KR100644600B1 - 근접장 기록재생용 광헤드 - Google Patents

Abstract

공기동압에 의해 기록매체에서 부상된 상태로 정보의 기록재생을 수행하는 슬라이더 상에 광학요소가 배치된 구조의 근접장 기록재생용 광헤드가 개시되어 있다.

이 개시된 근접장 기록재생용 광헤드는 입사광이 투과되는 광투과공을 갖는 하부 슬라이더와; 하부 슬라이더 상에 결합 설치되며, 하부 슬라이더와 마주하는 면에 광학요소가 장착되는 장착홈이 인입 형성되고, 이 장착홈의 단부에 소정 기울기로 경사지게 형성되어 입사광을 반사시키는 반사면을 갖는 상부 슬라이더와; 장착홈에 설치되며, 기록매체 쪽으로 향하도록 광을 조사하는 광원과; 광투과공 내에 장착되어, 광투과공을 투과하는 광을 집속 투과시키는 수속렌즈와; 기록매체에 마주하는 하부 슬라이더의 일 면에 설치되어 기록매체에서 반사된 광을 수광하는 메인 광검출기;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

근접장 기록재생용 광헤드{Optical head for recording and reproducing using near field}

도 1은 종래의 근접장 주사 광 마이크로스코피(NSOM)방식의 근접장 기록재생용 광헤드의 요부를 발췌하여 보인 개략적인 단면도.

도 2는 종래의 고체함침렌즈(SIL) 방식의 근접장 기록재생용 광헤드의 요부를 발췌하여 보인 개략적인 단면도.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 근접장 기록재생용 광헤드를 보인 분리 사시도.

도 4는 도 3의 단면도.

도 5는 본 발명의 실시예에 따른 메인 광검출기를 보인 개략적인 도면.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

31...하부 슬라이더 32...광투과공

33...차단막 35...개구부

41...상부 슬라이더 42...장착홈

50...광모듈 51...광원

55...서브 광검출기 61...광파이버

64...반사면 65...수속렌즈

70...메인 광검출기

본 발명은 기록매체의 표면 부근에 국부적으로 존재하는 근접장 광을 이용하여 정보의 기록과 재생을 수행할 수 있도록 된 근접장 기록재생용 광헤드에 관한 것으로서, 상세하게는 공기동압에 의해 기록매체에서 부상된 상태로 정보의 기록재생을 수행하는 슬라이더 상에 광학요소가 배치된 구조의 근접장 기록재생용 광헤드에 관한 것이다.

도 1은 종래의 근접장 주사 광 마이크로스코피(Near field Scanning Optical Microscopy : NSOM)방식의 근접장 기록재생용 광헤드의 요부를 발췌하여 보인 개략적인 단면도이다.

도 1을 참조하면, 종래의 NSOM 방식의 근접장 기록재생용 광헤드는 광원(미도시)과, 이 광원에서 조사된 광으로부터 기록매체(1)에 근접장 광을 발생시켜 기록하고 기록매체(1)에서 반사된 광을 광검출기(미도시)로 전달하는 프로브(10)를 구비한다.

상기 프로브(10)는 입사광을 전송하며 일 단이 상기 기록매체(1)에 대해 미소간격 이격된 채로 위치되는 광파이버(11)와, 이 광파이버(11) 둘레를 감싸도록 증착 형성된 금속막(15)을 포함한다. 상기 광파이버(11)는 코어(12)와, 이 코어(12)를 감싸는 클래드(14)로 구성된다. 여기서, 상기 클래드(14)는 그 일단부 소정 길이에 있어서, 상기 기록매체(1)와 마주하는 쪽의 단부로 갈수록 점점 가늘어진다. 그리고 상기 클래드(14)의 끝단이 제거되어, 코어의 끝단 즉, 프로브 팁(13)이 소정 길이 돌출 형성되어 있다. 이 프로브 팁(13)은 상기 금속막(15)이 형성되지 않은 부분으로 그 단면 크기는 상기 광원에서 조사된 광 파장의 대략 1/10 크기의 개구를 형성한다. 이와 같이 구성된 NSOM 방식의 광헤드는 기록매체(1)에 대해 정보의 기록/재생시 프로브 팁(13)과 기록매체(1) 표면이 수 nm 정도의 가까운 거리를 유지해야 하므로, 프로브 팁(13)을 공명주파수로 진동시키고 이 진동의 폭이 항상 일정하게 유지되도록 압전소자에 전압을 피드백하여 거리를 제어한다.

이와 같은 NSOM 방식의 광헤드는 면기록밀도로서는 제곱인치 당 100기가비트정도의 고밀도를 얻을 수 있는 이점이 있다. 반면, 압전소자에 의한 광헤드의 가동범위가 최대 수십 ㎛ 정도로 극히 좁으며 그 가동속도가 최대 수십 ㎛/sec로 매우 느려 기록용량과 데이터 전송속도가 극히 낮다는 문제점이 있다. 또한, 광헤드 프로브의 제작공정이 복잡하고 재현성이 부족하므로 대량 생산이 불가능하며, 기록매체와 충돌하기 쉬워 기계적인 내구성이 낮다는 문제점이 있다.

도 2는 고체함침렌즈(Solid Immersion Lens : SIL) 방식의 근접장 기록재생용 광헤드의 요부를 발췌하여 보인 개략적인 단면도이다.

도 2를 참조하면, 종래의 SIL 방식 근접장 기록재생용 광헤드는 광원(미도시)과, 이 광원에서 조사된 광을 집속시키는 대물렌즈(21)와, 이 대물렌즈(21)에서 집속된 광을 재차 집속시켜 기록매체(1)에 근접장을 형성하는 반구형상의 SIL(23) 및, 상기 대물렌즈(21)와 SIL(23)이 장착되는 슬라이더(25)를 포함한다. 이와 같은 구조의 광헤드는 상기 SIL(23)의 굴절률이 n일 때 상기 기록매체(1)와 마주하는 상기 SIL(23)의 일면에서 광스폿의 크기를 SIL(23)에 입사하기 전의 크기의 1/n으로 줄일 수 있다.

그러나, SIL(23)을 통하여 집속한 광스폿에는 근접장 뿐만 아니라 파-필드(far field) 성분도 포함되어 있어, 광스폿의 크기를 줄이는 데에는 한계가 있다. 그리고, 렌즈의 유효 개구수가 커질수록 광학계의 수차에 더욱 민감해지는 문제점이 있다.

도 2에 도시된 SIL 방식은 부상형의 슬라이더(25)에 SIL(23)을 탑재함으로써 NSOM 방식에 비하여 데이터의 전송속도를 높일 수 있고 광헤드의 내구성을 향상시킬 수 있다는 장점이 있다.

한편, 광헤드 부분을 제외하고는 렌즈 광학계(미도시) 등의 통상적인 광픽업장치에 쓰이는 장치를 그대로 사용하고 있고 각 광학요소가 분리되어 있으므로, 광축 및 초점을 맞추기 위한 기구가 필요하게 되어 장치가 복잡해지는 문제점이 있다. 또한 전체 광학계를 구성하기 위한 공간이 필요하므로 장치가 대형화되는 문제점이 있다. 또한, 근접장 기록시 광신호의 강도가 미약하므로 광효율을 높일 필요가 있으나, 대물렌즈 및 SIL을 이용하여 산란광을 집광하므로 집광입체각이 작으며 검출 가능한 광신호는 전체 광량의 10분의 1 정도에 불과하다는 단점이 있다.

그러므로, 상기한 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같은 광헤드의 구성으로는 근 접장 광기록/재생의 실용화가 곤란하다. 한편, 근접장 광기록/재생의 실용화를 위해서는 근접장 기록재생용 광헤드는 다음과 같은 점들을 해결할 것이 요구된다. 즉, 기록시 근접장 광 발생효율이 높을 것과, 재생시 광검출기에 수광되는 광의 감도가 높아 고속의 신호 검출이 가능할 것과, 미세한 기록 마크열을 정밀하게 트래킹할 수 있을 것과, 디지털 카메라, 캠코더, PDA 등 휴대형 정보기기에 장착할 수 있도록 소형화가 가능할 것 및, 대량 생산이 가능할 것 등이 요구된다.

따라서, 본 발명은 상기한 바와 같은 종래의 문제점 및 요구조건을 감안하여 안출된 것으로서, 광효율 및 전송속도가 개선되고, 소형경량화되며 정밀 트래킹 가능한 구조의 근접장 기록재생용 광헤드장치를 제공하는데 목적이 있다.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 근접장 기록재새용 광헤드장치는 기록매체 상에서 공기동압에 의해 부상된 채로 주행되는 것으로, 입사광이 투과되는 광투과공을 갖는 하부 슬라이더와; 상기 하부 슬라이더 상에 결합 설치되며, 상기 하부 슬라이더와 마주하는 면에 광학요소가 장착되는 장착홈이 인입 형성되고, 이 장착홈의 단부에 소정 기울기로 경사지게 형성되어 입사광을 반사시키는 반사면을 갖는 상부 슬라이더와; 상기 장착홈에 설치되며, 상기 기록매체 쪽으로 향하도록 광을 조사하는 광원과; 상기 광투과공 내에 장착되어, 상기 광투과공을 투과하는 광을 집속 투과시키는 수속렌즈와; 상기 기록매체에 마주하는 상기 하부 슬라이더의 일 면에 설치되어 상기 기록매체에서 반사된 광을 수광하는 메 인 광검출기;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 근접장 기록재생용 광헤드를 상세히 설명한다.

도 3 및 도 4를 참조하면, 본 발명의 실시예에 다른 근접장 기록재생용 광헤드는 기록매체(1) 상에서 공기동압에 의해 부상된 채로 주행되는 것으로, 광투과공(32)을 갖는 하부슬라이더(31)와, 장착홈(42,46) 및 반사면(64)을 갖는 상부 슬라이더(41)와, 상기 장착홈(46) 내에 설치된 광모듈(50)과, 상기 광투과공(32) 내에 장착된 수속렌즈(65) 및, 상기 하부 슬라이더(31)의 상기 기록매체(1)와 마주하는 면에 형성된 메인 광검출기(70)를 포함하여 구성된다.

상기 하부 슬라이더(31)의 밑면(31a)에는 공기베어링면(ABS) 즉, 요철이 형성되어 상기 기록매체(1)의 회전에 따른 공기흐름에 의하여, 상기 기록매체(1)와의 사이 간격이 대략 수 십 nm 내지 100 nm를 유지하도록 부상된다. 상기 상부 슬라이더(41)는 서스펜션(80)에 의해 지지된다. 상기 서스펜션(41)은 상기 상,하부 슬라이더(41)(31)가 기록매체(1) 상에서 구동되도록 하는 구동장치(미도시)에 연결된다. 상기 기록매체(1)는 정보마크가 기록되는 기록층(3)과 이 기록층(3) 상에 마련되어 상기 하부 슬라이더(31)가 공기동압에 의해 원활히 부상되도록 하는 윤활층(5)으로 구성된다.

상기 상,하부 슬라이더(41)(31) 각각은 단결정 실리콘 재질로 되고, 상기 장착홈(42,46), 상기 반사면(64) 및 상기 광투과공(32) 각각은 이방성 식각에 의해 형성된 것이 바람직하다. 여기서, 이방석 식각은 예를 들어 테트라메틸 암모니움 하이드로옥사이드(Tetra methyl Ammonium Hydroxide; TMAH) 수용액에 의해 수행되어, 상기 단결정 실리콘의 결정방향을 따라 반사면()이 경사지게 형성되고, 장착홈(44)이 긴 V자형상으로 형성된다. 이때, 단결정 실리콘의 결정방향에 의하여 사면 및 V자형 홈의 양 벽면의 각도 θ는 소정 각도 예컨대 약 55도로 고정된다. 여기서, 상기 반사면(64) 상에는 상기 상부 슬라이더(41)보다 반사율이 상대적으로 높은 반사막 예컨대, 알루미늄 반사막이 소정 두께로 증착 형성되어 반사율을 높일 수 있도록 된 것이 바람직하다.

한편, 상기 광모듈(50)이 장착될 장착홈(46)은 직사각형의 홈으로 형성되는 것으로, 이방성 RIE(reactive ion etching) 식각을 통하여 형성된다.

상기 광모듈(50)은 상기 기록매체(1) 쪽으로 향하도록 하는 광을 조사하는 광원(51)을 포함한다. 이 광원(51)은 모서리 발광형 반도체 레이저 등으로 구성되는 것으로, 이 광원(51)에서 조사된 광은 장착홈(42)을 따라 기록매체(1)의 기록면에 대해 평행한 방향으로 진행한다. 그리고, 상기 반사면(64)에서 상기 기록매체(1)에 대해 수직방향으로 반사 된 상태로 상기 수속렌즈(65)를 통과하여 기록매체(1)에 맺히게 된다. 또한, 상기 광모듈(50)은 입사광을 수광할 수 있도록 된 서브 광검출기(55)를 더 포함하는 것이 바람직하다. 이 서브 광검출기(55)는 상기 광원(51)의 후면에 배치되는 것으로, 상기 기록매체(1)에서 반사된 광중 상기 광투과공(32)을 투과하고, 상기 수속렌즈(65)에서 집속된 후 상기 반사면(64)에서 반사된 광을 수광한다. 따라서, 이 서브 광검출기(55)에서 검출된 신호와 상기 메인 광검출기(70)에서 검출된 신호의 합신호로서 재생신호를 검출함으로써, 검출신 호의 광감도를 높일 수 있다. 이 서브 광검출기(55)는 상기한 재생신호의 검출 이외에 상기 광원(51)의 후측 모서리로 출사되는 광을 수광하여 모니터링함으로써 상기 광원(51)의 광출력을 안정적으로 제어할 수 있도록 한다. 상기 광모듈(50)의 전기적인 배선을 위하여, 상기 상부 슬라이더(41)에 비아 홀(via hole)을 형성하고 이 비아 홀을 도전체로 채워주는 구성을 할 수도 있다.

상기 광원(51)에서 출력된 광은 자유공간을 통하여 진행할 수 도 있으나, 보다 바람직하게는 광손실을 줄일 수 있도록 광파이버(61)를 통하여 진행하는 것이 바람직하다. 이 광파이버(61)는 상기 광원(51)과 상기 반사면(64) 사이의 광로 상에 형성된 상기 장착홈(42)에 설치되는 것으로, 코어(62)와 이 코어(62)를 감싸는 클래드(63)로 구성되며, 그 양 단면 각각은 직각으로 절단되어 있다.

여기서, 상기 광파이버(61)와 상기 광원(51) 사이에는 상기 광파이버(61)의 코어(62)의 중심축과 상기 광원(51)에서 출사되는 광의 중심이 일치됨과 아울러, 광결합 효율이 향상되도록 하기 위하여, 구형렌즈를 더 구비하거나, 코어(62)의 단부를 렌즈형태로 가공하는 것도 가능하다. 이와 같은 광결합 구조 자체에 대해서는 널리 알려져 있으므로 그 자세한 설명은 생략한다.

상기 광파이버(61) 이외에 광을 도파하기 위한 수단으로 앞서 설명된 자유공간 또는 박막 슬라브 도파로를 채용하는 것도 가능하다. 이 박막 슬라브 도파로를 형성시에는 코어가 클래드 보다 굴절률이 높아야 한다. 예를 들어 클래드를 SiO₂로 하고 코어부를 SiNx로 할 수 있으며, 이 박막 슬라브 도파로는 실리콘 프로세스로 형성 가능하다.

상기 하부 슬라이더(31)와 상기 상부 슬라이더(41)는 자외선 경화수지 등으로 접합된다. 여기서, 식각 가공을 통하여 상,하부 슬라이더(41)(31)에 가이드홈을 마련하는 경우, 조립이 간편하다는 이점이 있다.

상기 하부 슬라이더(31)에 마련된 광투과공(32)은 상기 상부 슬라이더(41) 쪽에서 상기 기록매체(1) 쪽으로 갈수록 단면 넓이가 작아지게 형성되는 것으로, 그 정점에 개구부(65)가 형성된 역 피라미드 형상의 구멍이다. 이 광투과공(32)은 포토리소그래피에 의한 패터닝 및 습식 이방성 식각 공정으로 형성되는 것으로, 상기 개구부(65)의 길이가 대략 100nm 이하로 되어 있다. 이 하부 슬라이더(31)의 밑면에 형성된 ABS 요철(31a)은 포토리소그래피 및 이방성 RIE 식각을 통하여 형성되는 것으로, 기록매체(1)의 회전에 따른 공기의 흐름에 의하여 매체 기판과 수십 내지 수백 nm의 거리를 일정하게 유지하면서 부상하도록 한다.

상기 수속렌즈(65)는 상기 광투과공(32) 내에 장착되는 것으로, 입사광을 집속 투과시키기 위한 것으로, 도시된 바와 같이 구형렌즈로 된 것이 바람직하다. 이와 같이 구형렌즈로 하는 경우는 상기 광투과공(32) 내부의 경사진 네 측면에서 반사된 광을 집속하여 상기 개구부(35)를 통해 초점을 맺도록 함으로써 개구부에서 발생하는 근접장 광의 효율을 높일 수 있다.

상기 하부 슬라이더의(31) 상면 즉, 상기 상부 슬라이더(41)와 마주하는 쪽 면에는 광원(51) 쪽에서 입사된 광 및 외부 광이 상기 메인 광검출기(70) 쪽으로 직접 향하는 것을 방지하도록 증착형성된 차단막(33)이 더 구비된 것이 바람직하다.

도 4 및 도 5를 참조하면, 상기한 메인 광검출기(70)는 상기 광투과홈 주변에 적어도 2개로 분할 배치되고, 분할된 각 광검출기에서 수광된 광 각각을 독립적으로 광전변환할 수 있도록 되어 있다. 이는 분할된 각 광검출기에서 검출된 신호를 차동하여 트랙오차신호를 검출할 수 있도록 하기 위한 것이다. 한편, 재생신호 검출시에는 분할된 각 광검출기에서 검출된 신호를 합산함으로써 검출할 수 있다.

이 메인 광검출기(70)는 p형 반도체층(71)과 n형 반도체층(75)의 접합에 의해 형성되는 것으로, 금속배선(73, 77)을 통하여 검출된 신호가 출력된다. 이 메인 광검출기(70)가 설치되는 상기 하부 슬라이더(31)의 상기 기록매체(1)와 마주하는 면은 평탄해야 하므로 금속배선은 식각과 박막증착 공정으로 하여 돌출하지 않도록 한다. 여기서, p형 및 n형 반도체층(71)(75)의 인입 깊이는 사용하는 광파장 및 상기 하부 슬라이더(31)의 종류를 고려하여 설정되는 것으로, 대략 수 ㎛ 정도로 설정한다. 이 p형 및 n형 반도체층(71)(75) 주위에는 고농도로 도핑된 반도체층(76)이 둘러싼다. 이 반도체층(76)을 형성함으로써, 배선부와의 옵닉 콘택(Ohmic contact)을 형성함과 아울러 산란광을 반사시켜 상기 p형 및 n형 반도체층(71)(75)에 재입사되도록 함으로써 신호강도를 높일 수 있다.

이하, 상기한 바와 같이 구성된 근접장 기록재생용 광헤드의 동작을 살펴보면 다음과 같다.

우선, 근접장광 재생시에는 상기 광원(51)에서 조사된 광이 상기 수속렌즈(65)에 의해 개구부(35) 주변에 집속되어 근접장 광을 형성한다. 이 근접장광은 기록마크와 상호 산란작용을 일으켜 변조된다. 이 변조된 광은 상기 메인 광검출기(70) 및 상기 서브 광검출기(55)를 통하여 검출된다. 즉, 상기 개구부(35)와 기록매체(1) 사이의 간격이 수 십 nm로 극히 작으므로, 기록면으로부터 약 70도 이하의 낮은 각도로 방사된 광은 거의 전량 개구부(35) 주변에 위치된 메인 광검출기(70)에서 수광되고, 70도 이상의 각도로 방사된 나머지 광은 구형렌즈에 의해 집속되고 반사면(64)에서 반사되어 서브 광검출기(55)에 들어간다. 이 메인 광검출기(70)와 서브 광검출기(55)에서 검출된 신호를 합산함으로써, 재생신호를 검출할 수 있다.

한편, 메인 광검출기(70)는 적어도 2분할 되어 있어서, 이 분할된 광검출기 각각에서 수광된 광을 차동하여 얻은 결과값의 부호에 따라 기록매체(1) 상의 기록마크에 대한 광헤드의 트랙오차를 정도를 검출한다. 이 검출된 트랙오차신호에 따라 광헤드를 액츄에이팅함으로써 초고밀도 기록시에 미세한 트래킹을 정밀하게 제어할 수 있다.

상기한 바와 같이, 구성된 본 발명에 따른 근접장 기록재생용 광헤드는 부상형 슬라이더를 이용함으로, 종래의 광파이버 프로브 주사형의 근접장 광기록방식에 비하여 높은 데이터 전송속도를 얻을 수 있다.

또한, 상, 하부 슬라이더 내에 광모듈, 광파이버, 수속렌즈, 및 메인 및 서브 광검출기가 모두 설치되므로, 광축 조정이 용이하고, 광헤드의 소형 경량화와 저가격화가 가능하다는 이점이 있다. 또한, 광검출기로서 개구부 주변에 메인 광검출기와, 개구부를 통과한 광을 검출하는 서브 광검출기를 구비함으로써, 변조된 후, 검출된 신호의 강도를 최대화할 수 있고, 신호 대 잡음비를 높일 수 있다. 그리고, 개구부 주위에 배치된 2분할 광검출기에 의하여 정밀하고 효율적인 트래킹이 가능하다.

Claims (9)

1. 기록매체 상에서 공기동압에 의해 부상된 채로 주행되는 것으로, 입사광이 투과되는 광투과공을 갖는 하부 슬라이더와;

   상기 하부 슬라이더 상에 결합 설치되며, 상기 하부 슬라이더와 마주하는 면에 광학요소가 장착되는 장착홈이 인입 형성되고, 이 장착홈의 단부에 소정 기울기로 경사지게 형성되어 입사광을 반사시키는 반사면을 갖는 상부 슬라이더와;

   상기 장착홈에 설치되며, 상기 기록매체 쪽으로 향하도록 광을 조사하는 광원과;

   상기 광투과공 내에 장착되어, 상기 광투과공을 투과하는 광을 집속 투과시키는 수속렌즈와;

   상기 기록매체에 마주하는 상기 하부 슬라이더의 일 면에 설치되어 상기 기록매체에서 반사된 광을 수광하는 메인 광검출기;를 포함하는 것을 특징으로 하는 근접장 기록재생용 광헤드.
2. 제1항에 있어서, 상기 상부 및 하부 슬라이더는 단결정 실리콘 재질로 되고,

   상기 장착홈, 상기 반사면 및 상기 광투과공 각각은 이방성 식각에 의해 형 성된 것을 특징으로 하는 근접장 기록재생용 광헤드.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 광원과 상기 상부 슬라이드의 반사면 사이의 광로 상에는 광을 도파하는 광파이버가 더 구비된 것을 특징으로 하는 근접장 기록재생용 광헤드.
4. 제1항에 있어서, 상기 광원 주변에는 상기 기록매체에서 반사된 광중 상기 광투과공을 투과하고, 상기 수속렌즈 및 반사면을 경유하여 입사된 광을 수광함과 아울러 상기 광원에서 조사된 광의 일부를 수광할 수 있도록 된 서브 광검출기가 더 구비된 것을 특징으로 하는 근접장 기록재생용 광헤드.
5. 제1항에 있어서, 상기 반사면에는 상기 상부 슬라이더보다 반사율이 상대적으로 높은 반사막이 증착 형성된 것을 특징으로 하는 근접장 기록재생용 광헤드.
6. 제1항에 있어서, 상기 광투과공은,

   상기 상부 슬라이더 쪽에서 상기 기록매체 쪽으로 갈수록 단면 넓이가 작아지게 형성되며, 상기 기록매체와 마주하는 쪽의 단면의 일 방향 길이가 대략 100nm 이하인 것을 특징으로 하는 근접장 기록재생용 광헤드.
7. 제1항 또는 제6항에 있어서, 상기 광투과공 내에 설치된 수속렌즈는, 구형렌 즈인 것을 특징으로 하는 근접장 기록재생용 광헤드.
8. 제1항에 있어서, 상기 하부 슬라이더의 상기 상부 슬라이더와 마주하는 쪽 면에는 광원쪽에서 입사된 광 및 외부 광이 상기 메인 광검출기 쪽으로 향하는 것을 방지하는 차단막이 더 구비된 것을 특징으로 하는 근접장 기록재생용 광헤드.
9. 제1항에 있어서, 상기 메인 광검출기는,

   상기 광투과홈 주변에 적어도 2개로 분할 배치되고, 분할된 각 광검출기에서 수광된 광 각각을 독립적으로 광전변환할 수 있도록 되어, 각 광검출기에서 검출된 신호를 차동하여 트랙오차신호를 검출할 수 있도록 된 것을 특징으로 하는 근접장 기록재생용 광헤드.

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