KR100254674B1 - 전계방출표시소자용 저항층 - Google Patents

Abstract

본 발명은 방출되는 전류량을 제어하는 캐소드 전극의 에미터 팁 아래 저항층을 형성하여 각 픽셀의 전류를 제어를 쉽게 할 수 있을 뿐만 아니라, 서지 커런트에 의해 팁이 마모되거나 파손되는 것을 방지할 수 있는 전계방출표시소자용 저항층에 관한 것으로, 유리기판(30)과, 유리기판(30)상의 캐소드 전극(28)상에 상부측에 형성한 홀(32)을 갖는 인슐레이터층(24)과, 홀(32)의 하부측에 인슐레이터층(24)과 같은 선상에 형성한 저항층(26)과, 저항층(26)의 끝부분에 형성한 팁(22)과, 인슐레터층(24)의 상부측에 형성한 게이트 전극(20)으로 이루어지도록 구비한 특징이 있다.

Description

전계방출표시소자용 저항층

본 발명은 전계방출표시소자용 저항층에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 방출되는 전류량을 제어하는 캐소드 전극의 에미터 팁 아래 저항층을 형성하여 각 픽셀의 전류를 제어를 쉽게 할 수 있을 뿐만 아니라, 서지 커런트에 의해 팁이 마모되거나 파손되는 것을 방지할 수 있는 전계방출표시소자용 저항층에 관한 것이다.

일반적으로 전계방출소자는 새로운 기술분야인 진공 미세 전자 공학을 이용하여 고체소자 산업에서 개발된 미세가공기술을 진공소자의 제조에 응용한 것으로, 반도체와 같은 물질로 형성되는 고체소자와 비교하여 볼때에, 전송매질이 진공인 관계로 방사능이 발생하는 분위기하에서나, 비정상적인 온도 상황에서도 소자의 수행능력에 영향을 받지 않고 전달속도 또한 매우 빠를 뿐만 아니라, 소자의 크기를 마이크론 단위로 극소화할 수 있다.

또한 현재 각광 받고 있는 평판표시소자의 하나인 LCD에 비해 시야각, 응답속도, 소모전력 등의 특수성이 우수하여 전계방출표시소자에 대한 기술개발이 진행되고 있다.

전계방출표시소자는 평판디스플레이의 일종으로서, 전자를 방출하는 팁형 또는 웨지(Wedge)형의 캐소드와 형광체가 도포된 애노드를 구성하고, 다수의 마이크로 팁으로부터 전자방출을 유도하여, 발생된 전자를 투명전도막이 형성된 애노드의 형광체에 충돌시키므로써, 형광체가 자극을 받아 형광체의 최외각 전자들이 여기되고, 천이되는 과정에서 발생된 빛을 이용하여 원하는 화상표시를 나타내도록 구성하고 있는 것으로, 최근에는 상기 캐소드 전극에서 방출되는 전자의 방출 특성을 높이기 위하여 많은 연구가 진행되고는 있으나, 상기 전자가 방출되는 캐소드 전극의 에미터 팁에서 발생되는 저항, 즉 서지 커런트(Surge Current: 전류과도)에 의해 팁이 마모되거나 파손될 염려가 있어 그에 관한 문제점을 해결하려 하고 있다.

최근에는 도 1 에 도시된 바와 같이 유리 기판(12)상에 캐소드 전극(28)을 형성하고, 그 위에 저항층(8)을 형성한후, 상기 저항층(8)의 상부측에 절연층(6)과 에미터 팁(4)을 형성하고, 그 위에 게이트 전극(2)을 형성하는 버티칼(Vertical)모양의 저항층(8)을 사용하여 왔다.

또한 다른 한가지 방법으로 유리기판(12)상에 저항층(8)과 캐소드 전극(28)을 도 2 에 도시한 바와 같이 같은 선상에 형성하고 자항층(8)의 상부측에 인슐레이터(6)와 에미터 팁(4)을 형성하고, 그위에 게이트 전극(2)를 형성하는 것으로 레터럴(Lateral)모양의 저항층을 사용하고 있다.

그러나 상기와 같은 버티컬 모양의 저항층(8)은 캐소드 전극(28)이나 유리기판(12)과의 거리가 너무 가까기 때문에 서지 커런트에 의해 팁이 마모되거나 파손되며, 전류의 제어가 어려운 문제점이 있었다.

또한 레터럴 모양의 저항층은 캐소드 전극(28)과의 거리를 두었으나 별다른 효과를 얻지 못하였을 뿐만 아니라, 제조 공정이 너무 번잡해지고, 쉽게 제작할 수 가 없어 제조단가가 상승하는 문제점이 있었다.

따라서, 본 발명은 상기와 같은 문제점을 감안하여 창출된 것으로, 더욱 상세하게는 인슐레이터와 같은 선상에 에미터의 하부측에 저항층을 형성하고 그위에 작은 팁을 형성하므로 각 픽셀의 전류를 제어를 쉽게 할 수 있고, 서지 커런트에 의해 팁이 마모되거나 파손되는 것을 방지할 수 있을 뿐만 아니라 쉽게 제작할 수 있는 전계방출표시소자용 저항층을 제공함에 있다.

도 1 은 종래의 버티칼(Vertical)모양의 저항층을 나타낸 도면.

도 2 는 종래의 레터럴(Lateral)모양의 저항층을 나타낸 도면.

도 3 은 본 발명의 전계방출표시소자용 저항층을 나타내는 도면.

〈도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명〉

20: 게이트 전극 22: 팁

24: 인슐레이터층 26: 저항층

28: 캐소드 전극 30: 유리기판

32: 홀

상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 전계방출표시소자용 저항층은, 유리기판과, 유리기판상의 캐소드 전극상에 상부측에 형성한 홀을 갖는 인슐레이터층과, 홀의 하부측에 인슐레이터층과 같은 선상에 형성한 저항층과, 저항층의 끝부분에 형성한 전계방출용 팁과, 인슐레터층의 상부측에 형성한 게이트 전극으로 이루어지도록 구비한 특징이 있다.

상기와 같이 구성된 본 발명의 전계방출표시소자용 저항층을 첨부된 도면을 참조하여 아래와 같이 상세하게 설명한다.

도 3 은 본 발명의 전계방출표시소자용 저항층을 나타내는 도면이다.

전게방출표시소자용 유리기판(30)상의 전류가 인가되도록 형성된 캐소드 전극(28)의 상부측에 에미터 팁을 형성하기 위하여 홀(32)을 갖는 인슐레이터층(24)을 형성한다.

상기 홀(32)의 내부측에는 인슐레이터층(24)과 같은 선상에 에미터 팁의 하부측을 형성하기 위하여 사다리리꼴 기둥형상의 저항층(26)을 형성한다.

그리고 상기 사다리꼴 기등형상의 저항층(26)의 끝부분에는 전자의 방출 특성을 높이기 위하여 몰리브덴 등의 금속성물질을 이용하여 팁(22)을 형성하고, 그리고 상기 인슐레이터층(24)의 상부측에 게이트 전극(20)을 형성한다.

상기와 같이 팁(22)의 하부측에 형성되어 있는 저항층(26)의 높이는 종래에 비해 높게 형성할 수 있어 팁 끝단에서 발생되는 서지커런트에 의해 팁(22)이 마모되거나, 파손되는 것을 방지할 수 있다.

상기와 같은 본 발명의 팁(22) 구조로 인해 에미터의 하부측으로 구성하고 있는 저항층(26)의 두께에 따라 에미터에 미치는 저항을 변화시킬 수 있으므로, 에미터를 이루고 있는 팁(22)의 끝단이 날카로운 모양이 가지고 있지 않아도 된다.

또한 상기 본 발명의 팁(22)과 저항층(26)을 형성함에 있어서는 전자선 증착기를 방향성 식각법 등으로 에미터의 저항층(26)과 팁(22)을 쉽게 형성할 수 있다.

따라서, 상기와 같이 구성된 본 발명의 전게방출표시소자용 저항층에 의해 인슐레이터와 같은 선상에 에미터의 하부측에 저항층을 형성하고 그위에 작은 팁을 형성하므로 각 픽셀의 전류를 제어를 쉽게 할 수 있고, 서지 커런트에 의해 팁이 마모되거나 파손되는 것을 방지할 수 있을 뿐만 아니라 쉽게 제작할 수 있는 효과가 있다.

Claims (2)

1. 전계방출표시소자용 저항층을 형성함에 있어서,

   유리기판(30)과, 유리기판(30)상의 캐소드 전극(28)상에 상부측에 형성한 홀(32)을 갖는 인슐레이터층(24)과, 홀(32)의 하부측에 인슐레이터층(24)과 같은 선상에 형성한 저항층(26)과, 저항층(26)의 끝부분에 형성한 팁(22)과, 인슐레터층(24)의 상부측에 형성한 게이트 전극(20)으로 이루어지도록 구비한 것을 특징으로 하는 전계방출표시소자용 저항층.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 팁(22)은 몰리브덴인 것을 특징으로 하는 전계방출표시소자용 저항층.

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