JPWO2010050296A1 - 光断層画像形成方法 - Google Patents
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Abstract
Description
前記測定対象の屈折率を入力し、入力された前記測定対象の屈折率に応じて、前記光断層画像の画像補正を行い出力することを特徴とする。
但し
λ0:前記低コヒーレンス光の中心波長
Δλ:前記低コヒーレンス光の帯域(最大強度の半分以上の強度の範囲)
但し
λ0:低コヒーレンス光の中心波長
Δλ:低コヒーレンス光の帯域(最大強度の半分以上の強度の範囲)
光分割手段BSは、たとえば2×2の光ファイバカプラからなっており、光源SLDから光ファイバFBを介して導波された低コヒーレント光Lを、測定光L1と参照光L2に分割するようになっている。
CL1 第1コリメータ
CL2 第2コリメータ
CNL 集光レンズ
DT 干渉光検出手段
FB 光ファイバ
GM ガルバノミラー
ID 入力手段
L 低コヒーレント光
L1 測定光
L2 参照光
MT モニタ
PC パソコン
RAM 参照ミラー
S 測定対象
S1〜S3 層
SAP2 点
SP1 点
SP2 点
SS1 表面
SS2 境界面
SSA2 イメージ面
SLD 光源
WS1,WS2 波形
t1〜t3 厚さ
Claims (6)
- 光源から出射された低コヒーレンス光を測定光と参照光とに分割し、前記測定光が集光レンズを介して測定対象に照射されたときの該測定対象からの反射光と、前記参照光が分割位置より所定の光路長だけ離れた参照ミラーに照射されたときの該参照ミラーからの反射光とを合波して得られた干渉光を検出することにより、前記測定対象の光断層画像を形成する光断層画像形成方法であって、
前記測定対象の屈折率を入力し、入力された前記測定対象の屈折率に応じて、前記光断層画像の画像補正を行い出力することを特徴とする光断層画像形成方法。 - 前記測定対象の屈折率として、既知データを入力することを特徴とする請求項1に記載の光断層画像形成方法。
- 前記測定光が前記測定対象の第1反射面に対して斜入射した場合、前記第1反射面で屈折した後に前記測定対象の第2反射面で反射した時の前記測定光の通る光路長を、前記測定対象の第1反射面における前記測定光の入射角に関わらず前記測定光が前記測定対象の内部へ直進するものとして前記第1反射面から前記第2反射面までの光路長とし、前記第1反射面と前記第2反射面との間の屈折率に基づいて、前記光路長分を補正して前記光断層画像の画像補正を行い出力することを特徴とする請求項1または2に記載の光断層画像形成方法。
- 前記測定光が前記測定対象の第1反射面に対して斜入射した場合、前記第1反射面で屈折した後に前記測定対象の第2反射面で反射した時の前記測定光の通る光路長を、前記第1反射面における前記測定光の入射角と、前記第1反射面に対して入射側の屈折率と前記第1反射面と前記第2反射面との間の屈折率とに基づいて決定し、前記第1反射面と前記第2反射面との間の屈折率分並びに前記光路長分を補正して前記光断層画像の画像補正を行い出力することを特徴とする請求項1または2に記載の光断層画像形成方法。
- 前記第1反射面から反射された反射光と、前記参照ミラーからの反射光との干渉光強度が最大になるように、前記測定対象又は前記集光レンズ及び前記参照ミラーを移動させた第1の位置と、前記第2反射面から反射された反射光と、前記参照ミラーからの反射光との干渉光強度が最大になるように、前記測定対象又は前記集光レンズ及び前記参照ミラーを移動させた第2の位置との差により、前記測定対象の屈折率を求めることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の光断層画像形成方法。
- 以下の式で表される前記低コヒーレンス光の可干渉距離Δlは、30μm以下であることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の光断層画像形成方法。
Δl=(2ln(2λ0 2))/(πΔλ)
但し
λ0:前記低コヒーレンス光の中心波長
Δλ:前記低コヒーレンス光の帯域(最大強度の半分以上の強度の範囲)
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