KR100574478B1 - Repair circuit of memory device - Google Patents
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Abstract
본 발명은 메모리장치의 리페어 회로에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 리던던시 워드라인의 수를 절반으로 줄이고 한개의 리던던시 워드라인을 2개의 퓨즈박스를 통해 선택적으로 제어하도록 하고 퓨즈박스를 앤티퓨즈로 형성함으로써 칩의 면적사용 및 효율을 극대화시킬 수 있을 뿐만 아니라 패키지 레벨에서도 리페어를 수행할 수 있다는 이점이 있다. The present invention relates to a repair circuit of a memory device, and more particularly, by reducing the number of redundancy word lines by half, selectively controlling one redundancy word line through two fuse boxes, and forming the fuse box as an antifuse. In addition to maximizing chip area usage and efficiency, repairs can be performed at the package level.
메모리장치 리페어 회로 앤티퓨즈 리던던시 워드라인Memory Device Repair Circuit Anti-Fuse Redundancy Word Line
Description
도 1은 종래의 메모리장치의 리페어 회로를 나타낸 블록구성도이다. 1 is a block diagram illustrating a repair circuit of a conventional memory device.
도 2는 도 1의 퓨즈박스를 이루고 있는 퓨즈의 프로그래밍 상태를 나타낸 회로도이다. FIG. 2 is a circuit diagram illustrating a programming state of a fuse constituting the fuse box of FIG. 1.
도 3은 본 발명에 의한 메모리장치의 리페어 회로를 나타낸 블록구성도이다. 3 is a block diagram illustrating a repair circuit of a memory device according to the present invention.
도 4는 도 3의 퓨즈박스부를 이루고 있는 앤티퓨즈의 프로그래밍 회로를 나타낸 도면이다. 4 is a diagram illustrating an anti-fuse programming circuit of the fuse box of FIG. 3.
- 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 - -Explanation of symbols for the main parts of the drawings-
10, 210 : 작동스위치부 20, 220 : 어드레스입력부10, 210:
30, 260 : 출력부 AF : 앤티퓨즈30, 260: Output AF: Anti-fuse
230 : 파괴전압공급부 240 : 전류차단부230: breakdown voltage supply unit 240: current blocking unit
250 : 래치부250 latch part
본 발명은 메모리장치의 리페어 회로에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 리던던시 워드라인의 수를 절반으로 줄이고 한개의 리던던시 워드라인을 2개의 퓨즈박스를 통해 선택적으로 제어하도록 하고 퓨즈박스를 앤티퓨즈로 형성함으로써 칩의 면적사용 및 효율을 극대화시킬 수 있을 뿐만 아니라 패키지 레벨에서도 리페어를 수행할 수 있도록 한 메모리장치의 리페어 회로에 관한 것이다. The present invention relates to a repair circuit of a memory device, and more particularly, by reducing the number of redundancy word lines by half, selectively controlling one redundancy word line through two fuse boxes, and forming the fuse box as an antifuse. The present invention relates to a repair circuit of a memory device capable of maximizing chip area use and efficiency as well as performing repair at a package level.
수많은 미세 셀로 이루어진 메모리장치에서 한 개의 셀이라도 결함이 발생하게 되면 메모리로서 제구실을 하지 못하므로 불량품으로 처리된다. 하지만 DRAM의 기술이 진보함에 따라 확률적으로 소량의 셀에만 결함이 발생할 확률이 높은데도 이를 불량품으로 폐기한다는 것을 수율을 낮추는 비효율적인 처리방식이다. 따라서 이 경우 미리 DRAM내에 설치해둔 리던던시 메모리셀을 이용하여 불량셀을 대체시킴으로써 수율을 높이는 방식을 채용한다. 리던던시회로를 설치함에 따라 칩의 면적이 증가하며 결함구제에 필요한 테스트의 증가등이 문제로 되지만 DRAM에서는 칩의 면적증가가 그다지 많지 않아 64K∼256K DRAM에서부터 본격적으로 채용되고 있다. If a defect occurs even in one cell in a memory device composed of many fine cells, it cannot be treated as a memory and thus is treated as a defective product. However, as the technology of DRAM advances, it is inefficient to reduce the yield of discarding defective products even though there is a high probability that defects occur only in a small number of cells. Therefore, in this case, a method of increasing the yield by adopting a redundant memory cell installed in the DRAM in advance is replaced. As redundancy circuits are installed, the area of the chip increases and the number of tests necessary for remedy of defects becomes a problem, but in DRAM, the area of the chip does not increase so much that it is adopted from 64K to 256K DRAM in earnest.
메모리셀의 리던던시회로는 서브어레이블록별로 설치하는데 스페어 ROW와 COLUMN을 미리 설치해두어 결함이 발생하여 불량으로 된 메모리셀을 ROW/COLUMN단위로 리던던시 메모리셀로 치환하는 방식이 주로 사용된다. 웨이퍼 프로세서가 종료되면 테스트를 통해서 불량 메모리셀을 골라내어 그에 해당하는 어드레스를 스페어셀의 어드레스 신호로 바꾸어 주는 프로그래밍을 내부회로에 행하며 이에 따라 실제 사용할 때에 불량라인에 해당하는 어드레스가 입력되면 이 대신 예비 라인으 로 선택이 바뀌게 된다. 이 프로그래밍 방식에는 과전류로 퓨즈를 녹여 끊어버리는 전기 퓨즈방식, 레이저빔으로 퓨즈를 태워 끊어 버리는 방식, EPROM 메모리셀로 프로그래밍하는 방식등이 있다. 이방법들 중에 레이저로 절단하는 방법이 단순하면서도 확실하고 레이아웃도 용이하여 널리 이용되고 있으며, 퓨즈 재료로는 폴리실리콘 배선 또는 메탈배선이 사용된다. The redundancy circuit of memory cells is installed for each sub-array block, and spare ROW and COLUMN are installed in advance so that defects occur and replace defective memory cells with redundancy memory cells in ROW / COLUMN units. When the wafer processor is terminated, the internal circuit performs programming that selects the defective memory cell through the test and replaces the corresponding address with the address signal of the spare cell. Therefore, when an address corresponding to the defective line is input during actual use, a spare is instead provided. The selection changes to the line. These programming methods include electric fuses that melt and blow fuses due to overcurrent, burned fuses by laser beams, and programming into EPROM memory cells. Among these methods, a laser cutting method is widely used because of its simple, reliable and easy layout, and polysilicon wiring or metal wiring is used as the fuse material.
이러한 퓨즈를 사용하여 결함이 발생된 셀의 어드레스에 해당하는 퓨즈를 절단하여 리던던시 로우 어드레스나 리던던시 칼럼 어드레스를 가리키도록 하여 리던던시 셀로 대체시키게 된다. By using the fuse, the fuse corresponding to the address of the defective cell is cut and replaced with the redundant cell by pointing to the redundant row address or the redundancy column address.
칩이 고집적화되고 디자인 룰이 작아짐에 따라 워드라인 방식을 메탈 스트랩핑 방식에서 서브 워드라인 방식으로 바꾸어 사용함으로써 워드라인에 대한 공정 마진을 확보할 수 있어 로우 어드레스에서의 페일보다는 컬럼 어드레스에서의 페일이 주종을 이루게 되었다. As chips become more integrated and design rules become smaller, word lines can be used from metal strapping to sub-word lines to ensure process margins for word lines. I was a master.
도 1은 종래의 메모리장치의 리페어 회로를 나타낸 블록구성도이다. 1 is a block diagram illustrating a repair circuit of a conventional memory device.
여기에 도시된 바와 같이 셀어레이 방식으로 각각의 셀블록(cell block0,…, cell block7)에 리던던시 워드라인이 상부(rwl_up0,rwl_up1)와 하부(rwl_dn0, rwl_dn1)에 각각 2개씩 4개를 가지고 있다. 따라서, 8개의 셀블록(cell block0,…, cell block7)으로 이루어진 셀어레이 방식에서는 리던던시 워드라인이 24개가 된다. 그리고, 각 리던던시 워드라인 2개당 하나의 리던던시 워드라인 제어회로(rwl00, rwl01,…,rwl70, rwl71)가 설치되고, 16개의 퓨즈박스(fuse box 0, …, fuse box 15)가 설치된다.As shown here, the redundancy word lines in each cell block (
도 2는 도 1의 퓨즈박스를 이루고 있는 퓨즈의 프로그래밍 상태를 나타낸 회로도이다. FIG. 2 is a circuit diagram illustrating a programming state of a fuse constituting the fuse box of FIG. 1.
여기에 도시된 바와 같이 작동신호(A)에 의해 전원전압(VCC)으로 프리차지시키는 작동스위치부(10)와, 퓨즈부(PF)를 매개로 작동스위치부(10)와 접지사이에 연결되어 결함회로의 어드레스신호(ADDR)에 턴온되어 퓨즈부(PF)의 절단상태를 감지하기 위한 어드레스입력부(20)와, 작동스위치부(20)와 퓨즈부(PF)의 일측단의 전압값을 출력하기 위한 출력부(30)로 이루어진다. As shown here is connected between the operation switch unit 10 for precharging to the power supply voltage (VCC) by the operation signal (A), the operation switch unit 10 and the ground via the fuse unit (PF) Turned on to the address signal ADDR of the defective circuit to output the
위와 같이 이루어진 일반적인 리페어회로를 설명하면 다음과 같다. Referring to the general repair circuit made as described above is as follows.
작동신호(A)가 저전위로 입력되면 작동스위치부(10)가 턴온되어 전원전압(VCC)이 퓨즈부(PF)에 걸린다. 이러한 상태에서 어드레스입력부(20)에 어드레스신호(ADDR)가 입력될 때 고전위값을 갖는 비트의 NMOS트랜지스터는 턴온되어 작동스위치부(10)를 통해 공급된 전원전압(VCC)은 턴온되어 NMOS트랜지스터를 통해 패스가 형성되어 노드 'a'의 전위는 저전위를 갖게 된다. 이값은 출력부(30)의 인버터를 통해 반전됨으로서 정상상태에서는 출력값(nrdb)값은 고전위를 유지한다. When the operation signal A is input at a low potential, the operation switch unit 10 is turned on so that the power supply voltage VCC is applied to the fuse unit PF. In this state, when the address signal ADDR is input to the
이러한 상태에서 저항물질로 형성된 퓨즈를 레이저빔으로 절단하게 되면 작동스위치부(10)를 통해 퓨즈부(PF)를 매개로 어드레스입력부(20)와 형성된 전류패스는 차단되어 노드 'a'의 전위는 고전위가 된다. 이 값은 출력부(30)의 인버터에 의해 반전되어 출력값(nrdb)값은 저전위로 변하게 된다. In this state, when the fuse formed of the resistive material is cut by the laser beam, the current path formed with the
이 출력값(nrdb)값을 입력받아 결함이 발생된 셀을 가리키는 어드레스가 입력될 경우 리던던시셀로 대체하여 정상적인 동작을 수행하도록 이루어진다. When an address indicating the defective cell is input by receiving the output value nrdb, a redundancy cell is replaced to perform a normal operation.
위와 같은 방식에서 불량 워드라인을 리페어할 때 결함의 주종을 이루는 칼럼 어드레스에 비해 로우 어드레스의 결함이 많이 발생하지 않음에도 불구하고 필요 이상의 많은 리던던시 워드라인이 설치되고 퓨즈박스의 개수가 많아 라인의 배열이 복잡해지게 된다. When repairing a bad word line in the above manner, although many row address defects do not occur more than the column addresses that dominate the defects, more redundancy word lines than necessary are installed and the number of fuse boxes is large. This becomes complicated.
이와 같은 이유로 리던던시 워드라인을 동작시키는 회로가 복잡해지고 퓨즈박스들의 래이아웃 면적이 많이 차지하게 된다는 문제점이 있다. For this reason, there is a problem that the circuit for operating the redundancy word line becomes complicated and the layout area of the fuse boxes is large.
또한, 리던던시 워드라인으로 리페어하기 위해서 레이저등의 장비로 퓨즈를 절단하여 리페어하기 때문에 패키지 단계에서는 리페어를 수행할 수 없다는 문제점이 있다. In addition, there is a problem in that the repair cannot be performed in the package step because the fuse is cut by the equipment such as a laser to repair the redundancy word line.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 창작된 것으로서, 본 발명의 목적은 리던던시 워드라인의 수를 절반으로 줄이고 한개의 리던던시 워드라인을 2개의 퓨즈박스를 통해 선택적으로 제어하도록 하고 퓨즈박스를 앤티퓨즈로 형성함으로써 칩의 면적사용 및 효율을 극대화시킬 수 있을 뿐만 아니라 패키지 레벨에서도 리페어를 수행할 수 있도록 한 메모리장치의 리페어 회로를 제공함에 있다.
The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to reduce the number of redundancy word lines in half and to selectively control one redundancy word line through two fuse boxes and to control the fuse box. By forming a fuse, it is possible to maximize chip area use and efficiency, and to provide a repair circuit of a memory device that can perform repairing at a package level.
상기와 같은 목적을 실현하기 위한 본 발명은 셀어레이 블록을 이루는 다수개의 셀블록에 형성된 복수개의 리던던시 워드라인과, 다수개의 셀블록에 형성된 어느 한 리던던시 워드라인을 고정적으로 제어할 뿐만 아니라 인접한 다른 셀블록의 다른 한 리던던시 워드라인을 선택적으로 제어하는 다수개의 리던던시 워드라인 제어회로와, 다수개의 리던던시 워드라인 제어회로에서 고정적으로 제어하는 리던던시 워드라인이 작동되도록 설정하는 제 1퓨즈박스와, 다수개의 리던던시 워드라인 제어회로에서 선택적으로 제어하는 리던던시 워드라인이 작동되도록 설정하는 제 2퓨즈박스로 이루어진 것을 특징으로 한다. According to the present invention for realizing the above object, a plurality of redundancy word lines formed in a plurality of cell blocks constituting a cell array block and any one redundancy word line formed in the plurality of cell blocks are fixed as well as other adjacent cells. A plurality of redundancy word line control circuits for selectively controlling another redundancy word line in the block, a first fuse box for setting redundancy word lines fixedly controlled by the plurality of redundancy word line control circuits, and a plurality of redundancy And a second fuse box configured to operate a redundancy word line selectively controlled by the word line control circuit.
또한, 제 1퓨즈박스 및 제 2퓨즈박스는 전기적인 충격에 의해 절연파괴되어 저항처럼 변하는 앤티퓨즈로 이루어진 것을 특징으로 한다. In addition, the first fuse box and the second fuse box is characterized in that the anti-fuse is made of an anti-fuse which is broken by an electrical shock and changes as a resistance.
위와 같이 이루어진 본 발명의 작동을 설명하면 다음과 같다. Referring to the operation of the present invention made as described above are as follows.
셀어레이 블록을 이루고 있는 셀블록의 한개의 워드라인을 리던던시 워드라인으로 대체하고자 할 경우에는 제 1퓨즈박스의 앤티퓨즈를 프로그래밍하여 제 1퓨즈박스에 고정되어 제어되는 리던던시 워드라인으로 대체된다. 그리고, 2개의 워드라인을 리던던시 워드라인으로 대체하고자 할 경우에는 한개는 제 1퓨즈박스의 앤티퓨즈를 프로그래밍하여 제 1퓨즈박스에 고정되어 제어되는 리던던시 워드라인으로 대체하고 다른 한개는 인접한 셀블록의 제 1퓨즈박스와 제 2퓨즈박스의 퓨즈를 프로그래밍하여 선택적으로 제어되는 리던던시 워드라인으로 대체시켜 리페어를 수행하도록 작동된다.When a word line of a cell block constituting the cell array block is to be replaced with a redundancy word line, the antifuse of the first fuse box is programmed to be replaced with a redundancy word line fixed to and controlled by the first fuse box. If one word line is to be replaced with a redundancy word line, one is programmed with an antifuse of the first fuse box and replaced with a redundancy word line fixed to and controlled by the first fuse box. The fuses of the first fuse box and the second fuse box are programmed to be replaced by a selectively controlled redundancy word line to perform the repair.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다. 또한 본 실시예는 본 발명의 권리범위를 한정하는 것은 아니고, 단지 예시로 제시된 것 이며 종래 구성과 동일한 부분은 동일한 부호 및 명칭을 사용한다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. In addition, the present embodiment is not intended to limit the scope of the present invention, but is presented by way of example only, and the same parts as in the conventional configuration use the same symbols and names.
도 3은 본 발명에 의한 메모리장치의 리페어 회로를 나타낸 블록구성도이다. 3 is a block diagram illustrating a repair circuit of a memory device according to the present invention.
본 실시예의 셀어레이 블록은 제 0셀블록(cell block0) 내지 제 8셀블록(cell block7)으로 이루어지고, 각 제 0셀블록(cell block0) 내지 제 8셀블록(cell block7)의 상부와 하부에는 리던던시 워드라인(rwl_up, rwl_dn)이 각각 하나씩 설치된다. 그리고, 제 0셀블록(cell block0)의 상부 리던던시 워드라인(rwl_up)을 고정적으로 제어하기 위한 제 0리던던시 워드라인 제어회로(rwl0)와, 제 0리던던시 워드라인 제어회로(rwl0)의 작동을 설정하는 제 30퓨즈박스(fuse box30)와, 제 1셀블록(cell block1)의 상부 리던던시 워드라인(rwl_up)을 고정적으로 제어하며 제 0셀블록(cell block0)의 하부 리던던시 워드라인(rwl_dn)을 선택적으로 제어하는 제 1리던던시 워드라인 제어회로(rwl1)와, 제 1리던던시 워드라인 제어회로(rwl1)에 의한 제 1셀블록(cell block1)의 상부 리던던시 워드라인(rwl_up_의 작동을 설정하는 제 31퓨즈박스(fuse box31)와, 제 1리던던시 워드라인 제어회로(rwl1)에 의한 제 0셀블록(rwl0)의 하부 리던던시 워드라인(rwl_dn)의 작동을 설정하는 제 40퓨즈박스(fuse box40)로 이루어진다. The cell array block of the present embodiment is composed of the
그리고, 제 2셀블록(cell block2)의 상부 리던던시 워드라인(rwl_up)을 고정적으로 제어하며 제 1셀블록의(cell block1) 하부 리던던시 워드라인(rwl_dn)을 선택적으로 제어하는 제 2리던던시 워드라인 제어회로(rwl2)와, 제 2리던던시 워드라인 제어회로(rwl2)에 의한 제 2셀블록(cell block2)의 상부 리던던시 워드라인(rwl_up)의 작동을 설정하는 제 32퓨즈박스(fuse box32)와, 제 2리던던시 워드라인 제어회로(rwl2)에 의한 제 1셀블록(cell block1)의 하부 리던던시 워드라인(rwl_dn)의 작동을 설정하는 제 41퓨즈박스(fuse box31)로 이루어진다. And a second redundancy word line control for fixedly controlling the upper redundancy word line rwl_up of the second cell block (cell block2) and selectively controlling the lower redundancy word line rwl_dn of the first cell block (cell block1). A thirty-second fuse box 32 for setting the operation of the upper redundancy word line rwl_up of the
또한, 제 3셀블록(cell block3)의 상부 리던던시 워드라인(rwl_up)을 고정적으로 제어하며 제 2셀블록(cell block2)의 하부 리던던시 워드라인(rwl_dn)을 선택적으로 제어하는 제 3리던던시 워드라인 제어회로(rwl3)와, 제 3리던던시 워드라인 제어회로(rwl3)에 의한 제 3셀블록(cell block3)의 상부 리던던시 워드라인(rwl_up)의 작동을 설정하는 제 33퓨즈박스(fuse box33)와, 제 3리던던시 워드라인 제어회로(rwl3)에 의한 제 2셀블록(cell block2)의 하부 리던던시 워드라인(rwl_dn)의 작동을 설정하는 제 42퓨즈박스(fuse box42)로 이루어진다. In addition, the third redundancy word line control to control the upper redundancy word line rwl_up of the third cell block (cell block3) and to selectively control the lower redundancy word line rwl_dn of the second cell block (cell block2). A thirty-third fuse box 33 for setting the operation of the upper redundancy word line rwl_up of the
이와 같이 제 4셀블록(cell block4) 내지 제 7셀블록(cell block7)까지 동일한 방식으로 구성하고, 제 7셀블록(cell block7)의 하부 리던던시 워드라인(rwl_dn)을 제어하는 제 8리던던시 워드라인 제어회로(rwl8)와, 제 8리던던시 워드라인 제어회로(rwl8)의 작동을 제어하는 제 38퓨즈박스(fuse box38)를 더 포함하여 이루어진다. The eighth redundancy word line configured in the same manner from the
도 4는 도 3의 퓨즈박스부를 이루고 있는 앤티퓨즈의 프로그래밍 회로를 나타낸 도면이다. 4 is a diagram illustrating an anti-fuse programming circuit of the fuse box of FIG. 3.
여기에 도시된 바와 같이 전원전압(VCC)으로 프리차지시키는 작동스위치부(210)와, 작동스위치부(210)와 연결되어 과전류가 흐를 경우 절연파괴가 일어나는 앤티퓨즈(AF)와, 앤티퓨즈(AF)와 접지사이에 연결되어 결함이 발생된 어드레스의 입력에 따라 앤티퓨즈(AF)가 프로그래밍될 수 있도록 하며 프로그래밍된 상태를 확인하기 위한 감지신호에 턴온되어 앤티퓨즈(AF)의 상태를 감지하는 어드레스입력부(220)와, 앤티퓨즈(AF)의 전연파괴를 위해 고전압(HV)을 공급하는 파괴전압공급부(230)와, 어드레스입력부(220)의 신호에 따라 앤티퓨즈(AF)의 프로그래밍상태를 출력하는 출력부(260)와, 출력부(260)의 신호를 입력받아 파괴전압공급부(230)에서 앤티퓨즈(AF)로 공급되는 전류 패스를 단속하는 전류차단부(140)와, 출력부(260)의 신호를 입력받아 앤티퓨즈(AF)단에 전원전압으로 강하게 안정시키는 래치부(250)로 이루어진다. As shown here, the
위에서 앤티퓨즈(AF)는 전원전압(VCC)에서는 절연상태가 유지되고 고전압(HV)일 경우 절연파괴가 일어나도록 설정되었다. In the above, the antifuse AF is set such that the insulation state is maintained at the power supply voltage VCC and the insulation breakdown occurs at the high voltage HV.
즉, 정상상태일때는 프로그래밍 신호가 입력되지 않아 작동스위치부(210)를 통해 전원전압(VCC)이 프로그래밍 회로에 공급되어 프리차지되고, 래치부(250)에 의해 전원전압(VCC)으로 프리차지전압이 불안정할 때 강하게 유지된다. That is, in the normal state, since no programming signal is input, the power supply voltage VCC is supplied to the programming circuit through the
이와 같은 상태에서 앤티퓨즈(AF)를 프로그래밍하기 위한 프로그래밍 신호가 입력되면 파괴전압공급부(230)에 의해 고전압이 앤티퓨즈(AF)에 공급되면 절연파괴가 일어나 프로그래밍된다. In this state, when a programming signal for programming the antifuse AF is input, when a high voltage is supplied to the antifuse AF by the breakdown
이렇게 앤티퓨즈(AF)가 프로그래밍된 다음에는 결함이 발생된 어드레스가 입력되면 앤티퓨즈(AF)의 프로그래밍된 상태에 따라 어드레스입력부(220)가 턴온되어 출력부(260)를 통해 앤티퓨즈(AF)가 절연파괴된 상태가 출력부(260)를 통해 출력된다. After the antifuse AF is programmed in this way, when a defective address is input, the
또한, 앤티퓨즈(AF)가 절연파괴됨에 따라 파괴전압공급부(230)를 통해 고전압이 공급되는 전류패스가 형성되는데 전류차단부(240)에서 출력부(260)의 신호를 입력받아 전류패스를 차단함으로서 더 이상의 전류가 소모되는 것을 방지하게 된다. In addition, as the anti-fuse AF breaks down, a current path through which the high voltage is supplied through the breakdown
위와 같이 앤티퓨즈를 이용하여 패키지 레벨에서 프로그래밍 신호에 의해 결함이 발생된 워드라인을 리던던시 워드라인으로 대체하게 된다. 또한, 리던던시 워드라인의 작동을 설정하기 위한 리던던시 워드라인 제어회로를 서로 선택적으로 공유하여 인접한 리던던시 워드라인의 작동을 제어하도록 작동된다. As described above, anti-fuse is used to replace redundancy word lines with word lines that are caused by programming signals at the package level. Further, the redundancy word line control circuits for setting the operation of the redundancy word lines are selectively shared with each other to operate to control the operation of adjacent redundancy word lines.
상기한 바와 같이 본 발명은 셀블록에 설치된 다수개의 리던던시 워드라인의 수를 줄이고 이 리던던시 워드라인의 작동을 제어하는 리던던시 워드라인 제어회로를 인접한 셀블록간에 선택적으로 공유하여 제어하도록 함으로써 리던던시 워드라인의 설치를 위한 칩의 면적을 확보할 수 있다는 이점이 있다. As described above, the present invention reduces the number of redundancy word lines installed in the cell block and selectively shares and controls the redundancy word line control circuit for controlling the operation of the redundancy word line between adjacent cell blocks. The advantage is that the area of the chip for installation can be secured.
또한, 리던던시 워드라인의 작동을 제어하기 위한 리던던시 워드라인 제어회로의 수를 줄여 회로를 간단하게 구성할 수 있다는 이점이 있다. In addition, there is an advantage that the circuit can be easily configured by reducing the number of redundancy word line control circuits for controlling the operation of the redundancy word line.
한편, 리던던시 워드라인으로 대체하기 위한 리페어시 퓨즈를 앤티퓨즈로 구성함으로써 패키기 레벨에서도 리페어를 수행할 수 있다는 이점이 있다.
On the other hand, by configuring the anti-fuse repair fuse to replace the redundant word line has the advantage that the repair can be performed at the package level.
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