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KR100649522B1 - Plasma display panel - Google Patents

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KR100649522B1
KR100649522B1 KR1020050091984A KR20050091984A KR100649522B1 KR 100649522 B1 KR100649522 B1 KR 100649522B1 KR 1020050091984 A KR1020050091984 A KR 1020050091984A KR 20050091984 A KR20050091984 A KR 20050091984A KR 100649522 B1 KR100649522 B1 KR 100649522B1
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KR
South Korea
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mgo
substrate
dielectric layer
protective film
display panel
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KR1020050091984A
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Korean (ko)
Inventor
박용수
김기동
Original Assignee
삼성에스디아이 주식회사
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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
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  • Materials Engineering (AREA)
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Abstract

본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널에 관한 것으로서, 상세하게는 상기 플라즈마 디스플레이 패널은 임의의 간격을 두고 실질적으로 평행하게 배치되는 제1 및 제2 기판, 상기 제1 기판 위에 형성되는 다수의 어드레스 전극들과 상기 어드레스 전극들을 덮으면서 제1 기판에 형성되는 제1 유전층, 상기 제1 유전층 위에 소정의 높이로 제공되며, 방전 공간을 형성하는 다수의 격벽들, 상기 방전 공간 내에 형성되는 형광층, 상기 제1 기판에 대향하는 제2 기판의 일면에 상기 어드레스 전극들과 교차하는 방향으로 배치되며 유지 전극 및 주사 전극을 포함하는 다수의 표시 전극들과 상기 표시 전극들을 덮으면서 상기 제2 기판에 형성되는 제2 유전층, 및 상기 제2 유전층을 코팅하는 보호막을 포함하며, 상기 보호막은 주사 전극에 대응하는 영역에는 다결정 MgO를 포함하고, 유지 전극에 대응하는 영역에는 단결정 MgO를 포함한다.The present invention relates to a plasma display panel, and in particular, the plasma display panel includes first and second substrates disposed substantially parallel to each other at random intervals, a plurality of address electrodes formed on the first substrate, and A first dielectric layer formed on the first substrate while covering the address electrodes, a plurality of partition walls provided on the first dielectric layer at a predetermined height to form a discharge space, a fluorescent layer formed in the discharge space, and the first substrate A plurality of display electrodes including a sustain electrode and a scan electrode and a second dielectric layer formed on the second substrate while covering the display electrodes and disposed in a direction crossing the address electrodes on one surface of the second substrate opposite to And a passivation layer coating the second dielectric layer, wherein the passivation layer is polycrystalline in a region corresponding to the scan electrode. MgO is included, and the region corresponding to the sustain electrode contains single crystal MgO.

본 발명은 보호막 형성시 주사 전극에 대응하는 영역에서는 다결정 MgO 재료를 사용하여 응답 속도를 개선하고 그외 표시영역 전면은 단결정 MgO 재료를 사용함으로써, 방전안정성과 온도저항 특성을 효과적으로 개선할 수 있었다.When the protective film is formed, the response speed is improved by using a polycrystalline MgO material in the region corresponding to the scan electrode, and the monolithic MgO material is used on the entire surface of the display area, whereby discharge stability and temperature resistance characteristics can be effectively improved.

Description

플라즈마 디스플레이 패널{PLASMA DISPLAY PANEL}Plasma Display Panel {PLASMA DISPLAY PANEL}

도 1은 본 발명의 플라즈마 디스플레이 패널의 일례를 나타낸 부분 분해 사시도.1 is a partially exploded perspective view showing an example of a plasma display panel of the present invention.

도 2는 비교예 1에 따라 제조된 플라즈마 디스플레이 패널의 방전 지연 시간을 나타낸 그래프.2 is a graph showing a discharge delay time of a plasma display panel manufactured according to Comparative Example 1. FIG.

도 3은 비교예 2 에 따라 제조된 플라즈마 디스플레이 패널의 방전 지연 시간을 나타낸 그래프.3 is a graph showing a discharge delay time of a plasma display panel manufactured according to Comparative Example 2. FIG.

[산업상 이용 분야][Industrial use]

본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 우수한 응답속도와 방전안정성 및 온도저항특성을 갖는 플라즈마 디스플레이 패널을 제공하는데 있다. The present invention relates to a plasma display panel, and more particularly, to a plasma display panel having excellent response speed, discharge stability, and temperature resistance characteristics.

[종래 기술][Prior art]

플라즈마 디스플레이 패널(plasma display panel, PDP)은 기체 방전 시에 생기는 플라즈마로부터 나오는 빛을 이용하여 문자 또는 그래픽을 표시하는 장치로 서, 플라즈마 디스플레이 패널의 방전공간에 설치된 두 전극에 소정의 전압을 인가하여 이들 사이에서 플라즈마 방전이 일어나도록 하고, 이 플라즈마 방전 시 발생되는 자외선에 의해 소정의 패턴으로 형성된 형광체층을 여기시켜 화상을 형성한다.Plasma display panel (PDP) is a device that displays letters or graphics by using the light emitted from the plasma generated during gas discharge, by applying a predetermined voltage to the two electrodes installed in the discharge space of the plasma display panel Plasma discharge is caused to occur between them, and the phosphor layer formed in a predetermined pattern is excited by ultraviolet rays generated during the plasma discharge to form an image.

이와 같은 플라즈마 디스플레이는 크게 교류형(AC type), 직류형(DC type) 및 혼합형(Hybrid type)으로 나누어진다. 이 중에서 교류형이 가장 널리 사용되고 있다. 일반적인 플라즈마 디스플레이 패널은 하부기판, 하부기판 위에 형성된 다수의 어드레스 전극, 이 어드레스 전극이 형성된 하부기판 위에 형성된 유전층, 이 유전층 상부에 형성되어 방전거리를 유지시키고 셀간의 크로스 토크(cross talk)를 방지하는 다수의 격벽과 격벽 표면에 형성된 형광체층을 포함한다. 다수의 표시 전극은 하부기판상에 형성된 다수의 어드레스 전극과 소정 간격으로 이격되어 교차하도록 상부기판 하부에 형성된다. 그리고 유전층 및 보호막이 순차적으로 표시 전극을 덮고 있다. 특히, 보호막으로는 가시광선이 잘 투과될 수 있도록 투명할 뿐만 아니라 유전층 보호 및 2차 전자 방출 성능이 우수한 MgO를 주로 사용하고 있다.Such plasma displays are largely divided into AC type, DC type, and hybrid type. AC type is the most widely used. A typical plasma display panel includes a lower substrate, a plurality of address electrodes formed on the lower substrate, a dielectric layer formed on the lower substrate on which the address electrodes are formed, and formed on the dielectric layer to maintain a discharge distance and prevent cross talk between cells. It includes a plurality of partitions and the phosphor layer formed on the surface of the partitions. The plurality of display electrodes are formed under the upper substrate so as to be spaced apart from the plurality of address electrodes formed on the lower substrate at predetermined intervals. The dielectric layer and the passivation layer sequentially cover the display electrode. In particular, as the protective film, MgO, which is not only transparent to transmit visible light but also excellent in dielectric layer protection and secondary electron emission performance, is mainly used.

MgO 보호막은 방전가스에 접촉되므로 보호막을 구성하는 성분과 막 특성은 방전특성에 크게 영향을 미칠 수 있다. 이 때 MgO 보호막 특성은 성분과 증착 시의 성막 조건에 크게 의존한다. Since the MgO protective film is in contact with the discharge gas, the components constituting the protective film and the film characteristics can greatly affect the discharge characteristics. At this time, the MgO protective film properties largely depend on the components and the deposition conditions during deposition.

따라서 목적하는 막 특성 향상에 부합하도록 최적의 성분을 개발하는 것이 절실히 요구된다.Therefore, there is an urgent need to develop optimal components to meet the desired film properties.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 개선된 응답 속도와 방전 안정성 및 온도저항 특성을 갖는 플라즈마 디스플레이 패널을 제공하는데 있다.The present invention is to solve the above problems, an object of the present invention is to provide a plasma display panel having improved response speed, discharge stability and temperature resistance characteristics.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 임의의 간격을 두고 실질적으로 평행하게 배치되는 제1 및 제2 기판, 상기 제1 기판 위에 형성되는 다수의 어드레스 전극들과 상기 어드레스 전극들을 덮으면서 제1 기판에 형성되는 제1 유전층, 상기 제1 유전층 위에 소정의 높이로 제공되며, 방전 공간을 형성하는 다수의 격벽들, 상기 방전 공간 내에 형성되는 형광층, 상기 제1 기판에 대향하는 제2 기판의 일면에 상기 어드레스 전극들과 교차하는 방향으로 배치되며 유지 전극 및 주사 전극을 포함하는 다수의 표시 전극들과 상기 표시 전극들을 덮으면서 상기 제2 기판에 형성되는 제2 유전층, 및 상기 제2 유전층을 코팅하는 보호막을 포함하며, 상기 보호막은 주사 전극에 대응하는 영역에는 다결정 MgO를 포함하고, 유지 전극에 대응하는 영역에는 단결정 MgO를 포함한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a first substrate and a second substrate disposed substantially parallel at any interval, a plurality of address electrodes formed on the first substrate and the first substrate while covering the address electrodes A first dielectric layer formed on the first dielectric layer, the plurality of partition walls provided on the first dielectric layer at a predetermined height to form a discharge space, a fluorescent layer formed in the discharge space, and one surface of the second substrate facing the first substrate. A plurality of display electrodes including a storage electrode and a scan electrode and a second dielectric layer formed on the second substrate while covering the display electrodes, the second dielectric layer being disposed in a direction crossing the address electrodes and coating the second dielectric layer. A protective film comprising polycrystalline MgO in a region corresponding to the scan electrode, and a single crystal MgO in a region corresponding to the sustain electrode. It includes.

또한 상기 보호막은 주사 전극에 대응하는 영역에는 다결정 MgO를 포함하고, 그 외의 보호막 영역에는 단결정 MgO를 포함할 수도 있다.The protective film may include polycrystalline MgO in a region corresponding to the scan electrode, and may include single crystal MgO in the other protective film region.

이하 본 발명을 보다 상세하게 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail.

플라즈마 디스플레이 패널의 3전극(어드레스전극(A 전극), 유지 전극(X전극), 주사 전극(Y전극)) 구조에서 서스테인 방전은 X, Y 전극간에 발생하지만 서스테 인 방전이 일어나기 위한 셀의 점등을 결정하는 어드레스 방전은 A, Y 전극간에 발생한다. 유지 전극 및 주사 전극을 피복하는 유전층의 표면에는 방전시의 방전 가스에 의한 이온 충격을 저감하기 위해 내스퍼터성이 높은 보호막이 형성된다. In the three-electrode structure (address electrode (A electrode), sustain electrode (X electrode), and scan electrode (Y electrode)) of the plasma display panel, the sustain discharge is generated between the X and Y electrodes, but the cell is turned on for the sustain discharge to occur. The address discharge for determining the above occurs between the A and Y electrodes. On the surfaces of the dielectric layers covering the sustain electrodes and the scan electrodes, a protective film having high sputter resistance is formed in order to reduce ion bombardment caused by discharge gas during discharge.

플라즈마 디스플레이 패널에서는 보호막의 재질 및 막 특성이 방전 특성에 큰 영향을 주기 때문에, 이 보호막은 방전 전극으로서 작용한다. 이와 같은 보호막으로는 내스퍼터성이 뛰어나고, 2차 전자 방출 계수가 높은 MgO 막을 사용하고 있다. 상기 MgO 막의 재료로 일반적으로 사용되는 소결 제조된 다결정 MgO 재료는 온도 변화에 따라 라이팅(writing) 신호에 응답하는 시간의 차이로 표시 품질이 변화되는 단점이 있는 반면, 전융(fusion) 제조된 단결정 MgO 재료는 응답시간이 다결정 MgO 재료에 비해 느리나 온도 변화에 둔감한 특성이 있다. In the plasma display panel, since the material and the film characteristics of the protective film greatly influence the discharge characteristics, the protective film functions as a discharge electrode. As such a protective film, an MgO film having excellent sputter resistance and high secondary electron emission coefficient is used. The sintered polycrystalline MgO material commonly used as the material of the MgO film has a disadvantage in that the display quality is changed due to a difference in time in response to a writing signal according to a temperature change, whereas a single crystal MgO produced in a fusion is made. The material has a slower response time than polycrystalline MgO material but is insensitive to temperature changes.

본 발명은 이와 같이 단결정 MgO 재료의 안정성과 다결정 MgO 재료의 빠른 응답성을 혼합한 것으로서, 주사 전극에 대응하는 보호막 영역에서는 다결정 MgO 재료를 사용하여 응답 속도를 개선하고 유지 전극에 대응하는 영역은 단결정 MgO 재료를 사용함으로써, 방전안정성과 온도저항 특성을 효과적으로 개선할 수 있었다.According to the present invention, the stability of the single crystal MgO material and the fast response of the polycrystalline MgO material are mixed. In the protective film region corresponding to the scan electrode, the response speed is improved by using the polycrystalline MgO material and the region corresponding to the sustain electrode is single crystal. By using MgO materials, discharge stability and temperature resistance characteristics could be effectively improved.

즉, 상기 본 발명의 플라즈마 디스플레이 패널은 주사 전극(Y전극)에 대응하는 영역에는 다결정 MgO를 포함하고, 유지 전극에 대응하는 영역에는 단결정 MgO를 포함한다. That is, the plasma display panel of the present invention includes polycrystalline MgO in the region corresponding to the scan electrode (Y electrode) and single crystal MgO in the region corresponding to the sustain electrode.

또한 상기 보호막은 주사 전극에 대응하는 영역에는 다결정 MgO를 포함하고, 그 외의 보호막 영역에는 단결정 MgO를 포함할 수도 있다.The protective film may include polycrystalline MgO in a region corresponding to the scan electrode, and may include single crystal MgO in the other protective film region.

상기 다결정 MgO는 MgO 순도가 99% 이상인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 99.9% 이상이다. 다결정 MgO의 순도가 99% 미만이면 MgO 재료(MgO source) 제조시 첨가된 불순물들의 영향으로 인해 증착막 특성 및 온도의존성에 영향을 주게 되어 바람직하지 않다. The polycrystalline MgO preferably has a MgO purity of 99% or more, and more preferably 99.9% or more. If the purity of the polycrystalline MgO is less than 99%, it is not preferable because it affects the deposited film properties and temperature dependence due to the influence of impurities added in the production of MgO source (MgO source).

또한 상기 다결정 MgO는 상대 밀도가 3.2 이하인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는, 3 이하이다. In addition, the polycrystalline MgO preferably has a relative density of 3.2 or less, and more preferably 3 or less.

상기 보호막은 3000 내지 8000Å의 평균 두께를 갖는 것이 바람직하며, 보다 바람직하게는 3000 내지 6000Å의 평균 두께를 가질 수 있다.The protective film preferably has an average thickness of 3000 to 8000 GPa, and more preferably 3000 to 6000 GPa.

도 1은 상기 보호막을 갖는 본 발명의 플라즈마 디스플레이 패널의 일례를 나타낸 부분 분해 사시도로, 본 발명의 플라즈마 디스플레이 패널은 도 1에 한정되는 것은 아니다.FIG. 1 is a partially exploded perspective view showing an example of the plasma display panel of the present invention having the protective film. The plasma display panel of the present invention is not limited to FIG. 1.

도 1에 나타낸 것과 같이, 본 발명의 플라즈마 디스플레이 패널은 플라즈마 디스플레이 패널은 제1기판(1, 하부 기판) 상에 일방향(도면의 Y 방향)을 따라 어드레스 전극들(3)이 형성되고, 어드레스 전극들(3)을 덮으면서 제1기판(1)에 제1유전층(5)이 형성된다. 이 제1유전층(5) 위로 각 어드레스 전극(3) 사이에 격벽(7)이 형성되며, 상기 격벽(7)은 필요에 따라 개방형 또는 폐쇄형으로 형성될 수 있다. 각각의 격벽(7) 사이에는 적(R), 녹(G), 청(B)색의 형광체층(9)이 위치한다. 그리고, 제1기판(1)에 대향하는 제2기판(11, 상부기판)의 일면에는 어드레스 전극(3)과 교차하는 방향으로 주사전극과 유지 전극을 포함하는 표시전극들(13)이 형성되며, 상기 주사 전극과 유지 전극은 한쌍의 투명 전극(13a)과 버스 전극(13b)으로 구성 된다. 또한 상기, 표시 전극들(13)을 덮으면서 제2기판(11) 전체에 제2 유전층(15)과 보호막(17)이 위치한다. As shown in FIG. 1, in the plasma display panel of the present invention, address electrodes 3 are formed in one direction (Y direction in the drawing) on a first substrate 1 and a lower substrate, The first dielectric layer 5 is formed on the first substrate 1 while covering the field 3. A partition wall 7 is formed between the address electrodes 3 on the first dielectric layer 5, and the partition wall 7 may be formed as an open type or a closed type as necessary. Between each partition wall 7, phosphor layers 9 of red (R), green (G) and blue (B) colors are located. In addition, display electrodes 13 including scan electrodes and sustain electrodes are formed on one surface of the second substrate 11 (upper substrate) opposite to the first substrate 1 in a direction crossing the address electrode 3. The scan electrode and the sustain electrode are composed of a pair of transparent electrodes 13a and a bus electrode 13b. In addition, the second dielectric layer 15 and the passivation layer 17 are disposed on the entire second substrate 11 while covering the display electrodes 13.

상기 보호막(17)은 주사 전극(Y전극)에 대응하는 영역에는 다결정 MgO를 포함하고, 유지 전극에 대응하는 영역에는 단결정 MgO를 포함하며, 바람직하게는 주사 전극에 대응하는 영역에는 다결정 MgO를 포함하고, 그 외의 보호막 영역에는 단결정 MgO를 포함할 수도 있다.The passivation layer 17 includes polycrystalline MgO in a region corresponding to the scan electrode (Y electrode), single crystal MgO in a region corresponding to the sustain electrode, and preferably includes polycrystalline MgO in a region corresponding to the scan electrode. In addition, the other protective film region may contain single crystal MgO.

이와 같이 제조한 플라즈마 디스플레이 패널 상부기판 및 하부기판의 가장자리를 프릿으로 도포하여 양 기판을 봉착하고, Ne 나 Xe 등의 방전가스를 주입함으로써 플라즈마 디스플레이 패널을 제조한다.The plasma display panel is manufactured by applying the edges of the upper and lower substrates of the plasma display panel manufactured as described above with frit to seal both substrates and injecting discharge gas such as Ne or Xe.

본 발명의 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널에서는, 전극들로부터 구동 전압을 인가받아 이들 전극들 사이에 어드레스 방전을 일으켜서 유전층에 벽전하를 형성하고, 어드레스 방전에 의해 선택된 방전셀들에서 상부기판에 형성한 한 쌍의 전극에 교류적으로 공급되는 교류 신호에 의하여 이들 전극들간에 서스테인 방전을 일으킨다. 이에 따라 방전셀을 형성하는 방전 셀에 충전된 방전 가스가 여기되고 천이되면서 자외선을 발생시키고, 자외선에 의한 형광체의 여기로 가시광선을 발생시키면서 화상을 구현하게 된다.In the plasma display panel according to the embodiment of the present invention, a driving voltage is applied from the electrodes to generate an address discharge between the electrodes, thereby forming wall charges in the dielectric layer, and forming the wall charges on the upper substrate in the discharge cells selected by the address discharge. Sustain discharge is caused between these electrodes by an alternating current signal supplied alternatingly to a pair of electrodes. As a result, the discharge gas charged in the discharge cells forming the discharge cells is excited and transitioned to generate ultraviolet rays, and to generate an image while generating visible light by excitation of the phosphor by the ultraviolet rays.

본 발명의 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널에서는, 전극들로부터 구동 전압을 인가받아 이들 전극들 사이에 어드레스 방전을 일으켜서 유전층에 벽전하를 형성하고, 어드레스 방전에 의해 선택된 방전셀들에서 상부기판에 형성한 한 쌍의 전극에 교차적으로 공급되는 교류 신호에 의하여 이들 전극들간에 서스테인 방전을 일으킨다. 이에 따라 방전셀을 형성하는 방전 공간에 충전된 방전 가스가 여기되고 천이되면서 자외선을 발생시키고, 자외선에 의한 형광체의 여기로 가시광선을 발생시키면서 화상을 구현하게 된다.In the plasma display panel according to the embodiment of the present invention, a driving voltage is applied from the electrodes to generate an address discharge between the electrodes, thereby forming wall charges in the dielectric layer, and forming the wall charges on the upper substrate in the discharge cells selected by the address discharge. Sustain discharge is caused between these electrodes by an alternating current signal supplied to a pair of electrodes. Accordingly, the discharge gas charged in the discharge space forming the discharge cell is excited and transitioned to generate ultraviolet rays, and to generate an image while generating visible light by excitation of the phosphor by the ultraviolet rays.

상술한 구조를 갖는 본 발명의 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법은 당해 분야에 널리 알려진 내용이므로 당해 분야에 종사하는 사람들에게는 충분히 이해될 수 있는 내용이므로 본 명세서에서 상세한 설명은 생략한다. 다만, 본 발명의 주요 특징은 보호막의 형성 공정에 대해서만 상세히 설명하기로 한다.Since the method of manufacturing the plasma display panel of the present invention having the above-described structure is well known in the art, detailed description thereof will be omitted since it is well understood by those skilled in the art. However, the main features of the present invention will be described in detail only for the forming process of the protective film.

본 발명의 MgO 보호막은 플라즈마 디스플레이 패널 동작 중의 방전 시 방전가스의 이온충격으로 인한 영향을 완화시킬 수 있는 내스퍼터링 특성을 가져 이온 충돌로부터 유전층을 보호하고 2차 전자의 방출을 통하여 방전 전압을 낮추는 역할을 하는 투명 보호 박막으로서, 3000 내지 8000Å 두께로 유전층을 덮어서 형성한다.MgO protective film of the present invention has a sputtering property that can mitigate the effects of the ion impact of the discharge gas during discharge during plasma display panel operation to protect the dielectric layer from ion collision and to lower the discharge voltage through the emission of secondary electrons The transparent protective thin film is formed by covering a dielectric layer with a thickness of 3000 to 8000 Å.

상기 MgO 보호막 형성 재료인 다결정 MgO 또는 단결정 MgO는 그 제조방법에 있어서 특별히 한정되는 것은 아니나, 다결정 MgO의 경우 일반 소결법을 이용하여 제조되며, 단결정 MgO의 경우 용융법을 이용하여 제조된다. Polycrystalline MgO or single crystal MgO, which is the MgO protective film forming material, is not particularly limited in its production method, but polycrystalline MgO is manufactured using a general sintering method, and single crystal MgO is manufactured using a melting method.

상세하게는 다결정 MgO의 경우 MgO 파우더를 혼합 건조하여 압축 및 성형과정을 거친 후 1200℃의 고온에서 결정 성장이 이루어지는 공정으로 제조된다. 또한 단결정 MgO를 제조하기 위한 용융법중 일례로 Arc 용융법은 도가니에서 3000 ℃의 고온에서 원료를 용융한 후 서냉시키며 환원시에 생성되는 결정핵을 통하여 단결정 성장을 유도하는 공법이다. Arc 용융법으로 블록을 제조하고 제조된 블록을 다시 진공 증착용 펠렛으로 가공할 수 있다.Specifically, in the case of polycrystalline MgO, MgO powder is mixed and dried to undergo a compression and molding process, and then crystal growth is performed at a high temperature of 1200 ° C. In addition, as an example of the melting method for producing single crystal MgO, the Arc melting method is a method of melting the raw material at a high temperature of 3000 ℃ in the crucible and slowly cooling and inducing single crystal growth through crystal nuclei generated during reduction. Blocks may be prepared by the arc melting method, and the prepared blocks may be processed into vacuum deposition pellets.

본 발명의 보호막은 페이스트를 이용한 후막 인쇄법과 플라즈마를 이용한 증착법으로 형성될 수 있으며, 이 중에서 증착법은 이온의 충격에 의한 스퍼터링에 상대적으로 강하고, 2차 전자 방출에 의한 방전 유지 전압과 방전 개시 전압을 감소시킬 수 있어 바람직하다. The protective film of the present invention may be formed by a thick film printing method using a paste and a deposition method using a plasma. Among them, the deposition method is relatively resistant to sputtering due to the impact of ions, and the discharge sustain voltage and the discharge start voltage due to secondary electron emission. It is desirable to be able to reduce.

상기 플라즈마 증착법으로 보호막을 형성하는 방법은 마그네트론 스퍼터링법, 전자빔 증착법, IBAD(ion beam assisted deposition, 이온빔지원퇴적법), CVD(chemical vapor deposition, 화학기상증착법), 졸-겔(sol-gel)법 또는 증발되는 입자를 이온화하여 성막시키는 방법으로 MgO 보호막의 밀착성과 결정성에 대해서 스퍼터링법과 비슷한 특성을 가지지만 증착을 8nm/s의 고속으로 행할 수 있다는 이점을 가진 이온 플레이팅법(ion plating) 등을 사용할 수 있으며, 보다 바람직하게는 전자빔 증착법을 사용한다. The method of forming the protective film by the plasma deposition method is magnetron sputtering, electron beam deposition, IBAD (ion beam assisted deposition), CVD (chemical vapor deposition), sol-gel (sol-gel) method Alternatively, ion plating may be performed by ionizing the evaporated particles, and ion plating may be used for the adhesion and crystallinity of the MgO protective film, similar to the sputtering method, but with the advantage that deposition can be performed at a high speed of 8 nm / s. More preferably, electron beam evaporation.

본 발명의 플라즈마 디스플레이 패널은, 주사 전극(Y전극)에 대응하는 영역에는 다결정 MgO를 포함하고, 유지 전극에 대응하는 영역에는 단결정 MgO를 포함하는 MgO 보호막을 포함함으로써, 다결정 MgO는 전융 제조된 단결정 MgO에 비해 응답 속도가 상대적으로 빠르기 때문에 방전 성공 확률을 높일 수 있고, 동시에 응답 속도 지연에 따른 표시 품질의 저하 문제를 해결할 수 있다.The plasma display panel of the present invention includes a MgO protective film containing polycrystalline MgO in a region corresponding to a scan electrode (Y electrode) and a single crystal MgO in a region corresponding to a sustain electrode, whereby the polycrystalline MgO is prepared by melting a single crystal. Since the response speed is relatively faster than that of MgO, the probability of discharge success can be increased, and the problem of deterioration of display quality due to delay in response speed can be solved.

이하 본 발명의 바람직한 실시예 및 비교예를 기재한다. 그러나 하기한 실시예는 본 발명의 바람직한 일 실시예일뿐 본 발명이 하기한 실시예에 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, preferred examples and comparative examples of the present invention are described. However, the following examples are only preferred embodiments of the present invention and the present invention is not limited to the following examples.

(실시예 1)(Example 1)

소다석회 유리로 제조된 상부 기판 위에 인듐 틴 옥사이드 도전체 재료를 이용하여 표시 전극을 통상의 방법으로 스트라이프 상으로 형성하였다. A display electrode was formed in a stripe shape in a conventional manner using an indium tin oxide conductor material on an upper substrate made of soda lime glass.

이어서, 납계 유리의 페이스트를 상기 표시 전극이 형성된 상부 기판의 전면에 걸쳐 코팅하고 소성하여 유전층을 형성하였다.Subsequently, a paste of lead-based glass was coated over the entire surface of the upper substrate on which the display electrode was formed and baked to form a dielectric layer.

상기 유전층에 전자빔 증착법을 이용하여 주사 전극(Y전극)에 대응하는 영역에는 MgO 순도가 99.9%인 다결정 MgO를, 유지 전극에 대응하는 영역에는 단결정 MgO를 포함하는 보호막을 제조하여 상부 기판을 제조하였다. 제조된 보호막의 평균 두께는 5000Å이다. 막 형성 조건은 도달 진공도가 1.0X10-9Pa, 산소가스 분압이 1.0X10-2Pa, 기판온도가 200℃, 막형성 속도가 20Å/초이다. An upper substrate was manufactured by fabricating a protective film containing polycrystalline MgO having a purity of 99.9% MgO in a region corresponding to a scan electrode (Y electrode) and a single crystal MgO in a region corresponding to a sustain electrode using an electron beam deposition method on the dielectric layer. . The average thickness of the protective film produced was 5000 kPa. The film forming conditions were 1.0X10 -9 Pa in the attained vacuum degree, 1.0X10 -2 Pa in the partial pressure of oxygen gas, the substrate temperature was 200 deg. C, and the film formation rate was 20 Pa / sec.

(비교예 1)(Comparative Example 1)

단결정 MgO만을 사용한 것 이외는 실시예 1과 동일한 방법으로 보호막을 제조하여 상부 기판을 제조하였다. A protective film was prepared in the same manner as in Example 1 except that only single crystal MgO was used to prepare an upper substrate.

(비교예 2)(Comparative Example 2)

다결정 MgO만을 사용한 것 이외는 실시예 1과 동일한 방법으로 보호막을 제조하여 상부 기판을 제조하였다.A protective film was prepared in the same manner as in Example 1 except that only polycrystalline MgO was used to prepare an upper substrate.

도 2 및 도 3은 상기 비교예 1 및 2에 따라 제조된 플라즈마 디스플레이 패널의 방전 지연 시간을 나타낸 그래프이다. 측정은 플라즈마 디스플레이 패널의 전면 좌측 상단부 및 전면 좌측 하단부에서 각각 500회 실시하였다. 도 2 및 3에서의 Y축 값이 1이라는 것은 방전 발생율이 1임을 의미하는 것으로 측정된 전체 데이터에서 방전이 발생하지 않은 데이터의 상대적인 비율이다.2 and 3 are graphs showing the discharge delay time of the plasma display panel manufactured according to Comparative Examples 1 and 2. The measurement was performed 500 times in the upper left upper part and the front left lower part of the plasma display panel, respectively. The Y-axis value of 1 in FIGS. 2 and 3 means that the discharge generation rate is 1, and is a relative ratio of the data for which no discharge occurs in the measured total data.

도 2 및 도 3에 나타난 바와 같이, 단결정 MgO를 포함하는 비교예 1의 플라즈마 디스플레이 패널은 응답 지연 시간이 길었으며, 다결정 MgO를 포함하는 비교예 2의 플라즈마 디스플레이 패널은 응답 지연 시간이 짧았다. 이로부터 보호막내 구성 물질인 MgO의 특성에 따라 플라즈마 디스플레이 패널의 응답 시간이 달라짐을 확인할 수 있었다.As shown in FIGS. 2 and 3, the plasma display panel of Comparative Example 1 including single crystal MgO has a long response delay time, and the plasma display panel of Comparative Example 2 including polycrystalline MgO has a short response delay time. From this, it could be seen that the response time of the plasma display panel was changed depending on the characteristics of MgO, which is a constituent material in the protective film.

또한 상기 실시예 1 및 비교예 1과 2에 따라 제조된 플라즈마 디스플레이 패널의 외부 온도에 따른 형성 지연 시간(Tf) 및 통계 지연 시간(Ts)의 변화를 알아보기 위해 상온(25℃), 및 고온(60℃)에서 작동시켜 형성 지연 시간 및 통계 지연 시간을 측정하였다. 각 온도에서의 형성 지연 시간(Tf) 및 통계 지연 시간(Ts)을 하기 표 1에 나타내었다. In addition, the room temperature (25 ℃), and high temperature to determine the change in the formation delay time (Tf) and the statistical delay time (Ts) according to the external temperature of the plasma display panel manufactured according to Example 1 and Comparative Examples 1 and 2 Operation at (60 ° C.) measured formation delay time and statistical delay time. Formation delay time (Tf) and statistical delay time (Ts) at each temperature are shown in Table 1 below.

실시예 1Example 1 비교예 1Comparative Example 1 비교예 2Comparative Example 2 Tf(ns)Tf (ns) Ts(ns)Ts (ns) Tf(ns)Tf (ns) Ts(ns)Ts (ns) Tf(ns)Tf (ns) Ts(ns)Ts (ns) 상온Room temperature 500500 223223 526526 474474 169169 8080 고온High temperature 446446 142142 521521 454454 148148 5454

상기 표 1에 나타난 바와 같이, 단결정 MgO 및 다결정 MgO를 함께 포함하는 실시예 1의 플라즈마 디스플레이 패널은 다결정 MgO를 포함하는 비교예 2의 플라즈마 디스플레이 패널에서보다는 응답 시간이 느리나, 단결정 MgO만을 포함하는 비교예 1의 플라즈마 디스플레이 패널보다 응답 속도가 개선되었음을 확인할 수 있었다.As shown in Table 1, the plasma display panel of Example 1 including both monocrystalline MgO and polycrystalline MgO is slower in response time than in the plasma display panel of Comparative Example 2 including polycrystalline MgO, but includes only single crystal MgO. It was confirmed that the response speed was improved compared to the plasma display panel of Comparative Example 1.

본 발명은 주사 전극에 대응하는 영역에서는 다결정 MgO 재료를 사용하여 응답 속도를 개선하고 유진 전극에 대응하는 영역에는 단결정 MgO 재료를 사용하여 방전안정성과 온도저항 특성을 효과적으로 개선할 수 있었다.According to the present invention, the response speed is improved by using a polycrystalline MgO material in a region corresponding to the scan electrode and a single crystal MgO material is used in a region corresponding to the eugeneous electrode, thereby effectively improving discharge stability and temperature resistance characteristics.

Claims (5)

임의의 간격을 두고 실질적으로 평행하게 배치되는 제1 및 제2 기판; First and second substrates disposed substantially parallel at any interval; 상기 제1 기판 위에 형성되는 다수의 어드레스 전극들과 상기 어드레스 전극들을 덮으면서 제1 기판에 형성되는 제1 유전층; A plurality of address electrodes formed on the first substrate and a first dielectric layer formed on the first substrate while covering the address electrodes; 상기 제1 유전층 위에 소정의 높이로 제공되며, 방전 공간을 형성하는 다수의 격벽들; A plurality of partition walls provided on the first dielectric layer at a predetermined height and forming a discharge space; 상기 방전 공간 내에 형성되는 형광층; A fluorescent layer formed in the discharge space; 상기 제1 기판에 대향하는 제2 기판의 일면에 상기 어드레스 전극들과 교차하는 방향으로 배치되며 유지 전극 및 주사 전극을 포함하는 다수의 표시 전극들과 상기 표시 전극들을 덮으면서 상기 제2 기판에 형성되는 제2 유전층; 및 A plurality of display electrodes including a sustain electrode and a scan electrode and the display electrodes and the display electrodes are disposed on one surface of the second substrate opposite to the first substrate, and are formed on the second substrate. A second dielectric layer; And 상기 제2 유전층을 코팅하는 보호막을 포함하며, A protective film for coating the second dielectric layer, 상기 보호막은 주사 전극에 대응하는 영역에는 다결정 MgO를 포함하고, 유지 전극에 대응하는 영역에는 단결정 MgO를 포함하는 플라즈마 디스플레이 패널.The protective film includes polycrystalline MgO in a region corresponding to the scan electrode and single crystal MgO in a region corresponding to the sustain electrode. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 보호막은 주사 전극에 대응하는 영역에는 다결정 MgO를 포함하고, 그 외의 보호막 영역에는 단결정 MgO를 포함하는 플라즈마 디스플레이 패널.And the protective film includes polycrystalline MgO in a region corresponding to a scan electrode and single crystal MgO in another protective film region. 제 1 항에 있어서,   The method of claim 1, 상기 보호막은 3000 내지 8000Å의 평균 두께를 갖는 것인 플라즈마 디스플레이 패널.The protective film is a plasma display panel having an average thickness of 3000 to 8000 Å. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 다결정 MgO는 순도가 99% 이상인 것인 플라즈마 디스플레이 패널.Wherein the polycrystalline MgO has a purity of 99% or more. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 다결정 MgO는 상대밀도가 3.2이하인 것인 플라즈마 디스플레이 패널.And said polycrystalline MgO has a relative density of 3.2 or less.
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