KR100406783B1

KR100406783B1 - 플라즈마표시소자의격벽제조방법및그장치

Info

Publication number: KR100406783B1
Application number: KR1019970012793A
Authority: KR
Inventors: 송만호; 이병학
Original assignee: 삼성에스디아이 주식회사
Priority date: 1997-04-08
Filing date: 1997-04-08
Publication date: 2004-01-24
Anticipated expiration: 2017-04-08
Also published as: KR19980076202A

Abstract

플라즈마 표시소자의 격벽 제조방법 및 그 장치를 개시한다. 기판에 격벽을 형성하기 위해서는 격벽 패턴과 동일한 패턴의 관통공이 형성된 블록에 상기 기판을 밀착시키고, 상기 기판을 가열하여 기판을 연화되도록 히이터를 이용하여 가열하며, 상기 가압판을 이용하여 상기 기판을 블록 측으로 가압하고, 상기 관통공에 펌프로서 진공압을 가한다. 상술한 바와 같이 기판의 제조시 대량생산이 용이하다.

Description

플라즈마 표시소자의 격벽제조방법 및 그 장치{Barrier rib manufacturing method and apparatus of a plasma display panel}

본 발명은 플라즈마 표시소자의 격벽 제조방법 및 그 장치에 관한 것으로, 더 상세하게는 플라즈마 표시소자의 방전공간을 구획하는 격벽의 제조방법 및 그 장치에 관한 것이다.

플라즈마 표시소자는 형광 물질이나 특수 가스를 여기시킴으로써 빛을 발생시키는 장치이다. 즉, 밀폐된 공간에 설치된 두 전극 사이에 가스가 충전된 상태에서 전극에 소정의 전압을 인가하여 글로우방전이 일어나도록 하고, 이 글로우방전시 발생되는 자외선에 의해 소정의 패턴으로 형성된 형광체층을 여기시켜 화상을 형성하게 된다.

상술한 바와 같은 플라즈마 표시소자는 상하부판의 사이에 방전공간을 형성하는 격벽이 형성되고, 이 방전공간에는 플라스마 표시소자의 종류에 따라 다소의 차이는 있으나 주방전 또는 보조방전을 이루는 적어도 한쌍의 전극이 형성된다. 상기 플라즈마 표시소자에 있어서, 격벽은 통상적으로 하부판의 상면에 형성되는데, 그 형성방법을 살펴보면 다음과 같다.

도 1에는 인쇄법을 이용하여 상기 하부판 즉, 기판의 상면에 격벽을 형성하는 방법을 나타내 보였다.

도시된 바와 같이 기판(11)의 상면에 소정패턴의 전극층(12)을 형성하고, 이 전극층(12)이 형성된 기판(11)의 상면에 절연층인 유전체층(13)을 형성한다. 그리고 유전체층(13)의 상면에 소정 패턴 즉, 격벽의 패턴과 동일한 패턴의 스크린(14)을 기판에 밀착시킨 후 격벽재료를 10 내지 15㎛ 의 두께로 반복 인쇄하고 이를 건조 및 소성시켜 격벽(15)을 형성한다.

상술한 바와 같이 격벽(15)을 형성하는 것은 격벽(15)의 인쇄공정과 건조 및 소성공정을 반복하여야 하므로 인쇄 및 열처리에 따른 격벽 패턴의 변형이 필수적으로 발생될 뿐만 아니라 생산성의 향상을 도모할 수 없는 문제점을 가지고 있다. 특히 격벽을 반복하여 인쇄하기 위해서는 기판과 스크린을 정렬시켜야 하는데, 반복되는 적층과정에서 한번의 정렬불량으로 격벽의 패턴이 불량품화되는 문제점을 가지고 있다.

도 2a 내지 도 2c에는 하부기판에 격벽을 형성하기 위한 방법의 다른 예를 나타내 보였다.

먼저 도 2a에 도시된 바와 같이 소정패턴의 전극층(21)과 유전체층(22)이 순차적으로 형성된 기판(23)의 상면에 형성하고자하는 격벽의 높이를 감안하여 소정의 두께로 격벽층(24)을 형성하는 단계를 수행한다. 그리고 도 2b에 도시된 바와 같이 상기 격벽층(24)의 상부에 포토 레지스터 법을 이용하여 연마방지 마스크(25)를 형성하는 단계를 수행한다. 여기에서 상기 연마방지 마스크(25)는 고속으로 충돌되는 샌드(sand)에 의해 연마되지 않은 재질이면 어느것이나 가능하다.

상술한 바와 같이 연마방지 마스크의 형성이 완료되면 도 2c에 도시된 바와 같이 고압의 공기 또는 물에 편승된 샌드를 상기 격벽층(24)의 상면에 분사함으로써 연마방지 마스크(25)가 형성되지 않은 격벽층(24)을 연마하여 방전공간을 형성하는 단계를 수행한다. 상술한 바와 같이 수행되는 과정에서 방전공간이 형성되지 않은 즉, 연마방지 마스크에 의해 연마되지 않은 부분이 방전공간을 구획하는 격벽(26)이 된다.

상술한 바와 같은 방법으로 격벽(26)을 형성하는 것은 연마방지 마스크(25)를 형성하기 위한 공정이 복잡하고, 격벽재가 미세한 분말 상태로 제거되므로 주위의 환경을 오염시킬 뿐만아니라 격벽재에 부착된 샌드를 제거하기 위한 별도의 세정공정이 필요하다. 또한 상기 방법은 격벽(26)의 형성에 따른 많은 시간이 소요된다.

본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로, 격벽의 형성에 따른 생산성의 향상을 도모할 수 있으며, 기판 상호간의 격벽 규격산포를 줄일 수 있는 플라즈마 표시소자의 격벽제조방법 및 그 장치를 제공함에 그 목적이 있다.

도 1는 종래 격벽 제조방법을 나타내 보인 단면도,

도 2a 내지 도 2c는 종래 플라즈마 표시소자 격벽의 제조방법의 다른예를 도시한 단면도,

도 3a 내지 도 3e는 본 발명에 따른 플라즈마 표시소자의 제조방법을 나타내 보인 도면,

도 4는 본 발명에 따른 플라즈마 표시소자의 격벽 제조장치를 도시한 단면도,

도 5는 본 발명에 따른 플라즈마 표시소자 격벽 제조장치의 다른 실시예를 도시한 단면도,

도 6은 본 발명에 따른 플라즈마 표시소자 격벽 제조장치의 또다른 실시예를 도시한 단면도,

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

30; 블록 31;격벽형성홈

40; 공압공급수단 50; 가열수단

60; 가압수단

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 기판의 일측면에 소정패턴의 격벽을 형성하는 플라즈마 표시소자의 격벽 제조방법에 있어서, 판상의 기판을 제조하는 기판제조단계와, 형성하고자 하는 격벽 패턴과 동일한 패턴의 격벽 형성홈을 블록에 형성하는 블록제조단계와, 상기 격벽형성홈이 형성된 블록에 상기 기판을 밀착시키는 가압단계와, 상기 기판과 블록을 적어도 일측으로부터 상호 대향되는 방향으로 가압하여 기판의 일측면이 상기 격벽형성홈에 몰입되도록 하여 격벽을 형성하는 격벽형성단계와, 상기 블록과 기판을 분리하는 분리단계를 포함하여 된 것을 특징으로 한다.

그리고 상기 본 발명의 다른 특징은 기판의 일측면에 소정패턴의 격벽을 형성하는 플라즈마 표시소자의 격벽 제조방법에 있어서, 기판의 상면에 격벽재를 도포하여 격벽층을 갖는 기판을 제조하는 기판제조단계와, 형성하고자하는 격벽 패턴과 동일한 패턴의 격벽 형성홈을 블록에 형성하는 블록제조단계와, 상기 격벽형성홈이 형성된 블록에 상기 기판을 밀착시키는 가압단계와, 상기 기판과 블록을 적어도 일측으로부터 상호 대향되는 방향으로 가압하여 기판의 일측면이 상기 격벽형성홈에 몰입되도록 하여 격벽을 형성하는 격벽형성단계와, 상기 블록과 기판을 분리하는 분리단계와, 상기 격벽의 패턴의 형성이 완료된 격벽재를 소성하여 경화시키는 경화단계를 포함한다.

상기 본 발명의 격벽 제조방법을 실시하기 위한 본 발명의 격벽의 제조장치는 플라즈마 표시소자의 격벽 패턴과 동일한 패턴의 격벽형성홈이 형성되며 일측에 상기 각 격벽형성홈과 연결통로가 형성된 블록과,

상기 연결통로에 연결되어 소정의 압력을 가하는 압력 공급수단과, 블록의 상부에 설치되어 이 블록에 장착되는 기판을 가압하는 가압수단을 포함하여 된 것을 그 특징으로 한다.

본 발명에 따른 프라즈마 표시소자 격벽 제조장치의 다른 특징은, 기판에 격벽층에 소정패턴의 격벽을 형성하는 플라즈마 표시소자의 격벽 제조장치에 있어서, 상기 격벽 패턴과 동일한 패턴의 격벽형성홈이 외주면에 형성되어 기판에 대한 가압시 격벽형성홈에 격벽층의 일부가 몰입되도록 하여 격벽을 형성하는 몰드를포함한다.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 한 바람직한 실시예를 상세하게 설명하면 다음과 같다.

본 발명에 따른 플라즈마 표시소자의 격벽 제조방법은 플라즈마 표시소자를 구성하는 상부기판과 하부기판의 사이에 위치되어 방전공간을 구획하는 격벽을 형성하는 것이다.

본 발명에 따른 격벽의 형성방법은 도 3a 내지 도 3c에 도시된 바와 같이 기판(100)을 제조하는 기판의 제조단계(S1)와, 형성하고자 하는 격벽 패턴과 동일한 패턴의 격벽형성홈(121)을 블록(120)에 형성하는 블록제조단계(S2)와, 상기 기판(100)을 가열하여 기판이 연화되도록 하는 가열단계(S3)를 포함한다. 상기 기판의 제조단계에 의한 기판(100)의 제조는 판부재에 소정패턴의 어드레스 전극(111)을 형성하고, 이 어드레스 전극(111)이 형성된 기판의 상면에 격벽재를 도포하여 소정높이의 격벽층(112)이 형성됨으로써 이루어진다. 여기에서 상기 판부재에 대한 격벽층의 형성은 격벽재를 후막인쇄, 롤코팅 또는 스핀코팅법에 의해 도포함으로써 이루어진다. 그리고 상기 블록에 형성되는 격벽형성홈(121)은 형성하고자 하는 격벽의 높이와 동일한 깊이로 형성하거나 깊게 형성될 수 있다.

상기와 같이 기판(100)의 연화가 완료되면 도 3d 및 도 4e에 도시된 바와 같이 기판(100)을 블록(120)에 밀착시키는 밀착단계를 수행하고, 기판과 블록의 적어도 일측으로부터 상호 대향되는 방향으로 가압하여 기판의 일측면이 상기 격벽형성홈(121)에 몰입되도록 하는 격벽형성단계(S4)을 수행하고, 격벽의 형성이 완료된 기판과 블록을 분리하는 분리단계(S5)를 수행한다. 상기 격벽의 형성단계에 있어서, 상기 블록(120)에 기판(100)의 가압시 진공압을 가하여 격벽형성홈(121)에 연화된 기판이 쉽게 몰입되도록 함이 바람직하고, 분리시에는 상기 격벽형성홈(121)에 소정의 압력을 가하여 분리가 용이하도록 함이 바람직하다.

상술한 바와 같은 기판에 격벽을 형성함에 있어서, 상기 기판(100)에 형성된 격벽층(112)에 소정패턴의 격벽을 형성하는 경우 격벽층(112)의 재질에 따라 다소의 차이가 있으나 상기 격벽층이 열가소성을 가진 세라믹과 유기재의 혼합물로 이루진 경우 격벽의 형성이 완료된 후 소성하여 경화시키는 경화단계를 포함한다.

도 4에는 본 발명에 따른 플라즈마 표시소자의 격벽 제조장치의 일 실시예를 나타내 보였다.

도시된 바와 같이 블록(30)의 상면으로부터 수직 방향으로 격벽의 패턴과 동일한 패턴의 격벽형성홈(31)이 형성되고, 상기 블록(30)의 하부에는 상기 격벽형성홈(31)과 연결되는 연결통로(32)가 형성된다. 상기 연결통로(32)는 블록(30)의 하부 또는 측면에 연결통로(32)가 형성된 블록부재(30a)가 결합됨으로써 형성된다. 상기 블록(30)에 형성된 격벽형성홈(31)의 배열은 상술한 실시예에 의해 한정되지 않고 기판(100)에 형성하고자하는 격벽의 패턴에 따라 다양한 형태로 변형 가능하다. 상기 블록(30)에 형성된 격벽 형성홈(31)은 그 깊이가 형성하고자 하는 높이와 동일하게 형성하거나 상기 격벽의 높이에 관계없이 깊게 형성된다. 상기 블록(30)은 격벽의 형성시 기판(100)의 열팽창율을 감안하여 기판(100)과 열팽창율이 동일한 재질로 제작함이 바람직하다.

그리고 블록(30)의 상면과 격벽형성홈(31)의 내주면에 세라믹 또는 테프론으로 코팅된 코팅막이 형성되어 기판(100)과 이에 형성된 격벽의 분리가 용이하게 함이 바람직하다.

상기 연결통로(32)에는 상기 관통공(31)에 진공압을 가하거나 대기압 이상의 압력을 가하기 위한 압력 공급수단(40)이 설치되는데, 이 압력 공급수단(40)은 상기 연결통로(32)와 연결되는 접속관(43)에 의해 진공압을 공급하는 제1펌프(41)와 대기압 이상의 압력을 공급하는 제2펌프(42)가 병렬 접속된다. 그리고 상기 접속관(43)과 병렬 접속된 펌프와 인접된 측에는 상기 제1,2펌프(41)(42)들과 접속관의 연결을 단속하는 제1,2밸브(44)(45)가 각각 설치된다.

상기와 같이 압력 공급수단이 장착된 블록(30)에는 이의 상부에 안착된 하부기판(100)을 연화시키기 위한 가열수단(50)이 설치되는데, 이 가열수단(50)은 블록에 매립된 히이터(51)로 이루어진다. 상기 가열수단(50)은 기판(100)을 연화시키기 위하여 블록(30)과 인접된 측에는 버너를 설치함이 바람직하다. 상기 가열수단은 상기 실시예에 의해 한정되지 않고, 기판과 블록(30)을 가열할 수 있는 것이면 어느것이나 가능하다. 예컨데, 열풍을 이용하여 기판을 가열할 수도 있다.

그리고 상기 블록(30)의 상면에는 격벽을 형성하기 위한 기판(100)을 블록(30)에 대해 가압하는 가압수단(60)이 설치되는데, 이 가압수단(60)은 하면이 평활한 가압판(61)과, 이 가압판(61)을 상기 블록(30)에 대해 승강시키며 프레임(63)에 고정된 액튜에이터(62)를 포함한다. 여기에서 상기 액튜에이터는 통상적인 공압 또는 유압실인더를 사용함이 바람직하다.

그리고 플라즈마 표시소자의 격벽형성장치는 상기 기판에 어드레스 전극이 형성된 경우 어드레스 전극이 격벽의 사이에 위치되도록 정렬하여야 하므로 이를 위해 블록에 기판을 정렬시키기 위한 정렬수단을 더 포함한다.

상기 정렬수단(70)은 어드레스 전극과 블록 사이의 정전용량을 감지하여 정렬시키는 것으로, 어드레스 전극과 접속되는 제1리드선(71)과, 상기 블록과 접속되는 제2리드선(72)과, 상기 제1,2리드선에 연결 어드레스 전극과 블록 사이에 정전용량을 측정하는 정전용량 측정기(73)을 포함한다. 상기 정렬수단의 다른 실시예는 기판(100)과 블록에 형성된 마크를 포함한다.

그리고 본 발명에 따른 플라즈마 표시소자 격벽 제조장치의 다른 실시예는 도 5에 도시된 바와 같이 소정 패턴의 어드레스 전극(111)이 매립된 격벽층(112)에 소정패턴의 격벽을 형성하기 위한 것으로, 상기 격벽 패턴과 동일한 패턴의 격벽형성홈(81)이 형성되어 기판(100)에 대한 가압시 격벽형성홈(81)에 격벽층의 일부가 몰입되도록 하여 격벽을 형성하는 몰드(80)를 포함한다. 여기에서 상기 몰드는 도 6에 도시된 바와 같이 드럼형으로 형성하고 이의 외주면에 격벽형성홈(81')을 형성할 수도 있다. 그리고 상기 몰드(80')의 표면에는 기판과의 분리가 용이하도록 세라믹 또는 테프론으로 코팅된 코팅막을 형성함이 바람직하며, 상기 몰드에는 기판과의 정렬을 위하여 상술한 바와 같은 정렬수단을 설치함이 바람직하다.

상술한 바와 같이 구성된 본 발명에 따른 플라즈마 표시소자의 격벽제조장치의 작용과 이 작용을 통하여 격벽 제조방법을 상세하게 설명하면 다음과 같다.

격벽 제조장치를 이용하여 기판에 격벽을 형성하기 위해서는 먼저 상기 기판(100)을 상기 블록(30)에 올려 놓는다. 상기 블록(30)에 어드레스 전극이 형성된 기판(100)을 올려 놓는 경우에는 어드레스 전극이 격벽형성홈(31)의 사이에 위치되도록 정렬수단에 의해 정렬한다. 기판(100)과 블록의 정렬은 블록(30)에 대해 기판(100) 이송시켜 정전용량 측정기에 의해 블록과 기판(100) 사이에서 정전용량이 최대가 되는 점에서 이루어진다. 즉, 어드레스 전극과 격벽형성홈(31)들 사이의 간격이 최대가 될 때에 상기 어드레스 전극과 블록 사이의 간격이 가장 가까운 거리가 되므로 정전용량이 최대가 되고, 이때에 상기 어드레스 전극이 격벽 형성홈(31)의 사이에 위치하게 된다.

상기와 같이 블록(30)에 대해 기판의 정렬이 완료되면 가열수단을 이용하여 블록과 기판을 가열하여 기판(100)을 연화시킨다. 상기 기판(100)은 별도의 가열수단을 이용하여 연화시킨 상태에서 상기 블록(30)의 상면에 올려놓으면 기판(100)을 연화시키기 위한 시간을 단축할 수 있다.

상기와 같이 블록(30)에 기판(100)이 연화되면, 상기 제1벨브(44)를 열고 제2밸브(45)을 닫은 상태에서 제1펌프(41)을 구동시켜 상기 각 격벽형성홈(31)에 진공압이 가하여 지도록 한다. 그리고 상기 가압수단(60)의 액튜에이터(62)를 작동시켜 이의 로드에 설치된 가압판(61)이 연화된 기판(100)을 블록(30) 측으로 가압된다. 이와 같이 하면 상기 연화된 기판(100)은 변형되면서 하면의 일부 또는 기판에 형성된 격벽층이 격벽형성홈(31)으로 인입되어 격벽이 형성된다.

격벽의 형성이 완료되면 상기 제1밸브(44)을 차단하고 제2밸브(45)을 연다.그리고 제2펌프(42)을 가동시켜 상기 각 관통공(31)에 대기압 이상의 압력을 가하여 격벽형성홈(31)에 인입된 기판(100)의 격벽이 관통공으로부터 이탈되도록 함으로써 상기 블록(30)에 대해 기판(100)을 분리한다. 상기와 같이 기판이 성형되는 과정에서 격벽의 높이는 격벽형성홈의 깊이가 격벽의 높이로 한정되어 있는 경우 격벽형성홈에 의해 결정되고, 격벽형성홈에 의해 그 높이가 한정되어 있지 않은 경우에는 상기 가압수단에 의해 가압력에 의해 격벽의 높이를 조절할 수 있다.

격벽이 형성되어 블록(30)으로부터 기판(100)이 분리되면 이 기판(100)을 냉각시켜 경화시키거나 소성시켜 경화시킨다.

상기 도 5에 도시된 바와 같이 몰드를 이용하여 격벽을 형성하는 경우에는 기판의 격벽층의 상면에 몰드를 밀착시킨 후 가압하여 격벽층의 일부가 상기 격벽형성홈에 인입되도록 하여 격벽을 형성하고 기판과 몰드를 분리한 후 경화시킨다.

이상에서와 같이 본 발명에 따른 플라즈마 표시소자의 격벽 제조방법 및 그 장치는 다음과 같은 효과를 가진다.

첫째: 복잡한 격벽구조를 가진 기판의 대량 생산이 가능하다.

둘째; 격벽의 높이를 임으로 조정할 수 있다.

셋째;종래 인쇄법에 비하여 그 공정을 단축할 수 있다.

넷째; 동일한 패턴을 적층하여 형성하지 않게 되므로 종래와 같이 마스크와 기판의 얼라인 불량에 의해 불량품의 발생을 근본적으로 줄일 수 있다.

다섯째;연마시 격벽부재의 미립자가 주위로 비산되어 주위의 환경을 오염시키는 것을 방지할 수 있다.

본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본원 발명의 기술적 범위내에서 당업자에 의해 다양한 실시예로 변형가능함은 물론이다.

Claims

기판의 일측면에 소정패턴의 격벽을 형성하는 플라즈마 표시소자의 격벽 제조방법에 있어서,

판상의 기판을 제조하는 기판제조단계와,

형성하고자하는 격벽 패턴과 동일한 패턴이며, 형성하고자 하는 격벽의 높이보다 깊게 형성된 격벽 형성홈을 블록에 형성하는 블록제조단계와,

상기 격벽형성홈이 형성된 블록 또는 기판을 가열하여 연화시키면서 상기 블록을 상기 기판에 밀착시키는 가압단계와,

상기 기판과 블록을 적어도 일측으로부터 상호 대향되는 방향으로 가압하여 기판의 일측면이 상기 격벽형성홈에 몰입되도록 하여 격벽을 형성하는 격벽형성단계와,

상기 블록과 기판을 분리하는 분리단계를 포함하여 된 것을 특징으로 플라즈마 표시소자의 격벽제조방법.
제1항에 있어서, 상기 가압단계는 기판과 블록의 상호대향 되는 방향으로의 가압시 상기 격벽형성홈에 진공압을 가하여 연화된 격벽이 격벽형성홈에 몰입되도록 하는 단계를 더 포함하여 된 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시소자의 격벽 제조방법.
제1항에 있어서, 상기 분리단계는 기판과 블록의 분리시 상기 격벽형성홈에 압력을 가하여 이 압력에 의해 격벽이 블록의 격벽형성홈으로부터 분리되도록 하는 단계를 더 포함하여 된 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시소자의 격벽 제조방법.
제1항, 제2항 또는 제3항중 어느 한 항에 있어서, 상기 기판을 제조하는 단계가 판부재에 어드레스 전극을 형성하는 단계와, 상기 어드레스 전극이 형성된 판부재의 상면에 격벽층을 형성하는 단계를 포함하여 된 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시소자의 제조방법.
제1항에 있어서, 상기 블록과 기판을정렬하는정렬단계를 더 포함하여 된 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시소자의 격벽제조방법.
기판의 일측면에 소정패턴의 격벽을 형성하는 플라즈마 표시소자의 격벽 제조방법에 있어서,

판부재의 상면에 격벽재에 의해 형성된 격벽층을 갖는 기판을 제조하는 기판제조단계와,

형성하고자하는 격벽 패턴과 동일한 패턴이며, 형성하고자 하는 격벽의 높이보다 깊게 형성된 격벽 형성홈을 블록에 형성하는 블록제조단계와,

상기 격벽형성홈이 형성된 블록 또는 기판을 가열하여 연화시키면서 상기 블록을 상기 기판에 밀착시키는 가압단계와,

상기 기판과 블록을 적어도 일측으로부터 상호 대향되는 방향으로 가압하여 상기 격벽층이 상기 격벽형성홈에 몰입되도록 하여 격벽을 형성하는 격벽형성단계와,

상기 블록과 기판을 분리하는 분리단계와,

상기 격벽의 패턴의 형성이 완료된 격벽층을 소성하여 경화시키는 경화단계를 포함하여 된 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시소자의 격벽제조방법.
제6항에 있어서, 상기 격벽재가 가진 세라믹과 유리재의 혼합으로 이루어진 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시소자의 격벽제조방법.
기판의 일측면에 소정패턴의 격벽을 형성하는 플라즈마 표시소자의 격벽 제조장치에 있어서,

상기 격벽의 패턴과 동일한 패턴의 격벽형성홈이 형성되며 일측에 상기 각 격벽형성홈과 연결통로가 형성된 블록과,

상기 연결통로에 연결되어 소정의 압력을 가하는 압력 공급수단과,

상기 블록의 상부에 설치되어 이 블록에 장착되는 기판을 가압하는 가압수단을 포함하여 된 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시소자의 격벽 제조장치.
제8항에 있어서, 상기 블록에 이 블록을 가열하여 기판을 연화시키기 위한 가열수단이 설치된 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시소자의 격벽 제조장치.
제8항에 있어서, 상기 가압수단은 하면이 평활면을 가지는 가압판과 이 가압판을 승강시키는 액튜에이터를 포함하여 된 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시소자의 격벽 제조장치.
제8항 또는 제10항중 어느 한항에 있어서,

상기 압력공급수단은 상기 연결통로와 연결되는 접속관에 의해 진공압을 공급하는 제1펌프와 대기압 이상의 압력을 공급하는 제2펌프와, 상기 접속관에 설치되어 압력의 공급을 단속하는 복수개의 밸브를 포함하여 된 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시소자의 격벽 제조장치.
제8항에 있어서, 블록의 상면과 관통공의 내주면에 세라믹 또는 테프론으로 코팅된 코팅막이 형성된 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시소자의 격벽 제조장치.
제8항에 있어서, 블록에 형성된 격벽형성홈의 깊이가 상기 기판에 형성하고자하는 벽의 높이와 동일하게 형성된 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시소자의 격벽제조장치.
제8항에 있어서, 블록에 형성된 격벽형성홈의 깊이가 상기 기판에 형성하고자하는 벽의 높이보다 깊게 형성된 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시소자의 격벽제조장치.
제19항에 있어서, 상기 기판은 판부재와, 상기 판부재의 상면에 소정의 패턴으로 형성된 어드레스 전극층과, 상기 어드레스 전극층이 형성된 판부재의 상면에 형성되는 격벽층을 포함하여 된 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시소자의 제조장치.
제8항, 제9항 또는 제10항중 어느한항에 있어서,

상기 블록과 기판에 상기 블록에 대해 기판을정렬하기 위한정렬수단을 더 포함하여 된 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시조자의 격벽 제조장치.
제16항에 있어서, 상기정렬수단은 기판과 블록의 상호 대향되는 면에 형성된 마크를 포함하여 된 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시소자의 격벽제조장치.
제16항에 있어서, 상기 정렬수단은, 기판에 형성된 어드레스 전극과 블록 사이의 정전용량을 측정하여 정전용량의 최대점에서정렬상태를 나타내는 정전용량 측정기를 포함하여 된 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시소자의 격벽제조장치.
제8항, 제9항 및 제12항중 어느한 항에 있어서, 블록은 기판과 열팽창율이 같은 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시소자의 격벽제조장치.
기판에 격벽층에 소정패턴의 격벽을 형성하는 플라즈마 표시소자의 격벽 제조장치에 있어서,

상기 격벽 패턴과 동일한 패턴의 격벽형성홈이 일측면에 형성되어 기판에 대한 가압시 격벽형성홈에 격벽층의 일부가 몰입되도록 하여 격벽을 형성하는 몰드를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시소자의 격벽제조장치.
제1항에 있어서,

상기 몰드는 외주면에 격벽형성홈이 형성된 드럼형으로 형성된 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시소자의 격벽제조장치.
제20항 또는 제21항중 어느 한항에 있어서, 몰드의 표면에 세라믹 또는 테프론으로 코팅된 코팅막이 형성된 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시소자의 격벽 제조장치