자세로 하여, 로봇부(R)가 수취 가능한 상태가 된다. In the board | substrate carrying-out
반송 방향 전환부(40)는, 제 1 처리부(20)로부터 반송되어온 기판(B)을, 그 방향 및 경사 각도를 바꾸지 않고 제 2 처리부(30)까지 반송하는 것이다(도 1 및 도 2(나)). 즉, 기판(B)은, 제 1 처리부(20)의 하류단에서는, 기판 반송로(29)의 하강 구배와 동일한 각도로 경사진 상태로 되어 있지만, 반송 방향 전환부(40)는, 이 기판(B)의 기판 반송 방향에 대하여 앞이 내려가도록 되어 있는 경사 자세를 유 지한 채로, 기판 반송 방향을 90도 전환하여, 제 2 처리부(30)의 상류단까지 반송하고, 다시 기판 반송 방향을 90도 전환하여, 그 시점에서의 경사 자세를 유지한 채로, 제 2 처리부(30)를 향하여 기판(B)을 반송하도록 되어 있다. The conveyance direction switch
반송 방향 전환부(40)는, 도 1 및 도 2(나)에 도시한 바와 같이, 기판(B)을, 제 1 처리부(20) 하류단에 연결하여 설치된 제 1 반송로(41)와, 이 제 1 반송로(41)에 설치된 기판 승강 장치(60)와, 이 기판 승강 장치(60)로부터 기판을 수취한 기판(B)을 경사 자세로 반송하는 경사 반송부(49)와, 이 경사 반송부(49)에 의해 반송되는 기판(B)에 대하여 처리액을 공급하는 액 공급부(42)와, 제 2 처리부(30)의 상류단에 병설된 제 2 반송로(43)와, 액 공급부(42)에서의 처리가 실시된 기판(B)을, 경사 반송부(49)로부터 제 2 반송로(43)로 갈아 타게 하는 기판 승강 장치(80)를 구비한다.1 and 2 (b), the conveying
액 공급부(42)에 반입된 기판(B)은, 처리액 공급 장치(액 공급 수단)(421)로부터 공급되는 처리액에 의해 기판 표면이 처리된다. 즉, 제 1 처리부(20)로부터 제 2 처리부(30)에 기판(B)을 반송하는 동작과 동시에, 미리 정해진 처리가 기판(B)에 대하여 행하여지게 되어 있다. As for the board | substrate B carried in the
기판(B)이 경사 반송부(49)로부터 제 2 반송로(43)로 반송되면, 기판 승강 장치(80)에 의해, 기판 반송 방향이 다시 90도 변경된다. 또한, 기판 승강 장치(80)의 기판 반송 방향 상류 측에는, 마무리용 수세 샤워(431)가 설치되어 있다. 기판 반송로(39)에 반입된 기판(B)은, 이 수세 샤워(431)로부터의 세정수의 살포를 받은 후, 제 2 반송로(43)로부터 제 2 처리부(30)를 향하여 반송된다. 기판 승강 장치(80)의 기판 재치 부분 및 제 2 반송로(43)는, 제 2 반송로(43)에 의한 기판 반송 방향에 대하여 앞이 올라가도록 경사져 있고, 경사 반송부(49)에 의해 유지되어 있던 기판 경사 상태(경사 반송부(49)에 의한 기판 반송 방향에 직교하는 방향으로서, 수평 상태로부터 경사지게 되어 있는 상태)를 유지한 채로, 제 1 처리부(20)에 의한 기판 반송 방향과는 역방향으로 기판(B)이 반송되게 되어 있다. When the board | substrate B is conveyed from the
도 3은, 기판 전환 장치(21)의 일 실시형태를 도시한 설명도로서, (가)는 수평 자세의 기판(B)이 기판 전환 장치(21)에 재치된 상태를 도시한 측면도, (나)는 동 배면도, (다)는 기판 전환 장치(21) 상의 기판(B)이 제 1 처리부(20)의 기판 반송로(29)에 옮겨 실린 상태를 도시한 측면도, (라)는 동 배면도이다. 3: is explanatory drawing which showed one Embodiment of the board |
기판 전환 장치(21)는, 본 실시형태에서는, 제 1 처리부(20)의 기판 반송 방향 상류단 및 제 2 처리부(30)의 기판 반송 방향 하류단에 설치된다. 기판 전환 장치(21)는, 도 3의 각 도면에 도시한 바와 같이, 기판(B)이 재치되는 기판 재치부(211)와, 이 기판 재치부(211)를 승강시키는 승강 기구인 실린더(212)를 구비하고 있다. 기판 재치부(211)는, 4개의 핀(2111)에 의해 기판(B)의 하면을 지지하고, 이들 핀(2111)은 기판 반송 롤러(12)들의 간극으로부터 기판 반송로(29)보다 위쪽으로 돌출 가능하게 되어 있다. In this embodiment, the board |
이 기판 재치부(211)는, 실린더(212)의 승강에 의해, 핀(2111)의 상단이 기판 반송 롤러(12)에 의해 형성되는 기판 반송로(29)보다 위쪽에 위치하는 위쪽 위치(L1)와, 핀(2111)의 상단이 기판 반송로(29)보다 아래쪽에 위치하는 아래쪽 위치(L2) 사이에서 위치 변경된다. As for the board |
이와 같이 구성된 기판 전환 장치(21)에 의해, 기판 재치부(211)가 위쪽 위치(L1)에 위치 설정된 상태로, 도 3의(가)에 도시한 바와 같이, 기판 수납 카세트(C)로부터 로봇부(R)(도 3에서는 도시 생략)에 의해 반출된 기판(B)이 기판 재치부(211)의 핀(2111)의 상단에 재치된다. 이 상태에서, 실린더(212)에 의해 기판 재치부(211)가 하강되면, 기판 재치부(211)에 지지되어 있던 기판(B)은, 도 3의(다)에 도시한 바와 같이, 제 1 처리부(20) 내의 기판 반송로(29)(기판 반송 롤러(12)) 상에 옮겨 실리고, 이후, 기판 반송 롤러(12)의 회전 구동에 의해 제 1 처리부(20) 내를 반송되어 진다.By the board |
또한, 도 3(다)에 도시한 바와 같이 제 2 처리부(30)의 기판 반송 롤러(12)상에 기판(B)이 재치되어 있는 상태에서, 기판 전환 장치(21)의 기판 재치부(211)가 상승함으로써, 기판(B)이 제 2 처리부(30)로부터 기판 재치부(211)에 옮겨 실려, 로봇부(R)에 기판(B)을 인도하는 것이 가능한 상태가 된다. In addition, as shown in FIG.3 (C), the board |
기판 처리 장치(10)에 의한 기판 반송에 관하여 상세히 설명한다. 도 4, 5 및 6은, 기판 처리 장치(10)의 일부분을 도시한 사시도이고, 제 1 처리부(20)의 하류단으로부터, 반송 방향 전환부(40) 및 제 2 처리부(30)의 상류단에 관한 부분을 도시하고 있다. 구체적으로는, 도 1 및 2에서의 자외선 조사부(22)(기판 반송로(29)), 제 1 반송로(41), 기판 승강 장치(60), 경사 반송부(49), 제 2 반송로(43), 기판 승강 장치(80) 및 건조부(31)(기판 반송로(39))를 도시하고 있다(자외선 램프(221) 및 에어 나이프(311)의 도시는 생략). 또한, 도 4는 기판(B)이 제 1 처리부(20)를 반송하고 있는 상태를 도시하고, 도 5는 제 1 반송로(41)에 반입된 기판(B) 이 경사 반송부(49)에 반출되고 있는 상태를 도시하며, 도 6은 제 2 반송로(43)에 반입된 기판(B)이 제 2 처리부(30)를 향하여 반출되고 있는 상태를 도시하고 있다. 또한, 도 4∼6에서, X-X방향을 폭 방향, Y-Y방향을 전후 방향이라고 하고, 특히 -X방향을 왼쪽, +X방향을 오른쪽, -Y방향을 앞쪽, +Y방향을 뒤쪽이라고 한다. Substrate conveyance by the
제 1 처리부(20)의 기판 반송 방향 하류단으로부터, 반송 방향 전환부(40) 및 제 2 처리부(30)의 기판 반송 방향 상류단에 관한 부분에서의 기판(B) 반송 동작을 설명한다. 도 1 및 도 2에서 도시한 인덱서부(11)로부터 제 1 처리부(20)로 옮겨진 기판(B)은, 제 1 처리부(20)의 기판 반송로(29)에 의해 도 4의 +Y방향으로 반송되어, 자외선 조사부(22)를 지나, 제 1 반송로(41)까지 반송된다. 기판(B)이 제 1 반송로(41)까지 반송되면, 도 5에 도시한 바와 같이, 기판 승강 장치(60)에 의해 기판(B)의 반송 방향이 전환되어, 동 도면 +X방향을 향한 기판(B)의 반송이 개시된다. 그리고, 도 5에 도시한 바와 같이, 기판(B)은 기판 승강 장치(60)로부터 경사 반송부(49)로 인도되고, 기판(B)은 경사 반송부(49)에 의해 제 2 반송로(43)의 기판 승강 장치(80)까지 반송된다. 기판(B)이 기판 승강 장치(80)까지 반송되면, 기판 승강 장치(80)로부터 제 2 반송로(43)의 분할 기판 반송 롤러(121)에 기판(B)이 인도되고, 기판(B)의 반송 방향이 제 2 처리부(30)를 향하는 방향으로 전환된다. 그 후, 도 6에 도시한 바와 같이, 기판(B)은, 분할 기판 반송 롤러(121)에 의해 제 2 처리부(30)의 기판 반송로(39)를 향하여 반송되어간다. 이 기판(B)은, 건조부(31)를 지나 제 2 처리부(30) 하류단까지 반송되어, 인덱서부(11)에 인수된다.The board | substrate B conveyance operation | movement in the part regarding the board | substrate conveyance direction upstream end of the conveyance
이어서 도 4 내지 6을 이용하여, 제 1 처리부(20)의 기판 반송 방향 하류단으로부터, 반송 방향 전환부(40) 및 제 2 처리부(30)의 기판 반송 방향 상류단에 관한 부분의 구성을 상세히 설명한다. 반송 방향 전환부(40)는, 제 1 처리부(20)의 기판 반송로(29)의 하류단에 설치된 제 1 반송로(41) 및 기판 승강 장치(60)와, 제 1 처리부(20) 및 제 2 처리부(30)에 의한 기판 반송 방향에 직교하는 방향으로 기판(B)을 반송하는 경사 반송부(49)와, 제 2 처리부(30)의 상류단에 설치된 제 2 반송로(43) 및 기판 승강 장치(80)를 구비하고 있다. 4-6, the structure of the part regarding the board | substrate conveyance direction upstream of the conveyance
기판 처리 장치(10) 내에는, 제 1 처리부(20)의 기판 반송로(29)를 따르고, 또한, 제 1 반송로(41)에 걸쳐 형성된 기판 반송 방향에 대하여 앞이 내려가도록 경사진 제 1 프레임(13)과, 제 2 반송로(43)로부터 제 2 처리부(30)의 기판 반송로(39)를 따라 기판 반송 방향을 향하여 앞이 올라가도록 경사지게 하여 설치된 제 2 프레임(14)과, 제 1 처리부(20) 및 제 2 처리부(30) 사이에 가설된 후방 프레임(15) 및 전방 프레임(16)이 구비되어 있다. In the
기판 반송 롤러(12)는, 제 1 처리부(20) 내에서 한 쌍의 제 1 프레임(13)의 위 가장자리부 사이에 동일 피치로 복수 개가 병설되고, 이에 의해, 기판 반송 방향을 향하여 앞이 내려가도록, 제 1 처리부(20)의 기판 반송로(29)와, 기판 승강 장치(60)가 설치되어 있는 제 1 반송로(41)가 형성되어 있다. 또한, 동일한 기판 반송 롤러(12)의 복수 개가, 제 2 처리부(30)에서 한 쌍의 제 2 프레임(14)의 위 가장자리부 사이에 동일 피치로 병설되고, 이에 의해, 기판 반송 방향을 향하여 앞이 올라가도록, 기판 승강 장치(80)가 설치되는 제 2 반송로(43)와, 제 2 처리부 (30)의 기판 반송로(39)가 형성되어 있다. The board |
제 1 처리부(20)의 기판 반송로(29)는 제 1 반송로(41)에 도달할 때까지 설치된다. 제 1 반송로(41)에서는, 기판 반송 롤러(12)와, 좌우로 분할된 한 쌍의 분할 기판 반송 롤러(121)가 전후 방향으로 동일 피치로 각각 병설되어 있다. 마찬가지로, 제 2 처리부(30)의 기판 반송로(39)는 제 2 반송로(43)로부터 설치되어 있고, 제 2 반송로(43)에서는, 기판 반송 롤러(12)와, 좌우로 분할된 한 쌍의 분할 기판 반송 롤러(121)가 전후 방향으로 동일 피치로 각각 병설되어 있다. 이들 분할 기판 반송 롤러(121)는, 소정의 구동 모터를 구비한 도시하지 않는 구동 장치에 의해 축심 주위로 구동 회전한다. The board |
제 1 반송로(41) 및 제 2 반송로(43)의 기판 승강 장치(60, 80)의 구성을, 상기 도 4 내지 6에 더하여, 도 7 내지 9를 참조하여 설명한다. 도 7은 기판 승강 장치(60) 근방의 제 1 반송로(41)를 도시한 평면도, 도 8(a),(b),(c)는 기판 수도 시의 기판 승강 장치(60)의 동작을 도시한 도면이고, 도 4의 +X방향으로 본 측면도이다. 도 9는, 기판 수도 시의 반송 방향 전환부(40) 각 부의 동작을 도시한, 도 4의 -Y방향으로 본 개략 측면도로서, (a)는 기판 승강 장치(60) 근방의 제 1 반송로 부분을 도시한 측면도, (b)는 기판 승강 장치(60)로부터 경사 반송부(49) 및 기판 승강 장치(80)에 관한 제 1 반송로(41), 경사 반송부(49) 및 제 2 반송로(43)부분을 도시한 도면, (c)은 기판 승강 장치(80)근방의 제 2 반송로(43) 부분을 도시한 측면도이다.The structure of the board |
도 7에 도시한 바와 같이, 기판 승강 장치(60)는, 제 1 반송로(41)의 분할 기판 반송 롤러(121) 사이에 승강 동작 가능하게 설치되어 있다. 이 기판 승강 장치(60)는, 평면에서 보아 직사각형 형상을 나타내는 전후 방향으로 장척인 롤러 지지 프레임체(61)와, 이 롤러 지지 프레임체(61)의 전후 방향 한 쌍의 가장자리벽 사이에 동일 피치로 가설된 복수 개의 방향 전환 롤러(62)를 구비하고 있다. As shown in FIG. 7, the board |
도 8(a)에 도시한 바와 같이, 기판 승강 장치(60)는, 그 기판 재치면이, 기판 반송로(29) 및 제 1 반송로(41)와 동일한 경사 각도를 부여하여 설치되어 있어, 제 1 처리부(20)로부터 기판(B)이 반송되어올 때, 방향 전환 롤러(62)가 분할 기판 반송 롤러(121)보다 아래쪽으로 내려앉은 아래쪽 위치에 위치하게 되어 있다. 이에 의해 기판(B)은, 분할 기판 반송 롤러(121)의 구동으로 방향 전환 롤러(62)와 간섭하지 않고, 기판 승강 장치(60)의 위쪽까지 반송된다(도 8(b), 도 9(a)). As shown in FIG. 8 (a), the
경사 반송부(49)의 기판 반송 롤러(12)는, 도 4 내지 6에 도시한 바와 같이, 제 1 처리부(20) 및 제 1 반송로(41)에 형성되어 있는 앞이 내려간 경사와, 제 2 처리부(30) 및 제 2 반송로(43)에 형성된 앞이 올라간 경사와 동일한 경사를 부여하여, 후방 프레임(15) 및 전방 프레임(16) 사이에 가설되어 있다. 또한, 도 9(b)에 도시한 바와 같이, 경사 반송부(49)의 기판 반송 롤러(12)는, 제 1 반송로(41) 및 제 2 반송로(43)의 기판 반송 롤러(12) 및 분할 기판 반송 롤러(121)가 설치되어 있는 높이보다 높은 위치에 설치되어, 경사 반송부(49)에서의 기판(B)의 반송로가, 제 1 반송로(41)의 기판 반송로보다 높아지도록 설정되어 있다. As shown in FIGS. 4 to 6, the
제 2 처리부(30)에 구비되어 있는 기판 승강 장치(80)는, 특별히 도시하지는 않았으나, 기판 승강 장치(60)와 동일한 구성이며, 롤러 지지 프레임체(81)와 방향 전환 롤러(82)를 구비한다. 그리고, 기판 승강 장치(80)는, 도 9(b)에 도시한 바와 같이, 경사 반송부(49)의 기판 반송 롤러(12)에 의한 기판 반송 위치와 같은 정도의 높이 위치에서 대기하여, 이 기판 반송 롤러(12)로부터 기판(B)을 수취한다. 그 후, 기판 승강 장치(80)는, 기판(B)을 재치하면, 도 9(c)에 도시한 바와 같이, 제 2 처리부(30)의 분할 기판 반송 롤러(121)보다 아래쪽 위치까지 하강하고, 기판(B)이 제 2 반송로(43)의 분할 기판 반송 롤러(121) 및 기판 반송 롤러(12)에 옮겨 실리도록 되어 있다. 이후, 분할 기판 반송 롤러(121) 및 기판 반송 롤러(12)의 구동에 의해, 기판(B)은 제 2 처리부(30)의 기판 반송로(39)를 향하여 반송된다.Although not specifically shown, the board |
기판 승강 장치(60) 및 기판 승강 장치(80)는, 롤러 지지 프레임체(61 또는81)의 하부에 장착된 지지축(63 또는 83)이 도시하지 않은 실린더에 의해 승강됨으로써, 그 재치부가 상기 승강 동작을 행하도록 되어 있다. As for the board |
계속해서, 기판 승강 장치(60, 80)에 의한 기판(B) 반송 방향의 전환동작에 관하여 도 8 및 9를 이용하여 더욱 상세하게 설명한다. 기판(B)이, 도 4의 +Y방향으로 반송되어, 제 1 처리부(20)를 거쳐 제 1 반송로(41)에 반입되고(도 8(a)), 기판 승강 장치(60)의 위쪽 위치까지 반송되면(도 8(b), 도 9(a)), 기판 반송 롤러(12) 및 분할 기판 반송 롤러(121)가 정지한다.Subsequently, the switching operation of the substrate B conveyance direction by the
그리고, 기판 승강 장치(60)는, 제 1 반송로(41)의 기판 반송 롤러(12)에 의해 기판 반송 위치보다 위쪽의 높이 위치이고, 경사 반송부(49)의 기판 반송 롤러(12)에 의한 기판 반송 위치와 같은 정도의 높이 위치까지 상승한다(도 8(c), 도 9(b)). 이에 의해, 기판(B)은 제 1 반송로(41)에서, 기판 반송 롤러(12)로부터 기 판 승강 장치(60)로 옮겨 실어진다. And the board |
이 상태로, 기판 승강 장치(60)의 방향 전환 롤러(62)가 회전하면, 기판(B)의 반송 방향은, 그때까지의 기판 반송 방향(도 4의 +Y방향)에 대하여 90°변경되어, 도 4의 +X방향으로 전환된다. 이에 의해, 기판(B)은, 도 5에 도시한 바와 같이, 기판 승강 장치(60) 상으로부터 경사 반송부(49)의 기판 반송 롤러(12) 상으로 이동해간다. 그리고, 도 9(b)에 경사 반송부(49) 및 2점쇄선의 기판(B)으로서 도시한 바와 같이, 기판(B)은, 경사 반송부(49)의 기판 반송 롤러(12) 상에 옮겨 실어진다. 상술한 바와 같이, 기판 승강 장치(60)의 기판 재치면 및 경사 반송부(49)의 기판 반송 롤러(12)에 의해 형성되는 기판 반송로는, 제 1 반송로(41)의 기판 반송로와 동일한 경사로 되어 있으므로, 이 기판(B)의 기판 승강 장치(60)로부터 경사 반송부(49)의 기판 반송 롤러(12)로 옮겨 실어지는 것은, 그때까지의 경사 자세를 유지한 채로 행하여진다. 또, 기판(B)에는, 경사 반송부(49)의 반송 중에, 액 공급부(42)(도 1 및 도 2)로부터 처리액이 공급된다. In this state, when the
경사 반송부(49)의 기판 반송 롤러(12)에 의한 기판(B)의 반송 중, 기판 승강 장치(80)는, 경사 반송부(49)의 기판 반송 롤러(12)에 형성된 기판 반송 위치와 같은 높이 위치인 위쪽 위치(L1)로 상승하여 있고(도 9(b)), 방향 전환 롤러(82)가 회전 구동된다. 기판(B)이 기판 승강 장치(80) 상에 반송되어, 기판 승강 장치(80)의 대략 중심 위치까지 도달하면, 이 방향 전환 롤러(82)가 정지한다. 이와 같이 하여 기판(B)이 기판 승강 장치(80)에 재치되면, 도 9(c)에 도시한 바와 같이, 기판 승강 장치(80)는, 제 2 반송로(43)의 기판 반송 롤러(12) 및 분할 기판 반송 롤러(121)보다 아래쪽이 되는 아래쪽 위치(L2)까지 하강한다. 이에 의해, 기판(B)은, 기판 승강 장치(80)로부터 제 2 반송로(43)의 기판 반송 롤러(12) 및 분할 기판 반송 롤러(121) 상에 옮겨 실어진다. During the conveyance of the board | substrate B by the board |
그 후, 제 2 반송로(43)의 기판 반송 롤러(12) 및 분할 기판 반송 롤러(121)가 회전 구동되면, 기판(B)의 반송 방향이 그때까지의 반송 방향(도 4의 +X방향)으로부터 90°변경되어, 도 4의 -Y방향으로 전환된다. 그리고, 도 6에 도시한 바와 같이, 기판(B)은 제 2 반송로(43)로부터 제 2 처리부(30)를 향하여 반송된다. 또, 이 과정에서는, 기판(B)에 대하여, 수세 샤워(431)로부터 세정수가 분무되어 마무리 수세 처리가 실시된다. Then, when the board |
이와 같이, 본 실시형태에 관한 기판 처리 장치(10)에 의하면, 제 1 처리부(20)로부터 반송 방향 전환부(40)를 통해 제 2 처리부(30)로 반송되는 기판(B)에 대하여, 종래의 복잡한 구조의 방향 전환 장치를 채용하지 않아도, 제 1 처리부(20)에 부여된 최초의 경사 자세를 항상 유지한 채로, 각 부에서의 처리를 행할 수 있다. Thus, according to the
다음으로, 본 발명의 제 2 실시형태에 관한 기판 처리 장치에 관하여 설명한다. 도 10은, 본 발명의 제 2 실시형태에 관한 기판 처리 장치(10´)를 도시한 측면으로부터 본 설명도로서, (가)는 제 2 실시형태에 관한 기판 처리 장치(10´)의 제 1 처리부(20´)의 개략 구성을 도시한 측면도, (나)는 제 2 실시형태에 관한 기판 처리 장치(10´)의 제 2 처리부(30´)의 개략 구성을 도시한 측면도이다. 제 2 실시형태에 관한 기판 처리 장치(10´)에서는 제 1 처리부(20´) 및 제 2 처리부 (30´)에서, 기판 반송로(29 또는 39)는, 적어도 기판 전환 장치(21)로부터 기판(B)을 수취하는 부분은 수평으로 형성된다. 따라서, 기판 수납 카세트(C)로부터 로봇부(R)에 의해 반출된 기판(B)은, 수평 자세로 제 1 처리부(20´)의 기판 반송로(29) 또는 제 2 처리부(30´)의 기판 반송로(39)에 재치된다. Next, the substrate processing apparatus which concerns on 2nd Embodiment of this invention is demonstrated. FIG. 10: is explanatory drawing seen from the side which showed the substrate processing apparatus 10 'which concerns on 2nd Embodiment of this invention, (a) is the 1st of the substrate processing apparatus 10' which concerns on 2nd Embodiment. The side view which shows schematic structure of the processing part 20 ', (b) is the side view which shows schematic structure of the 2nd processing part 30' of the substrate processing apparatus 10 'which concerns on 2nd Embodiment. In the substrate processing apparatus 10 'which concerns on 2nd Embodiment, in the 1st processing part 20' and the 2nd processing part 30 ', the board |
그리고, 도 10(가)에 도시한 바와 같이, 기판 반송로(29)의 기판 반송 방향 하류 측 위치, 예를 들어, 자외선 조사부(22')에서는, 병설되는 복수의 기판 반송 롤러(12)에 의해 형성되는 기판 반송면이, 기판 반송 방향에 대하여 앞이 내려가게 되어, 제 1 반송로(41)의 경사와 원활하게 이어져 있다. 예를 들어, 이들 부분의 기판 반송로(29)는, 위쪽을 향하여 볼록한 원호 형상으로 형성된다. And as shown to FIG. 10 (a), in the board | substrate conveyance direction downstream side position of the board |
또한, 기판 처리 장치(10´)에서는 도 10(나)에 도시한 바와 같이, 제 2 처리부(30´)의 기판 반송로(39)는, 기판 반송 롤러(12)에 의해 형성되는 기판 반송면이, 그 기판 반송 방향 하류 측(기판 수납 카세트(C) 측)을 향하여 앞이 올라가도록 설치되어 있다. 예를 들어, 건조부(31´) 부근에서는, 이 부분의 기판 반송로(39)가 위로 볼록한 원호 형상으로 설정되고, 제 2 처리부(30)의 기판 반송 방향 하류단의 기판 전환 장치(21)에 의해 기판(B)의 수도가 행하여지는 부분에서는, 기판 반송면이 수평이 되도록 설치되어 있다. In addition, in the substrate processing apparatus 10 ', as shown to FIG. 10 (b), the board |
또, 본 발명은, 상기 각 실시형태에 한정되는 것이 아니라, 이하의 내용도 포함한다. In addition, this invention is not limited to each said embodiment, but also includes the following content.
(1) 상기 각 실시형태에서는, 제 1 처리부(20)의 기판 반송로(29)는, 반송 방향 전환부(40)를 향하여 하강 구배의 경사가 형성되고, 제 2 처리부(30)의 기판 반송로(39)는, 인덱서부(11)를 향하여 상승 구배의 경사가 형성되어 있지만, 본 발명은, 이러한 제 1 처리부(20) 및 제 2 처리부(30)의 구배에 한정되는 것이 아니다. 예를 들어, 제 1 처리부(20)의 기판 반송로(29)가 상승 구배이고, 제 2 처리부(30)의 기판 반송로(39)가 하강 구배이어도 된다. 이 경우, 반송 방향 전환부(40)는, 제 1 처리부(20)의 상승 구배에 의해 경사 자세가 된 기판(B)의 자세를 유지한 채로, 기판(B)을 제 2 처리부(30)까지 반송하고, 이 기판(B)의 자세를 유지한 채로, 제 2 처리부(30)의 하강 구배에 의한 기판 반송으로 연결된다. (1) In each said embodiment, the board |
(2) 상기 제 1 실시형태에서는, 제 1 처리부(20) 및 제 2 처리부(30)의 기판 반송 방향 상류단으로부터 하류단까지 구배가 형성되고, 제 2 실시형태에서는, 제 1 처리부(20´)의 기판 반송 방향 상류단은 기판 반송면이 수평이 되고, 기판 반송 방향 하류 측으로 진행함에 따라 앞이 내려간 구배가 형성되고, 제 2 처리부(30´)의 기판 반송 방향 상류단은 앞이 올라간 구배가 형성되어, 기판 반송 방향 하류단은 기판 반송면이 수평으로 되어 있지만, 제 1 처리부(20)와 제 2 처리부(30´)를 조합하거나, 제 1 처리부(20´)와 제 2 처리부(30)를 조합하여, 기판 처리 장치를 구성하는 것도 가능하다. (2) In the said 1st Embodiment, the gradient is formed from the upstream end to the downstream end of the board | substrate conveyance direction of the
(3) 또한, 본 발명에 관한 기판 처리 장치는, 제 1 처리부(20) 및 제 2 처리부(30)중 어느 한 쪽 또는 쌍방을 수평 방향으로 연장하는 수평 반송로로 한 것이어도 된다. 이 경우, 기판(B)은, 제 1 처리부(20)로부터 제 1 반송로(41)에 반송되었을 때에 수평 자세로부터 경사 자세로 자세 변경되거나, 제 2 반송로(43)로부터 제 2 처리부(30)로 반송되었을 때에 경사 자세로부터 수평 자세로 자세 변경된 다. (3) In addition, the substrate processing apparatus according to the present invention may be a horizontal transfer path extending either or both of the
(4) 또한, 상기 각 실시형태에서는, 제 1 처리부(20)가 자외선 조사부(22)를 구비하고, 제 2 처리부(30)가 건조부(31) 및 기판 반출부(32)를 구비하는 것으로 하고 있으나, 이들은 어디까지나 일례이고, 제 1 처리부(20) 및 제 2 처리부(30)가 구비한 처리부는 적절히 변경이 가능하며, 상기에 한정되는 것이 아니다. (4) In addition, in each said embodiment, the
청구항 1에 기재된 발명에 의하면, 제 1 처리부에서 처리가 실시된 후의 기판을, 경사 반송부가, 제 1 반송로의 구배로 경사 자세가 된 상태를 대략 유지한 채로 제 2 처리부까지 반송하므로, 간단한 기구로 기판을 경사 자세로 반송할 수 있어, 그만큼 설비 코스트를 저감할 수 있다. 또한, 경사 반송부에 의한 반송 중에 액 공급 수단이 기판에 대하여 처리액을 공급하므로, 액 공급 수단만을 설치하기 위한 여분의 설치 면적을 필요로 하는 일이 없어, 해당 기판 처리 장치의 설치에 필요한 바닥 면적을 줄일 수 있다. According to invention of Claim 1, since the inclination conveyance part conveys the board | substrate after a process is performed in a 1st processing part to the 2nd processing part, maintaining the state which became the inclination posture by the gradient of a 1st conveyance path substantially, a simple mechanism The substrate can be conveyed in an inclined attitude, and the equipment cost can be reduced by that amount. In addition, since the liquid supply means supplies the processing liquid to the substrate during the conveyance by the inclined conveying part, an extra installation area for installing only the liquid supply means is not required, and thus the floor required for installation of the substrate processing apparatus. Area can be reduced.
청구항 2에 기재된 발명에 의하면, 제 2 반송로가, 기판 반송부에 의해 경사지게 된 상태를 대략 유지한 채로, 제 2 처리부의 기판 반송 개시단을 향하여 기판을 반송하므로, 제 2 처리부에 도달할 때까지, 간단한 기구로 기판의 경사 자세를 유지하여 반송할 수 있어, 그만큼 설비 코스트를 저감하는 효과를 얻을 수 있다. According to the invention of claim 2, since the second conveying path conveys the substrate toward the substrate conveyance start end of the second processing portion while substantially maintaining the state inclined by the substrate conveying portion, when the second conveying path reaches the second processing portion. Until then, it is possible to maintain the inclined posture of the substrate with a simple mechanism and to convey it, and to obtain the effect of reducing the equipment cost by that amount.
청구항 3에 기재된 발명에 의하면, 복잡한 구조의 기판 자세 전환 기구를 설치하지 않아도, 제 1 반송로의 구배에 의해 경사지게 된 기판을, 그 자세대로 그 대로 유지한 채로 반송 방향을 전환하여, 제 2 반송로로 반송할 수 있다. According to invention of Claim 3, even if it does not provide the board | substrate attitude switching mechanism of a complicated structure, the conveyance direction is switched and the 2nd conveyance is carried out, maintaining the board | substrate inclined by the gradient of a 1st conveyance path as it is, as it is. Can be returned to the furnace.
청구항 4에 기재된 발명에 의하면, 복잡한 구조의 기판 자세 전환 기구를 설치하지 않아도, 제 1 반송로의 구배 및 경사 반송부에 의해 경사 상태가 된 기판을, 그 자세대로 그대로 유지한 채로, 그때까지의 기판 반송 방향을 제 2 처리부에 의한 기판 반송 방향으로 전환하여, 제 2 처리부로 기판을 반송할 수 있다. According to invention of Claim 4, even if the board | substrate changeover mechanism of a complicated structure is not provided, the board | substrate which became inclined state by the gradient of the 1st conveyance path and the inclined conveyance part is maintained as it is, up to that time The board | substrate conveyance direction can be switched to the board | substrate conveyance direction by a 2nd process part, and a board | substrate can be conveyed to a 2nd process part.
청구항 5에 기재된 발명에 의하면, 제 1 처리부 또는 제 2 처리부에서도, 그 구배에 의해 기판을 경사 자세로 하여, 기판 처리 시에 기판 표면상에서의 처리액의 배수성을 향상시켜 처리 효율을 높일 수 있어, 기판 수도 기구에 의해, 구배를 가지는 제 1 처리부 또는 제 2 처리부와 기판 반송 로봇 사이에서의 기판 수도를 원활하게 행할 수 있다. According to the invention of claim 5, in the first processing unit or the second processing unit, the substrate is inclined by the gradient, and the drainage of the processing liquid on the substrate surface can be improved at the time of substrate processing, thereby increasing the processing efficiency, The substrate water supply mechanism can smoothly perform substrate transfer between the first processing unit or the second processing unit having a gradient and the substrate transfer robot.
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