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KR100527277B1 - Ion exchange filter for removing harmful gases - Google Patents

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KR100527277B1
KR100527277B1 KR10-2003-0053358A KR20030053358A KR100527277B1 KR 100527277 B1 KR100527277 B1 KR 100527277B1 KR 20030053358 A KR20030053358 A KR 20030053358A KR 100527277 B1 KR100527277 B1 KR 100527277B1
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Abstract

본 발명은 반도체 및 산업현장에서 발생되는 유해가스와 분진을 처리하기 위한 가스 스크러버에 사용되는 이온교환필터에 관한 것으로서 산성 및 염기성 가스를 효율적으로 제거할 수 있으며, 접촉면적을 증가시키면서 압력손실을 최소화하도록 구성되어 있다. 이온교환필터는 이온교환수지가 부착된 이온교환봉과 이온교환봉이 가이드에 의해 고정된 이온교환판, 접촉효율을 증가시키기 위하여 이온교환판을 격자 형태로 적층시켜 제작된 것이다. 상기와 같이 제작된 이온교환필터는 기존에 사용하고 있는 이온교환부직포에 비해 산성 및 염기성 가스의 제거효율이 우수할 뿐만 아니라 제조비용이 절감된다. The present invention relates to an ion exchange filter used in a gas scrubber for treating harmful gases and dust generated in semiconductors and industrial sites, and can efficiently remove acidic and basic gases and minimize pressure loss while increasing contact area. It is configured to. The ion exchange filter is manufactured by laminating an ion exchange rod with an ion exchange resin and an ion exchange rod fixed by a guide with an ion exchange rod, and laminating the ion exchange plate in order to increase contact efficiency. The ion exchange filter manufactured as described above is excellent in the removal efficiency of acidic and basic gas as well as the manufacturing cost compared to the ion exchange nonwoven fabric used in the past.

Description

유해가스를 제거할 수 있는 이온교환필터{Ion exchange filter for removing harmful gases} Ion exchange filter for removing harmful gases

반도체 제조 공정이나 산업현장에서 발생하는 유해가스 및 유독가스는 인체에 극히 해로운 것으로 알려져 있으며, 이러한 유해가스 및 유독가스를 제거하기 위하여는 여러 가지 처리법이 있다. 그 중에 일반적으로 사용하는 방법으로는 습식 처리법과 건식 처리법이 있다. Hazardous gases and toxic gases generated in semiconductor manufacturing processes or industrial sites are known to be extremely harmful to the human body, and there are various treatment methods to remove these harmful gases and toxic gases. Among the methods generally used, there are a wet treatment method and a dry treatment method.

습식 처리법은 배기가스와 세척액이 충전탑에서 서로 향류 방향으로 흐르면서 기-액 접촉을 통하여 유독가스를 중화시키거나 흡수 처리하는 방법이다. 여기서 세척액은 일반적으로 NaOH와 같은 염기성 수용액이다. 이러한 습식 처리방법은 배기가스 처리장치가 반응 생성물로 막히게 되어 효율이 급격히 떨어지는 문제점을 안고 있다. The wet treatment is a method of neutralizing or absorbing toxic gases through gas-liquid contact while exhaust gas and washing liquid flow in the countercurrent direction in the packed column. The washing liquid here is generally a basic aqueous solution such as NaOH. This wet treatment method has a problem that the exhaust gas treatment device is blocked by the reaction product, the efficiency is sharply reduced.

건식 처리법은 유독가스를 고온으로 열분해하는 방법과 흡착제를 이용하여 흡착제거하는 방법으로 구분된다. Dry treatment is classified into a method of pyrolyzing toxic gas at a high temperature and a method of adsorption removal using an adsorbent.

고온으로 열 분해하는 방법으로는 히터를 이용한 간접가열 방식과 LPG 등과 같은 가스를 이용한 직접가열식으로 구분된다. 이러한 방법은 고농도의 가스를 처리하는데 적합하지만, 히터 또는 LPG를 사용하여 고온으로 올리기 때문에 안전성에 문제가 있으며, 외부로부터 열원을 사용하기 때문에 운전비가 많이 든다는 문제가 있다. Thermal decomposition at high temperature is divided into indirect heating using a heater and direct heating using a gas such as LPG. Although this method is suitable for treating a high concentration of gas, there is a problem in safety because it is raised to a high temperature using a heater or LPG, and there is a problem in that operating costs are high because a heat source is used from the outside.

흡착제를 이용한 흡착식 스크러버에는 유독성 가스를 제거하기 위하여 흡착제를 스크러버에 충전한다. 흡착제로는 일반적으로 활성탄[일본특허번호 61-35849(1986)]과 NaOH, Ca(OH)2, Mg(OH)2와 같은 염기성 물질[일본특허번호 61-61619(1986)]을 사용한다. 또한 활성탄과 염기성 물질을 혼합하여 사용하는 경우도 있다[미국특허번호 5322674(1994)].The adsorption scrubber using the adsorbent is filled with the adsorbent to remove the toxic gas. As the adsorbent, activated carbon [Japanese Patent No. 61-35849 (1986)] and basic substances such as NaOH, Ca (OH) 2 and Mg (OH) 2 are generally used. There is also a case where a mixture of activated carbon and a basic substance is used (US Pat. No. 5322674 (1994)).

또한 이온교환체를 이용하여 유해가스를 처리하는 방법[국내특허번호 10-0333930(2002)]이 있으며, 이 특허에 사용되는 이온교환체는 이온교환부직포를 사용하여 산성 및 염기성 가스를 제거하도록 하였다. 산성 및 염기성 가스를 제거할 수 있는 메디아로 이온교환부직포를 사용하였는데 이온교환부직포의 가격이 비싸다는 단점이 있다. 이온교환부직포의 제거효율을 향상시키기 위하여 본 발명자가 출원한 유해가스 및 분진을 효과적으로 제거할 수 있는 가스 스크러버[국내특허번호 10-2003-0023949]가 출원되어 있으며, 이 특허에는 이온교환부직포를 사용하여 이온교환필터를 제작하였으며, 이온교환필터의 산성 및 염기성 가스 제거성능을 향상시키기 위하여 분진을 미리 제거하도록 구성하였다. In addition, there is a method for treating noxious gas using an ion exchanger [Domestic Patent No. 10-0333930 (2002)], and the ion exchanger used in this patent is to remove acidic and basic gases using an ion exchange nonwoven fabric. . An ion exchange nonwoven fabric is used as a medium capable of removing acidic and basic gases, but the ion exchange nonwoven fabric is expensive. In order to improve the removal efficiency of the ion exchange nonwoven fabric, a gas scrubber [Domestic Patent No. 10-2003-0023949], which can effectively remove harmful gases and dusts filed by the present inventors, has been filed. The ion exchange filter was fabricated, and was configured to remove dust in advance to improve the acid and basic gas removal performance of the ion exchange filter.

본 발명에서는 산성 및 염기성 가스를 제거할 수 있는 이온교환부직포를 사용하는 대신에 가격이 저렴한 이온교환수지가 부착된 이온교환봉을 이용하여 산성 및 염기성 가스에 대한 제거효율이 우수하며, 압력손실이 거의 발생하지 않는 이온교환필터를 제작하였다. In the present invention, instead of using an ion exchange nonwoven fabric capable of removing acidic and basic gases, an ion exchange rod with an inexpensive ion exchange resin is used to remove acidic and basic gases, and the pressure loss is excellent. Almost no ion exchange filter was produced.

본 발명은 상기와 같은 시스템으로 이루어진 것이다. 본 발명의 목적은 산성 및 염기성 가스의 제거효율이 우수하며, 재생이 가능하고, 가격이 저렴한 이온교환수지를 이용한 이온교환필터를 사용함으로서 유해가스를 효과적으로 제거할 수 있도록 하고자 한다. The present invention consists of such a system. An object of the present invention is to be able to effectively remove the harmful gas by using an ion exchange filter using an ion exchange resin, which is excellent in the removal efficiency of acid and basic gas, reproducible, and inexpensive.

본 발명은 반도체 제조 공정 및 산업현장에서 발생되는 산성 및 염기성 가스를 효과적으로 제거할 수 있는 이온교환필터에 관한 것이다. The present invention relates to an ion exchange filter capable of effectively removing acidic and basic gases generated in semiconductor manufacturing processes and industrial sites.

이하, 본 발명에 따른 이온교환필터의 구성과 그 작용에 대한 실시 예를 첨부 도면에 의거하여 상세하게 설명하면 다음과 같다. Hereinafter, an embodiment of the configuration and operation of the ion exchange filter according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1과 2는 이온교환필터가 장착된 가스 스크러버의 개념을 나타낸 정면도와 측면도이다. 유해가스와 분진의 제거 방법은 먼저 가스 스크러버 하부의 인입관(1)을 통해 유해가스와 분진이 유입되고, 유입된 분진은 집진부(2)에 의해서 제거되며, 분진이 제거된 유해가스는 이온교환필터를 통과하면서 유해가스가 제거되어 정화된 공기만이 외부로 배출이 되도록 되어 있다. 가스 스크러버 내부로 유입되는 유해가스와 분진은 볼 밸브(4)에 의해 내부로 유입되도록 하였으며, 배관 내부가 유입되는 분진에 의해 막혔을 경우에는 배관 내부에 설치되어 있는 압력 센서에 의해 볼 밸브(4)가 닫히면서 유입된 유해가스는 우회(by pass) 되도록 하였다. 가스 스크러버의 내부는 세정액 탱크(5), 재생 용액 탱크(6), 집진부(2), 이온교환필터(3), 디미스터(7)로 구성되어 있다. 이온교환필터(3)의 성능을 극대화시키기 위하여 설치된 집진부(2)는 패킹재(8)가 충전되어 있으며, 세정액 분사노즐(9)에 의해 지속적으로 세정용액을 분사시키도록 되어 있다. 이러한 집진부(2)에 의해 분진은 분사된 세정액에 의해서 제거되며, 분진을 제거한 세정액은 다시 세정액 탱크(5)로 모이게 하였다. 세정액 탱크(5)의 구조는 내부에 칸막이(10)가 설치되어 분진을 제거하고, 모여진 세정액은 한곳으로 모이도록 하였고, 분진은 침전되며, 침전되고 남은 상층액은 칸막이(10)에 의해 오버플로우(overflow)되도록 하였으며, 오버플로우된 세정액은 다시 펌프에 의해 집진부(2)에 의해 분사되어 분진을 제거하는데 사용된다. 1 and 2 are a front view and a side view showing the concept of a gas scrubber equipped with an ion exchange filter. To remove harmful gases and dust, first, harmful gases and dusts are introduced through the inlet pipe (1) below the gas scrubber, and the introduced dusts are removed by the dust collector (2). The harmful gas is removed while passing through the filter, and only the purified air is discharged to the outside. Noxious gas and dust flowing into the gas scrubber were introduced by the ball valve (4), and when the inside of the pipe was blocked by the incoming dust, the ball valve (4) by the pressure sensor installed inside the pipe. The gas was closed and the harmful gas introduced was bypassed. The inside of the gas scrubber is comprised of the washing | cleaning liquid tank 5, the regeneration solution tank 6, the dust collecting part 2, the ion exchange filter 3, and the demister 7. The dust collecting part 2 installed to maximize the performance of the ion exchange filter 3 is filled with a packing material 8, and is continuously sprayed with the cleaning solution by the cleaning liquid injection nozzle 9. The dust is removed by the cleaning liquid injected by the dust collecting part 2, and the cleaning liquid from which the dust has been removed is collected again in the cleaning liquid tank 5. The structure of the cleaning liquid tank 5 has a partition 10 installed therein to remove dust, and the collected cleaning liquid is collected in one place, dust is precipitated, and the remaining supernatant overflows by the partition 10. The overflowed cleaning liquid is again sprayed by the dust collector 2 by a pump and used to remove dust.

산성 및 염기성 가스를 제거하기 위한 이온교환필터(3)는 흡착 및 재생이 가능한 이온교환필터(3)로서 재생액은 재생용액 탱크(6)로부터 공급받아 이온교환필터(3)를 정기적으로 재생하여 사용한다. 이온교환필터(3)의 재생을 위하여 사용하는 재생액은 세정액과 구별이 되어야 하므로 탱크를 두 개로 구분하여 설치되어 있으며, 재생액은 이온교환필터(3) 하단에 설치된 재생용액 회수 장치(12)에 의해 재생액은 회수되어 재생 탱크로 모이게 된다. The ion exchange filter (3) for removing acidic and basic gases is an ion exchange filter (3) capable of adsorption and regeneration. The regeneration solution is supplied from the regeneration solution tank (6) to periodically regenerate the ion exchange filter (3). use. The regeneration solution used for regeneration of the ion exchange filter (3) should be distinguished from the cleaning solution, so that the tank is divided into two, and the regeneration solution is a regeneration solution recovery device (12) installed at the bottom of the ion exchange filter (3). By this, the regeneration liquid is collected and collected in a regeneration tank.

도 3은 이온교환필터(3)의 구성을 나타낸 도면이다. 도 3에서 보는 바와 같이 이온교환필터(3)는 이온교환부직포보다 저렴한 이온교환수지(13)를 사용하였다. 이온교환필터(3)는 산성 및 염기성 가스의 제거효율을 높이고, 압력손실을 최소화하도록 구성되어 있다. 이온교환필터(3)의 제작 방법은 먼저 이온교환봉(14)을 제작한 후, 제작된 이온교환봉(14)을 격자 형태로 적층하여 이온교환필터(3)를 제작한다. 3 is a diagram illustrating the configuration of the ion exchange filter 3. As shown in FIG. 3, the ion exchange filter 3 used an ion exchange resin 13 which is cheaper than the ion exchange nonwoven fabric. The ion exchange filter 3 is configured to increase the removal efficiency of acidic and basic gases and to minimize pressure loss. In the method of manufacturing the ion exchange filter 3, first, the ion exchange rod 14 is manufactured, and the ion exchange rod 14 is laminated in the form of a lattice to produce the ion exchange filter 3.

이온교환봉(14)의 지지체로서 사용되는 플라스틱 봉(15)의 종류는 PVC 또는 내화학성 FRP 등의 내약품성이 있는 플라스틱 봉(15)을 사용한다. 또한 산성 또는 염기성 가스를 제거하기 위하여 이온교환수지(13)를 준비한다. 이온교환봉(14)의 제작 순서는 먼저 부직포(16)에 바인더를 도포한 후 이온교환수지(13)를 부착시킨다. 이온교환수지(13)가 부착된 부직포(16)를 플라스틱 봉(15)에 감싼다. 이온교환수지(13)가 부착된 부직포(16)에서 이온교환수지(13)가 탈착이 되지 않도록 하기 위하여 마지막으로 실(17)을 이용하여 일정한 간격으로 감아놓는다. The kind of plastic rod 15 used as a support of the ion exchange rod 14 uses the plastic rod 15 with chemical resistance, such as PVC or chemical-resistant FRP. In addition, an ion exchange resin 13 is prepared to remove acidic or basic gas. In order to manufacture the ion exchange rod 14, a binder is first applied to the nonwoven fabric 16, and then the ion exchange resin 13 is attached. The nonwoven fabric 16 to which the ion exchange resin 13 is attached is wrapped in the plastic rod 15. In order to prevent the ion exchange resin 13 from being detached from the nonwoven fabric 16 to which the ion exchange resin 13 is attached, it is finally wound at regular intervals using the yarn 17.

상기와 같이 제작된 이온교환봉(14)을 이용하여 이온교환필터(3)를 제작한다. 이온교환필터(3)를 구성하는 이온교환판(18)의 제작 방법은 먼저 제작된 이온교환봉(14)의 양끝은 양쪽 가이드(19)에 고정시킨다. 가이드(19)에는 이온교환봉(14)을 고정시킬수 있는 구멍이 있으며, 이온교환봉(14)을 구멍에 끼워 고정시킨후 열을 이용하여 용접한다. 이온교환필터(3)를 300mm(가로) x 300mm(세로) x 300mm(높이)로 제작할 경우 가이드(19)에 13-14개 정도의 이온교환봉(14)을 일정한 간격으로 양쪽을 고정시킨 후, 이온교환봉(14)이 고정된 이온교환판(18)을 제작하며, 제작된 이온교환판(18)을 25-30개정도를 격자 형태로 적층하여 이온교환필터(3)를 제작한다(상기는 바람직한 실시 예로서 이에 한정하는 것은 아니다). The ion exchange filter 3 is manufactured using the ion exchange rod 14 manufactured as described above. In the method of manufacturing the ion exchange plate 18 constituting the ion exchange filter 3, both ends of the ion exchange rod 14 produced first are fixed to both guides 19. The guide 19 has a hole for fixing the ion exchange rod 14, and the ion exchange rod 14 is inserted into the hole to fix the ion exchange rod 14, and then welded using heat. When the ion exchange filter (3) is made 300mm (width) x 300mm (length) x 300mm (height), fix 13-14 ion exchange rods 14 to the guide 19 at regular intervals. Prepare an ion exchange plate 18 having the ion exchange rod 14 fixed thereto, and prepare the ion exchange filter 3 by laminating about 25-30 of the prepared ion exchange plate 18 in a lattice form ( The above is not limited to this as a preferred embodiment).

이온교환봉(14) 사이의 간격과 이온교환판(18) 사이의 간격은 아래와 같은 식에 의해 결정한다. The space between the ion exchange rods 14 and the space between the ion exchange plates 18 are determined by the following equation.

1.0≤d/D≤2.51.0≤d / D≤2.5

여기서 d : 이온교환봉(이온교환판) 사이의 간격Where d is the distance between the ion exchange rods

D : 이온교환봉의 직경        D: diameter of ion exchange rod

이온교환판(18)을 적층할 경우에는 접촉 효율을 증가시키기 위하여 이온교환봉(14)이 서로 엇갈려 격자 형태가 유지되도록 적층한다. 이온교환필터(3)를 제작하는데 있어서 산성 및 염기성 가스를 제거하기 위하여 사용된 이온교환수지(13)는 양이온교환수지와 음이온교환수지를 사용하였다. 산성 가스를 제거할 경우에는 음이온교환수지를 사용하고, 염기성 가스를 제거할 경우에는 양이온교환수지를 사용하여 상기와 같은 방법으로 제작하였다. When the ion exchange plates 18 are stacked, the ion exchange bars 14 are stacked so that the lattice shape is staggered with each other in order to increase the contact efficiency. In manufacturing the ion exchange filter 3, the ion exchange resin 13 used to remove acidic and basic gases was used a cation exchange resin and an anion exchange resin. Anionic exchange resin was used to remove the acidic gas, and cation exchange resin was used to remove the basic gas.

상기와 같이 제작된 이온교환필터(3)를 이용하여 산성 가스 제거실험을 수행하였다. 시험 가스를 통과시키기 전에 가스 스크러버에 300mm(가로) x 300mm(세로) x 300mm(높이) 크기의 이온교환필터(3)를 장착한 후 팬(Fan)을 가동시키면서 시험 풍량을 600 L/min을 맞추었다. 시험 가스로는 HCl을 이용하여 시험을 수행하였으며, 이때의 HCl의 농도는 300ppm으로 맞추었다. 재생주기는 20분으로 하였으며, 재생시간도 20분간 재생을 하였다. 시험을 수행하기 위한 조건이 다 맞추어지면 입구부(Input)의 농도와 출구부(Output)의 농도를 시간에 따라 측정하면서 HCl 가스에 대한 제거효율을 확인하였다. HCl 가스에 대한 제거효율시험에 대한 결과를 그림 1에 나타내었다. 그림 1에서 보는 바와 같이 HCl 가스에 대한 제거효율이 95% 이상으로 검출되는 것을 볼 수 있다. 이온교환수지를 이용하여 제작된 이온교환필터가 HCl 가스에 대하여 흡착 및 재생이 잘 이루어지는 것을 알수 있다. Acid gas removal experiment was performed using the ion exchange filter (3) prepared as described above. Before passing the test gas through, install a 300mm (width) x 300mm (height) x 300mm (height) ion exchange filter (3) on the gas scrubber, and operate the fan to reduce the test air flow rate to 600 L / min. Fit. The test gas was carried out using HCl, and the concentration of HCl was adjusted to 300 ppm. The regeneration cycle was 20 minutes and the regeneration time was 20 minutes. When the conditions for carrying out the test were met, the concentration of the inlet and the outlet were measured over time, confirming the removal efficiency of the HCl gas. The results of the removal efficiency test for HCl gas are shown in Figure 1. As shown in Figure 1, it can be seen that the removal efficiency for HCl gas is detected at more than 95%. It can be seen that the ion exchange filter manufactured using the ion exchange resin performs well adsorption and regeneration of the HCl gas.

그림 1 이온교환필터에 의한 HCl 가스 제거 성능 그래프 Figure 1 HCl gas removal performance graph by ion exchange filter

본 발명은 반도체 제조 공정 및 산업현장에서 발생되고 있는 산성 및 염기성 가스를 효과적으로 제거할 수 있는 이온교환필터로서 가격이 저렴한 이온교환수지를 사용하여 필터의 제조 비용이 저렴할 뿐만 아니라 이온교환필터의 구조를 격자 형태로 적층함으로서 산성 및 염기성 가스와 접촉을 용이하게 하여 제거 효율을 증가시켰다. The present invention is an ion exchange filter that can effectively remove the acid and basic gas generated in the semiconductor manufacturing process and industrial sites, using a low-cost ion exchange resin to reduce the manufacturing cost of the filter, as well as the structure of the ion exchange filter Lamination in lattice form facilitates contact with acidic and basic gases, thereby increasing removal efficiency.

도 1은 본 발명에 따른 가스 스크러버의 정면도이다. 1 is a front view of a gas scrubber according to the present invention.

도 2는 본 발명에 따른 가스 스크러버의 측면도이다. 2 is a side view of a gas scrubber according to the present invention.

도 3은 본 발명에 따른 이온교환필터의 구성을 나타낸 도면이다. 3 is a view showing the configuration of an ion exchange filter according to the present invention.

도 4는 본 발명에 따른 이온교환봉의 구성을 나타낸 도면이다. 4 is a view showing the configuration of the ion exchange rod according to the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of Symbols for Main Parts of Drawings>

(1) : 인입관 (2) : 집진부(Powder trap)(1): Inlet pipe (2): Powder trap

(3) : 이온교환필터 (4) : 볼 밸브(3): ion exchange filter (4): ball valve

(5) : 세정액 탱크 (6) : 재생용액 탱크(5): washing liquid tank (6): regeneration liquid tank

(7) : 디미스터(Demister) (8) : 패킹재(Packing material)(7): Demister (8): Packing material

(9) : 세정액 분사노즐 (10) : 칸막이(9): cleaning liquid jet nozzle (10): partition

(11) : 펌프 (12) : 재생용액 회수 장치(11): pump (12): regeneration solution recovery device

(13) : 이온교환수지 (14) : 이온교환봉(13): ion exchange resin (14): ion exchange rod

(15) : 플라스틱 봉 (16) : 부직포 15: plastic rod 16: nonwoven fabric

(17) : 실 (18) : 이온교환판(17): seal (18): ion exchange plate

(19) : 가이드 19.Guide

Claims (6)

격자 형태로 적층된 이온교환판(18)을 구비하여 산성 및 염기성 가스를 제거하는 이온교환필터(3)에 있어서,In the ion exchange filter (3) having an ion exchange plate (18) stacked in a lattice form to remove acidic and basic gases, 상기 이온교환판(18)의 한 층은 산성 및 염기성 가스의 제거 효율을 증가시키기 위하여 부직포(16)에 바인더를 도포한 후, 이온교환수지(13)를 부착시키고, 상기 이온교환수지(13)가 부착된 부직포(16)를 플라스틱 봉(15)에 감아 놓은 이온교환봉(14)을 가이드(19)에 고정시킴으로써 이루어지는 것을 특징으로 하는 이온교환필터(3).One layer of the ion exchange plate 18 is coated with a binder on the nonwoven fabric 16 to increase the removal efficiency of acidic and basic gases, and then attaches an ion exchange resin 13 to the ion exchange resin 13. The ion exchange filter (3), characterized in that the non-woven fabric (16) attached to the plastic rod (15) by fixing the ion exchange rod 14 to the guide (19). 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 이온교환필터(3)를 이루는 이온교환봉(14)에 부착되는 이온교환수지(13)를 사용함에 있어서 양이온교환수지, 음이온교환수지 중 어느 하나를 사용하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 이온교환필터(3).In using the ion exchange resin 13 attached to the ion exchange rod 14 constituting the ion exchange filter 3, an ion exchange filter (3) comprising any one of a cation exchange resin and an anion exchange resin (3). ). 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 이온교환필터(3)를 이루는 이온교환봉(14)에 이온교환수지(13)를 부착하는 과정에 이온교환수지(13)가 이온교환봉(14)으로부터 탈착되는 것을 방지하기 위하여 부직포를 이용하여 먼저 감싸놓은후 실(17)을 이용하여 일정한 간격으로 감아놓은 것을 특징으로 하는 이온교환필터(3).In order to prevent the ion exchange resin 13 from being detached from the ion exchange rod 14 in the process of attaching the ion exchange resin 13 to the ion exchange rod 14 forming the ion exchange filter 3, a nonwoven fabric is used. First wrapped around the ion exchange filter (3), characterized in that wound at regular intervals by using a seal (17). 제 1항 내지 제3 항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 3, 이온교환봉(14)을 가이드(19)에 고정시킬 때 이온교환봉(14)의 직경(D)과 이온교환봉 사이 간격(d)의 관계는 1.0≤d/D≤2.5 인 것을 특징으로 하는 이온교환필터(3).When the ion exchange rod 14 is fixed to the guide 19, the relationship between the diameter D of the ion exchange rod 14 and the distance d between the ion exchange rods is 1.0 ≦ d / D ≦ 2.5. Ion exchange filter (3). 제 1항 내지 제3 항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 3, 산성 및 염기성 가스와 접촉 효율을 증가시키기 위하여 이온교환봉(14)을 적층할 때 이온교환봉(14)이 서로 엇갈려 격자 형태로 적층되는 것을 특징으로 하는 이온교환필터(3).An ion exchange filter (3), characterized in that when the ion exchange rods (14) are stacked in order to increase the contact efficiency with acidic and basic gases, the ion exchange rods (14) are stacked in a lattice form. 제 1항 내지 제3 항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 3, 이온교환판(18)을 격자 형태로 적층할 때 이온교환봉의 직경(D)과 이온교환판 사이 간격(d)의 관계는 1.0≤d/D≤2.5 인 것을 특징으로 하는 이온교환필터(3).When the ion exchange plates 18 are laminated in a lattice form, the relationship between the diameter D of the ion exchange rods and the spacing d between the ion exchange plates is 1.0 ≦ d / D ≦ 2.5, wherein .
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