KR100599767B1

KR100599767B1 - 프로브및 이를 이용한 프로브조립체

Info

Publication number: KR100599767B1
Application number: KR1020040041522A
Authority: KR
Inventors: 안성권
Original assignee: (주)유비프리시젼
Priority date: 2004-06-07
Filing date: 2004-06-07
Publication date: 2006-07-13
Anticipated expiration: 2024-06-07
Also published as: KR20050116488A

Abstract

본 발명은 프로브및 이를 이용한 프로브조립체에 관한 것이다.

이는 특히, 소정의 폭과 길이를 갖는 니들플레이트(110)의 일단부 상측으로 제1접지단(130)이 돌출되고, 상기 니들플레이트(110)의 타단부 하측으로 제1접지단(130)과 상이한 높이를 갖는 제2접지단(150)이 돌출되며, 상기 제1,2접지단(130)(150)은, 니들플레이트(110)의 양단에 각각 형성되는 요홈부(140)(160)로서 탄성을 갖도록 설치되는 프로브에 있어서; 상기 요홈부(140)(160)에 경사면(140a)(160a)이 각각 형성되는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기와 같은 다수의 프로브 조립구조로 이루어진 프로브조립체를 제공하는 것을 특징으로 한다

이에 따라서, 프로브 조립체의 조립작업이 신속하게 이루어져 생산성이 향상됨은 물론 프로브조립체가 정확하게 정열되어 신뢰성을 향상시키도록 하는 것이다.

프로브, 접지단삽입홈, 슬롯, 지지플레이트, 가이드플레이트

Description

프로브및 이를 이용한 프로브조립체{a probe and an assembly body of probe with using the above probe}

도1은 종래의 프로브카드를 도시한 사시도및 요부 단면도,

도2a,b는 각각 종래의 가이드플레이트와 니들플레이트를 도시한 사시도,

도3은 본 발명에 따른 프로브를 도시한 사시도,

도4는 본 발명에 따른 프로브가 조립되어 형성되는 프로브조립체의 설치상태를 도시한 측면도,

도5및 도6은 각각 본 발명에 따른 프로브조립체의 분해 상태도및 결합상태 단면도,

도7a,b는 각각 본 발명의 다른 실시예에 따른 프로브조립체의 분해상태도 및 결합상태 단면도,

도8a,b는 각각 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 프로브조립체의 분해상태도 및 결합상태 단면도.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*

110...니들플레이트 140,160...요홈부

200...가이드플레이트 210...슬롯

230...접지단삽입홈 300...지지플레이트

330...필름

본 발명은 액정 표시 패널과 같은 평판 형상 피검사체의 검사에 이용하는 프로브및 이를 이용한 프로브조립체에 관한 것으로서, 프로브 조립체의 조립작업이 신속하게 이루어져 생산성이 향상됨은 물론 프로브 조립체가 정확하게 정열되어 신뢰성을 향상시키도록 하는 프로브 및 이를 이용한 프로브조립체에 관한 것이다.

일반적으로 소형 텔레비젼이나 노트북 컴퓨터와 같은 영상 표시장치로서 주로 사용되는 LCD(액정표시장치)는 가장자리 부분에 전기적 신호(영상신호, 동기신호, 색상신호 등)가 인가되도록 하는 수 십 내지 수 백개의 접속단자가 고밀도로 배치되며, 이러한 LCD는 제품에 장착되기 전에 시험신호를 인가하여 화면의 불량여부를 검사 및 시험하기 위하여 프로브블록이 준비된다.

이와같이 LCD를 검사하기 위한 종래의 프로브블록은, 니들이 와이어 형태로 구비되고, 이들 니들을 에폭지 수지에 의해 접합 고정되게 하는 구성으로 니들의 외경축소에 한계가 있어 최근에 고집적화되는 패턴 추세에 대응하지 못하는 문제가 있다.

즉, 니들이 장착되는 니들 홀더의 장착면은 한정되어 있는데 LCD가 고집적화 되면 단자의 수가 대단히 많아지면서 조밀하게 형성되므로 와이어 타입의 니들로서는 그에 적절한 수만큼을 배열시키기가 도저히 불가능하다.

이와같은 문제점들을 해결하기 위하여 공개특허공보 특2003-37279호에 엘시디 검사용 프로브 카드가 개시되어 있으며 그 구성은, 어셈블리 홀더(10)와;

상기 어셈블리 홀더(10)의 저면에 체결고정되는 기판 홀더(20)와 저부의 요입공간에 에폭시(31)가 충진되는 니들 홀더(30);

상기 기판 홀더(20)의 저면에 부착되며, 상부면에는 드라이브 IC가 부착되는 회로 기판(40)과;

상기 니들 홀더(30)의 저면에 접착되는 상부면으로는 상향 개방되게 하향 요입시킨 장공의 니들 삽입홈(51)이 일방향으로 균일하게 다수 형성되고, 니들 삽입홈(51)과 동일 수평선상의 양측의 외측단면에는 얼라인 홈(53)이 형성되며, 니들 삽입홈(51)의 선단부측 일단부는 하향 관통되게 구비되는 가이드 플레이트(50)와;

상기 가이드 플레이트(50)의 니들 삽입홈(51)에 하향 삽입되면서 양측은 상하로 휨변형이 가능하게 형성되고, 일측의 끝단부는 하향 연장되어 상기 가이드 플레이트(50)의 선단부에 하향 관통되게 형성한 가이드 홀(52)을 통해 상기 가이드 플레이트(50)의 저면보다 하향 돌출되게 LCD 접속단부(61)를 형성하며, 타측의 끝단부는 상기 가이드 플레이트(50)의 상면보다는 상측으로 돌출되도록 기판접속단부(62)를 형성하고, 상기 니들 홀더(30)의 후단부측 상부면에는 상기 니들 홀더(30)의 외측면에 밀착되도록 하는 걸림턱(63)이 상향 돌출되게 구비되며, 에폭시에 지지토록 상부에 연결팁(64)이 돌출되는 니들 플레이트(60)를 포함하는 구성으로 이루어 진다.

그러나, 상기와 같은 프로브 카드는, 니들삽입홈(51)의 가이드플레이트(50)에 소정의 간격으로 배치되어 그 집적도를 극대화 시킬수 없게 되고, 기판접속단부(62)가 소정의 탄성을 유지하기 위하여 길어져야함으로써 니들플레이트(60)의 전체적인 길이가 증가하게 되어 프로브의 특성을 저하시킬 염려가 있으며, 니들 삽입홈(51)을 갖는 가이드플레이트(50)의 형성이 힘들게 되고, 기판 홀더(20)와 니들 홀더(30)사이에 소정의 간극을 갖는 프로브 카드에만 적용이 가능하게 되는 문제점이 있는 것이다.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은, 프로브 조립체의 조립이 용이함은 물론 저렴한 비용으로 조립할수 있도록 하는 프로브를 제공하는데 있으며, 기존방식 보다 프로브의 길이가 확연히 줄일수 있도록 하고, 그 재료가 Be-Cu로 이루어져 저항을 최소화할 뿐 아니라 신호의 정확한 전달이 가능하도록 하는데 있다.

또한, 본 발명은 프로브 조립체의 조립작업이 신속하게 이루어져 생산성이 향상되도록 하고, 프로브의 첨단이 패널의 단자전극에 확실하게 접촉시킬 수 있도록 하며, 프로브 조립체의 프로브가 항상 정확한 위치에 위치하여 측정값이 항상 정확하게 되도록 하는 프로브 조립체를 제공하는데 있다.

상기 목적을 달성하기 위해, 소정의 높이를 갖는 니들플레이트의 일단부 상측에 제1접지단이 돌출되고 상기 니들플레이트의 타단부 하측에 접지단의 높이에 니들플레이트의 높이를 더한 높이와 대응되는 제2접지단이 돌출되며 상기 제1,2접지단은 니들플레이트에 형성되는 소정의 요홈부로서 탄성을 갖도록 하는 프로브를 제공한다.

또한 본 발명은, 프로브;

상기 프로브가 수용되도록 길이방향에 이격되어 복수의 슬롯이 형성되며, 상기 슬롯사이에 접지단삽입홈이 개지되는 가이드플레이트;및,

상기 프로브를 가이드플레이트에 지지하는 지지플레이트를 포함하는 구성으로 이루어진 프로브조립체를 제공한다.

이하, 첨부된 도면에 의거하여 본 발명의 실시예를 상세하게 설명하면 다음과 같다.

도3에서 도시한 바와같이 본 발명의 프로브(100)는, 소정의 폭와 길이를 갖는 니들플레이트(110)의 일단부 상측에 제1접지단(130)이 돌출되고, 상기 니들플레이트(110)의 타단부 하측에 제1접지단의 높이(h1)에 니들플레이트의 높이(h2)를 더한 높이와 동일한 높이를 갖도록 제2접지단(150)이 돌출된다.

상기 제1,2접지단(130)(150)은, 니들플레이트(110)의 양단에 각각 형성되는 소정의 요홈부(140)(160)로서 탄성을 갖도록 설치된다.

그리고, 상기 요홈부(140)(160)에 경사면(140a)(160a)이 각각 형성된다.

또한, 상기 제1,2접지단(130)(150)은, 그 단부가 호형상으로 형성되어 접촉시 단자의 손상을 방지토록 하고, 상부를 향하여 외측으로 경사지게 형성된다.

한편, 본 발명의 다른 실시예에 따른 프로브(100)는, 도7a에 도시한 바와같이, 소정의 폭와 길이를 갖는 니들플레이트(110)의 일단부 상측및 타단부 하측에 동일한 높이를 갖는 제1접지단(130)이 각각 돌출되도록 형성된다.

상기와 같은 구성을 같은 프로브의 작용을 설명하면 다음과 같다.

도3에서와 같이, 니들플레이트(110)의 양단에 각각 형성되는 소정의 요홈부(140)(160)에 의해 상기 제1,2접지단(130)(150)이 소정의 탄성을 유지토록 한다.

상기 요홈부(140)(160)에 각각 형성되는 경사면(140a)(160a)을 통하여 상기 제1,2접지단(130)(150)이 압입될때 그 이동량을 증가시켜 접지단이 접지되는 LCD및 PCB의 접지단 손상을 방지토록 한다.

그리고, 상기 제1,2접지단(130)(150)은, 그 단부가 호형상으로 형성되어 접촉시 단자의 손상을 방지토록 한다.

더하여, 상기 제1,2접지단(130)(150)이 상부를 향하여 외측으로 경사지게 형성됨으로써 가이드플레이트의 슬롯에 장착시 소정의 스트로크를 갖으면서 이동토록 된다.

또한, 상기 프로브는, 제1접지단의 높이(h1)에 니들플레이트의 높이(h2)를 더한 높이와 동일한 높이를 갖도록 제2접지단(150)이 돌출되는 구성으로 니들플레 이트의 조밀한 배열이 가능토록 되어 집적도를 향상시킬수 있게 되는 것이다.

한편, 본 발명의 프로브(100)는 도7a에 도시한 바와같이, 소정의 폭와 길이를 갖는 니들플레이트(110)의 일단부 상측및 타단부 하측에 동일한 높이를 갖는 제1접지단(130)이 각각 돌출되어 방향에 상관없이 용이하게 장착할수 있게 되는 것이다.

이하, 본 발명의 프로브를 이용한 프로브 조립체를 설명하면 다음과 같다.

도4 내지 도8에서와 같이 본 발명의 프로브조립체는, 프로브(100)와 가이드플레이트(200)및 지지플레이트(300)의 적층구조로 이루어 진다.

본 발명의 프로브조립체가 적용되는 어셈블리홀더(10)와 니들홀더(30)및 기판홀더(20)는 종래와 동일한 부호를 사용하여 설명하였습니다.

상기 프로브(100)는, 소정의 폭와 길이를 갖는 니들플레이트(110)의 일단부 상측에 제1접지단(130)이 돌출되고, 상기 니들플레이트(110)의 타단부 하측에 제1접지단의 높이(h1)에 니들플레이트의 높이( h2)를 더한 높이와 동일한 높이를 갖도록 제2접지단(150)이 돌출된다.

상기 가이드플레이트(200)는, 상기 프로브(100)의 폭보다 동일하거나 적은 높이를 갖도록 플레이트몸체(250)가 형성되며, 상기 프로브(100)가 수용되도록 길이방향에 이격되어 복수의 슬롯(210)이 상하로 관통 형성되며, 상기 슬롯(210)사이에 접지단삽입홈(230)이 개재된다.

그리고, 상기 슬롯(210)과 접지단삽입홈(230)이 관통형성되는 가이드플레이트(200)는 복수개가 교번적으로 적층된다.

더하여, 상기 가이드플레이트(200)는 도7a에서와 같이, 복수의 슬롯(210)이 연속하여 관통형성된다.

또한, 상기 가이드플레이트(200)는 도8a에서와 같이, 일방향으로 개구되는 슬롯(230)과 이에 연결되면서 타방향으로 개구되는 접지단삽입홈(210a)이 양측면에 소정의 간격을 두고 교대로 형성되고, 상기 슬롯(230)의 일측에 걸림턱(200a)이 일체로 형성된다.

상기 지지플레이트(300)는, 상기 가이드플레이트(200)의 양측면에 각각 접착되는 소정의 두께를 갖는 판재로 이루어 진다.

계속하여, 상기 지지플레이트(300)는, 제1,2접지단(130)(150)이 삽입토록 접지단삽입홈(330a)을 갖으면서 가이드플레이트(200)의 일면과 동일 면적을 갖는 필름(330), 웨이, 세라믹판등에 선택되는 어느 하나로 구성된다.

상기와 같은 구성을 같는 프로브조립체의 작용을 설명하면 다음과 같다.

도4에서와 같이 본 발명은, 어셈블리홀더(10)에 의해 지지되는 니들홀더(30)에 프로브조립체가 고정될때 상기 기판홀더(20)에 장착되는 기판(40)및 LCD플레이 트의 접지단에 프로브(100)의 제2및 제1접지단(150)(130)이 각각 접지되어 LCD의 회로연결상태를 검사하게 된다.

그리고, 상기 프로브(100)는 먼저 복수의 가이드플레이트(200) 상부 및 하부에서 각각 삽입한다.

이때, 상기 프로브(100)가 삽입되는 가이드플레이트(200)는, 상호 밀착될때 접지단삽입홈(230)과 슬롯(210)이 교대로 위치하도록 되어 상기 가이드플레이트(200)의 상부로 돌출되는 제2접지단(150)이 그 상부에 위치하는 가이드플레이트(200)의 접지단삽입홈(230)을 관통하여 그 상부에 노출토록 된다.

반대로, 상부 가이드플레이트(200)에 삽입되는 프로브(100)의 제2접지단(150) 역시 그 하부에 위치하는 가이드플레이트(200)의 접지단삽입홈(230)을 통하여 관통된후 그 하부에 노출토록 된다.

이때, 상부 가이드플레이트의 상부에 노출되는 제1접지단(130)및 하부 가이드플레이트 하부에 노출되는 제1접지단(130)은 그 일측에서 가이드플레이트(200)의 상부로 노출되는 제2접지단(150)과 동일한 높이를 갖도록 된다.

그리고, 상기 가이드플레이트(200)에 의해 소정의 간극을 유지토록 되는 프로브(100)는 상기 가이드플레이트(200)의 상부에 접합되는 지지플레이트(300)에 의해 이탈이 방지토록 된다.

이때, 상기 지지플레이트(300)는, 가이드플레이트(200) 보다 축소되는 면적을 갖도록 되어 가이드플레이트(200)의 일측으로 노출되는 제1,2접지단과의 간섭을 방지토록 한다.

또한, 상기 지지플레이트(300)는, 소정의 접지단삽입홈(330a)을 갖는 필름(330)으로 구성되어 가이드플레이트(200)와 간섭이 방지됨으로써 가이드플레이트(200)와 동일 면적으로 형성되어도 좋다.

한편, 도7a,b에서와 같이 본 발명의 가이드플레이트(200)는, 복수의 슬롯(210)이 소정의 간격으로 관통되는 구성으로 니들플레이트(110)의 일단부 상측및 타단부 하측에 동일한 높이를 갖는 제1접지단(130)이 각각 돌출설치되는 프로브(100)의 장착시 그 장착 방향에 상관없이 용이하게 장착할수 있게 된다.

그리고, 상기 가이드플레이트의 상하측면에는 지지플레이트(300)가 각각 장착되어 프로브(100)의 이탈을 방지하고, 상기 지지플레이트(300)는, 소정의 접지단삽입홈(330a)을 갖는 필름(330), 웨이퍼, 세라믹판 등에 선택되는 어느 하나로 구성되어 가이드플레이트(200)와 간섭이 방지된다.

또한, 도8a,b에서와 같이 본 발명의 가이드플레이트(200)는, 일방향으로 개구되는 슬롯(230)과 이에 연결되면서 타방향으로 개구되는 접지단삽입홈(210a)이 양측면에 소정의 간격을 두고 교대로 형성되어 이에 삽입되는 프로브(100)을 일측방향에서 각각 지지토록 한다.

이때, 상기 슬롯(230)의 일측에 형성되는 걸림턱(200a)이 프로브(100)의 일방향 이탈을 방지하며, 상기 슬롯의 깊이와 걸림턱의 높이는 동일하게 형성되어 제1,2접지단의 노출되는 높이가 동일하게 된다.

그리고, 상기 가이드플레이트(200)는, 슬롯(230)과 접지단삽입홈(210a)이 양측면에서 소정간격을 두고 교대로 형성되어 그 상하부면에서 제1,2접지단이 교대로 돌출된다.

계속하여, 상기 가이드플레이트의 상하측면에는 지지플레이트(300)가 각각 장착되어 프로브(100)의 이탈을 방지하고, 상기 지지플레이트(300)는, 소정의 접지단삽입홈(330a)을 갖는 필름(330), 웨이퍼, 세라믹판 등에 선택되는 어느 하나로 구성되어 가이드플레이트(200)와 간섭이 방지되는 것이다.

이상과 같이 본 발명에 따르면, 프로브 조립체를 염가로 제작하고, 프로브 조립체의 조립작업이 신속하게 이루어져 생산성이 향상된다.

또한, 프로브의 첨단이 패널의 단자전극에 확실하게 접촉되어 신뢰성을 향상시키며, 필름에 의해 복수의 프로브 첨단을 부착하여 중량이 감소함은 물론 원가를 줄이고, 프로브 조립체의 프로브가 항상 정확한 위치에 위치하여 측정값이 항상 정확하게 된다.

더하여, 프로브의 정열이 용이하고, 다수의 교정작업에 의해 항상 정확한 위치에 첨단이 위치되도록 하여 조립불량이 방지되며, 액정 표시 패널의 검사에 이용하는 프로브 및 프로브 조립체 뿐만 아니라 집적 회로와 같은 다른 평판 형상 피검사체의 검사에 이용하는 프로브 및 프로브 조립체에도 적용할 수 있다.

본 발명은 특정한 실시예에 관련하여 도시하고 설명 하였지만, 이하의 특허청구범위에 의해 제공되는 본 발명의 정신이나 분야를 벗어나지 않는 한도내에서 본 발명이 다양하게 개량 및 변화될수 있다는 것을 당업계에서 통상의 지식을 가진자는 용이하게 알수 있음을 밝혀 두고자 한다.

Claims

소정의 폭과 길이를 갖는 니들플레이트(110)의 일단부 상측으로 제1접지단(130)이 돌출되고, 상기 니들플레이트(110)의 타단부 하측으로 제1접지단(130)과 상이한 높이를 갖는 제2접지단(150)이 돌출되며, 상기 제1,2접지단(130)(150)은, 니들플레이트(110)의 양단에 각각 형성되는 요홈부(140)(160)로서 탄성을 갖도록 설치되는 프로브에 있어서;

상기 요홈부(140)(160)에 경사면(140a)(160a)이 각각 형성되는 것을 특징으로 하는 프로브.
삭제
제1항에 있어서, 상기 프로브는, 제1접지단(130)의 높이(h1)에 니들플레이트(110)의 높이(h2)를 더한 높이와 동일한 높이를 갖도록 제2접지단(150)이 형성되는 것을 특징으로 하는 프로브.
삭제
어셈블리홀더(10)에 지지되는 니들홀더(30)에 조립되어 LCD의 회로상태를 감지하도록 하도록 소정의 폭과 길이를 갖는 니들플레이트(110)의 일단부 상측으로 제1접지단(130)이 돌출되고, 상기 니들플레이트(110)의 타단부 하측으로 제1접지단(130)과 상이한 높이를 갖는 제2접지단(150)이 돌출되며, 상기 니들플레이트(110)의 양단에 요홈부(140)(160)가 각각 설치되는 프로브(100); 상기 프로브(100)가 수용되도록 형성되는 플레이트몸체(250)의 길이방향에 이격되어 복수의 슬롯(210)이 관통 형성되며, 상기 슬롯(210)사이에 접지단삽입홈(230)이 개재되는 가이드플레이트(200); 및 상기 제1,2접지단(130)(150)과의 간섭없이 프로브(100)의 이탈을 방지하도록 가이드플레이트(200)의 양측면에 각각 접착되는 지지플레이트(300)를 포함하는 프로브조립체에 있어서,

상기 프로브는, 제1접지단(130)의 높이(h1)에 니들플레이트(110)의 높이(h2)를 더한 높이와 동일한 높이를 갖도록 제2접지단(150)이 형성되는 것을 특징으로 하는 프로브조립체.
삭제
제5항에 있어서, 상기 가이드플레이트(200)는, 상기 슬롯(210)과 접지단삽입홈(230)이 관통형성되는 복수의 가이드플레이트가 교번적으로 적층되는 것을 특징으로 하는 프로브조립체.
삭제
삭제
어셈블리홀더(10)에 지지되는 니들홀더(30)에 조립되어 LCD의 회로상태를 감지하도록 하는 프로브조립체에 있어서,

소정의 폭과 길이를 갖는 니들플레이트(110)의 일단부 상측으로 제1접지단(130)이 돌출되고, 상기 니들플레이트(110)의 타단부 하측으로 제1접지단(130)과 상이한 높이를 갖는 제2접지단(150)이 돌출되며, 상기 니들플레이트(110)의 양단에 요홈부(140)(160)가 각각 설치되는 프로브(100);

상기 프로브를 수용토록 일방향에 개구되는 슬롯(230)과 이에 연결되면서 타방향으로 관통되는 접지단삽입홈(210a)이 양측면에 소정의 간격을 두고 교대로 형성되는 지지플레이트(200);및,

상기 제1,2접지단(130)(150)과의 간섭없이 프로브(100)의 이탈을 방지하도록 가이드플레이트(200)의 양측면에 각각 접착되는 지지플레이트(300)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 프로브조립체.
제10항에 있어서, 상기 프로브는, 제1접지단(130)의 높이(h1)에 니들플레이트(110)의 높이(h2)를 더한 높이와 동일한 높이를 갖도록 제2접지단(150)이 형성되는 것을 특징으로 하는 프로브조립체.
제10항에 있어서, 상기 슬롯(230)은, 소정의 높이를 갖는 걸림턱(200a)으로서 일방향이 폐쇄되며, 상기 슬롯의 깊이와 걸림턱의 높이는 동일하게 형성되는 것을 특징으로 하는 프로브조립체.