KR100191823B1 - Semiconductor carry transfer box - Google Patents
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Abstract
웨이퍼가 적재되어 있는 캐리어를 이송하는 이송박스에 부착된 바코드의 부착위치를 변경하여 바코드 리더를 이용하여 바코드를 리딩하는 반도체용 캐리어 이송박스 및 그의 바코드 리딩 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a carrier transfer box for a semiconductor and a barcode reading system thereof for changing a attachment position of a barcode attached to a transfer box for transferring a carrier on which a wafer is loaded, to read the barcode using a barcode reader.
본 고안은, 반도체 웨이퍼를 적재한 캐리어를 내부에 수용하도록 본체와 덮개로 구성되고, 상부 노출면에 바코드가 부착된 런시트가 상기 캐리어와 동일한 개수로 놓여서 이탈되지 않도록 상기 덮개의 요홈에 고정되어 있는 반도체용 캐리어 이송박스에 있어서, 상기 덮개의 상면에 런시트의 바코드와 이송 박스의 바코드가 일방향성을 갖도록 측방향으로 나란하게 배치되고, 상기 런시트의 바코드 및 박스의 바코드와 각각 대향하는 위치에 복수개의 바코드 리더를 배치시킨 바코드 리더 조립체가 구비되어, 상기 박스를 바코드 리더 조립체의 하부로 이송시키는 것에 의해 복수개의 바코드를 바코드 리더 조립체가 순차적으로 리딩하는 것을 특징으로 한다.The present invention is composed of a main body and a cover to accommodate the carrier on which the semiconductor wafer is loaded therein, and is fixed to the groove of the cover so that run sheets with a barcode attached to the upper exposed surface are placed in the same number as the carrier and are not separated. In the carrier transfer box for semiconductors, the bar code of the run sheet and the bar code of the transfer box are arranged side by side so as to have a one-way direction on the upper surface of the cover, the position facing the bar code of the run sheet and the bar code of the box, respectively A barcode reader assembly having a plurality of barcode readers disposed thereon is provided, and the barcode reader assembly sequentially reads the plurality of barcodes by transferring the box to the bottom of the barcode reader assembly.
따라서, 바코드 리딩작업이 바코드 리더 조립체에 의해서 손쉽게 이루어지므로 생산성이 향상되고 작업효율이 극대화되는 효과가 있다.Therefore, since the barcode reading operation is easily performed by the barcode reader assembly, productivity is improved and work efficiency is maximized.
Description
제1도는 종래의 반도체용 캐리어 이송박스 및 그의 바코드 리딩 시스템을 설명하기위한 개략적인 도면이다.1 is a schematic diagram illustrating a conventional carrier transfer box for a semiconductor and a barcode reading system thereof.
제2도는 동래의 런시트를 나타내는 개략적인 사시도이다.2 is a schematic perspective view showing a run sheet of the same type.
제3도는 본 발명에 따른 반도체용 캐리어 이송박스의 일 실시예를 설명하기 위한 사시도이다.3 is a perspective view for explaining an embodiment of a carrier transfer box for a semiconductor according to the present invention.
제4도는 본 발명에 따른 반도체용 캐리어 이송박스 및 그의 바코드 리딩 시스템의 일 실시예를 나타내는 도면이다.4 is a view showing an embodiment of a carrier transfer box for a semiconductor and a barcode reading system thereof according to the present invention.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings
10, 30 : 덮개 12, 32 : 수용체10, 30: cover 12, 32: receptor
14, 16 : 런시트 18, 38 : 끼움홈14, 16: run sheet 18, 38: fitting groove
20, 22 : 바코드 24, 34 : 박스 바코드20, 22: Barcode 24, 34: Box barcode
36 : 돌출부 40 : 바코드 리더 조립체36: protrusion 40: barcode reader assembly
A : 박스 바코드 리딩영역 B : 제1런시트 리딩영역A: Box barcode reading area B: First run sheet reading area
C : 제2런시트 리딩영역C: 2nd run seat reading area
본 발명은 반도체용 캐리어 이송박스 및 그의 바코드 리딩 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 웨이퍼가 적재되어 있는 캐리어(Carrier)를 이송하는 이송박스에 부착된 바코드(Bar Code)의 부착위치를 변경하고 바코드 리더로 바코드를 리딩(Reading)하는 반도체용 캐리어 이송박스 및 그의 바코드 리딩 시스템에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a carrier transfer box for a semiconductor and a barcode reading system thereof, and more particularly, to change an attachment position of a bar code attached to a transfer box for transferring a carrier on which a wafer is loaded, and to replace a barcode. The present invention relates to a carrier transfer box for a semiconductor for reading a barcode with a reader and a barcode reading system thereof.
통상적으로 실리콘 재질의 웨이퍼는 사진, 확산, 식각, 화학기상증착 및 금속배선 등의 공정이 반복 수행됨에 따라 반도체장치로 제작되며, 반도체 장치로 제작되기까지 웨이퍼는 요구되는 각 공정 사이로 이송되어 각 공정에 따른 작업을 수행하게 된다.Typically, wafers made of silicon are manufactured as semiconductor devices by repeating processes such as photographing, diffusion, etching, chemical vapor deposition, and metallization, and the wafers are transferred between each required process until the semiconductor devices are manufactured. It will perform the work according to.
전술한 바와 같이 웨이퍼를 각 공정으로 이송시키기 위해서는 먼저 웨이퍼를 캐리어에 적재하게 되며, 다시 캐리어를 운반용 박스에 담아 이송하도록 되어 있다.As described above, in order to transfer the wafer to each process, the wafer is first loaded on the carrier, and then the carrier is transferred to the transport box.
이러한 캐리어 운반용 박스는 웨이퍼를 다른 공정으로 이송시키는데 쓰일 뿐만 아니라 각 공정의 진행상 혹은 제조설비의 고장으로 인하여 시간적으로 다른 공정으로의 진행이 정체되는 경우 웨이퍼를 보관하는 역할도 수행하고 있다.The carrier transport box is used not only to transfer the wafer to another process but also to store the wafer when progress to another process is stalled due to the progress of each process or failure of the manufacturing equipment.
그리고, 이 캐리어 운반용 박스는 두껑과 수용체로 구성되어 있으며, 뚜껑에는 런시트(Run shcct)가 삽입된다. 런시트 표면에는 바코드가 부착되어 바건(Bar Gun)으로 바코드를 리딩(Reading)하여 내부에 적재되어 있는 웨이퍼가 진행되어온 공정을 확인하는 작업이 이루어진다. 그리고 수용체에도 바코드가 부착되어 바코드를 리딩하는 작업이 이루어져서 후속되는 어떤공정으로 박스를 이송시켜야 할 지를 확인하는 작업이 이루어진다.The carrier transport box is composed of a lid and a container, and a run shcct is inserted into the lid. The barcode is attached to the surface of the run sheet, and the barcode is read by a bar gun to check the process of the wafer loaded therein. And the barcode is attached to the receptor, and the barcode is read, so that the process of checking whether the box should be transferred to a subsequent process is performed.
제1도를 참조하면, 종래의 운반용 박스는 2개의 캐리어를 수용할 수 있는 내부 공간을 가지고 있는 상면이 개방된 육면체 형상의 수용체(12)와 수용체(12) 상부를 덮는 덮개(10)가 구성되어 있다.Referring to FIG. 1, a conventional transport box includes a top-opened cube-shaped container 12 having an inner space for accommodating two carriers and a lid 10 covering the upper part of the container 12. It is.
그리고 수용체(12)의 측면에 박스 바코드(24)가 부착되어 있다. 그리고 수용체(12) 상부의 덮개(10)에는 요형의 끼움홈(18)이 형성되어 런시트(14, 16)가 삽입되어 있다.The box barcode 24 is attached to the side of the container 12. And the cover 10 of the upper part of the receptor 12 is formed with a recessed groove 18 is inserted into the run sheet (14, 16).
제2도를 참조하면, 런시트(14, 16)에는 공정이 진행되는 설비의 환경 및 공정시간을 작업자가 기록할 수 있는 공간이 있고, 캐리어에 적재된 웨이퍼가 진행되어온 공정에 의해서 형성된 웨이퍼의 종류를 나타내는 바코드(20, 22)가 런시트(14, 16) 상부에 부착되어 있다.Referring to FIG. 2, the run sheets 14 and 16 have a space in which an operator can record the environment and the processing time of the equipment in which the process proceeds, and the wafer formed by the process in which the wafer loaded in the carrier has advanced. Barcodes 20 and 22 indicating the type are attached to the run sheets 14 and 16, respectively.
따라서, 특정 공정설비에서 공정이 이루어진 웨이퍼를 카세트에 적재하고, 다시 웨이퍼가 적재된 2개의 카세트를 박스내에 넣고 후속되는 다음 공정설비로 박스가 이동하면, 작업자는 수용체(12)의 외벽에 부착되어 있는 박스 바코드(24)를 바건으로 리딩하는 작업을 수행한다. 리딩작업에 의해서 후속되는 어떤 공정으로 박스가 이송되어야 할 것인지를 확인하는 작업이 이루어진다. 그리고 덮개(10) 상부의 끼움홈(18)에 끼워져 있는 런시트(14, 16)는 작업자가 직접 뽑아서 바건을 이용하여 리딩하게 된다. 이 리딩작업에 의해서 박스 내부에 담겨진 웨이퍼가 어떤 공정에서 어떠한 공정이 이루어진 것인지를 확인할 수 있다.Therefore, when a wafer processed in a specific process facility is loaded into a cassette, the two cassettes in which the wafer is loaded are placed in a box, and the box moves to the next process facility, whereby an operator is attached to the outer wall of the container 12. A box bar code 24 is read as a bagan. The reading operation is followed by a process to confirm which process the box should be transferred to. And the run sheet (14, 16) that is fitted in the fitting groove 18 of the upper cover 10 is pulled directly by the operator using a bargun. By this reading operation, the wafer contained in the box can be identified in which process and in what process.
박스 바코드(24)와 바코드(20, 22)에 대한 리딩작업이 이루어지면, 작업자는 바건을 이용하여 종료를 위한 바코드를 리딩하는 작업을 수행하고 자동반송시스템이 진행되는 키이를 눌러서 박스가 공정설비로 이송되도록 한다.When reading the box barcode 24 and the barcodes 20 and 22 are made, the operator reads the barcode for the end using the bar gun and presses the key that the automatic transfer system is in progress to process the box. To be transported.
그러나, 작업자가 끼움홈에 고정되어 있는 런시트를 하나 하나 뽑아서 바코드 리딩작업을 수행하고, 리딩작업 후 종료를 위한 바코드를 리딩하는 작업을 수행하고, 다시 자동반송시스템이 진행되는 키이를 눌러야하는 리딩작업의 번거로움이 발생하였다.However, the operator pulls out a run sheet fixed to the fitting groove one by one to perform a barcode reading operation, to read the barcode for termination after the reading operation, and then to read the key that the automatic transfer system is pressed again. The hassle of work has occurred.
본 발명의 목적은, 자동반송공정 과정에서 박스에 부착된 바코드를 리딩하는 작업의 번거로움을 해소하여 생산성을 향상하고 작업효율을 극대화하는 반도체용 캐리어 이송박스 및 그의 리딩 시스템을 제공하는 데 있다.Disclosure of Invention An object of the present invention is to provide a carrier transfer box for a semiconductor and a reading system for improving productivity and maximizing work efficiency by eliminating the trouble of reading a barcode attached to a box in an automatic transfer process.
본 발명의 다른 목적은, 바코드를 리딩하는 작업을 자동화하는 반도체용 캐리어 이송박스 및 그의 리딩 시스템을 제공하는 데 있다.Another object of the present invention is to provide a carrier transfer box for a semiconductor and a reading system thereof for automating a task of reading a barcode.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체 웨이퍼용 캐리어 이송박스는, 반도체 웨이퍼를 적재한 캐리어를 내부에 수용하도록 본체와 덮개로 구성되고, 상부 노출면에 바코드가 부착된 런시트(Run Sheet)가 상기 캐리어와 동일한 개수로 놓여서 이탈되지 않도록 상기 덮개의 요홈에 고정되어 있는 반도체용 캐리어 이송박스에 있어서, 상기 덮개의 상면에 런시트의 바코드와 이송박스의 바코드가 일방향성을 갖도록 측방향으로 나란하게 배치됨을 특징으로 한다.Carrier transfer box for a semiconductor wafer according to the present invention for achieving the above object is a run sheet having a main body and a cover so as to accommodate a carrier on which a semiconductor wafer is loaded therein, with a barcode attached to the upper exposed surface (Run Sheet) In the carrier transport box for a semiconductor is fixed to the groove of the cover so that the number of the same number of carriers is not separated from the carrier, the bar code of the run sheet and the bar code of the transfer box is arranged side by side so as to have a one-way on the upper surface of the cover Characterized in that arranged.
상기 런시트가 복수개일 경우, 상기 런시트는 상기 바코드가 노출되도록 상기 요홈에 중첩되어 고정됨이 바람직하다.When the run sheet is plural, the run sheet is preferably fixed to overlap the groove so that the bar code is exposed.
본 발명에 다른 반도체 캐리어 이송박스의 바코드 리딩 시스템은, 캐리어 운반 박스에 구비된 바코드와, 상기 박스의 덮개에 놓인 복수개의 런시트의 바코드를 바코드 리더로 리딩하기 위한 시스템에 있어서, 상기 덮개 상면에 놓인 런시트의 바코드와 운반 박스의 바코드가 일방향성을 갖도록 측방향으로 나란하게 배치되고, 상기 런시트의 바코드 및 박스의 바코드와 각각 대향하는 위치에 복수개의 바코드 리더를 배치시킨 바코드 리더 조립체를 구비하여, 상기 박스를 바코드 리더 조립체의 하부로 이송시키는 것에 의해 복수개의 바코드를 바코드 리더 조립체가 동시에 리딩하는 것을 특징으로 한다.A barcode reading system of a semiconductor carrier transfer box according to the present invention is a system for reading barcodes provided in a carrier transport box and barcodes of a plurality of run sheets placed on a lid of the box with a barcode reader, wherein The barcode of the placed run sheet and the barcode of the transport box are arranged side by side to have a one-way direction, and have a barcode reader assembly in which a plurality of barcode readers are disposed at positions opposite to the barcode of the run sheet and the barcode of the box, respectively. The barcode reader assembly may simultaneously read a plurality of barcodes by transferring the box to the bottom of the barcode reader assembly.
이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
제3도는 본 발명에 따른 반도체용 캐리어 이송박스의 일 실시예를 설명하기 위한 도면이다.3 is a view for explaining an embodiment of a carrier transfer box for a semiconductor according to the present invention.
제4도는 본 발명에 따른 반도체용 캐리어 이송박스에 부착된 런시트를 리딩하는 방법을 설명하기 위한 도면이다.4 is a view for explaining a method of reading a run sheet attached to a carrier transfer box for a semiconductor according to the present invention.
제3도를 참조하면, 특정공정설비에서 공정이 이루어진 라트(Lot)단위의 25장의 웨이퍼를 적재한 카세트 2개를 수용할 수 있는 공간을 가지고 있고 상면이 개방된 육면체 형상의 수용체(32)가 구성되어 있다. 그리고 수용체(32) 상면의 개방된 부분을 덮을 수 있는 덮개(30)가 구성되어 있다.Referring to FIG. 3, a cube-shaped container 32 having an open top surface having a space for accommodating two cassettes loaded with 25 wafers in a lot unit in which a process is performed in a specific process facility is opened. Consists of. And the cover 30 which can cover the open part of the upper surface of the container 32 is comprised.
덮개(30)의 표면에는 2개의 런시트(14)(16)가 겹쳐져서 삽입될 수 있는 요형의 끼움홈(38)이 형성되어 있고 끼움홈(38)의 가장자리 부분에는 끼움홈(38)에 삽입될 런시트(14)(16)를 고정하는 돌출부(36)가 구성되어 있다.On the surface of the cover 30 is formed a groove 38 of the concave shape that can be inserted by overlapping the two run sheets (14, 16), and the fitting groove 38 in the edge portion of the fitting groove 38 The protrusion 36 which fixes the run seats 14 and 16 to be inserted is comprised.
돌출부(36)는 덮개(30)와 일정한 높이를 유지하면서 끼움홈(36) 형성부 위에서 돌출되어, 끼움홈(38)의 저면과 돌출부(36) 사이에 일정한 이격공간을 가지고 있어서 런시트(14)(16)가 삽입될 수 있도록 구성되어 있다.The protrusion 36 protrudes from the fitting groove 36 forming part while maintaining a constant height with the cover 30, and has a predetermined spaced space between the bottom of the fitting groove 38 and the protrusion 36 so that the run sheet 14 can be formed. 16 is configured to be inserted.
제4도를 참조하면, 덮개(30)의 상부에 형성되어 있는 끼움홈(38)에 런시트(14, 16)가 끼워져 있다. 그리고 런시트(14, 16) 노출면의 특정영역에는 바코드(20, 22)가 일정한 방향으로 각각 부착되어 있다. 그리고 박스 바코드(34)가 덮개(30)의 특정영역에 런시트(14, 16)의 바코드(20, 22)와 동일한 방향으로 나란하게 부착되어 있다. 이러한 상태에서 자동반송시스템의 구동에 의해서 박스가 바코드 리더 조립체(40)의 하부로 이송되도록 구성되어 있다.Referring to FIG. 4, the run sheets 14 and 16 are fitted into the fitting grooves 38 formed in the upper portion of the cover 30. In addition, barcodes 20 and 22 are attached to the specific regions of the exposed surfaces of the run sheets 14 and 16 in a predetermined direction, respectively. The box barcode 34 is attached to the specific area of the cover 30 side by side in the same direction as the barcodes 20 and 22 of the run sheets 14 and 16. In this state, the box is configured to be transported to the bottom of the barcode reader assembly 40 by driving the automatic transport system.
바코드 리더 조립체(40)는 박스 바코드(34)의 리딩영역(A), 런시트(20, 22)의 리딩영역(B, C)이 구비되어 있어서, 박스(30)가 하부로 이동될 때 박스에 부착된 바코드(20, 22, 34)를 순차적으로 리딩할 수 있도록 구성되어 있다.The barcode reader assembly 40 is provided with a leading area A of the box barcode 34 and leading areas B and C of the run sheets 20 and 22 so that the box 30 is moved downward when the box 30 is moved downward. The barcodes 20, 22, and 34 attached thereto are configured to read sequentially.
전술한 구성에 의해서 본 발명에 따른 반도체 웨이퍼용 캐리어 이송 박스 및 그의 바코드 리딩 시스템을 제3도 및 제4도를 참조하여 설명하면, 특정 공정설비에서 공정이 이루어진 웨이퍼를 적재한 카세트 2개가 담겨진 박스가 후속되는 다음 공정설비로 이송되기 위하여 특정위치에 위치하면, 작업자는 런시트(14, 16)에 공정설비의 환경 및 공정시간을 기록하고 덮개(30)의 표면에 형성된 끼움홈(38)에 런시트(14, 16)를 끼운다.The carrier transfer box for a semiconductor wafer and its barcode reading system according to the present invention according to the above-described configuration will be described with reference to FIGS. 3 and 4, and a box containing two cassettes on which wafers are processed in a specific process facility are loaded. Is located at a specific position to be transferred to the next process facility, the operator records the environment and process time of the process facility on the run sheets 14 and 16 and inserts into the fitting groove 38 formed on the surface of the cover 30. Insert the run sheets (14, 16).
즉 작업자는 하나의 런시트(14)를 잡고 일정한 각도로 눕혀서 돌출부(36)와 끼움홈(38)의 저면 상이의 이격공간에 런시트(14)를 끼우고 끼움홈(38) 저면에 밀착시킨다. 그리고 다시 작업자는 공정설비의 온도 등의 작업환경과 공정시간이 기록된 다른 하나의 런시트(16)를 잡고 끼움홈(38)에 밀착된 런시트(14)와 겹치면서 돌출부(36)와 끼움홈(38) 저면 사이의 공간에 런시트(16)를 끼우고 끼움홈(38)에 밀착시킨다. 런시트(14, 16)에 부착된 바코드(20, 22)는 일정한 방향을 향하면서 끼움홈(38)에 고정되어 있다.That is, the operator grasps one run sheet 14 and lies down at a predetermined angle so that the run sheet 14 is inserted into a space separated from the bottom of the protrusion 36 and the fitting groove 38 and closely adheres to the bottom of the fitting groove 38. . Then again, the operator grasps the other run sheet 16 in which the working environment such as the temperature of the process equipment and the process time are recorded, overlaps with the run sheet 14 in close contact with the fitting groove 38, and the protrusion 36 and the fitting groove. (38) Insert the run sheet (16) in the space between the bottom and close to the fitting groove (38). The barcodes 20 and 22 attached to the run sheets 14 and 16 are fixed to the fitting grooves 38 in a predetermined direction.
캐리어 운반용 박스에 런시트(14, 16)가 삽입되면 컨베이어 시스템에 의해서 박스(30)는 후속되는 공정설비로 이동한다. 후속되는 공정설비로 이동될 때, 캐리어 운반용 박스(30)는 바코드 리더 조립체(40)의 하부로 이동하면서 바코드 리더 조립체(40)에 의해서 바코드(20, 22, 34)가 순차적으로 리딩된다.When the run sheets 14 and 16 are inserted into the carrier transport box, the box 30 is moved to a subsequent process facility by the conveyor system. When moved to a subsequent process facility, the carrier transport box 30 is sequentially moved by the barcode reader assembly 40 while moving to the bottom of the barcode reader assembly 40.
즉 캐리어 운반용 박스가 바코드 리더 조립체(40)의 하부로 이동하면 박스 바코드(34) 리딩영역(A)에 의해서 먼저 박스 바코드(34)를 리딩하면서 박스가 후속되는 어떤 다른 공정으로 이송되어야 할지가 확인된다. 그리고 다시 제1런시트 리딩영역(B)과 제2런시트 리딩영역(C)의 리딩에 의해서 바코드(20, 220를 리딩하여서 박스에 담겨진 웨이퍼가 어떤 공정이 진행되어온지가 확인된다.That is, when the carrier transport box is moved to the bottom of the barcode reader assembly 40, the box barcode 34 reading area A first reads the box barcode 34 and checks whether the box should be transferred to any other process that follows. do. In addition, the barcodes 20 and 220 are read by reading the first run sheet reading region B and the second run sheet reading region C to determine which process is performed on the wafer contained in the box.
따라서, 작업자의 수작업에 의해서 이루어지던 바코드 리딩작업이 바코드 리더 조립체에 의해서 자동화되어 생산성이 향상되고 작업효율이 극대화되는 효과가 있다.Therefore, the barcode reading operation performed by the operator's manual operation is automated by the barcode reader assembly, thereby improving productivity and maximizing work efficiency.
이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구의 범위에 속함은 당연하다.Although the present invention has been described in detail only with respect to the described embodiments, it will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations are possible within the technical spirit of the present invention, and such modifications and modifications are within the scope of the appended claims. .
Claims (3)
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|---|---|---|---|---|
| KR100521314B1 (en) * | 1997-10-13 | 2005-12-30 | 삼성전자주식회사 | Wafer transfer mechanism for semiconductor device manufacturing |
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1996
- 1996-03-14 KR KR1019960006860A patent/KR100191823B1/en not_active Expired - Fee Related
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| KR100521314B1 (en) * | 1997-10-13 | 2005-12-30 | 삼성전자주식회사 | Wafer transfer mechanism for semiconductor device manufacturing |
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