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KR100632205B1 - Light emitting diode having light guide part and manufacturing method thereof - Google Patents

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KR100632205B1
KR100632205B1 KR1020050076871A KR20050076871A KR100632205B1 KR 100632205 B1 KR100632205 B1 KR 100632205B1 KR 1020050076871 A KR1020050076871 A KR 1020050076871A KR 20050076871 A KR20050076871 A KR 20050076871A KR 100632205 B1 KR100632205 B1 KR 100632205B1
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Abstract

본 발명은 광가이드부를 갖는 발광 다이오드 및 그 제조방법에 관한 것으로, 특히 행렬로 배치된 발광셀들을 포함하는 발광다이오드에 있어서 인접한 발광셀들로부터 기판에 대해 수평방향으로 입사된 빛들을 수집하여 소정의 방향으로 출사되도록 가이드하는 광가이드부에 의해 발광효율이 개선된 광가이드부를 갖는 발광 다이오드 및 그 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a light emitting diode having a light guide portion and a method of manufacturing the same. In particular, in a light emitting diode including light emitting cells arranged in a matrix, light incident on a substrate in a horizontal direction is collected from adjacent light emitting cells. The present invention relates to a light emitting diode having a light guide portion having improved light emission efficiency by a light guide portion guiding to be emitted in a direction, and a method of manufacturing the same.

이를 위하여 본 발명은 제1 및 제2 본딩패드 사이에 행렬로 배치된 발광셀들을 포함하는 발광 다이오드에 있어서, 상기 발광셀들을 상면에 갖는 기판; 상기 기판 위에 형성되고, 외주부를 통해 인접한 상기 발광셀들로터 입사된 빛들을 수집하여 내주부를 통해 상기 수집된 빛을 소정의 방향으로 출사하도록 가이드하는 광가이드부;를 포함하는 광가이드부를 갖는 발광 다이오드를 제공한다.To this end, the present invention provides a light emitting diode including light emitting cells arranged in a matrix between first and second bonding pads, comprising: a substrate having the light emitting cells on an upper surface thereof; A light guide part formed on the substrate, the light guide part collecting light incident to the adjacent light emitting cells through an outer peripheral part and guiding the collected light through an inner peripheral part in a predetermined direction; Provide a diode.

Description

광가이드부를 갖는 발광 다이오드 및 그 제조 방법 {light emitting diode having light guide part and method for fabricating the same}Light emitting diode having light guide part and manufacturing method thereof {light emitting diode having light guide part and method for fabricating the same}

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 발광 다이오드의 회로도이다.1 is a circuit diagram of a light emitting diode according to an embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 발광 다이오드의 평면도이다.2 is a plan view of a light emitting diode according to an embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 발광 다이오드를 설명하기 위해 도 2의 절취선 A-A'를 따라 취해진 부분 단면도이다.3 is a partial cross-sectional view taken along the line AA ′ of FIG. 2 to illustrate a light emitting diode according to an embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 발광 다이오드를 설명하기 위해 도 2의 절취선 B-B'를 따라 취해진 부분 단면도이다.4 is a partial cross-sectional view taken along the line BB ′ of FIG. 2 to illustrate a light emitting diode according to an embodiment of the present invention.

도 5a는 본 발명의 일 실시예에 따른 광가이드부의 단면도이다.5A is a cross-sectional view of an optical guide unit according to an embodiment of the present invention.

도 5b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 광가이드부의 단면도이다.5B is a cross-sectional view of an optical guide unit according to another exemplary embodiment of the present invention.

도 6 내지 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 발광 다이오드의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도들이다.6 to 9 are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a light emitting diode according to an embodiment of the present invention.

<도면 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

1: 발광 다이오드 20: 버퍼층1: light emitting diode 20: buffer layer

30: 반도체층들 31: n형 층30: semiconductor layers 31: n-type layer

32: 활성층 33: p형 층32: active layer 33: p-type layer

40: 투명전극층 50a,50b: 제1 전극,제2 전극40: transparent electrode layer 50a, 50b: first electrode, second electrode

60a,60b: 전극패드 70: 광반사 방지층60a, 60b: electrode pad 70: light reflection prevention layer

100: 기판 200: 발광셀들100: substrate 200: light emitting cells

300a,300b: 본딩패드 400: 금속배선300a, 300b: bonding pad 400: metal wiring

500: 광가이드부 510: 외주부500: light guide part 510: outer peripheral part

520: 내주부 530: 홈부520: inner peripheral portion 530: groove portion

본 발명은 광가이드부를 갖는 발광 다이오드 및 그 제조방법에 관한 것으로, 특히 행렬로 배치된 발광셀들을 포함하는 발광다이오드에 있어서 인접한 발광셀들로부터 기판에 대해 수평방향으로 입사된 빛들을 수집하여 소정의 방향으로 출사되도록 가이드하는 광가이드부에 의해 발광효율이 개선된 광가이드부를 갖는 발광 다이오드 및 그 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a light emitting diode having a light guide portion and a method of manufacturing the same. In particular, in a light emitting diode including light emitting cells arranged in a matrix, light incident on a substrate in a horizontal direction is collected from adjacent light emitting cells. The present invention relates to a light emitting diode having a light guide portion having improved light emission efficiency by a light guide portion guiding to be emitted in a direction, and a method of manufacturing the same.

발광 다이오드는 N형 반도체와 P형 반도체가 서로 접합된 구조를 가지는 광전변환 반도체 소자로서, 전자와 정공의 재결합에 의하여 빛을 발산한다. 이러한 발광 다이오드는 표시소자 및 백라이트로 널리 이용되고 있다. 또한, 발광 다이오드는 기존의 전구 또는 형광등에 비해 소모 전력이 작고 수명이 길어, 백열전구 및 형광등을 대체하여 일반 조명 용도로 그 사용 영역을 넓히고 있다. A light emitting diode is a photoelectric conversion semiconductor device having a structure in which an N-type semiconductor and a P-type semiconductor are bonded to each other, and emit light by recombination of electrons and holes. Such light emitting diodes are widely used as display devices and backlights. In addition, the light emitting diode consumes less power and has a longer lifespan than existing light bulbs or fluorescent lamps, thereby replacing its incandescent lamps and fluorescent lamps, thereby expanding its use area for general lighting.

발광 다이오드는 교류전원하에서 전류의 방향에 따라 온/오프를 반복한다. 따라서, 발광 다이오드를 교류전원에 직접 연결하여 사용할 경우, 발광 다이오드가 연속적으로 빛을 방출하지 못하며, 역방향 전류에 의해 쉽게 파손되는 문제점이 있다.The light emitting diode is repeatedly turned on and off in accordance with the direction of the current under AC power. Therefore, when the light emitting diode is directly connected to an AC power source, the light emitting diode does not emit light continuously and is easily damaged by reverse current.

이러한 발광 다이오드의 문제점을 해결하여, 고전압 교류전원에 직접 연결하여 사용할 수 있는 발광 다이오드가 국제공개번호 WO 2004/023568(A1)호에 "발광 성분을 갖는 발광소자"(LIGHT-EMITTING DEVICE HAVING LIGHT-EMITTING ELEMENTS)라는 제목으로 사카이 등(SAKAI et. al.)에 의해 개시된 바 있다. In order to solve the problem of the light emitting diode, a light emitting diode which can be directly connected to a high voltage AC power source is disclosed in International Publication No. WO 2004/023568 (A1) "Light-Emitting Device Having Light-Emitting Component" (LIGHT-EMITTING DEVICE HAVING LIGHT- EMITTING ELEMENTS, which was disclosed by SAKAI et. Al.

상기 WO 2004/023568(A1)호에 따르면, LED들이 사파이어 기판과 같은 절연성 기판 상에서 금속배선들에 2차원적으로 직렬연결된 LED 어레이들을 형성한다. 이러한 두 개의 LED 어레이들이 상기 기판 상에서 역병렬로 연결된다. 그 결과, AC 파워 서플라이에 의해 상기 어레이들이 서로 교대로 온-오프를 반복하여 광을 방출한다. According to WO 2004/023568 (A1), the LEDs form LED arrays two-dimensionally connected in series with metal wires on an insulating substrate such as a sapphire substrate. These two LED arrays are connected in anti-parallel on the substrate. As a result, the AC power supply causes the arrays to alternately turn on and off each other to emit light.

그러나, 상기 WO 2004/023568(A1)호에 개시된 바에 따르면, 다수의 발광셀들을 2차원 행렬로 배열하여 사용하는 경우 상기 발광셀들에 의해 발광되는 빛 중 상기 발광셀들에 대해 수평방향으로 진행하는 빛들은 다른 인접한 발광셀들을 통과하여 외부로 방출됨에 따라 발광되는 빛의 광도가 낮은 문제점이 있다. However, as disclosed in WO 2004/023568 (A1), when using a plurality of light emitting cells arranged in a two-dimensional matrix proceeds in a horizontal direction with respect to the light emitting cells of the light emitted by the light emitting cells As the light is emitted through the other adjacent light emitting cells to the outside there is a problem that the brightness of the light emitted is low.

본 발명의 목적은, 상기 문제점을 해결하기 위한 것으로, 발광된 빛 중 기판에 대해 수평방향으로 진행하는 빛들을 모아 외부로 방출시키는 광가이드부를 구비하여 발광효율이 개선된 발광 다이오드를 제공함에 있다. SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a light emitting diode having improved luminous efficiency by including a light guide unit for collecting the light traveling in a horizontal direction with respect to the substrate of the emitted light to the outside.

본 발명의 다른 목적은, 광가이드부가 규칙적이고 효과적으로 배열된 발광 다이오드를 제공함에도 있다. Another object of the present invention is to provide a light emitting diode in which the light guide portion is regularly and effectively arranged.

본 발명의 또 다른 목적은, 상기 발광 다이오드를 제조하는 방법을 제공함에도 있다. Still another object of the present invention is to provide a method of manufacturing the light emitting diode.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일측면에 의하면, 제1 및 제2 본딩패드 사이에 행렬로 배치된 발광셀들을 포함하는 발광 다이오드에 있어서, 상기 발광셀들을 상면에 갖는 기판; 상기 기판 위에 형성되고, 외주부를 통해 인접한 상기 발광셀들로터 입사된 빛들을 수집하여 내주부를 통해 상기 수집된 빛을 소정의 방향으로 출사하도록 가이드하는 광가이드부;를 포함하는 광가이드부를 갖는 발광 다이오드인 것을 특징으로 한다. According to an aspect of the present invention for achieving the above object, a light emitting diode comprising light emitting cells arranged in a matrix between the first and second bonding pads, comprising: a substrate having the light emitting cells on the upper surface; A light guide part formed on the substrate, the light guide part collecting light incident to the adjacent light emitting cells through an outer peripheral part and guiding the collected light through an inner peripheral part in a predetermined direction; It is a diode.

바람직하게는 상기 광가이드부는 N형 반도체층, 상기 N형 반도체층의 일부 영역 위에 형성된 활성층, 상기 활성층 위에 형성된 P형 반도체층 및 상기 P형 반도체층 위에 형성된 전극층을 포함하고 상면 중앙부에 상기 내주부를 갖는 홈부가 형성된다. Preferably, the optical guide part includes an N-type semiconductor layer, an active layer formed on a portion of the N-type semiconductor layer, a P-type semiconductor layer formed on the active layer, and an electrode layer formed on the P-type semiconductor layer, A groove portion having a is formed.

더욱 바람직하게는 상기 내주부는 상기 기판에 대해 소정의 각도로 기울어지게 형성된다. More preferably, the inner circumferential portion is formed to be inclined at a predetermined angle with respect to the substrate.

더욱 바람직하게는 상기 내주부는 상기 기판에 대해 수직 방향으로 형성된다. More preferably, the inner circumferential portion is formed in a direction perpendicular to the substrate.

더욱 바람직하게는 상기 입사된 빛의 광투과율을 높이기 위해 상기 외주부를 제외한 광가이드부 표면을 덮는 광반사 방지층을 더 포함한다. More preferably, further includes a light reflection prevention layer covering the surface of the light guide portion except for the outer peripheral portion in order to increase the light transmittance of the incident light.

더욱 바람직하게는 상기 광반사 방지층은 λ/4n의 두께를 갖는다.More preferably, the light reflection prevention layer has a thickness of λ / 4n.

더욱 바람직하게는 상기 광반사 방지층은 SiO2, Al2O3 또는 Si3N4 중 어느 하나로 이루어진다. More preferably, the light reflection prevention layer is made of any one of SiO 2 , Al 2 O 3 or Si 3 N 4 .

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 측면에 의하면, 기판을 준비하고, 상기 기판 상에 버퍼층, N형 반도체층, 활성층 및 P형 반도체층을 포함하는 반도체층들 및 상기 반도체층들 상에 위치하는 전극층을 형성하고, 상기 반도체층들 및 상기 전극층을 패터닝하여 서로 이격되어 행렬로 배치된 반도체 패턴을 형성하고, 상기 반도체 패턴 중 일부에 패터닝을 수행하여 복수의 발광셀들을 형성하고 상기 발광셀들을 전기적으로 연결하는 금속배선들을 형성하고, 상기 반도체 패턴에 패터닝을 수행하여 인접한 상기 발광셀들로터 빛들이 입사되는 외주부와 상기 입사된 빛을 소정의 방향으로 출사하도록 가이드하는 내주부를 갖는 광가이드부를 형성하는 광가이드부를 갖는 발광 다이오드 제조 방법인 것을 특징으로 한다. According to another aspect of the present invention for achieving the above object, a substrate is prepared, and the semiconductor layer including a buffer layer, an N-type semiconductor layer, an active layer and a P-type semiconductor layer on the substrate and located on the semiconductor layers Forming an electrode layer, patterning the semiconductor layers and the electrode layer to form a semiconductor pattern spaced apart from each other, and forming a plurality of light emitting cells by patterning a portion of the semiconductor pattern; An optical guide part having metal outer lines electrically connected to each other, and patterning the semiconductor pattern, the light guide part having an outer circumferential portion through which light is incident from adjacent light emitting cells and an inner circumference portion guiding the incident light in a predetermined direction. It is a light emitting diode manufacturing method which has a light guide part to form, It is characterized by the above-mentioned.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 발광 다이오드를 설명하기 위한 회로도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 발광 다이오드를 설명하기 위한 평면도이다. 1 is a circuit diagram illustrating a light emitting diode according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a plan view illustrating a light emitting diode according to an embodiment of the present invention.

도 1 및 도 2를 참조하여 설명하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 발광 다이오드(1)는 기판(100), 발광셀들(200), 제1 및 제2 본딩패드(300a,300b), 금속배선 들(400) 및 광가이드부들(500)을 포함한다. 1 and 2, a light emitting diode 1 according to an embodiment of the present invention may include a substrate 100, light emitting cells 200, first and second bonding pads 300a and 300b, Metal wires 400 and light guide parts 500.

상기 기판(100)은 사파이어 또는 사파이어에 비해 열전도율이 큰 SiC 등과 같은 소재로 이루어질 수 있으며, 상기 기판(100) 위로는 패터닝된 복수의 발광셀들(200)이 형성된다. The substrate 100 may be formed of a material such as SiC having a higher thermal conductivity than sapphire or sapphire, and a plurality of patterned light emitting cells 200 are formed on the substrate 100.

상기 발광셀들(200) 각각은 N형 반도체층(31), 활성층(32), 그리고 P형 반도체층(33)이 연속적으로 적층된 구조를 이룬다. 상기 활성층(32)은 상기 N형 반도체층(31)의 일부 영역 상에 형성되며, 상기 활성층(32) 위로는 P형 반도체층(33)이 형성된다. 따라서, 상기 N형 반도체층(31)의 상면 일부 영역은 활성층(32)과 접합되어 있으며, 상면의 나머지 일부 영역은 외부로 노출된다. Each of the light emitting cells 200 has a structure in which an N-type semiconductor layer 31, an active layer 32, and a P-type semiconductor layer 33 are sequentially stacked. The active layer 32 is formed on a portion of the N-type semiconductor layer 31, and a P-type semiconductor layer 33 is formed on the active layer 32. Accordingly, a portion of the upper surface of the N-type semiconductor layer 31 is bonded to the active layer 32, and the remaining portion of the upper surface of the N-type semiconductor layer 31 is exposed to the outside.

상기 발광셀들(200)은, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 제1 본딩패드(300a) 및 제2 본딩패드(300b) 사이에 행렬로, 예를 들어 정방형 행렬로 배치된다. As shown in FIGS. 1 and 2, the light emitting cells 200 are arranged in a matrix, for example, in a square matrix, between the first bonding pad 300a and the second bonding pad 300b.

상기 제1 및 제2 본딩패드(300a,300b)는 상기 발광 다이오드(1)를 외부전원에 연결하기 위한 패드들이다. 상기 제1 및 제2 본딩패드들(300a,300b)은 본딩와이어들(미도시)을 통해 외부전원에 연결될 수 있다. The first and second bonding pads 300a and 300b are pads for connecting the light emitting diode 1 to an external power source. The first and second bonding pads 300a and 300b may be connected to an external power source through bonding wires (not shown).

상기 금속배선들(400)은 상기 발광셀들(200)을 전기적으로 연결한다. 상기 금속배선들(400)은 하나의 발광셀(200)의 제1 전극(50a)과 해당 발광셀(200)과 인접한 다른 발광셀(200)의 제2 전극(50b)을 연결하여, 인접한 발광셀들(200)의 P형 반도체층(33)과 N형 반도체층(31)을 전기적으로 연결한다. The metal wires 400 electrically connect the light emitting cells 200. The metal wires 400 connect the first electrode 50a of one light emitting cell 200 and the second electrode 50b of another light emitting cell 200 adjacent to the light emitting cell 200 to emit adjacent light. The P-type semiconductor layer 33 and the N-type semiconductor layer 31 of the cells 200 are electrically connected to each other.

상기 금속 배선들(400)은 상기 행과 열이 만나는 교차점에 위치한 발광셀 (200)의 제1 전극(50a) 및 제2 전극(50b) 각각을 그것들에 인접한 발광셀들(200)의 제2 전극(50b) 및 제1 전극(50a) 각각, 제1 본딩패드(300a) 또는 제2 본딩패드(300b)에 전기적으로 연결한다. The metal wires 400 each of the first electrode 50a and the second electrode 50b of the light emitting cell 200 located at the intersection where the row and the column meet each other, the second of the light emitting cells 200 adjacent thereto. Each of the electrode 50b and the first electrode 50a is electrically connected to the first bonding pad 300a or the second bonding pad 300b.

특히, 상기 발광셀들(200) 중 두 개의 발광셀들(200)에 인접한 교차점에 위치하는 발광셀(200)의 제1 전극(50a)은 인접한 하나의 발광셀(200)의 제2 전극(50b)과 전기적으로 연결되고, 상기 제2 전극(50b)은 인접한 다른 하나의 발광셀(200)의 제1 전극(50a)과 전기적으로 연결된다. In particular, the first electrode 50a of the light emitting cell 200 positioned at an intersection point adjacent to two light emitting cells 200 among the light emitting cells 200 is the second electrode (1) of one light emitting cell 200 adjacent thereto. 50b) and the second electrode 50b is electrically connected to the first electrode 50a of the other adjacent light emitting cell 200.

그리고, 상기 발광셀들(200) 중 세 개의 발광셀들(200)에 인접한 교차점에 위치하는 발광셀(200)의 제1 전극(50a)은 인접한 하나의 발광셀(200)의 제2 전극(50b)과 전기적으로 연결되고 제2 전극(50b)은 인접한 다른 두 개의 발광셀(200)의 제1 전극(50a)과 전기적으로 연결되거나, 해당 발광셀(200)의 제1 전극(50a)은 인접한 두 개의 발광셀(200)의 제2 전극(50b)과 전기적으로 연결되고 제2 전극(50b)은 인접한 다른 하나의 발광셀(200)의 제1 전극(50a)과 전기적으로 연결된다. In addition, the first electrode 50a of the light emitting cell 200 positioned at an intersection point adjacent to three light emitting cells 200 among the light emitting cells 200 is a second electrode (1) of one adjacent light emitting cell 200 ( 50b) and the second electrode 50b is electrically connected to the first electrode 50a of two other adjacent light emitting cells 200, or the first electrode 50a of the corresponding light emitting cell 200 is The second electrode 50b of the two adjacent light emitting cells 200 is electrically connected, and the second electrode 50b is electrically connected to the first electrode 50a of the other adjacent light emitting cell 200.

또한, 상기 발광셀들(200) 중 네 개의 발광셀들(200)에 인접한 교차점에 위치하는 발광셀(200)의 제1 전극(50a)은 인접한 두 개의 발광셀(200)의 제2 전극(50b)과 전기적으로 연결되고, 제2 전극(50b)은 인접한 다른 두 개의 발광셀(200)의 제1 전극(50a)과 전기적으로 연결된다. In addition, the first electrode 50a of the light emitting cell 200 positioned at an intersection point adjacent to four light emitting cells 200 among the light emitting cells 200 is a second electrode of the two adjacent light emitting cells 200 ( 50b) is electrically connected, and the second electrode 50b is electrically connected to the first electrode 50a of the two other adjacent light emitting cells 200.

상기 광가이드부(500)는 상기 인접한 교차점에 위치하는 네 개의 발광셀들(200)로 형성되는 영역 내에 위치하며, 인접한 발광셀들(200)로부터 방출된 빛을 집중시켜 외부로 방출되도록 가이드하는 역할을 수행한다. 특히, 상기 광가이드부 (500)는, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 소정의 간격을 두고 규칙적으로 배열되어 상기 발광 다이오드(1)의 제조 공정을 단순화시킴과 동시에 제조원가를 절감시키는 것이 바람직하다. The light guide part 500 is located in an area formed of four light emitting cells 200 positioned at the adjacent intersections, and concentrates the light emitted from the adjacent light emitting cells 200 to guide the light emitted to the outside. Play a role. In particular, as shown in FIGS. 1 and 2, the light guide unit 500 is regularly arranged at predetermined intervals to simplify the manufacturing process of the light emitting diode 1 and reduce manufacturing costs. desirable.

상기 광가이드부(500)는 위에서 바라본 형상이 도 2에 도시된 바와 같이 원형일 수 있으나 사각형 또는 오각형 등의 각진 모양을 가질 수 있음은 물론이다. The light guide part 500 may have a circular shape as shown in FIG. 2, but may have an angular shape such as a square or a pentagon.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 발광 다이오드를 설명하기 위해 도 2의 절취선 A-A`를 따라 취해진 부분단면도이다. 3 is a partial cross-sectional view taken along the line AA ′ of FIG. 2 to illustrate a light emitting diode according to an embodiment of the present invention.

도 3을 참조하면, 기판(100) 상에 서로 이격된 발광셀들(200)이 위치한다. 상기 발광셀들(200) 각각은 N형 반도체층(31)과, 상기 N형 반도체층(31)의 일부 영역 상에 위치하는 P형 반도체층(33) 및 상기 N형 반도체층(31)과 P형 반도체층(33) 사이에 개재된 활성층(32)을 포함한다. Referring to FIG. 3, light emitting cells 200 spaced apart from each other are disposed on a substrate 100. Each of the light emitting cells 200 includes an N-type semiconductor layer 31, a P-type semiconductor layer 33 and an N-type semiconductor layer 31 positioned on a portion of the N-type semiconductor layer 31. An active layer 32 is interposed between the P-type semiconductor layers 33.

여기서, 상기 N형 반도체층(31)은 제1 전극(50a)의 역할을 한다. 한편, 상기 P형 반도체층(33) 상에 제2 전극(50b)이 형성된다. 상기 제2 전극(50b)은 광이 투과할 수 있는 투명전극층(40)일 수 있다. Here, the N-type semiconductor layer 31 serves as the first electrode 50a. On the other hand, the second electrode 50b is formed on the P-type semiconductor layer 33. The second electrode 50b may be a transparent electrode layer 40 through which light can pass.

상기 발광셀들(200)은 상기 기판(100) 상에 각 반도체층들(30) 및 투명전극층(40)을 형성한 후, 사진 및 식각 공정을 사용하여 패터닝하여 형성할 수 있다. The light emitting cells 200 may be formed by forming each of the semiconductor layers 30 and the transparent electrode layer 40 on the substrate 100 and then patterning the same using a photolithography and an etching process.

상기 N형 반도체층(31)의 일 영역 상에 전극패드(60a)가 형성될 수 있으며, 상기 제2 전극(40) 상에 전극패드(60b)가 형성될 수 있다. 상기 전극패드들(60a, 60b)은 리프트-오프(lift-off)법을 사용하여 원하는 위치에 형성될 수 있다. An electrode pad 60a may be formed on one region of the N-type semiconductor layer 31, and an electrode pad 60b may be formed on the second electrode 40. The electrode pads 60a and 60b may be formed at a desired position by using a lift-off method.

상기 금속배선들(400)은 에어브리지(air-bridge) 공정 또는 스텝커버(step- cover) 공정을 사용하여 함께 형성될 수 있다. The metal wires 400 may be formed together using an air-bridge process or a step-cover process.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 발광 다이오드를 설명하기 위해 도 2의 절취선 B-B`를 따라 취해진 부분단면도이다. 4 is a partial cross-sectional view taken along the line B-B ′ of FIG. 2 to illustrate a light emitting diode according to an embodiment of the present invention.

도 4를 참조하면, 기판(100) 상에 서로 이격된 발광셀들(200)이 위치하며 상기 발광셀들(200) 사이에 광가이드부(500)가 위치한다. Referring to FIG. 4, light emitting cells 200 spaced apart from each other are positioned on a substrate 100, and an optical guide part 500 is positioned between the light emitting cells 200.

상기 발광셀들(200)은 상기 도 3에 도시된 발광셀들(200)과 동일한 구성을 가진다. The light emitting cells 200 have the same configuration as the light emitting cells 200 shown in FIG. 3.

상기 광가이드부(500)는 상기 반도체층들(30) 및 투명전극층(40)을 형성한 후에 상기 기판(100)이 드러나도록 중앙 부분을 식각하여 내주부(520)를 갖는 홈부(530)를 형성한다. 상기 광가이드부(500)는 도 5a에 도시된 바와 같이 내주부(520)가 기판(100)에 대해 경사를 가지도록 식각되거나 도 5b에 도시된 바와 같이 기판(100)에 대해 수직이 되도록 식각될 수 있다. 상기 광가이드부(500)는 인접한 발광셀들(200)에서 발광된 빛들을 외주부(510)를 통해 수집하여 소정의 방향, 예를 들어 상기 기판(100)에 대해 수직 방향으로 출사되도록 가이드(guide)하는 역할을 수행한다. After forming the semiconductor layers 30 and the transparent electrode layer 40, the optical guide part 500 etches the center part to expose the substrate 100 so as to form the groove part 530 having the inner circumferential part 520. Form. The light guide part 500 may be etched such that the inner circumferential part 520 is inclined with respect to the substrate 100 as shown in FIG. 5A or perpendicular to the substrate 100 as shown in FIG. 5B. Can be. The light guide part 500 collects the light emitted from adjacent light emitting cells 200 through the outer circumferential part 510 and emits the light in a predetermined direction, for example, perpendicular to the substrate 100. It plays a role.

상기 발광셀들(200)을 행과 열, 예를 들어 2차원 정방형으로 배치하는 경우, 상기 광가이드부(500) 없이 상기 발광셀들(200)만이 배치되면 상기 발광셀들(200)에서 출사된 빛 중 상기 기판(100)에 대해 수평 방향으로 진행하는 빛들은 인접한 발광셀들(200)을 거침에 따라 그 휘도가 감소하여 상기 발광 다이오드(1)의 전체적인 발광효율이 저하된다. 이에 따라, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 광가 이드부(500)를 일정 간격으로 배치하여 상기 광가이드부(500)에 인접한 발광셀들(200)로부터 수평방향으로 입사된 빛들을 수집하고 수직방향으로 출사시키도록 하여 상기 발광 다이오드(1)의 발광 효율을 향상시킨다. When arranging the light emitting cells 200 in rows and columns, for example, a two-dimensional square, when only the light emitting cells 200 are disposed without the light guide part 500, the light emitting cells 200 are emitted from the light emitting cells 200. Among the lights, the light traveling in the horizontal direction with respect to the substrate 100 passes through adjacent light emitting cells 200, and the luminance thereof decreases, thereby lowering the overall luminous efficiency of the light emitting diode 1. Accordingly, as shown in FIGS. 1 and 2, the light guide unit 500 is disposed at a predetermined interval to emit light incident from the light emitting cells 200 adjacent to the light guide unit 500 in a horizontal direction. The light emitting efficiency of the light emitting diode 1 is improved by collecting and emitting the light in the vertical direction.

또한, 상기 광가이드부(500)에는 상기 광가이부(500)의 광투과율을 높이기 위한 광반사 방지 물질을 코팅하여 광반사 방지층(70)이 형성될 수 있다. 상기 광반사 방지층의 두께는 바람직하게는 λ/4n이다. 여기서, λ는 상기 인접한 발광셀로부터 입사되는 빛의 파장길이, n은 상기 광반사 방지 물질의 굴절율이다. 상기 광반사 방지 물질은 바람직하게는 굴절율이 1.3 내지 1.7인 물질로서, 예를 들어 SiO2, Al2O3 또는 Si3N4일 수 있다. 상기 광반사 방지층(70)은 상기 광반사 물질을 상기 광가이드부(500) 위에 스퍼터링(sputtering)하여 형성할 수 있다. In addition, the light reflection prevention layer 70 may be formed on the light guide part 500 by coating a light reflection prevention material for increasing the light transmittance of the light guide part 500. The thickness of the light reflection prevention layer is preferably λ / 4n. Is the wavelength of light incident from the adjacent light emitting cells, and n is the refractive index of the light reflection preventing material. The anti-reflective material is preferably a material having a refractive index of 1.3 to 1.7, and may be, for example, SiO 2 , Al 2 O 3, or Si 3 N 4 . The light reflection prevention layer 70 may be formed by sputtering the light reflection material on the light guide part 500.

이하, 본 실시예들에 따른 발광 다이오드 제조방법을 상세히 설명한다. Hereinafter, a light emitting diode manufacturing method according to the present embodiments will be described in detail.

도 6 내지 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 발광 다이오드 제조방법을 설명하기 위한 단면도들이다. 6 to 9 are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a light emitting diode according to an embodiment of the present invention.

도 6을 참조하면, 기판(100) 상에 버퍼층(20)을 형성하고, 상기 버퍼층(20) 상에 N형 반도체층(31), 활성층(32), P형 반도체층(33) 및 투명전극층(40)을 차례로 형성한다. Referring to FIG. 6, a buffer layer 20 is formed on a substrate 100, and an N-type semiconductor layer 31, an active layer 32, a P-type semiconductor layer 33, and a transparent electrode layer are formed on the buffer layer 20. 40 are formed in sequence.

상기 버퍼층(20) 및 반도체층들(30)은 금속유기 화학 기상증착(MOCVD), 분자선 성장(MBE) 또는 기상 성장(HVPE) 방법 등을 사용하여 형성될 수 있다. 또한, 상기 반도체층들(30)은 동일한 공정 챔버에서 연속적으로 형성될 수 있다. 상기 버퍼 층(20)은 AlN 또는 반절연 GaN층과 같은 절연성 물질막으로 형성될 수 있으나, 경우에 따라 도전성 물질막, 예컨대 N형 GaN층으로 형성될 수 있다. The buffer layer 20 and the semiconductor layers 30 may be formed using metal organic chemical vapor deposition (MOCVD), molecular beam growth (MBE) or vapor phase growth (HVPE). In addition, the semiconductor layers 30 may be continuously formed in the same process chamber. The buffer layer 20 may be formed of an insulating material film, such as an AlN or semi-insulating GaN layer, but may be formed of a conductive material film, for example, an N-type GaN layer.

상기 투명전극층(40)은 Ni/Au 또는 인티움틴산화막(ITO)로 형성된 투명전극층일 수 있다. The transparent electrode layer 40 may be a transparent electrode layer formed of Ni / Au or indium tin oxide (ITO).

도 7을 참조하면, 상기 투명전극층(40)이 형성된 후, 사진 및 식각 공정을 사용하여 상기 반도체층들(30) 및 투명전극층(40)을 패터닝하여 서로 이격되어 행렬로 배치된 반도체 패턴들(200, 500)을 형성한다. Referring to FIG. 7, after the transparent electrode layer 40 is formed, the semiconductor patterns 30 are spaced apart from each other by patterning the semiconductor layers 30 and the transparent electrode layer 40 by using a photolithography and etching process. 200, 500).

도 8을 참조하면, 상기 반도체 패턴들(200,500)이 형성된 후, 상기 반도체 패턴들 중 발광셀들(200)로 제작할 반도체 패턴들을 사진 및 식각 공정을 사용하여 상기 P형 반도체층(33) 및 활성층(32)을 패터닝하여 상기 N형 반도체층(31) 상부의 일부 영역이 노출되도록 한다. Referring to FIG. 8, after the semiconductor patterns 200 and 500 are formed, the P-type semiconductor layer 33 and the active layer of the semiconductor patterns to be made of the light emitting cells 200 are photographed and etched using a photolithography process. The 32 is patterned to expose a portion of the upper portion of the N-type semiconductor layer 31.

그 후, 상기 반도체 패턴들 중 광가이부(500)로 제작할 반도체 패턴들에 패터닝을 수행하여 인접한 상기 발광셀들(200)로터 빛들이 입사되는 외주부와 상기 입사된 빛을 소정의 방향으로 출사하도록 가이드하는 내주부를 갖는 광가이드부(500)를 형성한다. Thereafter, patterning is performed on semiconductor patterns to be manufactured by the light guide part 500 of the semiconductor patterns so that the light emits the outer circumferential part of the light emitting cells 200 and the incident light is emitted in a predetermined direction. An optical guide part 500 having an inner circumference to guide is formed.

그 후, 상기 노출된 N형 반도체층(31) 상에 전극패드(60a)를 형성한다. 상기 전극패드(60a)는 리프트 오프(lift-off)법을 사용하여 형성될 수 있다. 그 후, 인접한 발광셀의 전극패드(60b)와 전극패드(60a)를 금속배선들(400)로 연결한다. 상기 금속배선들(400)은 에어 브리지(air bridge) 또는 스텝 커버(step cover) 공정 등을 통해 형성될 수 있다. Thereafter, an electrode pad 60a is formed on the exposed N-type semiconductor layer 31. The electrode pad 60a may be formed using a lift-off method. Thereafter, the electrode pad 60b and the electrode pad 60a of the adjacent light emitting cell are connected to the metal wires 400. The metal wires 400 may be formed through an air bridge or step cover process.

도 9를 참조하면, 상기 광가이드부(500)가 형성된 후, 상기 광가이드부(500)에 입사된 빛의 광투과율을 높이기 위해 상기 광가이드부(500) 위에 광반사 방지 물질을 스퍼터링(sputtering)하여 상기 외주부를 제외한 광가이드부 표면을 덮는 광반사 방지층(70)을 형성한다. 상기 광반사 방지 물질은 SiO2, Al2O3 또는 Si3N4일 수 있으며, 상기 광반사 방지층(70)의 두께는 λ/4n일 수 있다. 여기서, λ는 상기 인접한 발광셀(200)로부터 입사되는 빛의 파장길이, n은 상기 광반사 방지 물질의 굴절율을 의미한다. Referring to FIG. 9, after the light guide part 500 is formed, sputtering a light reflection preventing material on the light guide part 500 to increase the light transmittance of light incident on the light guide part 500. ) To form a light reflection prevention layer 70 covering the surface of the light guide portion except for the outer circumferential portion. The anti-reflective material may be SiO 2 , Al 2 O 3, or Si 3 N 4 , and the thickness of the anti-reflective layer 70 may be λ / 4n. Here, λ denotes the wavelength of light incident from the adjacent light emitting cell 200, and n denotes the refractive index of the light reflection preventing material.

본 발명을 설명함에 있어서, 상기 광가이드부(500)를 상기 투명전극층(40)이 형성된 후에 형성하는 것으로 설명했으나 상기 반도체층들(30)을 형성한 후에 상기 광가이드부(500)를 형성할 수도 있음은 물론이다. In the present invention, the optical guide part 500 is described as being formed after the transparent electrode layer 40 is formed. However, the optical guide part 500 may be formed after the semiconductor layers 30 are formed. Of course you can.

이상의 본 발명은 상기에 기술된 실시예들에 의해 한정되지 않고, 당업자들에 의해 다양한 변형 및 변경을 가져올 수 있으며, 이는 첨부된 청구항에서 정의되는 본 발명의 취지와 범위에 포함된다.The present invention is not limited to the embodiments described above, and various modifications and changes can be made by those skilled in the art, which are included in the spirit and scope of the present invention as defined in the appended claims.

상기와 같은 본 발명에 따르면 발광된 빛 중 기판에 대해 수평방향으로 진행하는 빛들을 모아 외부로 방출시키는 광가이드부를 구비하여 발광효율이 개선된 발광 다이오드를 제공할 수 있는 효과가 있다.According to the present invention as described above has an effect of providing a light emitting diode having improved luminous efficiency by having a light guide unit for collecting the light traveling in a horizontal direction with respect to the substrate of the emitted light to the outside.

또한, 상기와 같은 본 발명에 따르면 광가이드부가 규칙적이고 효과적으로 배열된 발광 다이오드를 제공할 수 있는 효과도 있다.In addition, according to the present invention as described above there is an effect that can provide a light emitting diode in which the light guide portion is regularly and effectively arranged.

또한, 상기와 같은 본 발명에 따르면 상기 발광 다이오드를 제조하는 방법을 제공할 수 있는 효과도 있다.In addition, according to the present invention as described above there is an effect that can provide a method for manufacturing the light emitting diode.

Claims (14)

제1 및 제2 본딩패드 사이에 행렬로 배치된 발광셀들을 포함하는 발광 다이오드에 있어서, A light emitting diode comprising light emitting cells arranged in a matrix between first and second bonding pads. 상기 발광셀들을 상면에 갖는 기판; A substrate having the light emitting cells on an upper surface thereof; 상기 기판 위에 형성되고, 외주부를 통해 인접한 상기 발광셀들로터 입사된 빛들을 수집하여 내주부를 통해 상기 수집된 빛을 소정의 방향으로 출사하도록 가이드하는 광가이드부; An optical guide unit formed on the substrate and configured to collect light incident from the light emitting cells adjacent through the outer circumferential part and to emit the collected light in a predetermined direction through the inner circumferential part; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 광가이드부를 갖는 발광 다이오드.Light-emitting diode having a light guide portion comprising a. 청구항 1에 있어서, 상기 광가이드부는 N형 반도체층, 상기 N형 반도체층의 일부 영역 위에 형성된 활성층, 상기 활성층 위에 형성된 P형 반도체층 및 상기 P형 반도체층 위에 형성된 전극층을 포함하고 상면 중앙부에 상기 내주부를 갖는 홈부가 형성된 것임을 특징으로 하는 광가이드부를 갖는 발광 다이오드.The semiconductor device of claim 1, wherein the light guide part comprises an N-type semiconductor layer, an active layer formed on a portion of the N-type semiconductor layer, a P-type semiconductor layer formed on the active layer, and an electrode layer formed on the P-type semiconductor layer. A light emitting diode having a light guide portion, characterized in that the groove portion having an inner peripheral portion is formed. 청구항 1에 있어서, 상기 내주부는 상기 기판에 대해 소정의 각도로 기울어지게 형성된 것임을 특징으로 하는 광가이드부를 갖는 발광 다이오드.The light emitting diode of claim 1, wherein the inner circumferential portion is formed to be inclined at a predetermined angle with respect to the substrate. 청구항 1에 있어서, 상기 내주부는 상기 기판에 대해 수직 방향으로 형성된 것임을 특징으로 하는 광가이드부를 갖는 발광 다이오드.The light emitting diode of claim 1, wherein the inner circumferential portion is formed in a direction perpendicular to the substrate. 청구항 1에 있어서, 상기 입사된 빛의 광투과율을 높이기 위해 상기 외주부를 제외한 광가이드부 표면을 덮는 광반사 방지층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광가이드부를 갖는 발광 다이오드.The light emitting diode of claim 1, further comprising a light reflection prevention layer covering a surface of the light guide part except the outer circumference to increase the light transmittance of the incident light. 청구항 5에 있어서, 상기 광반사 방지층은 λ/4n의 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 광가이드부를 갖는 발광 다이오드.The light emitting diode of claim 5, wherein the light reflection prevention layer has a thickness of? / 4n. (여기서, λ는 상기 인접한 발광셀로부터 입사되는 빛의 파장길이, n은 상기 광반사 방지 물질의 굴절율)(Λ is the wavelength of light incident from the adjacent light emitting cell, n is the refractive index of the light reflection preventing material) 청구항 5에 있어서, 상기 광반사 방지층은 SiO2, Al2O3 또는 Si3N4 중 어느 하나로 이루어진 것을 특징으로 하는 광가이드부를 갖는 발광 다이오드.The light emitting diode of claim 5, wherein the light reflection prevention layer is made of any one of SiO 2 , Al 2 O 3, or Si 3 N 4 . 기판을 준비하고, Prepare the substrate, 상기 기판 상에 버퍼층, N형 반도체층, 활성층 및 P형 반도체층을 포함하는 반도체층들 및 상기 반도체층들 상에 위치하는 전극층을 형성하고, Forming semiconductor layers including a buffer layer, an N-type semiconductor layer, an active layer, and a P-type semiconductor layer on the substrate, and electrode layers positioned on the semiconductor layers, 상기 반도체층들 및 상기 전극층을 패터닝하여 서로 이격되어 행렬로 배치된 반도체 패턴을 형성하고, Patterning the semiconductor layers and the electrode layers to form semiconductor patterns spaced apart from each other and arranged in a matrix; 상기 반도체 패턴 중 일부에 패터닝을 수행하여 복수의 발광셀들을 형성하고 상기 발광셀들을 전기적으로 연결하는 금속배선들을 형성하고, Patterning a portion of the semiconductor pattern to form a plurality of light emitting cells and forming metal wires electrically connecting the light emitting cells; 상기 반도체 패턴에 패터닝을 수행하여 인접한 상기 발광셀들로터 빛들이 입사되는 외주부와 상기 입사된 빛을 소정의 방향으로 출사하도록 가이드하는 내주부를 갖는 광가이드부를 형성하는 것을 특징으로 하는 광가이드부를 갖는 발광 다이오드 제조 방법.Patterning the semiconductor pattern to form an optical guide having an outer circumferential portion to which light is incident from adjacent light emitting cells and an inner circumferential portion to guide the incident light in a predetermined direction; Method of manufacturing light emitting diodes. 청구항 8에 있어서, 상기 광가이드부는 N형 반도체층, 상기 N형 반도체층의 일부 영역 위에 형성된 활성층, 상기 활성층 위에 형성된 P형 반도체층 및 상기 P형 반도체층 위에 형성된 전극층을 포함하고 상면 중앙부에 상기 내주부를 갖는 홈부가 형성된 것임을 특징으로 하는 광가이드부를 갖는 발광 다이오드 제조 방법.The semiconductor device of claim 8, wherein the light guide part comprises an N-type semiconductor layer, an active layer formed on a portion of the N-type semiconductor layer, a P-type semiconductor layer formed on the active layer, and an electrode layer formed on the P-type semiconductor layer. A light emitting diode manufacturing method having a light guide portion, characterized in that a groove portion having an inner circumference is formed. 청구항 8에 있어서, 상기 내주부는 상기 기판에 대해 소정의 각도로 기울어지게 형성된 것임을 특징으로 하는 광가이드부를 갖는 발광 다이오드 제조 방법.The method of claim 8, wherein the inner circumferential portion is formed to be inclined at a predetermined angle with respect to the substrate. 청구항 8에 있어서, 상기 내주부는 상기 기판에 대해 수직 방향으로 형성된 것임을 특징으로 하는 광가이드부를 갖는 발광 다이오드 제조 방법.The method of claim 8, wherein the inner circumferential portion is formed in a direction perpendicular to the substrate. 청구항 8에 있어서, 상기 입사된 빛의 광투과율을 높이기 위해 상기 외주부를 제외한 광가이드부 표면을 덮는 광반사 방지층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광가이드부를 갖는 발광 다이오드 제조 방법.The light emitting diode manufacturing method of claim 8, further comprising a light reflection prevention layer covering a surface of the light guide part except the outer circumference to increase the light transmittance of the incident light. 청구항 12에 있어서, 상기 광반사 방지층은 λ/4n의 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 광가이드부를 갖는 발광 다이오드 제조 방법.The method of claim 12, wherein the light reflection prevention layer has a thickness of λ / 4n. (여기서, λ는 상기 인접한 발광셀로부터 입사되는 빛의 파장길이, n은 상기 광반사 방지 물질의 굴절율)(Λ is the wavelength of light incident from the adjacent light emitting cell, n is the refractive index of the light reflection preventing material) 청구항 12에 있어서, 상기 광반사 방지층은 SiO2, Al2O3 또는 Si3N4 중 어느 하나로 이루어진 것을 특징으로 하는 광가이드부를 갖는 발광 다이오드 제조 방법.The method of claim 12, wherein the anti-reflective layer is formed of any one of SiO 2 , Al 2 O 3, or Si 3 N 4 .
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