KR100650048B1 - Semiconductor Chip Package Substrate - Google Patents
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Abstract
본 발명은 오목부가 형성된 반도체 칩 패키지용 기판에 관한 것이다. 본 발명의 목적은 인쇄 배선 기판 위에 탑재된 여러 개의 반도체 칩을 동시에 성형할 때, 최외곽 칩 주위에 기공이 생성되는 것을 방지하는 데 있다. 이러한 목적을 달성하기 위해서 본 발명의 실시예는 일면에 회로가 형성된 본체 및 본체의 일면에 배열된 복수 개의 칩 탑재부를 포함하는 인쇄 배선 기판에 있어서, 최외곽 칩 탑재부에 인접하여 수지 충진부가 형성되고, 수지 충진부는 칩 탑재부가 위치하는 본체의 일면에 오목하게 형성되는 것을 특징으로 하는 인쇄 배선 기판을 제공한다.The present invention relates to a substrate for a semiconductor chip package having a recess. An object of the present invention is to prevent the generation of pores around the outermost chip when simultaneously molding a plurality of semiconductor chips mounted on a printed wiring board. In order to achieve the above object, an embodiment of the present invention provides a printed wiring board including a main body having a circuit formed on one surface and a plurality of chip mounting parts arranged on one surface of the main body, wherein a resin filling part is formed adjacent to the outermost chip mounting part. The resin filling part provides a printed wiring board, which is formed concave on one surface of the main body in which the chip mounting part is located.
인쇄 배선 기판, 인쇄 회로 기판, BGA, FPBGA, 성형 수지, 수지 충진부Printed wiring board, printed circuit board, BGA, FPBGA, molding resin, resin filling part
Description
도 1은 인쇄 배선 기판 위에서 성형 공정이 완료된 일반적인 FBGA 패키지를 나타내는 평면도,1 is a plan view showing a typical FBGA package in which a molding process is completed on a printed wiring board;
도 2는 성형 중의 인쇄 회로 기판의 일부를 나타내는 평면도,2 is a plan view showing a part of a printed circuit board during molding;
도 3은 성형 중의 성형 금형 내부를 나타내는 단면도,3 is a cross-sectional view showing the inside of a molding die during molding;
도 4는 종래 기술에 따른 인쇄 배선 기판을 사용하여 인쇄 회로 기판을 성형한 모습의 일부를 나타내는 평면도,4 is a plan view showing a part of a state in which a printed circuit board is molded using a printed wiring board according to the prior art;
도 5는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 인쇄 배선 기판을 나타내는 사시도,5 is a perspective view showing a printed wiring board according to a first embodiment of the present invention;
도 6은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 인쇄 회로 기판을 성형한 모습의 일부를 나타내는 평면도,6 is a plan view showing a part of a state in which the printed circuit board according to the first embodiment of the present invention is molded;
도 7은 VII-VII 선을 따라 절단한 단면도,7 is a cross-sectional view taken along the line VII-VII,
도 8은 성형 금형에서 본 발명의 제 2 실시예에 따른 인쇄 회로 기판을 성형한 모습을 나타내는 단면도,8 is a cross-sectional view showing a molded state of a printed circuit board according to a second embodiment of the present invention in a molding die;
도 9는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 인쇄 회로 기판을 성형한 모습을 나타내는 평면도,9 is a plan view showing a state in which the printed circuit board according to the third embodiment of the present invention is molded;
도 10은 X-X 선을 따라 절단한 단면도,10 is a cross-sectional view taken along the X-X line,
도 11은 성형 금형에서 본 발명의 제 4 실시예에 따른 인쇄 회로 기판을 성 헝한 모습을 나타내는 단면도이다.11 is a cross-sectional view showing a state in which a printed circuit board according to a fourth embodiment of the present invention is formed in a molding die.
<도면의 주요 부호에 대한 설명><Description of Major Symbols in Drawing>
1; 인쇄 회로 기판 10, 110, 210; 본체One; Printed
12, 112, 212; 성형부 14, 14a, 114, 114a; 반도체 칩12, 112, 212; Molded
16, 116; 위치 정렬 구멍 18; 기공16, 116;
20; 성형 수지 22, 122, 132, 222, 232; 상부 금형20;
24, 124, 224, 234; 하부 금형24, 124, 224, 234; Lower mold
26, 122a, 124a, 132a, 132b, 222a, 224a, 232a, 232b; 캐버티26, 122a, 124a, 132a, 132b, 222a, 224a, 232a, 232b; Cavities
100; 인쇄 배선 기판 102; 회로100; Printed
104, 104a, 204; 칩 탑재부 106, 206; 수지 충진부104, 104a, 204;
108, 226; 주입구 115; 접착제108, 226; Inlet 115; glue
본 발명은 반도체 칩 패키지용 기판에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 오목부가 형성된 반도체 칩 패키지용 기판에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE
반도체 칩 패키지 조립 공정의 마지막 단계는 에폭시 수지 등의 성형 수지로 패키지 몸체를 형성하는 것이다. 일반적인 반도체 칩 패키지는 각 반도체 칩에 대해서 개별로 성형 공정이 이루어지지만, BGA(Ball Grid Array, 이하 'BGA'라 한다) 패키지, 특히 FBGA(Fine Pitch Ball Grid Array, 이하 'FBGA'라 한다) 패키지와 같 은 반도체 칩 패키지의 성형 공정에서는 인쇄 배선 기판(Printed Wiring Board) 위에 탑재된 여러 개의 반도체 칩을 동시에 성형한다. 따라서, 성형 후에 단위 반도체 칩 패키지로 분리하는 공정이 필요하다.The final step of the semiconductor chip package assembly process is to form the package body with a molding resin such as epoxy resin. In general, a semiconductor chip package is formed separately for each semiconductor chip, but a BGA (BGA) package, particularly a FBGA (Fine Pitch Ball Grid Array) package, is referred to as a package. In the process of forming a semiconductor chip package as described above, a plurality of semiconductor chips mounted on a printed wiring board are simultaneously formed. Therefore, a process of separating the unit semiconductor chip package after molding is required.
아래의 설명에서는 회로 설계에 준하여 부품간을 접속하기 위해 도체 패턴을 절연 기판의 표면 또는 표면과 그 내부에 프린트에 의해 형성한 것을 인쇄 배선 기판이라 한다. 또한, 인쇄 배선 기판에 반도체 칩 패키지 등의 부품을 탑재하고 접합하여 전기적으로 연결한 것을 인쇄 회로 기판(Printed Circuit Board)이라 한다.In the following description, a printed wiring board is formed by forming a conductor pattern on the surface or the surface of the insulating substrate and the inside thereof in order to connect the parts according to the circuit design. In addition, a printed circuit board is mounted on a printed wiring board, such as a semiconductor chip package, and connected to each other to be electrically connected.
도 1은 인쇄 배선 기판 위에서 성형 공정이 완료된 일반적인 FBGA 패키지를 나타내는 평면도이다.1 is a plan view illustrating a general FBGA package in which a molding process is completed on a printed wiring board.
도 1을 참조하면, FBGA 패키지(13)는 복수의 반도체 칩(14)이 인쇄 배선 기판의 본체(10) 위에 탑재되어 성형된다. 격자 형태로 배열된 반도체 칩(13) 각각은 인쇄 배선 기판의 본체(10)와 전기적으로 연결된다. 탑재된 반도체 칩(14) 전체 또는 몇개의 군으로 나누어진 반도체 칩(14)에 대해서 성형을 하여 하나의 성형부(12)에 여러개의 반도체 칩(14)이 내장된다. 도면에서는 인쇄 배선 기판의 본체(10) 위에 4개의 성형부(12)가 형성되고, 하나의 성형부(12)에는 4개의 반도체 칩(14)이 내장된다.Referring to FIG. 1, the FBGA
반도체 칩(14)과 외부 장치(도시되지 않음)와의 전기적, 기계적 연결은 인쇄 배선 기판의 본체(10) 상에 형성된 솔더 볼(Solder Ball; 도시되지 않음)을 이용한다. 성형부(12)에는 복수의 반도체 칩(14)이 내장되므로 성형부(12)를 절단하여 FBGA 패키지(13)를 낱개로 분리(Singulation)한다.
The electrical and mechanical connection between the
도 2는 성형 중의 인쇄 회로 기판의 일부를 나타내는 평면도, 도 3은 성형 중의 성형 금형 내부를 나타내는 단면도이다.2 is a plan view showing a part of a printed circuit board during molding, and FIG. 3 is a cross-sectional view showing the inside of a molding die during molding.
도 2는 성형 금형 내에서 성형 공정이 진행 중인 인쇄 회로 기판만을 도시한 것으로서 성형 금형은 도시하지 않았다. 도 2와 도 3에서 화살표는 성형 수지의 흐름 방향을 나타낸다.FIG. 2 illustrates only a printed circuit board in which a molding process is being performed in the molding die, and the molding die is not illustrated. In FIG. 2 and FIG. 3, the arrow shows the flow direction of molded resin.
도 2 및 3을 참조하면, 인쇄 회로 기판(1)의 본체(10) 위에 탑재되는 반도체 칩(14)의 크기가 작아지면 반도체 칩(14)과 반도체 칩(14) 사이의 간격(a)이 커지게 된다. 이러한 경우에 성형 금형(22, 24)의 캐버티(26) 내를 유동하는 성형 수지(20)의 흐름에 차이가 생기게 된다. 즉, 반도체 칩(14)과 상부 성형 금형(22) 사이의 공간이 인쇄 회로 기판(1)의 본체(10)와 상부 성형 금형(22) 사이의 공간에 비해 작으므로, 반도체 칩(14)과 상부 성형 금형(22) 사이의 공간을 유동하는 성형 수지(20)의 유속이 줄어들게 된다.2 and 3, when the size of the
따라서, 성형 금형(22, 24)의 캐버티(26) 내에서 성형 수지(20)의 흐름이 균일하지 않게 되므로, 도 2에서 보는 바와 같이 반도체 칩(14) 상부에서 성형 수지(20)가 느리게 진행하게 된다. 도면 부호 16은 인쇄 회로 기판(1)의 위치를 정렬하는데 사용되는 위치정렬 구멍(Location Hole)을 나타낸다.Therefore, since the flow of the
도 4는 종래 기술에 따른 인쇄 배선 기판을 사용하여 인쇄 회로 기판을 성형한 모습의 일부를 나타내는 평면도이다.4 is a plan view showing a part of a state in which a printed circuit board is molded by using a printed wiring board according to the prior art.
도 4를 참조하면, 위에서 설명한 바와 같이 반도체 칩(14, 14a) 상부에서 성형 수지의 유속이 작아짐에 따라 성형부(12) 내부에 성형 수지가 덜 채워지는 부분(18)이 발생하게 된다. 즉, 반도체 칩(14, 14a) 상부에서 부분적으로 성형 수지의 유속이 느려지기 때문에, 성형 수지가 흐르는 방향에서 볼 때 가장 뒷쪽에 위치하는 최외곽 칩(14a)에는 성형 수지가 도달하지 못하여 성형이 불완전하게 될 수 있다. 이러한 불완전 성형으로 인해 성형부(12) 내에 상당한 크기의 기공(18)이 생겨서 완성된 FBGA 패키지의 불량의 원인이 된다.Referring to FIG. 4, as described above, as the flow rate of the molding resin decreases on the
따라서, 본 발명의 목적은 인쇄 배선 기판 위에 탑재된 여러 개의 반도체 칩을 동시에 성형할 때, 최외곽 칩 주위에 기공이 생성되는 것을 방지하는 데 있다.Accordingly, an object of the present invention is to prevent the generation of pores around the outermost chip when simultaneously molding a plurality of semiconductor chips mounted on a printed wiring board.
이러한 목적을 달성하기 위해서 본 발명의 실시예는 일면에 회로가 형성된 본체 및 본체의 일면에 배열된 복수 개의 칩 탑재부를 포함하는 인쇄 배선 기판에 있어서, 최외곽 칩 탑재부에 인접하여 수지 충진부가 형성되고, 수지 충진부는 칩 탑재부가 위치하는 본체의 일면에 오목하게 형성되는 것을 특징으로 하는 인쇄 배선 기판을 제공한다.In order to achieve the above object, an embodiment of the present invention provides a printed wiring board including a main body having a circuit formed on one surface and a plurality of chip mounting parts arranged on one surface of the main body, wherein a resin filling part is formed adjacent to the outermost chip mounting part. The resin filling part provides a printed wiring board, which is formed concave on one surface of the main body in which the chip mounting part is located.
이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 보다 상세히 설명하고자 한다. 도면 전반에 걸쳐서 동일한 도면 부호는 동일한 구성 요소를 나타낸다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Like numbers refer to like elements throughout.
도 5는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 인쇄 배선 기판을 나타내는 사시도이다.5 is a perspective view showing a printed wiring board according to a first embodiment of the present invention.
도 5를 참조하면, 인쇄 배선 기판(100)은 비티 수지(BT Resin) 등의 절연물질로 이루어진 본체(110) 위에 회로(102)와 수지 충진부(106)가 형성된다. 본체(110)의 일면에는 반도체 칩(도시되지 않음)이 탑재되는 복수 개의 칩 탑재부(104, 104a)가 격자 형태로 배열된다. 칩 탑재부(104, 104a) 주위에는 회로(102)가 형성되어 후공정에서 탑재되는 반도체 칩과 전기적으로 연결된다. 본체(110)의 뒷면에는 외부 단자인 솔더 볼(도시되지 않음)이 형성되어 회로(102)와 전기적으로 연결된다. 위치정렬 구멍(116)은 본체(110)를 관통하여 형성된다.Referring to FIG. 5, in the printed
성형 금형(도시되지 않음) 내에서 성형 수지가 흐르는 방향(화살표 방향)으로 가장 뒤쪽에 위치하는 최외곽 칩 탑재부(104a)의 뒤쪽에는 수지 충진부(106)가 형성된다. 수지 충진부(106)는 칩 탑재부(104, 104a)가 위치하는 본체(110)의 일면에 형성된다. 이때, 칩 탑재부(104, 104a)와 수지 충진부(106)는 성형 수지의 흐름 방향에서 볼 때 일직선 상에 위치한다. 즉, 칩 탑재부(104, 104a)가 격자 형태로 배열되는 경우, 수지 충진부(106)는 칩 탑재부(104, 104a)에 의해 이루어지는 격자의 연장선 상에서 최외곽 칩 탑재부(104a)에 인접하여 위치한다. 수지 충진부(106)는 오목한 형태로 형성되거나 본체(110)를 관통하여 형성된다.In the molding die (not shown), a
도 6은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 인쇄 회로 기판을 성형한 모습의 일부를 나타내는 평면도이다. 인쇄 배선 기판은 성형 금형 내에 삽입되어 있으나, 편의상 성형 금형은 나타내지 않고 인쇄 배선 기판과 성형부만을 도시한다.6 is a plan view showing a part of a state in which the printed circuit board according to the first embodiment of the present invention is molded. Although the printed wiring board is inserted in the molding die, the molding die is not shown for convenience and only the printed wiring board and the molding portion are shown.
도 6을 참조하면, 성형 수지가 수지 충진부에 채워지는 동안 성형 수지가 더 유동하게 되므로, 최외곽 칩(114a) 위에서의 성형 수지의 느린 유속을 보상한다. 즉, 성형 수지가 수지 충진부를 채우는 동안에 최외곽 칩114a) 주위로 성형 수지가 더 공급되므로, 최외곽 칩(114a) 주위에 발생하는 기공(도 4의 18)이 제거된다. 따라서, 성형부(112)는 기공 없이 치밀하게 제조될 수 있다.Referring to FIG. 6, the molding resin is further flowed while the molding resin is filled in the resin filling part, thereby compensating for the slow flow rate of the molding resin on the
도 7은 VII-VII 선을 따라 절단한 단면도이다.7 is a cross-sectional view taken along the line VII-VII.
도 7을 참조하면, 성형 금형(122, 124) 내에서 수지 충진부(106)에 성형 수지가 채워지면서 인쇄 배선 기판 위에 성형부(112)가 형성된다. 인쇄 배선 기판의 본체(110)에는 반도체 칩(114)이 칩 탑재부 위에 접착제(115)에 의해 접착된다. 반도체 칩(114)은 인쇄 배선 기판의 회로와 전기적으로 연결된다. 하부 금형(124)의 캐버티(124a)에 인쇄 배선 기판의 본체(110)가 삽입되고, 상부 금형(122)이 하부 금형(124)과 결합한다.Referring to FIG. 7, the
상부 금형(122)의 캐버티(122a)는 하부 금형(124)의 캐버티(124a)와 달리 본체(110)의 일부만을 덮어 씌운다. 즉, 상부 금형(122)의 캐버티(122a)는 반도체 칩(114)이 탑재된 부분과 수지 충진부(106)의 일부만을 덮고 있다. 따라서, 캐버티(122a)와 수지 충진부(106)가 중첩하는 부분이 수지 충진부(106)에 대한 성형 수지의 주입구가 된다. 성형 수지 주입구(108)를 통해 성형 수지가 주입되면 성형부(112)가 형성되고 수지 충진부(106)가 채워지게 된다. The
도 8은 성형 금형에서 본 발명의 제 2 실시예에 따른 인쇄 회로 기판을 성형한 모습을 나타내는 단면도이다.FIG. 8 is a cross-sectional view illustrating a molded shape of a printed circuit board according to a second exemplary embodiment of the present invention in a molding die. FIG.
도 8은 참조하면, 최외곽 칩 부분에 더 많은 성형 수지가 유동하도록 하기 위해서 상부 금형(132)의 제 1 캐버티(132a) 옆에 제 2 캐버티(132b)를 형성한다. 제 1 캐버티(132a)는 도 7에 도시된 상부 금형의 캐버티와 동일하다. 그런데, 제 2 캐버티(132b)가 추가 되므로 수지 충진부(106)에 채워지는 성형 수지의 양이 증 가하게 된다. 따라서, 최외곽 칩 주위를 지나가는 성형 수지의 양이 늘어나게 되므로 최외곽 칩 주위에 발생하는 기공(도 4의 18)을 보다 확실히 제거할 수 있다.Referring to FIG. 8, a
위와 같이 제조된 인쇄 회로 기판(도 7 및 8 참조)에는 복수 개의 반도체 칩(114)이 탑재되어 있으므로 단위 반도체 칩 패키지로 분리(Singulation)하고, 솔더 볼을 형성하면 FPBGA 패키지가 완성된다.Since the plurality of
도 9는 성형 금형에서 본 발명의 제 3 실시예에 따른 인쇄 회로 기판을 성형한 모습을 나타내는 평면도이고, 도 10은 X-X 선을 따라 절단한 단면도이다. 도 9에서 인쇄 배선 기판은 성형 금형 내에 삽입되어 있으나, 편의상 성형 금형은 나타내지 않고 인쇄 배선 기판과 성형부만을 도시한다.FIG. 9 is a plan view illustrating a printed circuit board according to a third exemplary embodiment of the present invention in a molding die, and FIG. 10 is a cross-sectional view taken along an X-X line. In FIG. 9, the printed wiring board is inserted into the molding die, but for the sake of convenience, only the printed wiring board and the molded part are illustrated without showing the molding die.
도 9 및 10을 참조하면, 인쇄 회로 기판(200)은 BGA 패키지를 제조하기 위한 것이다. 상부 금형(222)의 캐버티(222a)와 하부 금형(224)의 캐버티(224a) 사이에 반도체 칩(214)이 탑재된 인쇄 배선 기판이 삽입된다. 도 5에 도시된 것과 마찬가지로 인쇄 배선 기판의 본체(210)에는 수지 충진부(206)가 형성된다. 즉, 수지 충진부(206)는 성형 수지가 흐르는 방향(화살표 방향)으로 칩 탑재부의 뒤쪽에 형성된다. 이때, 칩 탑재부와 수지 충진부(206)는 성형 수지의 흐름 방향에서 볼 때 일직선 상에 위치한다. 수지 충진부(206)는 오목한 형태로 형성되거나 본체(210)를 관통하여 형성된다.9 and 10, the printed
BGA 패키지를 제조하기 위한 인쇄 회로 기판(200)에서 반도체 칩(214)은 각각 성형된다. 수지 충진부(206)와 칩 탑재부 사이에는 성형 수지가 수지 충진부(206)에 주입되는 주입구(226)가 형성된다. 인쇄 회로 기판(200)에서 개별 BGA 패키지를 분리할 때, 수지 충진부(206)에 충진된 성형 수지는 주입구(226) 부분에서 분리된다. The semiconductor chips 214 are each molded in a printed
도 11은 성형 금형에서 본 발명의 제 4 실시예에 따른 인쇄 회로 기판을 성헝한 모습을 나타내는 단면도이다.11 is a cross-sectional view showing a state in which a printed circuit board according to a fourth embodiment of the present invention is formed in a molding die.
도 11을 참조하면, 반도체 칩(214) 부분에 더 많은 성형 수지가 유동하도록 하기 위해서 상부 금형(232)의 제 1 캐버티(232a) 옆에 제 2 캐버티(232b)를 형성한다. 제 1 캐버티(232)는 도 10에 도시된 상부 금형의 캐버티와 동일하다. 그런데, 제 2 캐버티(232b)가 형성되므로 수지 충진부(206)에 채워지는 성형 수지의 양이 증가하게 된다. 따라서, 반도체 칩(214) 주위를 지나가는 성형 수지의 양이 늘어나게 되므로 반도체 칩(214) 주위에 발생하는 기공(도 4의 18)을 보다 확실히 제거할 수 있다.Referring to FIG. 11, a
따라서, 본 발명에 의하면 반도체 칩 주위를 유동하는 성형 수지의 양이 증가하므로, 기공 없이 성형 수지가 치밀하게 성형된 성형부를 형성할 수 있다.Therefore, according to the present invention, since the amount of the molding resin flowing around the semiconductor chip increases, it is possible to form a molded portion in which the molding resin is compactly formed without pores.
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