KR100334229B1 - 보정형 진자식 가속도계 - Google Patents

Abstract

보정형 진자식 가속도계는 본체와, 본체 내에 위치하며, 단결정 실리콘으로 된 얇은 판으로 만들어지고, 굴성 플렉셔와 연결된 진자판 및 돌출부를 갖춘 지지 프레임을 구비한 진자 조립체를 포함한다. 두 개의 마그네트 홀더는 지지 프레임의 양쪽 돌출부와 맞닿게 배치된다. 두 개의 자석 시스템은 해당 마그네트 홀더 내에 각각 부착된다. 두 개의 토커 코일은 해당 자로의 틈 사이에 위치하면서 진자판에 부착된다. 굴성 플렉셔는 진자 조립체의 대칭축을 기준으로 서로 90°로 배치된 두 개 이상의 굴성 부재로 이루어진다. 마그네트 홀더는 자석 시스템의 외표면을 둘러싸는 날개 달린 원통 모양으로 되어 있고, 마그네트 홀더의 법면은 양쪽에 돌출부를 갖춘 지지 프레임과 접촉한 상태에서 정렬되고, 진자 조립체 방향의 자로의 법면과 공동면을 이룬다.

Description

보정형 진자식 가속도계{COMPENSATION PENDULOUS ACCELEROMETER}

본 발명은 가속도 측정장치에 관한 것으로, 특히 가속도에 반응하는 이동식 민감 소자가 네거티브 피드백 시스템에 의해 중립 위치에 놓이는 보상형 진자식 가속도계에 관한 것이다.

가속도계는 공지되어 있다. 예를 들어 미국 특허 제 3702073 호에는 몸체와, 몸체 내에 배열된 민감 소자와, 두 개의 자석 시스템으로 된 전자기 토커로 구성된 가속도계가 개시되어 있다. 가속도계의 진자 조립체는 석영을 식각하여 만든 단일판으로 되어 있고, 지지 프레임 형태로 된 고정부와, 평면에 나란하게 배치되고 테이퍼 형태로 경사진 두 개의 굴성 커넥터에 의해 고정부에 연결되는 진자판 형태로 된 이동부를 포함하고 있다. 진자판의 양쪽은 금속 코팅이 되어 진자판의 양쪽에서 자석 시스템의 내표면과 함께 커패시터를 형성한다. 커패시턴스 픽오프의 틈(가스 댐퍼의 틈)은 지지 프레임의 양쪽에 배치된 동일한 높이의 세 개의 돌출부에 의해 형성된다.

단결정 실리콘을 사용하면 가속도계의 측정 정확도를 손상시킴이 없이 기술적인 장점을 제공하면서도 노동력의 투입이 줄어들게 되어 가속도계의 제조비용이절감된다는 사실이 알려져 있다.

종래의 가속도계가 갖고 있는 중대한 결함은 진자 조립체의 재료로 용융 석영 대신에 단결정 실리콘을 사용할 수 없다는데 있다. 그러나, 실리콘은 절연체가 아니어서 절연층을 생성하기 위해서는 산화가 요구되기 때문에 실리콘으로 된 진자 조립체를 사용하는 것 역시 불가능하다. 산화에 의해서는 소정의 두께를 갖는 절연층을 얻을 수 없기 때문에, 실리콘의 산화된 표면 위에 놓인 전극과 진자 조립체 사이의 커패시턴스는 커지게 되며, 이들 커패시턴스는 픽오프의 작업 커패시턴스를 션트(shunt)시킴으로써, 가속도계의 정상적인 기능을 기대할 수가 없다.

구소련 발명자증 제 1679395 호에 개시된 장치는 제안된 가속도계에 가장 유사하다.

이 가속도계 또한 본체와, 민감 소자와, 두 개의 자석 시스템으로 된 전자기 토커로 구성되어 있다. 진자 조립체는 진자판과, 돌출부를 갖춘 지지 프레임과, 평면에 나란히 배치된 두 개의 굴성 커넥터를 갖추고 있다. 이들 요소는 모두 단결정 실리콘으로 된 얇은 판으로 만들어져 있다.

진자 조립체의 진자판은 차동 픽오프의 이동 전극인 반면에, 고정 전극은 중간 절연 링 위에 배치된다. 중간 절연 링은 진자 조립체와 전자기 토커의 자석 시스템의 진자 조립체를 향하는 표면 사이에 배열되어 있다.

이러한 구성을 취하면 실리콘 진자 조립체를 사용할 수 있다.

그러나, 진자 조립체와 토커의 자석 시스템 사이에 절연 링을 배열하게 되면 감도 축 방향으로 가속도계의 치수가 증가할 뿐만 아니라, 진자 조립체의 중심으로부터 소정 거리를 두고 진자판 위에 부착된 코일을 제거할 필요가 있기 때문에 신뢰도가 감소하게 된다.

더욱이, 종래의 경우와 같이 진자 조립체 내에 플렉셔를 배열하여서는 가속도계의 감도 축에 수직하는 방향으로 가속도계의 치수를 줄일 수가 없다.

충격 보호 수단은 가속도계의 감도 축에 수직하는 방향으로 제공되어 있지 않다.

본 발명의 목적은 고정밀도를 갖추고 있으면서도 크기는 기존의 것과 비교하여 같거나 더 작으면서 더욱 향상된 내진 특성을 갖는 보정형 진자식 가속도계를 제공하는 것이다.

이러한 목적은 본체와, 상기 본체 내에 위치하며, 단결정 실리콘으로 된 얇은 판으로 만들어지고, 굴성 플렉와 연결된 진자판 및 양쪽에 위치 고정을 위한 돌출부를 갖춘 지지 프레임을 구비한 진자 조립체와, 지지 프레임의 양쪽 돌출부와 맞닿아 있는 두개의 마그네트 홀더와, 자로, 영구 자석 및 마그네트 캡을 각각 구비하며, 해당 마그네트 홀더 내에 각각 부착된 두 개의 자석 시스템과, 해당 자로의 틈 사이에 위치하면서 진자판에 부착된 토커 코일로 구성된 보정형 진자식 가속도계에 있어서, 굴성 플렉셔는 진자 조립체의 대칭축을 기준으로 서로 90°로 배치된 두 개 이상의 굴성 부재로 이루어지고, 마그네트 홀더는 자석 시스템의 외부 표면을 둘러싸는 날개 달린 원통 모양으로 되어 있고, 마그네트 홀더의 법면은 양쪽에 돌출부를 가지고 있는 지지 프레임과 접촉한 상태에서 정렬되고, 진자 조립체방향의 자로의 법면과 공동면을 이루며, 상기 가속도계는 진자 조립체에 자석 시스템을 고정하는 장치를 또한 구비하며, 이 고정 장치는 진자 조립체 및 각각의 마그네트 홀더 위에 놓인 것을 특징으로 하는 보정형 진자식 가속도계에 의해 달성된다.

가속도계는 진자 조립체 고정을 위해 마그네트 홀더 중 하나를 본체에 견고하게 결합시키는 역할을 하는 하부 고정링을 구비하는 것이 바람직하다.

진자 조립체에 자석 시스템을 고정하는 장치는 자석 시스템을 내포한 각 마그네트 홀더의 외경 표면을 기준으로 내경 표면이 접촉되는 감지부 홀더와, 감지부 홀더의 내경 표면을 기준으로 외경 표면이 접촉되는 상부 고정링으로 구성되며, 감지부 홀더의 하부 지지판과 상부 고정링에 의해 진자 조립체와 두 개의 마그네트 홀더가 내부에 조립되고, 진자 조립체의 지지 프레임 양쪽에 부착된 상부 링 및 하부 링은 진자판 상의 토커 코일과 동심축을 이루며, 각 링은 날개 달린 원통 모양의 해당 마그네트 홀더를 둘러싸고 있고, 그 중 하부 링은 해당 마그네트 홀더와 틈 없이 고정되고, 상부 링은 해당 마그네트 홀더와 틈이 있게 고정되는 것이 바람직하다.

감지부 홀더와 상부 고정링은 전도성 자재로 만들어지며, 상기 가속도계는 한쪽 면이 코팅되어 있는 두 개의 단자판을 또한 구비하며, 상기 단자판의 절연면은 해당 자로의 외부 측면에 부착되고, 금속 코팅면은 감지부 홀더 및 상부 고정링과 연결되어 정전 차단판을 형성하는 것이 바람직하다.

두 개의 굴성 부재가 서로 90°의 각을 형성하며, 그 꼭지각이 진자판에 위치하는 것이 바람직하다.

두 개의 굴성 부재가 서로 90°의 각을 형성하며, 그 꼭지각이 지지 프레임에 위치하는 것이 바람직하다.

가속도계는 두 개의 굴성 부재를 추가로 포함하여 4 개의 굴성 부재로 된 굴성 플렉셔를 구비하며, 이 굴성 플렉셔의 4 개의 굴성 부재가 정사각형을 이루는 것이 바람직하다.

진자 조립체의 대칭축을 기준으로 지지 프레임의 좌측 또는 우측, 즉 굴성 플렉셔 연결점과 지지 프레임상의 돌출부 사이 중 연결점과 가까운 부위에 플렉셔의 표면장력을 해소하기 위한 홈이 형성되는 것이 바람직하다.

상부 링 및 하부 링은 규소, 석영, 유리 등의 소재로 만들어지거나, 규소의 열팽창율에 근사한 열팽창율을 갖는 소재로 만들어지는 것이 바람직하다.

토커 코일은 중앙에 원통형 구멍이 뚫린 절연 와셔에 의해 진자판에 부착되며, 자석 시스템의 마그네트 캡의, 진자 조립체쪽을 향한, 중앙에는 원통형 돌출부가 있고, 이 돌출부는 절연 와셔의 중심 구멍에 틈이 있게 들어가며, 돌출부의 외경과 절연 와셔의 내경 사이의 틈은 토커 코일과 자석 시스템 사이의 틈보다 훨씬 작은 것이 바람직하다.

토커 코일 부착을 위한 절연 와셔는 절연재로 만들어져 있고, 코일의 전기적 연결을 위한 단자를 구비하는 것이 바람직하다.

도 1은 본 발명에 따른 보정형 진자식 가속도계의 종단면도이다.

도 2는 본 발명에 따른 진자 조립체의 부분 단면도이다.

도 3은 본 발명에 따른 진자 조립체에 자석 시스템을 고정하는 장치를 보인 도면이다.

도 4는 본 발명에 따른 진자 조립체의 부분 단면도이다.

도 5는 본 발명에 따른 감지부 홀더 및 상부 고정링을 보인 도면이다.

도 6은 본 발명에 따른 진자 조립체의 변형예의 부분 단면도이다.

도 7은 본 발명에 따른 진자 조립체의 또다른 변형예의 부분 단면도이다.

도 8은 본 발명에 따른 진자 조립체의 다른 변형예의 부분 단면도이다.

도 9는 본 발명에 따른 자석 시스템의 마그네트 캡을 보인 도면이다.

도 10은 본 발명에 따른 진자 조립체의 진자판과 토커 코일 사이에 놓인 절연 와셔를 보인 도면이다.

** 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 **

1: 본체 2: 진자 조립체

3: 진자판 4: 굴성 플렉셔

5: 지지 프레임 6: 돌출부

7, 8: 마그네트 홀더 9, 10: 자석 시스템

11, 12: 자로 13, 14: 영구 자석

15, 16: 마그네트 캡 21, 22; 토커 코일

이하 첨부도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다.

도 1에 도시한 바와 같이, 보정형 진자식 가속도계는 본체(1)와 그 내부에 설치된 진자 조립체(2)로 이루어져 있다. 진자 조립체(2)는 단결정 실리콘으로 된 얇은 판으로 만들어졌다. 진자 조립체(2)는 진자판(3)과, 진자판을 연결하는 굴성 플렉셔(4)와, 지지 프레임(5)을 포함하고 있다. 지지 프레임(5)은 양쪽에 위치 고정을 위한 돌출부(6)를 갖추고 있다.

지지 프레임(5) 양쪽의 돌출부(6)에는 2개의 마그네트 홀더(7)(8)가 접촉되어 있다. 가속도계는 두개의 자석 시스템(9)(10)을 갖추고 있는데, 이들 자석 시스템은 자로(11)(12)와, 영구 자석(13)(14)과, 마그네트 캡(15)(16)을 각각 포함하고 있다. 자로(11)(12)는 각각 부재(17)(18)와 부재(19)(20)로 구성되어 있다. 자석 시스템(9)은 마그네트 홀더(7)에 부착되어 있고, 자석 시스템(10)은 마그네트 홀더(8)에 부착되어 있다. 진자 조립체(2)와 자로(11)(12)는 가속도계의 재평형회로에 연결되어 있다 (도 1에는 도시되지 않음).

두개의 토커 코일(21)(22)은 진자판(3)에 부착되어 있으며, 자석 시스템(9)(10)의 자로의 틈 사이에 위치하고 있다.

도 2에 도시된 굴성 플렉셔(4)는 2개 이상의 굴성 부재(23)로 이루어지며, 이들 굴성 부재는 진자 조립체(2)의 플렉셔 축(y-y)을 기준으로 대칭인 위치에서 서로 90°를 이루고 있다.

마그네트 홀더(7)(8)(도 1)는 각각 날개가 달린 원통 모양으로 되어 있으며, 자석 시스템(9)(10)의 자로(11)(12)를 구성하는 부재(17)(18)의 외표면을 둘러싸고 있다. 양면에 돌출부(6)를 갖춘 진자 조립체(2)의 지지 프레임(5)은 진자 조립체를향한 자로(11)(12)의 법면 그리고 마그네트 홀더의 법면과 공동면을 이루어 정렬된다.

가속도계는 진자 조립체(2)를 사이에 두고 두개의 자석 시스템(9)(10)을 고정하는 고정장치(24)를 갖추고 있다. 이 고정장치(24)는 진자 조립체(2)와 각각의 마그네트 홀더(7)(8)를 담고 있는 모습을 하고 있다.

가속도계는 본체(1)에 대해 진자 조립체(2)의 고정을 돕는 하부 고정링(25)을 또한 갖추고 있으며, 마그네트 홀더(8)는 이 하부 고정링(25)과 견고하게 연결되어 있다.

진자 조립체에 자석 시스템을 고정하는 고정장치(24)(도 3)는 감지부 홀더(26)와 상부 고정링(27)을 갖추고 있다. 감지부 홀더(26)의 원통 내표면은 마그네트 홀더(7)(8) 각각의 원통 외표면과 접촉하고, 상부 고정링(27)의 원통 외표면은 감지부 홀더(26)의 원통 내표면과 접촉한다. 마그네트 홀더(7)(8)와 진자 조립체(2)는 감지부 홀더(26)의 하부 내표면에 있는 하부 지지판(28)과 상부 고정링(27) 사이에 놓인 채 압착된다.

두 개의 링, 즉 상부 링(29) 및 하부 링(30)은 지지 프레임(5) 양쪽에 토커 코일(21)(22)과 동심으로 조립되어 있다(도 3에는 코일이 도시되지 않음). 두 개의 링(29)(30)은 해당 마그네트 홀더(7)(8)를 둘러싸고 있으며, 하부 링(30)은 홀더(8)와 틈 없이, 그리고 상부 링(29)은 홀더(7)와 약간의 틈을 두고 결합된다. 링(29)(30)은 각각 지지 프레임(5)의 돌출부(6)와 접촉하고 있다(도 4).

감지부 홀더(26)(도 5)와 상부 고정링(27)은 전도성 자재로 만들어져 있다.

가속도계는 두 개의 단자판(31)(32)을 갖추고 있는데, 단자판(31)(32)의 한쪽 표면은 금속 코팅되어 있고, 단자판(31)(32)의 코팅이 되지 않은 반대쪽 표면은 자적 시스템(9)(10)의 하부 바깥면에 부착된다(도 5에는 도시되지 않음). 단자판(31)(32)의 금속 코팅면은 도선(33)(34)을 통해 감지부 홀더(26) 및 상부 고정링(27)에 연결되어 정전 차단막을 형성한다.

두 개의 굴성 부재(23) 사이에 90°를 이루는 꼭지각은 진자판(3) 위에 위치하고 있다(도 2). 이에 대한 변형으로서, 두 개의 굴성 부재(23) 사이에 90°를 이루는 꼭지각이 지지 프레임(5) 위에 위치할 수도 있다(도 6).

또다른 변형도 가능한데, 굴성 플렉셔(4)(도 7)가 추가로 두 개의 굴성 부재(35)를 구비할 수도 있다. 이 때 굴성 플렉셔(4)의 4 개의 굴성 부재(23)(35)는 정사각형 모양을 형성한다.

진자 조립체(2)에서 지지 프레임(5)의 대칭축(y-y)을 기준으로 좌측 또는 우측 프레임 상에 굴성 플렉셔(4)의 표면 장력을 해소하기 위하여 홈(36)이 형성되어 있다(도 8). 이 때 홈의 위치는 굴성 플렉셔(4)의 굴성 부재(23)가 지지 프레임으로부터 시작되는 연결점과 이로부터 가장 가까운 돌출부(6) 사이가 적절하다. 도 8에서는 홈(36)이 좌측에 형성되어 있다.

두 개의 링(29)(30)(도 4)은 규소, 석영, 유리 등의 소재로 만들어지거나, 규소의 열팽창율에 근사한 열팽창율을 갖는 소재로 만들어진다.

토커 코일(22)(도 9)은 중앙에 원통형 구멍(38)이 뚫린 절연 와셔(37)에 의해 진자판(3)에 부착되어 있다. 자석 시스템(10)의 마그네트 캡(16)의, 진자 조립체(2)쪽을 향한, 중앙에는 원통형 돌출부(39)가 있고, 이 돌출부는 절연 와셔(37)의 중심 구멍(38)에 틈이 있게 들어간다. 토커 코일(21)은 중앙에 원통형 구멍(41)이 뚫린 절연 와셔(40)에 의해 진자판(30)에 부착되어 있다. 진자 조립체(2)쪽을 향한 자석 시스템(9)의 마그네트 캡(15)에는 중앙에 원형 돌출부(42)가 있으며, 절연 와셔(40)의 중앙 구멍(41)에 틈이 있게 들어간다.

돌출부(39)의 외경과 절연 와셔(37)의 내경 사이의 틈은 토커 코일(22)의 외경과 자로(12)를 구성하는 부재(19) 사이의 틈보다 훨씬 작게 되어 있다.

토커 코일을 부착하기 위하여 사용된 절연 와셔(37)(40)(도 10)는 절연재로 만들어지며, 코일의 전기적 연결을 위한 단자(43)(44)를 구비하고 있다.

토커 코일(21)(22)은 서로 직렬로 연결되어 있으며, 가속도계 재평형회로 출력단과 전기적으로 연결되어 있다.

가속도계는 덮개(45)를 갖추고 있다(도 1).

보정형 진자식 가속도계의 작동 원리는 다음과 같다.

측정 방향 x-x를 따라 가속도 a가 발생하면, 진자판(3)과 그 위에 부착된 부재들로 구성된 민감 소자가 관성 모멘트 mla로 인하여 편향된다.

여기서, m은 민감 소자의 질량이고, l은 민감 소자의 질량 중심과 플렉셔의 z-z 축 사이의 거리(진자의 길이)이고, a는 x-x 방향의 가속도이다.

민감 소자의 편향은 이동 축전기인 진자 조립체(2)의 진자판(3)과 고정 축전기인 진자판 반대쪽의 자로(11)(12)의 표면 사이의 거리 변화를 유발하며, 이에 따라 두 축전기 사이의 정전 용량을 변화시킨다.

센서의 변위에 따른 정전 용량의 변화는 가속도계의 재평형회로에 의해 직류 로 바뀌고, 이 직류는 토커 코일(21)(22)로 보내어진다. 토커 코일에 전류가 흐름에 따라 민감 소자의 위치 보정이 발생하여, 민감 소자를 원래 위치로 되돌아오게 한다. 토커 코일에 흐르는 직류의 크기는 인가된 가속도 크기이다.

본 발명에 따른 보정형 진자식 가속도계는 고정밀도를 가지며, 크기는 기존의 것과 비교하여 같거나 더 작으면서도 더욱 향상된 내진 특성을 갖는다.

Claims (11)

1. 본체와, 상기 본체 내에 위치하며, 단결정 실리콘으로 된 얇은 판으로 만들어지고, 굴성 플렉셔와 연결된 진자판 및 양쪽에 위치 고정을 위한 돌출부를 갖춘 지지 프레임을 구비한 진자 조립체와, 지지 프레임의 양쪽 돌출부와 맞닿아 있는 두개의 마그네트 홀더와, 자로, 영구 자석 및 마그네트 캡을 각각 구비하며, 해당 마그네트 홀더 내에 각각 부착된 두 개의 자석 시스템과, 해당 자로의 틈 사이에 위치하면서 진자판에 부착된 토커 코일로 구성된 보정형 진자식 가속도계에 있어서,

   굴성 플렉셔는 진자 조립체의 대칭축을 기준으로 서로 90°로 배치된 두 개 이상의 굴성 부재로 이루어지고,

   마그네트 홀더는 자석 시스템의 외부 표면을 둘러싸는 날개 달린 원통 모양으로 되어 있고, 마그네트 홀더의 법면은 양쪽에 돌출부를 가지고 있는 지지 프레임과 접촉한 상태에서 정렬되고, 진자 조립체 방향의 자로의 법면과 공동면을 이루며,

   상기 가속도계는 진자 조립체에 자석 시스템을 고정하는 장치를 또한 구비하며, 이 고정 장치는 진자 조립체 및 각각의 마그네트 홀더 위에 놓인 것을 특징으로 하는 보정형 진자식 가속도계.
2. 제1항에 있어서, 진자 조립체 고정을 위해 마그네트 홀더 중 하나를 본체에견고하게 결합시키는 역할을 하는 하부 고정링을 갖춘 것을 특징으로 하는 보정형 진자식 가속도계.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 진자 조립체에 자석 시스템을 고정하는 장치는 자석 시스템을 내포한 각 마그네트 홀더의 외경 표면을 기준으로 내경 표면이 접촉되는 감지부 홀더와, 감지부 홀더의 내경 표면을 기준으로 외경 표면이 접촉되는 상부 고정링으로 구성되며, 감지부 홀더의 하부 지지판과 상부 고정링에 의해 진자 조립체와 두 개의 마그네트 홀더가 내부에 조립되고, 진자 조립체의 지지 프레임 양쪽에 부착된 상부 링 및 하부 링은 진자판 상의 토커 코일과 동심축을 이루며, 각 링은 날개 달린 원통 모양의 해당 마그네트 홀더를 둘러싸고 있고, 그 중 하부 링은 해당 마그네트 홀더와 틈 없이 고정되고, 상부 링은 해당 마그네트 홀더와 틈이 있게 고정된 것을 특징으로 하는 보정형 진자식 가속도계.
4. 제3항에 있어서, 감지부 홀더와 상부 고정링은 전도성 자재로 만들어지며, 상기 가속도계는 한쪽 면이 코팅되어 있는 두 개의 단자판을 또한 구비하며, 상기 단자판의 절연면은 해당 자로의 외부 측면에 부착되고, 금속 코팅면은 감지부 홀더 및 상부 고정링과 연결되어 정전 차단판을 형성하는 것을 특징으로 하는 보정형 진자식 가속도계.
5. 제1항에 있어서, 두 개의 굴성 부재가 서로 90°의 각을 형성하며, 그 꼭지각이 진자판에 위치하는 것을 특징으로 하는 보정형 진자식 가속도계.
6. 제1항에 있어서, 두 개의 굴성 부재가 서로 90°의 각을 형성하며, 그 꼭지각이 지지 프레임에 위치하는 것을 특징으로 하는 보정형 진자식 가속도계.
7. 제1항에 있어서, 두 개의 굴성 부재를 추가로 포함하여 4 개의 굴성 부재로 된 굴성 플렉셔를 구비하며, 이 굴성 플렉셔의 4 개의 굴성 부재가 정사각형을 이루는 것을 특징으로 하는 보정형 진자식 가속도계.
8. 제1항에 있어서, 진자 조립체의 대칭축을 기준으로 지지 프레임의 좌측 또는 우측, 즉 굴성 플렉셔 연결점과 지지 프레임상의 돌출부 사이 중 연결점과 가까운 부위에 플렉셔의 표면장력을 해소하기 위한 홈이 형성된 것을 특징으로 하는 보정형 진자식 가속도계.
9. 제3항에 있어서, 상부 링 및 하부 링은 규소, 석영, 유리 등의 소재로 만들어지거나, 규소의 열팽창율에 근사한 열팽창율을 갖는 소재로 만들어진 것을 특징으로 하는 보정형 진자식 가속도계.
10. 제1항에 있어서, 토커 코일은 중앙에 원통형 구멍이 뚫린 절연 와셔에 의해 진자판에 부착되며, 자석 시스템의 마그네트 캡의, 진자 조립체쪽을 향한, 중앙에는 원통형 돌출부가 있고, 이 돌출부는 절연 와셔의 중심 구멍에 틈이 있게 들어가며, 돌출부의 외경과 절연 와셔의 내경 사이의 틈은 토커 코일과 자석 시스템 사이의 틈보다 훨씬 작게 되어 있는 것을 특징으로 하는 보정형 진자식 가속도계.
11. 제10항에 있어서, 토커 코일 부착을 위한 절연 와셔는 절연재로 만들어져 있고, 코일의 전기적 연결을 위한 단자를 구비한 것을 특징으로 하는 보정형 진자식 가속도계.