JPS63316341A - 光磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、例えばレーザー光等、の照射による加熱によ
り、記録・再生・消去が可能な光磁気記録媒体に関する
。

〔従来の技術〕

従来の光磁気記録媒体において、記録媒体として例えば
、特開昭５７−９・４９４８のように重希土類金１１Ｔ
ｂ、Ｄｙ、Ｇｄのうち一種類以上およびＦｅ亥たはＣＯ
のうち一種ＩＷ以上で形成された非晶質合金が用いられ
てきた。

レーザー光のスポットで記録層を加熱しながら外部磁界
を加え、反転磁区を形成することにより記録を行ない、
記録時より低パワーの直線偏光した上記レーザー光のス
ポットを入射し、カー効果あるいは、フ７ラデイ効果を
利用して再生を行なう、いわゆる光磁気記録方式に用い
られる記録媒体においては、少なくとも次の性質を満た
すことが必要である。

１、　半導体レーザーで記録・再生・消去を行える程度
にキュリ一温度が低く、通常の使用環境での温度に比べ
てキ、り一潟度が充分高いこと。

２、　記録媒体が多結晶であると生ずる粒界ノイズ、単
結晶であると生ずる製造上の困難さを回避するため、記
録媒体が非晶質であること、この場合、結晶化温度がキ
ュリ一温度に比べて充分高いことが必要である。

３．　再生は媒体のカー効果またはフ７ラデイ効果を利
用するため、上記の効果に起因するカー回転角または７
７９７４回転角が大きいこと。

４、　記録密度を上げるための垂直磁化膜であること。

そのため上記のような重希土類−′ａ柊金金属非晶質合
金記録媒体として用いられてきた。

〔発明が解決しようとする問題点〕

光磁気記録媒体は、非晶質であることが必要であるため
、作製法としてスパッタリング、蒸着などの気相急冷法
が利用されている。しかし、光磁気記録媒体として用い
られる重希土類−遷移金属非晶質合金とほぼ同組成の合
金を溶解、鋳造により作製することは、これらの合金が
割れ易いため困難である。そのため、スパッタリングに
より光磁気記録媒体を作製する場合には単一のターゲッ
トから記録媒体を作製できないので、例えば、遷移金属
ターゲット上に希土類金属などのチップを置いた複合タ
ーゲット、または特開昭５９−２００７６２、特開昭５
９−２０８８１５のような埋め込も、式ターゲットを用
いなければならなかった。重希土類−遷移金属合金のス
パッタリング用ターゲットは通常、溶解・鋳造により得
た塊を粉砕したのち焼結することによっても得られるこ
とが知られているが、この方式では、ターゲット中に含
まれる酸素や炭素などの不純物の濃度を０゜１重量％以
下に抑えることは困難である。そのため、スパッタリン
グ用ターゲットあるいは蒸発源のもつ不純物が光磁気記
録媒体中に混入し、その磁気特性をその本来のものより
低下させてしまうという欠点を育する。

また、他の製造方法として、希土類金属と遷移金屑とを
各々、異なるカソードでスパッタする多元スバブタ法も
行われている。しかしこの方法では、均一な組成の膜を
再現性良く作製することが困難である。一方、希土類金
属と遷移金属からなる光磁気記録媒体においては、その
特性が組成に対して非常に敏感なので、この方法では、
量産はほとんど不可能である。

製造上の問題以外にも記録特性のｒ４Ｍがある。

公知のように、（第１０回応用磁気学会学術講演概要集
　１０８８．１１　１３５頁）スパッタリング用ターゲ
ットの＠素ａＩｆが多いときにはそのターゲットから作
られた光磁気記録媒体の特性はそうでないターゲットか
ら作られたものに比べて劣ってしまう。

本発明はこのような問題点を解決するもので、重希土類
金屑、遷移金属のほか、軽希土類金屑からなる合金を用
いることにより、従来のものに比べて高性能な光磁気記
録媒体を提供することにある。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明の光磁気記録媒体は軽希土類金ｒｙ４Ｃｅ。

Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕのうち一種類以上、重希土類金
屑Ｔｂ、Ｄｙ、ＧｄのうちＴｂを必ず含む−Ｎ類以上、
および遷移金属Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉのうち−８頭以上から
構成され、Ｔｂの総量が２０原子％以下であることを特
徴とする。

Ｔｂ量はより好ましくは、１８原子％以下、最も好まし
くは、１５原子％以下である。本発明の光磁気記録媒体
の最も大きな特徴はその製造法にある。鋳造法により作
製されたスパッタリング用ターゲットを用いて、スパッ
タリング法で基板上に非晶質合金を付着することにより
記録媒体をつくることを目的として鋭意研究した結果、
次のような全く新しい知見に基づく光磁気記録媒体の組
成を発見した。本発明の光磁気記録媒体は以下に述べる
工程により作られる。まず、ＨＲ，ＴＮｉを溶解・鋳造
により所望のターゲットの大きさより大きな合金塊をつ
くり、加工・研磨して成型し、ターゲットとするかある
いは小さな合金塊をつくり貼り合わせ、ターゲットとす
る。この工程において従来のように合金塊を粉砕書焼結
することな（スパッタリング・ターゲットを作製できる
合金組成を選んだところに本発明の特長がある。この際
合金ターゲットをつくるためには、従来から用いられて
きた重希土類金属、遷移金属の他、軽希土類金属のうち
一種類以上の元素が不可欠でありこれらの元素の添加に
より溶解・鋳造時の鋳型の温度ｉｆ／Ｉ　ｍが不要とな
りスパッタリング台ターゲットの生産効率の向上及び歩
留りの向上をはかることができる。これら無しでは既に
述べたように、鋳型の温度制御を行ったとしても鋳造し
た合金が割れてしまうためスパッタリング用合金ターゲ
ットを作製することは不可能であったり、できたスパッ
クリング・ターゲットがスパッタ中に割れたりする。こ
のようにして、作られた合金ターゲットを用いてスパッ
タリング法により、光磁気記録媒体を作製する。

鋳造法によって作られた、不純物濃度が非常に低レベル
のスパッタリング用合金ターゲットを用いると、従来の
光磁気記録媒体においては不可欠であったＴｂの含を量
の少ない光磁気記録媒体も量産できるようになるという
知見も得られた。このことにより単一のターゲットであ
るために生ずる製造コストの低下のほかにも必要に応じ
て高価なＴｂの含育量を減らすことができ、材料コスト
をさげることができた。

〔実施例〕

（実施例１） 本実施例で述べる試料はすべてスパッタリングにより作
製され、その際に用いたターゲットは鋳造により作られ
た合金塊を成型することで得た合金塊である。このよう
にして得られた合金ターゲットの対応表および酸素濃度
を分析した結果をそれぞれ表１，２に示す。

表１ 第２表 このように本発明の光磁気記録媒体においては焼結法に
よらずともターゲットを作ることができるため上記のよ
うな結果になっている。通常、焼結法によってできたタ
ーゲットの酸素濃度は０．１重量パーセントを下回るこ
とはない。また、軽希土類金属として、Ｐｒ、Ｅｕを用
いた場合にも酸素濃度が０．０５重量パーセント程度で
あることがわかった。

（実施例２） 第１表に示した資料番号１，２．３の光磁気記録媒体の
記録特性の記ｔｉ＠再生特性を調べるために、溝付きポ
リカーボネイトの上に設けられた窒化アルミニウムと窒
化珪素の混合物からなる保護層上に記録層を設けさらに
その上に窒化アルミニウムと窒化珪素の混合物からなる
保護層を設けた　、ものを作った。記録層および保護層
の膜厚はそれぞれ１１００ｎである。結果を第８表に示
す。−例として、試料番号２の試料のＣ／Ｎ比と記録パ
ワーとの関係を第１図に示す。

第８表 評価はディスク回転数１８００ｒｐｍｓ紀録ビット！に
１　、７　ｕ　ｍ　ｓ分解能帯域３０ｋＨｚで行った。

最適記録パワーは二次高調波抑圧比が最小となる記録パ
ワーから定めた。このようにＴｂの量が従来のものより
少ないのにも拘らず好ましい記録・再生特性を存する。

スパッタリング・ターゲットの不純物濃度が低くなった
ことが原因であると考えられる。溝のない基板上に形成
した場合においてもほぼ同等の結果が得られることは言
うまでもない。

（実施例３） 本実施例２で述べた光磁気記録媒体は鋳造合金ターゲッ
トをスパッタすることによって得られたものである。

第２図にスパッタリングＯターゲットから光磁気記録媒
体を作製するまでの工程を示す。

鋳造により得られた合金塊を成型して得たターゲットを
用いてスパッタリングの行う際のスパッタリング装置内
の構成を第３図に示す。ターゲットの合金化により、１
つのターゲットからスパッタすることが可能となり光磁
気記録媒体をスパッタリングによって量産する際の効率
を上げることが可能となった。

〔発明の効果〕

以上述べたきたように本発明によれば、スパッタリング
Φターゲットの合金化を達成できる。そのため、生産性
および記録媒体としての特性の両方を向上することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の光磁気記録媒体のＣ／Ｎ比と記録レ
ーザーパワーとの関係を示す図。 第２図は、本発明の光磁気記録媒体の製造工程を示す図
。 第３図は、本発明の光磁気記録媒体を製造するために用
いたスパッタリングＨＨを示す図。 ３０１・・・合金ターゲット ３０２・・・磁石 ３０３・・・真空槽 ３０４・・・基板電極 ３０５・・・基板 以　　上 出願人　セイコーエプソン株式会社 代理人　弁理士　最　上　　務　他１名０　　　２　　
　４　　　６　　　　ｇ　　　　１０記彊レ一寸−パワ
ー（句Ｗ２ 一’ｙＱ　１　　図 第２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 光により情報を記録・再生・消去できる情報記録媒体に
   於て軽希土類金属Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕのうち
   一種類以上、重希土類金属Ｔｂ、Ｄｙ、ＧｄのうちＴｂ
   を必ず含む一種類以上、遷移金属Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉのう
   ち一種類以上からなり、Ｔｂの総量が２０原子％以下で
   あることを特徴とする光磁気記録媒体。