KR100514095B1 - 레이저 커팅설비 및 이를 이용한 커팅 경로 보정 방법 - Google Patents
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Abstract
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- 커팅 공정이 진행되는 챔버와;상기 챔버 내부에 설치되며, 커팅용 레이저 빔이 출사되어 유리 기판 상에 형성된 스크라이브 라인을 따라 상기 유리 기판을 급속 가열하는 가열 수단과;상기 가열 수단의 하부에 설치되어 출사된 상기 커팅용 레이저 빔의 일부는 투과시키고 일부는 반사시킨 후 반사된 상기 커팅용 레이저 빔을 가시광선 대역의 파장으로 변조시켜 상기 커팅용 레이저 빔의 경로를 인지시키는 광변조수단과;상기 가열 수단의 진행 방향을 기준으로 상기 가열 수단의 후단에 설치되고 급속 가열된 상기 유리 모 기판 상에 냉각 유체를 분사시켜 상기 유리 기판에 크랙을 발생시키는 냉각 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 커팅 설비.
- 제 1 항에 있어서, 상기 가시광선 발생 수단은상기 커팅용 레이저 빔이 출사되는 위치와 대응되는 부분에 설치되어 입사된 상기 커팅용 레이저 빔 중 일부는 그대로 투과시키고 나머지 일부는 반사시키는 빔 스플리터와;상기 가열장치 진행방향을 기준으로 상기 빔 스플리터의 후단에 설치되어 상기 빔 스플리터에서 반사된 상기 커팅용 레이저 빔의 파장을 가시광선 대역의 파장으로 변조하여 지시용 레이저 빔을 발생시키는 광 변조부와;상기 광 변조부의 후단에 소정 기울기를 가지고 설치되어 상기 지시용 레이저 빔을 상기 스크라이브 라인으로 반사시키는 반사경으로 구성된 것을 특징으로 하는 레이저 커팅 설비.
- 제 2 항에 있어서, 상기 커팅용 레이저 빔과 상기 지시용 레이저 빔은 동일선상에 조사되고, 상기 지시용 레이저 빔은 상기 커팅용 레이저 빔을 뒤따라가면서 상기 커팅용 레이저 빔의 이동 경로를 인지시키는 것을 특징으로 하는 레이저 커팅 설비.
- 제 2 항에 있어서, 상기 광 변조부는 비선형 물질인 것을 특징으로 하는 레이저 커팅 설비.
- 제 4 항에 있어서, 상기 비선형 물질은 액정인 것을 특징으로 하는 레이저 커팅 설비.
- 제 4 항에 있어서, 상기 비선형 물질은 고분자(poiymer)인 것을 특징으로 하는 레이저 커팅 설비.
- 제 4 항에 있어서, 상기 비선형 물질은 크리스탈인 것을 특징으로 하는 레이저 커팅 설비.
- 제 2 항에 있어서, 상기 빔 스플리터와 상기 광 변조부 및 상기 반사경의 외부에는 각각의 부재를 감싸고 지지하는 외함이 추가로 설치되고,상기 가열장치와 대향하는 상기 외함의 상부면 중 상기 커팅용 레이저 빔의 출사 위치와 대응되는 부분에 입사구가 형성되고, 상기 입사구와 대응되는 상기 외함의 하부면에는 제 1 출사구가 형성되며, 상기 지시용 레이저 빔의 반사경로와 대응되는 부분에는 제 2 출사구가 형성되는 것을 특징으로 하는 레이저 커팅 설비.
- 제 1 항에 있어서, 상기 챔버의 외측벽에는 커팅 공정을 관찰하기 위한 위도우가 설치되는 것을 특징으로 하는 레이저 커팅 설비.
- 커팅용 레이저 빔이 출사되어 유리 기판 상에 형성된 스크라이브 라인을 따라 상기 유리 기판을 급속 가열하는 가열 수단과;상기 가열 수단의 진행 방향을 기준으로 상기 가열 수단의 후단에 설치되어 급속 가열된 상기 유리 모 기판 상에 냉각 유체를 분사하여 상기 유리 기판에 크랙을 발생시키는 냉각 수단과;상기 냉각 수단의 후단에 설치되고, 상기 커팅용 레이저 빔의 이동 경로를 상기 스크라이브 라인과 일치시키기 위해 상기 크랙에 얼라인용 레이저 빔을 조사하는 얼라인 수단과;상기 가열수단과 냉각 수단 및 얼라인 수단을 이송시켜 주는 이송수단과와;상기 얼라인 수단의 소정영역에 설치되고, 상기 크랙의 입사면에서 반사된 상기 얼라인용 레이저 빔을 빛을 수광하여 상기 커팅용 레이저 빔이 상기 스크라이브 라인에서 이탈되었는 지를 감지하는 감지부와;상기 감지부에서 전달된 신호에 따라 상기 이송수단을 제어하여 상기 레이저 빔과 상기 스크라이브 라인을 얼라인시켜 주는 중앙저리장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 커팅 설비.
- 제 10 항에 있어서, 상기 얼라인 수단은상기 얼라인용 레이저 빔을 발진시키는 레이저 발진 유닛과;상기 가열장치의 진행방향을 기준으로 상기 레이저 발진 유닛의 전면에 설치되어 상기 얼라인용 레이저 빔을 굴절시키는 굴절 렌즈부와;상기 굴절 렌즈부의 하부에 설치되어 굴절된 상기 얼라인용 레이저 빔의 초점을 조정하는 포커싱 렌즈군과;상기 포커싱 렌즈군의 외부를 감싸는 포커싱 렌즈 하우징으로 구성된 것을 특징으로 하는 레이저 커팅 설비.
- 제 11 항에 있어서, 상기 얼라인용 레이저 빔은 가시광선 대역이고, 상기 커팅용 레이저 빔과 동일선상에 조사되어 상기 커팅용 레이저 빔의 이동 경로를 인지시키는 것을 특징으로 하는 레이저 커팅 설비.
- 제 10 항에 있어서, 상기 감지부는 상기 크랙의 입사면에서 반사된 상기 얼라인용 레이저 빔의 광량을 검출하는 광량 검출센서인 것을 특징으로 하는 레이저 커팅 설비.
- 커팅용 레이저 빔으로 스크라이브 라인을 따라 유리 기판을 급속가열하고, 냉각 유체로 급속 가열된 상기 유리 기판을 급속 냉각시켜 유리 기판에 크랙을 발생시키는 단계와;상기 크랙에 얼라인용 레이저 빔을 조사하고, 상기 크랙의 입사면에서 반사된 얼라인용 레이저 빔의 광량을 감지부가 감지하고 이에 상응하는 전기적 신호를 중앙처리장치에 전달하며, 중앙처리장치는 입력된 전기적 신호를 빛의 세기로 환산하여 기 입력된 빛의 세기와 비교한 후 상기 커팅용 레이저 빔이 상기 스크라이브 라인에서 이탈되었는지를 판단하는 단계와;비교 판단 결과 상기 기 입력된 빛의 세기와 상기 환산된 빛의 세기가 서로 다를 경우, 상기 스크라이브 라인에 대하여 상기 커팅용 레이저 빔이 틀어진 각도를 측정하고, 측정된 각도만큼 이송수단의 위치를 조절하는 단계와;상기 이송수단이 이송된 후 상기 중앙처리장치는 상기 감지부에서 계속적으로 전달된 광량을 빛의 세기로 환산하고, 환산된 빛의 세기와 상기 기 입력된 빛의 세기와 비교하여 상기 커팅용 레이저 빔이 상기 스크라이브 라인과 얼라인되었는 지를 판단하는 단계와;비교 판단결과 상기 스크라이브 라인과 상기 커팅용 레이저 빔이 일치되었으면 유리 기판의 절단 공정을 진행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 커팅 경로 보정 방법.
- 제 14 항에 있어서, 상기 기 입력된 빛의 세기는 상기 스크라이브 라인을 따라 일직선으로 진행된 크랙에서 반사된 빛의 양을 빛의 세기로 환산한 값인 것을 특징으로 하는 커팅 경로 보정 방법.
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P22-X000 | Classification modified |
St.27 status event code: A-4-4-P10-P22-nap-X000 |