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JPWO2020079836A1 - Rotating transformers and ultrasonic flaw detectors for ultrasonic flaw detectors - Google Patents

Rotating transformers and ultrasonic flaw detectors for ultrasonic flaw detectors Download PDF

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JPWO2020079836A1
JPWO2020079836A1 JP2019529659A JP2019529659A JPWO2020079836A1 JP WO2020079836 A1 JPWO2020079836 A1 JP WO2020079836A1 JP 2019529659 A JP2019529659 A JP 2019529659A JP 2019529659 A JP2019529659 A JP 2019529659A JP WO2020079836 A1 JPWO2020079836 A1 JP WO2020079836A1
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Abstract

第１の１ターンコイル（１２ａ）〜（１２ｄ）が第１の平面（１１ａ）に同心円状に形成され、第１の浮遊導体（１３）が第２の平面（１１ｂ）に形成されている第１の基板（１１）と、第１の浮遊導体（１３）を取り囲むように第１の基板（１１）を保持している第１の保持部材（１４）とを有する固定体（５）と、第１の１ターンコイル（１２ａ）〜（１２ｄ）のそれぞれと対向するように、第２の１ターンコイル（２２ａ）〜（２２ｄ）が第３の平面（２１ａ）に同心円状に形成され、第２の浮遊導体（２３）が第４の平面（２１ｂ）に形成されている第２の基板（２１）と、第２の浮遊導体（２３）を取り囲むように第２の基板（２１）を保持している第２の保持部材（２４）と、第２の１ターンコイル（２２ａ）〜（２２ｄ）のそれぞれと接続されている超音波探触子（３２ａ）〜（３２ｄ）とを有し、第２の基板（２１）と第２の保持部材（２４）と超音波探触子（３２ａ）〜（３２ｄ）とが被検査材（７）の周りを回転する回転体（６）とを備えるように、回転トランス（１）を構成した。The first one-turn coils (12a) to (12d) are formed concentrically on the first plane (11a), and the first floating conductor (13) is formed on the second plane (11b). A fixed body (5) having a substrate (11) of 1 and a first holding member (14) holding the first substrate (11) so as to surround the first floating conductor (13). The second one-turn coils (22a) to (22d) are formed concentrically on the third plane (21a) so as to face each of the first one-turn coils (12a) to (12d). The second substrate (21) in which the second floating conductor (23) is formed in the fourth plane (21b) and the second substrate (21) are held so as to surround the second floating conductor (23). It has a second holding member (24) and ultrasonic probes (32a) to (32d) connected to each of the second one-turn coils (22a) to (22d). A second substrate (21), a second holding member (24), and a rotating body (6) in which ultrasonic probes (32a) to (32d) rotate around the material to be inspected (7) are provided. As described above, the rotary transformer (1) was configured.

Description

この発明は、固定体及び回転体を備える超音波探傷装置用の回転トランスに関するものである。
また、この発明は、回転トランスを備える超音波探傷装置に関するものである。The present invention relates to a rotary transformer for an ultrasonic flaw detector including a fixed body and a rotating body.
The present invention also relates to an ultrasonic flaw detector including a rotary transformer.

以下の特許文献１には、固定体及び回転体を備える超音波探傷装置用の回転トランスが開示されている。
固定体は、複数の１ターンコイル（以下、「第１の１ターンコイル」と称する）が同心円状に形成された基板（以下、「第１の基板」と称する）と、第１の基板を保持している保持部材（以下、「第１の保持部材」と称する）とを備えている。
回転体は、固定体に形成された第１の１ターンコイルと同数の１ターンコイル（以下、「第２の１ターンコイル」と称する）が同心円状に形成された基板（以下、「第２の基板」と称する）と、第２の基板を保持している保持部材（以下、「第２の保持部材」と称する）とを備えている。
固定体が備える第１の基板と第１の保持部材との間には、空気が介在している。
また、回転体が備える第２の基板と第２の保持部材との間には、空気が介在している。The following Patent Document 1 discloses a rotary transformer for an ultrasonic flaw detector including a fixed body and a rotating body.
The fixed body includes a substrate (hereinafter, referred to as "first substrate") in which a plurality of 1-turn coils (hereinafter, referred to as "first 1-turn coil") are formed concentrically, and a first substrate. It includes a holding member that holds it (hereinafter, referred to as a "first holding member").
The rotating body is a substrate (hereinafter, "second") in which the same number of 1-turn coils (hereinafter, referred to as "second 1-turn coils") as the first 1-turn coil formed on the fixed body are formed concentrically. (Refered to be referred to as "the substrate") and a holding member (hereinafter, referred to as "the second holding member") that holds the second substrate.
Air is interposed between the first substrate included in the fixed body and the first holding member.
Further, air is interposed between the second substrate included in the rotating body and the second holding member.

国際公開第２０１２／１４１２７９号International Publication No. 2012/141279

特許文献１に開示されている回転トランスは、第１及び第２の保持部材が導電体によって形成されている。したがって、第１及び第２の１ターンコイルに電気信号が流れると、電磁誘導現象によって、渦電流損又はヒステリシス損などが第１及び第２の保持部材に生じることがある。渦電流損又はヒステリシス損などが第１及び第２の保持部材に生じることで、電気信号の伝送特性が劣化するため、被検査材の探傷精度が劣化する。
第１及び第２の基板と、第１及び第２の保持部材との間の空気は、電磁誘導現象の影響を軽減するように作用する。特許文献１に開示されている回転トランスでは、電磁誘導現象の影響を解消するため、第１及び第２の基板と、第１及び第２の保持部材との間の距離として、第１の１ターンコイルと第２の１ターンコイルとの間のギャップの５〜１０倍を確保している。
したがって、第１及び第２の基板と、第１及び第２の保持部材との間の距離が長くなるため、固定体及び回転体のそれぞれの厚さが厚くなり、回転トランスが大型化してしまうという課題があった。In the rotary transformer disclosed in Patent Document 1, the first and second holding members are formed of a conductor. Therefore, when an electric signal flows through the first and second one-turn coils, eddy current loss or hysteresis loss may occur in the first and second holding members due to the electromagnetic induction phenomenon. Since eddy current loss or hysteresis loss occurs in the first and second holding members, the transmission characteristics of electric signals are deteriorated, so that the flaw detection accuracy of the material to be inspected is deteriorated.
The air between the first and second substrates and the first and second holding members acts to mitigate the effects of the electromagnetic induction phenomenon. In the rotary transformer disclosed in Patent Document 1, in order to eliminate the influence of the electromagnetic induction phenomenon, the distance between the first and second substrates and the first and second holding members is set to the first one. It secures 5 to 10 times the gap between the turn coil and the second 1-turn coil.
Therefore, since the distance between the first and second substrates and the first and second holding members becomes long, the thickness of each of the fixed body and the rotating body becomes thick, and the rotary transformer becomes large. There was a problem.

この発明は上記のような課題を解決するためになされたもので、電磁誘導現象の影響を解消するために、第１及び第２の基板と、第１及び第２の保持部材との間の距離を長くすることなく、電磁誘導現象の影響を解消することができる超音波探傷装置用の回転トランス及び超音波探傷装置を得ることを目的とする。 The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and in order to eliminate the influence of the electromagnetic induction phenomenon, between the first and second substrates and the first and second holding members. An object of the present invention is to obtain a rotary transformer and an ultrasonic flaw detector for an ultrasonic flaw detector, which can eliminate the influence of an electromagnetic induction phenomenon without increasing the distance.

この発明に係る超音波探傷装置用の回転トランスは、複数の第１の１ターンコイルが第１の平面に同心円状に形成され、第１の浮遊導体が第２の平面に形成されている第１の基板と、第１の浮遊導体を取り囲むように第１の基板を保持している第１の保持部材とを有する固定体と、複数の第１の１ターンコイルのそれぞれと対向するように、複数の第２の１ターンコイルが第３の平面に同心円状に形成され、第２の浮遊導体が第４の平面に形成されている第２の基板と、第２の浮遊導体を取り囲むように第２の基板を保持している第２の保持部材と、複数の第２の１ターンコイルのそれぞれと接続されている複数の超音波探触子とを有し、第２の基板と第２の保持部材と複数の超音波探触子とが被検査材の周りを回転する回転体とを備えるようにしたものである。 In the rotary transformer for an ultrasonic flaw detector according to the present invention, a plurality of first one-turn coils are formed concentrically on a first plane, and a first floating conductor is formed on a second plane. A fixed body having a substrate 1 and a first holding member holding the first substrate so as to surround the first floating conductor, and facing each of the plurality of first one-turn coils. A plurality of second 1-turn coils are concentrically formed on the third plane, and the second floating conductor is formed on the fourth plane so as to surround the second substrate and the second floating conductor. It has a second holding member that holds the second substrate, and a plurality of ultrasonic probes connected to each of the plurality of second one-turn coils, and has a second substrate and a second. The holding member of No. 2 and a plurality of ultrasonic probes are provided with a rotating body that rotates around the material to be inspected.

この発明によれば、固定体が、第１の浮遊導体を取り囲むように第１の基板を保持している第１の保持部材を有し、回転体が、第２の浮遊導体を取り囲むように第２の基板を保持している第２の保持部材を有している。したがって、この発明に係る超音波探傷装置用の回転トランスは、電磁誘導現象の影響を解消するために、第１及び第２の基板と、第１及び第２の保持部材との間の距離を長くすることなく、電磁誘導現象の影響を解消することができる。 According to the present invention, the fixed body has a first holding member holding the first substrate so as to surround the first floating conductor, and the rotating body surrounds the second floating conductor. It has a second holding member that holds the second substrate. Therefore, in the rotary transformer for the ultrasonic flaw detector according to the present invention, in order to eliminate the influence of the electromagnetic induction phenomenon, the distance between the first and second substrates and the first and second holding members is reduced. The influence of the electromagnetic induction phenomenon can be eliminated without lengthening.

実施の形態１に係る超音波探傷装置を示す構成図である。It is a block diagram which shows the ultrasonic flaw detection apparatus which concerns on Embodiment 1. FIG. 超音波探傷装置用の回転トランス１におけるアウターリング１０を図１のｘ１方向から見た平面図である。The outer ring 10 of the rotary transformer 1 for ultrasonic flaw detector is a plan view from x 1 direction in FIG. 図２に示すアウターリング１０のＣ−Ｃ’断面を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the CC'cross section of the outer ring 10 shown in FIG. 超音波探傷装置用の回転トランス１におけるインナーリング２０を図１のｘ２方向から見た平面図である。It is a plan view of the inner ring 20 from the x 2 direction in FIG. 1 in the rotating transformer 1 for ultrasonic flaw detection apparatus. 図４に示すインナーリング２０のＤ−Ｄ’断面を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the DD'cross section of the inner ring 20 shown in FIG. 第１の平面１１ａに形成されている一部の第１の導体１６と柱状導体１７とを示す説明図である。It is explanatory drawing which shows a part of the 1st conductor 16 and the columnar conductor 17 formed in the 1st plane 11a. 第１の１ターンコイル１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄと、第２の１ターンコイル２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄとの間の非接触伝送を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the non-contact transmission between the 1st 1 turn coil 12a, 12b, 12c, 12d and the 2nd 1 turn coil 22a, 22b, 22c, 22d. クロストークの発生を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the occurrence of crosstalk. クロストークの抑圧を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the suppression of crosstalk. 図２に示すアウターリング１０のＣ−Ｃ’断面を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the CC'cross section of the outer ring 10 shown in FIG. 図４に示すインナーリング２０のＤ−Ｄ’断面を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the DD'cross section of the inner ring 20 shown in FIG. 超音波探傷装置用の回転トランス１におけるアウターリング１０の他の例を図１のｘ１方向から見た平面図である。It is a plan view of another example of the outer ring 10 from the x 1 direction in FIG. 1 in the rotary transformer 1 for ultrasonic flaw detection apparatus. 超音波探傷装置用の回転トランス１におけるインナーリング２０の他の例を図１のｘ２方向から見た平面図である。It is a plan view of another example of the inner ring 20 from the x 2 direction in FIG. 1 in the rotating transformer 1 for ultrasonic flaw detection apparatus. 超音波探傷装置用の回転トランス１におけるアウターリング１０の他の例を図１のｘ１方向から見た平面図である。It is a plan view of another example of the outer ring 10 from the x 1 direction in FIG. 1 in the rotary transformer 1 for ultrasonic flaw detection apparatus. 図１４に示すアウターリング１０のＣ−Ｃ’断面を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the CC'cross section of the outer ring 10 shown in FIG. 超音波探傷装置用の回転トランス１におけるインナーリング２０の他の例を図１のｘ２方向から見た平面図である。It is a plan view of another example of the inner ring 20 from the x 2 direction in FIG. 1 in the rotating transformer 1 for ultrasonic flaw detection apparatus. 図１６に示すインナーリング２０のＤ−Ｄ’断面を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the DD'cross section of the inner ring 20 shown in FIG. ４つのアウターリング及び４つのインナーリングを備える回転トランス１を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the rotary transformer 1 which includes four outer rings and four inner rings.

以下、この発明をより詳細に説明するために、この発明を実施するための形態について、添付の図面に従って説明する。 Hereinafter, in order to explain the present invention in more detail, a mode for carrying out the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

実施の形態１．
図１は、実施の形態１に係る超音波探傷装置を示す構成図である。
図２は、超音波探傷装置用の回転トランス１におけるアウターリング１０を図１のｘ１方向から見た平面図である。図３は、図２に示すアウターリング１０のＣ−Ｃ’断面を示す断面図である。
図４は、超音波探傷装置用の回転トランス１におけるインナーリング２０を図１のｘ２方向から見た平面図である。図５は、図４に示すインナーリング２０のＤ−Ｄ’断面を示す断面図である。Embodiment 1.
FIG. 1 is a configuration diagram showing an ultrasonic flaw detector according to a first embodiment.
Figure 2 is a plan view of the outer ring 10 from the x 1 direction in FIG. 1 in the rotary transformer 1 for ultrasonic flaw detection apparatus. FIG. 3 is a cross-sectional view showing a CC'cross section of the outer ring 10 shown in FIG.
Figure 4 is a plan view of the inner ring 20 from the x 2 direction in FIG. 1 in the rotating transformer 1 for ultrasonic flaw detection apparatus. FIG. 5 is a cross-sectional view showing a DD'cross section of the inner ring 20 shown in FIG.

図１から図５において、回転トランス１は、固定体５及び回転体６を備えている。
外枠２は、回転トランス１の筐体であり、固定体５を保持している。
内壁３は、回転機構４を介して、外枠２と接している。内壁３は、インナーリング２０がアウターリング１０と対向するように、インナーリング２０を保持している。
回転機構４は、外枠２に対して、内壁３を相対的に回転させる機構である。
内壁３が回転することで、インナーリング２０及び超音波探触子３２ａ，３２ｂ，３２ｃ，３２ｄが、被検査材７の周りを回転する。被検査材７は、超音波探傷装置の検査対象である。In FIGS. 1 to 5, the rotary transformer 1 includes a fixed body 5 and a rotating body 6.
The outer frame 2 is a housing of the rotary transformer 1 and holds the fixed body 5.
The inner wall 3 is in contact with the outer frame 2 via the rotation mechanism 4. The inner wall 3 holds the inner ring 20 so that the inner ring 20 faces the outer ring 10.
The rotation mechanism 4 is a mechanism for rotating the inner wall 3 relative to the outer frame 2.
As the inner wall 3 rotates, the inner ring 20 and the ultrasonic probes 32a, 32b, 32c, 32d rotate around the material 7 to be inspected. The material 7 to be inspected is an inspection target of an ultrasonic flaw detector.

固定体５は、アウターリング１０を備えている。
アウターリング１０は、外枠２に取り付けられており、第１の基板１１及び第１の保持部材１４などを有している。
第１の基板１１の第１の平面１１ａには、第１の１ターンコイル１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄが同心円状に形成されている。
第１の１ターンコイル１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄのそれぞれは、一端が静止側信号ライン４３ａ，４３ｂ，４３ｃ，４３ｄにおけるそれぞれの一端と接続されており、他端がグランドと接続されている。
第１の基板１１の第２の平面１１ｂには、第１の浮遊導体１３が形成されている。
第１の浮遊導体１３は、銅などの非磁性金属である。The fixed body 5 includes an outer ring 10.
The outer ring 10 is attached to the outer frame 2 and has a first substrate 11 and a first holding member 14.
The first 1-turn coils 12a, 12b, 12c, and 12d are concentrically formed on the first flat surface 11a of the first substrate 11.
One end of each of the first one-turn coils 12a, 12b, 12c, and 12d is connected to one end of each of the stationary side signal lines 43a, 43b, 43c, and 43d, and the other end is connected to the ground.
A first floating conductor 13 is formed on the second plane 11b of the first substrate 11.
The first floating conductor 13 is a non-magnetic metal such as copper.

第１の保持部材１４は、第１の浮遊導体１３を取り囲むように、第１の浮遊導体１３と非接触の状態で、第１の基板１１を保持している。
第１の保持部材１４は、鉄又はアルミニウムのような金属であり、接地されている。
なお、第１の保持部材１４は、非金属であってもよいが、第１の保持部材１４が非金属である場合、第１の浮遊導体１３が接地されている必要がある。図３に示すアウターリング１０では、第１の導体１６と第１の浮遊導体１３とが電気的に接続され、第１の導体１６が接地されている。
第１の保持部材１４の内部は、空気１５である。第１の保持部材１４の内部は、空気１５ではなく、比透磁率がほぼ１に等しい絶縁体であってもよい。The first holding member 14 holds the first substrate 11 in a non-contact state with the first floating conductor 13 so as to surround the first floating conductor 13.
The first holding member 14 is a metal such as iron or aluminum and is grounded.
The first holding member 14 may be non-metal, but when the first holding member 14 is non-metal, the first floating conductor 13 needs to be grounded. In the outer ring 10 shown in FIG. 3, the first conductor 16 and the first floating conductor 13 are electrically connected, and the first conductor 16 is grounded.
The inside of the first holding member 14 is air 15. The inside of the first holding member 14 may be an insulator having a relative magnetic permeability of substantially equal to 1 instead of air 15.

第１の導体１６は、第１の平面１１ａにおいて、第１の１ターンコイル１２ａと第１の１ターンコイル１２ｂとの間、第１の１ターンコイル１２ｂと第１の１ターンコイル１２ｃとの間及び第１の１ターンコイル１２ｃと第１の１ターンコイル１２ｄとの間のそれぞれに形成されている。第１の導体１６は、接地されている。
柱状導体１７は、例えば、ビアであり、柱状導体１７は、第１の導体１６と第１の浮遊導体１３とを電気的に接続している。
図６は、第１の平面１１ａに形成されている一部の第１の導体１６と柱状導体１７とを示す説明図である。
図６の例では、２つの柱状導体１７によって、第１の導体１６が第１の浮遊導体１３と電気的に接続されている。
貫通穴１８は、検査対象の被検査材７が挿入される穴である。The first conductor 16 is formed between the first one-turn coil 12a and the first one-turn coil 12b, and the first one-turn coil 12b and the first one-turn coil 12c on the first plane 11a. It is formed in between and between the first 1-turn coil 12c and the 1st 1-turn coil 12d, respectively. The first conductor 16 is grounded.
The columnar conductor 17 is, for example, a via, and the columnar conductor 17 electrically connects the first conductor 16 and the first floating conductor 13.
FIG. 6 is an explanatory view showing a part of the first conductor 16 and the columnar conductor 17 formed on the first plane 11a.
In the example of FIG. 6, the first conductor 16 is electrically connected to the first floating conductor 13 by two columnar conductors 17.
The through hole 18 is a hole into which the material 7 to be inspected is inserted.

回転体６は、インナーリング２０及び超音波探触子３２ａ，３２ｂ，３２ｃ，３２ｄなどを備えている。インナーリング２０及び超音波探触子３２ａ，３２ｂ，３２ｃ，３２ｄなどは、回転機構４によって被検査材７の周りを回転される。
インナーリング２０は、内壁３に取り付けられており、第２の基板２１及び第２の保持部材２４などを有している。
第２の基板２１の第３の平面２１ａには、第２の１ターンコイル２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄが同心円状に形成されている。
第２の１ターンコイル２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄのそれぞれは、一端が回転側信号ライン３３ａ，３３ｂ，３３ｃ，３３ｄにおけるそれぞれの一端と接続されており、他端がグランドと接続されている。
第２の基板２１の第４の平面２１ｂには、第２の浮遊導体２３が形成されている。
第２の浮遊導体２３は、銅などの非磁性金属である。The rotating body 6 includes an inner ring 20, ultrasonic probes 32a, 32b, 32c, 32d, and the like. The inner ring 20, the ultrasonic probes 32a, 32b, 32c, 32d, and the like are rotated around the material 7 to be inspected by the rotation mechanism 4.
The inner ring 20 is attached to the inner wall 3 and has a second substrate 21 and a second holding member 24 and the like.
The second 1-turn coils 22a, 22b, 22c, and 22d are concentrically formed on the third flat surface 21a of the second substrate 21.
One end of each of the second one-turn coils 22a, 22b, 22c, 22d is connected to one end of each of the rotating side signal lines 33a, 33b, 33c, 33d, and the other end is connected to the ground.
A second floating conductor 23 is formed on the fourth plane 21b of the second substrate 21.
The second floating conductor 23 is a non-magnetic metal such as copper.

第２の保持部材２４は、第２の浮遊導体２３を取り囲むように、第２の浮遊導体２３と非接触の状態で、第２の基板２１を保持している。
第２の保持部材２４は、鉄又はアルミニウムのような金属であり、接地されている。
なお、第２の保持部材２４は、非金属であってもよいが、第２の保持部材２４が非金属である場合、第２の浮遊導体２３が接地されている必要がある。図５に示すインナーリング２０では、第２の導体２６と第２の浮遊導体２３とが電気的に接続され、第２の導体２６が接地されている。
第２の保持部材２４の内部は、空気２５である。第２の保持部材２４の内部は、空気２５ではなく、比透磁率がほぼ１に等しい絶縁体であってもよい。The second holding member 24 holds the second substrate 21 in a non-contact state with the second floating conductor 23 so as to surround the second floating conductor 23.
The second holding member 24 is a metal such as iron or aluminum and is grounded.
The second holding member 24 may be non-metal, but when the second holding member 24 is non-metal, the second floating conductor 23 needs to be grounded. In the inner ring 20 shown in FIG. 5, the second conductor 26 and the second floating conductor 23 are electrically connected, and the second conductor 26 is grounded.
The inside of the second holding member 24 is air 25. The inside of the second holding member 24 may be an insulator having a relative magnetic permeability of substantially equal to 1 instead of air 25.

第２の導体２６は、第３の平面２１ａにおいて、第２の１ターンコイル２２ａと第２の１ターンコイル２２ｂとの間、第２の１ターンコイル２２ｂと第２の１ターンコイル２２ｃとの間及び第２の１ターンコイル２２ｃと第２の１ターンコイル２２ｄとの間のそれぞれに形成されている。第２の導体２６は、接地されている。
柱状導体２７は、例えば、柱状導体１７と同様のビアである。
柱状導体２７は、第２の導体２６と第２の浮遊導体２３とを電気的に接続している。
貫通穴２８は、検査対象の被検査材７が挿入される穴である。The second conductor 26 is formed between the second 1-turn coil 22a and the 2nd 1-turn coil 22b, and the second 1-turn coil 22b and the 2nd 1-turn coil 22c on the third plane 21a. It is formed between the space and between the second 1-turn coil 22c and the second 1-turn coil 22d, respectively. The second conductor 26 is grounded.
The columnar conductor 27 is, for example, a via similar to that of the columnar conductor 17.
The columnar conductor 27 electrically connects the second conductor 26 and the second floating conductor 23.
The through hole 28 is a hole into which the material 7 to be inspected is inserted.

超音波探触子ホルダ３１は、超音波探触子３２ａ，３２ｂ，３２ｃ，３２ｄを保持しており、内壁３と一緒に回転される。
超音波探触子３２ａは、回転側信号ライン３３ａを介して、第２の１ターンコイル２２ａと接続されている。
超音波探触子３２ｂは、回転側信号ライン３３ｂを介して、第２の１ターンコイル２２ｂと接続されている。
超音波探触子３２ｃは、回転側信号ライン３３ｃを介して、第２の１ターンコイル２２ｃと接続されている。
超音波探触子３２ｄは、回転側信号ライン３３ｄを介して、第２の１ターンコイル２２ｄと接続されている。
回転側信号ライン３３ａ，３３ｂ，３３ｃ，３３ｄは、電気信号を伝送する信号線である。
回転側信号ライン３３ａ，３３ｂ，３３ｃ，３３ｄのそれぞれの一端は、第２の１ターンコイル２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄにおけるそれぞれの一端と接続されている。回転側信号ライン３３ａ，３３ｂ，３３ｃ，３３ｄのそれぞれの他端は、超音波探触子３２ａ，３２ｂ，３２ｃ，３２ｄのそれぞれと接続されている。The ultrasonic probe holder 31 holds the ultrasonic probes 32a, 32b, 32c, and 32d, and is rotated together with the inner wall 3.
The ultrasonic probe 32a is connected to the second one-turn coil 22a via the rotation side signal line 33a.
The ultrasonic probe 32b is connected to the second one-turn coil 22b via the rotation side signal line 33b.
The ultrasonic probe 32c is connected to the second one-turn coil 22c via the rotation side signal line 33c.
The ultrasonic probe 32d is connected to the second one-turn coil 22d via the rotation side signal line 33d.
The rotating side signal lines 33a, 33b, 33c, 33d are signal lines for transmitting electric signals.
Each end of each of the rotating side signal lines 33a, 33b, 33c, 33d is connected to each end of the second one-turn coil 22a, 22b, 22c, 22d. The other ends of the rotating signal lines 33a, 33b, 33c, 33d are connected to the ultrasonic probes 32a, 32b, 32c, 32d, respectively.

超音波探触子３２ａ，３２ｂ，３２ｃ，３２ｄのそれぞれは、第２の１ターンコイル２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄのそれぞれから回転側信号ライン３３ａ，３３ｂ，３３ｃ，３３ｄを介して電気信号を受けると、電気信号に対応する超音波を被検査材７に放射する。
超音波探触子３２ａ，３２ｂ，３２ｃ，３２ｄのそれぞれは、被検査材７に反射された超音波を受けると、回転側信号ライン３３ａ，３３ｂ，３３ｃ，３３ｄを介して、受けた超音波に対応する電気信号を第２の１ターンコイル２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄに出力する。Each of the ultrasonic probes 32a, 32b, 32c, 32d receives an electric signal from each of the second one-turn coils 22a, 22b, 22c, 22d via the rotating side signal lines 33a, 33b, 33c, 33d. Then, the ultrasonic wave corresponding to the electric signal is radiated to the material 7 to be inspected.
When each of the ultrasonic probes 32a, 32b, 32c, and 32d receives the ultrasonic waves reflected by the material 7 to be inspected, they receive the ultrasonic waves via the rotating signal lines 33a, 33b, 33c, and 33d. The corresponding electric signal is output to the second 1-turn coil 22a, 22b, 22c, 22d.

信号入出力部４０は、送信部４１ａ，４１ｂ，４１ｃ，４１ｄ及び受信部４２ａ，４２ｂ，４２ｃ，４２ｄを備えており、第１の１ターンコイル１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄに対して電気信号を入出力する。
送信部４１ａ及び受信部４２ａのそれぞれは、静止側信号ライン４３ａを介して、第１の１ターンコイル１２ａと接続されている。
送信部４１ｂ及び受信部４２ｂのそれぞれは、静止側信号ライン４３ｂを介して、第１の１ターンコイル１２ｂと接続されている。
送信部４１ｃ及び受信部４２ｃのそれぞれは、静止側信号ライン４３ｃを介して、第１の１ターンコイル１２ｃと接続されている。
送信部４１ｄ及び受信部４２ｄのそれぞれは、静止側信号ライン４３ｄを介して、第１の１ターンコイル１２ｄと接続されている。
静止側信号ライン４３ａ，４３ｂ，４３ｃ，４３ｄは、電気信号を伝送する信号線である。
静止側信号ライン４３ａ，４３ｂ，４３ｃ，４３ｄのそれぞれの一端は、第１の１ターンコイル１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄにおけるそれぞれの一端と接続されている。静止側信号ライン４３ａ，４３ｂ，４３ｃ，４３ｄのそれぞれの他端は、送信部４１ａ，４１ｂ，４１ｃ，４１ｄのそれぞれと接続され、かつ、受信部４２ａ，４２ｂ，４２ｃ，４２ｄのそれぞれと接続されている。The signal input / output unit 40 includes transmission units 41a, 41b, 41c, 41d and reception units 42a, 42b, 42c, 42d, and outputs an electric signal to the first one-turn coil 12a, 12b, 12c, 12d. Input / output.
Each of the transmitting unit 41a and the receiving unit 42a is connected to the first one-turn coil 12a via the stationary side signal line 43a.
Each of the transmitting unit 41b and the receiving unit 42b is connected to the first one-turn coil 12b via the stationary side signal line 43b.
Each of the transmitting unit 41c and the receiving unit 42c is connected to the first one-turn coil 12c via the stationary side signal line 43c.
Each of the transmitting unit 41d and the receiving unit 42d is connected to the first one-turn coil 12d via the stationary side signal line 43d.
The stationary side signal lines 43a, 43b, 43c, 43d are signal lines for transmitting electric signals.
Each end of each of the stationary side signal lines 43a, 43b, 43c, 43d is connected to each end of the first one-turn coil 12a, 12b, 12c, 12d. The other ends of the stationary side signal lines 43a, 43b, 43c, 43d are connected to each of the transmitting units 41a, 41b, 41c, 41d, and are connected to each of the receiving units 42a, 42b, 42c, 42d. There is.

送信部４１ａ，４１ｂ，４１ｃ，４１ｄのそれぞれは、探傷部４４から電気信号の送信を指示する制御信号を受けると、静止側信号ライン４３ａ，４３ｂ，４３ｃ，４３ｄを介して、電気信号を第１の１ターンコイル１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄに送信する。
また、送信部４１ａ，４１ｂ，４１ｃ，４１ｄのそれぞれは、上記の電気信号と同じ電気信号を探傷部４４に出力する。
受信部４２ａ，４２ｂ，４２ｃ，４２ｄのそれぞれは、静止側信号ライン４３ａ，４３ｂ，４３ｃ，４３ｄを介して、第１の１ターンコイル１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄから出力された電気信号を受信し、電気信号を探傷部４４に出力する。When each of the transmission units 41a, 41b, 41c, and 41d receives a control signal instructing transmission of an electric signal from the flaw detection unit 44, each of the transmission units 41a, 41b, 41c, and 41d first transmits the electric signal via the stationary side signal lines 43a, 43b, 43c, and 43d. 1 turn coil 12a, 12b, 12c, 12d.
Further, each of the transmission units 41a, 41b, 41c, and 41d outputs the same electric signal as the above-mentioned electric signal to the flaw detection unit 44.
Each of the receiving units 42a, 42b, 42c, and 42d receives the electric signal output from the first one-turn coil 12a, 12b, 12c, 12d via the stationary side signal lines 43a, 43b, 43c, 43d. , The electric signal is output to the flaw detection unit 44.

探傷部４４は、探傷回路などの専用のハードウェアによって実現される。探傷回路は、例えば、単一回路、複合回路、プログラム化したプロセッサ、並列プログラム化したプロセッサ、ＡＳＩＣ（Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ Ｓｐｅｃｉｆｉｃ Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ）、ＦＰＧＡ（Ｆｉｅｌｄ−Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ Ｇａｔｅ Ａｒｒａｙ）、又は、これらを組み合わせたものが該当する。
探傷部４４は、電気信号の送信を指示する制御信号を送信部４１ａ，４１ｂ，４１ｃ，４１ｄのそれぞれに出力する。
探傷部４４は、送信部４１ａ，４１ｂ，４１ｃ，４１ｄから出力された電気信号と、受信部４２ａ，４２ｂ，４２ｃ，４２ｄから出力された電気信号とに基づいて、被検査材７の傷を探知する。
なお、探傷回路は、専用のハードウェアで実現されるものに限るものではなく、ソフトウェア、ファームウェア、又は、ソフトウェアとファームウェアとの組み合わせで実現されるものであってもよい。The flaw detection unit 44 is realized by dedicated hardware such as a flaw detection circuit. The flaw detection circuit corresponds to, for example, a single circuit, a composite circuit, a programmed processor, a parallel programmed processor, an ASIC (Application Specific Integrated Circuit), an FPGA (Field-Programmable Gate Array), or a combination thereof. To do.
The flaw detection unit 44 outputs a control signal instructing transmission of an electric signal to each of the transmission units 41a, 41b, 41c, and 41d.
The flaw detection unit 44 detects a flaw in the material 7 to be inspected based on the electrical signals output from the transmission units 41a, 41b, 41c, 41d and the electrical signals output from the reception units 42a, 42b, 42c, 42d. To do.
The flaw detection circuit is not limited to that realized by dedicated hardware, and may be realized by software, firmware, or a combination of software and firmware.

次に、図１に示す超音波探傷装置の動作について説明する。
まず、回転機構４は、被検査材７を探傷する際、外枠２に対して、内壁３を相対的に回転させる。
内壁３が回転することで、インナーリング２０及び超音波探触子３２ａ，３２ｂ，３２ｃ，３２ｄが、被検査材７の周りを回転する。Next, the operation of the ultrasonic flaw detector shown in FIG. 1 will be described.
First, the rotation mechanism 4 rotates the inner wall 3 relative to the outer frame 2 when detecting a flaw in the material 7 to be inspected.
As the inner wall 3 rotates, the inner ring 20 and the ultrasonic probes 32a, 32b, 32c, 32d rotate around the material 7 to be inspected.

探傷部４４は、電気信号の送信を指示する制御信号を送信部４１ａ，４１ｂ，４１ｃ，４１ｄのそれぞれに出力する。
送信部４１ａ，４１ｂ，４１ｃ，４１ｄのそれぞれは、探傷部４４から制御信号を受けると、静止側信号ライン４３ａ，４３ｂ，４３ｃ，４３ｄを介して、電気信号として、例えば、パルス信号を第１の１ターンコイル１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄに送信する。
また、送信部４１ａ，４１ｂ，４１ｃ，４１ｄのそれぞれは、上記の電気信号と同じ電気信号を探傷部４４に出力する。The flaw detection unit 44 outputs a control signal instructing transmission of an electric signal to each of the transmission units 41a, 41b, 41c, and 41d.
When each of the transmission units 41a, 41b, 41c, and 41d receives a control signal from the flaw detection unit 44, each of the transmission units 41a, 41b, 41c, and 41d receives a control signal from the flaw detection unit 44, and receives, for example, a pulse signal as an electric signal via the stationary side signal lines 43a, 43b, 43c, 43d. The signal is transmitted to the coils 12a, 12b, 12c, and 12d for one turn.
Further, each of the transmission units 41a, 41b, 41c, and 41d outputs the same electric signal as the above-mentioned electric signal to the flaw detection unit 44.

図７に示すように、第１の１ターンコイル１２ａは、第２の１ターンコイル２２ａと対向するように配置されており、第１の１ターンコイル１２ｂは、第２の１ターンコイル２２ｂと対向するように配置されている。
また、第１の１ターンコイル１２ｃは、第２の１ターンコイル２２ｃと対向するように配置されており、第１の１ターンコイル１２ｄは、第２の１ターンコイル２２ｄと対向するように配置されている。
図７は、第１の１ターンコイル１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄと、第２の１ターンコイル２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄとの間の非接触伝送を示す説明図である。
したがって、第１の１ターンコイル１２ａを流れる電気信号は、第２の１ターンコイル２２ａに非接触伝送され、第１の１ターンコイル１２ｂを流れる電気信号は、第２の１ターンコイル２２ｂに非接触伝送される。
また、第１の１ターンコイル１２ｃを流れる電気信号は、第２の１ターンコイル２２ｃに非接触伝送され、第１の１ターンコイル１２ｄを流れる電気信号は、第２の１ターンコイル２２ｄに非接触伝送される。
なお、電気信号の非接触伝送は、例えば、第１の１ターンコイル１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄと、第２の１ターンコイル２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄとの間の容量結合によって伝送されるものである。As shown in FIG. 7, the first 1-turn coil 12a is arranged so as to face the second 1-turn coil 22a, and the 1st 1-turn coil 12b is arranged with the 2nd 1-turn coil 22b. They are arranged so as to face each other.
Further, the first 1-turn coil 12c is arranged so as to face the second 1-turn coil 22c, and the 1st 1-turn coil 12d is arranged so as to face the 2nd 1-turn coil 22d. Has been done.
FIG. 7 is an explanatory diagram showing non-contact transmission between the first one-turn coils 12a, 12b, 12c, 12d and the second one-turn coils 22a, 22b, 22c, 22d.
Therefore, the electric signal flowing through the first one-turn coil 12a is non-contact transmitted to the second one-turn coil 22a, and the electric signal flowing through the first one-turn coil 12b is not transmitted to the second one-turn coil 22b. Contact transmission.
Further, the electric signal flowing through the first one-turn coil 12c is non-contact transmitted to the second one-turn coil 22c, and the electric signal flowing through the first one-turn coil 12d is not transmitted to the second one-turn coil 22d. Contact transmission.
The non-contact transmission of the electric signal is transmitted, for example, by capacitive coupling between the first 1-turn coil 12a, 12b, 12c, 12d and the second 1-turn coil 22a, 22b, 22c, 22d. It is a thing.

第２の１ターンコイル２２ａに非接触伝送された電気信号は、回転側信号ライン３３ａを介して、超音波探触子３２ａに伝送され、第２の１ターンコイル２２ｂに非接触伝送された電気信号は、回転側信号ライン３３ｂを介して、超音波探触子３２ｂに伝送される。
第２の１ターンコイル２２ｃに非接触伝送された電気信号は、回転側信号ライン３３ｃを介して、超音波探触子３２ｃに伝送され、第２の１ターンコイル２２ｄに非接触伝送された電気信号は、回転側信号ライン３３ｄを介して、超音波探触子３２ｄに伝送される。The electric signal non-contact transmitted to the second one-turn coil 22a is transmitted to the ultrasonic probe 32a via the rotating side signal line 33a, and the electricity transmitted non-contact to the second one-turn coil 22b. The signal is transmitted to the ultrasonic probe 32b via the rotating signal line 33b.
The electric signal non-contact transmitted to the second 1-turn coil 22c is transmitted to the ultrasonic probe 32c via the rotating side signal line 33c, and is non-contact transmitted to the second 1-turn coil 22d. The signal is transmitted to the ultrasonic probe 32d via the rotating signal line 33d.

超音波探触子３２ａ，３２ｂ，３２ｃ，３２ｄのそれぞれは、伝送された電気信号を超音波に変換し、超音波を被検査材７に放射する。
超音波探触子３２ａ，３２ｂ，３２ｃ，３２ｄのそれぞれは、被検査材７の周りを回転しているので、被検査材７に対する超音波の放射位置が時間の経過に伴って変化する。
超音波探触子３２ａ，３２ｂ，３２ｃ，３２ｄのそれぞれから放射された超音波は、被検査材７に反射される。
超音波が放射された位置に傷がある場合と、傷がない場合とでは、被検査材７に反射された超音波のエコー高さが変化する。
超音波探触子３２ａ，３２ｂ，３２ｃ，３２ｄのそれぞれは、被検査材７に反射された超音波を受けると、受けた超音波を電気信号に変換する。
超音波探触子３２ａ，３２ｂ，３２ｃ，３２ｄのそれぞれは、回転側信号ライン３３ａ，３３ｂ，３３ｃ，３３ｄを介して、当該電気信号を第２の１ターンコイル２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄに出力する。Each of the ultrasonic probes 32a, 32b, 32c, and 32d converts the transmitted electric signal into ultrasonic waves and radiates the ultrasonic waves to the material 7 to be inspected.
Since each of the ultrasonic probes 32a, 32b, 32c, and 32d rotates around the inspected material 7, the radiation position of the ultrasonic wave with respect to the inspected material 7 changes with the passage of time.
The ultrasonic waves radiated from each of the ultrasonic probes 32a, 32b, 32c, and 32d are reflected by the material 7 to be inspected.
The echo height of the ultrasonic waves reflected on the material 7 to be inspected changes depending on whether there is a scratch at the position where the ultrasonic wave is emitted or not.
When each of the ultrasonic probes 32a, 32b, 32c, and 32d receives the ultrasonic waves reflected by the material 7 to be inspected, the received ultrasonic waves are converted into electric signals.
Each of the ultrasonic probes 32a, 32b, 32c, 32d outputs the electric signal to the second one-turn coil 22a, 22b, 22c, 22d via the rotating side signal lines 33a, 33b, 33c, 33d. To do.

図７に示すように、第２の１ターンコイル２２ａに伝送された電気信号は、第１の１ターンコイル１２ａに非接触伝送され、第２の１ターンコイル２２ｂに伝送された電気信号は、第１の１ターンコイル１２ｂに非接触伝送される。
また、第２の１ターンコイル２２ｃに伝送された電気信号は、第１の１ターンコイル１２ｃに非接触伝送され、第２の１ターンコイル２２ｄに伝送された電気信号は、第１の１ターンコイル１２ｄに非接触伝送される。As shown in FIG. 7, the electric signal transmitted to the second one-turn coil 22a is non-contact transmitted to the first one-turn coil 12a, and the electric signal transmitted to the second one-turn coil 22b is It is non-contact transmitted to the first 1-turn coil 12b.
Further, the electric signal transmitted to the second one-turn coil 22c is non-contact transmitted to the first one-turn coil 12c, and the electric signal transmitted to the second one-turn coil 22d is the first one turn. It is non-contact transmitted to the coil 12d.

第１の１ターンコイル１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄに非接触伝送された電気信号のそれぞれは、静止側信号ライン４３ａ，４３ｂ，４３ｃ，４３ｄを介して、受信部４２ａ，４２ｂ，４２ｃ，４２ｄに伝送される。
受信部４２ａ，４２ｂ，４２ｃ，４２ｄのそれぞれは、第１の１ターンコイル１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄから出力された電気信号を受信し、電気信号を探傷部４４に出力する。The electric signals non-contact transmitted to the first one-turn coils 12a, 12b, 12c, 12d are sent to the receiving units 42a, 42b, 42c, 42d via the stationary side signal lines 43a, 43b, 43c, 43d, respectively. Be transmitted.
Each of the receiving units 42a, 42b, 42c, and 42d receives the electric signal output from the first one-turn coil 12a, 12b, 12c, and 12d, and outputs the electric signal to the flaw detection unit 44.

探傷部４４は、送信部４１ａ，４１ｂ，４１ｃ，４１ｄから出力された電気信号と、受信部４２ａ，４２ｂ，４２ｃ，４２ｄから出力された電気信号とに基づいて、被検査材７の傷を探知する。
被検査材７の傷の探知方法自体は、公知の技術であるため詳細な説明を省略するが、探傷部４４は、以下に示すような探知方法を用いることができる。
［探知方法］
送信部４１ａ，４１ｂ，４１ｃ，４１ｄから出力された電気信号に対応する超音波のエコー高さと、受信部４２ａ，４２ｂ，４２ｃ，４２ｄから出力された電気信号に対応する超音波のエコー高さとの違いから、超音波の放射位置における傷の有無等を検出する。The flaw detection unit 44 detects a flaw in the material 7 to be inspected based on the electrical signals output from the transmission units 41a, 41b, 41c, 41d and the electrical signals output from the reception units 42a, 42b, 42c, 42d. To do.
Since the method itself for detecting the scratches on the material 7 to be inspected is a known technique, detailed description thereof will be omitted, but the scratch detection unit 44 can use the detection method as shown below.
[Detection method]
The echo height of the ultrasonic waves corresponding to the electric signals output from the transmitting units 41a, 41b, 41c, 41d and the echo height of the ultrasonic waves corresponding to the electric signals output from the receiving units 42a, 42b, 42c, 42d. From the difference, the presence or absence of scratches at the ultrasonic radiation position is detected.

図１に示す超音波探傷装置では、回転機構４のよる内壁３の回転速度と、送信部４１ａ，４１ｂ，４１ｃ，４１ｄから送信される電気信号であるパルス信号の時間間隔とが、探傷部４４において、既知である。
したがって、探傷部４４は、超音波探触子３２ａ，３２ｂ，３２ｃ，３２ｄから被検査材７に超音波が放射される位置は、既知である。In the ultrasonic flaw detector shown in FIG. 1, the rotation speed of the inner wall 3 by the rotation mechanism 4 and the time interval of the pulse signal, which is an electric signal transmitted from the transmission portions 41a, 41b, 41c, 41d, are determined by the flaw detection unit 44. Is known in.
Therefore, the position of the flaw detector 44 where ultrasonic waves are radiated from the ultrasonic probes 32a, 32b, 32c, 32d to the material 7 to be inspected is known.

ここで、特許文献１に開示されている回転トランスは、電磁誘導現象による影響を解消するため、第１及び第２の基板と、第１及び第２の保持部材との間の距離として、第１の１ターンコイルと第２の１ターンコイルとの間のギャップの５〜１０倍を確保している。
図１に示す回転トランス１は、第１の浮遊導体１３が第１の基板１１の第２の平面１１ｂに形成され、第２の浮遊導体２３が第２の基板２１の第４の平面２１ｂに形成されている。
第１の浮遊導体１３は、第１の１ターンコイル１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄと、第１の保持部材１４との間の磁束をシールドするように作用する。第２の浮遊導体２３は、第２の１ターンコイル２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄと第２の保持部材２４との間の磁束をシールドするように作用する。
したがって、第１の１ターンコイル１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄに電気信号が流れて磁束が生じても、第１の浮遊導体１３のシールド効果によって、当該磁束が第１の保持部材１４にほとんど到達しなくなる。磁束が第１の保持部材１４にほとんど到達しなくなることで、第１の保持部材１４で生じる渦電流損又はヒステリシス損などが大幅に抑圧される。
また、第２の１ターンコイル２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄに電気信号が流れて磁束が生じても、第２の浮遊導体２３のシールド効果によって、当該磁束が第２の保持部材２４にほとんど到達しなくなる。磁束が第２の保持部材２４にほとんど到達しなくなることで、第２の保持部材２４で生じる渦電流損又はヒステリシス損などが大幅に抑圧される。Here, in the rotary transformer disclosed in Patent Document 1, in order to eliminate the influence of the electromagnetic induction phenomenon, the distance between the first and second substrates and the first and second holding members is set to be the first. It secures 5 to 10 times the gap between the 1-turn coil and the 2nd 1-turn coil.
In the rotary transformer 1 shown in FIG. 1, the first floating conductor 13 is formed on the second plane 11b of the first substrate 11, and the second floating conductor 23 is formed on the fourth plane 21b of the second substrate 21. It is formed.
The first floating conductor 13 acts to shield the magnetic flux between the first one-turn coils 12a, 12b, 12c, 12d and the first holding member 14. The second floating conductor 23 acts to shield the magnetic flux between the second one-turn coils 22a, 22b, 22c, 22d and the second holding member 24.
Therefore, even if an electric signal flows through the first one-turn coils 12a, 12b, 12c, and 12d to generate a magnetic flux, the magnetic flux almost reaches the first holding member 14 due to the shielding effect of the first floating conductor 13. Will not work. Since the magnetic flux hardly reaches the first holding member 14, the eddy current loss or the hysteresis loss generated in the first holding member 14 is significantly suppressed.
Further, even if an electric signal flows through the second one-turn coils 22a, 22b, 22c, 22d and a magnetic flux is generated, the magnetic flux almost reaches the second holding member 24 due to the shielding effect of the second floating conductor 23. Will not work. Since the magnetic flux hardly reaches the second holding member 24, the eddy current loss or the hysteresis loss generated in the second holding member 24 is significantly suppressed.

以上より、第１の基板１１の第２の平面１１ｂと第１の保持部材１４との間の距離Ｗが、第１の１ターンコイル１２ａ等と第２の１ターンコイル２２ａ等との間のギャップの５〜１０倍よりも短くても、電磁誘導現象による影響を解消することができる。したがって、図１に示す回転トランス１は、特許文献１に開示されている回転トランスよりもアウターリング１０の薄型化を図ることができる。
また、第２の基板２１の第４の平面２１ｂと第２の保持部材２４との間の距離Ｗが、第１の１ターンコイル１２ａ等と第２の１ターンコイル２２ａ等との間のギャップの５〜１０倍よりも短くても、電磁誘導現象による影響を解消することができる。したがって、図１に示す回転トランス１は、特許文献１に開示されている回転トランスよりもインナーリング２０の薄型化を図ることができる。
アウターリング１０の薄型化及びインナーリング２０の薄型化を図ることで、回転トランス１の物理的強度が高まる。From the above, the distance W between the second flat surface 11b of the first substrate 11 and the first holding member 14 is between the first 1-turn coil 12a and the like and the second 1-turn coil 22a and the like. Even if it is shorter than 5 to 10 times the gap, the influence of the electromagnetic induction phenomenon can be eliminated. Therefore, the rotary transformer 1 shown in FIG. 1 can make the outer ring 10 thinner than the rotary transformer disclosed in Patent Document 1.
Further, the distance W between the fourth flat surface 21b of the second substrate 21 and the second holding member 24 is the gap between the first one-turn coil 12a and the like and the second one-turn coil 22a and the like. Even if it is shorter than 5 to 10 times, the influence of the electromagnetic induction phenomenon can be eliminated. Therefore, in the rotary transformer 1 shown in FIG. 1, the inner ring 20 can be made thinner than the rotary transformer disclosed in Patent Document 1.
By reducing the thickness of the outer ring 10 and the inner ring 20, the physical strength of the rotary transformer 1 is increased.

特許文献１に開示されている回転トランスは、図１に示す回転トランス１と異なり、第１の導体１６及び第２の導体２６を備えていない。
回転トランスが、第１の導体１６及び第２の導体２６を備えていない場合、図８に示すように、複数の１ターンコイルの間で電気的な信号干渉（以下、「クロストーク」を称する）を生じることがある。
図８は、クロストークの発生を示す説明図である。
図８において、５１は、第２の１ターンコイル２２ｄから出力された電気信号が、第２の１ターンコイル２２ｃに及ぼしているクロストーク、５２は、第２の１ターンコイル２２ｄから出力された電気信号が、第１の１ターンコイル１２ｃに及ぼしているクロストークである。
図８では、第２の１ターンコイル２２ｄから出力された電気信号が、クロストークの発生源となっている。しかし、これは一例に過ぎず、第２の１ターンコイル２２ａ〜２２ｃから出力された電気信号、又は、第１の１ターンコイル１２ａ〜１２ｄから出力された電気信号が、クロストークの発生源となることがある。Unlike the rotary transformer 1 shown in FIG. 1, the rotary transformer disclosed in Patent Document 1 does not include the first conductor 16 and the second conductor 26.
When the rotary transformer does not include the first conductor 16 and the second conductor 26, as shown in FIG. 8, electrical signal interference between a plurality of one-turn coils (hereinafter referred to as “crosstalk”). ) May occur.
FIG. 8 is an explanatory diagram showing the occurrence of crosstalk.
In FIG. 8, 51 is a crosstalk in which the electric signal output from the second 1-turn coil 22d is exerted on the 2nd 1-turn coil 22c, and 52 is output from the 2nd 1-turn coil 22d. This is the crosstalk that the electric signal exerts on the first one-turn coil 12c.
In FIG. 8, the electric signal output from the second one-turn coil 22d is the source of crosstalk. However, this is only an example, and the electric signal output from the second one-turn coil 22a to 22c or the electric signal output from the first one-turn coil 12a to 12d is the source of crosstalk. May become.

クロストーク５１を抑圧するには、第２の１ターンコイル２２ｃと第２の１ターンコイル２２ｄとの距離を大きくする必要がある。
クロストーク５２を抑圧するには、第１の１ターンコイル１２ｃと第１の１ターンコイル１２ｄとの距離を大きくする、あるいは、アウターリング１０とインナーリング２０との距離を大きくする必要がある。アウターリング１０とインナーリング２０との距離を大きくした場合、電気信号の伝送特性が劣化することがある。
回転トランス１が備えている第１の導体１６及び第２の導体２６は、クロストークを電気的にシールドするように作用する。
したがって、クロストーク５１，５２は、図９に示すように、大幅に抑圧される。
図９は、クロストークの抑圧を示す説明図である。図９において、×は、クロストーク５１，５２が抑圧されている旨を示している。In order to suppress the crosstalk 51, it is necessary to increase the distance between the second 1-turn coil 22c and the 2nd 1-turn coil 22d.
In order to suppress the crosstalk 52, it is necessary to increase the distance between the first 1-turn coil 12c and the 1st 1-turn coil 12d, or increase the distance between the outer ring 10 and the inner ring 20. When the distance between the outer ring 10 and the inner ring 20 is increased, the transmission characteristics of electric signals may deteriorate.
The first conductor 16 and the second conductor 26 included in the rotary transformer 1 act to electrically shield the crosstalk.
Therefore, the crosstalks 51 and 52 are significantly suppressed, as shown in FIG.
FIG. 9 is an explanatory diagram showing suppression of crosstalk. In FIG. 9, x indicates that the crosstalks 51 and 52 are suppressed.

以上の実施の形態１は、固定体５が、第１の浮遊導体１３を取り囲むように第１の基板１１を保持している第１の保持部材１４を有し、回転体６が、第２の浮遊導体２３を取り囲むように第２の基板２１を保持している第２の保持部材２４を有するように、回転トランス１を構成した。したがって、回転トランス１は、電磁誘導現象の影響を解消するために、第１の基板１１と第１の保持部材１４との間の距離Ｗ及び第２の基板２１と第２の保持部材２４との間の距離Ｗのそれぞれを長くすることなく、電磁誘導現象の影響を解消することができる。
よって、回転トランス１は、特許文献１に開示されている回転トランスと比べて、第１の基板１１と第１の保持部材１４との間の距離Ｗ、及び第２の基板２１と第２の保持部材２４との間の距離Ｗのそれぞれが短くなり、固定体５及び回転体６のそれぞれの厚さが薄くなる。In the above embodiment 1, the fixed body 5 has a first holding member 14 that holds the first substrate 11 so as to surround the first floating conductor 13, and the rotating body 6 has a second. The rotary transformer 1 is configured to have a second holding member 24 that holds the second substrate 21 so as to surround the floating conductor 23 of the above. Therefore, in order to eliminate the influence of the electromagnetic induction phenomenon, the rotary transformer 1 has a distance W between the first substrate 11 and the first holding member 14, and the second substrate 21 and the second holding member 24. The influence of the electromagnetic induction phenomenon can be eliminated without lengthening each of the distances W between them.
Therefore, the rotary transformer 1 has a distance W between the first substrate 11 and the first holding member 14 and a second substrate 21 and a second, as compared with the rotary transformer disclosed in Patent Document 1. Each of the distances W between the holding member 24 and the holding member 24 is shortened, and the thicknesses of the fixed body 5 and the rotating body 6 are reduced.

以上の実施の形態１は、第１の導体１６と第１の浮遊導体１３とが電気的に接続され、第２の導体２６と第２の浮遊導体２３とが電気的に接続されており、第１の導体１６及び第２の導体２６のそれぞれが接地されているように、回転トランス１を構成した。したがって、第１の浮遊導体１３及び第２の浮遊導体２３のそれぞれを単体で電気的に接地することなく、第１の浮遊導体１３及び第２の浮遊導体２３のそれぞれが、電気的に接地された状態になる。 In the first embodiment described above, the first conductor 16 and the first floating conductor 13 are electrically connected, and the second conductor 26 and the second floating conductor 23 are electrically connected. The rotary transformer 1 was configured so that each of the first conductor 16 and the second conductor 26 was grounded. Therefore, each of the first floating conductor 13 and the second floating conductor 23 is electrically grounded without electrically grounding each of the first floating conductor 13 and the second floating conductor 23 by itself. It becomes a state.

図３に示すアウターリング１０では、第１の保持部材１４が、第１の浮遊導体１３を取り囲むように、第１の浮遊導体１３と非接触の状態で、第１の基板１１を保持している。
また、図５に示すインナーリング２０では、第２の保持部材２４が、第２の浮遊導体２３を取り囲むように、第２の浮遊導体２３と非接触の状態で、第２の基板２１を保持している。
しかし、これは一例に過ぎず、アウターリング１０では、図１０に示すように、第１の浮遊導体１３が第２の平面１１ｂの全面に形成されており、第１の保持部材１４が、第１の浮遊導体１３と接触している状態で、第１の基板１１を保持するようにしてもよい。図１０は、図２に示すアウターリング１０のＣ−Ｃ’断面を示す断面図である。
また、インナーリング２０では、図１１に示すように、第２の浮遊導体２３が第４の平面２１ｂの全面に形成されており、第２の保持部材２４が、第２の浮遊導体２３と接触している状態で、第２の基板２１を保持するようにしてもよい。図１１は、図４に示すインナーリング２０のＤ−Ｄ’断面を示す断面図である。In the outer ring 10 shown in FIG. 3, the first holding member 14 holds the first substrate 11 in a non-contact state with the first floating conductor 13 so as to surround the first floating conductor 13. There is.
Further, in the inner ring 20 shown in FIG. 5, the second holding member 24 holds the second substrate 21 in a non-contact state with the second floating conductor 23 so as to surround the second floating conductor 23. doing.
However, this is only an example, and in the outer ring 10, as shown in FIG. 10, the first floating conductor 13 is formed on the entire surface of the second plane 11b, and the first holding member 14 is the first holding member 14. The first substrate 11 may be held in contact with the floating conductor 13. FIG. 10 is a cross-sectional view showing a CC'cross section of the outer ring 10 shown in FIG.
Further, in the inner ring 20, as shown in FIG. 11, the second floating conductor 23 is formed on the entire surface of the fourth flat surface 21b, and the second holding member 24 comes into contact with the second floating conductor 23. The second substrate 21 may be held in this state. FIG. 11 is a cross-sectional view showing a DD'cross section of the inner ring 20 shown in FIG.

第１の保持部材１４が、第２の平面１１ｂの全面に形成されている第１の浮遊導体１３と接触している状態で、第１の基板１１を保持していることで、第１の浮遊導体１３と非接触の状態で、第１の基板１１を保持している場合よりも、第１の浮遊導体１３のシールド効果を高めることができる。
第２の保持部材２４が、第４の平面２１ｂの全面に形成されている第２の浮遊導体２３と接触している状態で、第２の基板２１を保持していることで、第２の浮遊導体２３と非接触の状態で、第２の基板２１を保持している場合よりも、第２の浮遊導体２３のシールド効果を高めることができる。By holding the first substrate 11 in a state where the first holding member 14 is in contact with the first floating conductor 13 formed on the entire surface of the second flat surface 11b, the first The shielding effect of the first floating conductor 13 can be enhanced as compared with the case where the first substrate 11 is held in a non-contact state with the floating conductor 13.
By holding the second substrate 21 in a state where the second holding member 24 is in contact with the second floating conductor 23 formed on the entire surface of the fourth flat surface 21b, the second substrate 21 is held. The shielding effect of the second floating conductor 23 can be enhanced as compared with the case where the second substrate 21 is held in a non-contact state with the floating conductor 23.

図２に示すアウターリング１０では、第１の導体１６が接地されているが、第１の導体１６の接地方法を明示していない。
例えば、金属の第１の保持部材１４を接地した上で、図１２に示すように、一端が第１の保持部材１４と接続されている導体６１を第１の基板１１の第１の平面１１ａに形成し、複数の第１の導体１６を導体６１と接続するようにしてもよい。
図１２では、第１の１ターンコイル１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄの一端も、導体６１と接続している。
図１２は、超音波探傷装置用の回転トランス１におけるアウターリング１０の他の例を図１のｘ１方向から見た平面図である。In the outer ring 10 shown in FIG. 2, the first conductor 16 is grounded, but the grounding method of the first conductor 16 is not specified.
For example, after the first metal holding member 14 is grounded, as shown in FIG. 12, the conductor 61 whose one end is connected to the first holding member 14 is connected to the first flat surface 11a of the first substrate 11. The plurality of first conductors 16 may be connected to the conductor 61.
In FIG. 12, one ends of the first one-turn coils 12a, 12b, 12c, and 12d are also connected to the conductor 61.
Figure 12 is a plan view of another example of the outer ring 10 from the x 1 direction in FIG. 1 in the rotary transformer 1 for ultrasonic flaw detection apparatus.

図４に示すインナーリング２０では、第２の導体２６が接地されているが、第２の導体２６の接地方法を明示していない。
例えば、金属の第２の保持部材２４を接地した上で、図１３に示すように、一端が第２の保持部材２４と接続されている導体６２を第２の基板２１の第３の平面２１ａに形成し、複数の第２の導体２６を導体６２と接続するようにしてもよい。
図１３では、第２の１ターンコイル２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄの一端も、導体６２と接続している。
図１３は、超音波探傷装置用の回転トランス１におけるインナーリング２０の他の例を図１のｘ２方向から見た平面図である。In the inner ring 20 shown in FIG. 4, the second conductor 26 is grounded, but the grounding method of the second conductor 26 is not specified.
For example, after the second metal holding member 24 is grounded, as shown in FIG. 13, the conductor 62 whose one end is connected to the second holding member 24 is connected to the third plane 21a of the second substrate 21. A plurality of second conductors 26 may be connected to the conductor 62.
In FIG. 13, one ends of the second one-turn coils 22a, 22b, 22c, and 22d are also connected to the conductor 62.
Figure 13 is a plan view of another example of the inner ring 20 from the x 2 direction in FIG. 1 in the rotating transformer 1 for ultrasonic flaw detection apparatus.

図２に示すアウターリング１０は、図１のｘ１方向からアウターリング１０を見たときに、第１の保持部材１４の一部が見えている構造である。
また、図４に示すインナーリング２０は、図１のｘ２方向からインナーリング２０を見たときに、第２の保持部材２４の一部が見えている構造である。
しかし、これは一例に過ぎず、アウターリング１０は、図１４及び図１５に示すように、図１のｘ１方向からアウターリング１０を見たときに、第１の保持部材１４が見えていない構造であってもよい。
図１４は、超音波探傷装置用の回転トランス１におけるアウターリング１０の他の例を図１のｘ１方向から見た平面図である。図１５は、図１４に示すアウターリング１０のＣ−Ｃ’断面を示す断面図である。
また、インナーリング２０は、図１６及び図１７に示すように、図１のｘ２方向からインナーリング２０を見たときに、第２の保持部材２４が見えていない構造であってもよい。
図１６は、超音波探傷装置用の回転トランス１におけるインナーリング２０の他の例を図１のｘ２方向から見た平面図である。図１７は、図１６に示すインナーリング２０のＤ−Ｄ’断面を示す断面図である。Outer ring 10 shown in FIG. 2, when viewed outer ring 10 from the x 1 direction in FIG. 1, a portion of the first holding member 14 has a structure that is visible.
Further, the inner ring 20 shown in FIG. 4, when viewed inner ring 20 x 2 direction in FIG. 1, a portion of the second holding member 24 has a structure that is visible.
However, this is only an example, the outer ring 10, as shown in FIGS. 14 and 15, when viewed outer ring 10 from the x 1 direction in FIG. 1, the first holding member 14 is not visible It may be a structure.
Figure 14 is a plan view of another example of the outer ring 10 from the x 1 direction in FIG. 1 in the rotary transformer 1 for ultrasonic flaw detection apparatus. FIG. 15 is a cross-sectional view showing a CC'cross section of the outer ring 10 shown in FIG.
Further, the inner ring 20, as shown in FIGS. 16 and 17, when viewed inner ring 20 x 2 direction in FIG. 1, the second holding member 24 may have a structure that is not visible.
Figure 16 is a plan view of another example of the inner ring 20 from the x 2 direction in FIG. 1 in the rotating transformer 1 for ultrasonic flaw detection apparatus. FIG. 17 is a cross-sectional view showing a DD'cross section of the inner ring 20 shown in FIG.

実施の形態１の回転トランス１は、第１の１ターンコイル１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄの他端のそれぞれがグランドと接続されている。また、第２の１ターンコイル２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄの他端のそれぞれがグランドと接続されている。
しかし、これに限るものではなく、第１の１ターンコイル１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄの他端のそれぞれが開放され、第２の１ターンコイル２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄの他端のそれぞれが開放されていてもよい。
それぞれの他端が開放されている場合、送信部４１ａ，４１ｂ，４１ｃ，４１ｄのそれぞれが、電気信号を静止側信号ライン４３ａ，４３ｂ，４３ｃ，４３ｄに送信すると、第１の１ターンコイル１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄには、電圧が印加される。
第１の１ターンコイル１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄに電圧が印加されると、容量結合によって、第２の１ターンコイル２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄに電圧が印加され、回転側信号ライン３３ａ，３３ｂ，３３ｃ，３３ｄを介して、超音波探触子３２ａ，３２ｂ，３２ｃ，３２ｄに電気信号が伝送される。
一方、超音波探触子３２ａ，３２ｂ，３２ｃ，３２ｄのそれぞれが、電気信号を回転側信号ライン３３ａ，３３ｂ，３３ｃ，３３ｄに出力すると、第２の１ターンコイル２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄには、電圧が印加される。
第２の１ターンコイル２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄに電圧が印加されると、容量結合によって、第１の１ターンコイル１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄに電圧が印加され、静止側信号ライン４３ａ，４３ｂ，４３ｃ，４３ｄを介して、受信部４２ａ，４２ｂ，４２ｃ，４２ｄに電気信号が伝送される。In the rotary transformer 1 of the first embodiment, each of the other ends of the first one-turn coils 12a, 12b, 12c, and 12d is connected to the ground. Further, each of the other ends of the second 1-turn coil 22a, 22b, 22c, 22d is connected to the ground.
However, the present invention is not limited to this, and the other ends of the first one-turn coils 12a, 12b, 12c, and 12d are opened, and the other ends of the second one-turn coils 22a, 22b, 22c, and 22d are opened. It may be open.
When the other end of each is open, when each of the transmitting units 41a, 41b, 41c, 41d transmits an electric signal to the stationary side signal lines 43a, 43b, 43c, 43d, the first one-turn coil 12a, A voltage is applied to 12b, 12c, and 12d.
When a voltage is applied to the first 1-turn coils 12a, 12b, 12c, 12d, a voltage is applied to the second 1-turn coils 22a, 22b, 22c, 22d by capacitive coupling, and the rotating side signal line 33a, An electric signal is transmitted to the ultrasonic probes 32a, 32b, 32c, 32d via the 33b, 33c, 33d.
On the other hand, when each of the ultrasonic probes 32a, 32b, 32c, 32d outputs an electric signal to the rotating side signal lines 33a, 33b, 33c, 33d, it becomes the second one-turn coil 22a, 22b, 22c, 22d. Is applied with a voltage.
When a voltage is applied to the second 1-turn coils 22a, 22b, 22c, 22d, a voltage is applied to the first 1-turn coils 12a, 12b, 12c, 12d by capacitive coupling, and the static side signal line 43a, An electric signal is transmitted to the receiving units 42a, 42b, 42c, 42d via the 43b, 43c, 43d.

実施の形態２．
図１に示す超音波探傷装置では、回転トランス１が、１つのアウターリング１０と、１つのインナーリング２０とを備えている。
実施の形態２では、回転トランス１が、複数のアウターリングと、複数のインナーリングとを備えている超音波探傷装置について説明する。Embodiment 2.
In the ultrasonic flaw detector shown in FIG. 1, the rotary transformer 1 includes one outer ring 10 and one inner ring 20.
In the second embodiment, an ultrasonic flaw detector in which the rotary transformer 1 includes a plurality of outer rings and a plurality of inner rings will be described.

超音波探傷装置は、被検査材７における多くの箇所を同時に探傷できるようにするために多数の超音波探触子３２ａ等を実装することがある。
超音波探傷装置が、１つのインナーリング２０に形成されている第２の１ターンコイル２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄの数よりも多くの超音波探触子３２ａ等を実装する場合、回転トランス１が、複数のアウターリングと、複数のインナーリングとを備える必要がある。The ultrasonic flaw detector may be equipped with a large number of ultrasonic probes 32a or the like so that many parts of the material 7 to be inspected can be flawed at the same time.
When the ultrasonic flaw detector mounts more ultrasonic probes 32a or the like than the number of the second one-turn coils 22a, 22b, 22c, 22d formed on one inner ring 20, the rotary transformer 1 However, it is necessary to provide a plurality of outer rings and a plurality of inner rings.

図１８は、４つのアウターリング及び４つのインナーリングを備える回転トランス１を示す説明図である。
図１８では、回転トランス１が、４つのアウターリング及び４つのインナーリングを備える例を示している。しかし、これは一例に過ぎず、回転トランス１が、２つ又は３つのアウターリングと、２つ又は３つのインナーリングとを備えているものであってもよい。また、回転トランス１が、５つ以上のアウターリングと、５つ以上のインナーリングとを備えているものであってもよい。
図１８では、説明の簡単化のため、外枠２、内壁３、回転機構４、超音波探触子ホルダ３１、超音波探触子３２ａ，３２ｂ，３２ｃ，３２ｄ及び回転側信号ライン３３ａ，３３ｂ，３３ｃ，３３ｄなどの記載を省略している。
図１８において、図３及び図５と同一符号は同一又は相当部分を示すので説明を省略する。
アウターリング１０は、図３に示すアウターリング１０と同一構成のアウターリングである。FIG. 18 is an explanatory view showing a rotary transformer 1 including four outer rings and four inner rings.
FIG. 18 shows an example in which the rotary transformer 1 includes four outer rings and four inner rings. However, this is only an example, and the rotary transformer 1 may include two or three outer rings and two or three inner rings. Further, the rotary transformer 1 may be provided with five or more outer rings and five or more inner rings.
In FIG. 18, for simplification of explanation, the outer frame 2, the inner wall 3, the rotating mechanism 4, the ultrasonic probe holder 31, the ultrasonic probes 32a, 32b, 32c, 32d and the rotating side signal lines 33a, 33b , 33c, 33d, etc. are omitted.
In FIG. 18, the same reference numerals as those in FIGS. 3 and 5 indicate the same or corresponding parts, and thus the description thereof will be omitted.
The outer ring 10 is an outer ring having the same configuration as the outer ring 10 shown in FIG.

アウターリング１０ａは、アウターリング１０に相当するアウターリングを２つ備えている。
第１の保持部材１４ａは、２つの第１の基板１１におけるそれぞれの第２の平面１１ｂが対向するように、２つの第１の基板１１を保持している。
インナーリング２０ａは、インナーリング２０に相当するインナーリングを２つ備えている。
第２の保持部材２４ａは、２つの第２の基板２１におけるそれぞれの第４の平面２１ｂが対向するように、２つの第２の基板２１を保持している。The outer ring 10a includes two outer rings corresponding to the outer ring 10.
The first holding member 14a holds the two first substrates 11 so that the respective second planes 11b of the two first substrates 11 face each other.
The inner ring 20a includes two inner rings corresponding to the inner ring 20.
The second holding member 24a holds the two second substrates 21 so that the respective fourth planes 21b of the two second substrates 21 face each other.

回転トランス１が、複数のアウターリングと、複数のインナーリングとを備えるものであっても、実施の形態１の回転トランス１と同様に、それぞれのアウターリングの薄型化及びそれぞれのインナーリングの薄型化を図ることができる。 Even if the rotary transformer 1 includes a plurality of outer rings and a plurality of inner rings, as in the rotary transformer 1 of the first embodiment, the outer rings are made thinner and the inner rings are made thinner. Can be achieved.

なお、本願発明はその発明の範囲内において、各実施の形態の自由な組み合わせ、あるいは各実施の形態の任意の構成要素の変形、もしくは各実施の形態において任意の構成要素の省略が可能である。 It should be noted that, within the scope of the invention, the present invention can be freely combined with each embodiment, modified from any component of each embodiment, or omitted from any component in each embodiment. ..

この発明は、固定体及び回転体を備える超音波探傷装置用の回転トランスに適している。
また、この発明は、回転トランスを備える超音波探傷装置に適している。The present invention is suitable for rotary transformers for ultrasonic flaw detectors, including fixed and rotating bodies.
The present invention is also suitable for ultrasonic flaw detectors including a rotary transformer.

１ 回転トランス、２ 外枠、３ 内壁、４ 回転機構、５ 固定体、６ 回転体、７ 被検査材、１０，１０ａ アウターリング、１１ 第１の基板、１１ａ 第１の平面、１１ｂ 第２の平面、１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ 第１の１ターンコイル、１３ 第１の浮遊導体、１４，１４ａ 第１の保持部材、１５ 空気、１６ 第１の導体、１７ 柱状導体、１８ 貫通穴、２０，２０ａ インナーリング、２１ 第２の基板、２１ａ 第３の平面、２１ｂ 第４の平面、２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄ 第２の１ターンコイル、２３ 第２の浮遊導体、２４，２４ａ 第２の保持部材、２５ 空気、２６ 第２の導体、２７ 柱状導体、２８ 貫通穴、３１ 超音波探触子ホルダ、３２ａ，３２ｂ，３２ｃ，３２ｄ 超音波探触子、３３ａ，３３ｂ，３３ｃ，３３ｄ 回転側信号ライン、４０ 信号入出力部、４１ａ，４１ｂ，４１ｃ，４１ｄ 送信部、４２ａ，４２ｂ，４２ｃ，４２ｄ 受信部、４３ａ，４３ｂ，４３ｃ，４３ｄ 静止側信号ライン、４４ 探傷部、５１，５２ クロストーク、６１，６２ 導体。 1 Rotating transformer, 2 Outer frame, 3 Inner wall, 4 Rotating mechanism, 5 Fixed body, 6 Rotating body, 7 Material to be inspected, 10,10a Outer ring, 11 First substrate, 11a First plane, 11b Second Flat surface, 12a, 12b, 12c, 12d 1st turn coil, 13 1st floating conductor, 14, 14a 1st holding member, 15 air, 16 1st conductor, 17 columnar conductor, 18 through hole, 20 , 20a Inner ring, 21 2nd substrate, 21a 3rd plane, 21b 4th plane, 22a, 22b, 22c, 22d 2nd 1-turn coil, 23 2nd floating conductor, 24, 24a 2nd Holding member, 25 air, 26 second conductor, 27 columnar conductor, 28 through hole, 31 ultrasonic probe holder, 32a, 32b, 32c, 32d ultrasonic probe, 33a, 33b, 33c, 33d rotating side Signal line, 40 signal input / output section, 41a, 41b, 41c, 41d transmitter section, 42a, 42b, 42c, 42d receiver section, 43a, 43b, 43c, 43d stationary side signal line, 44 flaw detector, 51, 52 crosstalk , 61, 62 conductors.

この発明に係る超音波探傷装置用の回転トランスは、複数の第１の１ターンコイルが第１の平面に同心円状に形成され、第１の浮遊導体が第２の平面に形成されている第１の基板と、第１の浮遊導体を取り囲むように第１の基板を保持している第１の保持部材とを有する固定体と、複数の第１の１ターンコイルのそれぞれと対向するように、複数の第２の１ターンコイルが第３の平面に同心円状に形成され、第２の浮遊導体が第４の平面に形成されている第２の基板と、第２の浮遊導体を取り囲むように第２の基板を保持している第２の保持部材と、複数の第２の１ターンコイルのそれぞれと接続されている複数の超音波探触子とを有し、第２の基板と第２の保持部材と複数の超音波探触子とが被検査材の周りを回転する回転体とを備え、固定体は、第１の平面において、複数の第１の１ターンコイルのそれぞれの間に形成されている第１の導体を有し、回転体は、第３の平面において、複数の第２の１ターンコイルのそれぞれの間に形成されている第２の導体を有し、第１の導体と第１の浮遊導体とが柱状導体によって電気的に接続され、第２の導体と第２の浮遊導体とが柱状導体によって電気的に接続されており、第１の導体及び第２の導体のそれぞれが接地されているようにしたものである。 In the rotary transformer for an ultrasonic flaw detector according to the present invention, a plurality of first one-turn coils are formed concentrically on a first plane, and a first floating conductor is formed on a second plane. A fixed body having a substrate 1 and a first holding member holding the first substrate so as to surround the first floating conductor, and facing each of the plurality of first turn coils. A plurality of second 1-turn coils are concentrically formed on the third plane, and the second floating conductor is formed on the fourth plane so as to surround the second substrate and the second floating conductor. It has a second holding member that holds the second substrate, and a plurality of ultrasonic probes connected to each of the plurality of second one-turn coils, the second substrate and the second. The holding member of 2 and the plurality of ultrasonic probes include a rotating body in which a plurality of ultrasonic probes rotate around the material to be inspected , and the fixed body is provided between each of the plurality of first one-turn coils in the first plane. The rotating body has a second conductor formed between each of the plurality of second one-turn coils in the third plane, and has a first conductor formed in the first. Conductor and the first floating conductor are electrically connected by a columnar conductor, and the second conductor and the second floating conductor are electrically connected by a columnar conductor, and the first conductor and the second floating conductor are connected. Each of the conductors is grounded .

この発明に係る超音波探傷装置用の回転トランスは、中央に検査対象である被検査材が挿入される貫通穴を有し、第１の平面と第１の平面と表裏関係にある第２の平面を有する第１の基板と、第１の基板の第１の平面に同心円状に形成され、それぞれが、一端が対応する静止側信号ラインに接続され、他端が接地される複数の第１の１ターンコイルと、複数の第１の１ターンコイルの直下に位置する第１の基板の第２の平面に形成された第１の浮遊導体と、第１の基板の第１の平面に複数の第１の１ターンコイルの隣接する第１の１ターンコイルの間に複数の第１の１ターンコイルと同心円状に形成され、接地される第１の導体と、第１の導体と第１の浮遊導体とを電気的に接続し、第１の基板の第１の平面と第２の平面との間を貫通して形成された複数の第１の柱状導体と、第１の浮遊導体を取り囲み、第１の基板の第２の平面に対向し、当該第２の平面との間に距離をもって配置される平面を有し、第１の基板を保持している第１の保持部材とを具備し、第１の浮遊導体が複数の第１の１ターンコイルと第１の保持部材との間の磁束をシールドする固定体と、
中央に被検査材が挿入される貫通穴を有し、第１の基板の第１の平面に対向して配置される第３の平面と第３の平面と表裏関係にある第４の平面を有する第２の基板と、第２の基板の第３の平面に同心円状に形成され、それぞれが、複数の第１の１ターンコイルそれぞれと非接触伝送行い、一端が対応する回転側信号ラインに接続され、他端が接地される複数の第２の１ターンコイルと、複数の第２の１ターンコイルの直下に位置する第２基板の第４の平面に形成された第２の浮遊導体と、第２の基板の第３の平面に複数の第２の１ターンコイルの隣接する第２の１ターンコイルの間に複数の第２の１ターンコイルと同心円状に形成され、接地される第２の導体と、第２の導体と第２の浮遊導体とを電気的に接続し、第２の基板の第３の平面と第４の平面との間を貫通して形成された複数の第２の柱状導体と、第２の浮遊導体を取り囲み、第２の基板の第４の平面に対向し、当該第４の平面との間に距離をもって配置される平面を有し、第２の基板を保持している第２の保持部材と、複数の第２の１ターンコイルのそれぞれと対応する回転側信号ラインを介して接続される複数の超音波探触子とを具備し、第２の浮遊導体が複数の第２の１ターンコイルと第２の保持部材との間の磁束をシールドし、第２の基板と第２の保持部材と複数の超音波探触子とが被検査材の周りを回転する回転体とを備えたものである。 The rotary transformer for the ultrasonic flaw detector according to the present invention has a through hole in the center into which the material to be inspected is inserted, and the first plane and the second plane are in a front-to-back relationship with the first plane. A plurality of first substrates having a flat surface and concentrically formed on the first flat surface of the first substrate, each of which is connected to a corresponding stationary signal line at one end and grounded at the other end. 1-turn coil, 1st floating conductor formed on the 2nd plane of the 1st substrate located directly under the 1st 1-turn coil, and a plurality of 1st floating conductors on the 1st plane of the 1st substrate. A first conductor, a first conductor, and a first conductor, which are formed concentrically with a plurality of first one-turn coils and are grounded between the adjacent first one-turn coils of the first one-turn coil. A plurality of first columnar conductors formed by electrically connecting the floating conductors of the above and penetrating between the first plane and the second plane of the first substrate, and the first floating conductors. taken enclose faces the second plane of the first substrate, the has a plane which is arranged at a distance between the second plane, the first holding member holding the first substrate A fixed body , wherein the first floating conductor shields the magnetic flux between the plurality of first one-turn coils and the first holding member .
A third plane having a through hole in the center into which the material to be inspected is inserted and being arranged so as to face the first plane of the first substrate, and a fourth plane having a front-back relationship with the third plane. The second substrate to be held and the third plane of the second substrate are formed concentrically, and each conducts non-contact transmission with each of the plurality of first one-turn coils, and one end thereof becomes a corresponding rotating signal line. A plurality of second 1-turn coils connected and the other end being grounded, and a second floating conductor formed on the fourth plane of the second substrate located directly below the plurality of second 1-turn coils. , Concentrically formed with the plurality of second 1-turn coils between the adjacent 2nd 1-turn coils of the plurality of 2nd 1-turn coils on the 3rd plane of the 2nd substrate, and grounded. A plurality of second conductors formed by electrically connecting the second conductor, the second conductor, and the second floating conductor, and penetrating between the third plane and the fourth plane of the second substrate. It has a second columnar conductor, enclose take the second floating conductor, opposite to the fourth plane of the second substrate, a plane which is arranged at a distance between the fourth plane, the second A second holding member for holding the substrate of the above, and a plurality of ultrasonic probes connected via a rotating side signal line corresponding to each of the plurality of second one-turn coils . The two floating conductors shield the magnetic flux between the plurality of second one-turn coils and the second holding member, and the second substrate, the second holding member, and the plurality of ultrasonic probes are inspected. It is equipped with a rotating body that rotates around the material.

この発明によれば、固定体が、第１の基板の第１の平面に対向し、第１の平面との間に距離をもって配置される平面を有し、第１の浮遊導体を取り囲むように第１の基板を保持している第１の保持部材を有し、回転体が、第２の基板の第４の平面に対向し、第４の平面との間に距離をもって配置される平面を有し、第２の浮遊導体を取り囲むように第２の基板を保持している第２の保持部材を有している。したがって、この発明に係る超音波探傷装置用の回転トランスは、第１の浮遊導体が複数の第１の１ターンコイルと第１の保持部材との間の磁束をシールドするように作用し、第２の浮遊導体が複数の第２の１ターンコイルと第２の保持部材との間の磁束をシールドするように作用し、電磁誘導現象の影響を解消するために、第１の基板と第１の保持部材における第１の平面との間に距離をもって配置される平面との間の距離及び第２の基板と第２の保持部材における第４の平面との間に距離をもって配置される平面との間の距離を長くすることなく、電磁誘導現象の影響を解消することができる。 According to the present invention, the fixed body has a plane facing the first plane of the first substrate and arranged at a distance from the first plane so as to surround the first floating conductor. A plane having a first holding member holding the first substrate, the rotating body facing the fourth plane of the second substrate, and being arranged at a distance from the fourth plane. It has a second holding member that holds the second substrate so as to surround the second floating conductor. Therefore, in the rotary transformer for the ultrasonic flaw detector according to the present invention, the first floating conductor acts so as to shield the magnetic flux between the plurality of first one-turn coils and the first holding member. The second floating conductor acts to shield the magnetic flux between the plurality of second one-turn coils and the second holding member, and in order to eliminate the influence of the electromagnetic induction phenomenon, the first substrate and the first The distance between the first plane of the holding member and the plane arranged at a distance, and the distance between the second substrate and the fourth plane of the second holding member . The influence of the electromagnetic induction phenomenon can be eliminated without increasing the distance between them.

この発明に係る超音波探傷装置用の回転トランスは、中央に検査対象である被検査材が挿入される貫通穴を有し、第１の平面と第１の平面と表裏関係にある第２の平面を有する第１の基板と、第１の基板の第１の平面に同心円状に形成され、それぞれが、一端が対応する静止側信号ラインに接続され、他端が接地される複数の第１の１ターンコイルと、複数の第１の１ターンコイルの直下に位置する第１の基板の第２の平面に形成された第１の浮遊導体と、第１の基板の第１の平面に複数の第１の１ターンコイルの隣接する第１の１ターンコイルの間に複数の第１の１ターンコイルと同心円状に形成され、接地される第１の導体と、第１の導体と第１の浮遊導体とを電気的に接続し、第１の基板の第１の平面と第２の平面との間を貫通して形成された複数の第１の柱状導体と、第１の浮遊導体を取り囲み、第１の基板の第２の平面に対向し、当該第２の平面との間に距離をもって配置される平面を有し、第１の基板を保持している第１の保持部材とを具備し、第１の浮遊導体が複数の第１の１ターンコイルと第１の保持部材との間の磁束をシールドする固定体と、 中央に被検査材が挿入される貫通穴を有し、第１の基板の第１の平面に対向して配置される第３の平面と第３の平面と表裏関係にある第４の平面を有する第２の基板と、第２の基板の第３の平面に同心円状に形成され、それぞれが、複数の第１の１ターンコイルそれぞれと非接触伝送行い、一端が対応する回転側信号ラインに接続され、他端が接地される複数の第２の１ターンコイルと、複数の第２の１ターンコイルの直下に位置する第２の基板の第４の平面に形成された第２の浮遊導体と、第２の基板の第３の平面に複数の第２の１ターンコイルの隣接する第２の１ターンコイルの間に複数の第２の１ターンコイルと同心円状に形成され、接地される第２の導体と、第２の導体と第２の浮遊導体とを電気的に接続し、第２の基板の第３の平面と第４の平面との間を貫通して形成された複数の第２の柱状導体と、第２の浮遊導体を取り囲み、第２の基板の第４の平面に対向し、当該第４の平面との間に距離をもって配置される平面を有し、第２の基板を保持している第２の保持部材と、複数の第２の１ターンコイルのそれぞれと対応する回転側信号ラインを介して接続される複数の超音波探触子とを具備し、第２の浮遊導体が複数の第２の１ターンコイルと第２の保持部材との間の磁束をシールドし、第２の基板と第２の保持部材と複数の超音波探触子とが被検査材の周りを回転する回転体とを備えたものである。 The rotary transformer for the ultrasonic flaw detector according to the present invention has a through hole in the center into which the material to be inspected is inserted, and the first plane and the second plane are in a front-to-back relationship with the first plane. A plurality of first substrates having a flat surface and concentrically formed on the first flat surface of the first substrate, each of which is connected to a corresponding stationary signal line at one end and grounded at the other end. 1-turn coil, 1st floating conductor formed on the 2nd plane of the 1st substrate located immediately below the plurality of 1st 1-turn coils, and a plurality of 1st floating conductors on the 1st plane of the 1st substrate. A first conductor, a first conductor, and a first conductor formed concentrically with a plurality of first one-turn coils and grounded between adjacent first one-turn coils of the first one-turn coil. A plurality of first columnar conductors formed by electrically connecting the floating conductors of the above and penetrating between the first plane and the second plane of the first substrate, and the first floating conductors. A first holding member that surrounds, faces the second plane of the first substrate, has a plane that is arranged at a distance from the second plane, and holds the first substrate. The first floating conductor has a fixed body that shields the magnetic flux between the plurality of first one-turn coils and the first holding member, and a through hole in the center into which the material to be inspected is inserted. A second substrate having a third plane arranged to face the first plane of the first substrate, a fourth plane having a front-back relationship with the third plane, and a third of the second board. A plurality of second 1s formed concentrically on a plane, each performing non-contact transmission with each of the plurality of first 1-turn coils, one end being connected to the corresponding rotating signal line, and the other end being grounded. A turn coil, a second floating conductor formed on a fourth plane of a second substrate located directly below the plurality of second one-turn coils, and a plurality of second conductors on a third plane of the second substrate. A second conductor, a second conductor, and a second floating conductor formed concentrically with a plurality of second one-turn coils and grounded between two adjacent second one-turn coils of the two one-turn coils. A plurality of second columnar conductors formed by electrically connecting the conductors and penetrating between the third plane and the fourth plane of the second substrate, and the second floating conductor are surrounded. A plurality of holding members having a plane facing the fourth plane of the second substrate and arranged at a distance from the fourth plane, and holding the second substrate. Each of the second 1-turn coils is provided with a plurality of ultrasonic probes connected via corresponding rotating signal lines, and the second floating conductor is a plurality of second 1-turn coils and a second. It is provided with a rotating body that shields the magnetic flux between the two holding members and has a second substrate, a second holding member, and a plurality of ultrasonic probes rotating around the material to be inspected. ..

Claims (10)

複数の第１の１ターンコイルが第１の平面に同心円状に形成され、第１の浮遊導体が第２の平面に形成されている第１の基板と、前記第１の浮遊導体を取り囲むように前記第１の基板を保持している第１の保持部材とを有する固定体と、
前記複数の第１の１ターンコイルのそれぞれと対向するように、複数の第２の１ターンコイルが第３の平面に同心円状に形成され、第２の浮遊導体が第４の平面に形成されている第２の基板と、前記第２の浮遊導体を取り囲むように前記第２の基板を保持している第２の保持部材と、前記複数の第２の１ターンコイルのそれぞれと接続されている複数の超音波探触子とを有し、前記第２の基板と前記第２の保持部材と前記複数の超音波探触子とが被検査材の周りを回転する回転体と
を備えた超音波探傷装置用の回転トランス。A plurality of first one-turn coils are formed concentrically on the first plane, and the first floating conductor is formed on the second plane so as to surround the first substrate and the first floating conductor. A fixed body having a first holding member holding the first substrate, and
A plurality of second 1-turn coils are formed concentrically on a third plane so as to face each of the plurality of first 1-turn coils, and a second floating conductor is formed on the fourth plane. The second substrate, the second holding member that holds the second substrate so as to surround the second floating conductor, and each of the plurality of second one-turn coils are connected to each other. It has a plurality of ultrasonic probes, and includes a rotating body in which the second substrate, the second holding member, and the plurality of ultrasonic probes rotate around an object to be inspected. Rotating transformer for ultrasonic flaw detectors. 前記固定体は、前記第１の平面において、前記複数の第１の１ターンコイルのそれぞれの間に形成されている第１の導体を有し、
前記回転体は、前記第３の平面において、前記複数の第２の１ターンコイルのそれぞれの間に形成されている第２の導体を有し、
前記第１の導体と前記第１の浮遊導体とが電気的に接続され、前記第２の導体と前記第２の浮遊導体とが電気的に接続されており、前記第１の導体及び前記第２の導体のそれぞれが接地されていることを特徴とする請求項１記載の超音波探傷装置用の回転トランス。The fixed body has a first conductor formed between each of the plurality of first one-turn coils in the first plane.
The rotating body has a second conductor formed between each of the plurality of second one-turn coils in the third plane.
The first conductor and the first floating conductor are electrically connected, and the second conductor and the second floating conductor are electrically connected, and the first conductor and the first floating conductor are electrically connected. The rotary transformer for an ultrasonic flaw detector according to claim 1, wherein each of the two conductors is grounded. 前記第１の導体と前記第１の浮遊導体とが柱状導体によって電気的に接続され、前記第２の導体と前記第２の浮遊導体とが柱状導体によって電気的に接続されていることを特徴とする請求項２記載の超音波探傷装置用の回転トランス。 The first conductor and the first floating conductor are electrically connected by a columnar conductor, and the second conductor and the second floating conductor are electrically connected by a columnar conductor. 2. The rotary transformer for the ultrasonic flaw detector according to claim 2. 前記第１の浮遊導体及び前記第２の浮遊導体のそれぞれは、非磁性金属であることを特徴とする請求項１記載の超音波探傷装置用の回転トランス。 The rotary transformer for an ultrasonic flaw detector according to claim 1, wherein each of the first floating conductor and the second floating conductor is a non-magnetic metal. 前記第１の保持部材及び前記第２の保持部材のそれぞれは、非金属であることを特徴とする請求項１記載の超音波探傷装置用の回転トランス。 The rotary transformer for an ultrasonic flaw detector according to claim 1, wherein each of the first holding member and the second holding member is a non-metal. 前記第１の保持部材及び前記第２の保持部材のそれぞれは、金属であり、
前記第１の保持部材及び前記第２の保持部材のそれぞれは、接地されていることを特徴とする請求項１記載の超音波探傷装置用の回転トランス。Each of the first holding member and the second holding member is a metal.
The rotary transformer for an ultrasonic flaw detector according to claim 1, wherein each of the first holding member and the second holding member is grounded. 前記第１の保持部材は、前記第１の浮遊導体と非接触の状態で、前記第１の基板を保持し、
前記第２の保持部材は、前記第２の浮遊導体と非接触の状態で、前記第２の基板を保持していることを特徴とする請求項１記載の超音波探傷装置用の回転トランス。The first holding member holds the first substrate in a non-contact state with the first floating conductor.
The rotary transformer for an ultrasonic flaw detector according to claim 1, wherein the second holding member holds the second substrate in a non-contact state with the second floating conductor. 前記第１の浮遊導体が前記第２の平面の全面に形成され、前記第２の浮遊導体が前記第４の平面の全面に形成されており、
前記第１の保持部材は、前記第１の浮遊導体と接触している状態で、前記第１の基板を保持し、
前記第２の保持部材は、前記第２の浮遊導体と接触している状態で、前記第２の基板を保持していることを特徴とする請求項１記載の超音波探傷装置用の回転トランス。The first floating conductor is formed on the entire surface of the second plane, and the second floating conductor is formed on the entire surface of the fourth plane.
The first holding member holds the first substrate in a state of being in contact with the first floating conductor.
The rotary transformer for an ultrasonic flaw detector according to claim 1, wherein the second holding member holds the second substrate in a state of being in contact with the second floating conductor. .. 前記固定体は、
前記第１の基板を２つ有しており、
前記第１の保持部材は、
前記２つの第１の基板におけるそれぞれの第２の平面が対向するように、前記２つの第１の基板を保持し、
前記回転体は、
前記第２の基板を２つ有しており、
前記第２の保持部材は、
前記２つの第２の基板におけるそれぞれの第４の平面が対向するように、前記２つの第２の基板を保持していることを特徴とする請求項１記載の超音波探傷装置用の回転トランス。The fixed body
It has two of the first substrates.
The first holding member is
The two first substrates are held so that the respective second planes of the two first substrates face each other.
The rotating body is
It has two of the second substrates.
The second holding member is
The rotary transformer for an ultrasonic flaw detector according to claim 1, wherein the two second substrates are held so that the fourth planes of the two second substrates face each other. .. 複数の第１の１ターンコイルが第１の平面に同心円状に形成され、第１の浮遊導体が第２の平面に形成されている第１の基板と、前記第１の浮遊導体を取り囲むように前記第１の基板を保持している第１の保持部材とを有する固定体と、
前記複数の第１の１ターンコイルのそれぞれと対向するように、複数の第２の１ターンコイルが第３の平面に同心円状に形成され、第２の浮遊導体が第４の平面に形成されている第２の基板と、前記第２の浮遊導体を取り囲むように前記第２の基板を保持している第２の保持部材と、前記複数の第２の１ターンコイルのそれぞれと接続されている複数の超音波探触子とを有し、前記第２の基板と前記第２の保持部材と前記複数の超音波探触子とが被検査材の周りを回転する回転体と、
前記複数の第１の１ターンコイルのそれぞれと接続されており、前記第１の１ターンコイルに対して電気信号を入出力する信号入出力部と、
前記信号入出力部により入出力された電気信号に基づいて前記被検査材の傷を探知する探傷部と
を備えた超音波探傷装置。A plurality of first one-turn coils are formed concentrically on the first plane, and the first floating conductor is formed on the second plane so as to surround the first substrate and the first floating conductor. A fixed body having a first holding member holding the first substrate, and
A plurality of second 1-turn coils are formed concentrically on a third plane so as to face each of the plurality of first 1-turn coils, and a second floating conductor is formed on the fourth plane. The second substrate is connected to the second holding member holding the second substrate so as to surround the second floating conductor, and each of the plurality of second one-turn coils. A rotating body having a plurality of ultrasonic probes, the second substrate, the second holding member, and the plurality of ultrasonic probes rotating around an object to be inspected.
A signal input / output unit that is connected to each of the plurality of first one-turn coils and inputs / outputs an electric signal to the first one-turn coil.
An ultrasonic flaw detector including a flaw detector that detects scratches on the material to be inspected based on an electric signal input / output by the signal input / output portion.
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