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KR100468869B1 - 모아레 간섭 무늬를 이용한 부품 검사 장치 및, 방법 - Google Patents

모아레 간섭 무늬를 이용한 부품 검사 장치 및, 방법 Download PDF

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KR100468869B1
KR100468869B1 KR10-2002-0032849A KR20020032849A KR100468869B1 KR 100468869 B1 KR100468869 B1 KR 100468869B1 KR 20020032849 A KR20020032849 A KR 20020032849A KR 100468869 B1 KR100468869 B1 KR 100468869B1
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삼성테크윈 주식회사
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Abstract

본 발명에 따르면, 격자 무늬의 위상이 상이하게 형성되고, 서로에 대하여 상이한 높이로 배치된 제 1 내지 제 4 기준 격자; 상기 제 1 내지 제 4 기준 격자에 대응하는 각 위치로 움직일 수 있는 부품 흡착용 흡착 노즐; 상기 제 1 내지 제 4 기준 격자를 통해서 상기 부품 흡착용 흡착 노즐에 흡착된 부품을 촬상할 수 있도록 상기 흡착 노즐에 대한 상대적인 위치가 조절 가능하게 고정된 상태로 움직일 수 있는 촬상용 카메라; 상기 제 1 내지 제 4 기준 격자를 통해서 광을 투사할 수 있으며 상기 흡착 노즐에 대한 상대적인 위치가 조절 가능하게 고정된 상태로 움직일 수 있는 조명 광원;을 구비하는 모아레 간섭 무늬를 이용한 부품 검사 장치가 제공된다.

Description

모아레 간섭 무늬를 이용한 부품 검사 장치 및, 방법{Part inspecting apparatus and method using moire interference image}
본 발명은 부품 검사 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 모아레 간섭 무늬를 이용하여 반도체 부품의 리이드 들뜸, 또는 볼 그리드 어레이 반도체 부품의 볼의 높이등을 검사할 수 있는 부품 검사 장치에 관한 것이다.
통상적으로 모아레 간섭 무늬를 이용하여 반도체 부품의 리이드 들뜸이나 볼의 높이등을 측정하는데에는 그림자식과 영사식이 있다. 즉, 격자를 물체위에 형성하는 방법으로서 물체의 표면에 직접적으로 격자를 새기는 방법과, 조명광에 의해서 투과형 격자의 그림자가 물체에 비쳐서 마치 격자가 있는 것처럼 보이게 하는 방법이다.
그림자식 모아레법은 측정하고자 하는 물체 앞에 기준 격자를 위치시키고 조명을 하면서 일정한 각도로 이를 관찰함으로써 기준 격자와 물체위에 형성된 기준 격자의 그림자와의 간섭으로 인하여 모아레 간섭 무늬가 형성되도록 하는 것이다.
도 1 에 도시된 것은 일반적인 그림자식 모아레 간섭 무늬를 이용한 검사 방법의 원리를 나타내는 것이다.
도면을 참조하면, 부품(11)의 표면에 기준 격자(14)를 배치하고 조명 광원(13)으로부터 광을 투사함으로써 부품(11)의 표면에 그림자가 생기도록 한다. 이때, 관찰자(12)는 부품(11)의 각 표면들의 지점(A, B, C, D, E)에 대하여 관찰을 하게 된다. 각도(α)로 표시된 것은 부품(11)의 표면상의 일지점에서의 법선과 광원(13)을 향해 연장된 선이 이루는 각도이다. 또한 각도(ψ)로 표시된 것은 부품(11)의 표면상의 일지점에서의 법선과 관찰자(12)를 향하여 연장된 선이 이루는 각도이다. 한편 g 는 기준 격자(14)상의 격자들의 피치를 나타낸다. W 는 부품 표면상의 특정 위치에서의 표면과 기준 격자(11) 사이의 갭을 나타낸다.
도 2 에 도시된 것은 도 1 의 도면 번호 16 으로 표시된 부분을 확대하여 도식화하여 나타낸 것이다.
도면을 참조하면, 부품의 표면에서 E 로 표시된 부분과 기준 격자의 사이에는 W 의 갭이 존재한다. 또한 E 로 표시된 부분의 법선에 대하여 각도 (α)와 각도 (ψ)로 연장된 선이 기준 격자상의 선과 교차하는 점들 사이의 거리는 Nz*g 로 표시되어 있다.
도 3 에 도시된 것은 모아레 간섭 무늬를 이용하여 부품을 검사하는 방식을 실제의 예를 들어서 나타낸 것이다.
도 3 에 있어서, 광원(32)으로부터 투사된 광이 기준 격자(33)를 통해 입사됨으로써 형성된 그림자를 촬상용 카메라(31)로 촬상하게 된다. 이때, 광원(32)과 촬상용 카메라(31) 사이의 거리(D)는 촬상용 카메라(31)와 부품 표면 사이의 거리(L)과 같게 설정된 것이다.
상기의 도 1, 도 2 및, 도 3 에 있어서, 부품(11)의 표면과 기준 격자(14) 사이의 갭(W)은 다음과 같은 식으로 나타낼 수 있다. 여기에서 각도(α,ψ)는 부품의 표면의 지점에 대한 좌표에 따라서 변하게 된다.
tanα + tan ψ = D/L = K 이다.
상기 식에서 D = L 인 경우, 즉, 도 3 에 도시된 바와 같이 촬상용 카메라(31)와 광원(32) 사이의 거리와, 촬상용 카메라(31)와 부품 표면 사이의 거리가 같은 경우에 갭(W)은 모아레 간섭 무늬의 차수(Nz)에 비례하게 된다. 즉, 도 2 에 있어서,
Nz *g = W tan α+ W tan ψ이므로,
W = Nz * g/(tan α+ tan ψ) 이고,
이때 D = L 인 경우에는 상기 tan α+ tan ψ= D/L = 1 이므로
W = Nz *g 가 된다.
즉, 모아레 간섭 무늬의 차수(Nz)당 갭(W)은 격자의 피치(g)와 같게 되며, 따라서 격자의 피치(g)와 모아레 간섭 무늬의 차수(Nz)를 앎으로써 각 위치에서의 갭(W)을 알 수 있는 것이다. 초기 위상값을 구하면 정확한 갭(W)이 구해지므로, 위상의 변환을 통해서 초기 위상값을 구하게 된다. 실제에 있어서는 모아레 간섭 무늬의 위상을 검출하기 위해서 위상을 변환시킴으로써 여러장의 무늬 영상을 얻게 되며, 통상적으로는 4 장의 위상 무늬 영상을 얻게 되는 것이다.
한편, 위에 설명된 바와 같은 통상의 방식을 적용하는 경우에는 촬상 화면에서 기준 격자의 화상을 제거한 모아레 간섭 무늬 영상만을 검출해야 한다. 그림자식 모아레에서 검출된 모아레 간섭 무늬 검출 방법에서 격자를 제거하는 가장 전통적인 방법은, 겨자를 스캔하여 격자는 평균값으로 나타나게 함으로써 제거하고, 순수한 모아레 간섭 무늬 영상만을 검출하는 것이다. 그런데 이를 위해서는 스캔을 위해서 별도의 구동부를 필요로 하고, 그로 인해 측정 장치의 구조가 복잡해지는단점이 있다. 또한 촬상 카메라로 부품을 보면서 조건을 최적화할 경우에는 격자가 놓여져 있으므로 부품의 이메이지만을 보면서 정확하게 조정하는 것이 불가능하다.
또한 부품의 표면과 기준 격자 사이의 거리 정보를 얻기 위해서도 위상 변환 방법을 이용하는데, 이도 또한 스캐닝 방법과 마찬가지로 별도의 구동부가 필요하고 여러장의 변화된 무늬를 얻어야 하는 문제점이 있다. 더욱이 기준 격자가 없는 상태에서 부품만을 촬상할 수 없으므로, 부품에 대한 최적의 촬상 조건을 설정하는 것이 용이하지 않다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 모아레 간섭 무늬를 이용한 개선된 부품 검사 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 모아레 간섭 무늬를 이용한 부품 검사시에, 부품에 대한 촬상 카메라의 조절 및, 기준 격자에 대한 위상 변환시에 필요한 시간을 단축시킬 수 있는 개선된 부품 검사 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 모아레 간섭 무늬를 이용한 개선된 부품 검사 방법을 제공하는 것이다.
도 1 에 도시된 것은 일반적인 그림자식 모아레 간섭 무늬를 이용한 검사 방법의 원리를 나타내는 것이다.
도 2 에 도시된 것은 도 1 의 도면 번호 16 으로 표시된 부분을 확대하여 도식화하여 나타낸 것이다.
도 3 에 도시된 것은 모아레 간섭 무늬를 이용하여 부품을 검사하는 방식을 실제의 예를 들어서 나타낸 것이다.
도 4 에 도시된 것은 모아레 간섭 무늬를 이용하여 부품을 검사하는 것에 관한 본 발명의 부품 검사 장치의 개념을 개략적으로 설명하는 설명도이다.
도 5 에 도시된 것은 도 4 를 참조하여 설명된 개념을 구체화화시킨 본 발명에 따른 부품 검사 장치의 일 실시예를 개략적으로 나타낸 사시도이다.
< 도면의 주요 부호에 대한 간단한 설명 >
51. 테이블 52. 프레임
53. 가이드 54. 볼스크류
55. 구동 모터 56. 카메라
59. 부품 60. 거울
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따르면, 격자 무늬의 위상이 상이하게 형성되고, 서로에 대하여 상이한 높이로 배치된 제 1 내지 제 4 기준 격자; 상기 제 1 내지 제 4 기준 격자에 대응하는 각 위치로 움직일 수 있는 부품 흡착용흡착 노즐; 상기 제 1 내지 제 4 기준 격자를 통해서 상기 부품 흡착용 흡착 노즐에 흡착된 부품을 촬상할 수 있도록 상기 흡착 노즐에 대한 상대적인 위치가 조절 가능하게 고정된 상태로 움직일 수 있는 촬상용 카메라; 상기 제 1 내지 제 4 기준 격자를 통해서 광을 투사할 수 있으며 상기 흡착 노즐에 대한 상대적인 위치가 조절 가능하게 고정된 상태로 움직일 수 있는 조명 광원;을 구비하는 모아레 간섭 무늬를 이용한 부품 검사 장치가 제공된다.
또한 본 발명에 따르면, 테이블; 상기 테이블상에 지지된 것으로서, 격자 무늬의 위상이 상이하게 형성되고, 서로에 대하여 상이한 높이로 배치된 제 1 내지 제 4 기준 격자; 상기 테이블상에서 일방향 왕복 운동 가능하게 설치된 프레임; 상기 프레임의 일측에 조절 가능하게 고정된 것으로서, 상기 프레임의 운동에 의해서 상기 제 1 내지 제 4 기준 격자에 대응하는 각 위치로 움직일 수 있는 부품 흡착용 흡착 노즐; 상기 프레임의 다른 측에서 상기 흡착 노즐에 대한 상대적인 위치가 조절 가능하게 고정된 것으로서, 상기 프레임의 운동에 따라서 상기 제 1 내지 제 4 기준 격자를 통하여 상기 부품 흡착용 흡착 노즐에 흡착된 부품을 촬상할 수 있는 촬상용 카메라; 상기 프레임의 다른 측에서 상기 흡착 노즐에 대한 상대적인 위치가 조절 가능하게 고정된 것으로서, 상기 프레임의 운동에 따라서 상기 제 1 내지 제 4 기준 격자를 통하여 상기 부품 흡착용 흡착 노즐에 흡착된 부품에 광을 투사할 수 있는 조명 광원;을 구비하는 모아레 간섭 무늬를 이용한 부품 검사 장치가 제공된다.
본 발명의 일 특징에 따르면, 상기 테이블상에서 상기 프레임을 일방향 운동시킬 수 있도록, 상기 테이블상에 설치된 가이드; 상기 테이블 상에 설치된 구동 모터; 상기 구동 모터에 의해 회전 구동되는 볼스크류; 및, 상기 볼스크류에 결합되는 것으로 상기 프레임에 설치된 너트;를 구비하는 것을 특징으로 하는 모아레 간섭 무늬를 이용한 부품 검사 장치가 제공된다.
본 발명의 다른 특징에 따르면, 상기 흡착 노즐에 흡착된 부품은 상기 프레임에 고정된 거울을 통해서 조명되고 촬상된다.
본 발명의 다른 특징에 따르면, 상기 제 1 내지 제 4 기준 격자들은 격자 무늬 피치의 1/4 만큼씩 이웃한 격자에 대하여 낮아진다.
또한 본 발명에 따르면, 격자 무늬의 위상이 상이하게 형성되고, 서로에 대하여 상이한 높이로 배치된 제 1 내지 제 4 기준 격자를 준비하는 단계; 상호간의 위치가 조절 가능하게 고정될 수 있는 부품 흡착용 흡착 노즐, 부품 촬상용 카메라 및, 부품에 대한 광 투사용 조명 광원을 준비하는 단계; 상기 부품 흡착용 흡착 노즐, 상기 부품 촬상용 카메라 및, 상기 부품에 대한 광 투사용 조명 광원들의 상호 위치를 적절하게 촬상에 적합하게 조절하는 단계; 상기 부품 흡착용 흡착 노즐, 상기 부품 촬상용 카메라 및, 상기 부품에 대한 광 투사용 조명 광원을 함께 상기 제 1 내지 제 4 기준 격자에 대응하는 위치로 움직여서 각 기준 격자를 통하여 상기 부품을 촬상하는 단계;를 구비하는 모아레 간섭 무늬를 이용한 부품 검사 방법이 제공된다.
이하 본 발명을 첨부된 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 보다 상세히 설명하기로 한다.
도 4 에 도시된 것은 모아레 간섭 무늬를 이용하여 부품을 검사하는 것에 관한 본 발명의 부품 검사 장치의 개념을 개략적으로 설명하는 설명도이다.
도면을 참조하면, 흡착 노즐(41)에는 부품(45)이 흡착되어 있고, 상기 부품(45)을 촬상활 수 있는 촬상 카메라(42)와, 조명 광원(43)이 구비되어 있다. 상기 부품 흡착용 흡착 노즐(41), 촬상 카메라(42) 및, 조명 광원(43)은 모두 서로에 대하여 상대적인 위치가 설정된 상태에서 일체화되어 작동되는 것이 바람직스럽다. 예를 들면, 별도의 프레임(미도시)이 구비됨으로써 상기 흡착 노즐(41), 촬상 카메라(42) 및, 조명 광원(43)이 프레임상에서 서로에 대한 상대적인 위치가 조절 가능하게 고정될 수 있도록 하는 것이다. 즉, 프레임(미도시)에 각 구성 요소가 배치될 수 있는 위치를 설정함으로써, 각 구성 요소의 상대적인 위치를 조절 가능하게 고정할 수 있는 것이다. 이와 같이 흡착 노즐(41), 촬상 카메라(42) 및, 조명 광원(43)을 하나의 프레임내에 조절 가능하게 고정하는 것은 흡착 노즐(41)에 흡착된 부품(45)의 촬상에 필요한 여러가지 조건을 신속하고 정확하게 조절하는데 유리하다. 즉, 부품(45)의 촬상에 있어서는 촬상 카메라(42)의 촛점을 맞추고 조명 조건을 설정하고 또한 부품(45)의 높이등을 조절해야 하는데, 고정 프레임(미도시)상에 상기 구성 요소들이 상호 조절 가능하게 고정되어 있으면 조절이 상대적으로 용이해지며, 일단 조절이 이루어진 상태에서는 고정 상태를 유지하면서 신속한 촬상 작업을 수행할 수 있는 것이다.
한편, 제 1 내지 제 4 기준 격자들(46,47,48,49)은 위상 및, 높이가 상이하게 마련되어 있으며, 상기 흡착 노즐(41), 촬상 카메라(42) 및, 조명 광원(43)들이그러한 기준 격자들(46,47,48,49)을 향해서 움직일 수 있도록 되어 있다. 즉, 도면에 도시된 기준 격자들은 그 위에 형성된 격자 무늬(50)들이 각 기준 격자별로 상이한 위상을 가질뿐만 아니라, 기준 격자들의 높이가 Z 로 표시된 만큼씩 다르게 배치되는 것이다. 상기 각 기준 격자들의 위상의 차이는 격자 무늬 피치의 1/4 에 해당한다. 마찬가지로, 상기 각 기준 격자들의 이웃한 기준 격자에 대한 높이의 차이(Z)는 격자 무늬 피치의 1/4 에 해당하도록 낮아지게 된다. 즉, 제 1 기준 격자(46)와 제 4 기준 격자(49)의 높이의 차이는 격자 무늬 피치의 3/4 에 해당하게 되는 것이다. 이와 같이 기준 격자(46,47,48,49)들을 위상 및, 높이에 있어서 상이하게 배치함으로써, 종래 기술에서와 같이 평면 및, 높이의 방향에서 위상의 변환을 위해서 스캐닝을 하거나 또는 높이 변환을 할 필요가 없는 것이다.
도면 번호 41', 42' 및, 43' 로 각각 표시되고 점선으로 나타낸 것은 상기 흡착 노즐(41), 촬상 카메라(42) 및, 조명 광원(43)이 제 1 의 기준 격자(46)의 하부로 이동해온 것을 나타낸 것이다. 즉, 상기 흡착 노즐(41), 촬상 카메라(42) 및, 조명 광원(43)은 각 기준 격자(46,47,48,49)를 향해 자체가 이동함으로써 소정의 촬상 작업이 이루어질 수 있다. 위에서 설명한 바와 같이 각 기준 격자(46,47,48,49)들은 서로에 대하여 격자 무늬가 상이한 위상으로 되어 있고 또한 높이도 상이하게 배치되어 있으므로, 상기 흡착 노즐(41), 촬상 카메라(42) 및, 조명 광원(43)의 이동에 의해서도 상이한 위상으로써 촬상이 가능하고, 그에 의해서 필요한 모아레 간섭 무늬를 얻을 수 있는 것이다. 상기 흡착 노즐(41), 촬상 카메라(42) 및, 조명 광원(43)은 화살표 Q 의 방향으로 움직이면서 각 기준 격자들에대응하는 촬상 작업을 수행할 것이다.
도 5 에 도시된 것은 도 4 를 참조하여 설명된 개념을 구체화화시킨 본 발명에 따른 부품 검사 장치의 일 실시예를 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도면을 참조하면, 테이블(51)상에 프레임(52)이 일 방향으로 이동 가능하게 설치되어 있다. 상기 프레임(52)의 일측에는 촬상용 카메라(56) 및, 조명 광원(57)이 설치되어 있고, 프레임(52)의 타측에는 흡착 노즐(58)이 설치되어 있다. 흡착 노즐(58)에 흡착된 반도체 부품(59)의 저면 영상을 상기 카메라(56)가 촬상할 수 있도록, 그리고 조명 광원(57)으로부터 투사된 광이 상기 부품(59)의 저면으로 입사될 수 있도록 상기 프레임(52)에는 반사용 거울(60)이 설치되어 있다.
상기 카메라(56), 조명 광원(57) 및, 흡착 노즐(58)은 상기 프레임(52)상에서 서로에 대한 상대적인 위치가 설정될 수 있으며, 일단 상대적인 위치가 설정된 이후에는 상기 프레임(52)에 대하여 고정된 상태로 프레임(52)과 함께 운동하게 될 것이다. 즉, 흡착 노즐(58)이 도시되지 아니한 이동 수단에 의해서 움직이는 경우에는, 흡착 노즐(58)이 부품(59)의 저면을 촬상할 수 있도록 프레임(52)에 근접하여 프레임(52)에 대하여 높이 및, 회전 각도등에서 조절된 상태로 고정되면, 카메라(56)는 부품(59)의 저면에 대하여 초점을 맞추어서 촬상에 적합한 상태로 고정될 것이며, 조명 광원(57)의 조도등도 조절될 것이다. 이후에는 프레임(52)의 운동시에 그러한 각 구성 요소의 상대적인 위치 및, 초점 또는 조도등의 상태가 유지될 것이다. 도면에 도시되지 않았으나, 흡착 노즐(58)을 프레임(52)에 대하여 적합한 위치에 유지하는 수단이 구비될 수 있다. 예를 들면 프레임(22)에 스토퍼(미도시)등을 형성함으로써 흡착 노즐(58)이 프레임(52)에 대하여 근접했을때 흡착 노즐(58)의 위치를 규제할 수 있다.
상기 프레임(52)은 테이블(51) 상에서 일방향 운동할 수 있는데, 이를 위하여 프레임(52)은 테이블(51)상의 가이드(53)를 따라서 이동한다. 프레임(52)의 운동을 위해서 구동 모터(55)에 의해서 회전 구동되는 볼스크류(54) 및, 상기 프레임(52)에 고정된 것으로 상기 볼스크류(54)에 결합되는 너트(미도시)가 구비될 수 있다.
상기 프레임(52)이 운동함으로써, 상기 부품(59)은 기준 격자(61)에 대하여 근접할 수 있다. 도 4 를 참조로 설명된 바와 같이, 기준 격자(61)는 그것의 격자 무늬(62)의 위상이 상이하게 형성된 4 매의 기준 격자(61a,61b,61c,61d)를 상이한 높이로 배치한 것이다. 상기 기준 격자(61)는 도시되지 아니한 별도의 지지 수단에 의해서 상기 테이블(51)에 대하여 지지될 수 있으며, 또한 그러한 지지 수단은 프레임(52)의 운동에 대하여 간섭하지 않도록 배치된다.
도 5 에 도시된 장치는 다음과 같은 방식으로 작동할 것이다.
부품(59)이 흡착 노즐(58)에 흡착되면, 부품(59)의 저면을 촬상할 수 있는 최적의 위치에서 흡착 노즐(58)의 위치가 설정된다. 다음에 카메라(56)의 초점과 조명 광원(57)의 조도등을 조절하여 부품(59)의 저면을 촬상할 수 있도록 설정한다. 이러한 조절 작업은 기준 격자(61)가 게재되지 않은 상태에서 이루어지며, 이는 상기에 설명한 바와 같이 카메라(56)의 초점등 촬상 조건이 정확하게 조절되었는지를 점검하기 위해서 이루어지는 것이다.
다음에, 프레임(52)을 이동시킴으로써 부품(59)의 저면이 기준 격자(61)에 근접하도록 이동시킨다. 부품(59)의 저면이 제 1 기준 격자(61a)의 상부에 배치되었을때 촬상이 이루어진다. 다음에 순차적으로 제 2 내지 제 4 기준 격자(61b,61c,61d)에 대하여 부품(59)이 그 상면에 대응하도록 프레임(52)이 이동함으로써, 연속적으로 4 회의 촬상 작업을 수행한다. 프레임(52)이 이동하면서 차례로 촬상을 수행할때, 이미 카메라(56)의 초점이나 조명 광원(57)의 조도등이 조절된 상태이므로, 별도의 조절 작업을 필요로 하지 않으며, 단지 부품(59)의 저면이 각 기준 격자(61a,61b,61c,61d)의 상부에 대응하도록 프레임(52)을 이동시키면 된다.
상기와 같은 작업을 통해서 4 회의 촬상이 이루어진 후에는 촬상 결과를 토대로 초기 위상값을 알아내고, 상기의 식인 W = Nz*g 의 식을 통해서 부품의 3 차원 정보를 얻어낼 수 있다. 이러한 작업은 도시되지 아니한 중앙 처리 장치 또는 컴퓨터에 구비된 영상 처리용 하드웨어와 소프트 웨어에 의해서 수행될 수 있다.
본 발명에 따른 부품 검사 장치 및, 부품 검사 방법은 모아레 간섭 무늬를 이용한 부품 검사에 있어서 기준 격자의 위상을 변환시키는 방식이 단순화되었을뿐만 아니라, 카메라 및, 흡착 노즐이 고정될 수 있는 프레임의 상대적인 운동에 의해서 매우 신속하게 이루어질 수 있다는 장점이 있다. 또한 부품의 저면을 촬상하기 위한 모든 조건의 조절이 신속하게 진행되어 안정적으로 유지될 수 있으므로, 촬상의 품질이 향상될 수 있으며 그로 인하여 정확한 부품 검사 작용이 이루어질수 있다는 장점이 있다.
본 발명은 첨부된 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예지적인 것에 불과하며, 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 보호 범위는 첨부된 청구 범위에 의해서만 정해져야 할 것이다.

Claims (7)

  1. 격자 무늬의 위상이 상이하게 형성되고, 서로에 대하여 상이한 높이로 배치된 제 1 내지 제 4 기준 격자;
    상기 제 1 내지 제 4 기준 격자에 대응하는 각 위치로 움직일 수 있는 부품 흡착용 흡착 노즐;
    상기 제 1 내지 제 4 기준 격자를 통해서 상기 부품 흡착용 흡착 노즐에 흡착된 부품을 촬상할 수 있도록 상기 흡착 노즐에 대한 상대적인 위치가 조절 가능하게 고정된 상태로 움직일 수 있는 촬상용 카메라;
    상기 제 1 내지 제 4 기준 격자를 통해서 광을 투사할 수 있으며 상기 흡착 노즐에 대한 상대적인 위치가 조절 가능하게 고정된 상태로 움직일 수 있는 조명 광원;을 구비하는 모아레 간섭 무늬를 이용한 부품 검사 장치.
  2. 테이블;
    상기 테이블상에 지지된 것으로서, 격자 무늬의 위상이 상이하게 형성되고, 서로에 대하여 상이한 높이로 배치된 제 1 내지 제 4 기준 격자;
    상기 테이블상에서 일방향 왕복 운동 가능하게 설치된 프레임;
    상기 프레임의 일측에 조절 가능하게 고정된 것으로서, 상기 프레임의 운동에 의해서 상기 제 1 내지 제 4 기준 격자에 대응하는 각 위치로 움직일 수 있는 부품 흡착용 흡착 노즐;
    상기 프레임의 다른 측에서 상기 흡착 노즐에 대한 상대적인 위치가 조절 가능하게 고정된 것으로서, 상기 프레임의 운동에 따라서 상기 제 1 내지 제 4 기준 격자를 통하여 상기 부품 흡착용 흡착 노즐에 흡착된 부품을 촬상할 수 있는 촬상용 카메라;
    상기 프레임의 다른 측에서 상기 흡착 노즐에 대한 상대적인 위치가 조절 가능하게 고정된 것으로서, 상기 프레임의 운동에 따라서 상기 제 1 내지 제 4 기준 격자를 통하여 상기 부품 흡착용 흡착 노즐에 흡착된 부품에 광을 투사할 수 있는 조명 광원;을 구비하는 모아레 간섭 무늬를 이용한 부품 검사 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 테이블상에서 상기 프레임을 일방향 운동시킬 수 있도록,
    상기 테이블상에 설치된 가이드;
    상기 테이블 상에 설치된 구동 모터;
    상기 구동 모터에 의해 회전 구동되는 볼스크류; 및,
    상기 볼스크류에 결합되는 것으로 상기 프레임에 설치된 너트;를 구비하는 것을 특징으로 하는 모아레 간섭 무늬를 이용한 부품 검사 장치.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 흡착 노즐에 흡착된 부품은 상기 프레임에 고정된 거울을 통해서 조명되고 촬상되는 것을 특징으로 하는 부품 검사 장치.
  5. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1 내지 제 4 기준 격자들은 격자 무늬 피치의 1/4 만큼씩 이웃한 격자에 대하여 낮아지는 것을 특징으로 하는 모아레 간섭 무늬를 이용한 부품 검사 장치.
  6. 격자 무늬의 위상이 상이하게 형성되고, 서로에 대하여 상이한 높이로 배치된 제 1 내지 제 4 기준 격자를 준비하는 단계;
    상호간의 위치가 조절 가능하게 고정될 수 있는 부품 흡착용 흡착 노즐, 부품 촬상용 카메라 및, 부품에 대한 광 투사용 조명 광원을 준비하는 단계;
    상기 부품 흡착용 흡착 노즐, 상기 부품 촬상용 카메라 및, 상기 부품에 대한 광 투사용 조명 광원들의 상호 위치를 적절하게 촬상에 적합하게 조절하는 단계;
    상기 부품 흡착용 흡착 노즐, 상기 부품 촬상용 카메라 및, 상기 부품에 대한 광 투사용 조명 광원을 함께 상기 제 1 내지 제 4 기준 격자에 대응하는 위치로 움직여서 각 기준 격자를 통하여 상기 부품을 촬상하는 단계;를 구비하는 모아레 간섭 무늬를 이용한 부품 검사 방법.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 제 1 내지 제 4 기준 격자들은 격자 무늬 피치의 1/4 만큼씩 이웃한 격자에 대하여 낮아지는 것을 특징으로 하는 모아레 간섭 무늬를 이용한 부품 검사 방법.
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