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JPS63290979A - Superconducting quantum interference device - Google Patents

Superconducting quantum interference device

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Publication number
JPS63290979A
JPS63290979A JP62125469A JP12546987A JPS63290979A JP S63290979 A JPS63290979 A JP S63290979A JP 62125469 A JP62125469 A JP 62125469A JP 12546987 A JP12546987 A JP 12546987A JP S63290979 A JPS63290979 A JP S63290979A
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JP
Japan
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pulse
output
current
bias
voltage
Prior art date
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Application number
JP62125469A
Other languages
Japanese (ja)
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JPH0785104B2 (en
Inventor
Norio Fujimaki
藤巻 則夫
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP62125469A priority Critical patent/JPH0785104B2/en
Publication of JPS63290979A publication Critical patent/JPS63290979A/en
Publication of JPH0785104B2 publication Critical patent/JPH0785104B2/en
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  • Measuring Magnetic Variables (AREA)
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Abstract

PURPOSE:To enable processing and feeding back by a superconducting circuit so that an element can be formed to one chip by adding a pulse and triangular or saw wave to a bias and magnetic field coupling line and taking out the value of a magnetic flux or the current to be measured as a pulse wave. CONSTITUTION:A Josephson junction attains a voltage state when a bias current exceeds a threshold value. This threshold value changes with a signal current. The voltage state is attained even if the bias current IB is small if the signal current IX+IC is large in positive and negative directions. The right side of a straight line D is the voltage state when there is the bias pulse and is the non-voltage state if there is no pulse if the amplitude of IB is previously so selected as shown in the figure with respect to a threshold characteristic C. The pulse voltage V similar to the bias pulse is then obtd. from an output terminal out. The left side of the straight line D is the non-voltage state regardless of the presence or absence of the bias pulse and no pulse voltage appears in the output out.

Description

【発明の詳細な説明】 〔概 要〕 5QIIIDのバイアスと磁界結合線にパルスと3角波
あるいは制波を加え、磁束あるいは被測定電流の値をパ
ルス数として取り出す。超伝導回路による処理、帰還が
可能になり、ワンチップ化が可能。
[Detailed Description of the Invention] [Summary] A pulse and a triangular wave or wave control are applied to the bias and magnetic field coupling line of 5QIIID, and the value of the magnetic flux or current to be measured is extracted as the number of pulses. Processing and feedback using superconducting circuits are now possible, making it possible to integrate into one chip.

〔産業上の利用分野〕[Industrial application field]

本発明は、電流あるいは電流に換算できる磁束、電圧、
抵抗などを測定するために用いられる超伝導量子干渉素
子(SQUIDという)に関する。
The present invention provides current or magnetic flux that can be converted into current, voltage,
This invention relates to superconducting quantum interference devices (referred to as SQUIDs) used to measure resistance and the like.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

3口[lIDは高感度の検出器であり、特に5QUID
磁束計は他のあらゆる磁束計より高感度である。従来の
DC5(ltllDと呼ばれる磁束計を第15図に示す
。(a)は2接合超伝導量子干渉素子(DC5QUID
 )の等価回路であり、Jl、J2はジョセフソン接合
、β1はJl、J2を含む超伝導ループにバイアス電流
Iを供給する回路である。β2は信号電流lxを流す信
号線であり、磁束計の場合この電流lxは測定すべき磁
束と鎖交するピンクアンプコイルにより供給される。接
合Jl、J2を含む超伝導ループと信号線7!2とは相
互インダクタンスMにより結合する。ジョセフソン接合
J1.J2にはブリッジ接合などのI−V特性に本来ヒ
ステリシスのない接合か、あるいは■−■特性にヒステ
リシスのあるl・ンネル型接合に並列に抵抗を接続して
ヒステリシスをなくしたもの(図示の例)がよく用いら
れる。I−■特性は第15図(blに示す如(で、曲線
C1はM I x = n−1の場合、曲線C2はMI
x−(n+−)φ0の場合である。
3 ports [lID is a highly sensitive detector, especially 5QUID
Magnetometers are more sensitive than all other magnetometers. A conventional magnetometer called DC5 (ltllD) is shown in Figure 15. (a) is a two-junction superconducting quantum interference device (DC5QUID).
), Jl and J2 are Josephson junctions, and β1 is a circuit that supplies bias current I to the superconducting loop including Jl and J2. β2 is a signal line through which a signal current lx flows, and in the case of a magnetometer, this current lx is supplied by a pink amplifier coil interlinked with the magnetic flux to be measured. The superconducting loop including the junctions Jl and J2 and the signal line 7!2 are coupled by a mutual inductance M. Josephson junction J1. For J2, either a bridge junction that inherently has no hysteresis in the IV characteristics, or a L-channel type junction that has hysteresis in the ■-■ characteristics and connects a resistor in parallel to eliminate hysteresis (the example shown is ) is often used. The I-■ characteristics are shown in Figure 15 (bl) (where curve C1 is MI x = n-1, curve C2 is MI
This is the case of x-(n+-)φ0.

超伝導回路はインダクタンスが支配的であり、Talで
はこれを図示のようにコイルのシンボルで表わしている
。バイアス電流Iが供給されると、接合J!側とJ2側
が同じインダクタンスなら各々に1/2が流れる。この
電流夏/2が臨界値以下であるとジョセフソン接合は無
電圧状態であり、出力端Outの電圧Vは0である。臨
界値は信号電流Ixにより変り、Ix=0ならIcoで
ある。Ixが0から次第に大きくなると臨界値1cは次
第に下り、MIx−φo / 2でIc+になる。lx
が更に大きくなると臨界値は上り始め、Mlx−φ0で
Icoになる。更に大きくなるとまた下り始め、以下同
様変化を繰り返す。結局M T x = n−1(n=
0.1.2. ・・・・・・)でIc=Ico、MIx
=(n+1) φ0でI c = Ic1であり、この
間を周期的に変化する。こ\でφ0は磁束量子であり、
n=0はOモード、n=1は1モード、・・・・・・と
呼ばれ、超伝導ループにφ0が0. 1. 2.・・・
・・・入った状態を示す。ジョセフソン接合に流れるバ
イアス電流が臨界値を越えると該接合は電圧状態になり
、電圧■はIxにより曲線CI、  C2,またはこれ
らの中間の曲線(図示せず)に沿って、rに応じて増大
する。MIxとVとの関係は第15図(c+の如くなり
、周期的な変化を示す。
A superconducting circuit is dominated by inductance, which is represented by a coil symbol in Tal as shown in the figure. When bias current I is applied, junction J! If the inductance is the same on the J2 side and the J2 side, 1/2 will flow to each side. When this current summer/2 is below a critical value, the Josephson junction is in a no-voltage state, and the voltage V at the output terminal Out is zero. The critical value varies depending on the signal current Ix, and if Ix=0, it is Ico. As Ix gradually increases from 0, the critical value 1c gradually decreases and becomes Ic+ at MIx-φo/2. lx
As becomes even larger, the critical value begins to rise and becomes Ico at Mlx-φ0. When it gets even bigger, it starts to go down again, and the same changes repeat thereafter. In the end, M T x = n-1 (n=
0.1.2. ), Ic=Ico, MIx
= (n+1) I c = Ic1 at φ0, and changes periodically during this period. Here, φ0 is a magnetic flux quantum,
n=0 is called O mode, n=1 is called 1 mode, etc., and φ0 is 0. 1. 2. ...
...Indicates the entered state. When the bias current flowing through a Josephson junction exceeds a critical value, the junction enters a voltage state, and the voltage Ix increases according to r along curves CI, C2, or an intermediate curve (not shown). increase The relationship between MIx and V is as shown in FIG. 15 (c+), showing periodic changes.

この第15図(C1ではMIx=0でVはあるOでない
値V1を持っており、従ってIばIcを越えて(blの
IBの如き値としている。この状態でlxを増大すると
曲線は下って■は大になり、C2で最大で以後曲線は」
二つてVば下り、(C1はこの繰り返しを示している。
In FIG. 15 (C1, MIx = 0 and V has a value V1 that is not O, so I exceeds Ic (IB of bl). In this state, when lx is increased, the curve falls. te■ becomes large, reaches its maximum at C2, and from then on the curve becomes
2 and V is lowered (C1 indicates this repetition).

lxは信号電流、磁束計ならピンクアンプコイルに鎖交
する磁束の変化であり、fc)よりVを知ればIxが求
まるから、結局fa1図の出力端Outの電圧Vを測定
して磁束計ならピックアップコイルに鎖交する磁束を知
ることができる。
lx is the signal current, and if it is a magnetometer, it is the change in the magnetic flux linked to the pink amplifier coil.If you know V from fc), you can find Ix, so in the end, you can measure the voltage V at the output terminal Out in the fa1 diagram, and if it is a magnetometer, You can know the magnetic flux interlinking with the pickup coil.

しかし、第15図fclに示されるように■は周期的な
変化をするので、ある値V3が得られたとしてもMlx
がMIx+なのか、MIX2なのか、・・・・・・は分
らない。またバイアス電流源や、出力電圧■を測定する
直流増幅器のドリフトが出力に影響する等の問題がある
ので、実際の測定回路としては第16図に示すように、
動作点が常にV−MIx特性の最小点になるように帰還
電流を流すやり方が行なわれている。
However, as shown in Fig. 15 fcl, ■ changes periodically, so even if a certain value V3 is obtained, Mlx
I don't know if it's MIx+ or MIX2. In addition, there are problems such as the drift of the bias current source and the DC amplifier that measures the output voltage (■) affecting the output, so the actual measurement circuit is as shown in Figure 16.
The feedback current is passed so that the operating point is always the minimum point of the V-MIx characteristic.

この第16図でPCは前記のピンクアンプコイルで、信
号線12に信号電流rxoを流ず。β3は帰還電流If
を流す信号線で、本回路ではこれらの電流の和I xo
+ I fが第15図の信号電流lxになる。バイアス
電流Iとしては(b)のIBを用い、従ってV−Ix特
性は第15図(C1の如くなる。O20ば発振器で、そ
の出力k sinωtがロックインアンプA3に対する
基準信号Refになる。A+。
In this FIG. 16, the PC is the pink amplifier coil described above, and no signal current rxo flows through the signal line 12. β3 is the feedback current If
In this circuit, the sum of these currents I xo
+I f becomes the signal current lx in FIG. IB in (b) is used as the bias current I, and therefore the V-Ix characteristic becomes as shown in FIG. .

A2は増幅器で、AIは出力端Outの電圧Vを増幅し
、ロックインアンプA3に加える。ロックインアンプA
3は入力電圧のうち基準信号Refと同じ周波数成分の
ものの、振幅及び位相に応じた出力を直流で生じ(積の
出力で、同相なら+■1゜逆相なら−v2.1/4周期
ずれならO)、増幅器A2はこれを増幅し、抵抗RFを
通して信号線113へ出力する。発振器O8Cの出力は
コンデンサCを介して信号線I!3へも加わり、従って
帰還電流IfはTo+ksinωtの形をしている。
A2 is an amplifier, and AI amplifies the voltage V at the output terminal Out and applies it to the lock-in amplifier A3. Lock-in amplifier A
3 generates a direct current output according to the amplitude and phase of the same frequency component as the reference signal Ref in the input voltage (product output; if in phase, +■1°; if out of phase, -v2.1/4 period shift. If O), the amplifier A2 amplifies this and outputs it to the signal line 113 through the resistor RF. The output of the oscillator O8C is connected to the signal line I! via the capacitor C. Therefore, the feedback current If has the form To+ksinωt.

信号電流に発振器OSCのsinωtの成分があるので
、出力電圧Vにもsinωtの成分がある。
Since the signal current has a sinωt component of the oscillator OSC, the output voltage V also has a sinωt component.

ロックインアンプA3はこれが同相なら正の、逆相なら
負の電圧を出力し、これはA2の出力IOを増加、減少
することになり、結局動作点を第15図(C1のMin
で示す最小電圧点にする。これは簡単には次のように説
明できる。即ち、増幅器A2から供給される電流■0が
rolのときIfは第15図tc+のIflとなり、増
加するときVは減少し、これはA+で反転されて増加と
なり、Refと同相になる。従ってロックインアンプA
3の出力は正で、Iolは増加する。また■0がIO2
のときIfは第15図(clのIf2となり、増加する
とき■は増加し、AIで反転されて減少し、Refと逆
相になる。従ってA3の出力は負になり、Io2は減少
し、こうして結局Min点に落着(。
Lock-in amplifier A3 outputs a positive voltage if it is in phase, and a negative voltage if it is out of phase. This increases or decreases the output IO of A2, and eventually the operating point is changed to Fig. 15 (Min of C1).
Set to the minimum voltage point shown by . This can be easily explained as follows. That is, when the current 0 supplied from the amplifier A2 is rol, If becomes If of tc+ in FIG. 15, and when it increases, V decreases, and this is reversed by A+ to increase and become in phase with Ref. Therefore, lock-in amplifier A
The output of 3 is positive and Iol increases. Also ■0 is IO2
When If becomes If2 in Fig. 15 (cl), when it increases, ■ increases, is inverted by AI and decreases, and becomes in opposite phase to Ref. Therefore, the output of A3 becomes negative, Io2 decreases, In this way, we finally settled on the Min point (.

信号電流1 xofcOとして本回路をMin点に落ち
着かせ、その時の増幅器A2の出力電流(100とする
)を求めておき、今度はIxoを流し、増幅器A2の出
力電流はIoになったとすると、I xo=I oo 
−I oとして信号電流1xoが求まる。
Let this circuit settle at the Min point with a signal current of 1 xo=Ioo
The signal current 1xo is determined as -Io.

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problem that the invention seeks to solve]

従来の5QUIDは第16図に示されるように出力Vが
アナログであり、アナログ電圧Vを用いて動作点を定め
たりするために低雑音増幅器AI、A2、ロックインア
ンプA3などのアナログ回路を必要とする。通常これら
は室温で動作するため、液体ヘリウム温度のSQ旧り素
子に比べて熱雑音が大きく、感度低下の原因になる。
As shown in Figure 16, the conventional 5QUID has an analog output V, and requires analog circuits such as low-noise amplifiers AI, A2, and lock-in amplifier A3 to determine the operating point using the analog voltage V. shall be. Since these normally operate at room temperature, they have higher thermal noise than the old SQ elements that operate at liquid helium temperatures, causing a decrease in sensitivity.

液体ヘリウム温度で動作するGaAs FETを初段増
@器に用いた例もあるが、ジョセフソン接合等からなる
SO旧口とは製作プロセスが異なるため、これらを一体
化した集積回路を作ることは容易でない。
There are examples of using GaAs FETs that operate at liquid helium temperatures as the first stage booster, but since the manufacturing process is different from the old SO gate, which is made of Josephson junctions, it is easy to create an integrated circuit that integrates these. Not.

本発明は付属回路も、ジョセフソン接合を含む超伝導回
路で製作可能にして、同一チップ上に構成できる5QU
IDを提供しようとするものである。
The present invention also enables the attached circuit to be fabricated using a superconducting circuit including a Josephson junction, and to construct the 5QU on the same chip.
This is intended to provide an ID.

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving problems]

本発明では、ジョセフソン接合を含む超伝導回路などに
より容易に扱えるようにするため、5QUIDのバイア
スをパルスで与え、その出力がパルス(ディジタル)に
なるようにした。原理図を第1図に示す。
In the present invention, the bias of the 5QUID is applied in the form of a pulse so that the output becomes a pulse (digital) so that it can be easily handled by a superconducting circuit including a Josephson junction. The principle diagram is shown in Fig. 1.

第1図の等価回路は第15図(alと余り変らないが、
バイアス電流は図示の如きパルス電流IB(t)とし、
信号線は!42.!!aとしてI12に被測定電流lx
を流し、β4に3角波電流1cltlを流す。
The equivalent circuit of Fig. 1 is shown in Fig. 15 (not much different from al.
The bias current is a pulse current IB(t) as shown in the figure,
The signal line! 42. ! ! The current to be measured lx is applied to I12 as a.
is applied, and a triangular wave current of 1cltl is applied to β4.

出力端Outにはパルス電圧が現われ、これをカウンタ
CTRで計数する。この回路でのジョセフソン接合J1
.J2は第15図(alと異なり、ヒステリシスのある
方が望ましい。3角波電流1cftlの周波数fcはバ
イアスパルス電流IB(t)の周波数fBより充分小さ
くしておく。第2図に闇値特性と動作点を示す。
A pulse voltage appears at the output terminal Out, and is counted by the counter CTR. Josephson junction J1 in this circuit
.. J2 is shown in Fig. 15 (unlike al, it is desirable that it has hysteresis. The frequency fc of the triangular wave current 1cftl is made sufficiently smaller than the frequency fB of the bias pulse current IB(t). Fig. 2 shows the dark value characteristic. and the operating point.

〔作用〕[Effect]

バイアス電流が闇値を越えるとジョセフソン接合は電圧
状態になるが、この闇値は信号電流により変る。第1図
では信号電流はIx+Icであり、これが正、負方向で
大になるとバイアス電流IBば小さくても電圧状態にな
る。曲線Cは電圧/無電圧状態の境界を示し、曲線Cよ
り上は電圧状態、曲線Cより下は無電圧状態である。バ
イアス電流IBの振幅を闇値特性Cに対して図示の如く
選んでおくと、直線りの右側では(Ic+Ixが1th
以上なら)バイアスパルスが有るとき電圧状態、無いと
き無電圧であり、出力&10utからはバイアスパルス
と同様なパルス電圧Vが得られ、また直線りの左側では
(Ic+IxがI th以下では)バイアスパルスの有
無に関係なく無電圧状態で、出力端Outにはパルス電
圧が現われない。
When the bias current exceeds the dark value, the Josephson junction enters a voltage state, but this dark value varies depending on the signal current. In FIG. 1, the signal current is Ix+Ic, and when this becomes large in the positive and negative directions, the bias current IB becomes a voltage state even if it is small. Curve C indicates the boundary between a voltage/no-voltage state; above curve C is a voltage state, and below curve C is a no-voltage state. If the amplitude of the bias current IB is selected for the dark value characteristic C as shown in the figure, on the right side of the straight line (Ic+Ix is 1th
(If above) When there is a bias pulse, there is a voltage state, when there is no voltage, there is no voltage, and from the output &10ut a pulse voltage V similar to the bias pulse is obtained, and on the left side of the straight line (when Ic + Ix is less than I th) the bias pulse No pulse voltage appears at the output terminal Out in a no-voltage state regardless of the presence or absence of the output terminal Out.

出力端Outにパルス電圧が現われる期間Tは、Ic(
Oの振幅をI coとすると、 この期間Tに現われるパルス電圧の数mはm=rB−’
r、従って である。fB、  fc、  Ico、  1thは分
っているから、mを測ると被測定電流lxが分る。パル
ス数mはカウンタで計数すればよく、カウンタのような
ディジタル素子はジョセフソン接合を含む超伝導回路で
容易に構成でき、従って5(IUIDと同一ヂツブに付
属回路を組込むことが簡単にできる。
The period T during which the pulse voltage appears at the output terminal Out is Ic(
If the amplitude of O is Ico, the number m of pulse voltages appearing during this period T is m=rB-'
r, therefore. Since fB, fc, Ico, and 1th are known, by measuring m, the current to be measured lx can be found. The number of pulses m can be counted by a counter, and a digital element such as a counter can be easily constructed using a superconducting circuit including a Josephson junction. Therefore, it is possible to easily incorporate an auxiliary circuit into the same chip as the IUID.

(変形例) 闇値特性は非対称にしてもよく、またバイアス電流の一
部を分流して信号線に流してもよく、このようにしても
同様な動作が得られる。バイアスパルス波IBftlは
矩形波に限らず、またIB(tl、IC(tlともオフ
セントがかかっていてもよい。制御電流1c(t)は闇
値を振って、一定ピーク値のバイアスパルスI B (
11で闇値を越える点を探すものと言える。従って漸増
する部分を持つなら3角波に限らず、鋸歯、台形波など
でもよ(、またもっと一般に時間に対し線形の領域がな
いような波形例えば正弦波形であってもよい。正弦波な
どのように非線形性が既知なら、出力カウント数mから
被測定電流を算出することができる。
(Modification) The dark value characteristic may be made asymmetrical, or a portion of the bias current may be shunted and passed through the signal line, and the same operation can be obtained even in this case. The bias pulse wave IBftl is not limited to a rectangular wave, and both IB(tl and IC(tl) may have an offset. The control current 1c(t) has a dark value, and the bias pulse IB(t) has a constant peak value.
It can be said that it searches for a point that exceeds the darkness value at 11. Therefore, if it has a gradually increasing portion, it is not limited to a triangular wave, but may also be a sawtooth wave, a trapezoidal wave, etc. If the nonlinearity is known, the current to be measured can be calculated from the output count number m.

第3図は、IBltl、Ic(t)とも正負に対称な波
形とし、闇値特性を非対称とした例を示す。本例の闇値
特性Cはジョセフソン接合J1.J2の各臨界電流の比
をは一′1:3にして得られる。一般にこの比と、ルー
プインダクタンスの値、ループへのバイアス電流注入点
を変えることにより、種々の形の闇値特性Cが得られる
。また本例ではバイアス電流IBitlを矩形波でなく
、図示のように段をつけて、ピーク値に達している時間
を短くしている。このようにすると、動作点が闇値に接
近する場合に生し得る熱雑音等による誤動作を受けにく
\なる。
FIG. 3 shows an example in which both IBltl and Ic(t) have positive and negative symmetrical waveforms, and the dark value characteristics are asymmetrical. The dark value characteristic C of this example is Josephson junction J1. The ratio of each critical current of J2 is obtained by setting it to 1'1:3. In general, various types of dark value characteristics C can be obtained by changing this ratio, the value of the loop inductance, and the point at which bias current is injected into the loop. Further, in this example, the bias current IBitl is not a rectangular wave, but is stepped as shown in the figure to shorten the time it takes to reach the peak value. In this way, malfunctions due to thermal noise, etc. that may occur when the operating point approaches the dark value are less likely to occur.

この第3図でも、IBのピークレベルが闇値特性Cと交
わる点1 thをIc(tl+Ixが越える部分で出力
端Outにパルスが生じ、その数mI、m2を計数する
ことによりlxが求まる。即ち、Ic(tl + T 
xの正側では が成立し、従って またIc(tl+Ixの負側では これらf21. +31式からlxは となる。この第3図ではr thの値を知らな(でも被
測定電流■xが求まる利点がある。
Also in FIG. 3, a pulse is generated at the output terminal Out at the point where Ic (tl+Ix) exceeds the point 1th where the peak level of IB intersects with the dark value characteristic C, and lx is found by counting the number mI and m2. That is, Ic(tl + T
On the positive side of x, holds true, and therefore Ic (on the negative side of tl+Ix, lx becomes from these f21. There are advantages.

パルス数m、ffl1、m2は第2図、第3図では数個
としたが、実際は100個など多数とし、精度を上げる
Although the number of pulses m, ffl1, and m2 are several in FIGS. 2 and 3, they are actually set to a large number, such as 100, to improve accuracy.

第3図で闇値特性を非対称にしたのは、闇値特性の右側
ではバイアスパルスの正波による出力のみが現われ、同
左側では同負波による出力のみが現われるようにするた
めである。対称的にすると左、右側でそれぞれ正、負波
が現われ、その処理をしなければならず、厄介である。
The reason why the dark value characteristic is made asymmetric in FIG. 3 is so that only the output due to the positive wave of the bias pulse appears on the right side of the dark value characteristic, and only the output due to the negative wave appears on the left side of the dark value characteristic. If it is made symmetrical, positive and negative waves will appear on the left and right sides, respectively, and you will have to deal with them, which is troublesome.

〔実施例〕〔Example〕

第4図に超伝導回路からなる帰還回路を付けた磁束針と
しての回路構成を示す。10は周波数fBの正弦波を発
生する発振器、12はJJパルサで、周波数1Bの正弦
波を同し周波数の図示波形のパルス(ピーク期間が短い
パルス)にし、これをバイアスパルスr B (tlと
して5QUIDに供給する。発振器10の出力周波数f
Bは分周器14で分周し、ローパスフィルタLPFに通
して周波数fcの三角波1c(t)にし、信号線β4へ
供給する。また出力端Outの出力パルスはアップダウ
ンカウンタCTRに供給し、また極性検出回路18で正
、負波を判別し、カウンタCTRに正波のときアップダ
ウンl−u、負波のときダウンカランl−dさせる。
Figure 4 shows the circuit configuration of a magnetic flux needle equipped with a feedback circuit consisting of a superconducting circuit. 10 is an oscillator that generates a sine wave of frequency fB, and 12 is a JJ pulser that converts the sine wave of frequency 1B into a pulse (pulse with a short peak period) of the same frequency and the illustrated waveform, and converts this into a bias pulse r B (as tl). 5QUID.Output frequency f of oscillator 10
B is frequency-divided by a frequency divider 14, passed through a low-pass filter LPF to form a triangular wave 1c(t) with a frequency fc, and is supplied to the signal line β4. In addition, the output pulse of the output terminal Out is supplied to the up/down counter CTR, and the polarity detection circuit 18 discriminates between positive and negative waves, and the counter CTR is sent to the counter CTR for up/down l-u when the wave is positive, and down-down l-u when the wave is negative. -d.

従ってカウンタCTRの計数値は前記のml−m2であ
り、これが本磁束計回路の出力になる。この出力はまた
PID制御回路22に加えられて、帰還制御のP(比例
)成分、D(微分)成分、および■ (積分)成分とな
り、これらの和が変換器24によりD/A変換され、帰
還電流Ifとして信号線7!3に加えられて、第15図
で説明した出力電圧■を最小点旧nにする制御を行なう
Therefore, the count value of the counter CTR is the aforementioned ml-m2, which becomes the output of the magnetometer circuit. This output is also applied to the PID control circuit 22 to become the P (proportional) component, D (differential) component, and ■ (integral) component of feedback control, and the sum of these is D/A converted by the converter 24. It is added to the signal line 7!3 as a feedback current If to perform control to bring the output voltage ■ described in FIG. 15 to the minimum point old n.

この第4図の5QUID磁束計もカウンタCTR1PI
D制御回路22など付属回路が必要であるが、これらは
超伝導回路などで構成でき、5QUID本体とワンチッ
プ化可能である。次に各部の構成例を示す。
This 5QUID magnetometer in Figure 4 also has a counter CTR1PI.
Although additional circuits such as the D control circuit 22 are required, these can be constructed from superconducting circuits, etc., and can be integrated into a single chip with the 5QUID main body. Next, an example of the configuration of each part is shown.

アンプダウンカウンタCTRの構成例を第5図、第6図
に示す。カウンタCTRは第5図に示すように同じ構成
の1段分の回路CL  C2・・・・・・を必要段数縦
続接続してなり、初段C1はクロ・ツクCK、CKを入
力され、計数値の第1位ビ・ノド(LSB)A+を出力
する。2段目C2はC1のキャリーを入力され、第2位
ビア l□ A 2を出力する。
Examples of the configuration of the amplifier down counter CTR are shown in FIGS. 5 and 6. As shown in Fig. 5, the counter CTR is formed by cascading the required number of stages of circuits CL C2... with the same configuration, and the first stage C1 receives the clocks CK and CK as input, and receives the counted value. Outputs the first bit (LSB) A+. The second stage C2 receives the carry of C1 and outputs the second via l□A2.

以下同様である。第6図は1段分の回路構成を示す。The same applies below. FIG. 6 shows the circuit configuration for one stage.

第6図はデュアルレール方式のカウンタ1段分を示し、
ラッチ回路30と、十印で示すオアゲートGa1等およ
び・印で示すアントゲ−1□Gb+等からなる論理回路
で構成される。初段C1の場合、入力Xn−1、Xn−
1はクロ・ツクCK、GKであり、この段の出力Anは
A1である。次段への出力Xn、XnはXn=X、1−
+  (An、u+A1.d)、Xn−Xn−+  +
An、d+An、uである。アンプカウントのときu=
1.d=0となり、ダウンカウントのときd=1.u=
0になる。
Figure 6 shows one stage of the dual-rail counter.
It is composed of a latch circuit 30, and a logic circuit including an OR gate Ga1 indicated by a cross, and an ant gate Ga1 Gb+ indicated by a . In the case of first stage C1, inputs Xn-1, Xn-
1 is the clock CK, GK, and the output An of this stage is A1. Output Xn to the next stage, Xn is Xn=X, 1-
+ (An, u+A1.d), Xn-Xn-+ +
An, d+An, u. When counting amps, u=
1. d=0, and when counting down, d=1. u=
becomes 0.

第7図にランチ回路30の例を示す。う・ノチ回路には
種々のものがあるが、こ\では3相電源#1、#2.#
3と3個のオアゲートGaおよびタイムドインバータT
lからなる回路を用いる。アンドゲートGb2の出力を
3相電源#1. #2. #3の位相で各オアゲートへ
逐次取込み、2π/3の遅延後に出力Anを生じる。出
力Anは2番目のオアゲートからタイムドインハータT
Iを通して出力される。ヒステリシスを持つジョセフソ
ン接合では、バイアス電流が闇値を越えると電圧状態に
なり、この電圧状態はバイアス電流がOになるまで維持
される。ランチ回路30の各オアゲートGaはこのよう
な動作をしており、入力が1で#1電源が立上ると1番
目のオアゲートは閾値を越えるとき電圧状態になり(ラ
ッチし)、#1電源が0になる迄この状態を維持する。
FIG. 7 shows an example of the launch circuit 30. There are various types of U-nochi circuits, but this one uses three-phase power supplies #1, #2. #
3 and 3 OR gates Ga and timed inverter T
A circuit consisting of 1 is used. The output of AND gate Gb2 is set to 3-phase power supply #1. #2. It is sequentially taken into each OR gate at phase #3, and output An is produced after a delay of 2π/3. The output An is from the second OR gate to the timed inharter T.
It is output through I. A Josephson junction with hysteresis enters a voltage state when the bias current exceeds the dark value, and this voltage state is maintained until the bias current reaches zero. Each OR gate Ga of the launch circuit 30 operates as described above. When the input is 1 and the #1 power supply is turned on, the first OR gate becomes a voltage state (latches) when the threshold value is exceeded, and the #1 power supply is turned on. This state is maintained until it reaches 0.

2番目、3番のオアゲートも同様に動作する。タイムド
インハークTIは要するにインバータであり3番のオア
ゲートの出力Anとは逆の出力Anを生じるものである
が、ジョセフソン接合利用のインバータでは最初の反転
出力を生じにくいのでこのための特別の付加回路を備え
ている。これには2種の回路が既知であるが、そのいず
れを用いてもよい。
The second and third OR gates operate in the same manner. The timed-in-hark TI is essentially an inverter that produces an output An that is opposite to the output An of the No. 3 OR gate, but since it is difficult to produce the first inverted output with an inverter using a Josephson junction, a special addition is required for this purpose. It has a circuit. Two types of circuits are known for this purpose, and any of them may be used.

第6図の回路の動作をアップカウントの場合につき、そ
して初段CIにつき説明すると、この場合出力XnはX
I−IAn従ってCK−A1、XnはX rl−H+ 
A n従ってCK+AIである。第1クロツクが入る前
はXn−+  =0+  Xn−r  =1.An−〇
、Xn=0.Xn=1である。
The operation of the circuit shown in FIG. 6 will be explained for the case of up-counting and for the first stage CI. In this case, the output Xn is
I-IAn Therefore CK-A1, Xn is X rl-H+
An is therefore CK+AI. Before the first clock enters, Xn-+ =0+ Xn-r =1. An-〇, Xn=0. Xn=1.

第1クロツクが入るとXn−+  =1+ Xn−+ 
 =0、この第1クロック入力時点ではAn=0である
からアンドゲートGb2の出力(A n 十Xr)−1
)  (Ω+X r+−+ )は1、これがランチ30
に取込まれ、前記遅延後にAn=1になる。なおオアゲ
ートGa2などは#1電源で動作する。また第1クロッ
ク入力時点ではAn=0であるから初段出力X+は0、
Xlは1である。
When the first clock enters, Xn-+ = 1+ Xn-+
=0, and since An=0 at the time of this first clock input, the output of AND gate Gb2 (A n +Xr)-1
) (Ω+X r+-+) is 1, this is lunch 30
An=1 after the delay. Note that the OR gate Ga2 and the like operate with the #1 power supply. Also, since An=0 at the time of the first clock input, the first stage output X+ is 0,
Xl is 1.

第2クロツクが入ると、今度はAn=1であるからアン
ドゲートGb2の出力はOになり、これがランチ30に
取込まれ、前記遅延後にAn=0になる。また第2クロ
ック入力時点ではAn=1であるから出力X1は1、X
l−0になる。
When the second clock is input, since An=1, the output of the AND gate Gb2 becomes O, which is taken into the launch 30, and after the delay, An=0. Also, since An=1 at the time of inputting the second clock, the output X1 is 1,
It becomes l-0.

第3クロツクが入力すると、An=0であるからアンド
ゲートGb2の出力は1、これがラッチ30に取込まれ
、前記遅延後にAn=1になる。出力X1はO,、xl
は1である。
When the third clock is input, since An=0, the output of the AND gate Gb2 is 1, which is taken into the latch 30, and after the delay, An=1. Output X1 is O,,xl
is 1.

以下同様で、初段の出力Anは0,1,0,1゜・・・
・・・となり、次段へのキャリー出力Xnは0.0゜1
.0.1・・・・・・となる。2段目C2はこのキャリ
ー出力Xnを計数し、A2を0. 0. 1. 1. 
0゜0、・・・・・・とし、次段へキャリー出力を生じ
る。他の段C3,C4,・・・・・・の動作も同様であ
る。ダウンカウントのときはu=o、d=1であるから
次段へのボロー出力はXn=X11−1  ・An+ 
 Xn =Xn−1+Anになる。
Similarly, the output An of the first stage is 0, 1, 0, 1°...
...and the carry output Xn to the next stage is 0.0゜1
.. It becomes 0.1... The second stage C2 counts this carry output Xn and sets A2 to 0. 0. 1. 1.
0°0, . . . and a carry output is generated to the next stage. The operations of the other stages C3, C4, . . . are similar. When counting down, u=o and d=1, so the borrow output to the next stage is Xn=X11-1 ・An+
Xn=Xn-1+An.

JJパルザ12は別途出願の明細書に記載したようにジ
ョセフソン接合1個と抵抗を直列に接続し、これらに並
列に2開直列のジョセフソン接合を接続し、これらに正
弦波を加え、上記直列接続点を出力端とした回路などに
よ/J発生することができる。
As described in the specification of a separate application, the JJ Pulsar 12 has one Josephson junction and a resistor connected in series, a two-open series Josephson junction connected in parallel to these, and a sine wave applied to these. /J can be generated by a circuit whose output terminal is a series connection point.

第8図にD/A変換器24の例を示す。本体は周知のR
−2R梯子形回路であるが、この各ノートへ供給する電
流をジョセフソン素子利用のオアゲーL G aで制御
する。AI、A2.・・・・・・Anはディジタル入力
の各ビットである。Anが0のとき当該ゲートは無電圧
状態で、バイアス電流IBは全て該ゲートを流れ、グラ
ンドへ落される。八〇が1なら当該ゲートは電圧状態に
なり、バイアス電流IBはノードNnへも流れる。他の
ビットのゲートにおいても同様である。各ノードは3個
の2Rでグランドへ接続された形をしており、各ノード
へIBが供給されるとすると各2RへはIB/3が流れ
る。従ってA’n = 1のとき出力線7!5はNn側
へ流れたI s / 3 (7) 1 / 2が7!5
ニ流れ、以下これに準するので結局出力線β5に流れる
電流Iは ・・・・・・(5) になる。これはA1をLSBXAnをMSBとするnビ
ット2値数のD/A変換出力に他ならない。
FIG. 8 shows an example of the D/A converter 24. The main body is the well-known R
Although it is a -2R ladder type circuit, the current supplied to each note is controlled by an OR game LG a using a Josephson element. AI, A2. . . . An is each bit of the digital input. When An is 0, the gate is in a no-voltage state, and all bias current IB flows through the gate and is dropped to ground. If 80 is 1, the gate is in a voltage state, and the bias current IB also flows to the node Nn. The same applies to gates of other bits. Each node is connected to ground through three 2Rs, and if IB is supplied to each node, IB/3 flows to each 2R. Therefore, when A'n = 1, the output line 7!5 flows to the Nn side, and I s / 3 (7) 1 / 2 becomes 7!5.
2 current, and the following applies accordingly, so the current I flowing through the output line β5 is as follows (5). This is nothing but a D/A conversion output of an n-bit binary number with A1 as LSBXAn as MSB.

これらの抵抗は第9図に示すように超伝導インダクタン
スL、2Lに置き換えることができる。出力線15に流
れる電流はやはり(5)式で表わされる。
These resistors can be replaced with superconducting inductances L, 2L as shown in FIG. The current flowing through the output line 15 is also expressed by equation (5).

また第10図に示すように、相互インダクタンスMを用
いてもよい。この場合出力線7!5に流れる電流Iは ・・・・・・(6) である。PTD制御はD/A変換変換子ナログ量に対し
て行なうことも可能であるが、第11図に示すようにカ
ウンタCTRの出力をレジスタ32゜34.36、減算
器38、加算器40、および重み付は回路42の組み合
せで行なうことができる。
Further, as shown in FIG. 10, a mutual inductance M may be used. In this case, the current I flowing through the output line 7!5 is (6). PTD control can also be performed on the analog quantity of the D/A conversion converter, but as shown in FIG. Weighting can be performed by a combination of circuits 42.

即ち比例(P)成分はレジスタ32の出力をそのま\、
微分(D)成分はレジスタ34の前の値との差を減算器
38で求めて、積分(1)成分はレジスタ36の前回ま
での和を加算器40で今回の値と加算して重み付は加算
器42に入力すれば、該加算器42の出力はPID制御
出力になる。これらの加算器および減算器はジョセフソ
ン論理回路で実現でき、ワンチップ化可能である。
In other words, the proportional (P) component is the output of the register 32 as it is\,
The differential (D) component is obtained by calculating the difference from the previous value in the register 34 with a subtracter 38, and the integral (1) component is weighted by adding the previous sum of the register 36 to the current value in an adder 40. is input to the adder 42, the output of the adder 42 becomes the PID control output. These adders and subtracters can be realized using Josephson logic circuits and can be integrated into one chip.

周波数fcの3角波を作るための分周器14は前記アン
プダウンカウンタCTRをu=l、d=0として用いれ
ばよい。勿論、常にu=1.d−〇であるから、第6図
は第13図のように簡素化することができる。第12図
はカウンタ段C1゜C2,・・・・・・をN段縦続接続
して、最終段cNから入力周期Tの2 の周期の出力A
riを得る状態を示す。第13図はカウンタの第1段を
示し、入力X1−1はCK−AI −A2・・・・・・
・A1−1 、Xi−1はGK+A+→−A2+・・・
・・・A1−1、次段への出力XiはCK−A1・A2
・・・・・・・Ai、XiはCK+A11−A2+・・
・・・・Aiである。アンドゲートGbの出力?t (
A i +X4−+ )  (A i +X+−1) 
=At■X1暑である(こ−で■はEOR)。
The frequency divider 14 for creating a triangular wave of frequency fc may use the amplifier down counter CTR with u=l and d=0. Of course, u=1. Since d-〇, FIG. 6 can be simplified as shown in FIG. 13. Figure 12 shows N stages of counter stages C1, C2, .
This shows the state in which ri is obtained. Figure 13 shows the first stage of the counter, where the inputs X1-1 are CK-AI-A2...
・A1-1, Xi-1 is GK+A+→-A2+...
...A1-1, output Xi to the next stage is CK-A1/A2
・・・・・・Ai, Xi are CK+A11-A2+...
...Ai. Output of AND gate Gb? t (
A i +X4-+ ) (A i +X+-1)
= At■X1 heat (here ■ is EOR).

ローパスフィルタLPFは第14図に示すように超伝導
トランスTRと、抵抗R、インダクタンスLからなる回
路で構成できる。この回路ではRLの時定数を充分大に
しておくと、入力端INに矩形波が入るとき出力線β6
には三角波電流が流れる。
The low-pass filter LPF can be constructed from a circuit consisting of a superconducting transformer TR, a resistor R, and an inductance L, as shown in FIG. In this circuit, if the time constant of RL is made sufficiently large, when a rectangular wave enters the input terminal IN, the output line β6
A triangular wave current flows through.

なお第4図〜第14図では各回路を超伝導回路により実
現するが、5QUIDと1チツプ化可能なら、同様な機
能を果す他の回路であってもよい。また第4図で帰還回
路を取り除いて、パルス数差から被測定電流lxを得る
ようにしてもよい。周波数fcの3角波あるいは鋸歯1
c(t)はI B (t)と同じ発振器の出力を用いず
、別途発生するようにしてもよい(非同期でよい)。第
4図のカウンタCTRの出力を更に超伝導回路等により
記憶、処理するようにしてもよく、D/Af換して出力
することも可能である。
Although each circuit in FIGS. 4 to 14 is realized by a superconducting circuit, other circuits that perform similar functions may be used as long as they can be integrated into a single chip with 5QUID. Alternatively, the feedback circuit in FIG. 4 may be removed and the current to be measured lx may be obtained from the difference in the number of pulses. Triangular wave or sawtooth 1 with frequency fc
c(t) may be generated separately (asynchronously) without using the same oscillator output as I B (t). The output of the counter CTR shown in FIG. 4 may be further stored and processed by a superconducting circuit or the like, and it is also possible to convert it into D/Af and output it.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上説明したように本発明では、5QUIDの出力をパ
ルス数として取り出すので、ディジタル処理の得意なジ
ョセフソン素子等からなる超伝導回路によりこれを処理
し、また帰還回路などを構成することができ、同一プロ
セスにより同じチップ上に集積化することが可能になり
、小型、高感度な5QUIDを提供することができる。
As explained above, in the present invention, since the output of the 5QUID is extracted as a number of pulses, it can be processed by a superconducting circuit consisting of a Josephson element etc. that is good at digital processing, and a feedback circuit etc. can be configured. It becomes possible to integrate on the same chip using the same process, and it is possible to provide a small and highly sensitive 5QUID.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明の原理図、 第2図、第3図は第1図の動作説明図、第4図は本発明
の実施例を示すブロック図、第5図はアンプダウンカウ
ンタのブロック図、第6図はカウンタ1段分の回路図、 第7図はランチの回路図及び波形図、 第8図〜第10図はD/A変換器の回路図、第11図は
PID制御回路のブロック図、第12図は分周器のブロ
ック図、 第13図は分周器の1段分の回路図、 第14図はLPFの回路図、 第15図は従来の5QtllDの説明図、第16図は従
来の磁束針の回路図である。 第1図でJl、J2はジョセフソン接合、fBftlは
バイアス電流、lxは被測定電流、re(tlは制御電
流、 Outは出力端、CTRはカウンタである。
Fig. 1 is a diagram of the principle of the present invention, Figs. 2 and 3 are explanatory diagrams of the operation of Fig. 1, Fig. 4 is a block diagram showing an embodiment of the invention, and Fig. 5 is a block diagram of an amplifier down counter. , Figure 6 is a circuit diagram for one stage of counter, Figure 7 is a launch circuit diagram and waveform diagram, Figures 8 to 10 are D/A converter circuit diagrams, and Figure 11 is a PID control circuit diagram. Block diagram, Fig. 12 is a block diagram of the frequency divider, Fig. 13 is a circuit diagram of one stage of the frequency divider, Fig. 14 is a circuit diagram of the LPF, Fig. 15 is an explanatory diagram of the conventional 5QtllD, FIG. 16 is a circuit diagram of a conventional magnetic flux needle. In FIG. 1, Jl and J2 are Josephson junctions, fBftl is a bias current, lx is a current to be measured, re(tl is a control current, Out is an output terminal, and CTR is a counter.

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)2以上のジョセフソン接合(J_1、J_2)と
超伝導ループとからなる超伝導量子干渉素子において、 少なくとも2種類の交流成分を含む電流波形(I_B(
t)、I_C(t))の供給手段と、この超伝導量子干
渉素子の出力パルスの数を計数する手段(CTR)とを
備えることを特徴とする超伝導量子干渉素子。
(1) In a superconducting quantum interference device consisting of two or more Josephson junctions (J_1, J_2) and a superconducting loop, a current waveform (I_B(
t), I_C(t)), and means (CTR) for counting the number of output pulses of the superconducting quantum interference device.
(2)電流波形の供給手段および出力パルスの計数手段
の一部又は全部は超伝導回路で構成されることを特徴と
する特許請求の範囲第1項記載の超伝導量子干渉素子。
(2) A superconducting quantum interference device according to claim 1, wherein a part or all of the current waveform supply means and the output pulse counting means are constituted by a superconducting circuit.
(3)電流波形の供給手段は、出力パルス計数手段の出
力により発生された帰還電流の供給手段を含むことを特
徴とする特許請求の範囲第1項または第2項記載の超伝
導量子干渉素子。
(3) The superconducting quantum interference device according to claim 1 or 2, wherein the current waveform supply means includes a feedback current supply means generated by the output of the output pulse counting means. .
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