KR100570201B1 - Carrier Module for Semiconductor Device Test Handler - Google Patents
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Abstract
본 발명은 리드 또는 볼이 소자의 전영역이나 가장자리에 분포되는 경우에도 반도체 소자를 안정적으로 파지하여 이송함과 더불어, 테스트 소켓에 안정적으로 접속시켜 테스트가 이루어질 수 있도록 한 것이다.According to the present invention, even when a lead or a ball is distributed in the entire area or the edge of the device, the semiconductor device is stably gripped and transferred, and the test socket is stably connected to the test socket.
이를 위해 본 발명은, 캐리어 모듈 몸체와; 상기 캐리어 모듈 몸체의 저면부에 형성된 소자 안착부와; 상기 소자 안착부의 양측부에 대향 설치되어, 소자 안착부에 안착된 반도체 소자의 양측면부를 홀딩 및 해제하는 적어도 1쌍의 제 1랫치와; 상기 제 1랫치의 양측에 선회가능하게 설치되어 반도체 소자의 저면부를 홀딩하는 적어도 1쌍의 제 2랫치와; 상기 캐리어 모듈 몸체의 상부에 상하로 이동하며 상기 제 1랫치를 운동시키는 랫치버튼과; 상기 제 1랫치와 제 2랫치를 각각 탄성적으로 지지하는 제 1,2탄성부재및; 상기 제 1랫치의 끝단부에 상기 반도체 소자의 볼 사이로 연장되게 형성되어 반도체 소자의 저면부 가장자리(edge)를 지지하는 복수개의 리브를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈을 제공한다.To this end, the present invention, the carrier module body; An element seating portion formed on a bottom surface of the carrier module body; At least one pair of first latches opposed to both side portions of the element seating portion to hold and release both side portions of the semiconductor element seated on the element seating portion; At least one pair of second latches rotatably provided at both sides of the first latch to hold a bottom portion of the semiconductor device; A latch button moving upward and downward on an upper portion of the carrier module body to move the first latch; First and second elastic members for elastically supporting the first and second latches, respectively; A carrier module for a semiconductor device test handler, characterized in that it comprises a plurality of ribs extending from the end of the first latch between the balls of the semiconductor device to support the bottom edge of the semiconductor device. do.
핸들러, 캐리어 모듈, 제 1랫치, 제 2랫치, BGA, 리브 Handler, Carrier Module, First Latch, Second Latch, BGA, Rib
Description
도 1은 종래의 캐리어 모듈이 설치된 테스트 트레이의 정면도1 is a front view of a test tray in which a conventional carrier module is installed
도 2는 종래의 캐리어 모듈의 저면을 나타낸 사시도Figure 2 is a perspective view showing the bottom of the conventional carrier module
도 3은 본 발명에 따른 캐리어 모듈의 일 실시예의 저면을 보인 사시도Figure 3 is a perspective view showing the bottom of an embodiment of a carrier module according to the present invention
도 4는 도 3의 캐리어 모듈의 제 1랫치의 구조를 상세히 나타낸 확대도4 is an enlarged view showing in detail the structure of the first latch of the carrier module of FIG.
도 5a 내지 도 5c는 도 3의 캐리어 모듈의 작동례를 나타낸 요부 단면도5A to 5C are cross-sectional views illustrating main parts of an operation example of the carrier module of FIG. 3.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings
100 : 캐리어 모듈 110 : 캐리어 모듈 몸체100: carrier module 110: carrier module body
111 : 가이드핀 114 : 제 2압축스프링 111: guide pin 114: second compression spring
115 : 소자 안착부 120 : 히트싱크115: device mounting portion 120: heat sink
130 : 랫치버튼 132 : 제 1압축스프링 130: latch button 132: first compression spring
140 : 제 1랫치 141 : 리브 140: first latch 141: rib
142 : 제 1연결핀 144 : 가이드홈142: first connecting pin 144: guide groove
150 : 제 2랫치 152 : 제 2연결핀150: second latch 152: second connecting pin
154 : 돌기부 101 : 반도체 소자154: protrusion 101: semiconductor device
101a : 볼101a: ball
본 발명은 반도체 소자를 테스트하는 핸들러에서 테스트 트레이에 설치되는 캐리어 모듈에 관한 것으로, 특히 볼이 소자의 저면부의 가장자리까지 분포하거나 초소형화된 BGA 타입의 반도체 소자를 안정적으로 장착하여 테스트 사이트의 테스트 소켓에 용이하게 접속시킬 수 있도록 한 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈에 관한 것이다.The present invention relates to a carrier module installed in a test tray in a handler for testing a semiconductor device. In particular, the ball socket is distributed to the edge of the bottom portion of the device or the micro-miniaturized BGA type semiconductor device is stably mounted to the test socket of the test site. The present invention relates to a carrier module for a semiconductor device test handler which can be easily connected to the same.
일반적으로, 메모리 혹은 비메모리 반도체 소자 및 이들을 적절히 하나의 기판상에 회로적으로 구성한 모듈 아이씨(Module IC)들은 생산 후 여러 가지 테스트과정을 거친 후 출하된다. In general, memory ICs or non-memory semiconductor devices and module ICs having them properly configured on a substrate are shipped after various tests after production.
핸들러는 상기와 같은 반도체 소자 및 모듈램 등을 자동으로 테스트하는데 사용되고 있는 장치로, 이러한 핸들러에서는 작업자가 테스트할 반도체 소자를 수납한 트레이들을 핸들러의 로딩스택커에 적재한 후, 로딩스택커의 반도체 소자들을 별도의 테스트 트레이에 재장착하고, 이 반도체 소자들이 장착된 테스트 트레이를 테스트 사이트(test site)로 보내 반도체 소자들의 리드 또는 볼 부분을 테스트 소켓의 컨넥터에 전기적으로 접속시켜 소정의 테스트를 수행한 다음, 다시 테스트 트레이의 반도체 소자들을 분리하여 언로딩스택커의 고객 트레이에 테스트 결과에 따라 분류 장착하는 과정으로 테스트를 수행하는 것이 일반적이다.The handler is a device used to automatically test the semiconductor device and the module as described above. In such a handler, a tray containing the semiconductor device to be tested by the operator is loaded into the loading stacker of the handler, and then the semiconductor of the loading stacker is loaded. Reattach the devices to a separate test tray, send a test tray equipped with these semiconductor devices to a test site, and conduct a predetermined test by electrically connecting the lead or ball portion of the semiconductor devices to the connector of the test socket. Then, it is common to perform the test by separating the semiconductor elements of the test tray and classifying and mounting them on the customer tray of the unloading stacker according to the test result.
첨부된 도면의 도 1과 도 2는 상기와 같이 핸들러에서 반도체 소자를 공정간 에 이송하기 위한 테스트 트레이와 이 테스트 트레이에 장착된 종래의 캐리어 모듈을 나타낸 것으로, 테스트 트레이(1)는 금속재질의 프레임(11)에 반도체 소자가 장착되는 복수개의 캐리어 모듈(2)이 일정 간격으로 배열되어 구성된다.1 and 2 of the accompanying drawings show a test tray for transferring a semiconductor device between processes in a handler as described above, and a conventional carrier module mounted to the test tray, wherein the
상기 캐리어 모듈(2)은 직사각형 형태의 몸체(21) 상에 반도체 소자(D)가 안착되는 소자안착부(22)가 구비되고, 이 소자안착부(22)의 양측에 반도체 소자(D)를 홀딩하는 한 쌍의 랫치(23)가 설치된 구성으로 이루어진다. The
여기서, 상기 랫치(23)는 몸체(21) 내부에 설치된 힌지축(미도시)을 중심으로 상하로 선회하면서 벌어졌다 오므려졌다 하며 소자안착부(22) 상에 안착된 반도체 소자(D)의 양측 가장자리의 볼(Db)이 형성되지 않은 부분을 홀딩하게 된다. Here, the
상기와 같은 종래의 캐리어 모듈(2)은 도 2에 도시된 것과 같이 볼형성면이 위쪽을 향하도록 반도체 소자(D)를 장착하게 되는데, 이렇게 반도체 소자(D)가 장착된 테스트 트레이(1)가 핸들러의 테스트 사이트로 이송되면, 테스트 사이트에 설치된 인덱스유니트(Index Unit)가 상기 캐리어 모듈(2)을 테스트 소켓 쪽으로 밀어 반도체 소자(D)의 볼(Db)이 소켓의 단자핀(미도시)과 접속되도록 하여 소정의 테스트를 수행한다. In the
그런데, 상기와 같은 종래의 캐리어 모듈들은 반도체 소자(D)의 볼(Db) 이 형성되지 않은 부분이 많을 경우에는 랫치(23)가 반도체 소자(D)를 충분히 홀딩할 수 있으나, 최근의 반도체 소자 개발 추세에서 나타나는 바와 같이 볼 또는 리드가 반도체 소자의 저면부 가장자리의 전영역에 걸쳐 분포하거나 반도체 소자가 초소형인 경우에는 실질적으로 랫치(23)가 홀딩할 수 있는 부분이 충분히 확보되지 않기 때문에 캐리어 모듈에 반도체 소자를 안정되게 장착하여 테스트 소켓에 접속시킬 수 없는 문제점이 발생한다.However, in the conventional carrier modules as described above, when the ball Db of the semiconductor device D is not formed, the
이에 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 크기가 아주 작거나 얇은 BGA 타입의 반도체 소자의 볼이 소자의 전영역이나 가장자리에 분포되는 경우에도 반도체 소자를 안정적으로 파지하여 이송함과 더불어, 테스트 소켓에 안정적으로 접속시켜 테스트가 이루어질 수 있도록 한 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈을 제공함에 그 목적이 있다. Accordingly, the present invention has been made to solve the above problems, and even if the ball of a very small or thin BGA type semiconductor device is distributed in the entire area or the edge of the device, the semiconductor device is stably gripped and transported. In addition, an object of the present invention is to provide a carrier module for a semiconductor device test handler which can be stably connected to a test socket to perform a test.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 캐리어 모듈 몸체와; 상기 캐리어 모듈 몸체의 저면부에 형성된 소자 안착부와; 상기 소자 안착부의 양측부에 벌어짐과 오므려짐이 가능하게 대향 설치되어, 소자 안착부에 안착된 반도체 소자의 양측면부를 홀딩 및 해제하는 적어도 1쌍의 제 1랫치와; 상기 제 1랫치의 양측에 선회가능하게 설치되며, 소자 안착부에 안착된 반도체 소자의 저면부를 홀딩하며, 상기 제 1랫치의 해제 작동시 함께 연동하여 반도체 소자를 해제하는 적어도 1쌍의 제 2랫치와; 상기 캐리어 모듈 몸체의 상부에 상하로 이동가능하게 설치되며, 상기 제 1랫치의 일단부와 결합되어, 상하로 이동하며 상기 제 1랫치를 운동시키는 랫치버튼과; 상기 제 1랫치와 제 2랫치를 각각 탄성적으로 지지하는 제 1탄성부재와 제 2탄성부재 및; 상기 제 1랫치의 끝단부에 상기 반도체 소자의 볼 사이로 연장되게 형성되어 반도체 소자의 저면부 가장자리(edge)를 지지하는 복수개의 리브 를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈을 제공한다.The present invention for achieving the above object, the carrier module body; An element seating portion formed on a bottom surface of the carrier module body; At least one pair of first latches provided on both sides of the device seating part so as to be open and closed to hold and release both sides of the semiconductor device seated on the device seating part; At least one pair of second latches rotatably installed on both sides of the first latch, holding a bottom portion of the semiconductor element seated in the element seating portion, and interlocking together to release the semiconductor element during the release operation of the first latch; Wow; A latch button installed on the upper portion of the carrier module body so as to be movable up and down, coupled with one end of the first latch, and moving up and down and moving the first latch; A first elastic member and a second elastic member elastically supporting the first latch and the second latch, respectively; A carrier module for a semiconductor device test handler, characterized in that it comprises a plurality of ribs extending from the end of the first latch between the balls of the semiconductor device to support the bottom edge of the semiconductor device. do.
상기와 같은 본 발명에 따르면, 캐리어 모듈이 반도체 소자를 보유시에는 제 1랫치와 제 2랫치가 동시에 반도체 소자를 홀딩하고, 반도체 소자를 테스트 소켓에 접속시켜 테스트를 수행할 경우에는 제 1랫치가 반도체 소자의 양측면부를 홀딩한 상태에서 제 2랫치만 외측으로 선회하여 반도체 소자를 해제함으로써 테스트가 원활히 진행될 수 있으며, 캐리어 모듈에서 반도체 소자를 분리하거나 수용해야 할 경우에는 제 1랫치와 제 2랫치가 동시에 벌어지면서 반도체 소자가 캐리어 모듈에 출입할 수 있는 상태로 된다. According to the present invention as described above, when the carrier module holds the semiconductor element, the first latch and the second latch simultaneously hold the semiconductor element, and when the semiconductor device is connected to the test socket to perform the test, the first latch The test can be smoothly performed by turning only the second latch outward while releasing the semiconductor device while holding both side portions of the semiconductor device. When the semiconductor device needs to be separated or accommodated from the carrier module, the first latch and the second latch At the same time, the semiconductor element can enter and exit the carrier module.
이하, 본 발명에 따른 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다. Hereinafter, exemplary embodiments of a carrier module for a semiconductor device test handler according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 3 내지 도 5c는 본 발명에 따른 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈의 일 실시예를 나타낸 도면으로, 캐리어 모듈(100)은 캐리어 모듈 몸체(110)와, 이 캐리어 모듈 몸체(110)의 하부면 중앙에 형성되어 반도체 소자가 안착되는 소자 안착부(115)와, 상기 소자 안착부(115)의 양측에 상호 대향되게 설치되어 반도체 소자(101)의 양측면부와 저면부를 각각 홀딩하는 제 1랫치(140)와 제 2랫치(150)와, 상기 캐리어 모듈 몸체(110)의 상부에 상하로 이동가능하게 설치되어 상기 제 1랫치(140)를 작동시키는 랫치버튼(130)으로 구성된다. 3 to 5c illustrate an embodiment of a carrier module for a semiconductor device test handler according to the present invention. The
상기 제 1랫치(140)는 제 1연결핀(142)에 의해 상기 랫치버튼(130)에 회전가능하게 결합되고, 제 2랫치(150)는 제 2연결핀(152)에 의해 캐리어 모듈 몸체(110) 에 선회가능하게 결합된다. The
또한, 상기 제 2랫치(150)는 한 쌍이 설치되고, 제 1랫치(140)는 2쌍이 제 2랫치(150)를 사이에 두고 제 2랫치(150)의 양편에 배치된다. In addition, a pair of the
상기 소자 안착부(115)는 반도체 소자(101)의 형태와 크기에 따라 상기 캐리어 모듈 몸체(110)와 분리시켜 교체하여 장착할 수 있다. The
그리고, 상기 캐리어 모듈 몸체(110)의 중앙부에는 반도체 소자의 온도 상승을 억제하기 위한 히트싱크(120)가 설치되고, 이 히트싱크(120)의 중앙에는 상부에서부터 하부까지 수직하게 관통된 관통홀(122)이 형성된다. In addition, a
상기 랫치버튼(130)은 상기 히트싱크(120)의 양측에 형성된 홀(116)에 삽입된 상태로 그 하단부가 제 1압축스프링(132)에 의해 캐리어 모듈 몸체(110)에 대해 탄력적으로 지지된다. The
그리고, 상기 제 1랫치(140)의 양편에는 상기 제 2랫치(150)의 내측면과 접촉하도록 랫치가동편(147)이 돌출되게 형성된다. 또한, 상기 제 1랫치(140)는 중간부에 장공형의 가이드홈(144)이 경사지게 형성되고, 상기 가이드홈(144) 내측에는 캐리어 모듈 몸체(110)에 고정되는 가이드핀(112)이 위치된다. The latch
따라서, 상기 랫치버튼(130)에 외력이 가해져 랫치버튼(130)이 하강하게 되면 상기 가이드홈(144)이 가이드핀(112)의 안내를 받게 되므로 제 1랫치(140)가 대각선 방향외측으로 하강하면서 벌어지게 되고, 반대로 랫치버튼(130)에 가해지던 외력이 제거되면 제 1압축스프링(132)의 탄성력에 의해 랫치버튼(130)이 상승하게 되고, 이에 따라 제 1랫치(140)의 가이드홈(144)이 가이드핀(112)의 안내를 받아 제 1랫치(140)가 대각선 방향 내측으로 상승하며 오므려지게 된다. Therefore, when the
또한, 제 1랫치(140)는 그의 선단부에 반도체 소자(101)의 볼(101a) 사이사이로 연장되는 복수개의 리브(141)를 형성되는 바, 상기 리브(141)는 제 1랫치(140)가 반도체 소자의 양측면부뿐만 아니라 저면부 가장자리까지도 동시에 홀딩할 수 있게 하여, 두께가 매우 얇은 BGA 반도체 소자를 테스트 소켓에 접속시킬 때에도 매우 안정된 지지력을 제공할 수 있도록 되어 있다. In addition, the
물론, 상기 리브(141)는 반도체 소자(101)의 볼(101a)들이 테스트소켓에 확실히 접속될 수 있도록 그의 두께가 볼(101a)의 두께보다는 얇아야 한다. 그리고, 각 리브(141) 사이사이의 홈 부분은 상기 볼(101a)의 형태와 상응하여 원호형상을 갖는 것이 바람직하다. Of course, the
한편, 상기 제 2랫치(150)는 외측 상단부에 걸림홈(156)이 형성되고, 이 걸림홈(156)에 제 2압축스프링(114)의 일단이 결합되어 캐리어 모듈 몸체(110)에 대해 탄성적으로 지지된다. 또한, 상기 제 2랫치(150)의 하단부 내측에는 반도체 소자(101)의 저면부 쪽으로 연장된 돌출턱(158)이 형성되며, 제 2랫치(150)의 하단부 외측에는 아래쪽으로 돌출된 돌기부(154)가 형성되어, 상기 돌기부(154)를 가압하게 되면 제 2랫치(150)가 제 2연결핀(152)을 중심으로 선회하도록 되어 있다. On the other hand, the
상기와 같이 구성된 캐리어 모듈은 다음과 같이 작동한다. The carrier module configured as described above operates as follows.
먼저, 도 5a에 도시된 바와 같이, 소정의 소자 이송장치(미도시)에 의해 테스트될 반도체 소자(101)가 테스트 트레이(1)(도 1참조)의 캐리어 모듈(100) 하부로 반송되면, 캐리어 모듈(100) 상측에서 푸셔부재(170)가 하강하여 랫치버튼(130) 을 누른다. First, as shown in FIG. 5A, when the
푸셔부재(170)가 상기 랫치버튼(130)을 눌러 하강시키면, 전술한 바와 같이 제 1랫치(140)가 가이드핀(112)의 안내를 받아 대각선방향 외측으로 하강하여 벌어지게 된다. 이와 동시에 상기 제 1랫치(140)가 벌어지면서 랫치가동편(147)이 제 2랫치(150)의 내측면을 밀어내게 되므로, 제 2랫치(150)가 외측으로 선회하여 벌어지게 된다. When the
이와 같이, 제 1랫치(140)와 제 2랫치(150)가 벌어지게 되면, 캐리어 모듈(100) 하부에 설치되는 하부 푸셔부재(미도시)가 반도체 소자(101)를 밀어올려 소자 안착부(115) 상에 안착시킨다.As such, when the
상기 소자 안착부(115) 상에 반도체 소자(101)가 안착되면, 상기 푸셔부재(170)가 상승하면서 랫치버튼(130)이 제 1압축스프링(132)의 탄성력에 의해 상승하게 되고, 이에 따라 제 1랫치(140)가 대각선 방향 내측으로 상승하면서 오므려져 도 5b에 도시된 것과 같이 반도체 소자(101)의 양측면부를 홀딩하게 된다. When the
이와 동시에, 상기 제 1랫치(140)가 상승함에 따라 제 2랫치(150) 또한 제 2압축스프링(114)의 탄성력에 의해 내측으로 선회하여 그의 돌출턱(158)이 반도체 소자(101)의 양측 저면부를 홀딩하게 된다. At the same time, as the
상기와 같이 반도체 소자(101)가 캐리어 모듈(100)에 보유된 상태에서 테스트 트레이(1)(도 1참조)가 테스트 사이트의 테스트 소켓(160) 위치로 이동하면, 프레스유닛(미도시)이 캐리어 모듈 몸체(110)를 테스트 소켓(160) 쪽으로 밀게 된다. As described above, when the test tray 1 (see FIG. 1) is moved to the
상기 테스트 소켓(160)의 양측부에는 상기 제 2랫치(150)의 돌기부(154)와 대응하는 랫치푸셔(162)가 상측으로 돌출되게 형성되는 바, 상기 캐리어 모듈(100)이 테스트 소켓(160) 쪽으로 이동하면, 도 5c에 도시된 바와 같이 제 2랫치(150)의 돌기부(154)가 랫치푸셔(162)와 접촉되면서 제 2랫치(150)가 외측으로 선회하여 벌어지게 되고, 이에 따라 제 2랫치(150)에 의한 반도체 소자의 홀딩상태는 해제되고, 제 1랫치(140)만 반도체 소자(101)의 양측면부를 홀딩하여 반도체 소자(101)의 볼(101a)과 테스트 소켓(160)의 콘택트부(164)가 접속된다. On both sides of the
이 때, 상기 제 1랫치(140)는 그의 선단부에 리브(141)들이 형성되어 있으므로 반도체 소자의 양측면부와 저면부 가장자리를 안정되게 홀딩하게 된다. At this time, since the
테스트가 완료되면, 테스트 트레이가 반도체 소자를 언로딩시키는 위치로 이동하고, 도 5a를 참조하여 설명한 바와 같이 상기 언로딩위치에서 다시 푸셔부재(170)가 하강하여 반도체 소자(101)가 캐리어 모듈(100)에서 분리된다. When the test is completed, the test tray is moved to a position where the semiconductor device is unloaded, and as described with reference to FIG. 5A, the
한편, 상술한 바와 같이 테스트 소켓(160)에 반도체 소자(101)가 접속되어 전기적 성능 테스트가 진행될 때, 반도체 소자(101)에서 발생하는 열이 상기 히트싱크(120)를 통해 외부로 신속히 배출되므로 방열을 위한 별도의 장치나 시간을 필요로 하지 않게 되고, 따라서 테스트 시간과 비용을 줄일 수 있게 된다. On the other hand, as described above, when the
그리고, 히트싱크(120)의 중앙에 형성된 관통홀(122)을 통해 진공압을 감지하여 캐리어 모듈(100)이 반도체 소자(101)를 홀딩하고 있는지의 여부를 확인할 수 있다. The vacuum pressure may be sensed through the through
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면 볼이 소자의 가장자리 전역에 걸쳐 분포되며, 특히 두께가 매우 얇은 BGA 타입 반도체 소자들을 테스트할 경우, 캐리어 모듈이 반도체 소자를 안정적으로 지지하여 테스트 소켓에 접속시킬 수 있게 되고, 따라서 테스트 신뢰성을 향상시킬 수 있다. As described above, according to the present invention, the ball is distributed over the edge of the device, and especially when testing a very thin BGA type semiconductor device, the carrier module stably supports the semiconductor device and connects it to the test socket. It is possible to improve the test reliability.
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