KR100274263B1 - 자기베어링모듈에내장되는변위센서 - Google Patents

Abstract

개시된 초정밀 장비는 자기 베어링 모듈에 내장되는 변위 센서에 관한 것이다. 본 발명은 가이드를 따라 이송하는 테이블에 고정되는 몸체와, 상기 몸체에 내장되어 상기 가이드와 접촉됨이 없이 상기 테이블을 지지하도록 자기력을 발생하는 전자석으로 구성되는 자기베어링 모듈에 있어서, 상기 가이드와의 변위를 측정하는 센서부 및 상기 몸체에 내장되어 상기 센서부의 상측이 개방되도록 감싸는 가드로 구성된다. 상기 센서부는 원형판의 비접촉 정전용량 센서로 형성되며, 상기 센서부는 상기 가드에 안착되도록 그 상측의 외주면에 걸림턱이 형성되고, 그 저면에 십자홈이 형성된다. 상기 가드는 상기 몸체에 마련된 함몰부에 안착되도록 그 상측의 외주면에 복수개의 홈을 갖는 걸림턱이 형성되고, 그 저면에 배선공 및 복수개의 관통공이 형성된다. 따라서, 본 발명의 비접촉 변위 센서로 적용되는 원형판의 정전용량 센서는 변위 측정시 테이블의 각종 교란 요소들이 변위 신호에 혼입되는 것을 방지하고, 테이블 기하학적 중심의 위치 변화를 정확히 측정하기 위해서는 대상물의 평균 변위를 감지할 수 있으며, 아울러 센서부에 뾰족한 첨점이 없어 비선형적인 전자장 분포가 없고 축대칭 형상으로 인하여 기울어짐의 영향을 배제할 수 있다.

Description

자기 베어링 모듈에 내장되는 변위 센서

본 발명은 초정밀 장비에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 자기 베어링 모듈에 내장되는 변위 센서에 관한 것이다.

최근 들어 반도체 산업, 광학 산업 등의 급속한 발전으로 인한 각종 초정밀 기계의 수요가 늘어나고 있다. 특히 반도체 장비, 초정밀 가공기기 및 측정장비 등의 정밀도를 좌우하는 요소인 직선 운동 유닛의 개발이 시급하여 이에 대한 연구개발 및 기초 기술 확보가 중요한 시점에 이르게 되었다.

현재 사용 중인 센서소자 검사 장비의 경우 수동 방식으로서 소자를 검사하기 위해 이송 테이블 및 현미경 등을 일일이 수작업에 의해 조정하여야 한다. 이는 작업능률의 저하뿐 아니라 검사의 정확도를 저하시키는 결과를 초래한다. 또한, 반도체 장비 및 광학 측정 장비 등의 초정밀 장비에는 그 핵심적인 요소로서 직선운동 테이블이 있으며 이는 전체 시스템의 정밀도를 좌우하게 된다. 최근 초정밀 기술의 눈부신 발전으로 인해 높은 정밀도를 내는 직선 운동 장치의 연구가 많이 진행되고 있으며 그 수요 또한 많아지고 있는 추세이다.

종래의 일반적인 직선 운동 시스템의 지지 베어링으로는 볼이나 롤러 베어링이 많이 사용되고 있으나 상기한 볼과 롤러의 탄성 변형과 불균일 등에 기인한 상하방향의 흔들림과 마찰력에 의하여 위치 정밀도를 초정밀급으로 하는 데에는 한계가 있다. 따라서, 좌우상하운동이 1㎛ 이하의 높은 정밀도를 나타내기 위해서는 테이블과 안내면이 비접촉 되도록 오일이나 공기 등의 윤활 유체를 사용하여 테이블을 지지하는 유체 베어링이 많이 적용되고 있다. 특히 공기 베어링으로 지지되는 테이블의 경우 강성은 다소 작으나 공기 자체의 낮은 점성으로 인해 매우 작은 마찰손실 특성을 보이며 다른 방법에 비해 높은 정밀도를 얻는데 많이 적용되고 있다.

그러나, 이와 같이 공기나 오일을 베어링의 윤활 유체로 사용하기 위해서는 유체를 일정한 압력으로 높이기 위한 압축기와 유체의 불순물을 제거하기 위한 필터가 필수적이며 이는 고가일 뿐만 아니라 이송 시스템의 구성이 전반적으로 커지게 되어 유지 및 관리가 힘들며 압축기의 회전에 의한 노이즈가 시스템에 영향을 미치게 되어 이송 정밀도를 높이기 위한 각별한 노력이 요구되었다.

또한, 유체 베어링은 그의 특성을 결정하는 공급 압력, 오리피스의 직경, 윤활 틈새 등이 한번 결정되면 작동시 그 특성을 바꾸기 힘든, 이른바 수동 방식의 시스템으로서 사용자의 의도대로 능동적으로 제어하기가 곤란하며, 일부 반도체 제조 장비나 이온 빔 가공과 같은 특수 가공 장비 등에서는 진공의 환경이 필요하며 직선 운동 시스템의 안내면 윤활제로 유체가 사용될 경우 이와 같은 특수 환경에서는 시스템의 적용이 곤란한 문제점들이 있었다.

도 1 및 도 2에는 이러한 문제점들은 해결하기 위한 자기 베어링 모듈을 갖는 직선 운동 테이블이 도시되어 있다. 도 1에 의하면, 베드(10)는 그 상단의 양측으로 리니어 가이드(11)가 형성된다. Y축 테이블(20)은 상기 베드(10) 상단에 안착되어서 상기 리니어 가이드(11)로 지지되고 그 하측에 마련된 리니어 모터(12)와 리니어 스케일(13)로 구동되어서 Y축 방향으로 이송된다. X축 테이블(30)은 상기 Y축 테이블(20)을 베드로 사용하고 복수개의 자기 베어링 모듈(40)로 지지되며 리니어 모터(21)와 리니어 스케일(22)로 구동되어 X축 방향으로 이송된다. 상기 리니어 모터(12)(21)는 BLDC(brushless DC)모터를 적용함이 바람직하다.

주 제어부(50)는 상기 리니어 모터(12)(21)의 구동 및 상기 자기 베어링 모듈(40)의 구동을 제어하되, 리니어 모터 구동용 서보 앰프(51) 및 컴퓨터(미도시) 등으로 구성된다. 상기 리니어 모터(12)(21)를 구동하기 위한 서보 앰프(51)는 BLDC 서보 앰프와 서보 앰프의 전원장치로 구성된다. 이 서보 앰프(51)는 리니어 모터(12)(21)의 홀 센서에서 나오는 신호를 받아 영구자석의 위치를 알아내어 리니어 모터(12)(21)의 헤드에 삼상의 전류를 흘려주는 역할을 한다.

도 2에 의하면, 상기 Y축 테이블(20)은 그 양측의 상부와 측면에 가이드 플레이트(23)를 고정하여 구성되며, 상기 가이드 플레이트(23) 내측의 상하 및 측벽에는 각각 라미네이티드 가이드(25)가 마련된다. 또한, 사각형 형태의 X축 테이블(30)의 아래에는 도시되지 않은 리니어 스케일 헤드와 리니어 모터 헤드가 마련된다. 따라서, 상기 X축 테이블(30)은 상기 Y축 테이블(20) 위의 수직 및 수평 방향 가이드 플레이트(23) 내측의 라미네이티드 가이드(25)를 안내면으로 하여 이송되고, 그 구동은 중앙에 위치하는 리니어 모터(21)에 의해 이루어지며 이송 위치는 리니어 스케일(22)에 의해 측정된다.

상기 X축 테이블(30)은 그 4방 모서리에 각각의 자기 베어링 모듈(40)이 고정된다. 상기 복수개의 자기 베어링 모듈(40)은 상기 Y축 테이블(20)의 라미네이티드 가이드(25)에 대향하여 자기력을 발생하는 전자석(41) 및 그 변위를 측정하는 센서(42)로 구성된다. 이를 위하여 상기 자기 베어링 모듈(40)의 3면, 즉 상부와 하부 및 측면에는 각각의 전자석(41)과 센서(42)가 한 쌍씩 장착된다.

이와 같이 구성된 직선 운동 테이블의 작용은, 리니어 가이드(11)로 지지되는 Y축과 자기 베어링 모듈(40)로 지지되는 X축으로 구성되며, 2축 모두 리니어 모터(12)(21)로 구동된다. 상기 리니어 모터(12)(21)는 리니어 스케일(13)(22)에 의해서 위치신호를 궤환받고 이를 컴퓨터(미도시)의 DSP보드를 이용하여 제어하게 된다. 도 1에 의하면, Y축 테이블(20)은 베드(10) 상단 양측의 리니어 가이드(11)로 지지된 상태에서 그 하측에 마련된 리니어 모터(12)와 리니어 스케일(13)로 구동되어 Y축 방향으로 이송된다. 여기서, BLDC 서보 앰프(51)는 상기 리니어 모터(12)를 구동하기 위하여 컴퓨터(미도시)의 제어에 따라 상기 리니어 모터(12)를 제어하되, 상기 리니어 모터(12)의 홀 센서에서 나오는 신호를 받아 영구자석의 위치를 알아내고 상기 리니어 모터(12)의 헤드에 삼상의 전류를 흘려줌으로써 상기 Y축 테이블(20)을 이송시킨다.

또한, 도 2에 의하면, 상기 X축 테이블(30)은 상기 Y축 테이블(20) 위의 수직 및 수평 방향의 가이드 플레이트(23) 내측의 라미네이티드 가이드(25)를 안내면으로 하여 이송되는데, 그 구동은 중앙에 위치하는 리니어 모터(21)에 의해 이루어지며 이송 위치는 리니어 스케일(22)에 의해 측정된다. 이때, 상기 X축 테이블(30)은 그 4방 모서리에 고정된 각각의 자기 베어링 모듈(40)에 의하여 상기 가이드 플레이트(23)의 라미네이티드 가이드(25) 사이에 일정한 거리로 자기 부상한 상태에서 X축 방향으로 이송된다.

즉, 상기 자기 베어링 모듈(40)은 자체에 내장된 전자석(41)의 코일에 흐르는 전류에 의하여 발생하는 자기력을 이용하여 물리적인 접촉 없이 X축 테이블(30)을 지지하게 되고, 상기 전자석(41)과 함께 내장된 센서(42)의 출력 신호를 통하여 그 변위를 측정하여 상기 전자석(41)의 코일에 흐르는 전류를 제어함으로써 항상 일정한 거리를 유지하도록 하는 것이다. 여기서, 상기 자기 베어링 모듈(40)은 주 제어부(50)의 컴퓨터(미도시)에 의하여 그 전자석의 자기력의 크기가 제어되는데, 특히 상기 자기 베어링 모듈(40)의 센서(42)로부터 출력되는 신호에 따라 제어된다.

한편, 상술한 바와 같이 일반적으로 변위를 측정하기 위하여 사용되는 센서는, 위치 측정에 이용되는 매체에 따라 반사되는 빛의 간섭 효과를 이용하는 광학(optical)센서, 레이저 빔의 반사파를 이용하는 레이저(laser)센서, 도전성 금속 대상물의 표면에서 발생하는 와전류(eddy current)에 의한 센서 코일 내의 임피던스 변화를 변위로 환산하는 와전류형 센서, 그리고 도전성 대상물과 센서판 사이에 형성되는 정전용량으로부터 거리를 측정하는 정전용량 센서 등으로 구분된다. 이와 같은 여러 종류의 비접촉 변위 센서들 중 자기 베어링용으로 사용이 가능한 센서는 매우 한정되어 있으며, 자기 베어링의 형상적 특성, 설치 공간, 자장의 영향 및 응답 속도 등이 우선적으로 고려되어야 한다.

그러나, 이와 같은 종래의 자기 베어링 모듈에 적용되는 일반적인 변위 센서들은 측정 대상물 표면의 한 점만을 측정하므로 테이블의 가공 오차 및 표면 조도 등이 측정된 변위 신호에 혼합되어 테이블 기하학적 중심의 정확한 위치 변화를 측정할 수 없는 문제점이 있었다.

또한, 이와 같은 종래의 자기 베어링 모듈용 변위 센서의 위치 측정 오차는 주 제어부의 제어 연산에 그대로 유입되어 교란 요소로 작용하므로 자기 베어링의 정확한 위치 제어를 어렵게 하는 다른 문제점도 있었다.

따라서, 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 본 발명의 목적은, 원형판의 비접촉 정전용량 변위 센서를 통하여 변위 측정시 테이블의 각종 교란 요소들이 변위 신호에 혼입되는 것을 방지하고, 테이블 기하학적 중심의 위치 변화를 정확히 측정하기 위해서 대상물의 평균 변위를 감지할 수 있도록 한 자기 베어링 모듈에 내장되는 비접촉 변위 센서를 제공함에 있다.

또한, 본 발명의 다른 목적은, 원형판의 비접촉 정전용량 변위센서를 적용함으로써 센서부에 뾰족한 첨점이 없어 비선형적인 전자장 분포가 없고, 축대칭 형상으로 인하여 기울어짐의 영향을 배제할 수 있는 자기 베어링 모듈에 내장되는 비접촉 변위 센서를 제공함에 있다.

도 1은 자기 베어링 모듈을 갖는 직선 운동 테이블을 나타낸 전체 사시도,

도 2는 도 1의 요부 절결 사시도,

도 3은 본 발명에 따른 자기 베어링 모듈에 내장되는 변위 센서의 바람직한 실시예를 나타낸 분해 사시도,

도 4a 내지 도 4c는 본 발명에 따른 자기 베어링 모듈에 내장되는 변위 센서의 구조를 나타낸 도면,

도 5a 및 도 5b는 본 발명에 따른 자기 베어링 모듈에 내장되는 변위 센서의 조립공정 및 최종 가공된 형상을 나타낸 도면이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

25 : 가이드 30 : 테이블

40 : 자기 베어링 모듈 40a : 몸체

40b : 함몰부 41 : 전자석

420 : 변위 센서 421 : 센서부

421a, 422a : 걸림턱 421b : 십자홈

422 : 가드 422b : 배출홈

422c : 배선공 422d : 관통공

이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 자기 베어링 모듈에 내장되는 비접촉 변위 센서의 특징은, 가이드를 따라 이송하는 테이블에 고정되는 몸체와, 상기 몸체에 내장되어 상기 가이드와 접촉됨이 없이 상기 테이블을 지지하도록 자기력을 발생하는 전자석으로 구성되는 자기베어링 모듈에 있어서, 상기 가이드와의 변위를 측정하는 센서부 및 상기 몸체에 내장되어 상기 센서부의 상측이 개방되도록 감싸는 가드를 포함하여 구성된다.

상기 센서부는 원형판의 비접촉 정전용량 센서로 형성되며, 상기 센서부는 상기 가드에 안착되도록 그 상측의 외주면에 걸림턱이 형성되고, 그 저면에 십자홈이 형성된다.

상기 가드는 상기 몸체에 마련된 함몰부에 안착되도록 그 상측의 외주면에 복수개의 배출홈을 갖는 걸림턱이 형성되고, 그 저면에 배선공 및 복수개의 관통공이 형성된다.

상기 몸체의 함몰부에 가드 및 센서부를 내장하고 에폭시로 진공 함침한 후 그 표면을 소정 깊이로 가공하여 형성한다.

따라서, 본 발명의 변위 센서로 적용되는 원형판의 비접촉 정전용량 센서는 변위 측정시 테이블의 각종 교란 요소들이 변위 신호에 혼입되는 것을 방지하고, 테이블 기하학적 중심의 위치 변화를 정확히 측정하기 위해서는 대상물의 평균 변위를 감지할 수 있으며, 아울러 센서판에 뾰족한 첨점이 없어 비선형적인 전자장 분포가 없고 축대칭 형상으로 인하여 기울어짐의 영향을 배제할 수 있다.

이하, 본 발명에 따른 자기 베어링 모듈에 내장되는 변위 센서의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명하되, 종래와 동일한 구성요소는 동일부호로서 설명한다.

도 3은 본 발명에 따른 자기 베어링 모듈에 내장되는 변위 센서의 바람직한 실시예를 나타낸 분해 사시도로서, 이에 의하면 자기 베어링 모듈(40)은 테이블(30)에 고정되는 몸체(40a)와, 상기 몸체(40a)에 내장되어 가이드(25)로부터 물리적인 접촉이 없이 상기 테이블(30)을 지지하도록 자기력을 발생하는 전자석(41)이 마련된다. 또한, 상기 가이드(25)와의 변위를 측정하는 변위 센서(420)는, 센서부(421) 및 상기 몸체(40a)에 내장되어 상기 센서부(421)의 상측이 개방되도록 감싸는 가드(422)로 구성되고, 상기 몸체(40a)는 상기 전자석(41)과 센서부(421) 및 가드(422)가 각각 한 쌍씩 장착되도록 3면에 각각의 함몰부(40b)가 형성된다. 여기서, 상기 센서부(421)가 대상물 이외의 다른 물체 사이의 기생정전용량을 없애기 위하여 상술한 바와 같이 상기 가드(422)가 센서부(421)를 완전히 감싸는 형상으로 구성한다.

도 4a 내지 도 4c는 본 발명에 따른 자기 베어링 모듈에 내장되는 변위 센서의 구조를 나타낸 도면이다. 도 4a에 의하면, 상기 센서부(421)는 상기 가드(422)에 안착되도록 그 상측의 외주면에 걸림턱(421a)이 형성되고, 아울러 이 센서부(421)를 몸체(40a)에 에폭시로 함침한 후 그 표면을 가공할 때 가공력을 잘 견디기 위하여 그 저면에 십자홈(421b)이 형성된다.

또한, 센서부(421)는 변위 측정시 테이블(30)의 각종 교란 요소들이 변위 신호에 혼입되는 것을 방지하며 가이드(25)의 기하학적 중심의 위치 변화를 정확히 측정하기 위해서는 대상물의 평균 변위를 감지할 수 있는 판(plate)형의 비접촉 정전용량 센서로 구성하는 것이 바람직하다. 아울러 센서부(421)에 뾰족한 첨점이 없어 비선형적인 전자장 분포가 없고 축대칭 형상으로 인하여 기울어짐의 영향을 배제할 수 있는 원형으로 형성하는 것이 더욱 바람직하다. 따라서, 상기 센서부(421)는 원형판의 비접촉 정전용량 센서로 형성된다.

도 4b에 의하면, 상기 가드(422)는 상기 몸체(40a)에 마련된 함몰부(40b)에 안착되도록 그 상측의 외주면에 복수개의 배출홈(422b)을 갖는 걸림턱(422a)이 형성되고, 그 저면에 배선공(422c) 및 복수개의 관통공(422d)이 형성된다. 또한, 도 4c에 의하면, 상기 가드(422)는 상기 센서부(421)의 상측이 개방되도록 감싼 상태에서 상기 몸체(40a)에 내장되도록 구성되고 그 저면으로 배선이 마련된다.

도 5a 및 도 5b는 본 발명에 따른 자기 베어링 모듈에 내장되는 비접촉 변위 센서의 조립공정 및 최종 가공된 형상을 나타낸 도면으로서 이에 의하면, 상기 몸체(40a)의 함몰부(40b)에 가드(422) 및 센서부(421)를 내장하고 에폭시로 진공 함침한 후 그 표면을 소정 깊이로 가공하여 형성한다.

이와 같이 구성된 본 발명의 작용을 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.

본 발명에 적용되는 변위 센서(420)는 원형판의 비접촉 정전용량 센서로 형성됨으로써 센서부(421)에 뾰족한 첨점이 없어 비선형적인 전자장 분포가 없고 축대칭 형상으로 인하여 기울어짐의 영향을 배제할 수 있다. 또한, 그 가공시 센서부(421)와 가드(422)를 함께 가공하지 않고 분리하여 가공함으로써 상기한 센서부(421)와 가드(422)의 틈새 그리고 가드(422)와 몸체(40a)의 틈새를 각각 0.5mm 이하로 줄여 실제로 센서부(421)가 차지하는 면적을 넓혔다.

여기서, 가드(422)는 센서부(421)를 보호하는 역할을 수행하므로 민감도에 영항을 주지 않아 상기 가드(422)에 대한 센서부(421)의 면적비가 커질수록 민감도가 커진다. 즉, 센서부(421)의 면적이 증가할수록 민감도가 선형적으로 증가한다. 따라서 가드(422)는 센서부(421)를 보호할 수 있는 범위에서 최대한 작게 설계하여 센서부(421)의 면적을 넓힘으로써 변위민감도를 높이도록 하는 것이다.

또한, 본 발명의 변위 센서(420) 제작시, 센서부(421)에 형성된 걸림턱(421a)이 가드(422)에 안치되어 정확한 위치를 잡고, 상기 가드(422)와 소정 거리로 절연되도록 한다. 아울러 가드(422)는 몸체(40a)에 접촉되는 걸림턱(422a)의 복수개의 배출홈(422b)과 그 저면의 배선공(422c) 및 관통공(422d)을 통하여 함침시 진공펌프로 탈포를 하는 과정에서 기포가 잘 빠지게 되어 있다.

즉, 도 5a에 도시된 바와 같이 센서부(421)와 가드(422)를 몸체(40a)에 안착시키고 에폭시로 함침한 후, 도 5b에 도시된 바와 같이 그 표면을 소정의 깊이로 가공하면 센서부(421)와 가드(422)가 상호 분리되고 몸체(40a)와 절연되어 본 발명의 자기 베어링 모듈(40)에 내장되는 비접촉 변위 센서(420)가 완성된다.

따라서, 도 2에 의하면, 상기 X축 테이블(30)은 상기 Y축 테이블(20) 위의 수직 및 수평 방향의 가이드 플레이트(23) 내측의 라미네이티드 가이드(25)를 안내면으로 하여 이송되는데, 상기 X축 테이블(30)은 그 4방 모서리에 고정된 각각의 자기 베어링 모듈(40)에 의하여 상기 가이드 플레이트(23)의 라미네이티드 가이드(25) 사이에 일정한 거리로 자기 부상한 상태에서 X축 방향으로 이송된다. 즉, 상기 자기 베어링 모듈(40)은 자체에 내장된 전자석(41)의 코일에 흐르는 전류에 의하여 발생하는 자기력을 이용하여 물리적인 접촉 없이 X축 테이블(30)을 지지하게 되고, 상기 전자석(41)과 함께 내장된 변위 센서(42)의 출력 신호를 통하여 그 변위를 측정하여 상기 전자석(41)의 코일에 흐르는 전류를 제어함으로써 항상 일정한 거리를 유지하도록 하는 것이다.

여기서, 상기 자기 베어링 모듈(40)은 주 제어부(50)의 컴퓨터(미도시)에 의하여 그 전자석(41)의 자기력의 크기가 제어되는데, 특히 상기 자기 베어링 모듈(40)의 변위 센서(420)로부터 출력되는 신호에 따라 제어된다. 따라서, 본 발명의 원형판의 비접촉 정전용량 센서는 변위 측정시 테이블(30)의 각종 교란 요소들이 변위 신호에 혼입되는 것을 방지하며 테이블(30) 기하학적 중심의 위치 변화를 정확히 측정하기 위한 대상물의 평균 변위를 감지할 수 있게 된다.

상술한 바와 같이 본 발명에 따른 자기 베어링 모듈에 내장되는 변위 센서에 의하면, 원형판의 비접촉 정전용량 센서를 통하여 변위 측정시 테이블의 각종 교란 요소들이 변위 신호에 혼입되는 것을 방지하고, 테이블 기하학적 중심의 위치 변화를 정확히 측정하기 위해서 대상물의 평균 변위를 감지할 수 있도록 하는 효과가 있다.

또한, 변위 센서로서 원형판의 비접촉 정전용량 센서를 적용함으로써 센서판에 뾰족한 첨점이 없어 비선형적인 전자장 분포가 없고, 축대칭 형상으로 인하여 기울어짐의 영향을 배제할 수 있는 다른 효과도 있다.

본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.

Claims (4)

1. 테이블에 고정되는 몸체와, 상기 몸체에 내장되어 가이드와 접촉됨이 없이 상기 테이블을 지지하도록 자기력을 발생하는 전자석으로 구성되는 자기베어링 모듈에 있어서,

   상기 가이드와의 변위를 측정하도록 원형판으로 형성된 비접촉 정전용량 센서와.

   상기 몸체에 내장되어 상기 원형판 비접촉 정전용량 센서의 상측이 개방되도록 감싸는 가드를 포함하여 구성함을 특징으로 하는 자기베어링 모듀에 내장되는 변위센서.
2. 제 1항에 있어서, 상기 원형판의 비접촉 정전용량 센서는 가드에 안착되도록 그 상측의 외주면에 걸림턱이 형성되고, 그 저면에 십자홈이 형성시킨 것을 특징으로 하는 자기 베어링 모듈에 내장되는 변위 센서.
3. 제 1항에 있어서, 상기 가드는 상기 몸체에 마련된 함몰부에 안착되도록 그 상측의 외주면에 복수개의 배출홈을 갖는 걸림턱이 형성되고, 그 저면에 배선공 및 복수개의 관통공이 형성되는 것을 특징으로 하는 자기 베어링 모듈에 내장되는 변위 센서.
4. 제 1항에 있어서, 상기 몸체의 함몰부에 가드 및 원형판의 비접촉 정전용량 센서를 내장하고 에폭시로 진공 함침한 후 그 표면을 소정깊이로 가공하여 형성되는 것을 특징으로 하는 자기 베어링 모듈에 내장되는 변위 센서.

Images