KR100238269B1 - Coplanarity measurment apparatus for IC package lead fin - Google Patents
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Abstract
플랫 패키지(Flat Package)형 IC의 리드핀 검사방법 및 장치가 개시된다. 개시된 플랫 패키지형 IC의 리드핀 검사방법 및 장치는, IC 패키지의 일변에 배열된 리드핀을 사이에 두고 복수의 발광센서와 수광센서를 각각 상호 나란한 상태로 대응되게 위치시킨 상태에서 광을 출사시키고, 리드핀이 광을 차광시켜 수광센서에 수광되는 광량을 측정하여 리드핀의 정렬상태를 검출할 수 있도록 구성되며, 이러한 구성에 의해 흡착 노즐에 흡착된 IC 패키지의 위치 오차를 보정하여 리드핀 검사에 대한 정밀도 및 효율을 향상시킬 수 있도록 한 것이다.A lead pin inspection method and apparatus of a flat package type IC are disclosed. A lead pin inspection method and apparatus of a flat packaged IC disclosed in the present invention emits light in a state in which a plurality of light emitting sensors and a light receiving sensor are positioned in a mutually parallel state with lead pins arranged in one side of the IC package interposed therebetween , The lead pin is shielded from light, and the amount of light received by the light receiving sensor is measured to detect the alignment state of the lead pin. With this configuration, the position error of the IC package adsorbed on the suction nozzle is corrected, So that the accuracy and efficiency of the device can be improved.
Description
본 발명은 IC 패키지의 리드핀 검사방법 및 그 장치에 관한 것으로서, 특히 플랫 패키지형 IC의 리드핀 들뜸 등과 같은 변형 상태를 검사하기 위한 IC 리드핀 검사방법 및 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a lead-pin inspecting method and apparatus for an IC package, and more particularly, to an IC lead-pin inspecting method and apparatus for inspecting a deformation state such as a lead-
일반적으로, QFP(Quad Flat Package)와 같은 플랫 패키지형 IC는 다수의 리드핀이 기판에 지지된 상태로 실장된다. 도1은 플랫 패키지형 IC의 일예로서, QFP형 IC 패키지를 나타내 보인 개략적 사시도이다. 이러한 플랫 패키지형 IC(10)는 본체(11)와 그 주위에 배치된 다수의 리드핀(12)을 구비하고 있다. 상기 리드핀(12)은 도시된 바와 같이 패키지 본체(11)로부터 횡방향으로 돌출된 돌출부(121)와, 이 돌출부(121)로부터 하방으로 소정 각도 경사지게 연장된 경사부(122)와, 이 경사부(122)로부터 다시 횡방향으로 연장돌출된 핀부(123)를 가진다.In general, a flat package type IC such as a QFP (Quad Flat Package) is mounted with a plurality of lead pins supported by the substrate. 1 is a schematic perspective view showing a QFP type IC package as an example of a flat packaged IC. The flat packaged IC 10 includes a main body 11 and a plurality of lead pins 12 arranged around the main body 11. [ The lead pin 12 includes a protruding portion 121 protruding laterally from the package body 11 as shown in the figure, an inclined portion 122 extending downward from the protruding portion 121 at a predetermined angle, And a pin portion 123 projecting from the portion 122 in the lateral direction.
상기한 구조의 리드핀(12)은, IC 패키지가 기판에 표면 실장될때 그 위치나 방향, 간격 및 높낮이 등의 정렬상태가 규정된 조건을 충족시켜야만 기판과의 정확한 접속상태가 이루어질 수 있다. 하지만, 상기한 바와 같은 규정 조건이 충족되지 않으면 기판에 실장될때 도 2에 도시된 바와 같이 리드핀(12)이 기판(1)으로부터 들뜨는 현상이 발생하여 적절한 납땜이 이루어질 수 없기 때문에 부품 불량의 원인이 된다. 따라서, IC 패키지는 기판에 표면실장되기 전에 리드핀의 규정된 위치나 방향, 간격, 높낮이 차이에 의한 들뜸상태(편평도; Coplanarity)와 같은 정렬상태를 검사하는 과정을 거치게 된다. 이러한 검사 과정을 수행하기 위한 종래 검사방법의 일예로서, IC 패키지의 몸체 일측으로 돌출된 상태로 배열되는 리드핀의 양끝부에 각각 발광센서와 수광센서를 배치하고, 발광센서로부터 광을 출사시켜 수광센서에 도달되는 광량을 측정하여 리드핀의 들뜸상태(편평도; Coplanarity)를 검사하는 방법이 있다. 이러한 종래의 검사방법을 수행하기 위한 장치를 도 3 및 도 4에 개략적으로 도시하였다.The lead pin 12 having the above-described structure can be brought into a precise connection state with the substrate only when the IC package is surface-mounted on the substrate and the alignment conditions such as the position, direction, spacing, and height of the IC package are satisfied. However, if the above-mentioned conditions are not satisfied, the lead pin 12 may be lifted from the substrate 1 as shown in FIG. 2 when mounted on the substrate, so that proper soldering can not be performed. . Therefore, before the IC package is mounted on the surface of the substrate, the IC package is subjected to a process of checking an alignment state such as a prescribed position of the lead pin, an orientation, a gap, and a coplanarity due to a difference in height. As an example of a conventional inspecting method for performing the inspecting process, a light emitting sensor and a light receiving sensor are disposed at both ends of a lead pin protruding from one side of a body of the IC package, light is emitted from the light emitting sensor, There is a method of checking the lifting state (flatness) of the lead pin by measuring the amount of light reaching the sensor. An apparatus for carrying out such a conventional inspection method is schematically shown in Figs. 3 and 4. Fig.
상기 도 3 및 도 4를 참조하면, 도시된 종래의 리드핀 검사장치는 IC 패키지(10)를 흡착하기 위한 흡착 노즐(111)과, 이 흡착 노즐(111)에 흡착되어 공간상에 위치하게 되는 IC 패키지(10)의 몸체(11) 외부로 돌출된 리드핀(12)의 배열방향의 양끝부에 상호 대응되도록 나란하게 마련되는 발광센서(120) 및 수광센서(130)와, 상기 발광센서(120)로부터 출사된 광이 상기 리드핀(12)에 의해 차광되어 상기 수광센서(130)에 도달되는 수광량을 측정하여 상기 리드핀(12)의 정렬상태를 검출할 수 있도록 된 콘트롤러(140)를 포함하여 구성된다.3 and 4, the conventional lead pin inspecting apparatus includes a suction nozzle 111 for suctioning the IC package 10, a suction nozzle 111 for sucking the suction nozzle 111, A light emitting sensor 120 and a light receiving sensor 130 arranged in parallel so as to correspond to both ends in the direction of arrangement of the lead pins 12 protruding out of the body 11 of the IC package 10, The controller 140 can detect the alignment state of the lead pin 12 by measuring the amount of light received by the lead pin 12 and reaching the light receiving sensor 130 .
도 3 및 도 4에서 도면 부호 110은 상기 흡착 노즐(111)을 승강 및 회동운동 가능하게 지지하는 헤드부로서, 예를 들면 상기 IC 패키지(10)의 일변의 리드핀에 대한 상태 검사가 완료되면, 상기 헤드부(110)가 상기 흡착 노즐(111)을 이동 또는 회동시켜 다른변의 리드핀에 대한 상태를 검사할 수 있도록 하는 기능을 가진다. 한편, 상기 헤드부(110)는 예컨대, XY로봇이나 다관절 로봇 등에 의해 직교좌표상의 자유로운 이동이 가능하도록 마련되어 있다. 그리고, 도면 부호 121과 131은 각각 상기 발광센서(120)와 수광센서(130)를 지지하기 위한 지지부재이다.3 and 4, reference numeral 110 denotes a head unit which supports the suction nozzle 111 so that the suction nozzle 111 can move up and down. When the state inspection of the lead pin at one side of the IC package 10 is completed , And the head unit 110 moves or rotates the suction nozzle 111 to inspect the state of the other side of the lead pin. On the other hand, the head unit 110 is provided so as to be freely movable on a rectangular coordinate system, for example, by an XY robot or a multi-joint robot. Reference numerals 121 and 131 denote supporting members for supporting the light emitting sensor 120 and the light receiving sensor 130, respectively.
상기 구성의 종래 리드핀 검사장치는, 예컨대 통상적인 부품공급장치 등에 의해 검사대상 IC패키지(10)가 소정 위치에 위치 정렬되면 센서 등을 통한 신호 감지에 의해 상기 헤드부(110)가 위치 이동된 다음, 상기 흡착 노즐(11)이 하강하여 검사대상 IC패키지(10)를 흡착하게 된다. 이와 같이 흡착된 IC패키지(10)는 상기 헤드부(110)의 이동에 의해 상기 발광센서(120)와 수광센서(130)의 사이의 검사영역에 위치 정렬된다. 이러한 상태에서 상기 발광센서(120)에서 수광센서(130)로 광이 출사된다. 이때, 리드핀(12)의 들뜸상태 즉, 높낮이 편차가 크면 클수록 상기 수광센서(130)에 도달되는 수광량은 적어진다. 따라서, 상기 발광센서(120)로부터 출사된 광이 IC 패키지(10)의 리드핀(12)에 의해 그 일부가 차광되어 나머지의 광이 상기 수광센서(130)에 도달되는 광량의 정도를 측정함으로써 검사대상 IC 패키지(10)의 리드핀(12)의 들뜸상태(편평도; Coplanarity)를 검출할 수 있게 된다.In the conventional lead pin inspecting apparatus having the above configuration, when the IC package 10 to be inspected is positioned at a predetermined position by a usual component supplying device or the like, the head part 110 is moved Next, the suction nozzle 11 descends to suck the IC package 10 to be inspected. The IC package 10 thus attracted is positioned in the inspection region between the light emitting sensor 120 and the light receiving sensor 130 by the movement of the head portion 110. In this state, light is emitted from the light emitting sensor 120 to the light receiving sensor 130. At this time, the larger the deviation of the lead pin 12, that is, the height difference, becomes, the smaller the amount of light received by the light receiving sensor 130 becomes. Therefore, by measuring the degree of the amount of light at which a part of the light emitted from the light emitting sensor 120 is shielded by the lead pin 12 of the IC package 10 and the remaining light reaches the light receiving sensor 130 (Flatness) of the lead pin 12 of the IC package 10 to be inspected can be detected.
그러나, 상기한 바와 같은 종래의 IC 패키지 리드핀 검사장치는 기본적으로 검사대상 IC 패키지의 몸체와 리드핀의 배열선 사이가 평행을 이루고 있어야만 정확한 검사결과를 얻을 수 있다는 까다로운 전제조건을 가지고 있기 때문에 실제 검사과정에 있어서 검사결과에 대한 정밀도가 저하되는 문제점이 있다. 그리고, 검사대상 IC 패키지가 흡착 노즐에 흡착될 때 정확한 위치 결정이 이루어져 있어야만 정확한 검사결과를 얻을 수 있기 때문에 예를 들면, 실제 검사과정에 있어서 위치결정에 대한 오차 발생 및 모델 변경 등의 경우 위치결정에 대한 소요시간이 늘어나 검사 정밀도 및 효율이 저하되는 문제점이 있다.However, since the conventional IC package lead pin inspecting apparatus as described above has a prerequisite condition that accurate inspection results can be obtained only when the body of the IC package to be inspected and the arrangement line of the lead pins are parallel to each other, There is a problem that the accuracy of the inspection result is deteriorated in the inspection process. Further, since accurate inspection results can be obtained only when accurate positioning is performed when the IC package to be inspected is sucked to the suction nozzle, accurate positioning results can be obtained. For example, in an actual inspection process, So that the inspection accuracy and efficiency are deteriorated.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 상기한 바와 같은 종래 IC 패키지의 리드핀 검사방법 및 장치가 가지는 문제점을 개선코자 하는 것으로서, 본 발명은 흡착 노즐에 흡착된 IC 패키지의 위치 오차를 보정하여 검사 정밀도 및 검사효율을 향상시킨 IC 패키지의 리드핀 검사장치를 제공함에 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to solve the problems of the lead pin inspection method and apparatus of the conventional IC package as described above, and it is an object of the present invention to provide a lead pin inspecting method, And to provide a lead-pin inspecting apparatus of an IC package having improved inspection efficiency.
그리고, 본 발명의 다른 목적은 IC 패키지의 리드핀 검사를 수행함에 있어서 그 정밀도 및 효율을 향상시킨 IC 패키지의 리드핀 검사방법을 제공함에 그 다른 목적이 있다.It is another object of the present invention to provide a method of inspecting a lead pin of an IC package that improves the accuracy and efficiency of inspecting a lead pin of an IC package.
도 1은 플랫 패키지형 IC를 나타내 보인 개략적 사시도,1 is a schematic perspective view showing a flat package type IC,
도 2는 플랫 패키지형 IC의 기판 실장 상태를 설명하기 위한 개략적 단면도,2 is a schematic cross-sectional view for explaining a substrate packaging state of a flat packaged IC,
도 3은 종래의 IC 패키지 리드핀을 검사하기 위한 장치의 구성을 개략적으로 나타내 보인 사시도,3 is a perspective view schematically showing a configuration of an apparatus for inspecting a conventional IC package lead pin,
도 4는 도 3을 "A"방향에서 본 개략적 측면도,Fig. 4 is a schematic side view of Fig. 3 viewed from the "A &
도 5는 본 발명에 의한 IC 패키지 리드핀 검사장치의 개략적 평면 구성도,5 is a schematic plan configuration diagram of an IC package lead pin inspecting apparatus according to the present invention,
도 6은 도 5에 도시된 리드핀 검사장치를 이용하여 본 발명에 따른 IC 패키지 리드핀 검사방법을 설명하기 위해 나타내 보인 개략도, 그리고6 is a schematic view for explaining an IC package lead pin inspecting method according to the present invention using the lead pin inspecting apparatus shown in FIG. 5, and FIG.
도 7은 본 발명에 의한 IC 패키지 리드핀 검사방법 및 장치에 있어서 복수의 수광센서에 수광된 수광량에 의해 리드핀의 편평도가 검출되는 상태를 설명하기 위해 나타내 보인 그래프이다.7 is a graph showing a state in which flatness of a lead pin is detected by the amount of received light received by a plurality of light receiving sensors in the IC package lead pin inspecting method and apparatus according to the present invention.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>Description of the Related Art
10..IC 패키지 12..리드핀10 .. IC Package 12 .. Lead Pins
210..헤드부 211..흡착노즐210 .. Head part 211 .. Adsorption nozzle
220, 230..지지대 221, 222, 223..발광센서220, 230. Supports 221, 222, 223.
231, 232, 233..수광센서 240..콘트롤러231, 232, 233 .. Light receiving sensor 240 .. Controller
상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 의한 IC 패키지의 리드핀 검사장치는, 부품 흡착용 노즐과, 상기 노즐에 흡착되어 공간상에 위치하게 되는 IC 패키지의 일변에 배열된 리드핀을 사이에 두고 상호 나란한 상태로 대응되게 마련되는 복수의 발광센서 및 수광센서와, 상기 발광센서로부터 출사된 광이 상기 리드핀에 의해 차광되어 상기 수광센서에 도달되는 광량을 측정하여 상기 리드핀의 정렬상태를 검출할 수 있도록 된 콘트롤러를 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to attain the above object, the present invention provides an apparatus for inspecting a lead pin of an IC package, comprising: a nozzle for picking up a part; and a lead pin arranged on one side of the IC package, A plurality of light emitting sensors and light receiving sensors provided corresponding to each other in parallel with each other, and a light amount detecting unit for measuring an amount of light reaching the light receiving sensor by shielding light emitted from the light emitting sensor by the lead pins, And a controller for controlling the operation of the controller.
그리고, 상기한 다른 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 의한 IC 패키지의 리드핀 검사방법은, IC 패키지의 일변에 배열된 리드핀을 사이에 두고 복수의 발광센서와 수광센서를 각각 상호 나란한 상태로 대응되게 위치시킨 상태에서 상기 발광센서로부터 상기 수광센서로 각각 광을 출사시키고, 상기 발광센서로부터 출사된 광이 상기 리드핀에 의해 각각 차광되어 상기 수광센서에 도달되는 광량을 측정하여 상기 리드핀의 정렬상태를 검출하는 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of inspecting a lead pin of an IC package, comprising the steps of: preparing a plurality of light emitting sensors and a light receiving sensor, The light emitted from the light emitting sensor is shielded by the lead pin and the amount of light reaching the light receiving sensor is measured to determine the alignment of the lead pins And detecting a state of the battery.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 바람직한 실시예에 따른 본 발명의 IC 패키지 리드핀 검사방법 및 그 장치를 상세히 설명한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a method and an apparatus for inspecting IC package lead pins according to preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 5는 본 발명에 의한 IC 패키지 리드핀 검사장치의 개략적 평면 구성도이고, 도 6은 도 5에 도시된 IC 패키지 리드핀 검사장치를 이용하여 본 발명에 따른 IC 패키지 리드핀 검사방법을 설명하기 위한 개략도이다.FIG. 5 is a schematic plan view of an IC package lead pin inspecting apparatus according to the present invention, and FIG. 6 illustrates a method of inspecting an IC package lead pin according to the present invention using the IC package lead pin inspecting apparatus shown in FIG. Fig.
먼저, 상기 도 5를 참조하면 본 발명에 의한 리드핀 검사장치는 IC 패키지(10)를 흡착하기 위한 흡착 노즐(211)과, 이 흡착 노즐(211)에 흡착되어 공간상에 위치하게 되는 IC 패키지(10)의 몸체(11)의 외부로 돌출배열된 리드핀(12)을 사이에 두고 그 배열방향의 양끝부에 상호 대응되도록 나란하게 마련되는 3개의 발광센서(221)(222)(223) 및 3개의 수광센서(231)(232)(233)와, 상기 각 발광센서(221)(222)(223)로부터 출사된 광이 상기 리드핀(12)에 의해 각각 차광되어 상기 각 수광센서(231)(232)(233)에 도달되는 수광량을 측정하여 상기 리드핀(12)의 정렬상태를 검출할 수 있도록 된 콘트롤러(240)를 포함하여 구성된다.5, the apparatus for inspecting a lead pin according to the present invention includes a suction nozzle 211 for suctioning an IC package 10, an IC package (not shown) 222, 223 arranged so as to be parallel to each other at both ends in the arrangement direction with a lead pin 12 protruding out of the body 11 of the body 10 interposed therebetween, And three light receiving sensors 231, 232 and 233 and light emitted from each of the light emitting sensors 221, 222 and 223 are respectively shielded by the lead pins 12, 231) 232, 233, and detects a state of alignment of the lead pins 12. The controller 240 is configured to detect an alignment state of the lead pins 12 by measuring an amount of light received at the lead pins 231,
상기 구성에 있어서, 상기 3개의 발광센서(221)(222)(223)중 221은 그로부터 출사된 광이 IC패키지(10)의 몸체(11)의 일변(L-L')과 나란한 광축을 형성할 수 있도록 설치된다. 그리고, 222 및 223은 각각 그로부터 출사된 광의 축이 221로부터 출사된 광의 축과 각각 소정의 각도(??)를 이룰 수 있도록 경사진 상태로 221의 양옆에 나란하게 설치된다. 따라서, 도시된 바와 같이 상기 각 발광센서(221)(222)(223)로부터 출사된 광의 축은 대략 IC패키지(10)의 몸체(11)의 일변(L-L') 중앙부의 한점(F)에서 교차된다. 그리고, 상기 3개의 수광센서(231)(232)(233)는 각각 상기 발광센서(221)(222)(223)의 설치구조와 대응되도록 설치되어 리드핀(12)에 의해 차광되지 않은 광을 수광할 수 있도록 되어 있다.221 of the three light emitting sensors 221, 222 and 223 are arranged such that the light emitted therefrom forms an optical axis parallel to the one side L-L 'of the body 11 of the IC package 10 . Reference numerals 222 and 223 are respectively installed on both sides of the slant 221 in a tilted state so that the axis of the light emitted therefrom can form a predetermined angle (??) with the axis of the light emitted from the slant 221. Therefore, the axis of the light emitted from each of the light emitting sensors 221, 222 and 223 is approximately at a point F at the center of one side L-L 'of the body 11 of the IC package 10 Intersect. The three light receiving sensors 231, 232 and 233 are provided so as to correspond to the mounting structure of the light emitting sensors 221, 222 and 223, respectively, so that light not shielded by the lead pins 12 So that it can receive light.
도 5에서 도면 부호 210은 상기 흡착 노즐(211)을 승강 및 회동운동 가능하게 지지하는 헤드부로서, 예를 들면 상기 IC 패키지(10)의 일변의 리드핀(12)에 대한 검사가 완료되면, 상기 헤드부(210)가 상기 흡착 노즐(211)을 이동 또는 회동시켜 다른변의 리드핀에 대한 상태를 검사할 수 있도록 하는 기능을 가진다. 한편, 상기 헤드부(210)는 예컨대, XY로봇이나 다관절 로봇 등에 의해 직교좌표상의 자유로운 이동이 가능하도록 마련되어 있다. 그리고, 도면 부호 220과 230은 각각 상기 발광센서(221)(222)(223)와 수광센서(231)(232)(233)를 지지하기 위한 지지부재이다.5, a reference numeral 210 denotes a head for supporting the suction nozzle 211 so as to be able to move up and down. When the inspection of the lead pin 12 at one side of the IC package 10 is completed, And the head unit 210 has a function of moving or rotating the suction nozzle 211 so that the state of the other side of the lead pin can be inspected. On the other hand, the head unit 210 is provided so as to be freely movable on a rectangular coordinate system, for example, by an XY robot or a multi-joint robot. Reference numerals 220 and 230 denote supporting members for supporting the light emitting sensors 221, 222 and 223 and the light receiving sensors 231, 232 and 233, respectively.
상기한 바와 같은 구성을 가지는 본 발명의 IC 패키지 리드핀 검사장치는, 예컨대 통상적인 부품공급장치 등에 의해 검사대상 IC패키지(10)가 소정 위치에 위치 정렬되면 센서 등을 통한 신호 감지에 의해 상기 헤드부(210)가 위치 이동된 다음, 상기 흡착 노즐(211)이 하강하여 검사대상 IC패키지(10)를 흡착하게 된다. 이와 같이 흡착된 IC패키지(10)는 상기 헤드부(210)의 이동에 의해 상기 발광센서(221)(222)(223)와 수광센서(231)(232)(233) 사이의 검사영역에 위치 정렬된다. 이러한 상태에서 상기 발광센서(221)(222)(223)에서 수광센서(231)(232)(233)로 광이 출사된다. 이때, IC 패키지(10)의 리드핀(12)의 들뜸상태 즉, 높낮이 편차가 크면 클수록 차광되는 광량이 많아지므로 상기 수광센서(231)(232)(233)에 도달되는 광량은 적어진다. 따라서, 상기 발광센서(221)(222)(223)로부터 출사된 광이 IC 패키지(10)의 리드핀(12)에 의해 차광되어 상기 수광센서(231)(232)(233)에 도달되는 광량의 정도를 측정함으로써 검사대상 IC 패키지(10)의 리드핀(12)의 들뜸상태(편평도; Coplanarity)를 검출할 수 있게 된다.The IC package lead pin inspecting apparatus according to the present invention having the above-described structure is configured such that when the IC package 10 to be inspected is aligned at a predetermined position by a usual component supplying device or the like, The suction nozzle 211 is lowered to suck the IC package 10 to be inspected. The absorbed IC package 10 is positioned in the inspection area between the light emitting sensors 221, 222, 223 and the light receiving sensors 231, 232, 233 by movement of the head part 210 . In this state, light is emitted from the light emission sensors 221, 222, and 223 to the light reception sensors 231, 232, and 233. At this time, as the lift-up state of the lead pin 12 of the IC package 10, that is, the height difference deviation, becomes larger, the amount of light shielded becomes larger, so that the amount of light reaching the light receiving sensor 231 (232) Therefore, the light emitted from the light emitting sensors 221, 222 and 223 is shielded by the lead pins 12 of the IC package 10 and reaches the light receiving sensors 231, 232 and 233 The flatness (coplanarity) of the lead pin 12 of the IC package 10 to be inspected can be detected.
이하에서는 상술한 본 발명에 의한 IC 패키지 리드핀 검사장치를 이용하여 본 발명에 따른 IC 패키지의 리드핀을 검사하기 위한 방법을 설명하면 다음과 같다. 상기 흡착 노즐(211)에 의해 흡착된 상태로 공간상에 위치하게 되는 IC 패키지(10)는, 그 흡착된 위치의 상태에 따라 상기 발광센서(221)(222)(223)로부터 출사된 광이 IC 패키지(10)의 리드핀(12)에 의해 차광되는 상태가 달라지므로 상기 수광센서(231)(232)(233)에 도달되는 수광량도 다르게 된다. 즉, 도 6에 도시된 바와 같이 IC 패키지(10)의 리드핀(12)은 수광량이 가장 많은 상태로 출력되는 수광센서(233)의 광축상에 배열되는 부분이 최소폭의 차광영역을 가지므로 이를 기준으로 리드핀(12)의 편평도를 판정하게 된다.Hereinafter, a method for inspecting the lead pins of the IC package according to the present invention using the above-described IC package lead pin inspecting apparatus according to the present invention will be described. The IC package 10 positioned in space with the suction nozzle 211 absorbs the light emitted from the light emitting sensors 221, 222 and 223 according to the state of the attracted position Since the state of being shielded by the lead pin 12 of the IC package 10 is changed, the amount of received light reaching the light receiving sensor 231 (232) 233 also becomes different. 6, the lead pins 12 of the IC package 10 have light-shielding regions of the minimum width arranged on the optical axis of the light-receiving sensor 233 outputted in the state of the largest amount of received light The flatness of the lead pin 12 is determined based on this.
한편, 상기 센서는 검사 대상 IC 패키지의 모델, 규격 등에 따라 검사정밀도를 높이기 위해 예컨대, 5개, 7개 등으로 그 설치 수량을 늘려 설치할 수도 있으나, 현실적으로 그 설치 수량에는 한계가 있으므로 한정되는 복수개의 수광센서에 의해 검출된 수광량에 대해 도 7에 도시된 바와 같이 2차식에 의해 도시되는 곡선으로 도식화하고, 상기 곡선의 꼭지점으로부터 X축에 이르는 거리(L)을 리드핀(12)의 최소 차광폭(L)으로 산출함으로써 리드핀(12)의 편평도를 검출할 수 있다. 즉, 본 실시예에서와 같이 3개쌍의 센서가 설치된 경우에 있어서, 다음의 수학식 (1)에 상기 각 수광센서(231)(232)(233)에서 검출된 수광량을 대입하여 계산하면 최소 차광폭(L)이 산출된다.Meanwhile, the sensor may be installed in an increased number, for example, 5 or 7 in order to increase the inspection accuracy according to the model, specification, etc. of the IC package to be inspected. However, 7, the distance L from the vertex of the curve to the X-axis is set to a minimum light-shielding width of the lead pin 12 (L), the flatness of the lead pin 12 can be detected. That is, in the case where three pairs of sensors are provided as in the present embodiment, the light receiving amounts detected by the light receiving sensors 231, 232, and 233 are substituted into the following equation (1) The width L is calculated.
상기 수학식 1 및 도 7에서 Y(축)는 차광폭, X(축)는 출사된 각 광의 축이 이루는 각도()의 값을 나타낸다. 그리고, 미지수 a와 b 및 c는 상기 수광센서(231)(232)(233)의 각각의 설치 각도 (-, 0,)와, 검출된 수광량(y1, y2, y3)을 상기 수학식 1의 Y에 대입하여 얻을 수 있다.In Equations (1) and (7), Y (axis) is the width of difference and X (axis) is the angle formed by the axes of the emitted lights ). The unknowns a, b, and c are the installation angles (-) of the light receiving sensors 231, 232, and 233, , 0, (Y1, y2, y3) into the Y in the equation (1).
상기 수학식 1에서 최소 차광폭(L)은, c - b2 / 4a(X = -b/2a 일 때)로 계산되므로 각도값 X(= -b/2a)가 다음 수학식 2의 범위를 만족할 때, c - b2 / 4a를 최소 차광폭으로 삼아 리드핀의 편평도 값으로 취하고, 다음의 수학식 2의 범위를 벗어나는 경우에는 -와중 작은값을 나타내는 차광량을 리드핀의 편평도값으로 취한다.Since the minimum difference width L in Equation 1 is calculated as c-b2 / 4a (when X = -b / 2a), the angle value X (= -b / 2a) , C - b2 / 4a is taken as the value of the flatness of the lead pin by taking the minimum difference width, and if it is out of the range of the following formula (2) Wow Is taken as the flatness value of the lead pin.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 의한 IC 패키지의 리드핀 검사방법 및 장치는, 흡착 노즐에 흡착된 IC 패키지의 위치 오차를 보정하여 리드핀 검사에 대한 정밀도 및 효율을 향상시킬 수 있다.INDUSTRIAL APPLICABILITY As described above, the method and apparatus for inspecting lead pins of an IC package according to the present invention can improve accuracy and efficiency of lead pin inspection by correcting the position error of an IC package adsorbed on a suction nozzle.
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