[go: up one dir, main page]

KR100508418B1 - 광헤드및광디스크장치 - Google Patents

광헤드및광디스크장치 Download PDF

Info

Publication number
KR100508418B1
KR100508418B1 KR10-1998-0046549A KR19980046549A KR100508418B1 KR 100508418 B1 KR100508418 B1 KR 100508418B1 KR 19980046549 A KR19980046549 A KR 19980046549A KR 100508418 B1 KR100508418 B1 KR 100508418B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
light
medium
optical
transparent
optical disk
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
KR10-1998-0046549A
Other languages
English (en)
Other versions
KR19990044933A (ko
Inventor
기이찌 우에야나끼
가쯔오 바바
Original Assignee
후지제롯쿠스 가부시끼가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 후지제롯쿠스 가부시끼가이샤 filed Critical 후지제롯쿠스 가부시끼가이샤
Publication of KR19990044933A publication Critical patent/KR19990044933A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100508418B1 publication Critical patent/KR100508418B1/ko
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
    • G11B7/135—Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector
    • G11B7/1372—Lenses
    • G11B7/1374—Objective lenses
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/08—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers
    • G11B7/09—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
    • G11B7/0925—Electromechanical actuators for lens positioning
    • G11B7/0937—Piezoelectric actuators
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
    • G11B7/135—Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector
    • G11B7/1353—Diffractive elements, e.g. holograms or gratings
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
    • G11B7/135—Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector
    • G11B7/1362—Mirrors
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
    • G11B7/135—Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector
    • G11B7/1372—Lenses
    • G11B7/1376—Collimator lenses
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
    • G11B7/135—Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector
    • G11B7/1387—Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector using the near-field effect
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/007—Arrangement of the information on the record carrier, e.g. form of tracks, actual track shape, e.g. wobbled, or cross-section, e.g. v-shaped; Sequential information structures, e.g. sectoring or header formats within a track
    • G11B2007/00727—Arrangement of the information on the record carrier, e.g. form of tracks, actual track shape, e.g. wobbled, or cross-section, e.g. v-shaped; Sequential information structures, e.g. sectoring or header formats within a track where the information is modified to form a visible pattern, e.g. forming a label by modifying the width of pits or grooves
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
    • G11B7/135—Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector
    • G11B7/1372—Lenses
    • G11B2007/13725—Catadioptric lenses, i.e. having at least one internal reflective surface
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
    • G11B7/135—Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector
    • G11B7/1372—Lenses
    • G11B2007/13727—Compound lenses, i.e. two or more lenses co-operating to perform a function, e.g. compound objective lens including a solid immersion lens, positive and negative lenses either bonded together or with adjustable spacing
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B2220/00—Record carriers by type
    • G11B2220/20—Disc-shaped record carriers
    • G11B2220/25—Disc-shaped record carriers characterised in that the disc is based on a specific recording technology
    • G11B2220/2525—Magneto-optical [MO] discs

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Optical Head (AREA)

Abstract

본 발명은 소형이고, 고 기록밀도를 가능하게 하며, 데이터 전송 속도의 향상을 도모한 광 헤드 및 광 디스크 장치를 제공한다.
반도체 레이저(2)로부터 광빔(3)을 출사하면, 그 광빔(3)은 시준 렌즈(4)에 의해 평행 빔(5)으로 정형되고, 투명 집광용 매체(6)의 제 1 면(6a)에 입사한다. 제 1 면(6a)에 입사한 광빔(5)은 제 2 면(6b)의 외측에 형성된 반사체(7)에서 반사하여 제 3 면(6c) 상에 집속하여 제 3 면(6c) 상에 광 스폿(9)을 형성한다. 광 스폿(9)에 집속한 광이 근접장 광으로서 누출하여 기록 매체(8)에 전달되어 광 기록 또는 광재생이 행해진다.

Description

광 헤드 및 광 디스크 장치
본 발명은 광 헤드 및 광 디스크 장치에 관한 것으로, 특히 광 스폿(spot)의 미소화를 도모한 광 헤드 및 광 디스크 장치에 관한 것이다.
광 디스크 장치에서, 광 디스크는 콤팩트 디스크(CD)로부터 디지털 비디오 디스크(DVD)로의 고밀도·대용량화가 진척되고 있지만, 컴퓨터의 고성능화나 디스플레이 장치의 고정밀화에 수반하여 더 한층 대용량화가 요구되고 있다.
광 디스크의 기록 밀도는 기본적으로는 기록 매체상에 형성되는 광 스폿의 크기로 제한된다. 대물렌즈로 집광하는 경우, 광 스폿의 광 강도가 1/2이 되는 곳의 직경(광 스폿 직경) D1/2는 다음 식 (1)로 구해지고, 트랙 폭은 거의 이것과 같아진다.
D1/2 = kλ/(n·NA) ···(1)
여기서,
k : 광빔의 강도 분포에 의존하는 비례 정수(통상 0.5 정도)
λ : 파장
n : 광 스폿 위치의 매체의 굴절률(통상 공기이고, 대략 1 이다)
NA : 대물렌즈의 개구 수
이다.
종래의 광 디스크에서 사용되고 있는 대물렌즈의 NA는 0.5 정도이기 때문에, D1/2는 파장 정도이었다. 또한, 상기 식 (1)로부터 분명하듯이, 미소한 광 스폿을 얻기 위해서는 단파장화나 대물렌즈의 고 NA화가 유효하여, 각각의 개발 노력이 이루어지고 있다. DVD에서는 파장을 0.65 μm로 단파장화하고, 또한 대물렌즈의 NA는 CD의 경우의 0.45에서 0.6으로 높임으로써 DVD에서는 CD에 비해 약 4 배의 고밀도화를 달성할 수 있었다. 파장에 대해서는, 그 외에 녹색 및 청색 발광의 레이저 개발이 활발하게 이루어지고 있다. 한편, NA에 대해서는, 0.6 이상으로 하면 광 디스크의 경사에 의한 신호 강도 변동의 영향이 커져서, 플라스틱 기판을 통해 행하는 종래의 광기록 방식에서는 그 이상으로 NA를 높이는 것은 곤란하다. 이 때문에, 플라스틱 기판을 통하지 않고 이것과 역 방향으로부터 플라스틱 기판 상에 형성된 기록층에 집광하는 방향으로 이행해가고 있다.
상기 기록층에 플라스틱 기판을 통하지 않고 집광하는 광기록 방식에서는, 광 스폿 직경을 근본적으로 줄이는 수단으로서, 최근, 근접장 광을 사용하는 이하의 2 가지 방식이 제안되고 있다. 이들은 모두 현미경의 고해상도화 기술로 광기록에 응용된 것이다.
제 1 방식은 선단을 테이퍼(taper) 형상으로 가늘게(즉, 수십 nm 이하로) 연마한 광 프로브(probe)의 선단으로부터 누출하는 근접장 광을 기록에 사용한 것이다. 이 방식에서는, 프로브의 가공이 어려워 안정하지 않고, 프로브가 기계적 충격에 약하고, 수명이 짧으며, 광이용 효율이 1/1000 이하로 낮은 등의 문제가 많아, 실용화에는 많은 개량이 필요하다.
제 2 방식은 대물렌즈의 초점 부근에 고 굴절률 투명 매체로 된 반구형의 렌즈(Solid Immersion Lens(이하, "SIL"이라 약칭한다))를 설치함으로써, 그 SIL의 저부의 중심부에 미소한 광 스폿을 형성하고 그것을 사용하여 광 기록을 행하는 것으로서, 제 1 방식에 비해 비교적 실현성이 높은 기술이라고 말할 수 있다. 이 SIL의 내부에서는 광의 파장이 SIL의 굴절률에 역비례하여 짧아지기 때문에, 광 스폿도 그것에 비례하여 적어진다. 이 광 스폿에 집광된 광의 대부분은 SIL의 반구면을 향하여 전반사되지만, 그 일부는 SIL 외부의 광 스폿 근방에 근접장 광으로서 누출한다. 그 근방에(즉, 광의 파장보다도 충분히 작은 거리에) SIL과 같은 정도의 굴절률을 갖는 기록 매체를 배치하면, 근접장 광이 이 매체와 연관하여 매체 내를 전파하는 전파광으로 된다. 이 광을 사용하여 매체에 기록함으로써, 고밀도 기록이 가능하게 된다. 단, 대물렌즈의 수차는 그대로 남기 때문에, 대물렌즈의 수차는 충분히 낮게 억제할 필요가 있다. 이 SIL에 의한 집광 방식에는 다음에 설명하는 2 가지 형태가 있다.
도 13은 제 1 형태의 광 헤드를 나타낸다. 이 광 헤드(50)는 평행광(51)을 집광하는 대물렌즈(52)와, 이 대물렌즈(52)로부터의 수속광(收束光)(53)에 대해 저면(54a)이 직교하도록 배치된 반구형의 SIL(54)을 갖는다. 평행광(51)이 대물렌즈(52)에 입사하면, 평행광(51)은 대물렌즈(52)에 의해 집광되고, 그 대물렌즈(52)로부터의 수속광(53)은 SIL(54)의 반구면(54b)에 입사하여 SIL(54)의 저면(54a)의 중심에 집광해서 광 스폿(55)이 형성된다. 이 광 헤드(50)에서의 광 스폿(55)의 직경은 SIL(54)의 굴절률에 역비례하여 축소된다. 이 광 스폿(55)에 기록 매체(56)를 가까이 하면, 광 스폿(55) 근방의 근접장 광은 전파광이 되어 기록 매체(56)에 입사된다.
도 14는 제 2 형태의 광 헤드를 나타낸다. 이 광 스폿(50)은 평행광(51)을 집광하는 대물렌즈(52)와, 이 대물렌즈(52)로부터의 수속광(53)에 대해 저면(54a)이 직교하도록 배치된 밑이 절단된 구형 SIL(54)를 갖는다. SIL(54)은 대물렌즈(52)로부터의 수속광(53)을 굴절시켜 더 집광시키도록 배치되어 있다. SIL(54)을 평행광(51)이 반구면(54b)의 중심(54c)으로부터 r/n(여기서, r은 SIL의 반경임)의 위치에 집광하도록 구성함으로써(이하, Super SIL 구조라 양칭함), SIL(54)에 의한 구면 수차가 적어지고, 또한 SIL(54) 내부에서의 개구 수를 도 13에 나타낸 대물렌즈(52)의 개구 수의 n 배로 높일 수 있고, 또한 광 스폿(55)의 미소화를 도모할 수 있게 된다. 즉, 광 스폿은 다음 식(2)과 같이 미소화된다.
D1/2=kλ/(n·NAi)=kλ/(n2·NAo) ···(2)
여기서,
NAi : SIL(54) 내부에서의 개구 수
NAo : SIL(54)로의 입사광의 NA
이다.
그러나, 이 Super SIL(54)로의 입사광의 NA, 즉 입사각 θ의 최대치 θmax와 SIL(54)의 굴절률 n에는 상반 관계가 있으며, 양자를 독자적으로 크게 할 수 있는 것은 아니다.
도 15는 스즈끼씨가 Asia-Pacific Data Storage Conference(Taiwan, '97.7 )의 #OC-1에서 해석한 것으로, Super SIL(54)의 굴절률 n과 NAo의 관계를 나타낸다(이하 "종래예 1" 이라 한다). 도 15로부터 알 수 있듯이, SIL의 굴절률 n을 높여 가면 입사광의 NAo가 취할 수 있는 최대치 NAomax는 점차 적어진다. 이것은 최대치 NAomax 이상으로 NAo가 증가하여 입사각이 더 커지면, 이 광은 SIL(54)을 통하지 않고 직접 기록 매체(56)에 입사하기 때문에, 기록 매체(56)의 위치에서의 광 스폿(55)이 오히려 넓어지기 때문이다. 예컨대, 굴절률 n=2일 때, NAomax는 0.44 이고, 양자의 곱 n·NAomax는 양자를 어떻게 조합하든 0.8∼0.9 까지이다. 이것은 이론적 한계이고, 실제로는 이것보다도 더 적은 값(0.7∼0.8)으로 된다.
이 Super SIL에 의한 집광 실험에 대해서, B.D.Terris 등이 Appl. Phys. Lett., Vol. 68, ('96), P. 141에서 보고하고 있다(이하, "종래예 2" 라 한다). 이 보고에 의하면, 굴절률 n=1.83의 Super SIL을 대물렌즈와 기록 매체간에 설치하고, 파장 0.83μm의 레이저 광을 집광함으로써 0.317μm의 광 스폿 직경을 얻는다. 즉, D1/2 = λ/2.3 상당의 집광을 달성하고 있지만, 이 경우의 NA는 0.4, n·NAmax는 0.73 정도이다. 또한, 이 계를 사용하여 종래의 수 배의 기록 밀도(3.8 ×108 비트/cm2)의 가능성을 검증하고 있다.
도 16은 미국 특허 5,497,359호 공보에 기재된 광 디스크 장치(이하, "종래예 3" 이라 한다)를 나타낸다. 이 광 디스크 장치(500)는 플라스틱 기판(501a)에 기록층(501b)을 형성한 광 디스크(501)와, 기부(502) 상에 설치되어 광 디스크(501)를 축(503)에 의해 회전 구동하는 모터(504)와, 광 디스크(501)의 기록층(501b) 상을 부상 주행하는 투명 매체로 된 부상 슬라이더(505)와, 부상 슬라이더(505)에 부착된 반구형 SIL(54)과, 반도체 레이저의 광빔을 정형하여 집광하는 광학계 및 광 디스크(501)로부터의 반사광으로부터 자동 초점 제어나 트래킹 제어용 신호나 데이터 신호를 생성하는 검출 광학계부(510)와, 검출 광학계부(510)를 지지하는 암(506A)과, 암(506A)에 부착되어 부상 슬라이더(505)를 지지하는 암(506B)과, 기부(502) 상에 설치되어 암(506A)을 구동하여 SIL(54)와 검출 광학계부(510)를 동시에 엑세스나 트래킹시키는 음성 코일 모터 VCM(507)를 갖는다.
도 17은 종래예 3의 SIL(54) 및 부상 슬라이더(505)를 상세히 나타낸 도면이다. 부상 슬라이더(505)는 SIL(54)과 같은 정도의 굴절률을 갖는 투명 매체로 형성되어 있다. 부상 슬라이더(505)를 반구형 SIL(54)과 접착하여 레이저 광을 부상 슬라이더(505)의 하면에 집광해서 광 스폿(55)을 형성하는 구조로 함으로써, 부상 슬라이더(505)와 SIL(54)로 된 Super SIL이 구성된다.
도 18은 종래예 3의 검출 광학계부(510)를 상세히 나타낸 도면이다. 이 검출 광학계부(510)에서는 종래의 가장 일반적인 광학계가 채택되어 있고, 특히 SIL(54)에 맞추어서 개량된 것은 아니다. 즉, 이 검출 광학계부(510)는 레이저 광(511a)을 출사하는 반도체 레이저(511)와, 반도체 레이저(511)로부터의 출력광(511a)을 평행광(511b)으로 하는 시준 렌즈(512)와, 반도체 레이저(511)로부터의 출력광(511b)과 광 디스크(501)로부터의 반사광을 분리하는 빔 스플리터(513)와, 미러(514)와, 액츄에이터(515)로 구동되는 동시에 반도체 레이저(511)로부터의 평행광(511c)을 광 디스크(501) 상에 집광하는 대물렌즈(516A)와, 광 디스크(501)로부터의 반사광을 빔 스플리터(513)로 입사광과 분리한 후 렌즈(516B)를 통해서 입력하는 광 검출기(517)와, 광 검출기(517)로부터 출력되는 데이터 신호(DAT)나 제어용 신호(FES, TES)를 증폭하여 출력하는 앰프(518)를 갖는다. SIL(54)은 직경 2 mm의 것이 사용되고 있으며, 이것은 제조상은 타당한 크기이지만, 이 경우 대물렌즈(516A)의 위치에서의 빔 직경은 약 4 mm로 된다. 따라서, 검출 광학계부(510)의 각 광학계 부품(512, 513, 514, 516A, 516B)의 유효 개구는 빔 직경과 같은 정도의 4 mm 이상의 것이 필요해진다.
또한, 이 광 디스크 장치(500)는 VCM(507)만의 1 단 제어로 트래킹 제어를 행하고, 대물렌즈(516A)를 액츄에이터(515)로 구동하는 자동 초점 제어를 행하고 있다. 초점 심도(深度)는 NA의 2승, n의 3승에 역비례하여 감소하므로, SIL(54)을 사용한 집광의 경우의 초점 심도는 0.2μm 이하로 작아진다. 한편, 대물렌즈(516A)와 SIL(54)간은 수속 빔이 되므로, 온도 변동에 의한 이 간격의 신축이 생기기 때문에, 초점이 빗나가게 된다. 또한, 온도에 의해 레이저의 발진 파장이 변동하기 때문에, 대물렌즈(516A)의 색수차에 의해 역시 초점이 빗나가게 된다, 이 때문에, 고정밀도의 자동 초점 제어를 행함으로써, 상기 초점이 빗나가는 것을 방지하고 있다.
그런데, 광학계에 SIL을 사용한 광 디스크 장치에서는, 광 헤드가 기록 매체상을 근접 부상하여 주행하기 때문에, 광 디스크를 고정하고 교환하는 일이 없이 사용하는 용도에 적합하지만, 이 경우 자기 하드디스크가 경합하게 된다. 이 때문에, 기록 용량이나 데이터 전송 속도뿐 아니라, 디스크를 적층하여 멀티 헤드·멀티 디스크로 한 경우의 체적 기록 밀도가 높아야만 한다. 최신의 하드디스크의 경우, 디스크 간격은 3 mm 이하이기 때문에, 광 헤드의 높이를 하드디스크의 헤드 정도(즉, 2 mm정도 이하)로 축소할 필요가 있다.
도 19는 이러한 광 헤드의 소형화의 요구에 대응하여 된 것으로, 상기 미국 특허 5,497,359호 공보에 기재된 광 헤드(이하, "종래예 4" 라 한다)를 나타낸다. 이 광 헤드(50)는 SIL(54), 대물렌즈(516A) 및 반도체 레이저나 검출 광학계를 부상 슬라이더(505) 상에 일체화하여 부상 주행시킨 것이다. 도 19에서는, 반도체 레이저나 검출 광학계를 일괄해서 단일 블록(520)으로서 도시하고, 블록(520)은 부착 부재(521)에 의해 부상 슬라이더(505)에 부착되어 있다. 대물렌즈(516A)와 블록(520)과의 거리를 짧게 하여 온도 변화의 영향을 적게 하고 있으므로, 자동 초점 제어 기구가 불필요하게 되어 소형화가 도모된다.
한편, 경량화된 종래의 광 헤드로서, 문헌 "Digest of Optical Data Storage( '93) P. 93." 에 제시된 것이 있다(이하 "종래예 5" 라 한다). 이 광 헤드는 반도체 레이저와 검출부를 대물렌즈부로부터 분리하여 고정하고, 대물렌즈부만을 VCM으로 주행시키는 분리형 광학계를 채택한 것으로, VCM을 저주파역의 트래킹에 사용하고, 갈바노 미러를 고주파역의 트래킹에 사용한 2 단 제어에 의해 트래킹을 행하고 있다. 이에 따라, 대물렌즈를 포함한 가동부의 중량은 VCM을 포함하여 7 g까지 경량화 할 수 있다. 또한, 2 단 제어에 의한 트래킹으로 주파수 대역을 약 30 kHz(이득은 약 80 dB이다)까지 확대할 수 있다.
도 20은 문헌 "니케이 일렉트로닉스 지(No. 699, P. 13, '97.9.22)" 에 기재된 종래의 광 디스크 장치(이하, "종래예 6" 이라 한다)를 나타낸다. 이 광 디스크 장치(500)는 갈바노 미러를 트래킹에 채택한 분리 광학계를 갖고 있으며, 광 디스크(501) 상을 부상 주행하는 부상 슬라이더(505)와, 부상 슬라이더(505)에 탑재된 SIL(도시하지 않음)과 대물렌즈(530) 및 상승 미러(531)와, 부상 슬라이더(505)를 지지하는 암(532)과, 암(532)을 구동하는 VCM(533)과, 고정 강학계(534)과, 고정 광학계(534)로부터의 광을 대물렌즈(530)에 인도하는 미러(535)를 갖는다. 분리 광학계를 채택함으로써, 종래예 5와 마찬가지로 가동부의 경량화가 도모되고, 트래킹의 주파수 대역을 확대할 수 있다.
그러나, 종래예 1 및 종래예 2에 의하면, SIL의 굴절률 n과 최대 NAmax 사이에 상반 관계가 있기 때문에, 양자의 곱 n·NAmax의 이론 한계는 0.8∼0.9 이고, 실제로는 0.7∼0.8 로 제한되어, 광 스폿 직경이 커져서, 고밀도화를 도모할 수 없는 문제가 있다.
또한, 종래예 3의 광 디스크 장치(500)에 의하면, SIL(54)은 직경이 2 mm인 것을 사용하고 있기 때문에 빔 직경이 약 4 mm가 필요하게 되고, 또한 대물렌즈(516A)는 저수차·저색수차인 것이 필요하기 때문에 렌즈 크기(직경 내지 높이)가 커지므로, 광학계가 대형화된다. 또한, SIL(54)에 입사하는 빔에 수속 빔을 사용하고 있기 때문에, 온도 변동에 의해 수속점이 변화하므로 자동 초점 제어 기구를 필요로 한다. 따라서, 광 헤드의 중량이 10 g 이상으로 무겁고, 높이가 10 mm 정도로 높아져서, 광 디스크(501)를 포갠 경우에 간격이 커지므로 대용량화가 곤란해서, 자기 하드디스크에 비해 체적 용량을 높일 수 없는 문제가 있다.
즉, SIL(54)의 직경을 작게 함으로써 광학계 전체를 축소할 수는 있지만, 그것과 더불어 부상 슬라이더(505)의 두께를 얇게 하여야 하기 때문에 한도가 있다. 즉, 부상 슬라이더(505)의 두께는 중심으로부터 집광점까지의 거리 r/n와 거의 같아지지만, 굴절률이 2인 매체를 사용하면 반경이 0.5 mm일 때, 부상 슬라이더(505)의 두께는 250μm로서 기계적 강도를 유지하는 거의 한계의 두께가 되어, 그 이상으로 SIL(54)의 반경을 작게 하기는 어렵다.
또한, 광 헤드의 중량이 10 g 이상과 같이 무거워지면, 고속의 트래킹을 할 수 없어 데이터 전송 속도를 높일 수 없는 문제가 있다.
또한, 종래예 4의 광 헤드(50)에 의하면, 실제로는 광 헤드(50)의 소형화가 어렵고, 자동 초점 제어 기구가 필요해지기 때문에, 종래예 3과 마찬가지로 광 헤드(50)의 높이가 커져서 대용량화가 어려운 문제가 있다.
즉, 실제로는 트래킹 제어용 신호나 데이터 신호를 생성하기 위한 광학계가 필요하다. 더욱이, 세로 방향으로 광학계를 쌓아 올리고 있기 때문에, 부착 부재(521)의 강성을 유지할 필요가 있어 광학계가 커지고, 따라서 이러한 유형의 광 헤드(50)에서는 실제로는 그 다지 소형화할 수 없고, 10 mm 정도의 높이가 필요하게 된다.
더욱이, 이 광 헤드(50)에서는 광학계가 유한계이기 때문에, 반도체 레이저로부터 대물렌즈(516A)까지의 거리를 대물렌즈(516A)와 초점까지의 거리와 같은 정도로 하여도 평행 빔을 집광하는 경우의 거의 2 배, 즉, 상(像)면측의 NA를 0.5 정도로 하면, NA가 1에 가까운 대물렌즈(516A)가 필요하게 되어 비현실적이다. 이 NA의 문제를 경감하고자 하면, 반도체 레이저로부터 대물렌즈(516A)까지의 거리를 길게 하지 않을 수 없어 광 헤드의 크기는 커진다.
또한, 자동 초점 제어는 필요로 하지 않지만, 광학계가 유한계이기 때문에 광학계 지지 부재의 온도 변동에 의한 신축의 영향을 받기 쉽고 또한 레이저의 파장 변동에 의한 초점 빗나감에 대한 보정도 필요하여, 실제로 자동 초점 제어 기구를 없애는 것은 곤란하다.
또한, 종래예 5의 광 헤드에 의하면, 갈바노 미러에서는 고주파역에 한계가 있어서, 높은 데이터 전송 속도를 도모할 수 없는 문제가 있다.
즉, 광 스폿이 미세화 되는데 비례하여 트럭 폭은 좁아지고, 그에 수반하여 고속·고성능 트래킹 제어가 더 필요하게 된다. 트랙 폭은 DVD에서 보는 바와 같이, 통상 광 스폿 직경 D1/2의 7 할 정도의 크기로 된다. 따라서 D1/2가 포트(pot) 크기 0.31μm의 경우에 트랙 폭은 0.2μm로 되고, 더욱이 청색 레이저(410 nm)를 사용한 경우에 트랙 폭은 0.1μm 이하로 된다. 한편, 트래킹 정밀도는 통상 트랙 폭의 1/10 정도로 행할 필요가 있고, 환언하면 ±0.01μm의 정밀도의 트래킹이 필요하게 된다. 또한, 광 디스크에서는 미리 트랙을 스탬핑(stamping)에 의해 형성하고 있으므로, 프로세스 도중에 ±수십 마이크론의 트랙 편심(偏心)이 생긴다. 이 트랙을 ±0.01μm의 정밀도로 트래킹하기 위해서는, ±0.01μm의 트래킹 오차를 검지하여 ±수십 마이크론의 추종을 행하고, 제어계로서는 80 dB의 이득이 필요하게 된다. 또한, 트래킹의 제어계는 2 차계이며 -40 dB/자리수로 대역이 신장하므로, 회전수를 통상의 3600 rpm으로 하고, 이 회전 디스크에 대해 0.01μm의 트래킹을 행하기 위해서는, 200 kHz 정도의 주파수 대역이 필요하게 된다. 즉, 상기에 예시한 바와 같이 갈바노 미러를 사용하여도 대역은 30 kHz이어서, 1 단 제어로 트래킹을 행하는 것은 곤란하므로, 회전 속도를 1 자리수 이상 낮추거나, 갈바노 미러 보다도 경량·고성능의 구동 기구를 사용할 필요가 있다. 고 밀도화와 함께 높은 데이터 전송 속도가 요구되는 것은 당연하지만, 회전 속도를 낮추는 것은 그것에 비례하여 데이터 전송 속도를 낮추는 것이 되어 문제가 된다.
또한, 종래예 6의 광 디스크 장치(500)에 의하면, 광 헤드의 이동에 수반하는 빔 위치 빗나감을 저감하기 위해서 빔 직경을 4∼5 mm로 하고 있기 때문에, 종래예 3과 마찬가지로 광 헤드의 높이는 10 mm 가까이 되어, 광 디스크(501)를 포갠 경우 간격을 크게 취할 수 밖에 없어 대용량화가 곤란하다. 또한, 파장은 68 nm로 상기 예에 비하여 약 2 할로 단파장화 되어 있어도 관계없고, 트랙 피치는 0.34μm와 같이 이 계에서의 스폿 직경의 이론치 0.2μm에 비하여 크게 설계되어 있어서 SIL의 이점을 충분히 살리고 있지 않다.
상술한 여러 가지 문제는 SIL 단독으로는 충분히 집광할 수 없어서, 대물렌즈와 조합하여 2 단계의 집광이 필요해지는 데서 오는 것으로, SIL을 사용한 광 헤드의 본질적인 문제이다.
따라서, 본 발명의 목적은 소형이며, 고 기록밀도를 가능하게 하고, 데이터 전송 속도의 향상을 도모한 광 헤드 및 광 디스크 장치를 제공하는데 있다.
본 발명은 상기 목적을 달성하기 위하여, 광빔을 출사하는 광 출사 수단과,
상기 광 출사 수단으로부터의 상기 광빔이 입사하는 제 1 면, 외측에 반사체가 형성되어 상기 제 1 면에 입사한 상기 광빔을 상기 반사체로 반사하는 제 2 면, 및 상기 제 2 면에서 반사한 상기 광빔이 집광하여 광 스폿이 형성되는 제 3 면을 갖는 투명 집광용 매체를 구비하고,
상기 투명 집광용 매체의 제 3 면은 기록 매체와 대향하여 배치되고, 이 제 3 면으로부터 누출하는 근접장광에 의해 기록 매체에 기록된 정보의 기록 및 재생을 행하고, 상기 기록 매체는 회전 디스크인 것을 특징으로 하는 광 헤드를 제공한다.
또한, 본 발명은 상기 목적을 달성하기 위하여, 회전하는 광 디스크와, 상기 광 디스크 상에 광빔을 조사하여 정보의 기록 또는 재생을 행하는 광 헤드를 갖는 광 디스크 장치에 있어서,
상기 광 헤드는,
상기 광빔을 출사하는 광 출사 수단과,
상기 광 출사 수단으로부터의 상기 광빔이 입사하는 제 1 면, 외측에 반사체가 형성되어 상기 제 1 면에 입사한 상기 광빔을 상기 반사체로 반사하는 제 2 면, 및 상기 제 2 면에서 반사한 상기 광빔이 집광하여 광 스폿이 형성되는 제 3 면을 갖는 투명 집광용 매체를 구비한 것을 특징으로 하는 광 디스크 장치를 제공한다.
또한, 본 발명은 상기 목적을 달성하기 위하여, 동축 상에 소정의 간격을 갖고 배치된 회전하는 복수의 광 디스크와, 상기 복수의 광 디스크 상에 광빔을 조사하여, 정보의 기록 또는 재생을 행하는 복수의 광 헤드를 갖는 광 디스크 장치에 있어서,
상기 각 광 헤드는,
상기 광빔을 출사하는 광 출사 수단과,
상기 광 출사 수단으로부터의 상기 광빔이 입사하는 제 1 면, 외측에 반사체가 형성되어 상기 제 1 면에 입사한 상기 광빔을 상기 반사체로 반사하는 제 2 면, 및 상기 제 2 면에서 반사한 상기 광빔이 집광하여 광 스폿이 형성되는 제 3 면을 갖는 투명 집광용 매체를 구비한 것을 특징으로 하는 광 디스크 장치를 제공한다.
또한, 본 발명은 상기 목적을 달성하기 위하여, 회전하는 광 디스크와, 상기 광 디스크 상에 레이저 광을 조사하여, 정보의 기록 또는 재생을 행하는 광 헤드를 갖는 광 디스크 장치에 있어서,
상기 광 헤드를 소정의 트래킹 방향으로 이동시키는 광 헤드 이동 수단과,
상기 레이저 광을 출사하는 반도체 레이저와,
상기 반도체 레이저를 이동시켜 광 스폿이 형성되는 위치를 상기 소정의 트래킹 방향으로 변위시키는 압전 소자와,
저 주파역의 오차 신호에 기초하여 상기 광 헤드 이동 수단을 구동하며, 고주파역의 오차 신호에 기초하여 상기 압전 소자를 구동하는 구동수단을 구비한 것을 특징으로 하는 광 디스크 장치를 제공한다.
또한, 본 발명은 상기 목적을 달성하기 위하여, 광 디스크 상에 광빔을 조사하여, 정보의 기록 또는 재생을 행하는 광 디스크 장치에 있어서,
상기 광 디스크의 기록면에 평행하게 시준된 상기 광빔을 조사하는 조사 수단과,
상기 광빔을 반사하여 상기 광 디스크 상에 광 스폿을 형성하는 반사 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 광 디스크 장치를 제공한다.
또한, 본 발명은 상기 목적을 달성하기 위하여,
광빔을 출사하는 광 출사 수단과,
상기 광빔이 입사하는 투명 집광용 매체와,
상기 투명 집광용 매체에 입사한 상기 광빔을 상기 투명 집광용 매체의 표면에 집광하여 광 스폿을 형성하는 반사체를 구비하고,
상기 투명 집광용 매체의 표면은 기록 매체와 대향하여 배치되고, 이 표면으로부터 누출하는 근접장광에 의해 기록 매체에 기록된 정보의 기록 및 재생을 행하고, 상기 기록 매체는 회전 디스크인 것을 특징으로 하는 광 헤드를 제공한다.
(발명의 실시 형태)
도 1은 본 발명의 제 1 실시 형태에 따른 광 헤드를 나타낸다. 이 광 헤드(1)는 광빔(3)을 출사하는 반도체 레이저(2)와, 반도체 레이저(2)의 출력광(3)을 평행 빔(5)으로 정형하는 시준 렌즈(4)와, 평행 빔(5)을 집광하는 투명 집광용 매체(6)와, 투명 집광용 매체(6)의 후술하는 제 2 면(6b)의 표면에 피착 형성된 반사체(7)와, 투명 집광용 매체(6)의 후술하는 제 3 면(6c) 근방에 배치된 기록 매체(8)를 갖는다.
투명 집광용 매체(6)는 평행 빔(5)이 입사하는 제 1 면(6a), 제 1 면(6a)에 입사한 광빔(5)을 반사하는 제 2 면(6b), 및 제 2 면(6b)에서 반사한 광빔이 집광하는 제 3 면(6c)으로 된다. 제 2 면(6b)의 표면에 피착 형성된 반사체(7)는 제 1 면(6a)에 입사한 광빔(5)을 반사하여 제 3 면(6c) 상에 광 스폿(9)을 형성한다.
제 2 면(6b)은 투명 집광용 매체(6) 내부에서의 NA를 크게 하는 동시에, 제 3 면(6c)에 미소한 광 스폿(9)을 형성하기 위해 회전포물면의 일부를 사용하고 있다. 회전포물면의 단면(6b)의 주축을 x 축으로 수직축을 y축으로 채택하고, 초점 위치를 (p, 0)으로 하면, 단면(6b)은
y2 = 4px ···(3)
로 표시된다. 또한, 회전포물면을 사용하여 투명 집광용 매체(6)의 내부에서 집광하는 경우에는 원리적으로 무수차의 집광이 가능하고( "광학 : 구보다히로시 이와나미 서점, P. 283" 참조), 단일 집광면에 의해 미소 스폿(9)에 집광이 가능하게 된다. 이 경우의 광 스폿 직경 D1/2은 SIL의 경우와 마찬가지로 다음 식(4)으로 주어진다.
D1/2= kλ/(n·NAi) ···(4)
여기서, NAi는 투명 집광용 매체(6) 내부에서의 개구수이다.
다음에, 상기 광 헤드(1)의 동작에 대해 설명한다. 반도체 레이저(2)로부터 광빔(3)을 출사하면, 이 광빔(3)은 시준 렌즈(4)에 의해 평행 빔(5)으로 정형되어 투명 집광용 매체(6)의 제 1 면(6a)에 입사한다. 제 1 면(6a)에 입사한 광빔(5)은 제 2 면(6b)의 외측에 형성된 반사체(7)에서 반사하여 제 3 면(6c) 상에 집속하여, 제 3 면(6c) 상에 광 스폿(9)을 형성한다. 광 스폿(9)에 집속한 광이 근접장 광으로서 누출되고 기록 매체(8)에 전달되어 광 기록 또는 광 재생이 행해진다.
상기 구성의 광 헤드(1)에 의하면, 이하의 효과가 얻어진다.
(가) 회전포물면의 초점 위치의 p를 p = 0.125 mm로 하고, 회전포물면의 상단을 (x, y) = (2 mm, 1 mm)로 하면, 이 상단으로부터의 수속 각은 60 도 이상이 얻어져서, 이 제 3 면(6c)의 NA는 0.98로 되어, 종래의 DVD에서의 NA = 0.6의 1.6 배 이상으로 크게 할 수 있었다.
(나) 고 NA가 얻어지므로, 광 스폿(9)의 미소화가 가능하게 된다.
(다) 반사형의 집광 때문에, 색수차가 생기지 않는다.
(라) 본 실시 형태의 광학계는 소위 무한계, 즉 시준 렌즈(4)와 투명 집광용 매체(6)간의 광빔(5)은 평행으로 되어 있기 때문에, 온도 변동에 대한 초점 위치 빗나감이 적다.
(마) 광학계가 기록 매체(8)를 따라 배치되어 있으므로 광 헤드(1)의 높이를 낮게 할 수 있고, 광 디스크를 복수개 포개서 사용할 경우에 대용량화를 도모할 수 있다.
또한, 반사층(7)에 볼륨 홀로그램(volume hologram)이나 요철(凹凸)의 바이너리 홀로그램(binary hologram) 등의 반사형 홀로그램을 사용하여도 좋다.
도 2는 본 발명의 제 2 실시 형태에 따른 광 헤드를 나타낸다. 이 광 헤드(1)는 투명 집광용 매체(6)의 제 2 면(6b)을 평면으로 하고, 반사층(7)에 볼륨 홀로그램이나 요철의 바이너리 홀로그램 등의 반사형 홀로그램을 사용한 것이며, 이외의 것은 제 1 실시 형태와 동일하게 구성되어 있다. 투명 집광용 매체(6)의 제 2 면(6a)을 평면으로 함으로써, 생산성을 높일 수 있게 된다.
도 3은 본 발명의 제 3 실시 형태에 따른 광 디스크를 나타낸다. 이 광 헤드(1)는 투명 집광용 매체(6)의 제 2 면(6b)에 구면의 일부를 사용하고, 반사층(7)에 볼륨 홀로그램이나 요철의 바이너리 홀로그램 등의 반사형 홀로그램을 사용한 것이며, 이외의 것은 제 1 실시 형태와 동일하게 구성되어 있다. 제 2 면(6b)에 구면을 사용한 경우는 약간 집광성은 떨어지지만, 반사층(7)에 반사형 홀로그램을 사용함으로써 집광 성능을 높일 수 있게 된다. 또한, 반사층(7)으로서 Al 등의 금속을 투명 집광용 매체(6)의 제 2 면(6b)에 증착하여도 좋다. 즉, 제 1 및 제 3 면(6a, 6c)은 수직인 평면일 필요는 없고 비평면일 수도 있으며, 광 파워(power)를 받는 등으로 인하여 서로 가로지르거나 수직일 수도 있다.
도 4a는 본 발명의 제 1 실시 형태에 따른 광 디스크 장치를 나타내고, 도 4b는 도 4a의 A-A 단면도이다. 이 광 디스크 장치(10)는 원반 형상의 플라스틱 판(120)의 한쪽 면에 GeSbTe 상변화 재료로 된 기록층(121)이 형성되고, 도시하지 않은 모터에 의해 회전축(11)을 통해서 회전하는 광 디스크(12)와, 광 디스크(12)의 기록층(121)에 대하여 광기록/광재생을 행하는 광 헤드(1)와, 광 헤드(1)를 트래킹방향(13)으로 이동시키는 리니어(linear) 모터(14)와, 리니어 모터(14)측으로부터 광 헤드(1)를 지지하는 서스펜션(15)과, 광 헤드(1)를 구동하는 광 헤드 구동계(16)와, 광 헤드(1)로부터 얻어진 신호를 처리함과 동시에 광 헤드 구동계(16)를 제어하는 신호 처리계(17)를 갖는다.
리니어 모터(14)는 트래킹 방향(13)을 따라 설치된 한 쌍의 고정부(14A, 14A)와, 한 쌍의 고정부(14A, 14A) 상을 이동하는 가동 코일(14B)을 구비한다. 이가동 코일(14B)로부터 상기 서스펜션(15)에 의해 광 헤드(14)를 지지하고 있다.
도 5는 광 디스크(12)의 상세를 나타낸다. 이 광 디스크(12)는 광 헤드(1)에 의해 형성되는 광 스폿(9)의 미소화에 대응하여 고 기록 밀도화를 도로한 것이다. 플라스틱 판(120)은 예컨대 폴리카보네이트 기판 등이 사용되고, 그 한쪽 면에 홈부(12a)가 형성된다. 이 광 디스크(12)는 플라스틱 판(120)의 홈부(12a)가 형성된 측의 면에 Al 반사체층(100 nm 두께)(122), SiO2 층(100 nm 두께)(123), GeSbTe 기록층(15 nm 두께)(121), SiN 보호층(50 nm 두께)(124)을 적층한 것이다. 본 실시 형태에서는 랜드부(12b)에 정보가 기록되어 있고, 트랙의 피치는 0.25μm, 홈부(12b)의 깊이는 약 0.1μm로 하고 있다. 마크 길이는 0.13μm, 기록 밀도는 19Gbits/inch2이고, 12cm 디스크에서는 27GB의 기록 용량에 상당하여 종래의 7.6 배로 고 기록 밀도화 할 수 있었다.
도 6은 광 헤드(1)를 나타내고, 도 6a는 그 측면도, 도 6b는 그 평면도이다. 광 헤드(1)는 광 디스크(12) 상을 부상하는 부상 슬라이더(18)를 갖고, 이 부상 슬라이더(18) 상에 광빔(3)을 출사하는 단면 발광형 반도체 레이저(19)와, 단면 발광형 반도체 레이저(19)를 상하 방향으로 이동시킴으로써 광 스폿(9)을 도 6a의 9 '로 나타낸 바와 같이 트래킹 방향(13)으로 변위시키는 압전 소자(20)와, 반도체 레이저(19)로부터 출사된 광빔(3)을 팽행 광빔(5)으로 정형하는 시준 렌즈(4)와, 압전 소자(20) 및 시준 렌즈(4)를 부상 슬라이더(18) 상에 고정하는 용융 석영판(21)과, 반도체 레이저(19)로부터의 팽행 광빔(5)과 광 디스크(12)로부터의 반사광을 분리하는 편광빔 스플리터(22)와, 반도체 레이저(19)로부터의 팽행 광빔(5)의 직선 편광을 원편광으로 하는 1/4 파장판(23)과, 반도체 레이저(19)로부터의 팽행 광빔(5)을 집광하는 투명 집광용 매체(6)와, 투명 집광용 매체(6)의 제 2 면(6b)의 외측에 Al 등의 금속으로 증착 형성된 반사층(7)과, 광 디스크(12)로부터의 반사광을 빔 스플리터(22)를 통하여 입력하는 광 검출기(24)를 각각 배치하고 있다. 또한 전체는 헤드 케이스(25) 내에 수납되고, 헤드 케이스(25)는 서스펜션(15)의 선단에 고정되어 있다.
투명 집광용 매체(6)는 예컨대 굴절률 n = 1.91을 갖는 중(重) 플린트(flint) 유리로 되고, 높이 1 mm, 깊이 2 mm를 갖는다. 이 투명 집광용 매체(6)는 도 1, 도 2 및 도 3에 나타낸 투명 집광용 매체(6)와 마찬가지로 제 1 면(6a) 및 제 2 면(6b)을 갖지만, 부상 슬라이더(18)를 투명 집광용 매체(6)와 동일한 굴절률을 갖는 투명 매체로 구성하고, 부상 슬라이더(18)의 하면(16a)이 제 3 면(6b)에 상당하도록 구성되어 있으며, 부상 슬라이더(18)의 하면(16a)에 광 스폿(9)이 형성된다.
도 7은 부상 슬라이더(18)의 이면을 나타낸다. 부상 슬라이더(18)는 하면(18a)에 형성되는 광 스폿(9) 주변부 이외의 부분에 부압(負壓)을 생기게 하도록 홈(18b)을 형성하고 있다. 이 홈(18b)에 의한 부압과 서스펜션(15)의 탄성력의 작용에 의하여 광 스폿(9)과 광 디스크(12)의 간격이 부상량으로서 일정하게 유지된다. 본 실시 형태에서는 부상량은 약 0.1μm이다. 또한 하면(18a)이 접동면(情動面)으로 된다.
도 8은 단면 발광형 반도체 레이저(19) 및 압전 소자(20)를 나타낸다. 단면 발광형 반도체 레이저(19)는 예컨대 AlGaInP로 되고, 파장 630 nm의 광빔(3)을 출사하는 것이다. 반도체 레이저(19)의 활성층(190)은 광 디스크(12)의 면에 대하여 수직으로 배치하고 있다. 단면 발광형 반도체 레이저(19)에서는 활성층(190)의 면에 평행한 면에서의 빔 확산각 θh(도 6b 참조)는 8∼10 도로서 활성층(190)의 면에 직교하는 면에서의 법 확산각 θv(도 6a 참조)의 25∼30 도에 비하여 1/2 이하로 작다. 한편, 회전 포물면을 갖는 투명 집광용 매체(6)의 개구는 상하 방향이 좌우방향의 1/2 이고, 반도체 레이저(19)를 상기와 같이 배치함으로써 거의 광손실 없이 레이저 광을 투명 집광용 매체(6)에 입사할 수 있게 된다. 단면 발광형 반도체 레이저(19)를 사용함으로써 소형(예컨대 0.3 ×0.4 ×0.4 mm)이고 경량(예컨대 0.5 mg 이하)인 레이저 광원으로 되어, 광 헤드(1)의 소형·경량화를 도모할 수 있다.
압전 소자(20)는 전극 단자(200, 200)에 접속된 복수의 전극막(201)과, 전극막(201)간에 형성된 다층 PZT 박막(두께 약 20μm)(202)으로 된다. 이 압전 소자(20)는 상기 용융 석영판(21)에 피착하고, 또한 그 위에 반도체 레이저(19)를 포개고 있다. 반도체 레이저(19)의 중량은 0.5 mg 이하로 가볍기 때문에, 반도체 레이저(19)를 지지하는 계의 공진 주파수를 300 kHz 이상으로 할 수 있고, 전극 단자(200, 200)간으로의 인가 전압 5 V로 0.5μm 이상의 변위가 얻어졌다. 이 압전 소자(20)에 의한 반도체 레이저(19)의 상하 주사에 의해 제 3 면(6c) 상에서의 광 스폿(9)을 트래킹 방향(13)으로 주사할 수 있다.
광 헤드 구동계(16)는 기록시에 반도체 레이저(19)의 출력광을 기록 신호에 의해 변조함으로써, 기록층(121)에 결정/비결정(amorphous)간의 상변화를 일으켜 그 사이의 반사율의 차이로서 기록하고, 재생시에는 반도체 레이저(19)의 출력광을 변조하지 않고 연속하여 조사하여 기록층(121)에서의 상기 반사율의 차이를 반사광의 변동으로서 광 검출기(24)에 의해 검출하도록 되어 있다.
신호 처리계(17)는 광 검출기(24)가 검출한 광 디스크(12)로부터의 반사광에 기초하여 트래킹 제어용 오차 신호 및 데이터 신호를 생성하고, 오차 신호를 하이패스 필터와 로우 패스 필터에 의해 고주파역의 오차 신호와 저주파역의 오차 산호를 형성하고, 이들의 오차 신호에 기초하여 광 헤드 구동계(16)에 대하여 트래킹 제어를 행하는 것이다. 여기에서는 트래킹용의 오차 신호를 샘플 서보 방식(광 디스크 기술, 라디오 기술사, 95쪽)에 의해 생성하도록 되어 있고, 이 샘플 서보 방식은 갈짓자 마크(wobbled track)를 간헐적으로 트랙 상에 설치하고, 이것으로부터의 반사 강도의 변동으로부터 오차 신호를 생성하는 방식이다. 또한, 트래킹 제어는 저주파역의 오차 신호에 기초하여 리니어 모터(14)를 제어하고, 고주파역의 오차 신호에 기초하여 압전 소자(20)를 제어하는 2단 제어에 의해 행하도록 되어 있다. 샘플 서보 방식의 경우에는 기록 신호와 트래킹 오차 신호 사이는 시분할적으로 분리되어 있기 때문에, 양자의 분리는 재생 회로에서의 게이트 회로에 의해 행한다. 또한, 홈부(12a)로부터의 반사광과의 간섭을 이용하는 푸시 풀(push-pull) 방식으로 오차 신호를 생성하여도 좋다.
상술한 바와 같이 샘플 서보 방식의 채용에 의해 기록 신호와 트래킹 오차 신호 사이는 시분할적으로 분리되어 있으므로, 광 검출기(24)로서는 분할형의 것은 필요하지 않고, 예컨대 1 mm 각의 PIN 포토다이오드를 사용할 수 있다. 광 검출기(24)로서 분할형일 필요가 없기 때문에, 검출계를 대폭 간소·경량화할 수 있다.
다음에, 이 광 디스크 장치(10)의 동작을 설명한다. 광 디스크(12)는 도시하지 않은 모터에 의해 소정의 회전 속도로 회전하고, 부상 슬라이더(18)는 광 디스크(12)의 회전에 의해 발생하는 부압과 서스펜션(15)의 탄성력의 작용에 의해 광 디스크(12) 상을 부상 주행한다. 광 헤드 구동계(16)에 의한 구동에 의해 단면 발광형 반도체 레이저(19)로부터 광빔(3)이 출사되면, 반도체 레이저(19)의 출력광(3)은 시준 렌즈(4)에 의해 팽행광빔(5)으로 정형된 후, 편광빔 스플리터(22) 및 1/4 파장판(23)을 통하여, 투명 집광용 매체(6)의 제 1 면(6a)에 입사한다. 팽행광빔(5)은 1/4 파장판(23)을 통과할 때에 1/4 파장판(23)에 의해 직선 편광으로부터 원편광으로 변한다. 투명 집광용 매체(6)의 제 1 면(6a)에 입사한 원편광의 팽행 광빔(5)은 제 2 면(6b)에 피착 형성된 반사층(7)으로 반사하여 부상 슬라이더(18)의 하면(18a)에 집광한다. 부상 슬라이더(18)의 하면(18a)에 미소한 광 스폿(9)이 형성된다. 이 광 스폿(9)으로부터는 부상 슬라이더(18)의 하면(18a)의 외측으로 근접장 광이 누출되고, 이 근접장 광이 광 디스크(12)의 기록층(121)에 전달하여 광기록 또는 광재생이 행해진다. 광 디스크(12)에서 반사한 반사광은 입사광의 경로를 거꾸로 밟아서, 투명 집광용 매체(6)의 제 2 면(6b)에 피착 형성된 반사층(7)에서 반사하여 편광빔 스플리터(22)로 90 도 방향으로 반사하여 광 검출기(24)로 입사한다. 신호 처리계(17)는 광 검출기(24)로 입사한 광 디스크(12)로부터의 반사광에 기초하여 트래킹 제어용 오차 신호 및 데이터 신호를 생성하고, 오차 신호에 기초하여 광 헤드 구동계(16)에 대하여 트래킹 제어를 행한다.
상기 구성의 광 디스크 장치(10)에 의하면, 이하의 효과가 얻어진다.
(가) 투명 집광용 매체(6)의 제 2 면(6b)에서의 최대 반사각이 60 도로 되어 NA는 0.86이 얻어지고, 그 결과 스폿 직경 D1/2 약 0.2μm의 미소한 광 스폿(9)이 얻어져서 초고밀도(19Gbits/inch2)의 광기록/광재생이 가능하게 되었다.
(나) 자동 초점 제어를 행하지 않고 기록 재생이 가능하기 때문에, 자동 초점 제어 기구가 불필요하게 되어, 광 헤드(1)의 중량을 대폭 줄일 수 있어서 소형화를 도모할 수 있었다.
즉, 광 헤드(1)의 크기는 높이 2 mm, 폭 3 mm, 길이 6 mm, 중량은 0.2 g과 같이 경량으로 되었다. 이 때문에, 리니어 모터(14)의 가동 코일(14B)과 서스펜션(15)을 포함하여 가동부의 중량을 1.0 g 이하로 할 수 있었다. 그 결과, 리니어 모터(14) 만으로 대역 30 kHz 이상, 이득 60 이상이 얻어졌다.
(다) 온도 변동에 대한 초점 위치 빗나감이 적다.
즉, 초점 빗나감의 주원인은 온도 변동이지만, 본 실시 형태에서는 광학계의 대부분에서 광빔은 평행광이고, 이 부분에서는 열팽창에 의한 초점 빗나감은 생기지 않는다. 초점 빗나감을 일으킬 가능성이 있는 곳은 반도체 레이저(19)로부터 시준 렌즈(4)까지의 부분과, 플린트 유리로 된 투명 집광용 매체(6)에 의한 집광 부분이다. 플린트 유리의 선팽창 계수는 9 ×10-6 정도 이하이고, 광 디스크 장치(10)의 사용 온도빔위(10∼50℃)에서의 집광부의 길이 변화는 최대 0.4μm이다. 또한, 이 팽창은 등방적으로 생기기 때문에, 이것에 의한 초점 위치 빗나감은 선평창보다 1 자리수 작아서 이것에 의한 초점 빗나감은 무시할 수 있었다. 전자의 시준부에 대해서는 시준 렌즈(4)에 색수차 보정을 행하는 것과, 시준 렌즈(4)와 반도체 레이저(19)를 저 선팽창 계수의 용융 석영판(선팽창 계수는 5 ×10-7)(21)에 의해 접속하여 그 사이의 거리 변동을 억제하였다. 이 부분에 의한 초점 위치 빗나감은 온도 변동 40 도의 빔위에서 0.02μm 이하로서, 초점 심도 0.2μm에 비하여 충분히 무시할 수 있는 빔위였다.
도 9는 트래킹 제어 특성을 나타낸다. 이 리니어 모터(14)와 압전 소자(20)에 의한 2단 제어에 의해 도 9의 "26" 에 나타낸 바와 같이 200 kHz의 대역이 얻어지고, 고속 회전시(3600 rpm)하에서 0.01μm의 정밀도로 트래킹을 행할 수 있다. "27" 은 리니어 모터(14)의 응답 특성이고, 양자를 합성하여 2단 제어함으로써, 80 dB의 이득(28)이 얻어진다. 또한, 12cm의 디스크에서 10 ms 이하의 평균 시크(seek) 속도를 달성한다. 이것에 의해 3600 rpm 회전시의 액세스 시간은 20 ms 이하로 된다.
도 10은 본 발명의 제 2 실시 형태에 따른 광 디스크 장치를 나타낸다. 제 1 실시 형태에서는 시크 동작에 리니어 모터(14)를 사용하였지만, 이 제 2 실시 형태에서는 하드디스크에 사용하는 회전형 리니어 모터(30)를 사용한 것이다. 광 헤드(1)는 회동축(31)에 회동 가능하게 지지된 서스펜션(31)에 의해서 회전형 리니어 모터(30)에 접속되어 있다. 이와 같은 구성으로 함으로써 회전형 리니어 모터(30)는 광 디스크(12)의 외측에 배치할 수 있기 때문에, 광 헤드(1)를 더욱 박형으로 할 수 있어서 광 디스크 장치(10) 전체를 소형화할 수 있다. 또한, 이것에 의해 디스크를 고속(3600 rpm)으로 회전할 수 있고, 평균 50 Mbps 이상의 데이터 전송 속도가 가능하게 된다. 또한, 이 장치에서 트래킹 방향은 반도체 레이저의 광출력 방향과 수직이 되기 때문에, 트래킹을 위해서는 반도체 레이저 또는 그 출력 빔을 도체 레이저의 광출력 방향과 수직인 방향으로 주사해야만 하는 것은 말할 것도 없다.
도 11은 본 발명의 제 3 실시 형태에 따른 광 디스크 장치를 나타낸다. 이 광 디스크 장치는 제 1 실시 형태의 투명 집광용 매체(6)를 사용한 광 헤드(1)를 5개 포갠 디스크 스택형 광 디스크 장치에 적용한 것으로서, 플라스틱 기판(41)의 상하면에 기록 매체(42, 42)가 각각 피착된 5 개의 광 디스크(40)와, 각 광 디스크(40)의 기록 매체(42) 상을 부상 주행하는 10 개의 광 헤드(1)와, 회동축(43)에 의해 광 헤드(1)를 회동 가능하게 지지하는 서스펜션(44)과, 서스펜션(44)을 구동하는 회전형 리니어 모터(45)를 갖는다. 기록 매체(42)로서는 상변화형의 매체이거나 광자기형의 매체이어도 좋다. 회전형 리니어 모터(45)는 서스펜션(44)이 직결된 가동편(45a)과, 요크(45b)에 의해 연결되고, 가동편(45a)을 구동하는 전자석(45c, 45c)으로 구성된다. 이 광 헤드(1)의 구조는 기본적으로는 제 1 실시 형태와 동일하고, 회전 포물면을 갖는 투명 집광용 매체(6)와 AlGaInN 계의 레이저(410 nm)를 사용하고 있고, 스폿 직경은 0.2μm이다. 디스크 직경은 12cm, 트랙 피치와 마크 길이는 각각 0.16μm, 0.19μm이고, 한 면의 용량은 60GB, 전체로는 1.2TB이다.
도 12a, 도 12b는 이 제 3 실시 형태에 따른 반도체 레이저를 나타낸다. 이 반도체 레이저(46)는 빔 주사형 반도체 레이저이고, 기판(460)을 갖고, 그 상면에 상부 전극(461), 하면에 하부 전극(462), 중앙에 활성층(463)을 각각 형성한 것이다. 활성층(463)의 발진 협착부의 주부(464a)와 선단부(464b)의 폭은 각각 3μm, 5μm이고, 길이는 각각 300μm, 50μm이다. 상부 전극(461)은 주부(主部) 전극(461a)과, 좌우 한 쌍의 선단부 전극(461b, 461b)으로 구성된다. 활성층(463)의 발진부는 발진 협착부(464a, 464b)에 의해 협착되어 선단부 전극(461b, 461b)으로 분할하거나 또는 교호로 전류를 흘림으로써, 출력 광빔이 좌우로 주사된다. 이 주사폭은 1μm, 주사 주파수는 30 MHz까지 가능하다. 이 광빔 주사와 리니어 모터(45)에 의해 2단 제어의 트래킹을 행한다. 또한, 트래킹 제어용 오차 신호의 생성은 광빔의 워블링(wobbling)법에 의해 행한다. 즉, 광빔을 고속(10 MHz)으로 0.03μm 좌우 주사함으로써, 기록면상에서의 광 스폿은 시준 렌즈와 투명 집광용 매체의 NA 비에 비례하여, 약 0.01μm 워블링된다. 이에 따라 기록 트래킹으로부터의 반사 신호가 변조되고, 그 변조 신호를 주사 주파수에 동기하여 검파함으로써 오차 신호가 생성된다.
상기 구성에 의하면, 광빔을 고속 좌우 주사함으로써, 기계적인 가동부 없이 고속 트래킹이 가능하게 되었다. 또한, 회전형 리니어 모터(45)를 사용함으로써 평균 시크 시간은 제 1 실시 형태와 마찬가지로 10 ms 이하를 실현할 수 있다. 더욱이, 투명 집광용 매체(6)를 사용함으로써 소형이고 1TB 이상의 초대용량이며 고속인 광 디스크 장치가 가능하게 되었다.
또한, 본 발명은 상기 실시 형태에 한정되지 않고, 각종 변형이 가능하다. 예컨대, 트래킹 제어용 오차 신호의 생성에는, 상기 실시 형태에서는 샘플 서보 방식을 사용하였지만 주위적으로 기록 트랙을 지그재그(zigzag)시켜 이것에 의한 반사광의 변조를 지그재그 주파수에 동기시켜서 검출하여, 오차 신호를 생성하는 워블 트랙 방식을 사용하여도 좋다.
또한, 예컨대 재생시와 같이 빔 파워가 적어도 좋을 경우에는 투명 집광용 매체에 입사시킨 레이저 광을 시준 렌즈에 의해 시준하지 않아도 좋다.
또한, 재생 전용 디스크의 트래킹에는 CD로 행해지도록 3 스폿 방식을 사용하는 것도 가능하다. 즉, 시준 렌즈와 편광빔 스플리터의 사이에 회절 격자를 삽입하고, 또한 ± 1차광 각각의 디스크로부터의 반사광을 검출하는 광검출 소자를 주 빔 검출용 소자의 양측에 배치하고, 그 출력의 차분을 취함으로써, 오차 신호의 생성이 가능하게 된다.
또한, 기록 트랙 측면부로부터의 회절광 좌우의 불균형을 검출하여 오차 신호를 생성하는 푸시풀형의 제어를 행하는 것도 가능하다. 이 경우는 그 회절광을 2 분할형의 광 검출 소자에 입사하고, 그 차동 출력 오차 신호를 생성한다. 그러나, 본 실시 형태에서는 반도체 레이저를 주사하고 있기 때문에, 광 검출 소자의 광 스폿도 이것에 맞추어서 좌우로 움직인다. 이것에 의한 오신호는 반도체 레이저의 주사에 동기하여 광 검출 소자를 좌우로 주사함으로써 억제할 수 있다.
또한, 본 실시 형태의 광 헤드를 그대로 추기형(追記型) 광 디스크로의 기록 및 재생에 사용할 수 있다.
또한, 투명 집광용 매체의 제 3 면(부상 슬라이더의 하면)의 광 스폿 집광부 주변에 박막 코일을 장착하고 자계 변조를 행함으로써, 광 자기 매체를 사용한 광 자기 기록도 가능하게 된다. 단, 재생의 경우에는 광의 편파면의 회전을 편광 해석에 의해 검출하여 신호를 생성하기 때문에, 편광빔 스플리터를 비편광의 스플리터로 바꾸어, 광 검출 소자의 바로 앞에 검광자를 배치할 필요가 있다.
또한, 레이저 원으로서 본 실시 형태에서는 단면 발광형 레이저를 사용하였으나, 면 발광형 레이저(VCSEL)를 사용하는 것도 가능하다. 면 발광형 레이저의 경우, 기본 모터(TEM00)의 최대 출력은 2 mW 정도로 단면 발광형 레이저의 1/10 이하이지만, 본 실시 형태에서는 종래의 광 디스크 장치에서 사용되고 있는 광 스폿 직경의 몇 분의 1로 좁혀져 있기 때문에, 광 밀도를 1 자리수 이상 높일 수 있으므로, 면 발광형 반도체 레이저로도 기록이 가능하게 된다. 또한, 면 발광형 반도체 레이저의 경우에는 온도에 의한 파장 변동이 적어서, 색수차 보정이 불필요하게 된다.
또한, 본 실시 형태에서 반도체 레이저는 시중에서 최단파장(630 nm)의 반도체 레이저를 사용하였지만, 현재 개발 중인 AlGaInN 계의 청색 레이저(410 nm)도 완전히 동일하게 사용할 수 있다. 이 경우, 광 스폿 직경은 0.15μm 이하로 할 수 있어서, 더욱이 2 배 이상의 고밀도화가 가능하게 된다.
또한, 투명 집광용 매체는 본 실시 형태에서는 굴절률 1.91의 중 플린트 유리를 사용하였지만, 굴절률이 1 보다 크면 상한은 없고, 더욱이 고 굴절률의 재료를 사용할 수도 있다. 예컨대, 황화 카드뮴 CdS(굴절률 2.5)나 섬아연광 ZnS(굴절률 2.37) 등의 결정성 재료를 사용하여도 좋다. 이에 따라 광 스폿 직경을 더욱 2할 이상 축소할 수 있어서, 기록 밀도를 5 할 정도 증대하는 것이 가능하게 된다.
또한, 광 기록 매체로서는 요철 피트(pit)를 갖는 재생 전용 디스크나 광자기 기록 재료나 상변화 재료를 사용한 기록·재생용 매체, 색소 등의 광 흡수에 의해 요철 피트를 형성하여 기록을 행하는 추기형 매체 등의 각종 기록 매체를 사용할 수 있다.
또한, 반도체 레이저로서 단면 발광형 반도체 레이저를 사용하는 경우, 활성층이 투명 집광용 매체의 제 3 면(부상 슬라이더의 하면)에 대하여 평행이 되도록 배치하여도 좋다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면 투명 집광용 매체의 제 1 면에 입사한 레이저 광을 제 2 면의 외측에 형성된 반사체로 반사하여 제 3 면에 광 스폿을 형성하도록 하였으므로 제 3 면에 형성된 광 스폿으로부터 제 3 면의 외측으로 누출하는 근접장 광을 광기록/광재생에 이용할 수 있고, 더욱이 투명 집광용 매체 내부에서의 개구 수를 크게 할 수 있으므로 광 스폿의 미소화를 도모할 수 있다. 그 결과 고기록밀도가 가능하게 된다.
또한, 대물렌즈를 이용하지 않고 광을 집광할 수 있으므로 광 헤드의 소형화가 도모되며, 데이터 전송 속도의 향상이 도모된다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시 형태에 따른 광 헤드를 나타낸 도면.
도 2는 본 발명의 제 2 실시 형태에 따른 광 헤드를 나타낸 도면.
도 3은 본 발명의 제 3 실시 형태에 따른 광 헤드를 나타낸 도면.
도 4a는 본 발명의 제 1실시 형태에 따른 광 디스크 장치를 나타내는 도면.
도 4b는 도 4a의 A-A 단면도.
도 5는 도 4에 나타낸 광 디스크 장치에서 사용한 광 디스크의 단면도.
도 6a는 도 4에 나타낸 광 디스크 장치에서 사용한 광 헤드의 측면도.
도 6b는 도 4에 나타낸 광 디스크 장치에서 사용한 광 헤드의 평면도.
도 7은 도 4에 나타낸 광 디스크 장치에서 사용한 부상 슬라이더의 이면도.
도 8은 도 4에 나타낸 광 디스크 장치에서 사용한 반도체 레이저 주사부를 나타낸 도면.
도 9는 도 4에 나타낸 광 디스크 장치에서의 트래킹 제어 특성을 나타낸 도면.
도 10은 본 발명의 제 2 실시 형태에 따른 광 디스크 장치를 나타낸 도면.
도 11은 본 발명의 제 3 실시 형태에 따른 광 디스크 장치를 나타낸 도면.
도 12a는 도 11에 나타낸 광 디스크 장치에서 사용한 반도체 레이저를 나타낸 평면도.
도 12b는 도 11에 나타낸 광 디스크 장치에서 사용한 반도체 레이저를 나타낸 단면도.
도 13은 종래의 제 1 형태의 광 헤드를 나타낸 도면.
도 14는 종래의 제 2 형태의 광 헤드를 나타낸 도면.
도 15는 종래의 굴절률 n과 NA의 관계를 나타낸 도면.
도 16은 종래의 광 디스크 장치를 나타낸 도면.
도 17은 도 16에 나타낸 광 디스크 장치의 SIL 및 부상 슬라이더를 나타낸 도면.
도 18은 도 16에 나타낸 광 디스크 장치의 검출 광학계부를 나타낸 도면.
도 19는 종래의 광 헤드를 나타낸 도면.
도 20은 종래의 다른 광 디스크 장치를 나타낸 도면.
(부호의 설명)
1 광 헤드
2 반도체 레이저
3 광빔
4 시준 렌즈
5 평행 빔
6 투명 집광용 매체
6a 제 1 면
6b 제 2 면
6c 제 3 면
7 반사체
8 기록 매체
9 광 스폿
10 광 디스크 장치
11 회전축
12 광 디스크
12a 홈부
12b 랜드부
13 트래킹 방향
14 리니어 모터
14A 고정부
14B 가동 코일
15 서스펜션
16 광 헤드 구동계
17 신호 처리계
18 부상 슬라이더
18b 홈
19 단면 발광형 반도체 레이저
20 압전 소자
21 용융 석영판
22 편광빔 스플리터
23 1/4 파장판
24 광 검출기
25 헤드 케이스
40 광 디스크
41 플라스틱 기판
42 기록 매체
43 회동축
44 서스펜션
45 회전형 리니어 모터
45a 가동편
45b 요크
45c 전자석
121 GeSbTe 기록층
122 Al 반사체층
123 SiO2 층
124 SiN 층
190 활성층
200 전극 단자
201 전극막
202 다층 PZT 박막
460 기판
461 상부 전극
461a 주부 전극
461b 선단부 전극
462 하부 전극
463 활성층
464a 발진 협착부의 주부
464b 발진 협착부의 선단부

Claims (34)

  1. 광빔을 출사하는 광 출사 수단과,
    상기 광 출사 수단으로부터의 상기 광빔이 입사하는 제 1 면, 외측에 반사체가 형성되어 상기 제 1 면에 입사한 상기 광빔을 상기 반사체로 반사하는 제 2 면, 및 상기 제 2 면에서 반사한 상기 광빔이 집광하여 광 스폿이 형성되는 제 3 면을 갖는 투명 집광용 매체를 구비하고,
    상기 투명 집광용 매체의 제 3 면은 기록 매체와 대향하여 배치되고, 이 제 3 면으로부터 누출하는 근접장광에 의해 기록 매체에 정보의 기록 및 재생을 행하고, 상기 기록 매체는 회전 디스크인 것을 특징으로 하는 광 헤드.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 투명 집광용 매체는 1 이상의 굴절률을 갖는 것을 특징으로 하는 광 헤드.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 투명 집광용 매체는 굴절률을 n, 상기 투명 집광용 매체 내의 개구 수를 NA로 했을 때, n·NA가 0.85 이상이 되도록 구성된 것을 특징으로 하는 광 헤드.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 투명 집광용 매체의 상기 제 1 면은 평면으로 구성된 것을 특징으로 하는 광 헤드.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 투명 집광용 매체의 상기 제 3 면은 평면으로 구성된 것을 특징으로 하는 광 헤드.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 투명 집광용 매체의 상기 제 2 면은 적어도 회전포물면의 일부로 구성되고,
    상기 반사체는 상기 제 2 면에 피착 형성된 금속막인 것을 특징으로 하는 광 헤드.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 투명 집광용 매체의 상기 제 2 면은 적어도 구면의 일부로 구성되고,
    상기 반사체는 상기 제 2 면에 피착 형성된 금속막인 것을 특징으로 하는 광 헤드.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 투명 집광용 매체의 상기 제 2 면은 적어도 회전포물면의 일부로 구성되고,
    상기 반사체는 회전포물면의 일부를 이루도록 형성된 반사형 홀로그램인 것을 특징으로 하는 광 헤드.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 투명 집광용 매체의 상기 제 2 면은 적어도 구면의 일부로 구성되고,
    상기 반사체는 구면의 일부를 이루도록 형성된 반사형 홀로그램인 것을 특징으로 하는 광 헤드.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 투명 집광용 매체의 상기 제 2 면은 적어도 그 일부가 평면으로 구성되고,
    상기 반사체는 적어도 그 일부가 평면 형상으로 형성된 반사형 홀로그램인 것을 특징으로 하는 광 헤드.
  11. 제 8 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 반사형 홀로그램은 볼륨 홀로그램으로 구성된 것을 특징으로 하는 광 헤드.
  12. 제 8 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 반사형 홀로그램은 요철형 바이너리 홀로그램으로 구성된 것을 특징으로 하는 광 헤드.
  13. 제 1 항에 있어서,
    상기 투명 집광용 매체는, 서로 밀착되고 거의 동일한 굴절률을 갖는 제 1 투명 매체와 제 2 투명 매체로 구성되고,
    상기 제 1 투명 매체는 상기 제 1 면 및 상기 제 2 면을 갖고,
    상기 제 2 투명 매체는 광 디스크의 회전에 수반하여 상기 광 디스크 위를 부상 주사하는 부상 슬라이더로서, 상기 부상 슬라이더가 상기 제 3 면을 갖는 것을 특징으로 하는 광 헤드.
  14. 제 1 항에 있어서,
    상기 광 출사 수단은 레이저 광을 출사하는 반도체 레이저를 구비한 것을 특징으로 하는 광 헤드.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 반도체 레이저는 단면 발광형 반도체 레이저인 것을 특징으로 하는 광 헤드.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 단면 발광형 반도체 레이저는 상기 투명 집광용 매체의 상기 제 3 면에 거의 수직이 되도록 배치된 활성층을 갖는 것을 특징으로 하는 광 헤드.
  17. 제 15 항에 있어서,
    상기 단면 발광형 반도체 레이저는 상기 투명 집광용 매체의 상기 제 3 면에 거의 평행이 되도록 배치된 활성층을 갖는 것을 특징으로 하는 광 헤드.
  18. 제 14 항에 있어서,
    상기 반도체 레이저는 면 발광형 반도체 레이저인 것을 특징으로 하는 광 헤드.
  19. 제 1 항에 있어서,
    상기 광 출사 수단은 레이저 광을 출사하는 레이저 광원과, 상기 레이저 광원으로부터의 상기 레이저 광을 평행 광으로 정형하여 상기 투명 집광용 매체의 상기 제 1 면에 입사시키는 시준 렌즈를 구비한 것을 특징으로 하는 광 헤드.
  20. 제 1 항 또는 제 19 항에 있어서,
    상기 투명 집광용 매체의 상기 제 1 면 및 제 3 면은 각각 평면으로 구성되며, 서로 직교하는 것을 특징으로 하는 광 헤드.
  21. 제 1 항에 있어서,
    상기 광 출사 수단은 레이저 광을 출사하는 레이저 광원과, 상기 레이저 광원을 이동시켜서 상기 광 스폿이 형성되는 위치를 소정 방향으로 변위시키는 압전 소자를 구비한 것을 특징으로 하는 광 헤드.
  22. 제 14 항에 있어서,
    상기 반도체 레이저는 상기 레이저 광을 출사하는 선단 부근에 설치되어 전류가 분할되거나 또는 교호로 인가됨으로써, 상기 광 스폿이 형성되는 위치를 소정 방향으로 변위시키는 한 쌍의 전극 단자를 구비한 빔 주사형 반도체 레이저인 것을 특징으로 하는 광 헤드.
  23. 회전하는 광 디스크와, 상기 광 디스크 상에 광빔을 조사하여 정보의 기록 또는 재생을 행하는 광 헤드를 갖는 광 디스크 장치에 있어서,
    상기 광 헤드는
    상기 광빔을 출사하는 광 출사 수단과,
    상기 광 출사 수단으로부터의 상기 광빔이 입사하는 제 1 면, 외측에 반사체가 형성되어 상기 제 1 면에 입사한 상기 광빔을 상기 반사체로 반사하는 제 2 면, 및 상기 제 2 면에서 반사한 상기 광빔이 집광하여 광 스폿이 형성되는 제 3 면을 갖는 투명 집광용 매체를 구비한 것을 특징으로 하는 광 디스크 장치.
  24. 제 23 항에 있어서,
    상기 투명 집광용 매체는 서로 밀착되고, 거의 동일한 굴절률을 갖는 제 1 투명 매체와 제 2 투명 매체로 구성되고,
    상기 제 1 투명 매체는 상기 제 1 면 및 상기 제 2 면을 갖고,
    상기 제 2 투명 매체는 상기 광 디스크의 회전에 수반하여 상기 광 디스크 위를 부상 주사하는 부상 슬라이더로서, 상기 부상 슬라이더가 상기 제 3 면을 갖고,
    상기 광 출사 수단, 및 상기 광 기록 또는 상기 광 재생에 필요한 광학계를 상기 부상 슬라이더 상에 배치한 것을 특징으로 하는 광 디스크 장치.
  25. 제 23 항에 있어서,
    상기 광 디스크는 요철 형상의 피트 열에 의해 정보가 기록된 재생 전용 매체인 것을 특징으로 하는 광 디스크 장치.
  26. 제 23 항에 있어서,
    상기 광 디스크는 광 자기 기록 매체인 것을 특징으로 하는 광 디스크 장치.
  27. 제 23 항에 있어서,
    상기 광 디스크는 광 상 변화 기록 매체인 것을 특징으로 하는 광 디스크 장치.
  28. 제 23 항에 있어서,
    상기 광 디스크는 추기형(追記型) 기록 매체인 것을 특징으로 하는 광 디스크 장치.
  29. 동축 상에 소정의 간격을 갖고 배치된 회전하는 복수의 광 디스크와, 상기 복수의 광 디스크 상에 광빔을 조사하여 정보의 기록 또는 재생을 행하는 복수의 광 헤드를 갖는 광 디스크 장치에 있어서,
    상기 각 광 헤드는
    상기 광빔을 출사하는 광 출사 수단과,
    상기 광 출사 수단으로부터의 상기 광빔이 입사하는 제 1 면, 외측에 반사체가 형성되어 상기 제 1 면에 입사한 상기 광빔을 상기 반사체로 반사하는 제 2 면, 및 상기 제 2 면에서 반사한 상기 광빔이 집광하여 광 스폿이 형성되는 제 3 면을 갖는 투명 집광용 매체를 구비한 것을 특징으로 하는 광 디스크 장치.
  30. 회전하는 광 디스크와, 상기 광 디스크 상에 레이저 광을 조사하여 정보의 기록 또는 재생을 행하는 광 헤드를 갖고, 근접장을 이용하는 광 디스크 장치에 있어서,
    상기 광 헤드를 소정의 트래킹 방향으로 이동시키는 광 헤드 이동 수단과,
    상기 레이저 광을 출사하는 반도체 레이저와,
    상기 반도체 레이저를 이동시켜 광 스폿이 형성되는 위치를 상기 소정의 트래킹 방향으로 변위시키는 압전 소자와,
    저주파역의 오차 신호에 기초하여 상기 광 헤드 이동 수단을 구동하며, 고주파역의 오차 신호에 기초하여 상기 압전 소자를 구동하는 구동수단을 구비한 것을 특징으로 하는 광 디스크 장치.
  31. 제 30 항에 있어서,
    상기 반도체 레이저는 상기 레이저 광을 출사하는 선단 부근에 설치되어 전류가 분할되거나 또는 교호로 인가됨으로써, 상기 광 스폿이 형성되는 위치를 소정 트래킹 방향으로 변위시키는 한 쌍의 전극 단자를 구비한 빔 주사형 반도체 레이저인 것을 특징으로 하는 광 디스크 장치.
  32. 광 디스크 상에 광빔을 조사하여 정보의 기록 또는 재생을 행하며, 근접장을 이용하는 광 디스크 장치에 있어서,
    상기 광 디스크의 기록면에 평행하게 시준된 상기 광빔을 조사하는 조사 수단과,
    상기 광빔을 반사하여 상기 광 디스크 상에 광 스폿을 형성하는 반사 수단을 구비하고,
    상기 반사 수단은 상기 조사 수단으로부터의 상기 광빔이 입사하는 제 1 면, 외측에 반사체가 형성되어 상기 제 1 면에 입사한 상기 광빔을 상기 반사체로 반사하는 제 2 면, 및 상기 제 2 면에서 반사한 상기 광빔이 집광하여 상기 광 스폿이 형성되는 제 3 면을 갖는 투명 집광용 매체를 구비한 것을 특징으로 하는 광 디스크 장치.
  33. 광빔을 출사하는 광 출사 수단과,
    상기 광빔이 입사하는 투명 집광용 매체와,
    상기 투명 집광용 매체에 입사한 상기 광빔을 상기 투명 집광용 매체의 표면에 집광하여 광 스폿을 형성하는 반사체를 구비하고,
    상기 투명 집광용 매체의 표면은 기록 매체와 대향하여 배치되고, 이 표면으로부터 누출하는 근접장광에 의해 기록 매체에 정보의 기록 및 재생을 행하고, 상기 기록 매체는 회전 디스크인 것을 특징으로 하는 광 헤드.
  34. 제 33 항에 있어서,
    상기 반사체는 상기 투명 집광용 매체의 표면 상에 배치되는 것을 특징으로 하는 광 혜드.
KR10-1998-0046549A 1997-11-06 1998-10-31 광헤드및광디스크장치 Expired - Fee Related KR100508418B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP30456797 1997-11-06
JP304567 1997-11-06

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR19990044933A KR19990044933A (ko) 1999-06-25
KR100508418B1 true KR100508418B1 (ko) 2005-11-24

Family

ID=17934556

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR10-1998-0046549A Expired - Fee Related KR100508418B1 (ko) 1997-11-06 1998-10-31 광헤드및광디스크장치

Country Status (4)

Country Link
US (1) US6275453B1 (ko)
EP (1) EP0915458B1 (ko)
KR (1) KR100508418B1 (ko)
DE (1) DE69838968T2 (ko)

Families Citing this family (39)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2000008639A1 (fr) 1998-08-05 2000-02-17 Seiko Instruments Inc. Support d'enregistrement, dispositif d'enregistrement d'informations et dispositif de reproduction d'informations
US6831886B1 (en) * 1998-11-27 2004-12-14 Minolta Co., Ltd. Optical head and optical head device
JP3773681B2 (ja) 1999-01-08 2006-05-10 富士通株式会社 光学ヘッド、光学部品、および光記憶装置
JP3692832B2 (ja) 1999-05-21 2005-09-07 富士ゼロックス株式会社 記録再生ヘッドおよび記録再生ディスク装置
JP3654053B2 (ja) * 1999-06-04 2005-06-02 株式会社日立製作所 情報記録媒体及び情報記録装置
US7227817B1 (en) * 1999-12-07 2007-06-05 Dphi Acquisitions, Inc. Low profile optical head
JP4421742B2 (ja) * 1999-07-26 2010-02-24 セイコーインスツル株式会社 光ヘッド
JP4019615B2 (ja) * 2000-03-10 2007-12-12 富士ゼロックス株式会社 光磁気素子、光磁気ヘッドおよび磁気ディスク装置
JP2002005810A (ja) * 2000-06-16 2002-01-09 Canon Inc プローブ及びその製造方法、表面観察装置、露光装置、情報処理装置
JP3639202B2 (ja) * 2000-07-05 2005-04-20 株式会社オプトウエア 光情報記録装置および方法、光情報再生装置および方法、ならびに光情報記録再生装置および方法
US6707026B2 (en) 2000-08-04 2004-03-16 Minolta Co., Ltd. Solid immersion mirror and reproducing apparatus
US7272102B2 (en) * 2002-03-29 2007-09-18 Seagate Technology Llc Ridge waveguide with recess
WO2004003932A2 (en) * 2002-06-28 2004-01-08 Seagate Technology Llc Apparatus and method for producing a small spot of optical energy
US7412143B2 (en) * 2002-06-28 2008-08-12 Seagate Technology Llc Heat assisted magnetic recording with heat profile shaping
US7155732B2 (en) * 2003-09-05 2006-12-26 Seagate Technology Llc Heat assisted magnetic recording head and method
US7330404B2 (en) * 2003-10-10 2008-02-12 Seagate Technology Llc Near-field optical transducers for thermal assisted magnetic and optical data storage
US7272079B2 (en) * 2004-06-23 2007-09-18 Seagate Technology Llc Transducer for heat assisted magnetic recording
WO2007109367A2 (en) * 2006-03-20 2007-09-27 Omnilux, Inc. Devices and methods for resonant illumination
US7894308B2 (en) * 2006-06-27 2011-02-22 Seagate Technology Llc Near-field optical transducers having a tilted metallic pin
JP4782660B2 (ja) * 2006-11-21 2011-09-28 株式会社日立製作所 ヘッド，ヘッドジンバルアセンブリ及び情報記録装置
JP4836966B2 (ja) * 2008-01-18 2011-12-14 株式会社日立製作所 ヘッドジンバルアセンブリ及び情報記録装置
US20100128576A1 (en) * 2008-11-21 2010-05-27 Fang Alexander W Integrated magnetic recording head and near field laser
US8059354B2 (en) * 2009-01-29 2011-11-15 Seagate Technology Llc Transducer for data storage device
US8254212B2 (en) * 2009-06-25 2012-08-28 Seagate Technology Llc Integrated heat assisted magnetic recording device
EP2359682A1 (de) 2010-02-11 2011-08-24 Ove Arup and Partners International Limited Fassadenelement, Fassadenkonstruktion und Gebäude
US8625941B1 (en) 2010-05-20 2014-01-07 Western Digital (Fremont), Llc Broadband reflective waveguide metal gratings and their formation
US8518279B1 (en) 2010-11-15 2013-08-27 Western Digital (Fremont), Llc Method and system for providing a laser cavity for an energy assisted magnetic recording head
US8456964B1 (en) 2010-11-16 2013-06-04 Western Digital (Fremont), Llc Energy assisted magnetic recording head having a reflector for improving efficiency of the light beam
US8325569B1 (en) 2011-06-27 2012-12-04 Western Digital (Fremont), Llc EAMR head having improved optical coupling efficiency
US8675455B1 (en) 2012-02-17 2014-03-18 Western Digital (Fremont), Llc Systems and methods for controlling light phase difference in interferometric waveguides at near field transducers
US8670294B1 (en) 2012-02-17 2014-03-11 Western Digital (Fremont), Llc Systems and methods for increasing media absorption efficiency using interferometric waveguides
US9286920B1 (en) 2013-01-31 2016-03-15 Western Digital (Fremont), Llc Method for compensating for phase variations in an interferometric tapered waveguide in a heat assisted magnetic recording head
US9336814B1 (en) 2013-03-12 2016-05-10 Western Digital (Fremont), Llc Inverse tapered waveguide for use in a heat assisted magnetic recording head
US9064527B1 (en) 2013-04-12 2015-06-23 Western Digital (Fremont), Llc High order tapered waveguide for use in a heat assisted magnetic recording head
US9064528B1 (en) 2013-05-17 2015-06-23 Western Digital Technologies, Inc. Interferometric waveguide usable in shingled heat assisted magnetic recording in the absence of a near-field transducer
US8923102B1 (en) 2013-07-16 2014-12-30 Western Digital (Fremont), Llc Optical grating coupling for interferometric waveguides in heat assisted magnetic recording heads
US8947985B1 (en) 2013-07-16 2015-02-03 Western Digital (Fremont), Llc Heat assisted magnetic recording transducers having a recessed pole
US9142233B1 (en) 2014-02-28 2015-09-22 Western Digital (Fremont), Llc Heat assisted magnetic recording writer having a recessed pole
US9190085B1 (en) 2014-03-12 2015-11-17 Western Digital (Fremont), Llc Waveguide with reflective grating for localized energy intensity

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5930255A (ja) * 1982-08-11 1984-02-17 Nippon Hoso Kyokai <Nhk> 磁気−光ヘツド
EP0281756A2 (en) * 1987-03-13 1988-09-14 International Business Machines Corporation Holographic objective mirrors for optical storage
US4796226A (en) * 1986-11-18 1989-01-03 Commissariat A L'energie Atomique Reading head in integrated optics for reading information recorded on a magnetic support
JPH04291030A (ja) * 1991-03-20 1992-10-15 Mitsubishi Electric Corp 光ディスク装置
JPH0668484A (ja) * 1992-08-20 1994-03-11 Sony Corp 光ピックアップ装置

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS615447A (ja) 1984-06-19 1986-01-11 Matsushita Electric Ind Co Ltd 消去可納な光学的記録再生装置
JPS62262233A (ja) 1986-05-07 1987-11-14 Fujitsu Ltd 光学ヘツド
JPH03102655A (ja) 1989-09-14 1991-04-30 Sony Corp 光学ピックアップ装置
JPH03228233A (ja) 1990-02-01 1991-10-09 Ricoh Co Ltd 導波路型光学素子
JPH0573980A (ja) 1991-09-12 1993-03-26 Ricoh Co Ltd 光デイスクドライブ装置の光ヘツド
JPH05159336A (ja) 1991-12-03 1993-06-25 Omron Corp 光ピックアップ装置
JP3102655B2 (ja) 1991-12-27 2000-10-23 住友製薬株式会社 超音波制御による薬物放出製剤
JPH05249307A (ja) 1992-03-04 1993-09-28 Sharp Corp 光路制御装置及びそれを用いた情報記録再生装置
JPH05314533A (ja) 1992-05-07 1993-11-26 Seiko Epson Corp 光ヘッド
US5533042A (en) 1993-10-12 1996-07-02 Fuji Xerox Co., Ltd. Semiconductor laser device and driving method for the same as well as tracking servo system employing the same
JPH07176070A (ja) 1993-12-20 1995-07-14 Matsushita Electric Ind Co Ltd 浮上式光ヘッド及び光記録再生装置
JP3379184B2 (ja) 1993-12-24 2003-02-17 松下電器産業株式会社 浮上式光ヘッド
US5497359A (en) 1994-08-30 1996-03-05 National Business Machines Corporation Optical disk data storage system with radiation-transparent air-bearing slider
KR100230242B1 (ko) 1994-12-26 1999-11-15 윤종용 고밀도 광기록방법 및 그 장치
US5729393A (en) 1996-04-03 1998-03-17 Digital Papyrus Corporation Optical flying head with solid immersion lens having raised central surface facing medium
US5936928A (en) * 1996-10-01 1999-08-10 Terastor Corporation Multilayer media and use with flying head having solid immersion lens

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5930255A (ja) * 1982-08-11 1984-02-17 Nippon Hoso Kyokai <Nhk> 磁気−光ヘツド
US4796226A (en) * 1986-11-18 1989-01-03 Commissariat A L'energie Atomique Reading head in integrated optics for reading information recorded on a magnetic support
EP0281756A2 (en) * 1987-03-13 1988-09-14 International Business Machines Corporation Holographic objective mirrors for optical storage
JPH04291030A (ja) * 1991-03-20 1992-10-15 Mitsubishi Electric Corp 光ディスク装置
JPH0668484A (ja) * 1992-08-20 1994-03-11 Sony Corp 光ピックアップ装置

Also Published As

Publication number Publication date
US6275453B1 (en) 2001-08-14
DE69838968T2 (de) 2009-01-08
DE69838968D1 (de) 2008-02-21
EP0915458A2 (en) 1999-05-12
EP0915458A3 (en) 1999-12-29
EP0915458B1 (en) 2008-01-09
KR19990044933A (ko) 1999-06-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100508418B1 (ko) 광헤드및광디스크장치
US6320708B1 (en) Optical head, disk apparatus, method for manufacturing optical head, and optical element
US6614742B2 (en) Optical head, magneto-optical head, disk apparatus and manufacturing method of optical head
EP1724771B1 (en) Optical recording and reproducing apparatus, optical head, optical recording and reproducing method and skew detection method
US6084848A (en) Two-dimensional near field optical memory head
JPH08221790A (ja) 光学ピックアップ装置
US20060023577A1 (en) Optical recording and reproduction method, optical pickup device, optical recording and reproduction device, optical recording medium and method of manufacture the same, as well as semiconductor laser device
US6359852B1 (en) Optical head and optical disk apparatus
KR100543421B1 (ko) 대물렌즈장치및기록재생장치
US6687196B1 (en) Method and apparatus for implementing high density recording on a recording medium and a method of manufacturing same
JP3521770B2 (ja) 光ヘッドおよび光ディスク装置
JP3385983B2 (ja) 光ヘッドおよび光ディスク装置
JPH10143895A (ja) 記録再生用光メモリヘッド
JP2001236685A (ja) 光ヘッド、光磁気ヘッド、ディスク装置、および光ヘッドの製造方法
JPH10172166A (ja) 記録再生用光メモリヘッド
JP3873521B2 (ja) 光ヘッドおよびディスク装置
JP4099943B2 (ja) 光ヘッド、光磁気ヘッド、ディスク装置、および光ヘッドの製造方法
JP3436175B2 (ja) 光ヘッドおよびディスク装置
JP4534036B2 (ja) 光ヘッド及び光記録再生装置
JP4116305B2 (ja) 波長板、波長板ユニット、光ピックアップ装置及び光ディスク装置
JP2000207768A (ja) 光ヘッドおよび光ディスク装置
JP3521771B2 (ja) 光ヘッド、光ディスク装置および光ヘッドの製造方法
JP2000207767A (ja) 光ヘッドおよび光ディスク装置
JP2000215501A (ja) 光ヘッド、光ディスク装置、および光ヘッドの製造方法
JP2002352468A (ja) 光ヘッドおよび光ディスク装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
PA0109 Patent application

Patent event code: PA01091R01D

Comment text: Patent Application

Patent event date: 19981031

PA0201 Request for examination

Patent event code: PA02012R01D

Patent event date: 19981031

Comment text: Request for Examination of Application

PG1501 Laying open of application
E902 Notification of reason for refusal
PE0902 Notice of grounds for rejection

Comment text: Notification of reason for refusal

Patent event date: 20001026

Patent event code: PE09021S01D

AMND Amendment
E902 Notification of reason for refusal
PE0902 Notice of grounds for rejection

Comment text: Notification of reason for refusal

Patent event date: 20010919

Patent event code: PE09021S01D

AMND Amendment
E601 Decision to refuse application
PE0601 Decision on rejection of patent

Patent event date: 20020624

Comment text: Decision to Refuse Application

Patent event code: PE06012S01D

Patent event date: 20010919

Comment text: Notification of reason for refusal

Patent event code: PE06011S01I

Patent event date: 20001026

Comment text: Notification of reason for refusal

Patent event code: PE06011S01I

AMND Amendment
J201 Request for trial against refusal decision
PJ0201 Trial against decision of rejection

Patent event date: 20020923

Comment text: Request for Trial against Decision on Refusal

Patent event code: PJ02012R01D

Patent event date: 20020624

Comment text: Decision to Refuse Application

Patent event code: PJ02011S01I

Appeal kind category: Appeal against decision to decline refusal

Decision date: 20041130

Appeal identifier: 2002101003560

Request date: 20020923

PB0901 Examination by re-examination before a trial

Comment text: Amendment to Specification, etc.

Patent event date: 20020923

Patent event code: PB09011R02I

Comment text: Request for Trial against Decision on Refusal

Patent event date: 20020923

Patent event code: PB09011R01I

Comment text: Amendment to Specification, etc.

Patent event date: 20011217

Patent event code: PB09011R02I

Comment text: Amendment to Specification, etc.

Patent event date: 20010223

Patent event code: PB09011R02I

B601 Maintenance of original decision after re-examination before a trial
PB0601 Maintenance of original decision after re-examination before a trial
J301 Trial decision

Free format text: TRIAL DECISION FOR APPEAL AGAINST DECISION TO DECLINE REFUSAL REQUESTED 20020923

Effective date: 20041130

PJ1301 Trial decision

Patent event code: PJ13011S01D

Patent event date: 20041206

Comment text: Trial Decision on Objection to Decision on Refusal

Appeal kind category: Appeal against decision to decline refusal

Request date: 20020923

Decision date: 20041130

Appeal identifier: 2002101003560

PS0901 Examination by remand of revocation
S901 Examination by remand of revocation
PS0901 Examination by remand of revocation

Patent event code: PS09011S01I

Patent event date: 20041217

Comment text: Notice of Trial Decision (Remand of Revocation)

S901 Examination by remand of revocation
E902 Notification of reason for refusal
PE0902 Notice of grounds for rejection

Comment text: Notification of reason for refusal

Patent event date: 20050113

Patent event code: PE09021S01D

GRNO Decision to grant (after opposition)
PS0701 Decision of registration after remand of revocation

Patent event date: 20050708

Patent event code: PS07012S01D

Comment text: Decision to Grant Registration

Patent event date: 20050110

Patent event code: PS07011S01I

Comment text: Notice of Trial Decision (Remand of Revocation)

Patent event date: 20041217

Patent event code: PS07011S01I

Comment text: Notice of Trial Decision (Remand of Revocation)

GRNT Written decision to grant
PR0701 Registration of establishment

Comment text: Registration of Establishment

Patent event date: 20050805

Patent event code: PR07011E01D

PR1002 Payment of registration fee

Payment date: 20050805

End annual number: 3

Start annual number: 1

PG1601 Publication of registration
PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20080721

Start annual number: 4

End annual number: 4

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20090724

Start annual number: 5

End annual number: 5

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20100729

Start annual number: 6

End annual number: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20110630

Year of fee payment: 7

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20110630

Start annual number: 7

End annual number: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20120724

Year of fee payment: 8

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20120724

Start annual number: 8

End annual number: 8

LAPS Lapse due to unpaid annual fee
PC1903 Unpaid annual fee