JPS6396857A - イオン注入装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明はイオンと一ムを静電走査して半導体ウェハに
イオン注入を行うイオン注入装置に関するもので、特に
エンドステーションが２個あって共通のビームラインか
ら分岐した２本の分岐ビームラインを通るイオンビーム
で２個のエンドステーション内のウェハにイオン注入を
行うイオン注入装置に係る。

〔従来の技術〕

従来のこの種のイオン注入装置は、第３図に示すように
、２個のエンドステーション１．２を有し、共通のビー
ムラインＡ１から分岐した２本の分岐ビームラインＡ２
．Ａ３を通るイオンビームを２個のエンドステーション
１．２に対して交互にスキャン照射を行うようになって
おり、例えばエンドステーションｌでのウェハへのスキ
ャン照射によるイオン注入中において、エンドステーシ
ョン２でのウェハの交換（搬出搬入）を行い、エンドス
テーション１でのウェハへのイオン注入が完了すると、
今度はエンドステーション２でのウェハへのイオン注入
を行い、このときにエンドステーション１でのウェハの
交換を行い、以降この動作を繰返すことになる。

以下、より詳しく説明する。

シーケンス部３は、ＣＰＵを含んで構成されるウェハ搬
送制御装置４ヘエンドステーシヲン１に対する搬送指令
を与える。この結果、ウェハ搬送制御装置４が例えばエ
ンドステーション１へ搬送制御信号を送り、エンドステ
ーションｌではウェハの搬出搬入が行われる。

エンドステーション１におけるウェハの搬出搬入が完了
すると、ウェハ搬送制御装置４が搬入完了信号をシーケ
ンス部３へ送ることになる。

搬入完了信号を受は取ると、シーケンス部３は、走査電
源５に対し出力切替指令を与えるとともに切替スイッチ
６に切替指令を与える。この結果、走査電源５は、エン
ドステージジンｌの方へイオンビームをスキャン照射さ
せるための電圧を走査電極７に印加し、これによってイ
オンビームがエンドステーション１側でスキャン走査さ
れ、ウェハにイオン注入が行われることになる。一方、
切替スイッチ６の方は、ａ側に切替わり、ビーム電流変
換器８は、イオン注入中、エンドステーションｌ内のウ
ェハへ照射されるイオンビームのビーム電流を検出し、
それをビーム電流積算器９へ送る。

ビーム電流積算器９は、注入条件（ウェハサイズ、ドー
ズ量等）に対応した値が予め設定されてあり、ビーム電
流積算値が上記の設定値に達したときに、エンドステー
ションｌ内のウェハへのイオン注入が完了したものとし
て、注入完了信号をシーケンス部３へ送り、ビーム電流
積算器９をリセットする。

なお、ウェハ搬送制御装置４は、エンドステーション１
のウェハへのイオン注入が始まると、もう一方のエンド
ステーション２に対して搬送制御信号を与え、これによ
ってエンドステーション２でのウェハの搬出搬入が行わ
れる。ウェハの搬出搬入が完了すると、ウェハ搬送制御
装置４はシーケンス部３へ搬入完了信号を送ることにな
る。この搬出搬入動作は隣りのエンドステーション１で
のイオン注入期間内に完了する。

前記した注入完了信号がシーケンス部３に入力されると
、シーケンス部３は、エンドステーション２へのウェハ
の搬入を完了したことを示す搬入完了信号が入力されて
いることを確認した上で走査型？ｆＭ５に対し出力切替
指令を与えるとともに切替スイッチ６に対し切替指令を
与える。この結果、走査電源５および切替スイッチ６等
が上記と逆に動作し、エンドステーション２の方でイオ
ン注入が行われ、エンドステーション１の方でウェハの
ＩＨ出搬入が行われることになり、以降上記した一連の
動作を繰返すことになる。

〔発明が解決しようとする問題点〕

このような従来のイオン注入装置は、２個のエンドステ
ーシロン１．２に対し、ビーム電流変換器８およびビー
ム電流積算器９が各々１個しか備えられていないため、
２個のエンドステーション１、　２があるにもかかわら
ず、両エンドステーション１．２のウェハに対して同一
の注入条件でしかイオン注入を行うことができなかった
。

また、このイオン注入装置は、一方のエンドステーシロ
ン１内のウェハへのイオン注入が完了し、かつ他方のエ
ンドステーション２のウェハの搬出搬入が完了して初め
て走査電源５および切替スイッチ６に指令を与えてもう
一方のエンドステーション２内のウェハへのイオン注入
を開始するというシーケンスで動作させていたため、例
えばエンドステーション１が何らかの原因で故障し、イ
オン注入が不能となった場合、他方のエンドステーショ
ン２でのイオン注入に切替らず、両方のエンドステーシ
ョン１．２でのイオン注入を停止せざるを得なかった。

したがって、エンドステーション１，２のいずれか一方
が故障すると、それが回復するまで全くイオン注入を行
うことができなかった。

なお、正常な方のエンドステーション２でイオン注入を
行うには、イオン注入装置をリセットすればよいが、イ
オン注入動作実行中のエンドステーション１が故障して
イオン注入が中断した場合に、もう一方のエンドステー
ション２でイオン注入を実行するには、ビーム電流積算
器９をリセットしなければならず、この結果中断した方
のウェハを廃棄しなければならず、ウェハが無駄になる
という問題がある。

この発明の目的は、２個のエンドステーションで各々異
なった注入条件でイオン注入を行うことができ、また２
個のエンドステーションのうちいずれか一方が故障した
ときに正常な方のエンドステーシロンのみの単独運転を
行うことができ、かつそのためにウェハが無駄になるよ
うな支障が生じることがないイオン注入装置を提供する
ことである。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明のイオン注入装置は、共通のビームラインから
分岐した第１および第２の分岐ビームラインにそれぞれ
対向するように設置された第１および第２のエンドステ
ーションと、 前記第１および第２のエンドステーシロン内にそれぞれ
照射されるイオンビームのビーム電流を検出する第１お
よび第２のビーム電流変換器と、前記第１および第２の
ビーム電流変換器の出力をそれぞれ積算し各々その積算
値が注入条件に合わせて設定された第１および第２の設
定値にそれぞれ達したときに注入完了信号をそれぞれ出
力する第１および第２のビーム電流積算器と、前記第１
および第２のエンドステーションで交互にイオン注入を
行う交互注入モードと前記第１および第２のエンドステ
ーションでそれぞれ単独にイオン注入を行う単独注入モ
ードとのいずれかの注入モードを選択するモード選択ス
イッチと、前記交互注入モード時に前記第１および第２
のビーム電流積算器の出力を交互に選択し、前記単独注
入モード時に前記第１および第２のビーム電流積算器の
出力のいずれか一方のみを選択する切替スイッチと、 前記交互注入モード時に前記第１および第２のエンドス
テーションのいずれか一方でのイオン注入中に前記第１
および第２のエンドステーションのいずれか他方でのウ
ェハの搬出搬入を行い搬入搬出完了後に搬入完了信号を
出力し、前記単独注入モード時に前記第１および第２の
エンドステージョンのいずれか一方での注入完了後にそ
のエンドステーションでのウェハの搬出搬入を行い搬出
搬入完了後に搬入完了信号を出力するウェハ搬送制御装
置と、 前記交互注入モード時に前記第１および第２のエンドス
テーションへ交互にイオンビームを照射させるように走
査電極に電圧印加し、前記単独注入モード時に前記第１
および第２のエンドステーションのいずれか一方にイオ
ンビームを照射させるように前記走査電極へ電圧印加す
る走査電源と、前記モード選択スイッチの状態と注入完
了信号および搬入完了信号とに基づき、前記交互注入モ
ード時に前記第１および第２のエンドステーシコン内で
交互にイオン注入を行うとともに前記第１および第２の
エンドステーションのいずれか一方での注入中に前記第
１および第２のエンドステーションのいずれか他方での
ウェハの搬出搬入を行うように前記切替スイッチ、前記
ウェハ搬送制御装置および前記走査電源をシーケンス制
御し、前記単独注入モード時に前記第１および第２のエ
ンドステージ７ツンのいずれか一方でのイオン注入とウ
ェハの搬出搬入とを交互に行うように前記切替スイッチ
、前記ウェハ搬送制御装置および前記走査電源をシーケ
ンス制御するシーケンス制御部とを備えている。

〔作用〕

この発明の構成によれば、第１および第２のエンドステ
ーションに対し、第１および第２のビーム電流変換器と
第１および第２のビーム電流積算器とをそれぞれ独立に
設けているため、第１および第２のエンドステーション
で各々異なりた注入条件でイオン注入を行うことができ
る。

また、モード選択スイッチによってシーケンス部のシー
ケンス制御動作を選択する構成であるため、第１および
第２のエンドステーションのいずれか一方が故障して運
転不能となったときに、正常な方の単独運転に切替える
ことができる。しかも、ビーム電流変換器とビーム電流
積算器が２系統あるため、故障した方のエンドステーシ
ョンに対応するビーム電流積算器はリセツトする必要が
ないため、注入量のデータを保存することができ、した
がって故障した方のエンドステーションで故障復旧後注
入動作を再開して注入を完了させることができ、ウェハ
が無駄になることはない。

〔実施例〕

この発明の一実施例を第１図および第２図に基づいて説
明する。このイオン注入装置は、第１および第２のエン
ドステーション１．２と、第１および第２のビーム電流
変換器１１．１２と、第１および第２のビーム電流積算
器１５．１６と、モード選択スイッチ１４と、切替スイ
ッチ１７と、ウェハ搬送制御装置４と、走査電源５と、
シーケンス部１０とを主要構成要素としている。

第１＃よび第２のエンドステーションｌ、２は、共通の
ビームラインＡ、から分岐した第１および第２の分岐ビ
ームラインＡ２．Ａ３にそれぞれ対向するように設置さ
れている。

第１および第２のビーム電流変換器１１．ｉ２は、前記
第１および第２のエンドステーション１゜２内にそれぞ
れ照射されるイオンビームのビーム電流を検出する。

第１および第２のビーム電流積算器１５．１６は、前記
第１および第２のビーム電流変換器１１゜１２の出力を
それぞれ積算し各々その積算値が注入条件に合わせて設
定された第１および第２の設定値にそれぞれ達したとき
に注入完了信号をそれぞれ出力する。

モード選択スイッチ１４は、前記第１および第２のエン
ドステーションＬ、　　２で交互にイオン注入を行う交
互注入モードと前記第１および第２のエンドステーショ
ン１，２でそれぞれ単独にイオン注入を行う単独注入モ
ードとのいずれかの注入モードを選択する。

切替スイッチ１４は、前記交互注入モード時に前記第１
および第２のビーム電流積算器１５．１６の出力を交互
に選択し、前記単独注入モード時に前記第１および第２
のビーム電流積算器１５．１８の出力のいずれか一方を
選択する。

ウェハ搬送制御装置４は、ＣＰＵを含んで構成され、前
記交互注入モード時に前記第１および第２のエンドステ
ーション１．２のいずれか一方でのイオン注入中に前記
第１および第２のエンドステーション１，２のいずれか
他方でのウェハの搬出搬入を行い搬入搬出完了後に搬入
完了信号を出力し、前記単独注入モード時に前記第１お
よび第２のエンドステーションｌ、　　２のいずれか一
方での注入完了後にそのエンドステーション１．２での
ウェハの搬出搬入を行い搬出搬入完了後に搬入完了信号
を出力する。

走査電源５は、前記交互注入モード時に前記第１および
第２のエンドステーション１．　２へ交互にイオンビー
ムを照射させるように走査電極７に電圧印加し、前記単
独注入モード時に前記第１および第２のエンドステーシ
ョン１．２のいずれか一方にイオンビームを照射させる
ように前記走査電極７へ電圧印加する。

シーケンス部１０は、前記モード選択スイッチ１４の状
態と注入完了信号および搬入完了信号とに基づき、前記
交互注入モード時に前記第１および第２のエンドステー
ション１．２内で交互にイオン注入を行うとともに前記
第１および第２のエンドステーション１．２のいずれか
一方での注入中に前記第１および第２のエンドステーシ
ョン１゜２のいずれか他方でのウェハの搬出搬入を行う
ように前記切替スイッチ１７．前記ウェハ搬送制御袋Ｗ
ｔ４および前記走査型＃５をシーケンス制御し。

前記単独注入モード時に前記第１および第２のエンドス
テーション１，２のいずれか一方でのイオン注入とウェ
ハの搬出搬入とを交互に行うように前記切替スイッチ１
７．前記ウェハ搬送制御装置４および前記走査電源５を
シーケンス制御する。

このイオン注入装置は、イオンビームを第１および第２
のエンドステーション１，２に交互にスキャン照射を行
ったり、あるいはエンドステージ５ン１．２のいずれか
一方についてのみスキャン照射を行うことができるよう
になっている。この動作モード（交互注入モード、単独
注入モード）の選択は手動のモード選択スイッチ１４を
切替えることにより任！に選択できる。

交互注入モードのときは、エンドステーション１．２の
一方でのウェハへのスキャン照射によるイオン注入中に
おいて、エンドステーションｌ。

２の他方でのウェハの交換（搬出搬入）を行い、一方で
のウェハへのイオン注入が終了すると、今度は他方での
ウェハへのイオン注入を行い、このときに一方でウェハ
の交換を行い、以降このシーケンス動作を繰返すことに
なる。

また、単独注入モードのときは、例えばエンドステーシ
ョン１のウェハへのイオン注入を完了した後、そのエン
ドステーション１におけるウェハの搬出搬入を行い、こ
れが完了した後再度イオン注入を行うというシーケンス
動作を繰返すことになる。

なお、１８．１９は光／電気信号変換器であり、光／電
気信号変換器１８は、ビーム電流変換器１１゜１２から
送られる光信号を電気信号に変換してビーム電流積算器
１５．１６へ渡す、光／電気信号変換器１９はビーム電
流積算器１５．１６の出力（？！ｉ気信号）を切替スイ
ッチ１７を介して光信号に変換してシーケンス部１０へ
送る。２０は切替制御回路であり、モード選択スイッチ
！４の状態を検出して、シーケンス部ｌＯへ送るととも
にシーケンス部１０からの信号に基づいて、切替スイッ
チ１７の状態を制御する。１３は、ビーム電流積算器１
５．１６．モード選択スイッチ１４．切替スイッチ１フ
、切替制御回路２０．光／電気信号変換器１８．１９を
含んで構成される電流積算・切替部である。

以下、より詳しく説明する。

モード選択スイッチ１４をｂの位置に切替えて交互注入
モードにしている場合、このイオン注入装置においては
、シーケンス部ｌＯはＣＰＵを含んで構成されるウェハ
搬送ｗＩ御装置４ヘエンドステーシッン１に対する搬送
指令を与える。この結果、ウェハ搬送制御装置４が例え
ばエンドステーション１へ搬送制御信号を送り、エンド
ステーション１ではウェハの搬出搬入が行われる。

エンドステーシロン１におけるウェハの搬出搬入が完了
すると、ウェハ搬送制御装置４が搬入完了信号をシーケ
ンス部１０へ送ることになる。

搬入完了信号を受は取ると、シーケンスｉ？ｆＳ１０は
、走査電＃５に対し出力切替指令を与えるとともに切替
スイッチ１７に切替指令を与える。この結果、走査電源
５は、エンドステーション１の方へイオンビームをスキ
ャン照射させるための電圧を走査電極７に印加し、これ
によってイオンビームがエンドステーションｌ側でスキ
ャン走査され、ウェハにイオン注入が行われることにな
る。一方、切替スイッチ１７の方はａ側に切替わり、ビ
ーム電流積算器１１がシーケンス部１０に接続されるこ
とになる。この状態では、イオン注入中のエンドステー
ション１のウェハへ照射されるイオンビームのビーム電
流をビーム電流変換器１１が検出し、それをビーム電流
積算器１５へ送る。

ビーム電流積算器１５は、注入条件（ウェハサイズ、ド
ーズ量等）に対応した値が予め設定されてあり、ビーム
電流積算値が上記の設定値に達したときにエンドステー
ション１内のウェハへのイオン注入が完了したものとし
て、注入完了信号をシーケンス部１０へ送り、ビーム電
流積算器１５をリセットする。

なお、ウェハ搬送制御装置４は、エンドステーション１
のウェハへのイオン注入が始まると、もう一方のエンド
ステーション２に対して搬送制御信号を与え、これによ
ってエンドステーション２でウェハの搬出搬入が行われ
る。ウェハの搬出１般入が完了すると、ウェハ搬送制御
装置４はシーケンス部１０へ搬入完了信号を送ることに
なる。この搬出搬入動作は隣りのエンドステーション１
でのイオン注入期間内に完了する。

また、イオン注入を行っていないエンドステーション２
に接続されたビーム電流変換器１２およびビーム電流積
算器１６は各々ビーム電流を検出し、積算する動作を行
うが、イオン注入を行っていないため、各々出力はゼロ
であり、また切替スイッチ１７によって全く無視される
。

前記した注入完了信号がシーケンス部１０に入力される
と、シーケンス部１０は、エンドステーション１へのウ
ェハの搬出搬入を完了したことを示す搬入完了信号が入
力されていることをｌｉ！認した上で走査電＃５に対し
出力切替指令を与えるとともに切替スイッチ１７に対し
切替指令を与える。

この結果、走査電Ｒ５は、エンドステーション２の方へ
イオンビームをスキャン照射させるための電圧を走査電
極７に印加し、これによってイオンビームがエンドステ
ーション２側でスキャン走査され、ウェハにイオン注入
が行われることになる。

一方、切替スイッチ１７の方は、ｂ側に切替わり、ビー
ム電流積算器１２がシーケンス部１０に接続されること
になる。この状態では、イオン注入中のエンドステーシ
ョン２内のウェハへ照射されるイオンビームのビーム電
流をビーム電流変換器１２が検出し、それをビーム電流
積算器１６へ送る。

ビーム電流積算器１６は、注入条件（ウェハサイズ、ド
ーズ量等）に対応した値が予め設定されてあり、ビーム
電流積算値が上記の設定値に達したときに、エンドステ
ーション２内のウェハへのイオン注入が完了したものと
して、注入完了信号をシーケンス部１０へ送り、ビーム
電流積算器１６をリセットする。

なお、ウェハ搬送制御装置４は、エンドステーション１
のウェハへのイオン注入が始まると、もう一方のエンド
ステージ５ン１に対して搬送制御信号を与え、これによ
ってエンドステーション１でウェハの搬出搬入が行われ
る。ウェハの搬出搬入が完了すると、ウェハ搬送制御装
置４はシーケンス部１０へ搬入完了信号を送ることにな
る。この搬出搬入動作は隣りのエンドステーション２で
のイオン注入期間内に完了する。

また、イオン注入を行っていないエンドステーシロンｌ
に接続されたビーム電流変換器１１．ビーム電流積算器
１５については前記と同様に無視される。

前記した注入完了信号がシーケンス部１０に入力される
と、前記と同様の動作を繰返すことになり、エンドステ
ーション１，２内のウェハが順次交互にイオン注入され
、また順次交互に搬出搬入されることになる。

つぎに、モード選択スイッチ１４をａ側に切替えて例え
ばエンドステーション１による単独注入モードにしてい
る場合、シーケンス部１０は、ウェハ搬送装置４に対し
てエンドステーションｌへの搬送指令を与える。この結
果、ウェハ搬送制御装置４は、エンドステーション１へ
搬送制御信号を送り、エンドステーション１ではウェハ
の搬出願人が行われる。

エンドステーション１におけるウェハのｔｌｌｌ搬出が
完了すると、ウェハ搬送制御装置４が搬入完了信号をシ
ーケンス部１０へ送ることになる。

搬入完了信号を受は取ると、シーケンス部１０は走査電
源５に対し出力切替指令を与えるとともに、切替スイッ
チ１７に切替指令を与える。この結果、走査電源５はエ
ンドステーション１の方へイオンビームをスキャン照射
させるための電圧を走査電極５に印加し、これによって
イオンビームがエンドステーション１側でスキャン走査
され、ウェハにイオン注入が行われることになる。一方
、切替スイッチ１７の方は、ａ側に切替わり、ビーム電
流積算器１１がシーケンス部１０に接続されることにな
る。この状態では、イオン注入中のエンドステーション
１内のウェハへ照射されるイオンビームのビーム電流を
ビーム電流変換器１１が検出し、それをビーム電流積算
器１５へ送る。

ビーム電流積算器１５は、ビーム電流積算値が設定値に
達したときに、エンドステーションｌ内のウェハへのイ
オン注入が完了したものとして、注入完了信号をシーケ
ンス部ｌＯへ送り、ビーム電流積算器１５をリセットす
る。

注入完了信号をシーケンス部１０が受は取ると、シーケ
ンス部１０は、ウェハ搬送制御装置４ヘエンドステーシ
ツン１への搬送指令を与える。以降、上記の動作を繰返
す。

エンドステーション２の単独注入モードのときも同様で
ある。

この実施例のイオン注入装置は、第１および第２のエン
ドステーション１．２に対し、第１および第２のビーム
電流変換器１１．１２と第１および第２のビーム電流積
算器１５．１６とをそれぞれ独立に設けているため、第
１および第２のエンドステーション１，２で各々異なっ
た注入条件でイオン注入を行うことができる。

また、モード選択スイッチ１４によってシーケンス部１
０のシーケンス制御動作を選択する構成であるため、第
１および第２のエンドステーション１．２のいずれか一
方が故障して運転不能となったときに、正常な方の単独
運転に切替えることができる。しかも、ビーム電流変換
器１１．１２とビーム電流積算器１５．１６が２系統あ
るため、故障した方のエンドステーション１．２に対応
するビーム電流積算器１り、１６はリセットする必要が
ないため、注入量のデータを保存することができ、した
がって故障した方のエンドステーション１．２で故障復
旧後注入動作を再開して注入を完了させることができ、
ウェハが無駄なることはない。

〔発明の効果〕

この発明のイオン注入装置によれば、第１および第２の
エンドステーションに対し、第１および第２のビーム電
流変換器と第１および第２のビーム電流積算器とをそれ
ぞれ独立に設けているため、第１および第２のエンドス
テーションで各々異なった注入条件でイオン注入を行う
ことができる。

また、モード選択スイッチによってシーケンス部のシー
ケンス制御動作を選択する構成であるため、第１および
第２のエンドステーションのいずれか一方が故障して運
転不能となったときに、正常な方の単独運転に切替える
ことができる。しかも、ビーム電流変換器とビーム電流
積算器が２系統あるため、故障した方のエンドステーシ
ョンに対応するビーム電流積算器はリセットする必要が
ないため、注入量のデータを保存することができ、した
がって故障した方のエンドステーションで故障復旧後注
入動作を再開して注入を完了させることができ、ウェハ
が無駄になることはない。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例の構成を示すブロック図、
第２図は第１図の要部の具体的なブロック図、第３図は
従来のイオン注入装置の構成の一例を示すブロック図で
ある。 １．２・・・エンドステーション、４・・・ウェハ搬送
制御装置、５・・・走査電源、７・・・走査電極、１０
・・・シーケンス部、１１．１２・・・ビーム電流変換
車、１４・・・モード選択スイッチ、１５．１６・・・
ビーム電流積算器、１７・・・切替スイッチ。 第１図 第２図 第３図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 共通のビームラインから分岐した第１および第２の分岐
   ビームラインにそれぞれ対向するように設置された第１
   および第２のエンドステーションと、 前記第１および第２のエンドステーション内にそれぞれ
   照射されるイオンビームのビーム電流を検出する第１お
   よび第２のビーム電流変換器と、前記第１および第２の
   ビーム電流変換器の出力をそれぞれ積算し各々その積算
   値が注入条件に合わせて設定された第１および第２の設
   定値にそれぞれ達したときに注入完了信号をそれぞれ出
   力する第１および第２のビーム電流積算器と、 前記第１および第２のエンドステーションで交互にイオ
   ン注入を行う交互注入モードと前記第１および第２のエ
   ンドステーションでそれぞれ単独にイオン注入を行う単
   独注入モードとのいずれかの注入モードを選択するモー
   ド選択スイッチと、前記交互注入モード時に前記第１お
   よび第２のビーム電流積算器の出力を交互に選択し、前
   記単独注入モード時に前記第１および第２のビーム電流
   積算器の出力のいずれか一方のみを選択する切替スイッ
   チと、 前記交互注入モード時に前記第１および第２のエンドス
   テーションのいずれか一方でのイオン注入中に前記第１
   および第２のエンドステーションのいずれか他方でのウ
   ェハの搬出搬入を行い搬入搬出完了後に搬入完了信号を
   出力し、前記単独注入モード時に前記第１および第２の
   エンドステーションのいずれか一方での注入完了後にそ
   のエンドステーションでのウェハの搬出搬入を行い搬出
   搬入完了後に搬入完了信号を出力するウェハ搬送制御装
   置と、 前記交互注入モード時に前記第１および第２のエンドス
   テーションへ交互にイオンビームを照射させるように走
   査電極に電圧印加し、前記単独注入モード時に前記第１
   および第２のエンドステーションのいずれか一方にイオ
   ンビームを照射させるように前記走査電極へ電圧印加す
   る走査電源と、前記モード選択スイッチの状態と注入完
   了信号および搬入完了信号とに基づき、前記交互注入モ
   ード時に前記第１および第２のエンドステーション内で
   交互にイオン注入を行うとともに前記第１および第２の
   エンドステーションのいずれか一方での注入中に前記第
   １および第２のエンドステーションのいずれか他方での
   ウェハの搬出搬入を行うように前記切替スイッチ、前記
   ウェハ搬送制御装置および前記走査電源をシーケンス制
   御し、前記単独注入モード時に前記第１および第２のエ
   ンドステーションのいずれか一方でのイオン注入とウェ
   ハの搬出搬入とを交互に行うように前記切替スイッチ、
   前記ウェハ搬送制御装置および前記走査電源をシーケン
   ス制御するシーケンス部とを備えたイオン注入装置。