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KR100324018B1 - Semiconductor memory and its multibit test method - Google Patents

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KR100324018B1
KR100324018B1 KR1019980061958A KR19980061958A KR100324018B1 KR 100324018 B1 KR100324018 B1 KR 100324018B1 KR 1019980061958 A KR1019980061958 A KR 1019980061958A KR 19980061958 A KR19980061958 A KR 19980061958A KR 100324018 B1 KR100324018 B1 KR 100324018B1
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박종섭
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Abstract

본 발명은 멀티비트 테스트를 수행하는 반도체 메모리에 관한 것으로, 본 발명에 의한 멀티비트 테스트가 이루어지는 반도체 메모리는, 데이터를 입력하여 라이트 데이터신호 및 멀티비트 테스트용 데이터신호를 각각 출력하는 데이터 입력버퍼와, 멀티비트 테스트 인에이블 신호의 입력에 응답하여 상기 라이트 데이터신호 또는 멀티비트 테스트용 데이터신호를 선택적으로 입력하여 데이터 입출력라인에 출력하는 라이트용 멀티플렉서와, 서로 인접한 4개의 칼럼어드레스를 갖는 셀들에 1:1로 매치시켜 데이터의 라이트를 가능하게 하는 4개의 DQ 핀을 구비하여, 인접 칼럼에 해당하는 셀과 DQ를 1:1로 매치하여 직접 제어 가능하도록 하여, 셀간 누설전류 및 장애현상에 효율적인 멀티비트 테스트가 이루어지고, 폴트 커버리지가 개선되면서 테스트타임을 단축하는 멀티비트 테스트가 이루어지는 메모리소자를 구현할 수 있는 효과가 있다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor memory for performing a multi-bit test, wherein the semiconductor memory in which the multi-bit test is performed comprises: a data input buffer for inputting data and outputting a write data signal and a multi-bit test data signal, respectively; A write multiplexer for selectively inputting the write data signal or the multi-bit test data signal in response to an input of a multi-bit test enable signal and outputting the write data signal to a data input / output line and one cell having four adjacent column addresses; Equipped with four DQ pins that allow data to be written by matching 1: 1, allowing direct control by matching DQ 1: 1 with cells corresponding to adjacent columns, enabling efficient multi-cell leakage current and fault Test time with bit testing and improved fault coverage There is an effect that can implement a memory device that is multi-bit test to reduce the time.

Description

반도체 메모리와 그의 멀티비트 테스트방법Semiconductor memory and its multibit test method

본 발명은 멀티비트 테스트(multi bit test)를 수행하는 반도체 메모리에 관한 것으로, 특히 셀간 누설전류(cell to cell leakage) 및 장애현상(disturbance)에 효율적인 멀티비트 테스트가 이루어지는 반도체 메모리와 그의 멀티비트 테스트방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor memory for performing a multi-bit test, and more particularly, to a semiconductor memory and a multi-bit test in which an efficient multi-bit test is performed against cell to cell leakage and disturbance. It is about a method.

다이나믹램(Dynamic RAM)과 같은 반도체 메모리소자의 경우에는 데이터의 리드(read) 및 라이트(write) 동작이 정확하게 이루어져야 하는데, 이를 위해서는 칩상(on chip)에 하나의 페일(fail)도 존재해서는 안 된다. 그러나 초고집적화 되고 있는 추세에 따라 하나의 칩에 집적되는 셀(cell)의 수가 수천 만개 이상으로 되어감에 따라 제조공정의 발달에도 불구하고 그 페일의 존재 가능성은 상대적으로 더욱 크다고 할 수 있다. 만일 이러한 페일에 대하여 정확한 테스트가 이루어지지 않는다면 반도체 메모리소자로서의 신뢰성을 확보할 수 없게 된다.In the case of a semiconductor memory device such as a dynamic RAM, data read and write operations must be precisely performed. For this purpose, a single fail on a chip must not exist. . However, as the number of cells integrated in a single chip increases to more than tens of millions due to the trend of ultra high integration, the possibility of the failing is relatively higher despite the development of the manufacturing process. If such a fail is not accurately tested, reliability as a semiconductor memory device cannot be secured.

그래서 소자 테스트 기술도 많이 진보되어 왔다. 특히 소자 테스트 기술은 신뢰성 있게 테스트하는 것도 중요하지만, 수천만 개의 셀에 대하여 고속으로 테스트 가능하여야 한다. 특히 반도체 메모리소자의 개발기간의 단축과 아울러 제품출하까지 테스트시간의 단축여부가 곧 바로 제품 비용(cost)에 영향을 미치기 때문에 테스트타임의 단축은 생산의 효율성 및 제조업체간의 경쟁에서 매우 중요한 이슈로 작용하고 있다. 그래서 테스트타임의 단축을 위해 병렬 테스트기술이 제안되었으며, 이로부터 멀티 비트 테스트가 가능하게 되었다.Therefore, device test technology has advanced a lot. In particular, device test technology is important to reliably test, but it must be able to test tens of millions of cells at high speed. In particular, shortening the development time of semiconductor memory devices and shortening of test time until shipment of the product directly affects the cost of the product. Therefore, shortening the test time is a very important issue in production efficiency and competition among manufacturers. Doing. Therefore, parallel test technology has been proposed to reduce test time, and multi-bit test is possible from this.

이를 상세히 살피면 다음과 같다.If you look at this in detail as follows.

첨부된 도 1은 64M 다이나믹램(Dynamic RAM)의 블록(block)다이아그램을 도시하고 있다. 도 1에서 512개의 로우(row)와 256개의 칼럼(column)으로 이루어지는 블록 8개가 모여 1M 블록을 형성하고, 이러한 1M 블록 16개가 모여 16M 블록을 이루며, 상기 16M 블록 4개가 모여 64M를 구성하는 것을 보여준다.The accompanying Figure 1 shows a block diagram of a 64M dynamic RAM. In FIG. 1, eight blocks consisting of 512 rows and 256 columns are combined to form a 1M block, and 16 of these 1M blocks are combined to form a 16M block, and the four 16M blocks are combined to form 64M. Shows.

도 2는 64M 다이나믹램의 글로벌(global) I/O 라인 방식을 나타내는 것으로, 블록어드레스(block address) AY11과 12에 의해 좌측 32M 블록이 8M 블록씩 나뉘어진다. 그리고 AX12에 의해 8M 블록은 아래 및 위 4M 블록으로, 아울러 AY7에 의해 좌, 우 4M 블록으로 다시 나뉘어진다. 또한 AY89에 의해 하나의 칼럼에 묶여 있는 인접 셀 4개에 대한 데이터가 구분되어 나온다. 16M 블록 하나에는 글로벌 데이터버스센스앰프인 GDB S/A와 라이트 드라이버(write driver) 한 쌍(pair)이 32개가 달려 좌측 32M 블록에서는 64개가 I/O 라인(rwd 라인) 16개에 연결되어 있다. 64개의 GDB라인이 16개의 I/O 하나에 4개씩 묶여 있지만, 각각의 경우에 따라 블록어드레스에 의해 제어(control)를 받아 데이터의 충돌(contension)이 일어나지 않게 되어 있다. rwd0-ll과 rwd0-lr은 AY10에 의해 나뉘어지는 8M 블록 각각에서 오는 데이터로 이 한 쌍이 DQ0에 해당된다. 좌측 16개의 rwd 라인은 8개의 각 DQ의 Read MUX로 가서 8개의 RDO라인을 만들고, 8개의 RDO라인은 8개의 DQ에 연결되어 있다. 마찬가지로 우측 32M 블록도 좌측과 동일한 구조로 이루어져 있다.FIG. 2 illustrates a global I / O line method of 64M dynamic RAM, in which the left 32M blocks are divided by 8M blocks by block addresses AY11 and 12. The 8M block is divided into 4M blocks by the AX12 and the 4M blocks by the AY7. In addition, data for four adjacent cells bound to one column by AY89 is divided. In the 16M block, there are 32 GDB S / A, global data bus sense amplifiers, and 32 write driver pairs. In the left 32M block, 64 are connected to 16 I / O lines (rwd lines). . Although 64 GDB lines are grouped four by one in 16 I / O, in each case, they are controlled by the block address so that no data collision occurs. rwd0-ll and rwd0-lr are data from each of the 8M blocks divided by AY10, and this pair corresponds to DQ0. The left 16 rwd lines go to the Read MUX of each of the eight DQs, creating eight RDO lines, and the eight RDO lines are connected to eight DQs. Similarly, the right 32M block has the same structure as the left.

한편 이렇게 구조가 복잡하게 얽혀 있는 이유는 노멀(normal) 8K 리프레쉬(refresh), 4K 리프레쉬 사이클(cycle)에 따라 x4, x8, x16 모드(mode)와 병렬테스트(parallel test) 모드 8K 리프레쉬, 4K 리프레쉬 사이클에 따라 x4, x8, x16 모드의 조합을 만족시켜야 하기 때문이다. 좌측 16개의 rwd라인은 16개의 DQ 패드 중 좌측 0,1,2,3,4,5,6,7의 각 DQ의 리드용 멀티플렉서 READ MUX와 라이트용 멀티플렉서 WRITE MUX에 연결되어 x4, x8, x16에 맞게 데이터를 분기하여 DC신호인x16, x8, x4에 의해 압축(compress)된 데이터 입력버퍼, 데이터 출력버퍼를 통하여 x16일 때는 DQ 16개를 모두 사용하고, x8일 때는 DQ 0,2,4,6,9,11,13,15 8개를 x4일 때는 DQ 0, 4, 11, 15 4개로 데이터를 넣고 뺄 수 있다.On the other hand, the structure is complicated by normal 8K refresh, 4K refresh cycle, 4K x8, x16 mode and parallel test mode 8K refresh, 4K refresh. This is because the combination of x4, x8, and x16 modes must be satisfied according to the cycle. The left 16 rwd lines are connected to the read multiplexer READ MUX and the light multiplexer WRITE MUX of each of the DQs on the left 0,1,2,3,4,5,6,7 of the 16 DQ pads, and are connected to x4, x8, x16. Data input buffer compressed by DC signal x16, x8, x4 and data output buffer are used to branch all the data, so all 16 DQs are used at x16 and DQ 0,2,4 at x8. If 8,6,9,11,13,15 is x4, data can be inserted and subtracted into 4 of DQ 0, 4, 11, 15.

도 3은 64M DRAM의 DQ0∼3의 I/O MUX 구조를 나타내고 있다. 도 3에서 16개의 DQ는 4개씩 한 단위로 묶여 MUX 구조를 이룬다. rwd0∼3 4쌍은 4개의 MUX(WMUX)와 8개의 Read MUX(RMUX), 그리고 4개의 XOR(parallel test용)에 연결되어 있다. 그래서 라이트 할 때는 압축(compress)되는 데이터 입력버퍼(Din Buffer) Din0∼3를 통해 x16, x8, x4에 따라 디코딩되어 WMUX로 입력되어 블록어드레스 gax12, gay89, gayab에 따라 선택되어 rwd라인에 실리고 이는 다시 도 2의 글로벌 I/O scheme에 따라 라이트 드라이버(WD-Driver)에 의해 각 셀 블록(cell block)으로 가서 셀에 라이트 된다.(이때 WMUX의 출력은 AY10, AY10B 블록으로 나뉘어지기 때문에 2개이다) 그리고 각 셀블럭에서 나온 데이터는 글로벌 I/O scheme에 따라 rwd 라인에 실려 RMUX의 입력으로 들어와 블록 어드레스 gax12, gay89, gayab에 선택되어 압축되는 데이터출력버퍼를 통해 리드된다. 반면 병렬테스트는 x32 모드로 동작하는데, 좌/우측 rwd라인 32개에 데이터가 모두 실린다. 한쌍의 rwd라인은 AY10, AY10B 블록에서 온 데이터로 XOR에서 비교된다. 도 3과 같이 4개의 XOR가 한 묶음이 되어 x16일 때는 각각의 XOR에서 한 쌍씩의 rwd 라인을 비교하여 페일이면(서로 데이터가 다르면) 로직 "low"를 출력하고, 패스(pass)이면(서로 데이터가 같으면) 로직 "high"를 출력한다. 그리고 x8일 때는 XOR3에서 rwd3 한쌍의 비교된 데이터는 nor2-out을 통해 XOR2의 nand-in으로 들어와 XOR2의 rwd에서 비교된 데이터와 다시비교되어 rdo-test2를 통해 rdo2라인에 실려 데이터출력버퍼 2로 나가고, XOR1에서 rwd1 한 쌍의 비교된 데이터는 nor1-out을 통해 XOR0의 nor-in으로 들어와 XOR0의 rwd0에서 비교된 데이터와 비교되어 rdo-test0를 통해 rdo0 라인에 실려 데이터출력버퍼 Dout0로 나간다. 한편 x4일 때는 XOR3에서 rwd3 한쌍의 비교된 데이터는 nor2-out을 통해 XOR2의 nand-in으로 들어와 rwd2 한 쌍의 비교된 데이터와 다시 비교되어 XOR0의 nand-in으로 가고, XOR1에서 rwd1 한 쌍의 비교된 데이터는 nor2-out을 통해 XOR0의 nor-in으로 들어온다. 그래서 XOR0에서는 rwd0 한 쌍의 비교된 데이터와 rwd1 한 쌍의 비교된 데이터를 비교하고 다시 rwd2, rwd3의 비교된 데이터와 다시 비교하여 패스면 로직 "high", 페일이면 로직 "low"를 출력하여 rdo-test0를 통해 rdo0 라인에 실려 데이터출력버퍼 Dout0로 나간다.Fig. 3 shows the I / O MUX structure of DQ0 to 3 of 64M DRAM. In FIG. 3, 16 DQs are grouped into 4 units to form a MUX structure. Four pairs of rwd0-3 are connected to four MUXs (WMUX), eight Read MUXs (RMUX), and four XORs (for parallel test). Therefore, when writing, it is decoded according to x16, x8 and x4 through the compressed data input buffer Din0 ~ 3 and input into WMUX and selected according to block address gax12, gay89, gayab and loaded on the rwd line. Again, according to the global I / O scheme of FIG. 2, each cell block is written to a cell by a write driver (WD-Driver). (The output of the WMUX is divided into two blocks, AY10 and AY10B. Data from each cell block is loaded on the rwd line according to the global I / O scheme and entered through the RMUX input and read through the data output buffer selected and compressed at the block addresses gax12, gay89, and gayab. Parallel test, on the other hand, runs in x32 mode, with all the data on the 32 left and right rwd lines. A pair of rwd lines are compared in XOR with data from AY10 and AY10B blocks. As shown in FIG. 3, when four XORs are bundled and x16, a pair of rwd lines are compared in each XOR to output a logic "low" if failing (if data is different) and pass (passing each other). Output the logic "high". And at x8, the paired data from xOR3 to rwd3 is entered into nand-in of XOR2 through nor2-out, and compared again with the data from rwd of XOR2, and loaded into line rdo2 via rdo-test2 to data output buffer 2. Exit and compare the paired data of rwd1 from XOR1 to nor-in of XOR0 through nor1-out and compare the data from rwd0 of XOR0 to be loaded on line rdo0 through rdo-test0 to the data output buffer Dout0. At x4, on the other hand, a pair of compared data from XOR3 to rwd3 enters nand-in of XOR2 via nor2-out, back to nand-in of XOR0, and goes back to nand-in of XOR0, and a pair of rwd1 at XOR1. The compared data comes into nor-in of XOR0 via nor2-out. Therefore, XOR0 compares the paired data of rwd0 and the paired data of rwd1 and compares the data of rwd2 and rwd3 again and outputs logic "high" for pass and logic "low" for fail. -test0 is loaded on the rdo0 line and exits to the data output buffer Dout0.

도 4는 XOR회로로 2개의 NOR게이트(2, 4)와 1개의 NAND게이트(6), 1개의 인버터(8)로 Exclusive-OR회로 즉, XOR회로를 구성하여 한 쌍의 rwd라인(rwd-10b, rwd-10)을 서로 비교하는 구성을 보여주고 있다. 이때 한 쌍의 rwd라인(rwd-10b, rwd-10)이 서로 같으면 로직 "low"가, 서로 다르면 로직 "high"가 출력된다. 그러나 DQ0에서는 nor-in="low", nand-in="high"로 고정되어 있어, 최종적으로 나가는 rd0는 패스면 "high", 페일이면 "low"가 출력된다. 이것은 데이터 출력버퍼로 출력될 때 같은 위상(phase)을 유지한다. 또한 입력으로 pt(parallel test)신호가 입력되고 있어서 병렬테스트가 될 때 XOR회로를 동작시키게 되어 있다.FIG. 4 is a pair of rwd lines (rwd-) by forming an exclusive-OR circuit, that is, an XOR circuit, using two NOR gates (2, 4), one NAND gate (6), and one inverter (8) as an XOR circuit. 10b, rwd-10) shows a comparison of each other. At this time, if the pair of rwd lines (rwd-10b, rwd-10) are the same, logic "low" is outputted, and if different, logic "high" is outputted. However, in DQ0, nor-in = "low" and nand-in = "high" are fixed. Finally, outgoing rd0 outputs "high" if it passes and "low" if it fails. This maintains the same phase when output to the data output buffer. In addition, a pt (parallel test) signal is input to the XOR circuit when the parallel test is performed.

전술한 도 3에서 보면 리드경로에서는 RMUX와 RDO가 같은 라인에 연결되어 있지만, 정상(normal) 리드동작에서는 XOR회로가 디세이블(disable)되고 RMUX만 인에이블(enable)되어 RMUX에서 나온 데이터가 rdo 라인에 실리며, 병렬 테스트 시는 RMUX가 디세이블되고 XOR가 인에이블되어 비교된 데이터가 rdo라인에 실린다.In FIG. 3, the RMUX and the RDO are connected to the same line in the lead path, but in the normal read operation, the XOR circuit is disabled and only the RMUX is enabled, so that data from the RMUX is rdo. In parallel testing, RMUX is disabled and XOR is enabled for parallel testing so that the compared data is loaded on the rdo line.

기존의 멀티비트 테스트는 이와 같은 병렬테스트를 나타낸다.Conventional multibit tests represent this parallel test.

도 5는 반도체 메모리소자의 전체 셀블록에서 I/O의 배치도이다. 하나의 Yi에 대해 인접 칼럼은 I/O <0:3>, <4:7>, <8:11>, <12:15>형태로 배치된다. 테스트시 옥탈카드(Octal card; Probe card)를 이용하여 한 번에 8 다이(die)를 테스트하는데, 이때 한 다이를 찍을 수 있는 DQ의 개수가 4개로 제한되어 있으므로 병렬테스트 x4로 테스트를 한다고 하면, x32로 동작하여 32개의 rwd(I/O)라인에 데이터를 실어도 셀간의 리키지나 장애형상을 확인할 수 있는 하나의 Yi에 대한 4개의 인접 칼럼의 데이터는 DQ0, 4, 11, 15 4개중 하나의 DQ로만 나오기 때문에(전술한 도 3을 참조하면, 리드시 rwd0, rwd1, rwd2, rwd3 8쌍은 DQ0,1,2,3의 4개의 XOR에서 비교되어 DQ0로 나옴) 전술한 바와 같은 셀간의 리키지나 장애현상을 확인할 수 없게 된다.5 is a layout view of I / O in all cell blocks of a semiconductor memory device. Adjacent columns are arranged in the form of I / O <0: 3>, <4: 7>, <8:11>, and <12:15> for one Yi. When testing 8 dies at a time using Octal card (Probe card), the number of DQ that can take one die is limited to 4 so if you test with parallel test x4 The data of four adjacent columns for one Yi, which can identify the shape of a cell or the fault between cells even if the data is loaded on 32 rwd (I / O) lines by operating as x32, is one of four DQ0, 4, 11, 15 Since only one DQ comes out (refer to FIG. 3 above, 8 pairs of rwd0, rwd1, rwd2, rwd3 at read time are compared in four XORs of DQ0,1,2,3 and come out as DQ0). You won't be able to see the liver's risk or disorder.

결과적으로 기존의 멀티비트 테스트(multi-bit test)방식은 하위 칼럼어드레스 비트(column address bit) 2개를 디코딩(decoding)하여 이로부터 4개의 칼럼을 선택 가능하게 하는 방식이다. 그래서 이와 같은 방식으로 선택된 4개의 칼럼이 동일 입출력핀(input/output PIN) DQ에 묶여 있기 때문에 4개 칼럼 내에서의 셀간 누설전류(leakage), 장애현상(disturbance) 등을 테스트할 수 없는 문제점이 있었다. 그리고 상대적으로 폴트커버리지(fault coverage)가 떨어져 멀티비트 테스트방식이 생산 테스트에 직접으로 적용되기에는 힘들다는 한계가 있었다.As a result, the conventional multi-bit test method decodes two lower column address bits and selects four columns therefrom. Therefore, since four columns selected in this way are tied to the same input / output PIN DQ, the leakage current and disturbance between cells in the four columns cannot be tested. there was. In addition, the fault coverage is relatively low, which makes it difficult to apply the multi-bit test method directly to production test.

따라서 본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 셀간 누설전류 및 장애현상에 효율적인 멀티비트 테스트가 이루어지는 반도체 메모리와 그의 멀티비트 테스트방법을 제공함을 그 목적으로 한다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a semiconductor memory and a multi-bit test method thereof in which an efficient multi-bit test is performed on leakage current and inter-cell leakage between cells.

또한 본 발명의 다른 목적은 폴트 커버리지가 개선되면서 테스트타임을 단축하는 멀티비트 테스트가 이루어지는 반도체 메모리와 그의 멀티비트 테스트방법을 제공함에 있다.It is another object of the present invention to provide a semiconductor memory and a multi-bit test method thereof in which a multi-bit test is performed to reduce test time while improving fault coverage.

도 1은 일반적인 64M 다이나믹램의 블록 다이어그램,1 is a block diagram of a typical 64M dynamic ram,

도 2는 도 1에서 글로벌 I/O 구조를 나타낸 도면,FIG. 2 is a diagram illustrating a global I / O structure in FIG. 1;

도 3은 도 2에서 I/O MUX 구조를 나타낸 도면,3 is a view showing an I / O MUX structure in FIG.

도 4는 도 3에서 XOR회로 구조를 나타낸 도면,4 is a view showing the XOR circuit structure in FIG.

도 5는 셀블록에서의 I/O 배치구조를 나타낸 도면,5 is a view showing an I / O arrangement in a cell block;

도 6은 멀티비트 테스트 라이트 및 리드 경로를 보여주는 도면,6 illustrates a multibit test write and lead path,

도 7은 본 발명에 의한 데이터 입력버퍼의 실시예,7 is an embodiment of a data input buffer according to the present invention;

도 8은 본 발명에 의한 라이트용 멀티플렉서의 실시예,8 is an embodiment of a light multiplexer according to the present invention;

도 9는 본 발명에 의한 멀티비트용 멀티플렉서의 실시예,9 is an embodiment of a multiplex multiplexer according to the present invention;

도 10은 도 9의 시뮬레이션 파형도,10 is a simulation waveform diagram of FIG. 9;

도 11은 본 발명에 의한 rdo-mux의 실시예.11 is an embodiment of rdo-mux in accordance with the present invention.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 멀티비트 테스트가 이루어지는 반도체 메모리는, 데이터를 입력하여 라이트 데이터신호 및 멀티비트 테스트용 데이터신호를 각각 출력하는 데이터 입력버퍼와, 멀티비트 테스트 인에이블신호의 입력에 응답하여 상기 라이트 데이터신호 또는 멀티비트 테스트용 데이터신호를 선택적으로 입력하여 데이터 입출력라인에 출력하는 라이트용 멀티플렉서와, 서로 인접한 4개의 칼럼어드레스를 갖는 셀들에 1:1로 매치시켜 데이터의 라이트를 가능하게 하는 4개의 DQ 핀을 구비하여, 인접 칼럼에 해당하는 셀과 DQ를 1:1로 매치하여 직접 제어 가능하도록 하는 반도체 메모리임을 특징으로 한다.The semiconductor memory subjected to the multi-bit test according to the present invention for achieving the above object is a data input buffer for inputting data and outputting the write data signal and the multi-bit test data signal, respectively, and the input of the multi-bit test enable signal In response, the write multiplexer selectively inputs the write data signal or the multi-bit test data signal and outputs the data signal to the data input / output line and the cells having four column addresses adjacent to each other in a 1: 1 manner. It is characterized by a semiconductor memory having four DQ pins to enable, directly matching the cells corresponding to the adjacent columns with DQ 1: 1.

상기 구성에서 데이터 입출력라인에 실린 데이터의 패스 및 페일을 판정하기 위한 4개의 입력비교기를 더 구비함을 특징으로 한다.In the above configuration, it is characterized by further comprising four input comparators for determining the pass and fail of the data on the data input and output lines.

상기 구성에서 병렬테스트의 출력데이터와 멀티비트 테스트의 출력이 충돌되는 것을 막고 데이터의 위상을 맞추기 위한 수단을 더 구비함을 특징으로 한다.In the above arrangement, the output data of the parallel test and the output of the multi-bit test are prevented from colliding, and further comprising means for adjusting the phase of the data.

또한 본 발명은 상기 목적들을 달설하기 위해, 데이터를 입력하는 데이터 입력버퍼가 라이트 데이터신호 및 멀티비트 테스트용 데이터신호를 각각 출력하고, 멀티비트 테스트 인에이블신호의 입력에 응답하여 상기 라이트 데이터신호 또는 멀티비트 테스트용 데이터신호를 라이트용 멀티플렉서가 선택적으로 입력하여 데이터 입출력라인으로 전송하며, 4개의 DQ핀이 서로 인접한 4개의 칼럼어드레스를 갖는 셀들에 1:1로 매치시켜 데이터의 라이트를 가능하게 하여, 인접 칼럼에 해당하는 셀과 DQ를 1:1로 매치하여 직접 제어 가능하도록 함을 특징으로 하는 반도체 메모리의 멀티비트 테스트방법임을 특징으로 한다.The present invention also provides a data input buffer for inputting data to output a write data signal and a multi-bit test data signal, and in response to the input of the multi-bit test enable signal, the write data signal or Multi-bit test data signal is selectively inputted by the multiplexer for data transmission to the data input / output line, and the four DQ pins match 1: 1 with cells having four column addresses adjacent to each other to enable writing of data. The method may be a multi-bit test method of a semiconductor memory, characterized in that a cell is directly controlled by matching a cell corresponding to an adjacent column with a DQ in a 1: 1 ratio.

이하, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세히 설명하기 위하여, 본 발명의 가장 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하기로 한다.DETAILED DESCRIPTION Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art may easily implement the technical idea of the present invention. do.

본 발명의 구조적 원리에 대하여 설명이 이루어진다.The structural principle of the present invention is explained.

테스트시 옥탈카드(octal card 또는 probe card)를 이용하여 한 번에 8 다이(die)를 테스트하는데, 이때 한 다이를 찍을 수 있는 DQ의 개수가 4개로 제한되어 있으므로 DQ 4개로 64M 전 블록의 인접 칼럼 4개를 직접 제어할 수 있어야 한다. 64M 다이나믹램의 셀블록과 I/O와의 매치가 전술한 도 1과 같으므로 본 발명에서는 DQ 0, 4, 11, 15를 사용한다면 나머지 I/O가 각각 DQ 0, 4, 11, 15와 1:1 매치되어야 한다. 그래야 DQ 0, 4, 11, 15로 데이터를 라이트(write)하면 각 셀블록(4M)에 라이트가 가능하고 라이트한 데이터를 리드(read)할 때 32개의 rwd라인(I/O 라인)에 데이터가 실려 32개의 rwd가 4개의 비교기에 나뉘어 들어가면서XOR논리에 의해 비교되어 같은 데이터가 읽혀지면 로직 'high' 즉, '1'로 패스판정을 내리고 하나라도 다른 데이터가 읽혀지면 로직 'low' 즉, '0'으로 페일 처리하여 DQ 0, 4, 11, 15로 내보내게 된다.During the test, 8 dies are tested at a time by using an octal card or an probe card. Since the number of DQs that can take one die is limited to four, four DQs are adjacent to all 64M blocks. You should be able to control four columns directly. Since the match between the cell block of the 64M dynamic ram and the I / O is the same as in FIG. 1 described above, in the present invention, if the DQ 0, 4, 11, and 15 are used, the remaining I / O is DQ 0, 4, 11, 15 and 1, respectively. : 1 Must match. This allows data to be written to DQ 0, 4, 11, and 15 so that each cell block (4M) can be written and data is written to 32 rwd lines (I / O lines) when reading the written data. 32 rwds are divided into 4 comparators and compared by XOR logic. When the same data is read, the logic 'high' or '1' is passed. If any other data is read, the logic 'low', Failed to '0' and exported to DQ 0, 4, 11, 15.

이를 상세히 살피겠다.I'll look at it in detail.

본 발명에서는 인접 칼럼(column)간의 I/O를 분리하여 4개의 DQ와 1:1로 대응(match)시켜 직접 제어(control)할 수 있게 하는 특징이 있다. 프루브(probe)카드의 DQ가 4개로 제한되므로 노멀(normal) x4에서 사용하는 DQ0, 4, 11, 15를 사용하기로 한다.In the present invention, it is possible to directly control the I / Os between adjacent columns by separating them with four DQs 1: 1. Since the DQ of the probe card is limited to four, we will use DQ0, 4, 11, and 15, which are used at normal x4.

전술한 바 있는 도 5에서 4M 블록 단위로 셀 블록을 보면 I/O가 한 블록안에 4개씩 즉, <0:3>, <4:7>, <8:11>, <12:15>로 배치되는데 DQ0, 4, 11, 15를 쓰므로 DQ0, 1, 2, 3을 DQ0, 4, 15, 11로 매치시켜 주며, <4:7>, <8:11>, <12:15>도 DQ0, 4, 15, 11로 매치시켜 준다. DQ0, 4, 15, 11의 순서는 전체 칩(Full chip)의 위에서 아래로 페드(pad)의 순서대로 이며 좌측 32M 블록에서의 rwd라인과 우측 32M 블록의 rwd라인이 대칭 되기 때문이다. 각 블록에서의 I/O들은 gay89에 의해 GDB S/A(Global Data Bus Sense Amp.)를 선택해 rwd라인에 실리는 것으로 하나의 Yi에 의해 동시에 나올 수 있는 인접 칼럼의 데이터이다. 전체 64M에서 각 4M 블록당 I/O가 DQ0, 4, 15, 11로 매치되므로 동시에 이들을 테스트할 수 있으며, 또한 인접 셀 각각을 다른 DQ로 제어(control)할 수 있으므로 셀간 누설전류나 장애현상을 확인할 수 있다.Referring to FIG. 5, the cell block is expressed in units of 4M blocks, and four I / Os are included in one block, that is, <0: 3>, <4: 7>, <8:11>, and <12:15>. DQ0, 4, 11, 15 are used to match DQ0, 1, 2, 3 with DQ0, 4, 15, 11, and <4: 7>, <8:11>, and <12:15> Match DQ0, 4, 15, 11 The order of DQ0, 4, 15, 11 is pad in order from top to bottom of the full chip, and the rwd line in the left 32M block and the rwd line in the right 32M block are symmetrical. The I / Os in each block are selected from GDB S / A (Global Data Bus Sense Amp.) By gay89 and displayed on the rwd line. These data are adjacent columns that can be simultaneously released by a single Yi. I / O per 4M block is matched to DQ0, 4, 15, and 11 in total 64M, so they can be tested at the same time, and each adjacent cell can be controlled by a different DQ to prevent leakage current or fault between cells. You can check it.

이를 위해 본 발명에 의한 멀티비트 테스트가 이루어지는 반도체 메모리는,데이터를 입력하여 라이트 데이터신호 및 멀티비트 테스트용 데이터신호를 각각 출력하는 데이터 입력버퍼와, 멀티비트 테스트 인에이블신호의 입력에 응답하여 상기 라이트 데이터신호 또는 멀티비트 테스트용 데이터신호를 선택적으로 입력하여 데이터 입출력라인에 출력하는 라이트용 멀티플렉서와, 서로 인접한 4개의 칼럼어드레스를 갖는 셀들에 1:1로 매치시켜 데이터의 라이트를 가능하게 하는 4개의 DQ 핀을 구비하여, 인접 칼럼에 해당하는 셀과 DQ를 1:1로 매치하여 직접 제어 가능하도록 하는 반도체 메모리임을 특징으로 한다.To this end, the semiconductor memory subjected to the multi-bit test according to the present invention includes a data input buffer for inputting data and outputting a write data signal and a multi-bit test data signal, and in response to the input of the multi-bit test enable signal. A write multiplexer that selectively inputs a write data signal or a multi-bit test data signal and outputs the data signal to a data input / output line, and 4 to enable data writing by matching 1: 1 with cells having four column addresses adjacent to each other. It is characterized in that it is a semiconductor memory having DQ pins and allowing direct control by matching a cell corresponding to an adjacent column with DQ 1: 1.

그리고 데이터 입출력라인에 실린 데이터의 패스 및 페일을 판정하기 위한 4개의 입력비교기와, 병렬테스트의 출력데이터와 멀티비트 테스트의 출력이 충돌되는 것을 막고 데이터의 위상을 맞추기 위한 수단을 더 구비한다.And four input comparators for determining the pass and fail of the data carried on the data input / output lines, and means for preventing the output data of the parallel test from colliding with the output of the multi-bit test and adjusting the phase of the data.

도 6은 멀티비트 테스트시 라이트(write)경로와 리드(read)경로를 보여주고 있다. 라이트경로를 보면 DQ0, 4, 15, 11로 들어온 데이터는 16개의 WMUX로 가야 하고, DQ 4개씩이 4M 블록의 I/O가 되면 DQ0에 대한 데이터는 DQ0의 데이터입력버퍼로 들어와서 DQ0, 4, 15, 11로 가고, DQ4로 들어온 데이터는 DQ1, 5, 14, 10으로 DQ15로 들어온 데이터는 DQ2, 6, 13, 9로, DQ11로 들어온 데이터는 DQ3, 7, 12, 8로 간다. 그러므로 각 셀 블록에는 DQ0, 4, 15, 11의 데이터가 쓰여진다.FIG. 6 shows a write path and a read path in a multi-bit test. In the light path, the data from DQ0, 4, 15, 11 should go to 16 WMUX, and if 4 DQs each become I / O of 4M block, the data for DQ0 enters DQ0's data input buffer and DQ0, 4 , Go to 15, 11, DQ4 data to DQ1, 5, 14, 10, DQ15 data to DQ2, 6, 13, 9, DQ11 data to DQ3, 7, 12, 8. Therefore, the data of DQ0, 4, 15, 11 is written to each cell block.

도 7은 데이터 입력버퍼(din buffer)의 실시구성을 보여주고 있다. 도 7에서 wdi는 노멀한 라이트경로를 위한 데이터라인이고, 멀티비트 테스트는 기존의 노멀 경로와 분리시켜 쓰지 않던 mwdi를 이용한다. 이때 mwdi는 wdi와 위상이 반대로 되도록 하기 위해 하나의 인버터를 더 추가하였다.7 shows an embodiment of a data input buffer (din buffer). In FIG. 7, wdi is a data line for a normal light path, and multibit test uses mwdi, which is not used separately from the existing normal path. Mwdi added one more inverter to reverse the phase of wdi.

도 8은 노멀 데이터와 멀티비트 테스트 데이터를 구분하기 위해 라이트용 멀티플렉서 WMUX에서 MBT신호에 의해 선택되게 하였다.8 is selected by the MBT signal in the write multiplexer WMUX to distinguish normal data from multi-bit test data.

리드경로는 노멀한 리드경로나, 병렬테스트를 위한 리드경로와 별개로 4개의 mr-mux라는 비교기(comparator)를 만들어 32개의 rwd라인에 실린 데이터를 비교한다. 32개의 rwd라인을 서로 비교하여 DQ4 개로 내보내야 하므로 mr-mux는 4개이며 각각 데이터출력버퍼 Dout0, 4, 11, 15로 간다. 첫 번째 mr-mux는 rwd 0, 15, 4, 11 4쌍이 들어와 XOR로 비교되어 mrdo0로 내보낸다. 마찬가지로 두 번째 mr-mux의 입력에는 rwd2, 13, 6, 9 4쌍이, 세 번째 mr-mux에는 rwd1, 14, 5, 10 4쌍이, 네 번째 mr-mux의 입력에는 rwd3, 12, 7, 8 4쌍이 들어온다. 이는 라이트시 DQ0, 15, 4, 11 각각으로 나뉘어 입력된 데이터 중 같은 데이터가 실리는 rwd 라인끼리 모은 것이다.The lead path compares the data on 32 rwd lines by creating four mr-mux comparators separate from the normal lead path or the lead path for parallel testing. Since 32 rwd lines must be compared to each other and exported as DQ4, mr-mux is 4 and goes to data output buffers Dout0, 4, 11, and 15, respectively. The first mr-mux contains 4 pairs of rwd 0, 15, 4, and 11, compared to XOR, and exported as mrdo0. Similarly, there are four pairs of rwd2, 13, 6, and 9 for the input of the second mr-mux, four pairs of rwd1, 14, 5, and 10 for the third mr-mux, and rwd3, 12, 7, 8 for the input of the fourth mr-mux. 4 pairs come in. This is a rwd line which is divided into DQ0, 15, 4, and 11 each of write data and contains rwd lines carrying the same data.

도 9는 병렬테스트의 출력데이터와 멀티비트 테스트의 출력이 충돌되는 것을 막고 데이터의 위상을 맞추기 위한 수단으로서의 mr-mux회로로 병렬테스트시 사용하는 XOR회로를 4개를 조합시켜 실시된 구성이다. 도면에서 실선블록이 하나의 XOR회로를 나타내며 라이트시 WMUX로 나가는 한 쌍의 rwd라인이 서로 같은 데이터이어야 하므로 한쌍의 rwd라인을 비교하여 서로 같으면 로직 "low", 다르면 로직 "high"를 내보낸다. 그래서 rwd3 한 쌍을 비교한 것(com1)이 rwd2 한 쌍을 비교한 데이터(com2)와 노아(NOR)연산되어 비교되고, rwd1 한 쌍을 비교한 것(com3)과 rwd0 한 쌍을 비교한 것(com4)을 비교하여 com6를 만들고, 이것이 com5와 다시 비교되어 com7을 만든다. 상기 com1에서 서로 같으면 로직 "low", 다르면 로직"high"였으나, 최종적인 출력 mrd0는 노아(NOR), 낸드(NAND), 인버터 등의 게이트를 거치면서 위상이 바뀌어 서로 같으면 로직 "high", 다르면 로직 "low"를 내보낸다. mr-mux는 레이아웃면적을 고려하여 별도로 배치함이 바람직하다.FIG. 9 is a configuration in which four XOR circuits used in parallel testing are combined with the mr-mux circuit as a means for preventing the output data of the parallel test and the output of the multi-bit test from colliding with each other. In the drawing, since the solid block represents one XOR circuit and the pair of rwd lines going out to WMUX at the time of writing should be the same data, the pairs of rwd lines are compared and the logic "low" is different and the logic "high" is different. Thus, a comparison of a pair of rwd3 (com1) is performed by comparing the data of a pair of rwd2 (com2) and Noah (NOR), and a comparison of a pair of rwd1 (com3) and a pair of rwd0. compare (com4) to make com6, which again compares to com5 to make com7. In com1, the logic is "low" if they are the same, the logic is "high", but the final output mrd0 changes its phase through the gates of NOR, NAND, inverter, etc. Export logic "low". mr-mux is preferably arranged separately in consideration of the layout area.

도 10은 mr-mux를 시뮬레이션(simulation)한 결과로 rwd 어느 한 쌍이라도 데이터가 로직 "high"이든, 로직 "low"이든 서로 다를 때에는 mrd0가 "low"(페일)임을 보여준다. 또한 데이터 출력버퍼 0, 4, 11, 15에는 rdo-mux가 있는데, 이는 회로구성상 병렬테스트로 진입(wcbr mode)하여 128μsec 딜레이 후 멀티비트 테스트로 진입하기 때문에 멀티비트 테스트와 중복되어 병렬테스트신호도 같이 인에이블되어 있고 같은 rdo라인을 쓰기 때문에 데이터 충돌을 피하기 위해 병렬테스트의 데이터경로를 끊고 멀티비트테스트 데이터를 내보내기 위함이다.FIG. 10 shows that mrd0 is "low" (fail) when data is different from logic "high" or logic "low" in any pair of rwd as a result of simulating mr-mux. Data output buffers 0, 4, 11, and 15 also have rdo-mux, which goes into parallel test (wcbr mode) and enters multi-bit test after 128μsec delay due to the circuit configuration. Because it is enabled and uses the same rdo line, it is to break the data path of parallel test and to export multi-bit test data to avoid data collision.

도 11은 rdo-mux로 멀티비트 테스트 인에이블신호(stst2b)에 의해 트랜스미션게이트로 노멀 데이터인 rdob와 멀티비트 테스트 데이터인 mrdo를 선택해 준다. stst2b와 mrdo의 위상을 맞춰주기 위해 노아(NOR)게이트가 사용되었다.FIG. 11 selects rdo-mux as normal transmission data rdob and multibit test data mrdo as transmission gates by the multi-bit test enable signal stst2b. NOR gates were used to match the stst2b and mrdo phases.

이와 같이 기존의 멀티비트 테스트(병렬테스트)는 하나의 Yi에 인접 칼럼에 해당하는 I/O라인의 데이터가 비교기를 통해 비교되어 DQ하나로만 출력되므로 인접 셀간의 리키지나 장애현상을 정확히 확인할 수 없었다. 그러므로 x32 모드로 동작하는 이점에도 불구하고 그 테스트결과에 만족할 수 없었다. 그러나 본 발명은 인접 칼럼에 해당하는 셀과 DQ를 1:1로 매치하여 직접 제어하기 때문에 기존의 방식보다 훨씬 효율적이다.As described above, in the conventional multi-bit test (parallel test), data of I / O lines corresponding to adjacent columns in one Yi are compared through a comparator and output as only one DQ. . Therefore, despite the benefits of operating in x32 mode, we were not satisfied with the test results. However, the present invention is much more efficient than the conventional method because it directly controls by matching the cell corresponding to the adjacent column with DQ 1: 1.

상술한 내용은 본 발명의 실시예에 관하여 설명이 이루어졌지만, 본 발명의기술 분야의 통상의 전문가라면 본 발명의 기술 사상의 범위내에서 다양한 실시가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.Although the foregoing has been described with respect to embodiments of the present invention, those skilled in the art will appreciate that various implementations are possible within the scope of the technical idea of the present invention.

상술한 바와 같이 본 발명은, 셀간 누설전류 및 장애현상에 효율적인 멀티비트 테스트가 이루어지고, 폴트 커버리지가 개선되면서 테스트타임을 단축하는 멀티비트 테스트가 이루어지는 메모리소자를 구현할 수 있는 효과가 있다.As described above, the present invention has the effect of implementing a multi-bit test that is efficient in the inter-cell leakage current and failure, and the multi-bit test to shorten the test time while the fault coverage is improved.

Claims (6)

반도체 메모리에 있어서,In a semiconductor memory, 데이터를 입력하여 라이트 데이터신호 및 멀티비트 테스트용 데이터신호를 각각 출력하는 데이터 입력버퍼와,A data input buffer for inputting data and outputting a write data signal and a data signal for multi-bit test, respectively; 멀티비트 테스트 인에이블신호의 입력에 응답하여 상기 라이트 데이터신호 또는 멀티비트 테스트용 데이터신호를 선택적으로 입력하여 데이터 입출력라인에 출력하는 라이트용 멀티플렉서와,A write multiplexer for selectively inputting the write data signal or the multi-bit test data signal in response to an input of a multi-bit test enable signal and outputting the write data signal to a data input / output line; 서로 인접한 4개의 칼럼어드레스를 갖는 셀들에 1:1로 매치시켜 데이터의 라이트를 가능하게 하는 4개의 DQ 핀을 구비하여,With four DQ pins that allow 1: 1 writes of cells with four column addresses adjacent to each other, enabling the writing of data, 인접 칼럼에 해당하는 셀과 DQ를 1:1로 매치하여 직접 제어 가능하도록 함을 특징으로 하는 멀티비트 테스트가 이루어지는 반도체 메모리.A semiconductor memory in which a multi-bit test is performed, in which a cell corresponding to an adjacent column and a DQ are matched 1: 1 to be directly controlled. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 데이터 입출력라인에 실린 데이터의 패스 및 페일을 판정하기 위한 4개의 입력비교기를 더 구비함을 특징으로 하는 멀티비트 테스트가 이루어지는 반도체 메모리.And a four input comparators for determining a pass and a fail of the data loaded on the data input / output lines. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 병렬테스트의 출력데이터와 멀티비트테스트의 출력이 충돌되는 것을 막고 데이터의 위상을 맞추기 위한 수단을 더 구비함을 특징으로 멀티비트 테스트가 이루어지는 반도체 메모리.And a means for preventing the output data of the parallel test from colliding with the output of the multi-bit test and for adjusting the phase of the data. 반도체 메모리에 있어서,In a semiconductor memory, 데이터를 입력하는 데이터 입력버퍼가 라이트 데이터신호 및 멀티비트 테스트용 데이터신호를 각각 출력하고,The data input buffer for inputting data outputs the write data signal and the data signal for multi-bit test, respectively. 멀티비트 테스트 인에이블신호의 입력에 응답하여 상기 라이트 데이터신호 또는 멀티비트 테스트용 데이터신호를 라이트용 멀티플렉서가 선택적으로 입력하여 데이터 입출력라인으로 전송하며,In response to the input of the multi-bit test enable signal, the write multiplexer selectively inputs the write data signal or the multi-bit test data signal to a data input / output line, 4개의 DQ핀이 서로 인접한 4개의 칼럼어드레스를 갖는 셀들에 1:1로 매치시켜 데이터의 라이트를 가능하게 하여,Four DQ pins match 1: 1 with cells with four column addresses adjacent to each other, enabling writing of data, 인접 칼럼에 해당하는 셀과 DQ를 1:1로 매치하여 직접 제어 가능하도록 함을 특징으로 하는 반도체 메모리의 멀티비트 테스트방법.A method of testing a multi-bit semiconductor memory according to claim 1, wherein the cell corresponds to an adjacent column and the DQ is 1: 1. 제 4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 데이터 입출력라인에 실린 데이터의 패스 및 페일을 4개의 입력비교기를 통해 판정하는 반도체 메모리의 멀티비트 테스트방법.A multi-bit test method of a semiconductor memory for determining the pass and fail of the data on the data input and output lines through four input comparators. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, 데이터의 위상을 맞추기 위한 수단을 구비하여 병렬테스트의 출력데이터와멀티비트 테스트의 출력이 충돌되는 것을 차단함을 특징으로 반도체 메모리의 멀티비트 테스트방법.And a means for aligning the phases of the data to prevent the output data of the parallel test from colliding with the output of the multi-bit test.
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