KR100649189B1 - Method for manufacturing organic thin film transistor, organic thin film transistor manufactured by this method, and flat panel display device comprising the organic thin film transistor - Google Patents
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Abstract
본 발명은 유기 반도체층의 패턴 정밀도를 향상시켜 우수한 소자 특성을 얻을 수 있는 유기 박막 트랜지스터의 제조방법을 제공한다. The present invention provides a method for manufacturing an organic thin film transistor which can obtain excellent device characteristics by improving pattern precision of an organic semiconductor layer.
본 발명에 따른 유기 박막 트랜지스터의 제조방법은 기판 위에 형성된 유기 절연막에 다수의 오목부들을 형성하고, 오목부들 중 어느 오목부들 내에 소오스 및 드레인 전극이 각기 독립적으로 배치되도록 소오스 및 드레인 전극을 형성하고, 그리고 오목부들 중 나머지 오목부 내에 소오스 및 드레인 전극과 접촉되도록 유기 반도체층을 형성하는 단계들을 포함한다.In the method of manufacturing an organic thin film transistor according to the present invention, a plurality of recesses are formed in an organic insulating film formed on a substrate, and source and drain electrodes are formed so that source and drain electrodes are independently disposed in any of the recesses. And forming an organic semiconductor layer in contact with the source and drain electrodes in the remaining recesses.
OTFT, 유기 반도체층, 가이드부, 오목부, 유기 절연막 OTFT, organic semiconductor layer, guide portion, recessed portion, organic insulating film
Description
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 박막 트랜지스터를 나타낸 단면도.1 is a cross-sectional view illustrating an organic thin film transistor according to an exemplary embodiment of the present invention.
도 2a 내지 도 2f 및 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 박막 트랜지스터의 제조방법을 설명하기 위한 공정 단면도.2A to 2F and 3 are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing an organic thin film transistor according to an exemplary embodiment of the present invention.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기 박막 트랜지스터를 나타낸 단면도.4 is a cross-sectional view illustrating an organic thin film transistor according to another exemplary embodiment of the present invention.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 박막 트랜지스터를 구비한 평판 표시 장치를 설명하기 위한 단면도. 5 is a cross-sectional view illustrating a flat panel display device having an organic thin film transistor according to an exemplary embodiment of the present invention.
본 발명은 박막 트랜지스터의 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 유기 박막 트랜지스터의 제조방법, 이 방법에 의해 제조된 유기 박막 트랜지스터 및 이 유기 박막 트랜지스터를 구비한 평판 표시 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a thin film transistor, and more particularly, to a method for manufacturing an organic thin film transistor, an organic thin film transistor manufactured by the method, and a flat panel display device having the organic thin film transistor.
최근 능동형 표시 장치, 스마트 카드, 재고 물품이나 가격 표시기와 같은 응용분야에 대한 적용 가능성으로 인해 유기 박막 트랜지스터(Organic thin film transistor; OTFT, 이하 OTFT라 칭함)에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다.Recently, research on organic thin film transistors (OTFTs, OTFTs) is being actively conducted due to their applicability to applications such as active display devices, smart cards, inventory items or price indicators.
이러한 OTFT는 반도체층이 실리콘층 대신 유기 반도체층으로 이루어지고, 유기 반도체층의 유기 물질에 따라 펜타센(pentacene) 등과 같은 저분자 OTFT와 폴리티오펜(polythiophene) 계열 등과 같은 고분자 OTFT로 구분되며, 저온 공정이 가능하고 유연성을 보장할 수 있는 장점이 있어 평판 표시 장치 중 특히, 유기 전계 발광(Electro Luminescent; EL, 이하 EL이라 칭함) 표시 장치와 같은 플렉서블 표시 장치의 구동 소자로 적용하기에 용이하다.The OTFT is composed of an organic semiconductor layer instead of a silicon layer, and is classified into a low molecular weight OTFT such as pentacene and a high molecular OTFT such as polythiophene series according to the organic material of the organic semiconductor layer. Since the process is possible and the flexibility can be ensured, it is easy to be applied to a flat panel display device, in particular, as a driving element of a flexible display device such as an electroluminescent (EL) display device.
상기 OTFT는 통상적으로 기판 상에 게이트 절연막을 사이에 두고 게이트 전극과 유기 반도체층이 형성되고, 유기 반도체층과 접촉하면서 게이트 전극의 양측으로 대응하여 소오스 및 드레인 전극이 서로 이격되어 형성된 구조를 갖는다. The OTFT typically has a structure in which a gate electrode and an organic semiconductor layer are formed on a substrate with a gate insulating layer interposed therebetween, and the source and drain electrodes are spaced apart from each other by contacting both sides of the gate electrode while being in contact with the organic semiconductor layer.
이러한 OTFT는 인접한 다른 OTFT 간의 크로스 토크 등을 방지하기 위해 각기 단위별로 패터닝되어야 하고, 이를 위해서는 OTFT의 유기 반도체층이 인접한 다른 OTFT의 유기 반도체층과 절연되어야 한다.The OTFT must be patterned for each unit in order to prevent crosstalk between other adjacent OTFTs, and for this purpose, the organic semiconductor layer of the OTFT must be insulated from the organic semiconductor layer of another adjacent OTFT.
그러나, 펜타센 또는 폴리티오펜과 같은 유기 물질은 화학적 및 광학적 안정성이 열악하므로 OTFT의 패터닝 과정을 복잡하고 어렵게 할 뿐만 아니라, OTFT의 패터닝을 이룬 후에도 패턴 정밀도를 우수하게 하지 못하고 패턴 상에 파티클을 발생시킬 가능성이 높아 OTFT의 소자 특성을 저하시키는 문제가 있다.However, organic materials such as pentacene or polythiophene have poor chemical and optical stability, which not only complicates and makes the patterning process of the OTFT difficult, but also does not improve the pattern precision even after the patterning of the OTFT. There is a problem that it is likely to cause a decrease in device characteristics of the OTFT.
본 발명은 상술한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 유기 반도체층의 패턴 정밀도를 향상시켜 우수한 소자 특성을 얻을 수 있는 유기 박막 트랜지스터의 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the problems of the prior art as described above, and an object thereof is to provide a method of manufacturing an organic thin film transistor which can obtain excellent device characteristics by improving pattern precision of an organic semiconductor layer.
또한, 본 발명은 상술한 방법에 의해 제조된 유기 박막 트랜지스터를 제공하는데 다른 목적이 있다.Another object of the present invention is to provide an organic thin film transistor manufactured by the above-described method.
또한, 본 발명은 상술한 유기 박막 트랜지스터를 구비한 평판 표시 장치를 제공하는데 또 다른 목적이 있다.In addition, another object of the present invention is to provide a flat panel display device having the organic thin film transistor described above.
상술한 바와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 유기 박막 트랜지스터는 게이트 절연막, 게이트 절연막의 일면 상에 형성된 게이트 전극, 및 게이트 절연막의 다른면 상에 형성된 유기 절연막을 포함하고, 유기 절연막은 이 유기 절연막에 형성되어 소오스 및 드레인 전극과 유기 반도체층이 유기 절연막에 위치되도록 하는 가이드부를 포함한다.In order to achieve the object of the present invention as described above, the organic thin film transistor according to the present invention includes a gate insulating film, a gate electrode formed on one surface of the gate insulating film, and an organic insulating film formed on the other surface of the gate insulating film, The insulating film includes a guide portion formed on the organic insulating film so that the source and drain electrodes and the organic semiconductor layer are positioned on the organic insulating film.
여기서, 가이드부는 유기 절연막에 서로 이격되어 배치되는 제 1 및 제 2 오목부 및 제 1 및 제 2 오목부와 연결되면서 제 1 및 제 2 오목부 위에 배치되는 제 3 오목부를 포함하고, 소오스 및 드레인 전극이 제 1 및 제 2 오목부에 형성되고, 유기 반도체층이 상기 제 3 오목부에 형성된다. 또한, 소오스 및 드레인 전극과 유기 반도체층이 제 1 및 제 2 오목부와 제 3 오목부에 각각 매립된 형태로 형성되며, 제 1 내지 제 3 오목부는 각각의 단면 형상이 사각 형상을 갖는다.The guide portion may include first and second recesses disposed on the organic insulating layer and spaced apart from each other, and a third recess disposed on the first and second recesses while being connected to the first and second recesses. Electrodes are formed in the first and second recesses, and an organic semiconductor layer is formed in the third recesses. In addition, the source and drain electrodes and the organic semiconductor layer are formed in the form of being embedded in the first and second concave portions and the third concave portions, respectively, the first to third concave portions each have a rectangular cross-sectional shape.
또한, 유기 절연막이 음성 포토레지스트 또는 양성 포토레지스트로 이루어진다.In addition, the organic insulating film is composed of a negative photoresist or a positive photoresist.
또한, 유기 절연막, 게이트 절연막 및 게이트 전극이 기판 상에 순차적으로 적층 형성될 수 도 있고, 게이트 전극, 게이트 절연막 및 유기 절연막이 기판 상에 순차적으로 적층 형성될 수도 있다.The organic insulating film, the gate insulating film, and the gate electrode may be sequentially stacked on the substrate, and the gate electrode, the gate insulating film, and the organic insulating film may be sequentially stacked on the substrate.
상술한 바와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 유기 박막 트랜지스터의 제조방법은 기판 위에 형성된 유기 절연막에 다수의 오목부들을 형성하고, 오목부들 중 어느 오목부들 내에 소오스 및 드레인 전극이 각기 독립적으로 배치되도록 소오스 및 드레인 전극을 형성하고, 그리고 오목부들 중 나머지 오목부 내에 소오스 및 드레인 전극과 접촉되도록 유기 반도체층을 형성하는 단계들을 포함한다.In order to achieve the object of the present invention as described above, in the method of manufacturing an organic thin film transistor according to the present invention, a plurality of recesses are formed in the organic insulating film formed on the substrate, and the source and drain electrodes are formed in any of the recesses. Forming source and drain electrodes so as to be disposed independently of each other, and forming an organic semiconductor layer in contact with the source and drain electrodes in the remaining recesses.
여기서, 오목부들은, 유기 절연막에 서로 이격되어 배치되는 제 1 및 제 2 오목부와 제 1 및 제 2 오목부와 연결되면서 제 1 및 제 2 오목부 위에 배치되는 제 3 오목부를 포함하고, 제 1 및 제 2 오목부에 매립된 형태로 상기 소오스 및 드레인 전극을 각각 형성하고, 제 3 오목부에 매립된 형태로 유기 반도체층을 형성하여 이 유기 반도체층이 소오스 및 드레인 전극과 접촉하도록 한다.The recesses may include first and second recesses disposed on the organic insulating layer and spaced apart from each other, and third recesses disposed on the first and second recesses while being connected to the first and second recesses. The source and drain electrodes are formed in the form of the first and second recesses, respectively, and the organic semiconductor layer is formed in the form of the third recesses so that the organic semiconductor layer is in contact with the source and drain electrodes.
또한, 유기 절연막에 오목부들을 형성하는 단계는 기판 위에 유기 절연막을 형성하고, 유기 절연막을 하프톤 마스크를 이용하여 노광하고, 그리고 노광된 유기 절연막을 현상하는 단계들을 포함하는데, 이때 유기 절연막은 음성 포토레지스트 또는 양성 포토레지스트로 이루어진다.Also, forming the recesses in the organic insulating film includes forming an organic insulating film on the substrate, exposing the organic insulating film using a halftone mask, and developing the exposed organic insulating film, wherein the organic insulating film is negative. Photoresist or positive photoresist.
또한, 소오스 및 드레인 전극은 잉크젯 방식에 의해 유기 절연막의 제 1 및 제 2 오목부에 소오스 및 드레인 전극 물질을 도포하고, 소오스 및 드레인 전극 물질이 도포된 기판을 큐어링하여 형성한다. In addition, the source and drain electrodes are formed by applying a source and drain electrode material to the first and second concave portions of the organic insulating film by an inkjet method, and curing the substrate on which the source and drain electrode materials are applied.
여기서, 상기 소오스 및 드레인 전극 물질은 폴리에틸렌 디옥시티오펜(polyehylene dioxythiophene; PEDOT), 폴리아닐린(poly aniline; PANI), 전도성 고분자, Ag 나노복합체, Cu 나노복합체, Au 나노복합체, Pt 나노복합체, 카본 나노 복합체 중 선택되는 물질을 포함할 수 있다. 또는, 소오스 및 드레인 전극 물질은 유기 반도체층의 HOMO(highest occupied molecular orbital) 값에서 0.5 eV를 뺀 값보다 큰 일함수 값을 가지는 금속 나노파티클, 또는 카본 나노파티클과 유기바인더를 포함하는 물질을 패턴 도포한 다음 소성하여 형성되는 물질을 포함할 수 있다. 이 때, 상기 금속 나노 파티클은 Ag 나노파티클, Cu 나노파티클, Au 나노파티클 및 Pt 나노파티클 중 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다. Here, the source and drain electrode material is polyethylene dioxythiophene (PEDOT), poly aniline (PANI), conductive polymer, Ag nanocomposite, Cu nanocomposite, Au nanocomposite, Pt nanocomposite, carbon nanocomposite It may include a material selected from. Alternatively, the source and drain electrode materials may be formed by patterning a material including metal nanoparticles having a work function value greater than 0.5 eV minus the highest occupied molecular orbital (HOMO) value of the organic semiconductor layer, or a material including carbon nanoparticles and an organic binder. It may include a material formed by coating and then baking. In this case, the metal nanoparticles may include at least one of Ag nanoparticles, Cu nanoparticles, Au nanoparticles and Pt nanoparticles.
또한, 유기 반도체층은 잉크젯 방식에 의해 유기 절연막의 제 3 오목부에 유기 반도체 물질을 도포하고, 유기 반도체 물질이 도포된 기판을 큐어링하여 형성한다. 이때, 유기 반도체 물질은 펜타센(pentacene), 테트라센(tetracene), 안트라센(anthracene), 나프탈렌(naphthalene), 알파-6-티오펜(α-6-thiopene), 알파-4-티오펜(α-4-thiopene), 페릴렌(perylene) 및 그 유도체, 루브렌(rubrene) 및 그 유도체, 코로넨(coronene) 및 그 유도체, 페릴렌 테트라카르복실릭 디이미드(perylene tetracarboxylic diimide) 및 그 유도체, 페릴렌 테트라카르복실 디안하이드라이드(perylene tetracarboxylic dianhydride) 및 그 유도체, 폴리파라페릴렌 비닐렌 및 그 유도체, 폴리플로렌 및 그 유도체, 폴리파라페닐렌 및 그 유도체, 나프탈렌의 올리고아센 및 이들의 유도체, 알파-5-티오펜(α-5-thiopene)의 올리고아센 및 이들의 유도체, 파이로멜리틱 디안하이드라이드 및 그 유도체, 파이로멜리틱 디이미드 및 이들의 유도체, 퍼릴렌테트라카르복실산 디안하이드라이드 및 그 유도체, 프탈로시아닌(phthalocyanine) 및 그 유도체, 나프탈렌 테트라카르복실릭 디이미드(naphthalene tetracarboxylic diimide) 및 그 유도체, 나프탈렌 테트라카르복실릭 디안하이드라이드(naphthalene tetracarboxylic dianhydride) 및 그 유도체, 치환된 또는 비치환된 티오펜(thiophene)을 포함하는 공액계 고분자 유도체, 치환된 플루오렌(fluorene)을 포함하는 공액계 고분자 유도체 등과 같은 유기 반도체 물질로 이루어진다.In addition, the organic semiconductor layer is formed by applying an organic semiconductor material to the third concave portion of the organic insulating film by an inkjet method, and curing the substrate coated with the organic semiconductor material. At this time, the organic semiconductor material is pentacene (pentacene), tetracene (tetracene), anthracene (anthracene), naphthalene (naphthalene), alpha-6-thiophene (α-6-thiopene), alpha-4-thiophene (α) 4-thiopene, perylene and its derivatives, rubrene and its derivatives, coronene and its derivatives, perylene tetracarboxylic diimide and its derivatives, Perylene tetracarboxylic dianhydride and its derivatives, polyparaperylene vinylene and its derivatives, polyfluorene and its derivatives, polyparaphenylene and its derivatives, oligoacenes of naphthalene and derivatives thereof , Oligoacenes of alpha-5-thiophene (α-5-thiopene) and derivatives thereof, pyromellitic dianhydrides and derivatives thereof, pyromellitic diimides and derivatives thereof, perylenetetracarboxylic acid Dianhydrides and derivatives thereof, fr Phthalocyanine and its derivatives, naphthalene tetracarboxylic diimide and its derivatives, naphthalene tetracarboxylic dianhydride and its derivatives, substituted or unsubstituted thiophenes It is made of an organic semiconductor material such as conjugated polymer derivatives containing (thiophene), conjugated polymer derivatives containing substituted fluorene (fluorene).
또한, 유기 절연막을 형성하기 전에, 기판 상에 게이트 전극과 게이트 절연막을 순차적으로 적층 형성할 수도 있고, 유기 반도체층을 형성한 후에, 유기 반도체층이 형성된 기판 상에 게이트 절연막과 게이트 전극을 순차적으로 적층 형성할 수도 있다.Further, before forming the organic insulating film, the gate electrode and the gate insulating film may be sequentially stacked on the substrate, and after the organic semiconductor layer is formed, the gate insulating film and the gate electrode are sequentially formed on the substrate on which the organic semiconductor layer is formed. It may be laminated.
상술한 바와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 평판 표시 장치는 기판 상에 형성된 구동 소자 및 상기 구동 소자와 전기적으로 연결되는 표시부로 구성된 화소부를 포함하고, 구동 소자가 게이트 절연막, 게이트 절연막의 일면 상에 형성되는 게이트 전극, 및 게이트 절연막의 다른면 상에 형성되는 유기 절연막을 포함하고, 유기 절연막이 이 유기 절연막에 형성되어 소오스 및 드레인 전극과 유기 반도체층이 유기 절연막에 위치되도록 하는 가이드부를 포함하는 유기 박막 트랜지스터를 포함한다.In order to achieve the object of the present invention as described above, the flat panel display device according to the present invention includes a pixel portion consisting of a drive element formed on a substrate and a display portion electrically connected to the drive element, the drive element is a gate insulating film, A gate electrode formed on one surface of the gate insulating film, and an organic insulating film formed on the other surface of the gate insulating film, wherein the organic insulating film is formed on the organic insulating film so that the source and drain electrodes and the organic semiconductor layer are positioned on the organic insulating film. An organic thin film transistor including a guide unit is included.
여기서, 표시부가 제 1 전극, 유기 발광층 및 제 2 전극이 순차적으로 적층된 구조로 이루어진다.Here, the display unit has a structure in which the first electrode, the organic light emitting layer, and the second electrode are sequentially stacked.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a preferred embodiment of the present invention.
먼저, 도 1을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 박막 트랜지스터를 설명한다.First, an organic thin film transistor according to an exemplary embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 1.
도 1에 나타낸 바와 같이, 기판(10) 상에 서로 이격되어 나란히 배치되는 제 1 및 제 2 오목부(21a, 21b)와 이 제 1 및 제 2 오목부(21a, 21b)와 연결되면서 제 1 및 제 2 오목부(21a, 21b) 위에 배치되는 제 3 오목부(22)를 포함하는 가이드부를 구비하는 유기 절연막(20)이 형성되고, 소오스 및 드레인 전극(32a, 32b)이 유기 절연막(20)의 제 1 및 제 2 오목부(21a, 21b)에 매립되어 각각 형성되며, 소오스 및 드레인 전극(32a, 32b)과 접촉하면서 유기 반도체층(22)이 제 3 오목부(22)에 매립되어 형성된다. 그리고, 유기 반도체층(22) 및 유기 절연막(20) 상부에는 게이트 절연막(50)이 형성되고, 유기 반도체층(22) 위의 게이트 절연막(50) 상에는 게이트 전극(60)이 형성된다.As shown in FIG. 1, the first and
여기서, 기판(10)은 투명한 절연 기판으로 이루어지고 그 재질로는 유리나 플라스틱이 사용될 수 있으며, 플라스틱 물질로는 폴리에틸렌 테리프탈레이트(polyethylene terephthalate; PET), 폴리에틸렌 나프탈레이트(polyethylene naphtahlate; PEN), 폴리에테르 술폰(polyether sulfone;PES), 폴리에테르 이미드 (polyether imide), 폴리페닐렌 설파이드(polyphenylene sulfide; PPS), 폴리아릴레이트(polyallyate), 폴리이미드(polyimide), 폴리카보네이트(polycarbonate; PC), 폴리아크릴레이트(polyacrylate; PAR), 셀룰로오스 트리아세테이트(cellulose triacetate), 셀룰로오스 아세테이트 프로피오네이트(cellulose acetate propionate; CAP) 중 선택되는 어느 하나를 사용한다.Herein, the
유기 절연막(20)은 음성 포토레지스트 또는 양성 포토레지스트로 이루어지고, 유기 절연막(20)의 제 1 및 제 2 오목부(21a, 21b)와 제 3 오목부(22)는 각각의 단면 형상이 사각 형상을 갖는다.The organic
소오스 및 드레인 전극(32a, 32b)은 폴리에틸렌 디옥시티오펜(polyehylene dioxythiophene; PEDOT), 폴리아닐린(poly aniline; PANI), 전도성 고분자, 금속 나노 복합체, 카본 나노 복합체 등의 전도성 물질을 포함한다. 여기서, 금속 나노 복합체는 Ag 나노복합체, Cu 나노복합체, Au 나노복합체, Pt 나노복합체 중 선택되는 물질일 수 있다. The source and
또는 소오스 및 드레인 전극(32a, 32b)이 금속 나노파티클 또는 카본 나노파티클과 유기바인더를 포함하는 물질로 패턴 도포한 다음 소성하여 형성되는 물질을 포함할 수 있다. 여기서 금속 나노파티클의 일함수 값은, 후속공정에서 형성될 유기반도체층의 HOMO(highest occupied molecular orbital) 값에서 0.5 eV를 뺀 값보다 큰 값을 가지는데, 일례로 이러한 금속 나노 파티클로는 Ag 나노파티클, Cu 나노파티클, Au 나노파티클 또는 Pt 나노파티클 등이 사용될 수 있다. Alternatively, the source and
유기 반도체층(42)은 펜타센(pentacene), 테트라센(tetracene), 안트라센 (anthracene), 나프탈렌(naphthalene), 알파-6-티오펜(α-6-thiopene), 알파-4-티오펜(α-4-thiopene), 페릴렌(perylene) 및 그 유도체, 루브렌(rubrene) 및 그 유도체, 코로넨(coronene) 및 그 유도체, 페릴렌 테트라카르복실릭 디이미드(perylene tetracarboxylic diimide) 및 그 유도체, 페릴렌 테트라카르복실 디안하이드라이드(perylene tetracarboxylic dianhydride) 및 그 유도체, 폴리파라페릴렌비닐렌 및 그 유도체, 폴리플로렌 및 그 유도체, 폴리파라페닐렌 및 그 유도체, 나프탈렌의 올리고아센 및 이들의 유도체, 알파-5-티오펜(α-5-thiopene)의 올리고아센 및 이들의 유도체, 파이로멜리틱 디안하이드라이드 및 그 유도체, 파이로멜리틱 디이미드 및 이들의 유도체, 퍼릴렌테트라카르복실산 디안하이드라이드 및 그 유도체, 프탈로시아닌(phthalocyanine) 및 그 유도체, 나프탈렌 테트라카르복실릭 디이미드(naphthalene tetracarboxylic diimide) 및 그 유도체, 나프탈렌 테트라카르복실릭 디안하이드라이드(naphthalene tetracarboxylic dianhydride) 및 그 유도체, 치환된 또는 비치환된 티오펜(thiophene)을 포함하는 공액계 고분자 유도체, 치환된 플루오렌(fluorene)을 포함하는 공액계 고분자 유도체 등과 같은 유기 반도체 물질로 이루어진다.The
그리고, 게이트 절연막(50)은 벤조사이클로부텐(benzocyclobutene; BCB), 폴리이미드, 폴리비닐페놀(polyvinylphenol), 파릴렌(parylene)과 같은 유기 절연막으로 이루어지고, 게이트 전극(60)은 Ag, Cu, Au, Pt, Mo, MoW, Al, AlNd Cr, Al/Cr 같은 금속을 포함할 수 있다. The
다음으로, 도 2a 내지 도 2f를 참조하여 상술한 유기 박막 트랜지스터의 제 조방법을 설명한다.Next, the method of manufacturing the organic thin film transistor described above with reference to FIGS. 2A to 2F will be described.
도 2a에 도시된 바와 같이, 유리 또는 플라스틱 기판(10) 상에 유기 절연막(20)으로 음성 포토레지스트막을 형성한다. As shown in FIG. 2A, a negative photoresist film is formed on the glass or
도 2b에 도시된 바와 같이, 하프톤 마스크(110)를 이용하여 유기 절연막(20)을 노광하고 노광되지 않은 부분의 유기 절연막(20)을 현상하여 제거하여, 유기 절연막(20) 내부에 서로 이격되어 나란히 배치되는 제 1 및 제 2 오목부(21a, 21b)와 이 제 1 및 제 2 오목부(21a, 21b)와 연결되면서 제 1 및 제 2 오목부(21a, 21b) 위에 배치되는 제 3 오목부(22)를 각각 형성한다. 여기서, 하프톤 마스크(110)는 제 1 및 제 2 오목부(21a, 21b)에 대응하여 광을 완전히 차단하는 차광영역(111a, 111b)과, 제 1 및 제 2 오목부(21a, 21b)를 제외한 제 3 오목부(22)에 대응하여 광을 1/2 정도 투과하는 반투광영역(112a, 112b, 112c)과, 제 1 및 제 2 오목부(21a, 21b)와 제 3 오목부(22)를 제외한 부분에 대응하여 광을 완전히 투과하는 투광영역(113a, 113b)으로 이루어진다.As shown in FIG. 2B, the organic
한편, 유기 절연막(20)으로 상술한 음성 포토레지스트막 대신 양성 포토레지스트막을 사용할 수도 있는데, 이 경우에는 하프톤 마스크가 상술한 하프톤 마스크(110)와 반대로 이루어지고, 음성 포토레지스트막과 반대로 현상에 의해 노광된 부분을 제거한다.On the other hand, instead of the negative photoresist film described above, the positive photoresist film may be used as the organic insulating
즉, 도 3에 나타낸 바와 같이, 하프톤 마스크(120)가 제 1 및 제 2 오목부(21a, 21b)에 대응하여 광을 완전히 투과하는 투광영역(121a, 121b)과, 제 1 및 제 2 오목부(21a, 21b)를 제외한 제 3 오목부(22)에 대응하여 광을 1/2 정도 투과하는 반투광영역(122a, 122b, 122c)과, 제 1 및 제 2 오목부(21a, 21b)와 제 3 오목부(22)를 제외한 부분에 대응하여 광을 완전히 차단하는 차광영역(123a, 123b)으로 이루어진다.That is, as shown in FIG. 3, the
도 2c에 도시된 바와 같이, 소오스 및 드레인 전극 물질(31a, 31b)을 잉크젯 방식에 의해 제 1 및 제 2 오목부(21a, 21b)에 각각 도포한다. 즉, 잉크젯헤드(미도시)로부터 소오스 및 드레인 전극물질(31a, 31b)을 유기 절연막(20)의 제1 및 제2 오목부(21a, 21b)에 각각 도포한다. 이 때, 소오스 및 드레인 전극 물질(31a, 31b)의 도포량을 대략 1×10-15ℓ로 할 수 있는데, 이는 본 발명의 범위를 한정하지 않으며 도포량을 적절하게 조절할 수 있음은 당연하다. As shown in Fig. 2C, source and
소오스 및 드레인 전극 물질(31a, 31b)은 폴리에틸렌 디옥시티오펜(polyehylene dioxythiophene; PEDOT), 폴리아닐린(poly aniline; PANI), 전도성 고분자, 금속 나노 복합체, 카본 나노 복합체 등의 전도성 물질을 포함한다. 금속 나노 복합체는 Ag 나노복합체, Cu 나노복합체, Au 나노복합체, Pt 나노복합체 중 선택되는 물질일 수 있다. The source and
또는 소오스 및 드레인 전극 물질(31a, 31b)이 금속 나노파티클 또는 카본 나노파티클과 유기바인더를 포함하는 물질로 패턴 도포한 다음 소성하여 형성되는 물질을 포함할 수 있다. 여기서 상기의 금속 나노파티클의 일함수 값은, 후속공정에서 형성될 유기반도체층의 HOMO(highest occupied molecular orbital) 값에서 0.5 eV를 뺀 값보다 큰 값을 가지는데, 일례로 이러한 금속 나노 파티클로는 Ag 나 노파티클, Cu 나노파티클, Au 나노파티클 또는 Pt 나노파티클 등이 사용될 수 있다. Alternatively, the source and
도 2d에 도시된 바와 같이, 자외선 경화 및 열경화 등의 큐어링(curing) 공정을 수행하여 도포된 소오스 및 드레인 전극 물질(31a, 31b) 내부에 함유된 솔벤트(solvent)를 증발시키면서 소오스 및 드레인 전극 물질(31a, 31b)을 플로우시켜 제 1 및 제 2 오목부(21a, 21b)에 매립된 형태로 소오스 및 드레인 전극(32a, 32b)을 형성한다. As shown in FIG. 2D, a source and a drain are evaporated while evaporating the solvent contained in the applied source and
이와 같이 소오스 및 드레인 전극(32a, 32b)을, 유기 절연막(20) 내부에 오목부(21a, 21b)를 형성하고 잉크젯 방식에 의해 소오스 및 드레인 전극 물질(31a, 31b)을 도포하고 큐어링하여 형성하므로, 포토리소그라피 및 식각 공정을 배제할 수 있어 공정을 단순화할 수 있다. 또한, 큐어링 시 오목부(21a, 21b)의 측벽이 뱅크 역할을 수행하여 소오스 및 드레인 전극 물질(31a, 31b)이 오목부(21a, 21b) 내에서 균일하게 플로우되므로, 잉크젯 방식 적용시 발생되는 커피 스테인 현상(coffee stain effect), 즉 패턴의 에지부분이 다른 부분에 비해 두꺼워지는 현상도 방지할 수 있어 소오스 및 드레인 전극(32a, 32b)의 패턴 정밀도도 개선할 수 있다.As such, the source and
도 2e에 도시된 바와 같이, 소오스 및 드레인 전극 물질(31a, 31b)과 마찬가지로 상술한 유기 반도체 물질(41)을 잉크젯 방식에 의해 제 3 오목부(22)에 도포한다. 이 때, 유기 반도체 물질(41)의 도포량을 대략 1×10-12ℓ로 할 수 있는데, 이는 본 발명의 범위를 한정하지 않으며 도포량을 적절하게 조절할 수 있음은 당연하다. As shown in Fig. 2E, the
이때, 유기 반도체 물질(41)은 펜타센(pentacene), 테트라센(tetracene), 안트라센(anthracene), 나프탈렌(naphthalene), 알파-6-티오펜(α-6-thiopene), 알파-4-티오펜(α-4-thiopene), 페릴렌(perylene) 및 그 유도체, 루브렌(rubrene) 및 그 유도체, 코로넨(coronene) 및 그 유도체, 페릴렌 테트라카르복실릭 디이미드(perylene tetracarboxylic diimide) 및 그 유도체, 페릴렌 테트라카르복실 디안하이드라이드(perylene tetracarboxylic dianhydride) 및 그 유도체, 폴리파라페릴렌비닐렌 및 그 유도체, 폴리플로렌 및 그 유도체, 폴리파라페닐렌 및 그 유도체, 나프탈렌의 올리고아센 및 이들의 유도체, 알파-5-티오펜(α-5-thiopene)의 올리고아센 및 이들의 유도체, 파이로멜리틱 디안하이드라이드 및 그 유도체, 파이로멜리틱 디이미드 및 이들의 유도체, 퍼릴렌테트라카르복실산 디안하이드라이드 및 그 유도체, 프탈로시아닌(phthalocyanine) 및 그 유도체, 나프탈렌 테트라카르복실릭 디이미드(naphthalene tetracarboxylic diimide) 및 그 유도체, 나프탈렌 테트라카르복실릭 디안하이드라이드(naphthalene tetracarboxylic dianhydride) 및 그 유도체, 치환된 또는 비치환된 티오펜(thiophene)을 포함하는 공액계 고분자 유도체, 치환된 플루오렌(fluorene)을 포함하는 공액계 고분자 유도체 등으로 이루어진다. In this case, the
도 2f에 도시된 바와 같이, 자외선 경화 및 열경화 등의 큐어링 공정을 수행하여 도포된 유기 반도체 물질(41) 내부에 함유된 솔벤트를 증발시키면서 유기 반도체 물질(31a, 31b)을 플로우시켜 제 2 오목부(22)에 매립된 형태로 유기 반도체 층(42)을 형성한다.As shown in FIG. 2F, the
이와 같이, 유기 반도체층(42)을 소오스 및 드레인 전극(32a, 32b)과 마찬가지로 유기 절연막(20) 내부에 오목부(22)를 형성하고 잉크젯 방식에 의해 유기 반도체 물질(41)을 도포하고 큐어링하여 형성하므로 유기 반도체층(42)의 패터닝 공정을 단순화할 수 있다. 또한, 큐어링 시 오목부(22)의 측벽이 뱅크 역할을 수행하여 유기 반도체 물질(41)이 오목부(22) 내에서 균일하게 플로우되므로, 잉크젯 방식 적용시 발생되는 커피 스테인 현상(coffee stain effect)도 방지할 수 있어 유기 반도체층(42)의 패턴 정밀도도 개선할 수 있다.As described above, the
그 후, 기판(10) 전면 상에 벤조사이클로부텐(benzocyclobutene; BCB), 폴리이미드, 폴리비닐페놀(polyvinylphenol), 파릴렌(parylene)과 같은 유기 절연막으로 게이트 절연막(50)을 형성하고, 게이트 절연막(50) 상에 게이트 전극 물질로 Ag, Cu, Au, Pt, Mo, MoW, Al, AlNd Cr, Al/Cr 등을 포함하는 금속막을 형성하고 패터닝하여 게이트 전극(60)을 형성한다(도 1 참조). 이 외에도 게이트 전극을 형성하는 다양한 방법이 적용될 수 있으며 이 또한 본 발명의 범위에 속한다. Thereafter, the
상기 실시예에서는 게이트 절연막(50)을 사이에 두고 유기 반도체층(42) 위로 게이트 전극(60)이 형성되고 유기 반도체층(42) 아래에서 소오스 및 드레인 전극(32a, 32b)이 유기 반도체층(42)과 접촉하는 경우에 대해서만 설명하였지만, 게이트 전극(60)의 형성 위치가 본 실시예에 한정되는 것은 아니다.In this embodiment, the
예컨대, 도 4와 같이 게이트 절연막(220)을 사이에 두고 유기 반도체층(250) 아래로 게이트 전극(210)이 형성되고, 유기 반도체층(250) 아래에서 소오스 및 드 레인 전극(240a, 240b)이 유기 반도체층(250)과 접촉하는 경우에도, 소오스 및 드레인 전극(240a, 240b)과 유기 반도체층(250)을 잉크젯 방식에 의해 유기 절연막(230)에 구비된 오목부(231a, 231b, 232)에 매립된 형태로 각각 형성할 수도 있다.For example, as shown in FIG. 4, the
다음으로, 도 5를 참조하여 상술한 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 박막 트랜지스터를 구비한 평판 표시 장치를 설명한다. 본 실시예에서는 평판 표시 장치의 일 예로 유기 EL 표시 장치에 대하여 설명한다.Next, a flat panel display including an organic thin film transistor according to an exemplary embodiment of the present invention described above with reference to FIG. 5 will be described. In the present embodiment, an organic EL display device will be described as an example of a flat panel display device.
유기 EL 표시장치는 제1 기판(310)과 제2 기판(미도시)이 소정의 간격을 두고 서로 대향 배치되고, 제1 기판(310) 상에 구동 소자인 유기 박막 트랜지스터(T2) 및 이러한 구동 소자와 전기적으로 연결되는 표시부(L)로 구성된 화소부(T)가 형성된다. 유기 EL 표시장치는 이러한 구성요소 외에 또 다른 구성요소들을 더 포함할 수 있으며, 이렇게 다른 구성요소들을 더 포함하는 유기 EL 표시장치가 본 발명의 범위에 속함은 당연하다. In the organic EL display device, the
본 실시예에서 제 1 및 제 2 기판(310, 410)은 투명한 절연 기판으로 이루어지고 그 재질로는 유리나 플라스틱이 사용될 수 있다. In this embodiment, the first and
화소부(P)의 구성을 좀 더 자세히 살펴보면, 제 1 기판(310) 상에 구동 소자로 유기 박막 트랜지스터(T2)가 형성된다. 유기 박막 트랜지스터(T2)는 상술한 일 실시예에서와 마찬가지로 기판(310) 상에 형성되고 서로 이격되어 나란히 배치되는 제 1 및 제 2 오목부(21a, 21b)와 이 제 1 및 제 2 오목부(21a, 21b)와 연결되면서 제 1 및 제 2 오목부(21a, 21b) 위에 배치되는 제 3 오목부(22)를 포함하는 가이드부를 구비한 유기 절연막(20), 유기 절연막(20)의 제 1 및 제 2 오목부(21a, 21b) 에 매립되어 각각 형성된 소오스 및 드레인 전극(32a, 32b), 소오스 및 드레인 전극(32a, 32b)과 접촉하면서 제 3 오목부(22)에 매립되어 형성된 유기 반도체층(22), 기판(310) 전면 상에 형성된 게이트 절연막(50), 및 유기 반도체층(22) 위의 게이트 절연막(50) 상에 형성된 게이트 전극(60)으로 이루어지며, 본 실시예에서는 유기 반도체층(42)과 게이트 절연막(50)이 서로 관통하면서 드레인 전극(32b)을 노출시키는 비아홀(42a, 50a)을 각각 더 구비한다. 또한, 유기 박막 트랜지스터(T2)의 각 층의 물질 및 제조방법은 상술한 일 실시예와 동일하다. Looking at the configuration of the pixel portion P in more detail, the organic thin film transistor T2 is formed as a driving element on the
기판(310) 전면 상에는 유기 박막 트랜지스터(T2)을 보호하면서 유기 반도체층(42) 및 게이트 절연막(50)의 비아홀(42a, 50a)과 관통하여 드레인 전극(32b)을 노출시키는 비아홀(320a)이 구비된 제 1 절연층(320)이 형성된다. 제 1 절연층(320) 상에는 비아홀(42a, 50a, 320a)을 통하여 드레인 전극(32b)과 전기적으로 연결되는 양극 전극으로서의 제 1 전극(330), 제 1 전극(330) 상에 형성되고 특정한 색의 빛을 발광하는 유기 발광층(350), 및 유기 발광층(350) 상에 형성된 음극 전극으로서의 제 2 전극(360)을 포함하여 이루어진 표시부(L)가 형성되며, 제 1 절연층(320) 상에는 화소부(P) 사이를 분리하면서 표면을 평탄화하는 제 2 절연층(340)이 형성된다.The via hole 320a penetrating the via
여기서, 제 1 및 제 2 전극(330, 360)은 ITO(indium tin oxide), IZO(indium zinc oxide), Al, Mg-Ag, Ca, Ca/Ag, Ba 중의 하나 또는 그 이상의 물질로 이루어질 수 있으며, 또한 표시 장치의 발광 유형에 따라 그 물질이 달라질 수 있다. 예컨대, 이 평판 표시 장치가 전면 발광형인 경우 제 1 전극(330)은 Pt, Au, Pd 또는 Ni로 이루어질 수 있고, 제 2 전극(360)은 IZO로 이루어질 수도 있다.The first and
유기 발광층(350)은 코퍼 프탈로시아닌(copper phthalocyanine; CuPc), N,N'-디(나프탈렌-1-일)-N,N'-디페틸-벤지딘(N,N'-Di(naphthalene-1-yl)-N,N' -diphenyl-benzidine; NPB), 트리스-8-하이드록시퀴놀린 알루미늄(tris-8-hydroxyquinoline aluminum)(Alq3) 등과 같은 저분자 유기물로 이루어지거나, 고분자 유기물로 이루어진다. 예컨대, 유기 발광층(350)이 저분자 유기물로 이루어지는 경우에는 홀 주입층(Hole Injection layer; HIL), 홀 수송층(Hole Transport Layer; HTL), 발광층(Emitting Layer; EML) 및 전자 수송층(Electron Transport Layer; ETL)을 포함한 다층 구조로 이루어진다. 또한, 유기 발광층(350)이 고분자 유기물로 이루어지는 경우에는 홀 수송층(Hole Transport Layer; HTL) 및 발광층(Emitting Layer; EML)으로 이루어지며, 이때 HTL는 PEDOT 물질로 이루어지고 EML은 폴리-페닐렌비닐렌(Poly-Phenylenevinylene; PPV)계 또는 폴리플루오렌(Polyfluorene)계 물질로 이루어진다.The organic
상기에서는 구동 소자로 유기 박막 트랜지스터를 사용하고 표시부가 유기 발광층을 포함하는 유기 EL 표시 장치에 대해서만 설명하였지만, 상술한 유기 박막 트랜지스터를 구동 소자로 사용하는 것이 가능한 액정 표시 장치 등의 다른 평판 표시 장치에도 적용될 수 있다.In the above, the organic EL display device using the organic thin film transistor as the driving element and the display portion including the organic light emitting layer has been described. However, other flat panel display devices such as a liquid crystal display device that can use the organic thin film transistor as the driving element. Can be applied.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범 위에 속하는 것은 당연하다.Although the preferred embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited thereto, and various modifications and changes can be made within the scope of the claims and the detailed description of the invention and the accompanying drawings. Of course it belongs to the range of.
상술한 본 발명에 의하면, 유기 박막 트랜지스터의 소오스 및 드레인 전극과 유기 반도체층을 유기 절연막 내부에 오목부들을 형성하고 잉크젯 방식에 의해 소오스 및 드레인 전극 물질 및 유기 반도체 물질을 도포하고 큐어링하여 형성한다.According to the present invention described above, the source and drain electrodes of the organic thin film transistor and the organic semiconductor layer are formed by forming recesses in the organic insulating film and coating and curing the source and drain electrode materials and the organic semiconductor material by an inkjet method. .
이에 따라, 소오스 및 드레인 전극과 유기 반도체층의 패터닝 공정을 단순화할 수 있을 뿐만 아니라 소오스 및 드레인 전극과 유기 반도체층의 패턴 정밀도를 개선할 수 있으므로, 유기 박막 트랜지스터의 특성을 개선할 수 있다.Accordingly, the patterning process of the source and drain electrodes and the organic semiconductor layer can be simplified, and the pattern precision of the source and drain electrodes and the organic semiconductor layer can be improved, thereby improving the characteristics of the organic thin film transistor.
또한, 상술한 유기 박막 트랜지스터를 유기 전계 발광 표시 장치 등의 평판 표시 장치에 적용할 경우 화면의 표시 품질을 개선할 수 있다.In addition, when the above-described organic thin film transistor is applied to a flat panel display such as an organic light emitting display, display quality of the screen may be improved.
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