JPS6338588A - アルカリ性剥離液 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、ＩＣ基板の製造工程におかて、ハンダメツキ
後に不要となった感光樹脂を除去する際に使用するアル
カリ性剥離液に関するものである。

（従来の技術） ＩＣ基板の製造においては、感光樹脂皮膜を感光、現像
し友後、ハンダメツキを行い１次に、不要となった感光
樹脂を除去するのであるが、この感光樹脂の除去工程に
おいて、有機溶剤を用いて除去する方法と、アルカリ液
を用いて除去する方法がある。有機溶剤としては、トリ
クロルエタン。

メチレンクロライド等が使用されるが、この方法におい
ては、有機溶剤が多量に揮散し、地下水の汚染や作業者
の健康に障害を与えるという欠点を有し、近年、徐々に
アルカリ剥離の方に移行している。

（＠明が解決しようとする問題点） 前記のアルカリ液を用いる方法においても種々の欠点が
める。その最大の障害叫、線間ショートであって、これ
は、ハンダ回路間の銅が溶解されずに残シ１回路間が接
続してしまう現象である。

しｆｃがって、この線間のショートを防止できる方法の
出現が望まれている。

（問題点７に解決するための手段） 本発明者は、上記のアルカリ液を用いる方法の欠点であ
る線間ショートの原因について検討した結果、感光樹脂
とメツキされたハンダとの間に取シ残されたｔｊ！！、
量のハンダメツキ液中の第一錫イオンがアルカリ液と接
触することにより還元電位が高まり、同じくハンダメツ
キ液中に含まれる鉛イオンを銅板上に還元析出させて鉛
の皮、Ｊｋ生広させ、この鉛の皮膜が銅エツチング液の
作用を妨害し、銅の溶解が不充分となるために、線間シ
ョートが発生することを見出し７ｔ、　Ｌ７２ｍがって
、この線間ショートラ防止するには、第一錫イオンを取
シ除けばよいのであるから、この第一錫イオンを取シ除
く方法九ついて株々研究し几結果、酸化剤を用いるのが
最も効果的であることを見出し１本発明を完成するに至
つ几。

本発明において用いる酸化剤は、アルカリ液中で安定で
あシ、かつ第一錫イオンｋｍ（ヒできる酸化剤であれば
、いずれでもよく目的を達成できるが、あまシ酸化力が
強いものを用いると、ハジダまで強く酸比してしまうの
で、添加量に注意しなくてはならない。このことは、比
較的弱い酸化剤でも、多少はハンダの酸化溶解を促進さ
せる傾向があるということであるが、これは、ハンダの
酸化抑制剤を併用することによＱ容易に解決される。

本発明において使用できる酸化剤としては、二酸化塩素
、塩素酸塩、沃素酸塩等のハロゲン化合物、二）”安息
ｅｌニトロフェノール、ニトロベンゼンスルホ／酸ンー
ダ等の芳香族ニトロ化合物、過マンガン酸塩１重クロム
酸塩、過硼酸塩。

二酸化セレン、五Ｕ（ヒバナジウム、モリブデン酸ナト
リウム、タングステン酸ナトリウム等である。

アルカリ液に添加する酸化剤の量は、ハンダメッキ液１
部に対しアルカリ液１部の割合で混合する場合には、酸
化剤の種類にもよるが、普通数チの添加が必要である。

しかし、実際にはハンダメツキ液の量が極めて少量であ
るため、酸化剤の添加量は、アルカリ液に対し０．１％
程度で充分であ夛、アルカリ液の噴射量によっては０．
０１％でも目的を達成できるので、＃Ｒ比剤の添加量は
、アルカリ液の噴射量を加味して適宜調整することが望
ましめ。不必要に高濃度の使用は、ハンダの溶解を促進
して不利であ、る。

（試験例） 試験方法として、実際の基板についての試験は。

感光樹脂皮膜とハンダとの間に取シ残されるハンダメツ
キ液のｉを一定にすることが他めて困難な友め１次の方
法によって試験を行つ次。

試験１ （１）図面に示すようなハンダメツキされｔ面（ａ）と
下地の銅面（ｂ）　’Ｉ−有する基板全面に、脱脂綿を
用い。

下記組成のハンダメツキ液′ｆ：塗布する。

ハンダメツキ液組 ４５チ硼弗比錫液　　　　５１．３ぴ／１５０優硼弗化
鉛液　　　　２１．４ｃｃ／１４２チ硼弗酸　　　　　
７２２　ｃｃ／を硼　　酸　　　　　　　　　　　　　
　２５　　　ｔ／ｌプラＡニア−）Ｋ’　　　　　　１
５　　（Ｘ：／ｌ水　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　残Ｘメツキ光沢剤〔生餅イヒ字（株）製〕（１１
）アルカリ液 Ａ　苛性カリ　　　　　　５％ 水　　　　　　　　　　　　残 Ｂ　苛性カリ　　　　　　３チ 二酸化塩素　　　　０．１％ 水　　　　　　　　　　　　残 Ｃ苛性カリ　　　　　　　　　　３チ 塩素酸カリ　　　　　　　　０．１％ 水　　　　　　　　　　　　　　　　　　残Ｄ　苛性カ
リ　　　　　　　　　３％ 臭素酸ソーダ　　　　　　　０．１　％水　　　　　　
　　　　　　　　　　　　残Ｅ　苛性カリ　　　　　　
　　　　３チ沃素酸カリ　　　　　　　　　０．１チ水
　　　　　　　　　　　　　　　　　　残Ｆ　苛性カリ
　　　　　　　　　　３％ニトロ安息香酸　　　　　　
０．１％ 水　　　　　　　　　　　　　　　　　　　残Ｇ　苛性
カリ　　　　　　　　　　３％ニトロフェノール　　　
　　　　０．１％水　　　　　　　　　　　　　　　　
　　残Ｈ苛性カリ　　　　　　　　　　３％ ニトロベンゼンスルホン酸ソーダ　　　０．１　％水　
　　　　　　　　　　　　　　　　　残■　苛性カリ　
　　　　　　　　３％ 過マンガン酸カリ　　　　　　０．１　％水　　　　　
　　　　　　　　　　　　残Ｊ　苛性カリ　　　　　　
　　　３チ 重クロム酸カリ　　　　　０．１− Ｋ　苛性カリ　　　　　　　　　３％ 過ａ酸ソーダ　　　　　　０．１　％ 水　　　　　　　　　　　　　　　　　残Ｌ　苛性カリ
　　　　　　　　　３僑 二酸化セレン　　　　　　０．１　％ 水　　　　　　　　　　　　　　　　　残Ｍ　苛性カリ
　　　　　　　　　３ｓ 五酸化バナジウム　　　　　　０．１チ水　　　　　　
　　　　　　　　　　　残Ｎ　苛性カリ　　　　　　　
　　３％ モリブデン酸ナトリウム　　　　０．１　％水　　　　
　　　　　　　　　　　　　残Ｏ苛性カリ　　　　　　
　　　３チ タンゲステン酸ナトリウム　　　０．１　％水　　　　
　　　　　　　　　　　　　残（ｉｉ＋）試験方法 （１）のハンダメツキＪｋ塗布し几基板のハンダメツキ
面に、ピペットを用い（１１）の液ｔ　ｓ　ｉＡたらし
。

この液が銅面に広がるようにする。

（１ｖ）試験結果 Ａは銅面上に美しい白銀色の鉛の皮膜が生成し友が、Ｂ
−・０は全く鉛皮膜の生成がなかった。

次に、ハンダに対する影響の一例として、臭素酸ソーダ
についての試験結果を示す。

試＠２ （１）試験液 Ａ　苛性カリ　　　　　　　３％ 水　　　　　　　　　　　　　　残 Ｂ　苛性カリ　　　　　　５％ 臭素はンーダ　　　　０．１　％ 水　　　　　　　　　　　　　　残 Ｃ苛性カリ　　　　　　　５チ 臭素酸ソーダ　　　　０．３チ 水　　　　　　　　　　　　　　残 Ｄ　苛性カリ　　　　　　３チ 臭素酸ソーダ　　　　０．５％ 水　　　　　　　　　　　　　　残 Ｅ　苛性カリ　　　　　　　３ｑｂ 臭素酸ソーダ　　　　１チ 水　　　　　　　　　　　　　残 Ｂ′　苛性カリ　　　　　　　３％ 臭素酸ソーダ　　　　０．１チ ＩＢ−９０”２％ 水　　　　　　　　　　　　　　残 Ｃ′　苛性カリ　　　　　　　３％ 臭素酸ソーダ　　　　０．３％ ＩＢ−９０２％ 水　　　　　　　　　　　　　　残 Ｄ′　苛性カリ　　　　　　　３俤 臭素酸ソーダ　　　　０．５％ ＩＢ−９０２％ 水　　　　　　　　　　　　　残 Ｅ′　苛性カリ　　　　　　　ＳｔＳ 臭素酸ソーダ　　　　１チ １Ｂ−９０２％ 水　　　　　　　　　　　　　　残 （１１）試験方法 １αＸ１０（ｍの鋼板両面に約２０μの厚さのハンダメ
ツキを行った板’ｉｉ、５０ｃｃネスラー管に上記試験
液を各々３５ｃｃずつを入れた中に浸漬、常温で２０時
間後の重量減を測定し友。

＜　＊＊＊　）試験結果 ｘ、４［ハンダ酸化抑制剤〔生餅化学（（社）裂〕（発
明の効果） 本発明によれば、前記試験結果から明らかなように、鉛
酸化抑制剤を併用することによシ、ハンダの溶解を防止
することができる。なお、鉛酸化防止剤を添加すること
Ｋよシ、鉛皮膜生成防止効果は、なんら影響を受けない
。

【図面の簡単な説明】

図面は試験例において使用する基板の斜面図である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 酸化剤を含有することを特徴とするアルカリ性剥離液。