KR100487214B1 - Jig for laser diode bar coating - Google Patents
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Abstract
본 발명은 레이저 다이오드 바의 반사면과 무반사면 코팅을 위하여 다수의 레이저 다이오드 바를 고정시키는 코팅용 지그에 있어서, 상기 레이저 다이오드 바의 일면을 지지하는 제1 고정 플레이트; 상기 제1 고정 플레이트의 일측 단부에서 수직방향으로 연장되는 탄성 플레이트; 및 상기 탄성 플레이트의 단부로부터 상기 제1 고정 플레이트와 서로 마주보도록 평행하게 연장되어 상기 레이저 다이오드 바의 타면을 지지하는 제2 고정 플레이트를 구비하여; 상기 제1 고정 플레이트, 탄성 플레이트 및 제2 고정 플레이트로 둘러싸인 수용공간이 형성되며; 상기 수용공간 내에 상기 레이저 다이오드 바가 고정되는 레이저 다이오드 바의 코팅용 지그를 개시한다. 상기와 같은 구성의 코팅용 지그는 다수의 상기 수용공간을 병렬로 구성함으로써 다수의 레이저 다이오드 바를 동시에 무반사 코팅하는 것이 용이할 뿐만 아니라, 코팅 공정 완료 후 레이저 다이오드 바를 코팅용 지그로부터 분리하는 것이 용이하여 레이저 다이오드 바의 파손을 방지하게 되었다.The present invention provides a coating jig for fixing a plurality of laser diode bars for coating a reflective surface and an antireflective surface of a laser diode bar, comprising: a first fixing plate supporting one surface of the laser diode bar; An elastic plate extending in a vertical direction from one end of the first fixing plate; And a second fixing plate extending in parallel from the end of the elastic plate to face the first fixing plate and supporting the other surface of the laser diode bar. An accommodation space surrounded by the first fixing plate, the elastic plate and the second fixing plate is formed; Disclosed is a coating jig for coating a laser diode bar in which the laser diode bar is fixed in the accommodation space. The coating jig of the above configuration is not only easy to anti-reflective coating of a plurality of laser diode bars at the same time by configuring a plurality of the receiving space in parallel, it is easy to separate the laser diode bar from the coating jig after completion of the coating process This prevents damage to the laser diode bar.
Description
본 발명은 레이저 다이오드에 관한 것으로서, 특히 레이저 다이오드 바 제조시 무반사 코팅 공정에서 레이저 다이오드 바 고정을 위한 코팅용 지그에 관한 것이다.The present invention relates to a laser diode, and more particularly, to a coating jig for fixing a laser diode bar in an anti-reflective coating process in manufacturing a laser diode bar.
통상적으로, 레이저 다이오드는 웨이퍼로 제작된 다음 각각의 바(bar) 형태로 절단되며, 레이저의 출력 향상을 위하여 발광면에 무반사 코팅을 하게 된다. 무반사 코팅 시 코팅 공정의 생산성 향상을 위하여, 다수의 레이저 다이오드 바를 코팅용 지그에 고정시키고 동시에 코팅을 실시하게 된다.Typically, laser diodes are fabricated into wafers and then cut into individual bar shapes, with antireflective coatings on the emitting surface to improve laser output. In order to improve the productivity of the coating process during the antireflection coating, a plurality of laser diode bars are fixed to the coating jig and the coating is performed at the same time.
도 1은 종래 기술의 실시 예에 따른 레이저 다이오드 바(103) 코팅용 지그(100)를 나타내는 구성도이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 종래 기술의 실시 예에 따른 레이저 다이오드 바(103) 코팅용 지그(100)는 다수의 지지 블록(101)으로 구성된다. 상기 지지 블록(101)과 지지 블록(101) 사이에 레이저 다이오드 바(103)를 고정하고, 노출되는 레이저 다이오드 바(103)의 발광면에 무반사 코팅을 실시하게 되는 것이다.1 is a block diagram showing a jig 100 for coating a laser diode bar 103 according to the embodiment of the prior art. As shown in FIG. 1, the jig 100 for coating the laser diode bar 103 according to an embodiment of the prior art is composed of a plurality of support blocks 101. The laser diode bar 103 is fixed between the support block 101 and the support block 101, and an anti-reflective coating is applied to the light emitting surface of the exposed laser diode bar 103.
그러나, 종래의 레이저 다이오드 바 코팅용 지그는 코팅 장비 내에서 수직으로 세워야 하는데, 코팅용 지그가 쓰러지는 것을 방지하기 위하여 지그의 폭이 넓어지게 된다. 따라서, 동시에 코팅을 실시할 수 있는 레이저 다이오드 바의 수가 상대적으로 감소되는 문제점이 있다. 더욱이, 코팅을 실시한 후, 코팅 물질에 의해 지지 블록과 레이저 다이오드 바가 붙게 되면 이를 분리하는 과정에서 레이저 다이오드 바가 파손되는 문제점이 있다.However, the jig for coating a conventional laser diode bar has to stand vertically in the coating equipment, and the jig becomes wider to prevent the coating jig from falling down. Therefore, there is a problem in that the number of laser diode bars which can be coated at the same time is relatively reduced. Furthermore, after the coating, if the support block and the laser diode bar are attached by the coating material, there is a problem that the laser diode bar is broken in the process of separating it.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명의 목적은 그 폭이 감소된 레이저 다이오드 바 코팅용 지그를 제공함에 있다.In order to solve the above problems, it is an object of the present invention to provide a jig for coating a laser diode bar is reduced in width.
본 발명의 다른 목적은 코팅을 실시한 후, 레이저 다이오드 바를 분리하기 용이한 레이저 다이오드 바 코팅용 지그를 제공함에 있다.Another object of the present invention is to provide a jig for coating a laser diode bar that is easy to separate the laser diode bar after coating.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 레이저 다이오드 바의 반사면과 무반사면 코팅을 위하여 다수의 레이저 다이오드 바를 고정시키는 코팅용 지그에 있어서,In order to achieve the above object, the present invention is a coating jig for fixing a plurality of laser diode bars for coating the reflective surface and anti-reflective surface of the laser diode bar,
상기 레이저 다이오드 바의 일면을 지지하는 제1 고정 플레이트;A first fixing plate supporting one surface of the laser diode bar;
상기 제1 고정 플레이트의 일측 단부에서 수직방향으로 연장되는 탄성 플레이트; 및An elastic plate extending in a vertical direction from one end of the first fixing plate; And
상기 탄성 플레이트의 단부로부터 상기 제1 고정 플레이트와 서로 마주보도록 평행하게 연장되어 상기 레이저 다이오드 바의 타면을 지지하는 제2 고정 플레이트를 구비하여; A second fixing plate extending in parallel to face the first fixing plate from an end of the elastic plate and supporting the other surface of the laser diode bar;
상기 제1 고정 플레이트, 탄성 플레이트 및 제2 고정 플레이트로 둘러싸인 수용공간이 형성되며; An accommodation space surrounded by the first fixing plate, the elastic plate and the second fixing plate is formed;
상기 수용공간 내에 상기 레이저 다이오드 바가 고정되는 레이저 다이오드 바의 코팅용 지그를 개시한다. Disclosed is a coating jig for coating a laser diode bar in which the laser diode bar is fixed in the accommodation space.
이하 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다. 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the following description of the present invention, if it is determined that the detailed description of the related known function or configuration may unnecessarily obscure the subject matter of the present invention, the detailed description thereof will be omitted.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 레이저 다이오드 바(210) 코팅용 지그(200)를 나타내는 사시도이고, 도 3은 도 2에 도시된 레이저 다이오드 바(210) 코팅용 지그(200)를 나타내는 평면도이다.2 is a perspective view illustrating a jig 200 for coating a laser diode bar 210 according to an exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 3 illustrates a jig 200 for coating a laser diode bar 210 illustrated in FIG. 2. Top view.
도 2와 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 레이저 다이오드 바(210) 코팅용 지그(200)는 다수의 고정 플레이트(201a, 201b, 201c, 201d, 201e)와 탄성 플레이트(203)가 교대로 반복되게 구성되어 지그재그 형상을 이룬다. 이하, 상기 고정 플레이트(201a 내지 201e)는 상기 코팅용 지그(200)의 일단으로부터 제1, 제2, 제3, 제4 및 제5 고정 플레이트(201a 내지 201e)라 칭하기로 한다.2 and 3, the jig 200 for coating the laser diode bar 210 according to the preferred embodiment of the present invention includes a plurality of fixing plates 201a, 201b, 201c, 201d and 201e and an elastic plate. 203 are alternately repeated to form a zigzag shape. Hereinafter, the fixing plates 201a to 201e will be referred to as first, second, third, fourth and fifth fixing plates 201a to 201e from one end of the coating jig 200.
상기 탄성 플레이트(203)는 상기 제1 고정 플레이트(201a)의 일측 단부에서 수직방향으로 소정 폭으로 연장된다. 상기 제2 고정 플레이트(201b)는 상기 탄성 플레이트(203)의 단부로부터 상기 제1 고정 플레이트(201a)와 서로 마주보도록 평행하게 연장된다. 따라서, 제1 고정 플레이트(201a), 탄성 플레이트(203) 및 제2 고정 플레이트(201b)로 둘러싸인 수용공간(205)이 형성되고, 상기 수용공간(205) 내에 레이저 다이오드 바(210)가 고정된다. The elastic plate 203 extends at a predetermined width in a vertical direction at one end of the first fixing plate 201a. The second fixing plate 201b extends in parallel to face the first fixing plate 201a from the end of the elastic plate 203. Accordingly, an accommodating space 205 surrounded by the first fixing plate 201a, the elastic plate 203, and the second fixing plate 201b is formed, and the laser diode bar 210 is fixed in the accommodating space 205. .
또한, 상기 제2 고정 플레이트(201b)의 단부에서 또 다른 탄성 플레이트(203)가 연장되며, 상기 또 다른 탄성 플레이트(203)의 단부로부터 상기 제3 고정 플레이트(201c)가 상기 제2 고정 플레이트(201b)와 서로 마주보도록 평행하게 연장되어 또 다른 수용공간(205)이 형성된다. In addition, another elastic plate 203 extends from the end of the second fixing plate 201b, and the third fixing plate 201c extends from the end of the another elastic plate 203 to the second fixing plate ( Another receiving space 205 is formed by extending in parallel to face 201b).
상기와 같이, 상기 코팅용 지그(200)는 상기 제1 내지 제5 고정 플레이트(201a 내지 201e)와 탄성 플레이트(203)가 교대로 반복 구성되어 지그재그 형상을 이루는 것이며, 적어도 두 개 이상의 수용공간(205)이 병렬로 구성된다. As described above, the coating jig 200 is the first to fifth fixing plates 201a to 201e and the elastic plate 203 are alternately configured to form a zigzag shape, at least two receiving spaces ( 205 is configured in parallel.
상기 코팅용 지그(200)는 상기 레이저 다이오드 바의(210) 길이와 같거나 더 작게 구성됨으로써, 상기 레이저 다이오드 바(210)의 발광면은 상기 코팅용 지그(200)의 단부로 돌출된다. 따라서, 코팅 공정에서 상기 제1 내지 제5 고정 플레이트(201a 내지 201e) 또는 탄성 플레이트(203)와 코팅막이 간섭되어, 코팅이 불균일해지는 것이 방지된다.The coating jig 200 is configured to be equal to or smaller than the length of the laser diode bar 210, so that the light emitting surface of the laser diode bar 210 protrudes toward an end of the coating jig 200. Therefore, in the coating process, the first to fifth fixing plates 201a to 201e or the elastic plates 203 and the coating film interfere with each other, thereby preventing the coating from becoming uneven.
상기와 같이 구성된 레이저 다이오드 바(210) 코팅용 지그(200)는 코팅 공정이 완료된 후, 도 2에 도시된 화살표 방향으로 일단의 상기 제5 고정 플레이트(201e)를 당기면 상기 탄성 플레이트(203)가 변형되면서, 도 3에 도시된 바와 같이 상기 수용공간(205)이 넓어지고 상기 레이저 다이오드 바(210)는 상기 제1 내지 제5 고정 플레이트(201a 내지 201e)로부터 분리된다. 상기 코팅용 지그(200), 특히 상기 탄성 플레이트(203)는 탄성 복원력을 가지는 금속, 세라믹, 플라스틱 또는 유기 고분자 재료 등을 사용함이 바람직하다. After the coating process is completed, the jig 200 for coating the laser diode bar 210 configured as described above may pull the fifth fixing plate 201e in the direction of the arrow shown in FIG. As it is modified, as shown in FIG. 3, the receiving space 205 is widened and the laser diode bar 210 is separated from the first to fifth fixing plates 201a to 201e. The coating jig 200, in particular the elastic plate 203 is preferably used a metal, ceramic, plastic or an organic polymer material having an elastic restoring force.
즉, 상기 레이저 다이오드 바(210)가 상기 수용공간(205)에 고정되면, 상기 탄성 플레이트(203)의 탄성 복원력에 의해 상기 레이저 다이오드 바(210)의 양면이 각각 상기 제1 내지 제5 고정 플레이트(201a 내지 201e)에 밀착된다. 또한, 코팅 공정이 완료된 후, 일단의 상기 제1 또는 제5 고정 플레이트(201a 내지 201e)를 당기면, 상기 탄성 플레이트(203)가 변형되면서 상기 수용공간(205)이 넓어진다. 따라서, 상기 레이저 다이오드 바(210)는 상기 제1 내지 제5 고정 플레이트(201a 내지 201e)로부터 쉽게 분리된다.That is, when the laser diode bar 210 is fixed to the accommodation space 205, both surfaces of the laser diode bar 210 are first to fifth fixed plates by the elastic restoring force of the elastic plate 203. It is in close contact with 201a to 201e. In addition, after the coating process is completed, when one end of the first or fifth fixing plates 201a to 201e is pulled, the elastic plate 203 is deformed to widen the receiving space 205. Thus, the laser diode bar 210 is easily separated from the first to fifth fixing plates 201a to 201e.
이상, 본 발명의 상세한 설명에서는 구체적인 실시 예에 관해서 설명하였으나, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능함은 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어서 자명하다 할 것이다. In the foregoing detailed description of the present invention, specific embodiments have been described. However, it will be apparent to those skilled in the art that various modifications can be made without departing from the scope of the present invention.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 레이저 다이오드 바 코팅용 지그는 다수의 고정 플레이트와 탄성 플레이트가 지그재그 형상을 이루면서 반복 구성되므로, 각각의 고정 플레이트 또는 탄성 플레이트의 폭이 감소하여 다수의 레이저 다이오드 바를 동시에 무반사 코팅을 실시할 수 있게 되었다. 더욱이, 코팅이 완료된 후 일단의 고정 플레이트를 당기는 과정만으로 레이저 다이오드 바의 수용공간이 넓어지면서 레이저 다이오드 바가 고정 플레이트들로부터 분리되므로, 레이저 다이오드 바의 분리가 용이하게 되었다. 또한, 코팅 완료 후, 코팅용 지그로부터 레이저 다이오드 바를 분리하는 과정에서 레이저 다이오드 바가 파손되는 것을 방지하게 되었다. As described above, the jig for coating a laser diode bar according to the present invention is repeatedly configured while a plurality of fixing plates and elastic plates in a zigzag shape, so that the width of each of the fixing plates or elastic plates is reduced so that a plurality of laser diode bars are simultaneously An antireflective coating can be performed. Moreover, since the receiving space of the laser diode bar is expanded by only pulling a set of fixed plates after the coating is completed, the laser diode bars are separated from the fixed plates, so that the separation of the laser diode bars is facilitated. In addition, after the coating is completed, the laser diode bar is prevented from being damaged in the process of separating the laser diode bar from the coating jig.
도 1은 종래 기술의 실시 예에 따른 레이저 다이오드 바 코팅용 지그를 나타내는 구성도,1 is a block diagram showing a jig for coating a laser diode bar according to an embodiment of the prior art,
도 2는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 레이저 다이오드 바 코팅용 지그를 나타내는 사시도,Figure 2 is a perspective view showing a jig for coating a laser diode bar according to an embodiment of the present invention,
도 3은 도 2에 도시된 레이저 다이오드 바 코팅용 지그를 나타내는 평면도.3 is a plan view showing a jig for coating a laser diode bar shown in FIG.
<도면의 주요 부호에 대한 설명><Description of Major Symbols in Drawing>
200 : 코팅용 지그 201a ~ 201e : 고정 플레이트200: coating jig 201a to 201e: fixing plate
203 : 탄성 플레이트 205 : 수용공간203: elastic plate 205: accommodation space
210 : 레이저 다이오드 바210: laser diode bar
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