JPS6399083U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6399083U JPS6399083U JP19505186U JP19505186U JPS6399083U JP S6399083 U JPS6399083 U JP S6399083U JP 19505186 U JP19505186 U JP 19505186U JP 19505186 U JP19505186 U JP 19505186U JP S6399083 U JPS6399083 U JP S6399083U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- port
- valve
- passage
- cylinder
- bypass
- Prior art date
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- Granted
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Fluid-Driven Valves (AREA)
Description
第1図はこの考案に係る操作速度制御装置の回
路図、第2図は要部の断面図、第3〜5図は該要
部の異なつた作動状態を示す断面図、第6図はシ
リンダへの取付の一例を示す一部断面図、第7図
は従来の装置の回路図、第8図は従来の速度制御
弁の外観図、第9図は従来のバイパス弁の外観図
である。 1…弁、2…弁軸、3…シリンダ、4…ピスト
ン、5…方向切換弁、6…圧力源、7,8…速度
制御弁、9…スプリング、10…バイパス弁、1
1…ハンドル、12…フイルター、13…ストツ
プ弁、14…機体、15…第1ポート、16…第
2ポート、17…通路、18…第1ニードル弁、
19…第2ニードル弁、20…第1チエツク弁、
21…第2チエツク弁、22…受圧側、23…大
気圧側、24…第3ポート、25…バイパス通路
、26…シリンダブロツク、27…ガスケツト、
28,29…連通路。
路図、第2図は要部の断面図、第3〜5図は該要
部の異なつた作動状態を示す断面図、第6図はシ
リンダへの取付の一例を示す一部断面図、第7図
は従来の装置の回路図、第8図は従来の速度制御
弁の外観図、第9図は従来のバイパス弁の外観図
である。 1…弁、2…弁軸、3…シリンダ、4…ピスト
ン、5…方向切換弁、6…圧力源、7,8…速度
制御弁、9…スプリング、10…バイパス弁、1
1…ハンドル、12…フイルター、13…ストツ
プ弁、14…機体、15…第1ポート、16…第
2ポート、17…通路、18…第1ニードル弁、
19…第2ニードル弁、20…第1チエツク弁、
21…第2チエツク弁、22…受圧側、23…大
気圧側、24…第3ポート、25…バイパス通路
、26…シリンダブロツク、27…ガスケツト、
28,29…連通路。
Claims (1)
- 一つの機体14に第1ポート15、第2ポート
16並びに第3ポート24を形成し、第1ポート
15と第2ポート16を接続する通路17にニー
ドル弁18,19とチエツク弁20,21とから
なる2組の速度制御弁7,8を配設し、第2ポー
ト16と第3ポート24を接続するバイパス通路
5に該通路25を断続するバイパス弁10を配設
し、前記通路17を断続するストツプ弁13をバ
イパス弁10に一体に形成し、第1ポート15を
方向切換弁5に第2ポート16をシリンダ3の受
圧側に、第3ポート24をシリンダ3の大気圧側
にそれぞれ連結すると共に、流体圧力を受けてシ
リンダ3内を作動するピストン4を弁1の弁軸2
に連結したことを特徴とする弁の操作速度制御装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19505186U JPH0325481Y2 (ja) | 1986-12-17 | 1986-12-17 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19505186U JPH0325481Y2 (ja) | 1986-12-17 | 1986-12-17 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6399083U true JPS6399083U (ja) | 1988-06-27 |
JPH0325481Y2 JPH0325481Y2 (ja) | 1991-06-03 |
Family
ID=31152582
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP19505186U Expired JPH0325481Y2 (ja) | 1986-12-17 | 1986-12-17 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0325481Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7187011B2 (ja) * | 2018-09-07 | 2022-12-12 | 株式会社フジキン | アクチュエータ、バルブ、流体供給システム、および半導体製造装置 |
-
1986
- 1986-12-17 JP JP19505186U patent/JPH0325481Y2/ja not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0325481Y2 (ja) | 1991-06-03 |