JPS6338323U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6338323U JPS6338323U JP13126786U JP13126786U JPS6338323U JP S6338323 U JPS6338323 U JP S6338323U JP 13126786 U JP13126786 U JP 13126786U JP 13126786 U JP13126786 U JP 13126786U JP S6338323 U JPS6338323 U JP S6338323U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- frame
- stopper
- support arm
- opening
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Load-Engaging Elements For Cranes (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例の斜視図、第２図は
平面図、第３図は側断面図、第４図は動作説明図
、また第５図は他の実施例の斜視図である。 １０……試料台、１２……試料、１６……枠体
、１８……ストツパ、２０……支持腕、２２……
駆動装置。
平面図、第３図は側断面図、第４図は動作説明図
、また第５図は他の実施例の斜視図である。 １０……試料台、１２……試料、１６……枠体
、１８……ストツパ、２０……支持腕、２２……
駆動装置。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 角型試料を試料台により垂直な回転軸回りに高
速回転し、この試料表面にレジストを塗布するス
ピンコータにおいて、 前記試料が上下方向に通過可能な開口を有する
枠体と、この枠体より上方へ起立するストツパと
、このストツパを介して前記枠体を吊下する支持
腕と、この支持腕を上下動させる駆動装置とを備
え、前記枠体を下降して前記試料を開口から上方
に位置させ、さらに試料を回動することにより試
料を枠体に係止することを特徴とするスピンコー
タの角型試料取出し装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13126786U JPH0219957Y2 (ja) | 1986-08-29 | 1986-08-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13126786U JPH0219957Y2 (ja) | 1986-08-29 | 1986-08-29 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6338323U true JPS6338323U (ja) | 1988-03-11 |
| JPH0219957Y2 JPH0219957Y2 (ja) | 1990-05-31 |
Family
ID=31029560
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13126786U Expired JPH0219957Y2 (ja) | 1986-08-29 | 1986-08-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0219957Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002153801A (ja) * | 2000-11-17 | 2002-05-28 | Chugai Ro Co Ltd | テーブル式塗装設備 |
-
1986
- 1986-08-29 JP JP13126786U patent/JPH0219957Y2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002153801A (ja) * | 2000-11-17 | 2002-05-28 | Chugai Ro Co Ltd | テーブル式塗装設備 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0219957Y2 (ja) | 1990-05-31 |
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