KR100617984B1

KR100617984B1 - 진공세척 건조장치

Info

Publication number: KR100617984B1
Application number: KR1020060031819A
Authority: KR
Inventors: 김상범
Original assignee: (주)진공플랜트
Priority date: 2006-04-07
Filing date: 2006-04-07
Publication date: 2006-09-01
Anticipated expiration: 2026-04-07

Abstract

본 발명은 진공세척건조 장치에 관한 것으로서, 세척 및 건조작업을 수행하는 세척건조실; 저장된 준세척액을 상기 세척건조실에 공급하고 그리고 상기 세척건조실로부터 세척을 수행한 준세척액을 회수하는 준세척액저장실; 저장된 신세척액을 상기 세척건조실에 공급하고 그리고 상기 신세척액을 상기 준세척액저장실에 공급하는 신세척액탱크; 상기 준세척액저장실로부터 공급받은 준세척액을 진공증발에 의해 재생처리하여, 그 재생된 증기를 상기 세척건조실에 공급하고, 상기 재생된 증기를 상기 신세척액탱크에 공급하고, 그리고 상기 준세척액저장실에 구비된 가열장치에 상기 재생증기를 공급한 다음 가열을 수행한 상기 재생증기를 상기 신세척액탱크에 공급하는 준세척액진공증발기; 그리고 흡입측이 상기 준세척액저장실 및 상기 세척건조실과 유통되어 있고, 배출측이 상기 신세척액탱크와 유통되어 있는 제2진공유닛을 포함하고 있는 것으로 되어 있다.

준세척액증발기, 세척건조실, 준세척액저장실, 신세척액탱크

Description

진공세척 건조장치{vacuum washing and drying apparatus}

도 1은 본 실시예의 진공세척건조장치의 설명도.

본 발명은 기계부품이나 전기 전자부품 또는 광학부품 등 여러 산업분야에 걸쳐 사용되는 각종 부품을 세척 및 건조하기 위해 사용되는 진공세척 건조장치에 관한 것이다.

통상 열처리를 필요로 하는 부품들은 열처리 시작 전에 세척을 하여 부품 표면의 이물질을 제거한 다음 표면에 남아있는 수분까지 건조시킨 후 열처리를 행하게 된다. 종래에는 기공이 많거나 형상이 복잡한 부품 등을 세척한 후 건조하는 과정에서 세척 및 건조가 확실하게 이루어지지 않는 문제점이 있었다.

이러한 문제점들을 해결하기 위한 진공세척건조장치가 본 발명자에 의해 실용등록 제20-0331888호에 개시되어 있다.

이와 같은 진공세척건조장치는 내부에 부품을 수용시켜 세척 및 건조작업을 수행하기 위한 세척건조실 유닛; 상기 세척 건조실 유닛과 세척액 재생장치 사이를 연결하여 세척제를 순환시키기 위한 세척제 순환 유닛; 그리고 상기 세척 건조실 유닛의 내부를 진공상태로 만들고 유지하기 위한 진공 유닛;으로 이루어져 있다.

이와 같이 구성된 종래의 진공세척 건조장치는 세척에서 건조까지의 전체 공정을 진공상태에서 처리함에 따라 부품인 세척물의 형상에 관계없이 완벽한 세척 및 건조를 행할 수 있다.

이러한 종래의 진공세척건조장치는, 세척액 저장실의 세척액을 세척라인을 통하여 상기 세척 건조실로 소량 공급하여 분무하는 1차세척단계에서 사용된 고농도로 오염된 1차 세척액을 폐액공급통에 배출시키고, 세척액 저장실의 세척액을 상기 세척라인을 통하여 상기 세척 건조실로 다량 공급하여 부품을 침적시키는 2차세척단계에서 다량으로 사용된 중농도로 오염된 2차 세척액도 상기 폐액공급통에 배출시키는 시스템으로 되어 있어서, 폐액공급통에서 폐액을 공급받아 폐액을 증발처리하여 농축액과 순수세척액으로 분리하는 세척액 재생장치에 과부하를 일으킨다고 하는 문제점이 있다.

또한, 종래의 진공세척건조장치는, 증기세척을 수행할 수 없게 되어, 보다 확실하게 세척물을 세척할 수 없다고 하는 문제점이 있다.

또한, 종래의 진공세척건조장치의 상기 세척액 재생기는 계속적으로 폐세척액을 증액분리하게 되면, 재생기(증발기)의 내부에 증발하지 않은 농축액이 많이 축적되게 됨과 동시에, 증발기 내부 액체온도가 상승되게 된다. 이 때, 종래의 진공세척건조장치는, 증발기 내부에 증액분리되어 축적된 농축액을 슬러지로 만들어서, 시스템 밖으로 배출되게 하기 위해, 폐액회수라인을 차단하고, 소정시간 동안 상기 축적된 농축액을 더 농축하게 되는 데, 이 때, 종래의 진공세척건조장치는 원 래의 기능인 증액분리에 있어서, 저효율적이다. 그 이유는 종래의 진공세척건조장치의 세척액 재생기가 농도가 높은 폐액세척액을 대상으로 증기와 농축액으로 분리하게 되어, 그 높은 농도만큼 증기의 발생율이 작기 때문이다. 증기의 발생율이 작다는 것은 그만큼 진공세척건조장치가 에너지원을 효율적으로 활용하지 못한다는 결론에 이르게 되므로, 종래의 진공세척건조장치는 저효율적으로 에너지원을 활용한다는 점에서 문제점이 있다.

이러한 문제점들을 해결하기 위한 진공세척건조장치가 본 발명자에 의해 출원된 등록특허 제10-0518934호에 개시되어 있다.

이와 같은 진공세척건조장치는 세척 건조실에 공급되는 1차세척액을 폐액공급통에 진공상태에서 이송시키고 세척 건조실에 공급되는 2차세척액을 세척액 저장실에 진공상태에서 이송시키는 것을 별도의 진공펌프를 구비함 없이 가능하게 하고, 세척액을 재생하기 위한 세척액증발기에서 발생되는 증기를 이용하여 세척물에 대한 증기세척을 수행하는 것을 가능하게 함과 동시에, 세척액 재생장치의 증기발생율을 저하시킴 없이 증발기에서 슬러지를 배출시키는 것을 가능하게 하였다.

하지만, 상기 등록특허에 개시된 진공세척건조장치는 많은 부품(세척물)들을 진공세척건조하기에 적합화되어 있어서, 그 진공세척건조를 이루기 위한 구성요소들의 수가 많아 제조비용이 고가이고, 그리고 세척액증발기에서 발생되는 증기를 세척에만 사용하고 그 증기의 열을 외부로 배출시키고 있어서, 에너지관리 관점에서 비효율적이며, 더욱이 유지보수에도 큰 비용이 든다고 하는 문제점이 있다.

본 발명은 상기된 문제점들을 해결하고자 안출된 것으로서, 소량의 부품들을 진공세척건조하기에 적합화되어 있고, 진공세척건조를 이루기 위한 구성요소들의 수가 종래에 비하여 줄어들고 에너지효율이 향상된 진공세척건조장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은 상기 목적을 달성하기 위해, 세척 및 건조작업을 수행하는 세척건조실; 저장된 준세척액을 상기 세척건조실에 공급하고 그리고 상기 세척건조실로부터 세척을 수행한 준세척액을 회수하는 준세척액저장실; 저장된 신세척액을 상기 세척건조실에 공급하고 그리고 상기 신세척액을 상기 준세척액저장실에 공급하는 신세척액탱크; 상기 준세척액저장실로부터 공급받은 준세척액을 진공증발에 의해 재생처리하여, 그 재생된 증기를 상기 세척건조실에 공급하고, 상기 재생된 증기를 상기 신세척액탱크에 공급하고, 그리고 상기 준세척액저장실에 구비된 가열장치에 상기 재생증기를 공급한 다음 가열을 수행한 상기 재생증기를 상기 신세척액탱크에 공급하는 준세척액진공증발기; 그리고 흡입측이 상기 준세척액저장실 및 상기 세척건조실과 유통되어 있고, 배출측이 상기 신세척액탱크와 유통되어 있는 제2진공유닛을 포함하고 있는 것으로 되어 있다.

이하, 본 발명에 따른 진공세척건조장치의 실시예를 도 1을 참조하여 설명하면 다음과 같다.

본 실시예의 진공세척건조장치는 내부에 부품을 수용시켜 세척 및 건조작업을 수행하는 세척건조실(111)를 포함하고 있다. 상기 세척건조실예는 부품에 대한 초음파세척을 수행하기 위해 초음파발진기가 구비되어 있다.

또한, 상기 진공세척건조장치는 상기 부품에 대하여 준세척액(세척을 수행한 세척액이 함유된 세척액)으로 세척하기 위해, 저장된 상기 준세척액을 액공급라인(L1)을 경유하여 상기 세척건조실(111)에 공급하고 그리고 상기 세척건조실(111)로부터 세척을 수행한 준세척액을 액회수라인(L2)을 경유하여 회수하는 준세척액저장실(112)을 포함하고 있다.

또한, 상기 진공세척건조장치는 상기 부품에 대하여 신세척액(세척을 수행하지 않은 세척액과 준세척액을 재생처리하여 얻어진 재생세척액이 함유된 세척액)으로 세척하기 위해, 저장된 상기 신세척액을 신액이송라인(L3)과 상기 액공급라인(L1)을 경유하여 상기 세척건조실(111)에 공급하고 그리고 상기 준세척액저장실(112)에 저장된 준세척액의 양을 보충하기 위해 상기 신액이송라인(L3), 액보충라인(L4) 및 상기 액회수라인(L2)을 경유하여 상기 신세척액을 상기 준세척액저장실(112)에 공급하는 신세척액탱크(122)를 포함하고 있다.

또한, 상기 진공세척건조장치는 상기 부품에 대하여 증기건조시키기 위해, 상기 준세척액저장실(112)로부터 여과라인(L5)을 경유하여 공급받은 준세척액을 진공증발에 의해 재생처리하여, 그 재생된 증기를 증기라인(L6), 상기 신액이송라인(L3), 및 액공급라인(L1)을 경유하여 상기 세척건조실(111)에 공급하고, 상기 신세척액탱크(122)에 저장된 신세척액의 양을 보충하기 위해 상기 재생된 증기를 상기 증기라인(L6), 도중에 콘덴서(133)가 구비된 재생액라인(L7), 및 제1진공유닛(150)을 경유하여 상기 신세척액탱크(122)에 공급하고, 그리고 상기 준세척액저 장실(112)의 준세척액을 가열하기 위해 상기 증기라인(L6)과 가열라인(L8)을 경유하여 상기 준세척액저장실(112)에 구비된 가열장치(112a)에 상기 재생증기를 공급한 다음 가열을 수행한 상기 재생증기를 가열회수라인(L9), 상기 재생액라인(L7) 및 상기 제1진공유닛(150)을 경유하여 상기 신세척액탱크(122)에 공급하는 준세척액진공증발기(121)를 포함하고 있다.

또한, 상기 진공세척건조장치는, 상기 준세척액저장실(112)의 내부를 진공상태로 만들고 유지하기 위해, 흡입측이 도중에 콘덴서(134)가 구비된 제1진공배기라인(L10)을 경유하여 상기 준세척액저장실(112)의 내부와 유통되어 있고, 상기 세척건조실(111)의 내부를 진공상태로 만들고 유지하기 위해, 흡입측이 상기 제2진공배기라인(L11)과 상기 제1진공배기라인(L10)을 경유하여 상기 세척건조실(111)과 유통되어 있고, 상기 준세척액진공증발기(121)의 내부를 진공상태로 만들고 유지하기 위해, 흡입측이 상기 증기라인(L6), 상기 신액이송라인(L3), 상기 액공급라인(L2), 세척건조실(111)의 내부, 상기 제2진공배기라인(L11)과 상기 제1진공배기라인(L10)을 경유하여 상기 준세척액진공증발기(121)와 유통되어 있고, 상기 세척건조실(111)내의 증기를 배출시키기 위해 흡입측이 상기 액회수라인(L2), 증기배출라인(L12) 및 상기 제1진공배기라인(L10)을 경유하여 상기 세척건조실(111)과 유통되어 있으며, 그리고 배출측이 상기 신세척액탱크(122)와 유통되어 제2진공유닛(160)을 포함하고 있다.

상기 제1진공유닛(150)은 이젝터(127)과 펌프(128)를 포함하고 있으며, 여기에서 상기 펌프(128)의 흡입측은 상기 신세척액탱크(122)에 접속되어 있고, 배출측 은 이젝터(127)에 접속되어 있으며, 그리고 상기 이젝터(127)의 흡입측은 상기 재생액라인(L7)과 접속되어 있고, 배출측은 상기 신세척액탱크(122)에 접속되어 있다.

이와 같이 구성된 상기 제1진공유닛(150)은 상기 펌프(128)에 의해 상기 신세척액탱크(122)에 저장된 신세척액을 이젝터(127)를 경유하여 다시 신세척액탱크(122)에 공급하여 신세척액을 순환시키면서, 이 신세척액의 순환유동에 의해 이젝터(127)가 베르누이정리에 근거하여 속도수두가 높아져 압력이 낮아지게 되고, 이에 의해 상기 이젝터(127)에 접속된 상기 재생액라인(L7)을 경유하여 재생액을 공급받아 신세척액탱크(122)에 공급한다.

또한, 상기 제2진공유닛(160)은 이젝터(137)과 펌프(131)를 포함하고 있으며, 여기에서 상기 펌프(131)의 흡입측은 상기 신세척액탱크(122)에 접속되어 있고, 배출측은 이젝터(137)에 접속되어 있으며, 그리고 상기 이젝터(137)의 흡입측은 상기 제1진공배기라인(L10)과 접속되어 있고, 배출측은 상기 신세척액탱크(122)에 접속되어 있다.

이와 같이 구성된 상기 제2진공유닛(160)은 상기 펌프(131)에 의해 상기 신세척액탱크(122)에 저장된 신세척액을 이젝터(137)를 경유하여 다시 신세척액탱크(122)에 공급하여 신세척액을 순환시키면서, 이 신세척액의 순환유동에 의해 이젝터(137)가 베르누이정리에 근거하여 속도수두가 높아져 압력이 낮아지게 되고, 이에 의해 상기 이젝터(137)에 접속된 상기 제1진공배기라인(L10)을 경유하여 공기, 증기 등을 공급받아 신세척액탱크(122)에 공급한다.

또한, 상기된 라인(L1 내지 L12)들은 도중에 밸브 등을 구비하고 있다. 이를 구체적으로 설명하면 다음과 같다.

상기 액공급라인(L1)은 일단이 세척건조실(111)에 접속되어 있고, 타단이 준세척액저장실(112)에 접속되어 있으며, 도중에 전자제어밸브(V5)를 구비하고 있어서, 선택적으로 상기 준세척액저장실(112)에 저장된 준세척액을 상기 세척건조실(111)에 공급한다.

상기 액회수라인(L2)은 일단이 세척건조실(111)에 접속되어 있고, 타단이 준세척액저장실(112)에 접속되어 있으며, 도중에 전자제어밸브(V7)와 제1여과통(141)을 구비하고 있어서, 선택적으로 상기 세척건조실(111)에서 세척을 수행하고 배출되는 세척액을 여과하여 준세척액저장실(112)에 공급한다.

상기 신액이송라인(L3)은 일단이 신세척액탱크(122)에 접속되어 있고, 타단이 전자제어밸브(V5)의 하류측인 액공급라인(L1)의 도중에 접속되어 있으며, 도중에 전자제어밸브(V8)를 구비하고 있어서, 선택적으로 상기 신세척액탱크(122)에 저장된 신세척액을 세척건조실(111)에 공급한다.

상기 액보충라인(L4)은 일단이 전자제어밸브(V7)의 하류측인 액회수라인(L2)의 도중에 접속되어 있고, 타단이 전자제어밸브(V8)의 상류측인 신액이송라인(L3)의 도중에 접속되어 있으며, 도중에 전자제어밸브(V12)를 구비하고 있어서, 선택적으로 신세척액탱크(122)에 저장된 신세척액을 준세척액저장실(112)에 공급한다.

상기 여과라인(L5)은 일단이 상기 준세척액저장실(112)에 접속되어 있고, 타단이 상기 준세척액진공증발기(121)에 접속되어 있으며, 도중에 제2여과통(142)과 전자제어밸브(V24)를 구비하고 있어서, 선택적으로 상기 준세척액저장실(112)에 저장된 준세척액을 여과하여 준세척액진공증발기(121)에 공급한다.

상기 증기라인(L6)은 일단이 상기 준세척진공증발기(121)에 접속되어 있고, 타단이 전자제어밸브(V8)의 하류측인 신액이송라인(L3)의 도중에 접속되어 있으며, 도중에 전자제어밸브(V10)를 구비하고 있어서, 선택적으로 준세척액진공증발기(121)에서 증발된 증기를 상기 세척건조실(111)에 공급한다.

상기 재생액라인(L7)은 일단이 상기 전자제어밸브(V10)의 상류측인 증기라인(L6)의 도중에 접속되고, 타단이 이젝터(127)에 접속되어 있으며, 도중에 전자제어밸브(V14) 및 콘덴서(133)를 구비하고 있어서, 선택적으로 상기 준세척진공증발기(121)에서 발생된 증기를 상기 콘덴서(133)에서 응축한 다음 상기 이젝터(127)를 경유하여 상기 신세척액탱크(122)에 공급한다.

상기 가열라인(L8)은 일단이 상기 전자제어밸브(V10)의 상류측인 증기라인(L6)의 도중에 접속되고, 타단이 준세척액저장실(112)에 구비된 상기 가열장치(112a)의 열매유입구에 접속되어 있으며, 도중에 전자제어밸브(V15)가 구비되어 있어서, 선택적으로 준세척액진공증발기(121)에서 발생된 증기를 상기 가열장치(112a)에 공급하여 준세척액저장실(112)에 저장된 준세척액을 가열한다.

상기 가열회수라인(L9)는 일단이 상기 가열장치(112a)의 열매유출구에 접속되, 타단이 전자제어밸브(V14)의 하류측이고 콘덴서(133)의 상류측인 재생액라인(L7)의 도중에 접속되어 있어서, 상기 가열장치(112a)에서 준세척액의 가열을 수행한 증기를 재생액라인(V7)을 경유하여 응축처리하여 신세척액으로서 신세척액탱 크(122)에 공급한다.

상기 제1진공배기라인(L10)은 일단이 준세척액저장실(112)에 접속되어 있고, 타단이 이젝터(137)에 접속되어 있으며, 도중에 전자제어밸브(V2), 콘덴서(134) 및 전자제어밸브(V24)를 유체흐름방향에서 순서적으로 구비하고 있어서, 선택적으로 상기 준세척액저장실(112)의 내부에 있는 공기를 빼내어 신세척액탱크(122)에 공급하여 상기 준세척액저장실(112)의 내부를 진공화시킨다.

상기 제2진공배기라인(L11)은 일단이 상기 세척건조실(111)에 접속되어 있고, 타단이 상기 전자제어밸브(V2)의 하류측이고 상기 콘덴서(134)의 상류측인 제1진공배기라인(L11)의 도중에 접속되어 있으며, 도중에 전자제어밸브(V1)를 구비하고 있어서, 선택적으로 상기 세척건조실(111)의 내부에 있는 공기를 빼내어 신세척액탱크(122)에 공급하여 상기 세척건조실(111)의 내부를 진공화시키고, 이에 더하여 상기 준세척액진공증발기(121)에 접속된 증기라인(L6)과도 신액이송라인(L3), 액공급라인(L1) 및 세척건조실(111)를 순차적으로 경유하여 선택적으로 유통하고 있어서, 상기 준세척액진공증발기(121)의 내부를 진공화시킨다.

상기 증기배출라인(L12)은 일단이 상기 액회수라인(L2)의 도중에 구비된 상기 제1여과통(141)에 접속되어 있고, 타단이 상기 전자제어밸브(V2)의 하류측이고 상기 콘덴서(134)의 상류측인 제1진공배기라인(L10)의 도중에 접속되어 있으며, 도중에 전자제어밸브(V9)를 구비하고 있어서, 선택적으로 세척건조실(111)에 공급되어 부품을 증기세척하여 배출되는 증기/응축액을 상기 제1여과통(141)통하여 여과처리한 후, 상기 제1진공배기라인(L10)을 경유하여 콘덴서(134)에 의해 응축시킨 후, 그 응축액을 신세척액탱크(122)에 공급한다.

또한, 상기 전자제어밸브(V1)의 상류측인 상기 제2진공배기라인(L11)의 도중에는 통기라인(L13)의 일단이 접속되어 있고 상기 통기라인(L13)의 도중에는 전자제어밸브(V3)가 구비되어 있어서, 선택적으로 외부의 공기나 질소를 상기 제2진공배기라인(L11)을 경유하여 상기 세척건조실(111)에 공급하여 상기 세척건조실(111)의 진공도를 낮춘다.

또한, 고진공배기라인(L14)은 상기 전자제어밸브(V24)와 상기 콘덴서(134) 사이에 배관된 상기 제1진공배기라인(L10)의 도중에 일단이 접속되어 있고 타단이 상기 전자제어밸브(V24)의 하류측인 제1진공배기라인(L10)의 도중에 접속되어 있으며, 도중에 부스터펌프(151)가 구비되어 있어서, 세척건조실(111)에 투입된 부품에 대한 증기세척에 이어진 건조공정시 부품에 붙어 있는 수분을 더 높은 진공도에서 증발시켜서 응축시킨 다음 신세척액탱크(122)에 공급한다.

상기 세척건조실(111)에는 레벨센서(LS3), 온도센서(T/C1), 및 진공센서(V/S1)가 구비되어 있고, 상기 준세척액진공증발기(121)에는 레벨센서(LS1)가 구비되어 있다.

또한, 준세척액저장실(112)에는 온도센서(T/C2) 및 진공센서(V/S2)가 구비되어 있고, 도중에 전자제어밸브(V4)가 구비되어 있는 통기라인(L15)이 접속되어 있다.

또한, 상기 신체척액탱크(122)에는 레벨센서(LS5)가 구비되어 있고, 내부가 외부와 유통되어 내부에 존재하는 공기나 질소가 외부로 배출될 수 있다.

본 발명은 상기와 같은 구성에 의해, 세척건조실에 투입된 부품에 대하여 종래와 같이 분사세척, 침적세척, 신세척액세척, 증기세척, 진공건조처리를 행하는 것이 가능하게 하면서도, 종래의 진공세척건조장치에 비해 구성요소들이 대폭적으로 감소된 진공세척건조장치를 제공할 수 있다.

특히, 종래의 진공세척건조장치는 세척건조실과 준세척액저장실의 내부를 가열하기 위한 전기히터 및 이에 관련된 배관을 구비하고 있었지만, 본 발명의 진공세척건조장치는 준세척액진공증발기에서 발생되는 폐열(증기)을 이용하여 세척건조실과 준세척액저장실의 내부를 가열하게 하여서, 에너지절감효율이 증대됨과 동시에 가열을 위한 부품수가 대폭적으로 감소될 수 있다.

또한, 종래의 진공세척건조장치는 세척관련 진공배기에 있어서 응축탱크가 구비되어 있으나 본 발명의 진공세척건조장치는 그 응축탱크를 배제시켰다.

또한, 본 발명의 진공세척건조장치는 준세척액진공증발기에서의 진공배기와 세척에 있어서의 진공배기가 하나의 신세척액탱크에서 수행되게 하여 배관구조가 단순화되고, 부품수도 줄게 되었다.

또한, 본 발명의 진공세척건조장치는 부품에 대한 진공건조시, 부스터펌프에 의해 세척건조실의 내부가 종래의 진공세척건조장치보다 높은 진공도를 유지할 수 있게 하여, 다양한 세척제가 적용될 수 있게 함과 동시에, 건조효율을 증대시킬 수 있다.

Claims

내부에 부품을 수용시켜 세척 및 건조작업을 수행하는 세척건조실(111);

저장된 준세척액을 액공급라인(L1)을 경유하여 상기 세척건조실(111)에 공급하고 그리고 상기 세척건조실(111)로부터 세척을 수행한 준세척액을 액회수라인(L2)을 경유하여 회수하는 준세척액저장실(112);

저장된 신세척액을 신액이송라인(L3)을 경유하여 상기 세척건조실(111)에 공급하고 그리고 상기 신액이송라인(L3)에 접속된 액보충라인(L4)을 경유하여 상기 신세척액을 상기 준세척액저장실(112)에 공급하는 신세척액탱크(122);

상기 준세척액저장실(112)로부터 여과라인(L5)을 경유하여 공급받은 준세척액을 진공증발에 의해 재생처리하여, 그 재생된 증기를 증기라인(L6)을 경유하여 상기 세척건조실(111)에 공급하고, 상기 재생된 증기를 상기 증기라인(L6)에 접속된 재생액라인(L7), 및 제1진공유닛(150)을 경유하여 상기 신세척액탱크(122)에 공급하고, 그리고 상기 증기라인(L6)에 접속된 가열라인(L8)을 경유하여 상기 준세척액저장실(112)에 구비된 가열장치(112a)에 상기 재생증기를 공급한 다음 가열을 수행한 상기 재생증기를 가열회수라인(L9)에 접속된 상기 재생액라인(L7)을 경유하여 상기 신세척액탱크(122)에 공급하는 준세척액진공증발기(121); 그리고

흡입측이 제1진공배기라인(L10)을 경유하여 상기 준세척액저장실(112)의 내부와 유통되어 있고, 제1진공배기라인(L10)에 접속된 상기 제2진공배기라인(L11)을 경유하여 상기 세척건조실(111)과 유통되어 있고, 상기 액회수라인(L2)에 일단이 접속되고 타단이 상기 제1진공배기라인(L10)에 접속된 증기배출라인(L12)을 경유하여 상기 세척건조실(111)과 유통되어 있으며, 그리고 배출측이 상기 신세척액탱크(122)와 유통되어 있는 제2진공유닛(160)을 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 진공세척건조장치.
제 1항에 있어서,

상기 제1진공유닛(150)은 이젝터(127)과 펌프(128)를 포함하고 있으며, 여기에서 상기 펌프(128)의 흡입측은 상기 신세척액탱크(122)에 접속되어 있고, 배출측은 이젝터(127)에 접속되어 있으며, 그리고 상기 이젝터(127)의 흡입측은 상기 재생액라인(L7)과 접속되어 있고, 배출측은 상기 신세척액탱크(122)에 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 진공세척건조장치.
제 1항에 있어서,

상기 제2진공유닛(160)은 이젝터(137)과 펌프(131)를 포함하고 있으며, 여기에서 상기 펌프(131)의 흡입측은 상기 신세척액탱크(122)에 접속되어 있고, 배출측은 이젝터(137)에 접속되어 있으며, 그리고 상기 이젝터(137)의 흡입측은 상기 제1진공배기라인(L10)과 접속되어 있고, 배출측은 상기 신세척액탱크(122)에 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 진공세척건조장치.
제 1항에 있어서,

상기 액공급라인(L1)은 일단이 세척건조실(111)에 접속되어 있고, 타단이 준세척액저장실(112)에 접속되어 있으며, 도중에 전자제어밸브(V5)를 구비하고 있고;

상기 액회수라인(L2)은 일단이 세척건조실(111)에 접속되어 있고, 타단이 준세척액저장실(112)에 접속되어 있으며, 도중에 전자제어밸브(V7)와 제1여과통(141)을 구비하고 있고;

상기 신액이송라인(L3)은 일단이 신세척액탱크(122)에 접속되어 있고, 타단이 전자제어밸브(V5)의 하류측인 액공급라인(L1)의 도중에 접속되어 있으며, 도중에 전자제어밸브(V8)를 구비하고 있고;

상기 액보충라인(L4)은 일단이 전자제어밸브(V7)의 하류측인 액회수라인(L2)의 도중에 접속되어 있고, 타단이 전자제어밸브(V8)의 상류측인 신액이송라인(L3)의 도중에 접속되어 있으며, 도중에 전자제어밸브(V12)를 구비하고 있고;

상기 여과라인(L5)은 일단이 상기 준세척액저장실(112)에 접속되어 있고, 타단이 상기 준세척액진공증발기(121)에 접속되어 있으며, 도중에 제2여과통(142)과 전자제어밸브(V24)를 구비하고 있고;

상기 증기라인(L6)은 일단이 상기 준세척진공증발기(121)에 접속되어 있고, 타단이 전자제어밸브(V8)의 하류측인 신액이송라인(L3)의 도중에 접속되어 있으며, 도중에 전자제어밸브(V10)를 구비하고 있고;

상기 재생액라인(L7)은 일단이 상기 전자제어밸브(V10)의 상류측인 증기라인(L6)의 도중에 접속되고, 타단이 이젝터(127)에 접속되어 있으며, 도중에 전자제어밸브(V14) 및 콘덴서(133)를 구비하고 있고;

상기 가열라인(L8)은 일단이 상기 전자제어밸브(V10)의 상류측인 증기라인(L6)의 도중에 접속되고, 타단이 준세척액저장실(112)에 구비된 상기 가열장치(112a)의 열매유입구에 접속되어 있으며, 도중에 전자제어밸브(V15)가 구비되어 있고;

상기 가열회수라인(L9)는 일단이 상기 가열장치(112a)의 열매유출구에 접속되, 타단이 전자제어밸브(V14)의 하류측이고 콘덴서(133)의 상류측인 재생액라인(L7)의 도중에 접속되어 있고;

상기 제1진공배기라인(L10)은 일단이 준세척액저장실(112)에 접속되어 있고, 타단이 이젝터(137)에 접속되어 있으며, 도중에 전자제어밸브(V2), 콘덴서(134) 및 전자제어밸브(V24)를 유체흐름방향에서 순서적으로 구비하고 있고;

상기 제2진공배기라인(L11)은 일단이 상기 세척건조실(111)에 접속되어 있고, 타단이 상기 전자제어밸브(V2)의 하류측이고 상기 콘덴서(134)의 상류측인 제1진공배기라인(L11)의 도중에 접속되어 있으며, 도중에 전자제어밸브(V1)를 구비하고 있고;

상기 증기배출라인(L12)은 일단이 상기 액회수라인(L2)의 도중에 구비된 상기 제1여과통(141)에 접속되어 있고, 타단이 상기 전자제어밸브(V2)의 하류측이고 상기 콘덴서(134)의 상류측인 제1진공배기라인(L10)의 도중에 접속되어 있으며, 도중에 전자제어밸브(V9)를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 진공세척건조장치.
제 4항에 있어서,

상기 전자제어밸브(V1)의 상류측인 상기 제2진공배기라인(L11)의 도중에는 통기라인(L13)의 일단이 접속되어 있고 상기 통기라인(113)의 도중에는 전자제어밸브(V3)가 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 진공세척건조장치.
제 4항에 있어서,

상기 전자제어밸브(V24)와 상기 콘덴서(134) 사이의 상기 제1진공배기라인(L10)의 도중에는 고진공배기라인(L14)의 일단이 접속되어 있고, 상기 전자제어밸브(V24)의 하류측인 제1진공배기라인(L10)의 도중에는 상기 고진공배기라인(L14)의 타단이 접속되어 있으며, 상기 고진공배기라인(L14)의 도중에는 부스터펌프(151)가 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 진공세척건조장치.
제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 세척건조실(111)에는 레벨센서(LS3), 온도센서(T/C1), 및 진공센서(V/S1)가 구비되어 있고,

상기 준세척액진공증발기(121)에는 레벨센서(LS1)가 구비되어 있고,

상기 준세척액저장실(112)에는 온도센서(T/C2) 및 진공센서(V/S2)가 구비되어 있고, 도중에 전자제어밸브(V4)가 구비되어 있는 통기라인(L15)이 접속되어 있고,

상기 신체척액탱크(122)에는 레벨센서(LS5)가 구비되어 있고, 내부가 외부와 유통되어 있는 것을 특징으로 하는 진공세척건조장치.