JPS6348880A - Ｃｏ↓２レ−ザ発振装置 - Google Patents
Ｃｏ↓２レ−ザ発振装置Info
- Publication number
- JPS6348880A JPS6348880A JP19327086A JP19327086A JPS6348880A JP S6348880 A JPS6348880 A JP S6348880A JP 19327086 A JP19327086 A JP 19327086A JP 19327086 A JP19327086 A JP 19327086A JP S6348880 A JPS6348880 A JP S6348880A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- cathode
- laser oscillator
- mirror
- discharge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は切断、溶接、熱処理等の工業用や、医療用とし
て利用されるレーザを出力するＣＯ２レーザ発振装置に
関するものである。
て利用されるレーザを出力するＣＯ２レーザ発振装置に
関するものである。
従来の技術
従来のこの種のＣＯ２レーザ発振装置について、第２図
を参照して説明する。
を参照して説明する。
この第２図において、１は陰極、２は陽□□□、３は全
反射ミラー、３′は部分透過ミラーであり、これらによ
りレーザ発振器を構成している。４はＨｅガスボンベ、
６はＮ２ガスボンベ、６はＣＯ２ガスボンベであり、こ
れらのＨｅガスボンベ４゜Ｎ ガスボンベｓ 、 ＣＯ
２ガスボンベ６から供給されるＨｅガス、Ｎ２ガス、Ｃ
Ｏ２ガスはレーザガス媒体として全反射ミラー３および
部分透過ミラー３′の近傍の供給口からレーザ発振器内
に導入される。７はレーザ発振器とともにレーザガス媒
体の循環路を形成し、レーザ発振器内のレーザガス媒体
を循環させるブロアである。８はレーザガス媒体の循環
路に接続された真空ポンプであり、循環路内を一定圧力
に保つ。循環路内のレーザガス媒体は図示矢印方向に流
れ、レーザ発振器内では陰極１から陽極２へと軸流方向
に流れる。
反射ミラー、３′は部分透過ミラーであり、これらによ
りレーザ発振器を構成している。４はＨｅガスボンベ、
６はＮ２ガスボンベ、６はＣＯ２ガスボンベであり、こ
れらのＨｅガスボンベ４゜Ｎ ガスボンベｓ 、 ＣＯ
２ガスボンベ６から供給されるＨｅガス、Ｎ２ガス、Ｃ
Ｏ２ガスはレーザガス媒体として全反射ミラー３および
部分透過ミラー３′の近傍の供給口からレーザ発振器内
に導入される。７はレーザ発振器とともにレーザガス媒
体の循環路を形成し、レーザ発振器内のレーザガス媒体
を循環させるブロアである。８はレーザガス媒体の循環
路に接続された真空ポンプであり、循環路内を一定圧力
に保つ。循環路内のレーザガス媒体は図示矢印方向に流
れ、レーザ発振器内では陰極１から陽極２へと軸流方向
に流れる。
上記構成において、陰極１と陽極２との間に直流電圧を
印加すると、レーザ発振器内で放電が生じ、部分透過ミ
ラー３′を透過するレーザ出力が得られる。
印加すると、レーザ発振器内で放電が生じ、部分透過ミ
ラー３′を透過するレーザ出力が得られる。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら、上記構成においては、レーザ発振器内の
陰極１と陽極２との間で放電するだけでなく、陰極１と
全反射ミラー３の間や、陽極２と部分透過ミラー３′と
の間でも放電が時折発生していた。この際、全反射ミラ
ー３や部分透過ミラー３′が電極として作用してしまう
ため、全反射ミラー３０表面や部分透過ミラー３′の表
面の損傷が激しく、反射率が低下し、レーザ出力が低下
してしまうという欠点があった。
陰極１と陽極２との間で放電するだけでなく、陰極１と
全反射ミラー３の間や、陽極２と部分透過ミラー３′と
の間でも放電が時折発生していた。この際、全反射ミラ
ー３や部分透過ミラー３′が電極として作用してしまう
ため、全反射ミラー３０表面や部分透過ミラー３′の表
面の損傷が激しく、反射率が低下し、レーザ出力が低下
してしまうという欠点があった。
問題点を解決するだめの手段
上記問題点を解決するため、本発明のＣＯ□レーザ発振
装置は、レーザ発振器の陰極近傍にＨｅガスを導入する
第１供給口を設け、レーザ発振器の部分透過ミラー、折
返しミラー、全反射ミラー等のミラー部の近傍にＮ２
ガスおよびＣＯ２ガスを導入する第２供給口を設けて
なるものである。
装置は、レーザ発振器の陰極近傍にＨｅガスを導入する
第１供給口を設け、レーザ発振器の部分透過ミラー、折
返しミラー、全反射ミラー等のミラー部の近傍にＮ２
ガスおよびＣＯ２ガスを導入する第２供給口を設けて
なるものである。
作用
上記構成において、レーザ発振器内の陰極と陽極の間取
外の部分での放電を防止することによりミラー表面の品
質維持を行ない、レーザ出力の低下を防止するとともに
、第１供給口からレーザ発振器内に導入されるＨｅ ガ
スによって陰極の冷却を行ない、放電の安定性を良くし
、安定したレーザ出力を得る。
外の部分での放電を防止することによりミラー表面の品
質維持を行ない、レーザ出力の低下を防止するとともに
、第１供給口からレーザ発振器内に導入されるＨｅ ガ
スによって陰極の冷却を行ない、放電の安定性を良くし
、安定したレーザ出力を得る。
実施例
以下、本発明の実施例について第１図乃至第３図を参照
して説明する。
して説明する。
第１図は本実施例のブロック図であり、この第１図にお
いて、第２図に示した構成と同一の構成部分について同
一番号を付し、説明を省略する。
いて、第２図に示した構成と同一の構成部分について同
一番号を付し、説明を省略する。
第１図において、９はレーザ発振器の陰極１近傍に設け
られた第１供給口であり、Ｈｅガスボンベ４から供給さ
れるＨｅガスがこの第１供給口９からレーザ発振器内に
導入される。１０はレーザ発振器の全反射ミラー３近傍
および部分透過ミラー３′近傍に設けられた第２供給口
であり、Ｎ２ガスボンベ６から供給されるＮ２ガスおよ
びＣＯ２ガスボ／ベロから供給されるＣＯ□ガスがこの
第２供給口１ｏからレーザ発振器内に導入される。
られた第１供給口であり、Ｈｅガスボンベ４から供給さ
れるＨｅガスがこの第１供給口９からレーザ発振器内に
導入される。１０はレーザ発振器の全反射ミラー３近傍
および部分透過ミラー３′近傍に設けられた第２供給口
であり、Ｎ２ガスボンベ６から供給されるＮ２ガスおよ
びＣＯ２ガスボ／ベロから供給されるＣＯ□ガスがこの
第２供給口１ｏからレーザ発振器内に導入される。
上記構成において、陰極１と陽極２との間に直流電圧を
印加すると、レーザ発振器内の陰極１と陽極２の間でグ
ロー放電が発生する。
印加すると、レーザ発振器内の陰極１と陽極２の間でグ
ロー放電が発生する。
ＨｅガスはＨｅ ガス、Ｎ２ガス、ＣＯ２ガス中、レー
ザ媒体の冷却作用を有しているが、Ｈｅガスを陰極１の
近傍の第１供給口９からレーザ発振器内に導入すること
により、陰極１の冷却効果を増す。また、Ｈｅ ガスは
Ｎ２ ガスやＣ０２ガスに比較して放電しやすいガス
であり、陰極１と陽極２との間のグロー放電の維持を容
易にしている。さらに、第２供給口１０からレーザ発振
器内に導入されるＮ２ガスおよびＣＯ２ガスよりなるレ
ーザガス媒体はＨｅガスの比率が小さくなっているため
、放電開始電圧が非常に高くなり、陰極１と全反射ミラ
ー３との間や、陽極２と部分透過ミラー部との間での放
電を防止することができる。
ザ媒体の冷却作用を有しているが、Ｈｅガスを陰極１の
近傍の第１供給口９からレーザ発振器内に導入すること
により、陰極１の冷却効果を増す。また、Ｈｅ ガスは
Ｎ２ ガスやＣ０２ガスに比較して放電しやすいガス
であり、陰極１と陽極２との間のグロー放電の維持を容
易にしている。さらに、第２供給口１０からレーザ発振
器内に導入されるＮ２ガスおよびＣＯ２ガスよりなるレ
ーザガス媒体はＨｅガスの比率が小さくなっているため
、放電開始電圧が非常に高くなり、陰極１と全反射ミラ
ー３との間や、陽極２と部分透過ミラー部との間での放
電を防止することができる。
なお、本実施例においては、レーザガス媒体のガス比率
がＨｅ：Ｎ２：ＣＯ２＝ｓ○：１５：５とし、陰極１と
陽極２間の放電長を４０口、陰極１と全反射ミラー３の
間および陽極２と部分透過ミラー３′の間の無放電長を
２５０とすると、放電開始電圧は約２３ ｋＶであり、
従来例においては時折、 −無放電部での放電を誘発
していたが、本実施例ではミラー３，３′近傍における
Ｎ２ガス、ＣＯ２ガスの比率を９０％以上とすることに
より、無放電部での放電を完全に防止することができる
。
がＨｅ：Ｎ２：ＣＯ２＝ｓ○：１５：５とし、陰極１と
陽極２間の放電長を４０口、陰極１と全反射ミラー３の
間および陽極２と部分透過ミラー３′の間の無放電長を
２５０とすると、放電開始電圧は約２３ ｋＶであり、
従来例においては時折、 −無放電部での放電を誘発
していたが、本実施例ではミラー３，３′近傍における
Ｎ２ガス、ＣＯ２ガスの比率を９０％以上とすることに
より、無放電部での放電を完全に防止することができる
。
なお、上記実施例においては全反射ミラー３゜部分透過
ミラー３′をミラー部として備えている場合について説
明したが、レーザ発振器の構成によっては、ミラー部と
して終段反射ミラー、折返しミラー等であっても良い。
ミラー３′をミラー部として備えている場合について説
明したが、レーザ発振器の構成によっては、ミラー部と
して終段反射ミラー、折返しミラー等であっても良い。
発明の効果
以上のように本発明によれば、レーザガス媒体中、Ｈｅ
ガスを陰極近傍の第１供給口からレーザ発振器内に導
入し、Ｎ２ガスおよびＣＯ□ガスをミラー部近傍の第２
供給口からレーザ発振器内に導入する構成としたことに
より、無放電部での放電の発生を防止し、ミラー表面の
損傷を防止するとともに、陰極をＨｅガスにて冷却する
ことにより陰極の寿命を長くし、長時間安定したレーザ
出力を得ることができる。
ガスを陰極近傍の第１供給口からレーザ発振器内に導
入し、Ｎ２ガスおよびＣＯ□ガスをミラー部近傍の第２
供給口からレーザ発振器内に導入する構成としたことに
より、無放電部での放電の発生を防止し、ミラー表面の
損傷を防止するとともに、陰極をＨｅガスにて冷却する
ことにより陰極の寿命を長くし、長時間安定したレーザ
出力を得ることができる。
第１図は本発明の一実施例を示すＣＯ２レーザ発振装置
のブロック回路図、第２図は従来のＣＯ□レーザ発振装
置のブロック回路図である。 １・・・・・・陰極、２・・・・・・降接、３・・・・
・・全反射ミラー、３′・・・・・・部分透過ミラー、
４・・・・・・Ｈａガスポ／べ、６・・・・・・Ｎ ガ
スボンベ、６・・・・・・Ｃ０２ガスボ／べ、９・・・
・・・第１供給口、１ｏ・・・・・・第２供給口。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 第２図
のブロック回路図、第２図は従来のＣＯ□レーザ発振装
置のブロック回路図である。 １・・・・・・陰極、２・・・・・・降接、３・・・・
・・全反射ミラー、３′・・・・・・部分透過ミラー、
４・・・・・・Ｈａガスポ／べ、６・・・・・・Ｎ ガ
スボンベ、６・・・・・・Ｃ０２ガスボ／べ、９・・・
・・・第１供給口、１ｏ・・・・・・第２供給口。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 第２図
Claims (1)
- レーザ発振器の陰極近傍に、レーザガス媒体となるＨｅ
ガスを導入する第１供給口を設け、レーザ発振器の共振
器を構成している部分透過ミラー、折返しミラー、全反
射ミラー等のミラー部の近傍にＮ＿２ガスおよびＣＯ＿
２ガスを導入する第２供給口を設けてなるＣＯ＿２レー
ザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19327086A JPS6348880A (ja) | 1986-08-19 | 1986-08-19 | Ｃｏ↓２レ−ザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19327086A JPS6348880A (ja) | 1986-08-19 | 1986-08-19 | Ｃｏ↓２レ−ザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6348880A true JPS6348880A (ja) | 1988-03-01 |
Family
ID=16305144
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19327086A Pending JPS6348880A (ja) | 1986-08-19 | 1986-08-19 | Ｃｏ↓２レ−ザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6348880A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1988009579A1 (en) * | 1987-05-18 | 1988-12-01 | Fanuc Ltd | Laser oscillator and method of sealing laser gas into said laser oscillator |
-
1986
- 1986-08-19 JP JP19327086A patent/JPS6348880A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1988009579A1 (en) * | 1987-05-18 | 1988-12-01 | Fanuc Ltd | Laser oscillator and method of sealing laser gas into said laser oscillator |
| US4984245A (en) * | 1987-05-18 | 1991-01-08 | Fanuc, Ltd. | Laser oscillator device and method of filling laser gas in such laser oscillator device |
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