KR100454427B1 - 마이크로웨이브를 이용한 고효율 유해가스 정화장치 및 그 정화방법 - Google Patents
마이크로웨이브를 이용한 고효율 유해가스 정화장치 및 그 정화방법 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 화력발전소나 제철설비, 보일러, 도장설비, 소각로 등의 산업시설에서 배출되는 유해가스를 정화시키기 위한 장치 및 그 방법에 관한 것이다.
본 발명은 유해가스를 공급받아 촉매인 활성탄을 통해 이를 유해성분과 무해성분으로 분리하는 분리기와, 분리기를 통해 분리되어 유해성분을 흡착/포집한 활성탄을 장입받아 이로부터 고주파의 마이크로웨이브를 이용하여 분해시키는 제1정화기와, 활성탄으로부터 분리된 이온, 라디칼, 미반응가스 등의 유해성분만을 별도 수집하고 여기에 질소가스를 혼합/희석하여 재차 고주파의 마이크로웨이브를 통해 유해성분을 완전 분해하는 제2정화기와, 완전정화된 성분을 최종 정화시키는 촉매정화기를 포함하여 구성되고; 제1정화기로부터 유해성분이 분리된 재생활성탄은 다시 분리기로 회수하여 재활용토록 함과 동시에 각 정화기에는 40kHz ~ 5GHz의 주파수 대역을 갖는 고주파의 마이크로웨이브를 통한 공진현상과 전자기파에 의해 유해성분에 포함된 전자를 여기시켜 완전분해토록 하는 과정을 다수회 반복토록 함으로서 인체에 무해한 성분만이 대기중으로 배출될 수 있도록 한 것이다.
본 발명에 의하면, 활성탄을 재생하여 재활용할 수 있으며, 에너지 소비가 적고 장치의 소형화가 가능함은 물론 유해가스의 처리양에 신축적으로 대응하여 장치의 개수를 용이하게 가변시킬 수 있어 대응능력이 뛰어나다.
Description
본 발명은 화력발전소나 제철설비, 보일러, 도장설비, 소각로 등의 산업시설에서 배출되는 유해가스를 정화시키기 위한 장치 및 그 방법에 관한 것으로, 특히 촉매에 의해 1차분리된 유해가스만을 별도 포집하여 마이크로웨이브를 통해 분해 및 정화토록 구성한 정화장치 및 그 정화방법에 관한 것이다.
최근의 급격한 산업화는 화석에너지의 급격한 사용을 불러일으켜 환경(대기)오염물질을 다량배출함으로써 산성비, 지구온난화, 오존층 파괴 및 광학적 스모그 현상 등과 같은 심각한 환경문제를 유발하고 있다.
특히, 화력발전소와 보일러, 보일러, 도장설비, 제철설비, 소각로 등의 산업시설 및 자동차 등에서 배출되는 질소산화물(NOX:이하 "녹스"라 한다)과 황산화물(SOX:이하 "삭스"라 한다) 가스는 산성비의 주된 원인이 되며 매년 그 방출량이 급격히 증가되고 있는 실정이며; 휘발성 유기화합물(VOCs:이하 "복스"라 함), 다이옥신 등과 같이 인체에 유해한 가스도 이에 비례하여 급증하고 있는 실정이다.
이러한 일련의 환경오염에 대한 인식이 확산되면서 산업시설 등에서는 필연적으로 상술한 유해가스를 처리할 수 있는 설비를 갖추도록 법제화되어 규제되고는 있으나 이러한 설비들은 대부분 산업쓰레기나 분진 혹은 유해한 화학가스 등을 제거하기 위한 단순 전기집진설비 혹은 화학가스중 일부만 제거할 수 있는 정도의 기술수준에 해당하는 설비만을 갖추고 있는 실정이다.
이와 같은 상황인식의 하나로 최근에는 특허공고 제96-211112호 [전자빔 조사 배기가스 처리방법 및 처리장치] 및 특허공개 제2000-9597호 [기체 레이저와 전자빔을 이용한 유해가스 정화방법 및 장치]가 공개된 바 있다.
전자의 경우는 삭스나 녹스가 주로 함유된 배기가스에 암모니아를 첨가한 후 전자빔을 조사하여 삭스나 녹스를 황산암모늄 혹은 질산암모늄 형태로 변환시켜 제거하는 기술인 바, 제거효율은 우수하나 전자빔과 암모니아를 주반응에 이용할 경우 암모니아를 배기가스와 혼합하기 위한 별도의 장치가 필요하고 또한 전자빔이 배기가스에 균일하게 작용하지 않아 미반응 암모니아가 대기중에 배출될 경우에는 또다른 대기오염을 초래하게 되는 점을 간과하고 있다.
후자의 경우는 유해가스의 배기통로중에 기체레이저와 전자빔을 조사하여 유해가스를 저감하는 장치로서 유해가스의 배기통로중에 고주파 고압발생 유니트와 고주파 고압을 전자빔 폴에 공급하는 장치 등으로 구성되어 전자빔 방출셀과 전자빔 폴에서 기체레이저와 전자빔이 조사되어 삭스나 녹스를 여기 분해시키는 기술인 바, 마찬가지로 실효성은 있으나 대량의 유해가스의 경우에는 미반응된 가스가 잔류될 확률이 높고 또한 장시간 운전시 과다한 전력이 소모되는 단점이 있다.
본 발명은 상술한 바와 같은 종래 기술이 갖는 한계점을 감안하여 이를 효과있게 개선하기 위해 창출한 것으로, 흡착률이 우수한 활성탄과 같은 소재를 촉매로 함과 동시에 전자계의 공진현상을 이용하여 유해가스내 유해성분을 다수회에 걸쳐 집중 분해토록 함으로써 복잡한 구조의 설비나 과다한 전력의 요구없이도 간단하게 효율적인 정화작업이 이루어질 수 있도록 한 마이크로웨이브를 이용한 고효율 유해가스 정화장치 및 정화방법을 제공함을 그 목적으로 한다.
도 1은 본 발명에 따른 정화장치의 개략적인 구성 블럭도,
도 2는 본 발명에 따른 정화장치를 구성하는 제1정화기의 개략적인 내부구조도,
도 3은 본 발명에 따른 정화장치를 구성하는 제2정화기의 개략적인 내부구조를 보인 사시도.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
14 : 분리기 16 : 활성탄수거기
18 : 송풍기 26 : 제1정화기
28 : 제1전압발생기 30 : 재생활성탄수거기
36 : 제2정화기 38 : 제2전압발생기
40 : 촉매정화기 42 : 진공펌프
본 발명의 정화장치는 공급된 유해가스를 촉매수단을 통해 유해성분과 무해성분으로 1차 분해하는 분리기와; 상기 분리기를 통해 분해된 무해성분을 포함한 정화가스는 대기로 방출되고 낙하되는 유해성분을 포함한 촉매를 포집하는 포집기와; 상기 포집기에 포집된 유해성분을 포함한 촉매를 강제이송시키는 송풍기와; 이송된 촉매를 정화시키는 제1정화기와; 상기 제1정화기에 고주파를 인가하는 제1전압발생기와; 상기 제1정화기를 통해 2차 정화된 미분해 유해성분을 지닌 미분해가스를 재차 분해하는 제2정화기와; 상기 제2정화기에 고주파를 인가하는 제2전압발생기와; 상기 제2정화기를 통해 정화된 공기를 다시한번 정화시키는 촉매정화기와; 상기 제1정화기에서 분해시 낙하된 촉매를 수거하여 분리기로 재공급하는 재생촉매포집기를 포함하여 구성된다.
본 발명에서 사용되는 촉매는 특히 흡착율과 활성화에너지가 높은 활성탄이 바람직하다.
또한, 활성탄은 전자흡수력과 방사력이 매우 뛰어나다.
본 발명의 제1,2정화기는 원통상의 부재 내부에 촉매가 관류될 수 있는 별도의 관이 배설되고, 이 관의 외주연을 따라 제1,2전압발생기의 단자에 연결된 도파관이 나선형으로 권취배설된 구조이다.
상기 제1,2전압발생기는 특정 원자그룹에 있는 전자를 여기시켜 배기가스 성분을 해리시킴으로써 라디컬반응을 촉진시키는 즉, 요구되는 전기화학반응에 대하여 아주 뛰어난 전자 여기력을 가진 마이크로웨이브가 바람직하다.
특히, 상기 마이크로웨이브는 저소비 전력으로도 고주파를 발생시켜 전자계방사와 공진현상이 가능하므로 본 발명에 적당하다.
또한, 상기 마이크로웨이브의 주파수 대역은 40kHz ~ 5GHz인 라디오 주파수 대역이 바람직한 바, 이는 이 영역에서 전자와 분자가 여러가지 파장의 전자계 파장을 흡수 및 방사할 수 있으므로 분자 및 원자들로부터 쉽게 그리고 넓은 면적에 걸쳐 전자를 여기시키는 능력이 뛰어나기 때문이다.
본 발명의 정화방법은 분리기 내에 촉매를 충전시킨 후 유해가스를 공급하여 촉매에 의한 1차 정화단계와; 1차 정화후 정화된 가스는 배출시키고 미정화된 유해가스를 포함한 촉매를 제1정화기로 정량 주입하여 제1전압발생기를 통해 고주파의 마이크로웨이브를 인가함으로써 2차 정화하는 단계와; 2차 정화후 촉매와 정화가스를 분리하여 촉매는 분리기로 재공급토록 하고 정화가스는 제2정화기로 공급하는 단계와; 제2정화기로 공급된 2차 정화가스를 또다시 제2전압발생기를 통해 고주파의 마이크로웨이브를 인가함으로써 3차 정화하는 단계와; 3차 정화된 가스를 이송시켜 촉매정화기에서 최종 정화시킨 후 대기로 배출하는 단계를 포함하여 이루어진다.
이하에서는, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 한 바람직한 실시예에 대하여 보다 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예를 도식적으로 보인 구성 블럭도이다.
도 1에 따르면, 본 발명의 정화장치는 원통형상의 이중관으로 된 분리기(14)가 구비되고, 상기 분리기(14)의 상측에는 활성탄공급호퍼(12)가 설치된다.
상기 활성탄공급호퍼(12) 내부에 장입된 활성탄은 도시하지 않은 정량절출피더에 의해 상기 분리기(14) 내부로 일정량씩 충전된다.
분리기(14)의 하측에는 유해가스공급구(10)가 연통배치되고, 상기 유해가스공급구(10)를 통해 각 산업설비로부터 발생된 녹스, 삭스, 복스 등의 유해성분을 함유한 유해가스가 상기 분리기(14) 내부로 공급되게 된다.
분리기(14)의 하측에는 활성탄수거기(16)가 설치되고, 상기 활성탄수거기(16)의 하측은 송풍기(18)에 의해 강제 송풍되는 통로인 송풍배관(19)과 연결된다.
상기 송풍배관(19) 상에는 송풍압 및 송풍량을 조절할 수 있는 이송밸브(22)가 설치되며, 또한 정량주입기(24)와 연결된다.
정량주입기(24)는 PLC와 같은 제어로직에 의해 일정량의 활성탄을 평량하여 상술한 정량절출 피더와 유사한 방식으로 활성탄을 배출공급하는 수단이다.
아울러, 상기 정량주입기(24)의 일측에는 별도의 송풍라인(25)이 배설되고, 상기 활성탄공급호퍼(12)와 연결배치된다.
정량주입기(24)의 하측에는 제1정화기(26)가 설치된다.
또한, 상기 정량주입기(24)의 일측에는 질소공급기(21)가 배치되며, 상기 송풍배관(19)을 통해 공급된 오염된 활성탄과 함께 정량주입기(24)로 질소가스를 공급하게 된다.
상기 제1정화기(26)는 도 2의 도시와 같이, 원통형상의 이중관 형태를 이루고 그 내부에는 길이방향을 따라 활성탄이송로(29)가 형성되며, 상기 활성탄이송로(29)의 외주에는 도파관(27)이 나선형상을 이루며 권취된다.
상기 도파관(27)의 양단은 제1전압발생기(28)와 연결된다.
이를 위해, 상기 도파관(27)은 동축코일로 형성됨이 바람직하다.
상기 제1전압발생기(28)는 마이크로웨이브가 바람직하며, 이때 사용된 주파수 대역은 40kHz ~ 5GHz이고, 실험에 의하면 2.45GHz가 특히 바람직하다.
상기 제1정화기(26)의 하측에는 재생활성탄수거기(30)가 연결된다.
또한, 상기 제1정화기(26)의 하단 측부에는 마이크로웨이브에 의해 정화된 가스가 이송되는 미분해가스 이송배관(32)이 연결되는 바, 상기 미분해가스 이송배관(32)은 제2정화기(36)에 연결된다.
특히, 상기 미분해가스 이송배관(32)은 제2정화기(36)의 하단에 연결되도록 배치하여 미분해가스가 상기 제2정화기(36)의 하측으로부터 상측을 향해 거꾸로 공급되도록 설치되도록 하여 정화효율을 배가시키도록 배설함이 바람직하다.
상기 제2정화기(36)에는 전술한 제1정화기(26)에서와 동일한 고주파 인가장치인 제2전압발생기(38)가 동일한 방식으로 설치되는 바, 도 3의 도시와 같다.
제2정화기(36)의 상단에는 정화공기 이송배관(34)이 배설되고, 상기 정화공기 이송배관(34)은 최종적인 정화기인 촉매정화기(40)와 연결된다.
상기 촉매정화기(40)에는 촉매가 충전되는 바, 상기 촉매는 활성탄을 비롯하여 백금, 파라듐 등의 귀금속촉매; 마그네슘 산화물; 구리 산화물 및 벌집구조의 통기성 구조의 담체에 담지된 칼슘 알루미네이트 중에서 선택된 어느하나 이며; 유해가스의 성분에 따라 선택하여 적당히 결정됨이 바람직하다.
한편, 상기 촉매정화기(40)의 하측에는 진공펌프(42)가 설치되는 바, 이는제2정화기(36)에서 분해되고 정화된 공기를 대기중으로 방출할 때에 상압 혹은 고압을 사용할 경우 미반응가스가 대기중으로 곧바로 누출될 가능성을 완전히 차단하기 위함이다.
이러한 구성으로 이루어진 본 발명의 정화장치는 다음과 같은 방법으로 작동된다.
산업시설로부터 발생된 삭스, 녹스, 다이옥신, 복스 등이 포함된 유해가스가 유해가스공급구(10)를 통해 분리기(14)로 공급된다.
이때, 상기 분리기(14) 내에는 흡착율이 매우 높은 활성탄이 활성탄공급호퍼(12)를 통해 충전되어 있다.
따라서, 상기 활성탄은 유해가스중에 포함된 유해성분을 1차적으로 흡착 포집하게 되는 바, 대부분의 유해성분은 상기 활성탄에 포집되게 된다.
유해성분의 포집에 따라 정화된 공기는 정화가스배기구(20)를 통해 배출시키고, 유해성분은 모두 활성탄에 흡착 포집되어 오염도가 높아진 상태로 분리기(14) 하부에 설치된 활성탄수거기(16)로 이송되어 쌓이게 된다.
상기 활성탄수거기(16) 내부에 적치되는 오염된 활성탄이 적정레벨에 이르면 송풍기(18)를 가동하여 송풍배관(19)을 따라 상기 활성탄을 정량주입기(24)로 이송시켜 오염된 활성탄을 재생하기 위한 흡착 포집된 유해성분 분리준비를 하게 된다.
상기 정량주입기(24)를 통해 제1정화기(26) 내부로 오염된 활성탄이 일정량 절출공급되면 제1전압발생기(28)를 통해 고주파의 마이크로웨이브를 인가하게 된다.
이때, 오염된 활성탄은 전자를 흡수 방출하면서 활성탄에 흡착된 유해성분이 여기되는 현상이 발생됨과 아울러 활성탄과 유해성분이 분리되게 된다.
대부분의 유해성분은 전자의 여기현상에 의해 유해성분을 구성하는 화학적 결합이 깨지고 재결합되는 현상이 발생하게 되는 바,
예컨대 이산화질소의 경우;
NO2--------> N++ 2O-+ e(여기전자)
와 같은 반응이 일어나게 된다.
이러한 반응은 삭스, 탄화수소계 불완전 연소로 발생하는 일산화탄소, 복스 등에서도 동일하게 발생하게 된다.
이렇게 하여 제1정화기(26)를 통해 활성탄과 유해성분의 분리 및 분해과정을 거쳐 재생된 활성탄은 질소공급기(21)를 통해 공급되는 질소가스의 흐름에 의해 다시 활성탄공급호퍼(12)로 회수되고 정량절출 피더에 의해 다시 분리기(14)로 일정량 충전되는 과정을 되풀이하게 된다.
한편, 상기 제1정화기(26)에서 분리된 유해성분중 대부분은 고주파의 공진현상에 의해 대부분 유해성분을 이루고 있는 분자고리가 끊어진 상태이며, 일부는 미분해된 상태로 잔류되게 된다.
이러한 이온, 라디칼, 미반응된 미분해가스는 질소와 희석된 상태에서 미분해가스 이송배관(32)을 타고 제2정화기(36)로 이송되게 된다.
상기 제2정화기(36)에서는 고주파 마이크로웨이브에 의해 이온과 라디칼 및미분해가스의 분해작용이 일어나게 된다.
즉, 하기한 바와 같은 이온과 라디칼의 재반응들이 발생하여 최종적으로 인체에 무해한 가스로 정화되게 된다.
N++ N+-------------> N2
O-+ H++ H+--------> H2O
C++ O-+ O-+ E ----> CO2
CO-+ E -----------> CO2
이와 같은 과정을 거쳐 정화된 공기는 진공펌프(42)의 흡입에 의해 정화공기 이송배관(34)을 타고 촉매정화기(40)로 이송되게 된다.
여기에서, 상기 진공펌프(42)를 사용하게 되면 상기 제2정화기(36)에서 상압 혹은 고압을 가하여 처리할 경우라도 미분해된 가스가 곧바로 대기중으로 배출될 위험은 없게 된다.
상기 촉매정화기(40)는 특히 삭스의 경우 제1,2정화기(26,36)를 거쳐 황과 산소와의 화학적 결합고리는 끊어지지만 황의 경우 그대로 공기중에 배출되면 또다른 대기오염을 초래할 수 있으므로 이 황을 집중적으로 제거할 수 있는 촉매를 충전시켜 포집토록 함이 더욱 바람직하다.
아울러, 상기 제1,2정화기(26,36) 내부의 반응은 일정공간에 고주파를 인가하였을 때 분자간의 격렬한 충돌현상을 일으켜(즉, 유전가열방식을 유해가스에 이용한 것임) 용이한 분리,분해과정이 수반되게 된다.
[실험예]
하기한 표 1은 본 발명의 장치 및 방법에 따라 실험한 예로서 유해성분의 저감효율의 성능을 나타내었다.
이때 사용한 마이크로웨이브의 주파수는 2.45GHz를 사용하였고, 소비전력은 1400W 였으며, 오염된 농도는 가스분석기를 사용하여 측정하였다.
| 분석항목 | 오염된 공기중 농도 | 본 발명 장치 통과후 농도 | 저감율(%) |
| 녹스(NOx) | 1500 PPM | 75 PPM | 95 |
| 삭스(SOx) | 1500 PPM | 150 PPM | 90 |
| 다이옥신 | 1500 PPM | 100 PPM | 94 |
| 벤젠 | 5000 PPM | 100 PPM | 98 |
| 톨루엔 | 5000 PPM | 100 PPM | 98 |
| 크실렌 | 5000 PPM | 100 PPM | 98 |
| 미연탄소(CO gas) | 1000 PPM | 80 PPM | 92 |
| 탄화수소(HC) | 1000 PPM | 100 PPM | 90 |
상기 표 1을 통해 알 수 있듯이, 본 발명에 의한 활성탄과 전자기파의 공진현상을 이용한 정화방식은 기존의 촉매방식 또는 촉매와 플라즈마를 동시에 사용하는 방식보다 에너지 소비가 적으면서도 유해가스의 성분과 양에 따라 사용촉매 및 정화기의 수 및 인가 전압을 용이하게 변경할 수 있어 매우 효율적이고 활용도가 높은 정화방식임을 확인할 수 있다.
이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 발명의 정화장치 및 정화방법은 다음과 같은 효과를 제공한다.
첫째, 촉매로 사용되는 활성탄을 재생하여 재활용할 수 있으므로 현저한 비용절감 효과를 얻을 수 있다.
둘째, 에너지 소비가 적고 장치의 소형화가 가능하다.
세째, 유해가스의 처리양에 신축적으로 대응하여 장치의 개수를 용이하게 가변시킬 수 있어 처리 대응능력이 뛰어나다.
네째, 발전설비나 제철설비, 소각로 및 석유화학제품을 생산하는 설비와 같은 대형설비에도 용이하게 설치 적용할 수 있다.
다섯째, 활성탄의 흡착농도에 따라 필요시에만 정화장치를 가동하므로 에너지절감 효과가 현저히 향상된다.
Claims (10)
- 황산화물, 질산화물, 다이옥신, 휘발성유기화합물들이 함유된 유해가스를 활성탄을 통해 유해성분과 무해성분으로 흡착/포집하여 분리하는 분리기와; 상기 분리기를 통해 유해성분을 흡착/포집하여 분리한 오염된 활성탄를 수납하도록 분리기의 하측에 연결설치된 활성탄수거기와; 상기 활성탄수거기에 수거된 활성탄을 정량주입기로 이송시키는 송풍기와; 상기 정량주입기로 장입된 오염된 활성탄을 공급받아 고주파 마이크로웨이브를 인가하여 활성탄에 흡착/포집된 유해성분을 여기시켜 분해하는 제1정화기와; 상기 제1정화기의 하측에 연결설치되고 제1정화기를 통해 재생된 활성탄을 상기 분리기로 재공급하는 재생활성탄수거기와; 상기 제1정화기의 하측에 재생활성탄수거기와 병렬로 설치되고, 원통형상으로 형성되고, 그 내부에는 길이방향으로 미분해가스가 관류되는 별도의 배관이 배설되며 상기 배관의 외주연에는 고주파마이크로웨이브와 연결된 동축코일로 형성된 도파관이 나선형상으로 권취배설되는 오염된 활성탄으로부터 분해된 이온, 라디칼, 미반응가스가 질소와 희석된 혼합가스를 상기 제1정화기에서와 동일한 방식의 마이크로웨이브를 통해 정화시키는 제2정화기와; 상기 제2정화기와 연결되어 제2정화기를 통해 정화된 공기를 최종 정화시키는 촉매정화기를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 마이크로웨이브를 이용한 고효율 유해가스 정화장치.
- 삭제
- 삭제
- 제1항에 있어서, 상기 제2정화기에는 상기 제1정화기로부터 배출된 이온, 라디칼, 미반응가스 및 질소 혼합가스를 안내하는 미분해가스 이송배관이 하측에서 상측을 향해 공급하도록 배설되는 것을 특징으로 하는 마이크로웨이브를 이용한 고효율 유해가스 정화장치.
- 제1항에 있어서, 상기 마이크로웨이브는 40kHz ~ 5GHz의 주파수 대역을 갖는 것을 특징으로 하는 마이크로웨이브를 이용한 고효율 유해가스 정화장치.
- 제1항에 있어서, 상기 촉매정화기의 하측에는 정화공기 배출을 위한 진공펌프가 추가로 설치되는 것을 특징으로 하는 마이크로웨이브를 이용한 고효율 유해가스 정화장치.
- 제1항에 있어서, 상기 촉매정화기 내에 충전되는 촉매는 활성탄, 마그네슘 산화물, 구리 산화물 및 벌집구조의 통기성 구조의 담체에 담지된 칼슘 알루미네이트 중에서 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 마이크로웨이브를 이용한 고효율 유해가스 정화장치.
- 분리기 내에 일정량의 활성탄을 충전시킨 후 유해가스를 공급하여 활성탄에 의해 유해성분을 흡착 및 포집하는 초기 정화단계와; 정화된 가스는 배출시키고 미정화된 유해성분을 포함한 오염된 활성탄을 제1정화기로 정량 주입하여 고주파의 마이크로웨이브를 통해 오염된 활성탄으로부터 유해성분을 분리하는 단계와; 상기 제1정화기를 통해 유해성분이 분리된 재생활성탄은 분리기로 회수하여 재활용하는 단계와; 분리된 유해성분은 질소가스와 희석하여 제2정화기로 이송하고 활성탄은 별도 수거하는 단계와; 제2정화기로 공급된 혼합가스에 또다시 고주파의 마이크로웨이브를 인가하여 유해성분을 분해하는 단계와; 분해된 각 성분을 이송시켜 촉매정화기를 통해 최종 정화시킨 후 대기로 배출하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로웨이브를 이용한 고효율 유해가스 정화방법.
- 삭제
- 제8항에 있어서, 상기 제1,2정화기에서는 고주파 마이크로웨이브를 통한 전자기파 및 공진현상을 통해 유해성분을 분해토록 하는 것을 특징으로 하는 마이크로웨이브를 이용한 고효율 유해가스 정화방법.
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