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KR100660541B1 - Erasing Nonvolatile Memory Device with Shorter Erasing Time - Google Patents

Erasing Nonvolatile Memory Device with Shorter Erasing Time Download PDF

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KR100660541B1
KR100660541B1 KR1020040095242A KR20040095242A KR100660541B1 KR 100660541 B1 KR100660541 B1 KR 100660541B1 KR 1020040095242 A KR1020040095242 A KR 1020040095242A KR 20040095242 A KR20040095242 A KR 20040095242A KR 100660541 B1 KR100660541 B1 KR 100660541B1
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KR
South Korea
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post
memory cells
erasing
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sector
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박재우
정재용
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삼성전자주식회사
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Abstract

행들과 열들로 배열되는 섹터들로 구성된 메모리 셀 어레이를 포함하는 불 휘발성 메모리 장치의 소거 방법이 제공된다. 본 발명에 따른 소거 방법은 상기 섹터들의 메모리 셀들을 동시에 소거하는 단계와; 포스트-프로그램 동작시 동일한 행에 속하는 섹터들 각각의 워드 라인을 동시에 선택하는 단계와; 그리고 상기 동시에 선택된 워드 라인들의 소거된 메모리 셀들을 포스트-프로그램하는 단계를 포함한다.A method of erasing a nonvolatile memory device including a memory cell array composed of sectors arranged in rows and columns is provided. An erase method according to the present invention comprises the steps of: simultaneously erasing memory cells of the sectors; Simultaneously selecting a word line of each sector belonging to the same row in a post-program operation; And post-programming erased memory cells of the simultaneously selected word lines.

Description

소거 시간을 단축시킬 수 있는 불 휘발성 메모리 장치의 소거 방법{NON-VOLATILE MEMORY DEVICE CAPABLE OF REDUCING ERASE TIME AND ERASE METHOD THEREOF}Non-volatile memory device erasing method that can reduce the erase time {NON-VOLATILE MEMORY DEVICE CAPABLE OF REDUCING ERASE TIME AND ERASE METHOD THEREOF}

도 1은 본 발명에 따른 불 휘발성 메모리 장치를 개략적으로 보여주는 블록도;1 is a block diagram schematically showing a nonvolatile memory device according to the present invention;

도 2는 도 1에 도시된 메모리 셀 어레이의 구조를 보여주는 도면;FIG. 2 is a diagram showing the structure of the memory cell array shown in FIG. 1;

도 3은 동일한 매트에 속하는 도 1의 뱅크들의 섹터들 중 일부를 개략적으로 보여주는 블록도; 그리고3 is a block diagram schematically showing some of the sectors of the banks of FIG. 1 belonging to the same mat; And

도 4는 본 발명에 따른 불 휘발성 메모리 장치의 소거 절차를 설명하기 위한 흐름도이다.4 is a flowchart illustrating an erase procedure of a nonvolatile memory device according to the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

100 : 메모리 셀 어레이 110 : 메모리 셀 어레이100: memory cell array 110: memory cell array

120 : 열 선택 회로 130 : 기입 드라이버 회로120: column selection circuit 130: write driver circuit

140 : 제어 로직 150 : 비트 라인 전압 발생 회로140: control logic 150: bit line voltage generation circuit

160 : 워드 라인 전압 발생 회로 170 : 어드레스 발생 회로160: word line voltage generating circuit 170: address generating circuit

180 : 뱅크 선택 회로 190 : 매트 선택 회로180: bank selection circuit 190: matte selection circuit

200 : 그로벌 워드 라인 선택 회로 210 : 로컬 워드 라인 선택 회로200: global word line selection circuit 210: local word line selection circuit

220 : 디코더 회로 230 : 섹터 선택 회로220: decoder circuit 230: sector selection circuit

본 발명은 반도체 메모리 장치에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로는 불 휘발성 메모리 장치의 소거 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a semiconductor memory device, and more particularly to a method of erasing a nonvolatile memory device.

플래시 메모리 장치는 복수의 메모리 영역들이 한번의 프로그램 동작으로 소거 또는 프로그램되는 일종의 EEPROM이다. 일반적인 EEPROM은 단지 하나의 메모리 영역이 한 번에 소거 또는 프로그램 가능하게 하며, 이는 플래시 메모리 장치를 사용하는 시스템들이 동시에 다른 메모리 영역들에 대해 읽고 쓸 때 보다 빠르고 효과적인 속도로 플래시 메모리 장치가 동작할 수 있음을 의미한다. 플래시 메모리 및 EEPROM의 모든 형태는 데이터를 저장하는 데 사용되는 전하 저장 수단을 둘러싸고 있는 절연막의 마멸로 인해서 특정 수의 소거 동작들 후에 마멸된다.A flash memory device is a kind of EEPROM in which a plurality of memory areas are erased or programmed in one program operation. A typical EEPROM allows only one memory area to be erased or programmable at a time, which allows the flash memory device to operate at a faster and more efficient speed when systems using the flash memory device read and write to other memory areas at the same time. It means that there is. All forms of flash memory and EEPROM are worn out after a certain number of erase operations due to the wear of the insulating film surrounding the charge storage means used to store the data.

플래시 메모리 장치는 실리콘 칩에 저장된 정보를 유지하는 데 전원을 필요로 하지 않는 방법으로 실리콘 칩 상에 정보를 저장한다. 이는 만약 칩에 공급되는 전원이 차단되면 전원의 소모없이 정보가 유지됨을 의미한다. 추가로, 플래시 메모리 장치는 물리적인 충격 저항성 및 빠른 읽기 접근 시간을 제공한다. 이러한 특징들때문에, 플래시 메모리 장치는 배터리에 의해서 전원을 공급받는 장치들의 저장 장치로서 일반적으로 사용되고 있다. 플래시 메모리 장치는 각 저장 소자에 사용되는 로직 게이트의 형태에 따라 2가지 종류 즉, NOR 플래시 메모리 장치와 NAND 플 래시 메모리 장치로 이루어진다.Flash memory devices store information on the silicon chip in a manner that does not require a power source to maintain the information stored on the silicon chip. This means that if the power to the chip is interrupted, the information is maintained without consuming power. In addition, flash memory devices provide physical shock resistance and fast read access times. Because of these features, flash memory devices are commonly used as storage devices for devices powered by batteries. There are two types of flash memory devices, NOR flash memory devices and NAND flash memory devices, depending on the type of logic gate used for each storage element.

플래시 메모리 장치는 셀이라 불리는 트랜지스터들의 어레이에 정보를 저장하며, 각 셀은 1-비트 정보를 저장한다. 멀티-레벨 셀 장치라 불리는 보다 새로운 플래시 메모리 장치들은 셀의 플로팅 게이트 상에 놓인 전하량을 가변시킴으로써 셀 당 1 비트보다 많이 저장할 수 있다.Flash memory devices store information in an array of transistors called cells, with each cell storing one-bit information. Newer flash memory devices, called multi-level cell devices, can store more than one bit per cell by varying the amount of charge placed on the floating gate of the cell.

노어 플래시 메모리 장치에 있어서, 각 셀은 2개의 게이트들을 갖는다는 점을 제외하면 표준 MOSFET 트랜지스터와 유사하다. 첫 번째 게이트는 다른 MOS 트랜지스터들에 있는 것과 같은 제어 게이트 (control gate: CG)이지만, 두 번째 게이트는 절연막에 의해서 둘러싸여 절연된 플로팅 게이트 (floating gate: FG)이다. 플로팅 게이트는 제어 게이트와 기판 (또는 벌크) 사이에 있다. 플로팅 게이트가 절연막에 의해서 절연되어 있기 때문에, 플로팅 게이트에 놓인 전자들은 포획되며 따라서 정보를 저장한다. 전자들이 플로팅 게이트에 놓여있을 때, 제어 게이트로부터의 전계가 전자들에 의해서 변화되며 (부분적으로 상쇄되며), 이는 셀의 문턱 전압 (Vt)이 변화되게 한다. 따라서, 제어 게이트에 특정 전압을 인가함으로써 셀이 읽혀질 때, 셀의 문턱 전압에 따라 전류가 흐르거나 흐르지 않을 것이다. 이는 플로팅 게이트의 전하량에 의해서 제어된다. 전류의 유무가 감지되어 1 또는 0으로 해석되며, 따라서 저장된 데이터가 재생된다. 셀 당 1-비트보다 많이 저장하는 멀티-레벨 셀 장치에 있어서, 플로팅 게이트에 저장된 전자량을 결정하기 위해서 전류의 유무보다는 오히려 흐르는 전류량이 감지될 것이다.In a NOR flash memory device, each cell is similar to a standard MOSFET transistor except that it has two gates. The first gate is a control gate (CG) as in other MOS transistors, but the second gate is an insulated floating gate (FG) surrounded by an insulating film. The floating gate is between the control gate and the substrate (or bulk). Since the floating gate is insulated by the insulating film, electrons placed in the floating gate are trapped and thus store information. When the electrons lie at the floating gate, the electric field from the control gate is changed (partially canceled) by the electrons, which causes the cell's threshold voltage (Vt) to change. Thus, when a cell is read by applying a specific voltage to the control gate, current may or may not flow depending on the threshold voltage of the cell. This is controlled by the amount of charge in the floating gate. The presence or absence of a current is detected and interpreted as 1 or 0, so the stored data is reproduced. In multi-level cell devices that store more than 1-bit per cell, the amount of current flowing rather than the presence or absence of current will be sensed to determine the amount of electrons stored in the floating gate.

NOR 플래시 셀은 소오스가 접지된 상태에서 제어 게이트 상에 프로그램 전압 을 그리고 드레인에 5-6V의 고전압을 인가함으로써 프로그램된다 (특정 데이터 값으로 설정된다). 이러한 바이어스 조건에 따르면, 드레인에서 소오스로 많은 양의 셀 전류가 흐른다. 이러한 프로그램 방식은 핫-일렉트론 주입 (hot-electron injection)이라 불린다. NOR 플래시 셀을 소거하기 위해서는 제어 게이트와 기판 (또는 벌크) 사이에 큰 전압차가 가해지며, 이는 F-N 터널링 (Fowler-Nordheim tunneling)을 통해 플로팅 게이트로부터 전자들이 빠져나가게 한다. NOR 플래시 메모리 장치의 구성 요소들은 일반적으로 블록들 또는 섹터들이라 불리는 소거 세그먼트들로 구분된다. 섹터 내의 메모리 셀들이 모두 동시에 소거된다. NOR 프로그래밍은, 그러나, 바이트 또는 워드 단위로 수행될 수 있다.The NOR flash cell is programmed (set to a specific data value) by applying a program voltage on the control gate and a high voltage of 5-6V to the drain with the source grounded. According to this bias condition, a large amount of cell current flows from the drain to the source. This programming approach is called hot-electron injection. A large voltage difference is applied between the control gate and the substrate (or bulk) to erase the NOR flash cell, which causes electrons to escape from the floating gate through F-N tunneling. The components of a NOR flash memory device are divided into erase segments, commonly referred to as blocks or sectors. All memory cells in a sector are erased at the same time. NOR programming, however, may be performed in bytes or words.

NOR 플래시 메모리 장치의 소거 절차는, 크게, 프리-프로그램 구간 (pre-program interval), 메인 소거 구간 (main erase interval), 그리고 포스트-프로그램 구간 (post-program interval)으로 구성된다. 프리-프로그램 동작은, 다음에 이어지는 메인 소거시 과도하게 소거되는 메모리 셀들의 발생을 방지하기 위해서, 정상적인 프로그램 동작과 동일한 바이어스 조건을 이용하여 수행된다. 이때, 소거될 메모리 셀들이 모두 프리-프로그램된다. 그 다음에, 섹터의 모든 메모리 셀들이 온-셀 상태를 갖도록 메인 소거 동작이 수행된다. 메인 소거 동작이 시작하면, 섹터 내의 모든 메모리 셀들이 동시에 소거된다. 마지막으로, 메인 소거 구간에서 과도하게 소거된 메모리 셀들을 치유하기 위해서, 포스트-프로그램 동작이 수행된다. 포스트-프로그램 동작은 바이어스 조건을 제외하면 프리-프로그램 동작과 동일하게 수행된다. 즉, 각 워드 라인 (또는 행)에 연결된 메모리 셀들이 바이트 또는 워드 단위로 포스트/소프트-프로그램된다.The erase procedure of the NOR flash memory device is largely composed of a pre-program interval, a main erase interval, and a post-program interval. The pre-program operation is performed using the same bias condition as the normal program operation in order to prevent the occurrence of over erased memory cells during the next main erase. At this time, all of the memory cells to be erased are pre-programmed. Then, a main erase operation is performed so that all memory cells in the sector have an on-cell state. When the main erase operation starts, all memory cells in the sector are erased simultaneously. Finally, in order to heal excessively erased memory cells in the main erase period, a post-program operation is performed. The post-program operation is performed the same as the pre-program operation except for the bias condition. That is, memory cells connected to each word line (or row) are post / soft-programmed in byte or word units.

앞서 언급된 바와 같이, NOR 프로그래밍은 바이트 또는 워드 단위로 수행된다. 그러한 이유때문에, 앞서 설명된 소거 절차를 이용한 NOR 플래시 메모리 장치의 단점은 프리-프로그램 및 포스트-프로그램 동작들을 수행하는 데 걸리는 시간이 소거 절차에 필요한 전체 시간의 상당 부분을 차지한다는 것이다.As mentioned above, NOR programming is performed in bytes or words. For that reason, a disadvantage of the NOR flash memory device using the erase procedure described above is that the time taken to perform pre-program and post-program operations takes up a significant portion of the total time required for the erase procedure.

본 발명의 목적은 소거 시간을 단축시킬 수 있는 불 휘발성 메모리 장치의 소거 방법을 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a method of erasing a nonvolatile memory device capable of shortening an erase time.

상술한 제반 목적들을 달성하기 위한 본 발명의 일 특징에 따르면, 행들과 열들로 배열되는 섹터들로 구성된 메모리 셀 어레이를 포함하는 불 휘발성 메모리 장치의 소거 방법이 제공된다. 본 발명에 따른 소거 방법은 상기 섹터들의 메모리 셀들을 동시에 소거하는 단계와; 포스트-프로그램 동작시 동일한 행에 속하는 섹터들 각각의 워드 라인을 동시에 선택하는 단계와; 그리고 상기 동시에 선택된 워드 라인들의 소거된 메모리 셀들을 포스트-프로그램하는 단계를 포함한다.According to one aspect of the present invention for achieving the above objects, there is provided an erase method of a nonvolatile memory device including a memory cell array consisting of sectors arranged in rows and columns. An erase method according to the present invention comprises the steps of: simultaneously erasing memory cells of the sectors; Simultaneously selecting a word line of each sector belonging to the same row in a post-program operation; And post-programming erased memory cells of the simultaneously selected word lines.

이 실시예에 있어서, 상기 포스트-프로그램 동작시 상기 프로그램된 메모리 셀들에 대한 검증 동작이 수행되지 않는다.In this embodiment, the verify operation on the programmed memory cells is not performed during the post-program operation.

이 실시예에 있어서, 상기 동시에 선택된 워드 라인들의 소거된 메모리 셀들은 소정 열 단위로 프로그램된다.In this embodiment, erased memory cells of the simultaneously selected word lines are programmed in predetermined column units.

이 실시예에 있어서, 상기 메모리 셀 어레이의 메모리 셀들이 모두 프로그램 될 때까지 상기 선택 및 프로그램 단계들을 반복하는 단계를 더 포함한다.In this embodiment, the method further includes repeating the selection and program steps until all the memory cells of the memory cell array are programmed.

이 실시예에 있어서, 상기 소거 단계 이전에 오프 상태를 갖도록 상기 각 섹터의 메모리 셀들을 프리-프로그램하는 단계를 더 포함한다.In this embodiment, the method further includes pre-programming the memory cells of each sector to be in an off state before the erase step.

이 실시예에 있어서, 상기 프리-프로그램 단계에서는 상기 프로그램된 메모리 셀들에 대한 검증 동작이 수행되지 않는다.In this embodiment, the verify operation on the programmed memory cells is not performed in the pre-program step.

본 발명의 예시적인 실시예들이 참조 도면들에 의거하여 이하 상세히 설명될 것이다.Exemplary embodiments of the invention will be described in detail below on the basis of reference drawings.

도 1은 본 발명에 따른 불 휘발성 메모리 장치를 개략적으로 보여주는 블록도이다. 본 발명에 따른 불 휘발성 메모리 장치는 NOR 플래시 메모리 장치이다. 하지만, 본 발명이 다른 메모리 장치들 (예를 들면, MROM, PROM, FRAM, NAND형 플래시 메모리 장치, 등)에 적용될 수 있음은 이 분야의 통상적인 지식을 습득한 자들에게 자명하다.1 is a block diagram schematically illustrating a nonvolatile memory device according to the present invention. The nonvolatile memory device according to the present invention is a NOR flash memory device. However, it will be apparent to those skilled in the art that the present invention can be applied to other memory devices (eg, MROM, PROM, FRAM, NAND type flash memory devices, etc.).

도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 불 휘발성 메모리 장치 (100)는 N-비트 데이터 정보 (N=1 또는 그 보다 큰 정수)를 저장하는 메모리 셀 어레이 (110)를 포함한다. 메모리 셀 어레이 (110)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 복수 개의 뱅크들 (BANKm) (m=0-15)을 포함하며, 뱅크들 (BANKm) 각각은 복수 개의 섹터들 (SECTORm)로 구성된다. 비록 도면에는 도시되지 않았지만, 각 섹터는 행들과 열들로 배열된 메모리 셀들을 포함한다. 앞서 언급된 바와 같이, 하나의 섹터에 속하는 메모리 셀들은 동시에 소거된다. 열 선택 회로 (120)는 제어 로직 (140)으로부터의 제어 신호 (ACC_POST_PGM)에 응답하여 동작하며, 선택된 뱅크(들)에 속하는 섹터의 열들을 미리 설정된 단위 (예를 들면, 바이트 또는 워드 단위)로 선택하도록 구성된다. 제어 신호 (ACC_POST_PGM)는 소거 절차의 포스트-프로그램 구간 동안 활성화된다. 제어 신호 (ACC_POST_PGM)가 활성화될 때, 열 선택 회로 (120)는 뱅크들 (BANKm) 각각의 열들을 미리 설정된 단위로 선택한다. 제어 신호 (ACC_POST_PGM)가 비활성화될 때, 열 선택 회로 (120)는 뱅크들 (BANKm) 중 어느 하나의 열들을 미리 설정된 단위로 선택한다. 선택된 열들은, 프리/포스트-프로그램 구간 동안, 기입 드라이버 회로 (130)에 의해서 비트 라인 전압 발생 회로 (150)로부터의 비트 라인 전압으로 구동된다.Referring to FIG. 1, a nonvolatile memory device 100 according to the present invention includes a memory cell array 110 that stores N-bit data information (N = 1 or larger integer). As shown in FIG. 2, the memory cell array 110 includes a plurality of banks BANKm (m = 0-15), and each of the banks BANKm includes a plurality of sectors SECTORm. do. Although not shown in the figure, each sector includes memory cells arranged in rows and columns. As mentioned above, memory cells belonging to one sector are erased simultaneously. The column selection circuit 120 operates in response to the control signal ACC_POST_PGM from the control logic 140, and operates the columns of sectors belonging to the selected bank (s) in preset units (for example, byte or word units). Configured to select. The control signal ACC_POST_PGM is activated during the post-program period of the erase procedure. When the control signal ACC_POST_PGM is activated, the column selection circuit 120 selects columns of each of the banks BANKm in preset units. When the control signal ACC_POST_PGM is deactivated, the column selection circuit 120 selects any one column of the banks BANKm in a predetermined unit. The selected columns are driven by the write driver circuit 130 to the bit line voltage from the bit line voltage generation circuit 150 during the pre / post-program period.

제어 로직 (140)은 메모리 장치의 전반적인 동작을 제어하도록 구성된다. 제어 로직 (140)은 포스트-프로그램 구간 동안 제어 신호 (ACC_POST_PGM)를 활성화시킨다. 비트 라인 전압 발생 회로 (150)는 제어 로직 (140)의 제어에 따라 비트 라인 전압을 발생한다. 비트 라인 전압 발생 회로 (150)는 포스트-프로그램 구간 동안 외부에서 공급되는 전압을 이용하여 비트 라인 전압을 생성하도록 구성될 수 있다. 또는, 포스트-프로그램 구간 동안, 비트 라인 전압은 외부에서 공급될 수 있다. 워드 라인 전압 발생 회로 (160)는 제어 로직 (140)의 제어에 따라 워드 라인 전압을 발생한다. 워드 라인 전압 발생 회로 (160)는 포스트-프로그램 구간 동안 외부에서 공급되는 전압을 이용하여 워드 라인 전압을 생성하도록 구성될 수 있다. 또는, 포스트-프로그램 구간 동안, 워드 라인 전압은 외부에서 공급될 수 있다.The control logic 140 is configured to control the overall operation of the memory device. The control logic 140 activates the control signal ACC_POST_PGM during the post-program period. The bit line voltage generation circuit 150 generates the bit line voltage according to the control of the control logic 140. The bit line voltage generation circuit 150 may be configured to generate the bit line voltage using an externally supplied voltage during the post-program period. Alternatively, during the post-program period, the bit line voltage may be supplied externally. The word line voltage generation circuit 160 generates a word line voltage under the control of the control logic 140. The word line voltage generation circuit 160 may be configured to generate a word line voltage using an externally supplied voltage during the post-program period. Alternatively, during the post-program period, the word line voltage may be supplied externally.

어드레스 발생 회로 (170)는 제어 로직 (140)에 의해서 제어되며, 행 어드레스를 발생한다. 행 어드레스는 뱅크를 선택하기 위한 어드레스 정보 (RA1) (이하, 제 1 행 어드레스라 칭함), 매트를 선택하기 위한 어드레스 정보 (RA2) (이하, 제 2 행 어드레스라 칭함), 그로벌 워드 라인을 선택하기 위한 어드레스 정보 (RA3) (이하, 제 3 행 어드레스라 칭함), 그리고 로컬 워드 라인을 선택하기 위한 어드레스 정보 (RA4) (이하, 제 4 행 어드레스라 칭함)를 포함한다. 이 실시예에 있어서, 도 2에 도시된 바와 같이, 메모리 셀 어레이 (110)는 16개의 뱅크들로 구성되고, 각 뱅크는 16개의 섹터들로 구성될 것이다. 각 섹터에는 64개의 그로벌 워드 라인들과 512개의 워드 라인들 (또는 로컬 워드 라인들이라 불림)이 배열될 것이다. 본 발명의 메모리 장치는 하나의 그로벌 워드 라인이 8개의 워드 라인들에 대응하는 계층적인 워드 라인 구조를 갖는다. 모든 섹터들은 또한 복수의 매트들을 구성한다. 하지만, 본 발명에 따른 메모리 셀 어레이의 구조가 이에 국한되지 않음은 이 분야의 통상적인 지식을 습득한 자들에게 자명하다. 뱅크 선택 회로 (180)는 제어 신호 (ACC_POST_PGM)에 의해서 제어되며, 제 1 행 어드레스 (RA1)에 응답하여 뱅크들에 각각 대응하는 뱅크 선택 신호들 (BS0-BS15)을 발생한다. 예를 들면, 제어 신호 (ACC_POST_PGM)가 활성화될 때 (또는 포스트-프로그램 구간 동안), 뱅크 선택 회로 (180)는 제 1 행 어드레스 (RA1)에 무관하게 뱅크 선택 신호들 (BS0-BS15)을 모두 또는 제 1 행 어드레스 (RA1)에 응답하여 뱅크 선택 신호들 (BS0-BS15) 중 일부 (예를 들면, 2개의 뱅크 선택 신호들)을 활성화시킨다.The address generation circuit 170 is controlled by the control logic 140 and generates a row address. The row address includes address information RA1 (hereinafter referred to as first row address) for selecting a bank, address information RA2 (hereinafter referred to as second row address) for selecting a mat, and a global word line. Address information RA3 for selecting (hereinafter referred to as a third row address), and address information RA4 (hereinafter referred to as a fourth row address) for selecting a local word line. In this embodiment, as shown in FIG. 2, the memory cell array 110 will consist of 16 banks, each bank consisting of 16 sectors. Each sector will be arranged with 64 global word lines and 512 word lines (or local word lines). The memory device of the present invention has a hierarchical word line structure in which one global word line corresponds to eight word lines. All sectors also constitute a plurality of mats. However, the structure of the memory cell array according to the present invention is not limited thereto. Those skilled in the art will appreciate. The bank select circuit 180 is controlled by the control signal ACC_POST_PGM and generates bank select signals BS0-BS15 corresponding to the banks in response to the first row address RA1. For example, when the control signal ACC_POST_PGM is activated (or during the post-program period), the bank select circuit 180 generates all of the bank select signals BS0-BS15 regardless of the first row address RA1. Or in response to the first row address RA1, some of the bank selection signals BS0 -BS15 (eg, two bank selection signals) are activated.

매트 선택 회로 (190)는 제 2 행 어드레스 (RA2)에 응답하여 매트들에 각각 대응하는 매트 선택 신호들 (MATm)을 발생하고, 섹터 선택 회로 (230)는 뱅크 선택 신호들 (BSm) 및 매트 선택 신호들 (MATm)에 응답하여 섹터 선택 신호들 (SSij) (i 는 매트 수를 나타내고 j은 뱅크 수를 나타냄)을 발생한다. 예를 들면, 제어 신호 (ACC_POST_PGM)가 활성화될 때, 섹터 선택 회로 (190)는 동일한 매트에 속하는 각 뱅크의 섹터들이 모두 선택되도록 섹터 선택 신호들 (SSij)을 발생한다. 제어 신호 (ACC_POST_PGM)가 비활성화될 때, 섹터 선택 회로 (190)는 하나의 섹터만이 선택되도록 섹터 선택 신호들 (SSij)을 발생한다. 그로벌 워드 라인 선택 회로 (200)는 제 3 행 어드레스 (RA3)에 응답하여 매트들에 각각 대응하는 그로벌 워드 라인 선택 신호들 (Mm_GWL0-Mm_GWL63)을 발생한다. 예를 들면, 그로벌 워드 라인 선택 회로 (200)는 제 3 행 어드레스 (RA3)에 응답하여 임의의 매트에 대응하는 그로벌 워드 라인 선택 신호들 (Mm_GWL0-Mm_GWL63) 중 하나만을 활성화시킨다. 로컬 워드 라인 선택 회로 (210)는 제 4 행 어드레스 (RA4)에 응답하여 로컬 워드 라인 선택 신호들 (S0-S7) 중 어느 하나를 활성화시킨다. 디코더 회로 (220)는 선택 신호들 (S0-S7, BSm)에 응답하여 워드 라인 선택 신호들 (Bm_PWL0-Bm_PWL7)을 발생한다. 예를 들면, 뱅크 선택 신호 (BS0)가 활성화될 때, 디코더 회로 (220)는 선택 신호들 (S0-S7)에 따라 선택 신호들 (B0_PWL0-B0_PWL7) 중 어느 하나를 활성화시킨다. 뱅크 선택 신호들 (BS0-BS15)이 모두 활성화될 때 (또는 제어 신호 (ACC_POST_PGM)가 활성화될 때), 디코더 회로 (220)는 선택 신호들 (S0-S7)에 따라 각 뱅크에 대응하는 선택 신호들 중 어느 하나를 동시에 활성화시킨다. 이는 동일 매트에 속하는 섹터들로 각각 공급되는 선택 신호들 (B0_PWL0, B1_PWL0, ..., B15_PWL0)이 동시에 활성화됨을 의미한다.The mat select circuit 190 generates mat select signals MATm respectively corresponding to the mats in response to the second row address RA2, and the sector select circuit 230 generates the bank select signals BSm and the mat. In response to the selection signals MATm, sector selection signals SSij (i denotes the number of mats and j denotes the number of banks) are generated. For example, when the control signal ACC_POST_PGM is activated, the sector select circuit 190 generates sector select signals SSij such that all sectors of each bank belonging to the same mat are selected. When the control signal ACC_POST_PGM is deactivated, the sector select circuit 190 generates sector select signals SSij such that only one sector is selected. The global word line select circuit 200 generates global word line select signals Mm_GWL0-Mm_GWL63 respectively corresponding to the mats in response to the third row address RA3. For example, the global word line select circuit 200 activates only one of the global word line select signals Mm_GWL0-Mm_GWL63 corresponding to any mat in response to the third row address RA3. The local word line select circuit 210 activates any one of the local word line select signals S0-S7 in response to the fourth row address RA4. The decoder circuit 220 generates word line select signals Bm_PWL0-Bm_PWL7 in response to the select signals S0-S7 and BSm. For example, when the bank select signal BS0 is activated, the decoder circuit 220 activates any one of the select signals B0_PWL0-B0_PWL7 according to the select signals S0-S7. When all of the bank select signals BS0-BS15 are activated (or when the control signal ACC_POST_PGM is activated), the decoder circuit 220 according to the select signals S0-S7 select signal corresponding to each bank. Activate either of these simultaneously. This means that the selection signals B0_PWL0, B1_PWL0, ..., B15_PWL0 respectively supplied to the sectors belonging to the same mat are activated at the same time.

도 3은 본 발명의 예시적인 실시예에 따른 도 1에 도시된 어레이의 일부를 보여주는 블록도이다. 도 3에는 상이한 뱅크들에 속하고 동일한 행 (또는 매트)에 배열된 2개의 섹터들이 단지 도시되어 있다. 뱅크 (BANK0)에 속하는 섹터 (SECTOR0)는 선택 신호들 (M0_GWL0-M0_GWL63)에 각각 대응하는 구동 블록들 (DRV0-DRV63)을 갖는 워드 라인 구동 회로를 포함한다. 섹터 (SECTOR0)는 섹터 선택 신호 (SS00)에 의해서 선택된다. 구동 블록들 (DRV0-DRV63)에는 선택 신호들 (B0_PWL0-B0_PWL7)이 공통으로 인가된다. 선택 신호들 (SS00, M0_GWL0, B0_PWL0)가 활성화될 때, 구동 블록 (DRV0)은 워드 라인 (WL0)을 워드 라인 전압 (VWL)으로 구동한다. 뱅크 (BANK1)에 속하는 섹터 (SECTOR0)는 선택 신호들 (M0_GWL0-M0_GWL63)에 각각 대응하는 구동 블록들 (DRV0-DRV63)을 갖는 워드 라인 구동 회로를 포함한다. 섹터 (SECTOR0)는 섹터 선택 신호 (SS01)에 의해서 선택된다. 구동 블록들 (DRV0-DRV63)에는 선택 신호들 (B1_PWL0-B1_PWL7)이 공통으로 인가된다. 선택 신호들 (SS01, M0_GWL0, B1_PWL0)가 활성화될 때, 구동 블록 (DRV0)은 워드 라인 (WL0)을 워드 라인 전압 (VWL)으로 구동한다.3 is a block diagram illustrating a portion of the array shown in FIG. 1 in accordance with an exemplary embodiment of the present invention. 3, only two sectors belonging to different banks and arranged in the same row (or mat) are shown. The sector SECTOR0 belonging to the bank BANK0 includes a word line driving circuit having driving blocks DRV0-DRV63 respectively corresponding to the selection signals M0_GWL0-M0_GWL63. The sector SECTOR0 is selected by the sector select signal SS00. Select signals B0_PWL0-B0_PWL7 are commonly applied to the driving blocks DRV0-DRV63. When the selection signals SS00, M0_GWL0 and B0_PWL0 are activated, the driving block DRV0 drives the word line WL0 to the word line voltage V WL . A sector SECTOR0 belonging to the bank BANK1 includes a word line driving circuit having driving blocks DRV0-DRV63 respectively corresponding to the selection signals M0_GWL0-M0_GWL63. The sector SECTOR0 is selected by the sector select signal SS01. Selection signals B1_PWL0-B1_PWL7 are commonly applied to the driving blocks DRV0-DRV63. When the selection signals SS01, M0_GWL0 and B1_PWL0 are activated, the driving block DRV0 drives the word line WL0 to the word line voltage V WL .

도 4는 본 발명에 따른 불 휘발성 메모리 장치의 소거 절차를 설명하기 위한 흐름도이다. 본 발명에 따른 불 휘발성 메모리 장치의 소거 절차가 이하 참조 도면들에 의거하여 상세히 설명될 것이다. 본 발명에 따른 불 휘발성 메모리 장치의 소거 절차는, 크게, 프리-프로그램 구간, 메인 소거 구간, 그리고 포스트-프로그램 구간으로 구성된다.4 is a flowchart illustrating an erase procedure of a nonvolatile memory device according to the present invention. An erase procedure of the nonvolatile memory device according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings below. The erase procedure of the nonvolatile memory device according to the present invention is largely composed of a pre-program section, a main erase section, and a post-program section.

프리-프로그램 구간에서는, 다음에 이어지는 메인 소거시 과도하게 소거되는 메모리 셀들의 발생을 방지하기 위해서, 정상적인 프로그램 동작과 동일한 바이어스 조건 하에서 각 섹터의 메모리 셀들이 프리-프로그램된다 (S100). 본 발명의 프리-프로그램 동작에 따르면, 각 섹터에 있어서, 하나의 워드 라인이 선택된 상태에서 미리 정해진 단위 (예를 들면, 바이트 또는 워드 단위)로 선택된 워드 라인의 메모리 셀들이 프리-프로그램된다. 선택된 워드 라인의 모든 메모리 셀들이 프리-프로그램되면, 다음의 워드 라인이 선택된다. 이러한 과정의 반복을 통해 각 섹터의 메모리 셀들이 모두 프리-프로그램된다. 프리-프로그램 구간에서는 검증 동작이 수행되지 않는다. 즉, 프로그램 검증 동작없이 오프 상태를 갖도록 각 섹터의 모든 메모리 셀들이 프리-프로그램된다. 이후, 모든 섹터들의 메모리 셀들이 온 상태를 갖도록 잘 알려진 방식으로 동시에 소거된다 (S110). 소거 동작이 완료된 후, 본 발명에 따른 포스트-프로그램 동작이 다음과 같은 절차를 통해 수행될 것이다 (S160).In the pre-program period, memory cells of each sector are pre-programmed under the same bias condition as in a normal program operation in order to prevent generation of memory cells that are excessively erased during the next main erase (S100). According to the pre-program operation of the present invention, in each sector, memory cells of the selected word line are pre-programmed in a predetermined unit (for example, byte or word unit) with one word line selected. When all memory cells of the selected word line are pre-programmed, the next word line is selected. By repeating this process, the memory cells of each sector are all pre-programmed. The verification operation is not performed in the pre-program section. That is, all memory cells in each sector are pre-programmed to have an off state without a program verify operation. Thereafter, the memory cells of all sectors are simultaneously erased in a well known manner so as to have an on state (S110). After the erase operation is completed, the post-program operation according to the present invention will be performed through the following procedure (S160).

S120 단계에서, 제어 로직 (140)은 소거 동작이 종료된 후 포스트-프로그래밍을 위해 제어 신호 (ACC_POST_PGM)를 활성화시키며, 어드레스 발생 회로 (160)는 제어 로직 (140)의 제어에 따라 행 어드레스를 발생한다. 제어 신호 (ACC_POST_PGM)가 활성화될 때, 뱅크 선택 회로 (180)는 뱅크 선택 신호들 (BS0-BS15)을 모두 활성화시킨다. 다른 예로서, 제어 신호 (ACC_POST_PGM)가 활성화될 때, 뱅크 선택 회로 (180)는 제 1 행 어드레스 (RA1)에 응답하여 뱅크 선택 신호들 (BS0-BS15) 중 일부 (2 또는 그 보다 많은 뱅크 선택 신호들)을 활성화시킨다. 제어 신호 (ACC_POST_PGM)가 활성화될 때, 매트 선택 회로 (190)는 제 2 행 어드레스 (RA2)에 응답하여 매트 선택 신호들 (MAT0-MAT15)을 발생하고, 섹터 선택 회로 (230)는 입력된 선택 신호들 (MATm, BSm)에 응답하여 섹터 선택 신호들 (예를 들면, SS<0><0>-SS<15><0>)을 동시에 발생한다. 그로벌 워드 라인 선택 회로 (200)는 제 3 행 어드레스 (RA3)에 응답하여 임의 매트에 대응하는 선택 신호들 (예를 들면, M0_GWL0-M0_GWL63) 중 하나 (예를 들면, M0_GWL0)를 활성화시킨다. 로컬 워드 라인 선택 회로 (210)는 제 4 행 어드레스 (RA4)에 응답하여 선택 신호들 (S0-S7) 중 하나 (예를 들면, S0)를 활성화시킨다. 디코더 회로 (220)는 입력 신호들 (S0-S7, BS0-BS15)에 응답하여 선택 신호들 (B0_PWL0-B15_PWL0)을 동시에 활성화시킨다. 이러한 조건에 따르면, 뱅크들 (BANK0-BANK15)에 각각 배열되고 동일한 매트에 속하는 섹터들 (SECTOR0)의 워드 라인들 (WL0)이 동시에 선택되며, 선택된 워드 라인들 (WL0)에는 워드 라인 전압 (VWL)이 공급될 것이다 (S130).In step S120, the control logic 140 activates the control signal ACC_POST_PGM for post-programming after the erase operation is finished, and the address generating circuit 160 generates a row address according to the control of the control logic 140. do. When the control signal ACC_POST_PGM is activated, the bank select circuit 180 activates all of the bank select signals BS0-BS15. As another example, when the control signal ACC_POST_PGM is activated, the bank select circuit 180 selects some (2 or more) banks of the bank select signals BS0-BS15 in response to the first row address RA1. Signals). When the control signal ACC_POST_PGM is activated, the mat select circuit 190 generates mat select signals MAT0-MAT15 in response to the second row address RA2, and the sector select circuit 230 inputs the input selection. Sector select signals (e.g., SS <0> <0> -SS <15> <0>) are simultaneously generated in response to the signals MATm, BSm. The global word line selection circuit 200 activates one of the selection signals (eg, M0_GWL0-M0_GWL63) (eg, M0_GWL0) corresponding to an arbitrary mat in response to the third row address RA3. The local word line select circuit 210 activates one of the select signals S0-S7 (eg, S0) in response to the fourth row address RA4. The decoder circuit 220 simultaneously activates the selection signals B0_PWL0-B15_PWL0 in response to the input signals S0-S7 and BS0-BS15. According to this condition, the word lines WL0 of the sectors SECTOR0 each arranged in the banks BANK0-BANK15 and belonging to the same mat are selected at the same time, and the word line voltage VWL is selected for the selected word lines WL0. ) Will be supplied (S130).

이후, 열 선택 회로 (120)는 제어 신호 (ACC_POST_PGM)의 활성화에 응답하여 모든 뱅크들 각각에 속하는 선택된 섹터의 열들을 미리 설정된 단위로 선택한다. 모든 뱅크들 각각에 속하는 선택된 섹터의 열들은 제어 로직 (140)의 제어하에 기입 드라이버 회로 (130)에 의해서 비트 라인 전압으로 구동된다. 즉, 포스트-프로그램 동작 동안, 선택된 섹터들의 워드 라인들에 연결된 메모리 셀들이 미리 설정된 단위로 동시에 포스트-프로그램된다 (S140). 다음 단계 (S150)에서는 메모리 셀 어레이의 모든 셀들이 포스트-프로그램되었는 지의 여부가 판별된다. 만약 메모리 셀 어레이의 모든 셀들이 포스트-프로그램되지 않았으면, 절차는 S130 단계로 진행한다. 이후, 모든 메모리 셀들이 포스트-프로그램될 때까지 앞서 설명된 단계들 (S130-S150)이 반복된다. 만약 메모리 셀 어레이의 모든 셀들이 포스트-프로그램되었으면, 소거 절차는 종료된다. 프리-프로그래밍과 마찬가지로, 프로그램 검증 동작없이 모든 메모리 셀들이 포스트-프로그램된다.Thereafter, the column selection circuit 120 selects columns of selected sectors belonging to each of all banks in preset units in response to the activation of the control signal ACC_POST_PGM. The columns of the selected sector belonging to each of all banks are driven to the bit line voltage by the write driver circuit 130 under the control of the control logic 140. That is, during the post-program operation, memory cells connected to the word lines of the selected sectors are simultaneously post-programmed in predetermined units (S140). In a next step S150, it is determined whether all the cells of the memory cell array have been post-programmed. If all cells of the memory cell array have not been post-programmed, the procedure proceeds to step S130. Thereafter, the above-described steps S130-S150 are repeated until all the memory cells are post-programmed. If all cells of the memory cell array have been post-programmed, the erase procedure is terminated. As with pre-programming, all memory cells are post-programmed without a program verify operation.

이상에서, 본 발명에 따른 회로의 구성 및 동작을 상기한 설명 및 도면에 따라 도시하였지만, 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하며 본 발명의 기술적 사상 및 범위를 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능함은 물론이다.In the above, the configuration and operation of the circuit according to the present invention has been shown in accordance with the above description and drawings, but this is only an example, and various changes and modifications can be made without departing from the spirit and scope of the present invention. Of course.

상술한 바와 같이, 동일한 행 (또는 매트)에 속하는 섹터들의 복수 개의 워드 라인들이 동시에 선택된 상태에서 포스트-프로그램 동작을 수행함으로써 포스트-프로그램 시간을 단축시킬 수 있다. 결과적으로, 소거 시간을 줄이는 것이 가능하다.As described above, the post-program time can be shortened by performing a post-program operation in a state in which a plurality of word lines of sectors belonging to the same row (or mat) are simultaneously selected. As a result, it is possible to reduce the erase time.

Claims (6)

행들과 열들로 배열되는 섹터들로 구성된 메모리 셀 어레이를 포함하는 불 휘발성 메모리 장치의 소거 방법에 있어서:A method of erasing a nonvolatile memory device comprising a memory cell array consisting of sectors arranged in rows and columns: 상기 섹터들의 메모리 셀들을 동시에 소거하는 단계와;Simultaneously erasing memory cells of the sectors; 포스트-프로그램 동작시 동일한 행에 속하는 섹터들 각각의 워드 라인을 동시에 선택하는 단계와; 그리고Simultaneously selecting a word line of each sector belonging to the same row in a post-program operation; And 상기 동시에 선택된 워드 라인들의 소거된 메모리 셀들을 포스트-프로그램하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 소거 방법.Post-programming erased memory cells of the simultaneously selected word lines. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 포스트-프로그램 동작시 상기 프로그램된 메모리 셀들에 대한 검증 동작이 수행되지 않는 것을 특징으로 하는 소거 방법.And wherein the verify operation is not performed on the programmed memory cells during the post-program operation. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 동시에 선택된 워드 라인들의 소거된 메모리 셀들은 소정 열 단위로 프로그램되는 것을 특징으로 하는 소거 방법.And erased memory cells of the simultaneously selected word lines are programmed in predetermined column units. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 메모리 셀 어레이의 메모리 셀들이 모두 프로그램될 때까지 상기 선택 및 프로그램 단계들을 반복하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 소거 방법.And repeating the selection and program steps until all the memory cells of the memory cell array are programmed. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 소거 단계 이전에 오프 상태를 갖도록 상기 각 섹터의 메모리 셀들을 프리-프로그램하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 소거 방법.And pre-programming memory cells of each sector to have an off state prior to the erasing step. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, 상기 프리-프로그램 단계에서는 상기 프로그램된 메모리 셀들에 대한 검증 동작이 수행되지 않는 것을 특징으로 하는 소거 방법.And the verify operation is not performed on the programmed memory cells in the pre-program step.
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