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KR100542583B1 - Susceptors for Glass Support of Chemical Vapor Deposition Equipment - Google Patents

Susceptors for Glass Support of Chemical Vapor Deposition Equipment Download PDF

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KR100542583B1
KR100542583B1 KR1020020019812A KR20020019812A KR100542583B1 KR 100542583 B1 KR100542583 B1 KR 100542583B1 KR 1020020019812 A KR1020020019812 A KR 1020020019812A KR 20020019812 A KR20020019812 A KR 20020019812A KR 100542583 B1 KR100542583 B1 KR 100542583B1
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heater
glass
susceptor
rod
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Abstract

본 발명의 화학기상증착 장비의 글라스 지지용 서셉터는 LCD 공정을 위한 장비의 챔버 내에서 글라스를 지지하고 글라스에 열과 RF전원을 인가하여 플라즈마를 발생시키고 글라스에 균일한 박막을 형성시켜 주는 서셉터에 있어서, 블럭(10); 상기 블럭(10)의 가장자리 부근을 따라 소정 패턴으로 배치되고 그 양단이 상기 블럭(10)의 중심부에 위치하는 제1히터라인(21); 상기 제1히터라인(21)의 둘레에 상응하는 한바퀴에 걸쳐 상기 제1히터라인(21)의 내부 영역에 지그재그 패턴으로 배치되고 그 양단이 상기 블럭(10)의 중심부에 위치하는 제2히터라인(22); 상기 블럭(10)의 중심과 외곽에 설치되어 온도를 검출하고 컨트롤하기 위한 써모커플(30,30'); 상기 블럭(10)을 지지하기 위한 로드부(40); 상기 블럭(10)의 표면에 글라스를 놓거나 옮기기 위한 핀 가이드홀(50); 및 상기 블럭(10)의 일측에 설치되어, RF 바이어스를 걸기 위한 접촉부(60)를 구비한 RF전원부;를 포함한다.The glass support susceptor of the chemical vapor deposition apparatus of the present invention supports the glass in the chamber of the equipment for the LCD process and generates a plasma by applying heat and RF power to the glass and forming a uniform thin film on the glass. In the block 10; A first heater line (21) disposed in a predetermined pattern along an edge of the block (10) and both ends of which are located at the center of the block (10); A second heater line disposed in a zigzag pattern in an inner region of the first heater line 21 over one circumference corresponding to the circumference of the first heater line 21, and both ends of which are located at the center of the block 10; (22); Thermocouples (30, 30 ') installed at the center and the outside of the block (10) for detecting and controlling temperature; A rod part 40 for supporting the block 10; Pin guide hole 50 for placing or moving the glass on the surface of the block 10; And an RF power supply unit installed at one side of the block 10 and having a contact unit 60 for applying an RF bias.

서셉터, 블럭, 히터, 로드Susceptors, blocks, heaters, rods

Description

화학기상증착 장비의 글라스 지지용 서셉터{susceptor for supporting glass of CVD equipment}Susceptor for supporting glass of CVD equipment

본 명세서에 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 것이며, 후술하는 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어 해석되어서는 아니된다.The following drawings attached to this specification are illustrative of preferred embodiments of the present invention, and together with the detailed description of the invention to serve to further understand the technical spirit of the present invention, the present invention is a matter described in such drawings It should not be construed as limited to

도 1은 종래 기술에 따른 서셉터의 도면이다.1 is a view of a susceptor according to the prior art.

도 2는 종래 기술에 따른 서셉터의 측면을 나타낸 도면이다.2 is a view showing the side of the susceptor according to the prior art.

도 3은 종래 기술에 따른 블럭의 내부를 나타낸 도면이다.Figure 3 is a view showing the interior of the block according to the prior art.

도 4는 종래 기술에 따른 블럭과 로드부의 결합을 나타낸 도면이다.4 is a view showing a combination of a block and a rod according to the prior art.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 서셉터의 도면이다.5 is a diagram of a susceptor according to an embodiment of the present invention.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 블럭의 도면이다.6 is a diagram of a block according to one embodiment of the invention.

도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 블럭의 내부를 나타낸 도면이다.7 is a diagram illustrating the inside of a block according to an embodiment of the present invention.

도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 서셉터의 측단면도이다.8 is a side cross-sectional view of a susceptor according to an embodiment of the present invention.

본 발명은 LCD 공정을 위한 장비의 챔버 내에서 글라스를 지지하고 글라스에 열과 RF전원을 인가하여 플라즈마를 발생시키고 글라스에 균일한 박막을 형성시켜 주는 서셉터에 관한 것이다.The present invention relates to a susceptor for supporting a glass in a chamber of an equipment for an LCD process, generating heat by applying heat and RF power to the glass, and forming a uniform thin film on the glass.

종래의 서셉터(susceptor) 구성을 도 1및 도 2에 도시하였다. 이를 참조하면 서셉터는 크게 블럭(1), 히터(2), 써모커플(3), 로드부(4)로 형성된다. 상기 블럭(1)의 재질은 히터(2)로부터 공급되는 열이 서셉터 표면(7)에서 균일한 분포가 되도록 하기 위해 일반적으로 열전도율이 우수한 소재를 사용하게 된다. 현재 반도체 장비에서 사용되는 재질은 저온공정(500℃ 이하)에서는 알루미늄을 주로 사용하고 고온공정(500℃ 이상)에서는 인코넬 또는 질화알루미늄 계열의 세라믹을 사용하고 있다. 또한, 히터는 블럭(1)에 내장되어 있으면서 블럭에 열을 공급하기 위한 것으로서 블럭의 크기 또는 요구되는 특성에 의해 여러개로 구성된다. 종래 기술에서는 세개의 히터라인(2)(2')(2")으로 구성되어 있으며, 이때 히터는 양쪽단에서 단자가 형성되므로 세개의 히터라인을 사용하여 구성할 경우 단자는 총 여섯개가 형성되게 된다. 한편, 써모커플(3)은 블럭의 온도를 검출하기 위해 블럭내에 내장시킨 써모커플(3)(3')로 구성되며, 써모커플에서 검출된 온도와 설정된 온도를 비교하여 차이가 발생하면 히터(2)에 공급 되는 전원을 조정하여 온도를 맞추게 된다. 일반적으로 써모커플은 블럭의 가운데 영역에 한 개(3)와 가장자리 영역에 한 개(3')등 총 두개로 구성되어 있다. 상기 로드부(4)는 블럭(1)을 지지하며 블럭으로부터 챔버 외부로 결선되는 히터 배선 및 써모커플 배선을 보호하며 챔버내부로 진공도가 유지되도록 되어 있다. 이 외에 서셉터는 공정을 진행하기 위해 서셉 터의 표면(7)에 글라스를 놓거나 써셉터의 표면으로부터 글라스를 올리기 위한 핀가이드홀(5)과, 서셉터에 RF 바이어스를 걸어주기 위한 접촉부(6)를 구비하는 RF 전원연결부로 구성된다.Conventional susceptor configurations are shown in FIGS. 1 and 2. Referring to this, the susceptor is largely formed of a block 1, a heater 2, a thermocouple 3, and a rod part 4. The material of the block 1 is generally made of a material having excellent thermal conductivity so that the heat supplied from the heater 2 is uniformly distributed on the susceptor surface 7. Currently, the materials used in semiconductor equipment are mainly aluminum in low temperature process (below 500 ℃) and Inconel or aluminum nitride-based ceramics in high temperature process (above 500 ℃). In addition, the heater is built in the block (1) and for supplying heat to the block is composed of a plurality depending on the size or required characteristics of the block. In the prior art, it is composed of three heater lines (2), 2 ', 2 ", and in this case, the heater is formed at both ends, so when the three heater lines are used, a total of six terminals are formed. On the other hand, the thermocouple 3 is composed of a thermocouple (3) (3 ') embedded in the block to detect the temperature of the block, if the difference occurs by comparing the temperature detected by the thermocouple and the set temperature The temperature is adjusted by adjusting the power supplied to the heater 2. In general, a thermocouple is composed of two parts, one in the center region of the block and one in the edge region (3 '). The rod part 4 supports the block 1, protects the heater wiring and the thermocouple wiring from the block to the outside of the chamber, and maintains the degree of vacuum inside the chamber. Written on the surface of the rotor (7) Write position the switch consists of a RF power connector having a contact portion (6) intended to hang the guide pin hole 5 and, RF bias on the susceptor in getting a glass from the surface of the susceptor.

상기와 같이 구성된 서셉터를 챔버 내부에 장착할 경우 챔버의 내부는 공정을 진행하기 위해 일정한 압력 이하로 유지할 필요가 있기 때문에 펌프를 통해 내부의 잔류 가스를 배출하여 챔버 내부를 저압상태로 유지한다. 아울러, 서셉터는 반응 챔버의 내부와 외부에 걸쳐 위치하게 되므로, 블럭(1)은 로드부(4)를 통해 외부로 연결되게 되며, 써모커플라인과 히터라인은 로드부를 통해 외부와 연결되게 된다. When the susceptor configured as described above is mounted in the chamber, the inside of the chamber needs to be maintained at a predetermined pressure or less to proceed with the process, so that the remaining gas is discharged through the pump to maintain the inside of the chamber at a low pressure. In addition, since the susceptor is located over the inside and outside of the reaction chamber, the block 1 is connected to the outside through the rod 4, the thermocouple and the heater line is connected to the outside through the rod. .

하지만, 상기와 같은 구조는 도 3및 도 4를 참조해서 보면, 히터 커버(10)와 블럭(1)의 용접면에서 균열이 발생하여 로드부(4)를 통해 유입된 공기가 균열이 발생한 면을 통해 챔버 내부로 들어가거나, 로드부(4)와 블럭(1)간의 용접면에 균열이 발생하여 로드부를 통해 유입된 공기가 균열이 발생한 면을 통해 챔버 내부로 들어가거나, 오링에서의 밀착도 불량에 의해 공기가 새어 들어가는 경우 등이 발생하여 진공상태가 불량해지는 문제점이 자주 발생하였다. 특히, 히터 커버(10)와 블럭(1)의 용접면에서 균열이 쉽게 발생하는데, 그 이유로는 용접후 용접한 면과 블럭(1)간의 높이를 맞춰주기 위해 용접한 면을 일부 제거하거나, 블럭(1)과 용접살(11)의 계면은 용접이 되었어도 취약한 상태로 존재하는데 이 부분을 제거하기 위한 가공시 계면으로 응력이 작용하여 더욱 취약한 상태로 되어 장기간 사용시 (온도 상승 및 하강이 반복적으로 일어남) 계면에 스트레스가 집중되어 균열의 발 생을 가속화 시키기 때문에 발생한다. However, the structure as described above with reference to Figures 3 and 4, the crack occurs in the welding surface of the heater cover 10 and the block 1, the air flows through the rod portion 4 is the surface where the crack occurs Through the inside of the chamber, or cracks in the welding surface between the rod 4 and the block 1, the air introduced through the rod enters the chamber through the cracked surface, or the adhesion in the O-ring When air leaks due to defects, a problem often occurs in that the vacuum is poor. In particular, cracks are easily generated at the welding surface of the heater cover 10 and the block 1, and the reason is that some of the welded surface may be removed or the block may be removed to match the height between the welded surface and the block 1. The interface between (1) and the weldment (11) exists in a vulnerable state even when welded. However, when machining to remove this part, the stress acts as an interface to make it more fragile. This occurs because stress is concentrated at the interface to accelerate the occurrence of cracks.

또한, 상기와 같은 구조는 블럭과 로드를 접합부에 있어서 용접강도 저하 및 직각도 불량이 발생한다. 구체적으로 도 4를 참조하여 설명하면, 서셉터 블럭(1)면과 로드부(4)는 서로 직각이 되어야 하는데, 직각이 되지 않을 경우에는 서셉터의 표면이 챔버 하부면 또는 상부 전극면과 평행하게 되지 않아 챔버 내부에서 플라즈마가 균일하게 형성되지 않는다. 따라서, 일반적으로 LCD 장비에 사용하는 서셉터는 사용 수명이 약 1년 정도이며 이 기간동안 수차례 챔버로부터 서셉터를 착탈 시켜 세정 및 아노다이징을 진행하게 되므로 이러한 과정을 거치면서 로드부(4)에 외적인 충격등에 의해 직각도가 틀어지게 된다. 나아가, 종래의 로드부는 상부로드 (4')와 하부 로드(4")를 맞대어 놓고 로드의 외부에서 용접을 진행하고 용접 비드(8)는 약 1~2mm 정도로 된 용접살에 의해서 결합되어 있기 때문에, 이와 같은 구조의 서셉터에 외부에서 물리적인 힘이 가해지면 용접면에 직접적으로 힘이 전달되어 용접면에 균열이 발생할 가능성이 높으며 또한 연질의 용접살의 변형에 의해 직각도가 틀어지는 원인이 된다. In addition, in the structure as described above, the weld strength decreases and the squareness is poor at the joint portion of the block and the rod. Specifically, referring to FIG. 4, the susceptor block 1 surface and the rod part 4 should be perpendicular to each other. When the susceptor block 1 is not perpendicular to each other, the surface of the susceptor is parallel to the lower surface of the chamber or the upper electrode surface. The plasma is not uniformly formed inside the chamber. Therefore, in general, the susceptor used in LCD equipment has a service life of about 1 year, and during this period, the susceptor is detached from the chamber several times to perform cleaning and anodizing. The squareness is distorted by external shocks. Furthermore, the conventional rod part is welded from the outside of the rod by facing the upper rod 4 'and the lower rod 4 "and the welding bead 8 is joined by a welding rod of about 1 to 2 mm However, when a physical force is applied to the susceptor of such a structure from the outside, the force is directly transmitted to the welding surface, which is likely to cause cracks in the welding surface, and also causes the squareness to be distorted by the deformation of the soft welding rod.

또한, 다시 도 1을 참조해서 설명하면 블럭(1)에는 내부 영역에 히터(2')과 히터(2")이 설치되어 있고 외부에 히터(2)가 배치되어 있다. 내부 영역에 설치된 히터(2)(2")는 중심부에 위치한 써모커플(3)에 의해 콘트롤 되며 외부 영역에 설치된 히터(2)는 가장자리에 위치한 써모커플(3')에 의해 콘트롤 된다. 이러한 구조에서는 외부의 콘트롤에는 큰 문제가 없으나 내부에 설치된 히터(2')과 히터(2")간에는 저항이나 발열도 측면에서 차이가 발생하게 되어 한개의 써모커플에 의해 콘트 롤 할 경우 온도 균일도 측면에서 문제가 발생하게 된다. 1, the heater 2 'and the heater 2 "are provided in the inner region, and the heater 2 is disposed outside. In the block 1, the heater 2 is provided. 2) (2 ") is controlled by the thermocouple 3 located at the center and the heater 2 installed in the outer area is controlled by the thermocouple 3 'located at the edge. In this structure, there is no big problem in the external control, but there is a difference in resistance or heat generation between the heater 2 'and the heater 2 "installed inside, so that the temperature uniformity in the case of controlling by one thermocouple Will cause problems.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 창안된 것으로서, 용접면에서 균열에 의해 발생하는 진공도의 불량과, 로드부의 용접강도 저하 및 직각도 불량 및 불합리한 히터 배치를 개선하여 알루미늄 씨즈 히터의 사용 및 그 구조와 히터 설계 개발을 통해 진공도, 온도 균일도 확보등 서셉터의 특성을 향상시킨 화학기상증착 장비의 글라스 지지용 서셉터를 제공하는 데 그 목적이 있다. The present invention was devised to solve the above problems, and improves the poor vacuum degree caused by the crack in the welding surface, the poor weld strength and the poor squareness and unreasonable heater arrangement of the rod part, thereby improving the use of aluminum seed heaters and Its purpose is to provide a glass support susceptor for chemical vapor deposition equipment that improves susceptor characteristics such as vacuum degree and temperature uniformity through its structure and heater design development.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 화학기상증착 장비의 글라스 지지용 서셉터는 LCD 공정을 위한 장비의 챔버 내에서 글라스를 지지하고 글라스에 열과 RF전원을 인가하여 플라즈마를 발생시키고 글라스에 균일한 박막을 형성시켜 주는 서셉터에 있어서, 블럭(10); 상기 블럭(10)의 가장자리 부근을 따라 소정 패턴으로 배치되고 그 양단이 상기 블럭(10)의 중심부에 위치하는 제1히터라인(21); 상기 제1히터라인(21)의 둘레에 상응하는 한바퀴에 걸쳐 상기 제1히터라인(21)의 내부 영역에 지그재그 패턴으로 배치되고 그 양단이 상기 블럭(10)의 중심부에 위치하는 제2히터라인(22); 상기 블럭(10)의 중심과 외곽에 설치되어 온도를 검출하고 컨트롤하기 위한 써모커플(30,30'); 상기 블럭(10)을 지지하기 위한 로드부(40); 상기 블럭(10)의 표면에 글라스를 놓거나 옮기기 위한 핀 가이드홀(50); 및 상기 블럭(10)의 일측에 설치되어, RF 바이어스를 걸기 위한 접촉부(60)를 구비한 RF전원부를 포함한다.In order to achieve the above object, the glass support susceptor of the chemical vapor deposition apparatus according to the present invention supports the glass in the chamber of the equipment for the LCD process and generates heat by applying heat and RF power to the glass and A susceptor for forming a uniform thin film, comprising: a block (10); A first heater line (21) disposed in a predetermined pattern along an edge of the block (10) and both ends of which are located at the center of the block (10); A second heater line disposed in a zigzag pattern in an inner region of the first heater line 21 over one circumference corresponding to the circumference of the first heater line 21, and both ends of which are located at the center of the block 10; (22); Thermocouples (30, 30 ') installed at the center and the outside of the block (10) for detecting and controlling temperature; A rod part 40 for supporting the block 10; Pin guide hole 50 for placing or moving the glass on the surface of the block 10; And an RF power supply unit installed at one side of the block 10 and having a contact unit 60 for applying an RF bias.

바람직하게, 상기 히터라인의 외피(23)는 알루미늄으로 구성되며 상기 블럭(10)에 히터라인(21,22)을 고정하기 위해서 블럭에 홈(11)을 형성하고 히터고정용 외측 커버(14)를 삽입한 후 용접할 접합면을 모따기를 하여 두 접촉면이 서로 대칭이 되도록 하여 용접하며, 상기 홈(11)은 계단 형상의 단차를 형성하여 제 1단은 히터라인(21,22)을 삽입한 후 내측커버(12)로 덮고 그 주외에 알루미늄필러(13)를 채우며, 제 2단은 히터고정용 외측커버(14)를 외부로 돌출되지 않도록 결합하고, 상기 히터고정용 외측커버(14)를 블럭에 용접할 때 그 용접살(15)이 블럭면 밖으로 돌출되지 않도록 하는 것을 포함한다.Preferably, the outer shell 23 of the heater line is made of aluminum and forms a groove 11 in the block to fix the heater lines 21 and 22 to the block 10 and the outer cover 14 for fixing the heater. After inserting and welding the joint surface to be chamfered so that the two contact surfaces are symmetrical with each other, the groove 11 is a step-shaped step is formed so that the first end is inserted heater line (21, 22) After covering with an inner cover 12 and filling the aluminum filler 13 outside the main, the second end is coupled to the heater fixing outer cover 14 so as not to protrude to the outside, the heater fixing outer cover 14 When welding to the block, the weld 15 is not protruded out of the block surface.

이하 첨부된 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Prior to this, terms or words used in the present specification and claims should not be construed as being limited to the common or dictionary meanings, and the inventors should properly explain the concept of terms in order to best explain their own invention. Based on the principle that can be defined, it should be interpreted as meaning and concept corresponding to the technical idea of the present invention. Therefore, the embodiments described in the specification and the drawings shown in the drawings are only the most preferred embodiment of the present invention and do not represent all of the technical idea of the present invention, various modifications that can be replaced at the time of the present application It should be understood that there may be equivalents and variations.

도 5는 본 발명에 따른 서셉터의 도면으로서, 이를 참조하면 전체 구성은 종래 기술과 같이 블럭(10), 히터라인(21,22), 써머커플(30,30'), 로드부(40), 및 핀가이드홀 (50)과 RF전원 연결부로 구성된다.5 is a view of the susceptor according to the present invention, referring to the overall configuration is the block 10, the heater line (21, 22), the thermocouple 30, 30 ', rod portion 40 as in the prior art And a pin guide hole 50 and an RF power supply connection part.

상기 블럭(10)은 화학기상증착된 박막이 위치하는 부분으로 히터라인(21,22) 및 써머커플(30,30')이 내부에 형성된다. 이를 도 6 및 도 7을 참조하여 좀 더 자세히 설명하면, 블럭(10)에는 히터(20)가 중심에 내장된 히터라인(21,22)이 삽입되는 홈(11)이 형성되고, 상기 홈(11)에는 히터라인(21,22)이 삽입된 후 내측 커버(12)와 외측 커버(14)가 끼워진다. 이를 위해, 상기 홈(11)에 내측 커버를 끼운 후 다시 내측 커버(12)위로 블럭(10)과 용접을 하기 위한 외측 커버(14)를 끼워 넣고 블럭과 외측 커버간에 용접을 실시한다. 용접이 진행되고 나면 블럭(10)과 외측 커버(14) 사이에는 용접살(15)이 형성되고 두 소재간에 접합이 이루어 진다. 이때, 블럭(10)과 히터라인(21,22)간의 밀착도는 히터로부터 발생된 열이 블럭으로 전달되는 효율을 결정하는 요소로 종래 기술에서는 밀착도를 높이기 위해 블럭과 히터라인 사이에 형성되어 있는 틈에 산화마그네슘 가루를 채워 넣은 후 조립을 진행하였으나, 본 발명에서는 히터라인과 동일한 재질의 알루미늄필러(13)를 사용하여 접합도를 향상시킨다. 상기 홈(11)은 상대적으로 폭이 좁은 내부의 제1단과, 상기 제1단으로부터 블럭 바깥으로 연장되되 상대적으로 폭이 넓은 제2단을 구비하도록 단차가 진 계단 형상으로 형성된다. 여기서, 상기 제1단에는 히터라인(21,22)이 삽입된 후 내측커버(12)가 덮히되, 상기 히터라인(21,22)과 내측커버(12) 사이에 알루미늄필러(13)가 채워지고, 상기 제2단에는 상기 외측커버(14)가 블럭면 외부로 돌출되지 않도록 끼워진다.The block 10 is a portion in which the chemical vapor deposition thin film is located, the heater lines 21 and 22 and the thermocouples 30 and 30 'are formed therein. 6 and 7, the groove 10 is formed in the block 10 into which the heater lines 21 and 22 in which the heater 20 is embedded are inserted, and the groove ( 11, the inner cover 12 and the outer cover 14 are fitted after the heater lines 21 and 22 are inserted. To this end, the inner cover is inserted into the groove 11, and then the outer cover 14 for welding with the block 10 is inserted onto the inner cover 12 and welded between the block and the outer cover. After the welding proceeds, a weld 15 is formed between the block 10 and the outer cover 14, and a joint is formed between the two materials. At this time, the degree of adhesion between the block 10 and the heater lines 21 and 22 is a factor that determines the efficiency of transferring heat generated from the heater to the block. In the related art, a gap formed between the block and the heater line to increase the degree of adhesion. Assembly was performed after the magnesium oxide powder was filled in, but in the present invention, the aluminum filler 13 of the same material as the heater line is used to improve the bonding degree. The groove 11 is formed in a stepped step shape so as to have a relatively narrow first end and a second end extending out of the block from the first end and having a relatively wide end. Here, the inner end 12 is covered after the heater lines 21 and 22 are inserted into the first end, and the aluminum filler 13 is filled between the heater lines 21 and 22 and the inner cover 12. The outer end 14 is inserted into the second end such that the outer cover 14 does not protrude out of the block surface.

또한, 블럭(10)과 외측 커버(14)간 접촉면에 대해 대칭적으로 모따기를 하여 용접시 발생되는 응력을 블럭(10)과 외측 커버(14)에 동일한 힘으로 작용토록 하여 응력이 한쪽으로 집중되는 현상을 방지하도록 한다. 나아가, 블럭(10)에 한 포인트의 단차(16)를 두어 용접살(15)과 블럭(10)간의 접촉면적을 넓혀 줌과 동시에, 용접살(15)의 단차를 블럭(10) 표면보다 낮게 하여 용접 완료후 용접살을 제거하는 작업을 실시할 필요가 없다. 아울러, 일부 용접살이 블럭(10)의 표면 보다 높게 형성되어서 용접살 부위를 제거하여도 블럭(1)과 용접살(11)과의 계면이 제거되지 않기 때문에 균열이 발생하지는 않는다. 나아가, 블럭(10)과 히터라인(21,22) 및 히터라인과 내측 커버(12)간에 알루미늄필러(13)를 사용하여 브레이징을 진행한 후 외측 커버와 블럭간에 용접을 진행하고, 브레이징을 진행하면 블럭(10)과 히터라인(21,22) 및 히터라인과 내측 커버(12) 사이가 알루미늄계 물질로 채워지고 용접한 것과 동일한 밀착도를 가지므로 히터로부터 공급되는 열을 블럭으로 원활하게 전달한다. 따라서, 히터로부터 블럭으로 열전달이 용이하게 되면 히터의 최고 상승온도가 낮아져(열전달이 불량하면 블럭의 온도를 올리기 위해 히터 자체의 온도는 높게 상승해야 한다) 히터의 수명을 연장할 수 있다.In addition, by symmetrically chamfering the contact surface between the block 10 and the outer cover 14, the stress generated during welding is applied to the block 10 and the outer cover 14 with the same force so that the stress is concentrated to one side. To prevent this from happening. Further, by placing the step 16 at one point in the block 10 to increase the contact area between the weld 15 and the block 10, the step of the weld 15 is lower than the surface of the block 10. Therefore, it is not necessary to perform the work of removing the weld after completion of welding. In addition, since some weld teeth are formed higher than the surface of the block 10, even if the weld portions are removed, the interface between the block 1 and the weld bars 11 is not removed, and thus cracks do not occur. Furthermore, after the brazing is performed using the aluminum filler 13 between the block 10 and the heater lines 21 and 22 and the heater line and the inner cover 12, welding is performed between the outer cover and the block and the brazing is performed. The lower surface of the block 10 and the heater line (21, 22) and the heater line and the inner cover 12 is filled with an aluminum-based material and has the same adhesion as welded, so that the heat supplied from the heater is smoothly transferred to the block. . Therefore, when the heat transfer from the heater to the block becomes easy, the maximum rise temperature of the heater is lowered (if the heat transfer is poor, the temperature of the heater itself must be raised to raise the temperature of the block), thereby extending the life of the heater.

본 발명에 따르면, 블럭(10)의 내부 영역을 하나의 히터로 연결·관리하여 내부 써모커플(30, 30')에 의한 온도콘트롤을 용이하게 하고 온도 균일성을 확보하며, 히터의 패턴을 제1히터라인(21)과 제2히터라인(22)의 두 라인만을 사용함으로써 로드부(40) 내로 빠져 나오는 단자를 네 개로 줄였고, 씨즈히터 내의 전열선을 더블타입으로 설정하여 블력(10) 표면에서 균일한 온도를 얻을 수 있다. 여기서, 제1히터라인(21)은 상기 블럭(10)의 가장자리 부근을 따라 소정 패턴으로 배치되고 그 양단이 상기 블럭(10)의 중심부에 위치한다. 또한, 제2히터라인(22)은 상기 제1히터라인(21)의 둘레에 상응하는 실질적인 한바퀴에 걸쳐 상기 제1히터라인(21)의 내부 영역에 지그재그 패턴으로 배치되고 그 양단이 상기 블럭(10)의 중심부에 위치한다.According to the present invention, the internal area of the block 10 is connected and managed by one heater to facilitate temperature control by the internal thermocouples 30 and 30 ', to ensure temperature uniformity, and to provide a heater pattern. By using only two lines of the first heater line 21 and the second heater line 22, four terminals exiting into the rod part 40 were reduced to four, and the heating wire in the sheath heater was set to the double type to provide the Uniform temperature can be obtained. Here, the first heater line 21 is disposed in a predetermined pattern along the edge of the block 10 and both ends thereof are located at the center of the block 10. In addition, the second heater line 22 is disposed in a zigzag pattern in an inner region of the first heater line 21 over a substantially rounded circle corresponding to the circumference of the first heater line 21, and both ends thereof are disposed in the block ( 10) located in the center of the room.

도 8의 블럭과 로드부의 결합 도면을 참조하면, 본 서셉터에서는 히터의 씨즈(외피)(23) 재질을 알루미늄을 사용하여 로드부(40)의 알루미늄과 히터의 씨즈(23)와 용접(24) 또는 브레이징을 통해 실링하였다. 본 발명의 구조는 히터라인에서 용접면의 불량에 의한 균열이 생겨 있어도 상부로드(41)에서 용접한 부분에서 실링을 함으로서 진공도를 유지할 수 있게 된다. 또한, 써모커플(30,30')라인의 씨즈재질은 써스(SUS)로 되어 있기 때문에 알루미늄과 용접이 안된다. 따라서 써모커플(30,30') 부분은 블럭(10)에 알루미늄 파이프(32)가 삽입될 구멍(18)을 형성하고 알루미늄 파이프를 삽입한 다음 블럭(10)의 돌출부(19)와 파이프(32)를 용접 또는 브레이징을 하여 용접면(34)을 형성한다. 이때, 알루미늄 파이프(32)의 다른 한 면은 상부 로드(41)에 형성된 돌출부(44)와 용접 또는 브레이징을 하여 용접면(45)을 형성한다. 상기와 같은 구조는 최소의 용접면(24)(34)(45)으로 진공도를 확보할 수 있게 된다. 상부로드(41)와 하부로드(42)가 접합하는 부위의 구조로는 먼저 상부 로드(41에서 하부로드(42)와 접촉하는 면을 외측으로부터 일정 부분의 두께를 제거하고 나사산(47)을 형성하고, 하부로드(42)에도 상부로드(41)와 접촉하는 면을 내측으로부터 일정 부분을 제거하고 나사산(48)을 형성하여 서로 나사를 통해 겹합한 후 용접을 진행하여 용접살(49)을 형성하는 것이 바람직하다. 상기의 구조의 로드부(40)에 외부에서 물리적인 힘이 로드에 인가 될 경우 상부로드(41)와 하부로드(42)의 나사산 접합부에서 힘을 받게 되므로 용접부(49)로는 힘이 전달되지 않아 균열 불량이 발생할 가능성이 적게 되며, 초기에 로드부의 직각도를 맞추기가 용이하다. 즉 기존의 경우 상부로드(41)와 하부로드(42)의 맞대기 접합면이 정확하게 수평도가 나와야 하며 용접시 응력에 의해 변형 되는 경우 직각도를 맞추는데 문제가 많았으나 본 발명에서는 나사산의 여유 공차로 용접전 직각도를 맞추고 용접을 진행하여 용접후 발생한 변형에 대해서도 용접면에 균열을 주지 않고 직각도를 맞추는 작업이 가능하다.Referring to the block diagram of FIG. 8, in the susceptor, the sheath 23 of the heater is made of aluminum and the sheath 23 of the heater 40 is welded to the heater 24. Or through brazing. According to the structure of the present invention, even if a crack occurs due to a poor welding surface in the heater line, the degree of vacuum can be maintained by sealing at a portion welded by the upper rod 41. In addition, since the sheath material of the thermocouple lines 30 and 30 'is made of SUS, welding with aluminum is not possible. Therefore, the thermocouples 30 and 30 'form a hole 18 into which the aluminum pipe 32 is to be inserted into the block 10, insert the aluminum pipe, and then the protrusion 19 and the pipe 32 of the block 10. ) Is welded or brazed to form the weld surface 34. In this case, the other surface of the aluminum pipe 32 is welded or brazed with the protrusion 44 formed on the upper rod 41 to form the weld surface 45. The structure as described above can ensure the degree of vacuum with a minimum of the welding surface (24, 34, 45). As the structure of the portion where the upper rod 41 and the lower rod 42 are joined, first, the surface of the upper rod 41 contacting the lower rod 42 is removed from the outside to form a thread 47 and the thread 47 is formed. In addition, the lower rod 42 also removes a predetermined portion from the inner side of the surface in contact with the upper rod 41 and forms a thread 48 to overlap with each other through the screws, and then proceeds with welding to form the weld teeth 49. When a physical force is applied to the rod externally to the rod portion 40 of the above structure, since the force is received at the threaded joint of the upper rod 41 and the lower rod 42, the weld portion 49 is used as the weld portion 49. Since the force is not transmitted, it is less likely to cause a crack failure, and it is easy to match the squareness of the rod at an initial stage, that is, in the conventional case, the butt joint surface of the upper rod 41 and the lower rod 42 is accurately leveled. By the stress of welding In case of deformation, there were many problems in adjusting the squareness. However, in the present invention, it is possible to adjust the squareness of the welding surface without cracking the weld surface by adjusting the squareness before welding and welding by the tolerance of thread. .

본 발명의 화학기상증착 장비의 글라스 지지용 서셉터에 따르면, 용접면에서 균열에 의해 발생하는 진공도의 불량과, 로드부의 용접강도 저하 및 직각도 불량 및 불합리한 히터 배치를 개선하여 알루미늄 씨즈 히터의 사용 및 그 구조와 히터 설계 개발을 통해 진공도, 온도 균일도 확보 등 서셉터의 특성을 향상시킬 수 있다.According to the glass support susceptor of the chemical vapor deposition apparatus of the present invention, the use of an aluminum seed heater by improving the poor vacuum degree caused by the crack in the weld surface, the poor weld strength and the poor squareness and the unreasonable heater arrangement of the rod part are improved. And through the development of the structure and heater design, it is possible to improve the characteristics of the susceptor, such as ensuring the degree of vacuum, temperature uniformity.

Claims (6)

LCD 공정을 위한 장비의 챔버 내에서 글라스를 지지하고 글라스에 열과 RF전원을 인가하여 플라즈마를 발생시키고 글라스에 균일한 박막을 형성시켜 주는 서셉터에 있어서, In the susceptor that supports the glass in the chamber of the equipment for the LCD process, generates heat by applying heat and RF power to the glass and forms a uniform thin film on the glass, 블럭(10);Block 10; 상기 블럭(10)의 가장자리 부근을 따라 소정 패턴으로 배치되고 그 양단이 상기 블럭(10)의 중심부에 위치하는 제1히터라인(21);A first heater line (21) disposed in a predetermined pattern along an edge of the block (10) and both ends of which are located at the center of the block (10); 상기 제1히터라인(21)의 둘레에 상응하는 한바퀴에 걸쳐 상기 제1히터라인(21)의 내부 영역에 지그재그 패턴으로 배치되고 그 양단이 상기 블럭(10)의 중심부에 위치하는 제2히터라인(22);A second heater line disposed in a zigzag pattern in an inner region of the first heater line 21 over one circumference corresponding to the circumference of the first heater line 21, and both ends of which are located at the center of the block 10; (22); 상기 블럭(10)의 중심과 외곽에 설치되어 온도를 검출하고 컨트롤하기 위한 써모커플(30,30');Thermocouples (30, 30 ') installed at the center and the outside of the block (10) for detecting and controlling temperature; 상기 블럭(10)을 지지하기 위한 로드부(40);A rod part 40 for supporting the block 10; 상기 블럭(10)의 표면에 글라스를 놓거나 옮기기 위한 핀 가이드홀(50); 및Pin guide hole 50 for placing or moving the glass on the surface of the block 10; And 상기 블럭(10)의 일측에 설치되어, RF 바이어스를 걸기 위한 접촉부(60)를 구비한 RF전원부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 화학기상증착 장비의 글라스 지지용 서셉터.It is installed on one side of the block 10, the RF power supply having a contact portion 60 for applying the RF bias; susceptor for glass support of chemical vapor deposition equipment comprising a. 제 1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 히터의 외피(23)는 알루미늄으로 구성되는 것을 특징으로 하는 화학기상증착 장비의 글라스 지지용 서셉터.The shell 23 of the heater susceptor for supporting the chemical vapor deposition equipment, characterized in that consisting of aluminum. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 블럭(10)에는 상기 히터라인(21,22)이 삽입되는 홈(11)과, 상기 히터라인(21,22)을 고정하도록 상기 홈(11)에 삽입되는 외측 커버(14)가 구비되고,The block 10 is provided with a groove 11 into which the heater lines 21 and 22 are inserted, and an outer cover 14 inserted into the groove 11 to fix the heater lines 21 and 22. , 상기 블럭(10)에 대하여 외측 커버(14)가 용접되되, 상기 블럭(10)과 외측 커버(14)의 용접 접합면이 상호 대칭을 이루도록 모따기가 되어 있는 것을 특징으로 하는 화학기상증착 장비의 글라스 지지용 서셉터.The outer cover 14 is welded to the block 10, the weld joint surface of the block 10 and the outer cover 14 is chamfered so as to be symmetrical to each other, the glass of chemical vapor deposition equipment Support susceptor. 제 3항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 홈(11)은 상대적으로 폭이 좁은 제1단과, 상기 제1단으로부터 바깥으로 연장되되 상대적으로 폭이 넓은 제2단을 구비하도록 단차가 지고,The groove 11 is stepped to have a relatively narrow first end and a second end extending outward from the first end and having a relatively wide end, 상기 제1단에는 히터라인(21,22)이 삽입된 후 내측커버(12)가 덮히되, 상기 히터라인(21,22)과 내측커버(12) 사이에 알루미늄필러(13)가 채워지고,After the heater lines 21 and 22 are inserted into the first end, the inner cover 12 is covered, and the aluminum filler 13 is filled between the heater lines 21 and 22 and the inner cover 12. 상기 제2단에는 상기 외측커버(14)가 블럭면 외부로 돌출되지 않도록 끼워지고, 상기 외측커버(14)는 용접살(15)이 블럭면 외부로 돌출되지 않도록 상기 블럭(10)에 용접되는 것을 특징으로 하는 화학기상증착 장비의 글라스 지지용 서셉터.The outer end 14 is inserted into the second end such that the outer cover 14 does not protrude out of the block surface, and the outer cover 14 is welded to the block 10 so that the weld bar 15 does not protrude out of the block surface. Glass support susceptor for chemical vapor deposition equipment, characterized in that. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 로드부(40)는 내부에 히터라인 및 써모커플을 감싸도록 형성된 알루미늄 파이프(32)가 지나갈 수 있도록 구멍을 형성하고, 라인과 구멍의 접합면을 용접 또는 브레이징하며, 이때, 상기 알루미늄 파이프의 종단은 블럭(10)에 형성된 구멍(18)에 고정되는 것을 특징으로 하는 화학기상증착 장비의 글라스 지지용 서셉터.The rod part 40 forms a hole through which the aluminum pipe 32 formed to surround the heater line and the thermocouple passes therein, and welds or brazes the joint surface of the line and the hole. The end of the susceptor for glass support of chemical vapor deposition equipment, characterized in that fixed to the hole (18) formed in the block (10). 제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 5, 상기 로드부(40)는 상부로드(41)와 하부로드(42)로 구성되어, 상부로드는 외측면에 수나사(47)를 형성하고, 하부로드는 내측면에 암나사(48)를 형성하여 상부로드에 하부로드를 회전시켜 끼우도록 형성되며, 완전하게 끼운 후 상부로드와 하부로드의 접촉면을 외부에서 용접 또는 브레이징 하는 것을 특징으로 하는 화학기상증착 장비의 글라스 지지용 서셉터.The rod portion 40 is composed of an upper rod 41 and a lower rod 42, the upper rod forms a male screw 47 on the outer surface, the lower rod forms a female screw 48 on the inner surface of the upper It is formed to rotate the lower rod to the rod, the susceptor for supporting the glass of chemical vapor deposition equipment characterized in that the welding or brazing the contact surface of the upper rod and the lower rod from the outside after being completely inserted.
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