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JPS63261556A - Pickup for magneto-optical recording medium - Google Patents

Pickup for magneto-optical recording medium

Info

Publication number
JPS63261556A
JPS63261556A JP62096717A JP9671787A JPS63261556A JP S63261556 A JPS63261556 A JP S63261556A JP 62096717 A JP62096717 A JP 62096717A JP 9671787 A JP9671787 A JP 9671787A JP S63261556 A JPS63261556 A JP S63261556A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magneto
optical
recording medium
optical waveguide
pickup
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP62096717A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH0675308B2 (en
Inventor
Hiroshi Sunakawa
寛 砂川
Toshiaki Suhara
敏明 栖原
Hiroshi Nishihara
西原 浩
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujifilm Holdings Corp
Original Assignee
Fuji Photo Film Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fuji Photo Film Co Ltd filed Critical Fuji Photo Film Co Ltd
Priority to JP62096717A priority Critical patent/JPH0675308B2/en
Publication of JPS63261556A publication Critical patent/JPS63261556A/en
Priority to US07/704,691 priority patent/US5153860A/en
Publication of JPH0675308B2 publication Critical patent/JPH0675308B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
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  • Optical Integrated Circuits (AREA)
  • Optical Head (AREA)

Abstract

PURPOSE:To enable a drastical cost down with the title pickup light and small sized by obtaining the action of an optical element by the converging diffraction grating (FGC) formed on an optical wave guide path. CONSTITUTION:A reflection beam is separated from the optical path of a light beam directing to a magneto-optical recording medium 13 from a light source by fetching the reflection beam from the magneto-optical recording medium 13 into an optical wave guide path 22 by FGC 31, 32. This is the same as the action fulfilled by a beam splitter. The FGC 31, 32 focus the reflection beam in the optical wave guide path 22 and this is the same as the action fulfilled by a lens. Since the 1st and 2nd FGC 31, 32 are arranged in two pieces the reflection beam from the magneto-optical recording medium 13 is separated in the tracking direction each other and focused at two places. This is the same as the action fulfilled by a prism. The light amt. of the reflection beam fetched into the optical wave guide path 22 by the 1st and 2nd FGC 31, 32 varies according to the direction of the polarized light of the reflection beam. In this case, an objective lens 18 is supported movable for the tracking and focusing directions.

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分警) 本発明は、光磁気ディスク等の光磁気記録媒体に記録さ
れている信号を読み取るためのピックアップ、特に詳細
には光導波路を用いたピックアップに関するものである
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Industrial Application) The present invention relates to a pickup for reading signals recorded on a magneto-optical recording medium such as a magneto-optical disk, particularly a pickup using an optical waveguide. It is related to.

(従来の技術) 近時、画像信号や音声信号等の記録媒体として、光磁気
ディスク等の光磁気記録媒体が広く実用に供されている
。この光磁気記録媒体に磁化の向きの形で記録されてい
る信号は、光学式のピックアップによって読み取られる
。このピックアップは、例えばレーザ光等の直II!偏
光光を光磁気記録媒体表面に照射し、該記録媒体におい
て反射した光の偏光面が磁化の向きに対応して回転する
現象(磁気カー効果)を利用°して、記録媒体上の磁化
の向きを検出するようにしたものである。
(Prior Art) Recently, magneto-optical recording media such as magneto-optical disks have been widely used as recording media for image signals, audio signals, etc. Signals recorded in the magneto-optical recording medium in the form of magnetization directions are read by an optical pickup. This pickup can be used for example with laser beams, etc. By irradiating the surface of a magneto-optical recording medium with polarized light and utilizing the phenomenon (magnetic Kerr effect) in which the plane of polarization of the light reflected on the recording medium rotates in accordance with the direction of magnetization, it is possible to change the magnetization on the recording medium. It is designed to detect the direction.

具体的にこの光磁気記録媒体用ピックアップにおいては
、記録媒体からの反射光を検光子を通して光検出器によ
り検出し、該反射光の偏光面回転に応じて検出光量が変
化することを利用して上記磁化の向き、すなわち記録情
報を読み取るようにしている。またこのピックアップに
おいては、上述のようにして記録情報読取りを行なうと
ともに、ドラッキングエラー検出、つまり磁化状態検出
のための光ビームが所定のグループに沿ったトラックの
中心から左右どちら側にずれて照射されているかを検出
するための機能、およびフォーカスエラー検出、つまり
上記光ビームの焦点が光磁気記録媒体の反射面よりも近
くにあるかあるいは遠くにあるかを検出するための機能
を備えることが求められる。すなわちこのトラッキング
エラー、フォーカスエラーの検出信号は、該信号が打ち
消されるようにトラッキング制御、フォーカス制御をか
けて、光ビームを所定のトラックに正しく照射するため
、また該光ビームを光磁気記録媒体の反射面上で正しく
合焦させるために利用される。なお従来より、トラッキ
ングエラー検出方法としてはプッシュプル法、ヘテロゲ
イン法、時間差検出法等が知られており、一方フオーカ
スエラー検出方法としては、非点収差法、臨界角検出法
、フーコー法等が知られている。
Specifically, in this pickup for magneto-optical recording media, reflected light from the recording medium is detected by a photodetector through an analyzer, and the amount of detected light changes depending on the rotation of the polarization plane of the reflected light. The direction of the magnetization, that is, the recorded information is read. In addition, in this pickup, recorded information is read as described above, and the light beam for detecting a dragging error, that is, detecting the magnetization state, is irradiated with a deviation to the left or right from the center of the track along a predetermined group. and focus error detection, that is, a function to detect whether the focus of the light beam is closer or farther than the reflective surface of the magneto-optical recording medium. It will be done. In other words, this tracking error and focus error detection signal is used to apply tracking control and focus control so that the signal is canceled out, and in order to correctly irradiate the light beam onto a predetermined track, and to direct the light beam to the magneto-optical recording medium. Used for correct focusing on reflective surfaces. Conventionally, the push-pull method, heterogain method, time difference detection method, etc. have been known as tracking error detection methods, while the astigmatism method, critical angle detection method, Foucault method, etc. have been known as focus error detection methods. Are known.

信号読取機能に加えて上述のような機能を備えるために
従来の光磁気記録媒体用ピックアップは・光磁気記録媒
体において反射したビームを、該媒体に向けて照射され
ている光ビームから分離するためのビームスプリッタや
、この反射ビームをフォトダイオード等の光検出器の近
傍で集束させるためのレンズや、前述の検光子や、さら
には上記トラッキングエラー検出方法およびフォーカス
エラー検出方法を実行するためのプリズム等の微小光学
素子から構成されていた。
In order to have the above-mentioned functions in addition to the signal reading function, conventional pickups for magneto-optical recording media have the following functions: - To separate the beam reflected by the magneto-optical recording medium from the light beam directed toward the medium. a beam splitter, a lens for focusing this reflected beam near a photodetector such as a photodiode, the above-mentioned analyzer, and a prism for carrying out the above-mentioned tracking error detection method and focus error detection method. It was composed of micro optical elements such as.

(発明が解決しようとする問題点) しかし上記のような微小光学素子は精密な加工を要し、
またピックアップ組立てに際しての相互の位@調整も面
倒であるので、このような光学素子を用いるピックアッ
プは必然的に高価なものとなっていた。さらにこのよう
な構成のピックアップは、大型で重いものとなるので、
読取装置の小型軽量化や、アクセスタイム短縮化の点で
不利なものどなっていた。
(Problem to be solved by the invention) However, the above-mentioned microscopic optical elements require precise processing;
Further, since it is troublesome to adjust the relative positions when assembling the pickup, a pickup using such an optical element has inevitably become expensive. Furthermore, a pickup with this configuration is large and heavy, so
This has disadvantages in terms of making the reading device smaller and lighter and shortening access time.

上記の不具合を解消するため従来より、例えば非球面レ
ンズ等の特殊な光学素子を用いてピックアップの構成を
簡素化する試みも種々なされている。しかしこの種の光
学素子は特に高価であるので、このような素子を用いる
ピックアップは、構成は簡素化されても、コストの点で
は前述のようなピックアップとさほど変わり無いものと
なっている。
In order to solve the above-mentioned problems, various attempts have been made to simplify the configuration of the pickup by using special optical elements such as aspherical lenses. However, since this type of optical element is particularly expensive, a pickup using such an element is not much different from the above-mentioned pickup in terms of cost, even if the structure is simplified.

本発明は上記のような事情に鑑みてなされたものであり
、小型軽量で、しかも極めて安価に形成されつる光磁気
記録媒体用ピックアップを提供することを目的とするも
のである。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and it is an object of the present invention to provide a pickup for a vine magneto-optical recording medium that is small, lightweight, and extremely inexpensively formed.

(問題点を解決するための手段) 本発明の光磁気記録媒体用ピックアップは、先に述べた
ビームスプリッタ、レンズ、プリズム、検光子などが果
たす作用を、集光性回折格子を備えた1つの光導波路素
子によって得るようにしたものであり、具体的には、 光ディスク等の光磁気記録媒体の表面に直#!偏光した
光ビームを照射する光源と、上記光ビームを光磁気記録
媒体の反射面上で集束させる対物レンズと、光磁気記録
媒体で反射した反射ビームを一表面で受けるような向き
に配置された光導波路とを設け、 上記光導波路の表面の反射ビーム照射位置には、それぞ
れ上記反射ビームをこの先導波路内に入射させる第1.
第2の集光性回折格子を並設し、上記第1.第2の集光
性回折格子は、先導波路を照射する反射ビームの略中心
を通りかつ該光導波路の表面上をトラッキング方向に略
直角に延びる軸をはさんで並び、それぞれがTEあるい
は1M導波モードを励振し、光導波路内を導波する反射
ビームを上記軸をはさんで互いに離れた位置に各々集束
させるように形成し、 また上記光導波路の表面あるいは端面に、上記第1およ
び第2の集光性回折格子により集束された各反射ビーム
をそれぞれ検出する第1および第2の光検出器を取り付
け、 さらに上記第1および第2の光検出器の出力に基づいて
トラッキングエラーとフォーカスエラー検出を行なうエ
ラー検出回路と、 上記第1および/または第2の光検出器の出力に基づい
て記録情報を検出する光磁気信号検出回路とを設けてな
るものである。
(Means for Solving the Problems) The pickup for magneto-optical recording media of the present invention performs the functions of the beam splitter, lens, prism, analyzer, etc. described above using a single device equipped with a light-converging diffraction grating. It is obtained by using an optical waveguide device, and specifically, it is directly applied to the surface of a magneto-optical recording medium such as an optical disk. a light source that emits a polarized light beam; an objective lens that focuses the light beam on the reflective surface of the magneto-optical recording medium; an optical waveguide, and at each reflected beam irradiation position on the surface of the optical waveguide, a first waveguide for making the reflected beam enter the leading waveguide.
A second condensing diffraction grating is arranged in parallel, and the first. The second light-collecting diffraction gratings are arranged with an axis passing through the approximate center of the reflected beam that irradiates the leading waveguide and extending approximately perpendicularly to the tracking direction on the surface of the optical waveguide, and each of them is a TE or a 1M guiding grating. The wave mode is excited and reflected beams guided in the optical waveguide are formed so as to be focused at mutually distant positions across the axis, and the first and second beams are formed on the surface or end face of the optical waveguide. A first and a second photodetector are installed to respectively detect the reflected beams focused by the two converging diffraction gratings, and the tracking error and focus are determined based on the outputs of the first and second photodetectors. The apparatus is provided with an error detection circuit that performs error detection, and a magneto-optical signal detection circuit that detects recorded information based on the outputs of the first and/or second photodetectors.

上記集光性回折格子(FGC:FocusinQ  G
rating  Coupler)は、曲りとチャープ
、または曲りを有する回折格子であり、光導波路外の空
間光波面と光導波路内を進行する導波光の波面とを直接
結合し、また光導波路内において反射ビームを集束させ
る。
The above-mentioned light focusing diffraction grating (FGC: FocusinQ G
A rating coupler is a diffraction grating that has bends and chirps, or curves, and directly couples the spatial light wavefront outside the optical waveguide with the wavefront of the guided light traveling within the optical waveguide, and also couples the reflected beam within the optical waveguide. Focus.

(作  用) 光磁気記録媒体からの反射ビームを上記の集光性回折格
子によって光導波路内に取り込むことにより、咳反射ビ
ームは光源から光磁気記録媒体に向かう光ビームの光路
から分離される。これは前述のビームスプリッタが果た
す作用と同じである。
(Function) By capturing the reflected beam from the magneto-optical recording medium into the optical waveguide by the above-mentioned condensing diffraction grating, the reflected beam is separated from the optical path of the light beam traveling from the light source toward the magneto-optical recording medium. This is the same effect as the beam splitter described above.

また集光性回折格子は光導波路内で反射ビームを集束さ
せるが、これは前述のレンズが果たす作用と同じである
。さらに第1および第2の集光性回折格子が2個前述の
ような位置に配されているから、光磁気記録媒体からの
反射ビームは互いにトラッキング方向に分離されて21
1所で集束する。
The focusing grating also focuses the reflected beam within the optical waveguide, similar to the function performed by the lens described above. Furthermore, since the two first and second light-converging diffraction gratings are arranged at the positions described above, the reflected beams from the magneto-optical recording medium are separated from each other in the tracking direction, and the beams are separated from each other in the tracking direction.
Focus in one place.

これは前述のプリズムが果たす作用と同じで−ある。This is the same effect as the prism described above.

第19竿2の集光性回折格子によって光導波路内に取り
込まれる反射ビームの光量は、反射ビームの偏光の向き
に応じて変化する。したがって第1または第2の光検出
器、あるいはこれら双方の出力を測定すれば、反射ビー
ムの偏光の向き、すなわち光磁気記録媒体の記録情報が
読み取れることになる。このように第1.第2の集光性
回折格子により、前述の検光子が果たす作用が得られる
The amount of light of the reflected beam taken into the optical waveguide by the condensing diffraction grating of the 19th rod 2 changes depending on the polarization direction of the reflected beam. Therefore, by measuring the output of the first or second photodetector, or both, it is possible to read the polarization direction of the reflected beam, that is, the information recorded on the magneto-optical recording medium. In this way, the first. The second light-collecting diffraction grating provides the effect of the analyzer described above.

特に第1.第2の集光性回折格子を、共通の導波モード
を励振するように形成しておけば、第1゜第2の光検出
器の出力の和は、トラッキングエラー、フォーカスエラ
ーに係らず一定になる。したがって、この出力の和に基
づけば光磁気記録媒体の記録情報がより正確に読み取れ
ることになる。
Especially the first one. If the second light-collecting diffraction grating is formed to excite a common waveguide mode, the sum of the outputs of the first and second photodetectors will be constant regardless of tracking error or focus error. become. Therefore, based on the sum of these outputs, recorded information on the magneto-optical recording medium can be read more accurately.

(実 施 例) 以下、図面に示す実施例に基づいて本発明の詳細な説明
する。
(Example) Hereinafter, the present invention will be described in detail based on an example shown in the drawings.

第1図は本発明の第1実施例による光磁気記録媒体用ピ
ックアップを示すものであり、第2図はこのピックアッ
プの光導波路の平面形状と電気回路を示すものである。
FIG. 1 shows a pickup for a magneto-optical recording medium according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 2 shows a planar shape of an optical waveguide and an electric circuit of this pickup.

第1図に示されるようにこのピックアップは、紙面に略
垂直な方向に延びるOラド11.11に沿って移動自在
とされたブロック12を有している。このブロック12
は所定のグループに沿った信号列(トラック)に追随す
るために、例えば精密送りネジと光学系送りモータ等に
より、上記トラックの方向(ビーム照射位置において矢
印U方向)に直角な方向、あるいはそれに近い方向に移
動されるようになっている。
As shown in FIG. 1, this pickup has a block 12 that is movable along an O-rad 11.11 extending in a direction substantially perpendicular to the plane of the paper. This block 12
In order to follow a signal train (track) along a predetermined group, the signal is moved in a direction perpendicular to the direction of the track (in the direction of arrow U at the beam irradiation position) or in a direction perpendicular to the direction of the track (in the direction of arrow U at the beam irradiation position), for example, using a precision feed screw and an optical system feed motor. It will be moved in the near direction.

上記ブロック12には、光磁気ディスク13の反射面1
4に向けて直S偏光した光ビーム(レーザビーム)15
を発する半導体レーザ16と、該半導体レーザ16から
発せられた発散ビームを平行ビームにするコリメータレ
ンズ17と、平行ビームとされた光ビーム15を上記反
射面14上で集束させる対物レンズ18とが取り付けら
れている。この対物レンズ18は後に詳述するトラッキ
ング制御、フォーカス制御のために、トラッキング方向
(矢印U方向に直角な方向)およびフォーカス方向(矢
印■方向)に移動可能に支持され、トラッキングコイル
19、フォーカスコイル20によりそれぞれ上記の方向
に移動されるようになっている。
The block 12 includes a reflective surface 1 of the magneto-optical disk 13.
A light beam (laser beam) 15 that is directly S-polarized toward 4
A semiconductor laser 16 that emits light, a collimator lens 17 that converts the diverging beam emitted from the semiconductor laser 16 into a parallel beam, and an objective lens 18 that focuses the parallel light beam 15 on the reflective surface 14 are attached. It is being This objective lens 18 is supported so as to be movable in the tracking direction (direction perpendicular to the direction of arrow U) and the focus direction (direction of arrow ■) for tracking control and focus control, which will be described in detail later. 20, respectively, so as to be moved in the above-mentioned directions.

上記コリメータレンズ17と対物レンズ18との間には
、光磁気ディスク13で反射した反射ビーム15′を表
面22aで受けるような向きにして、光導波路22が配
置されている。この光導波路22は透明な基板23上に
形成されている。また上記反射ビーム15′が照射され
る位置において光導波路22の表面22aには、第1.
第2の集光性回折格子(以下、FGCと称する>31.
32が相隣接して設けられている。
An optical waveguide 22 is disposed between the collimator lens 17 and the objective lens 18, oriented so that the reflected beam 15' reflected by the magneto-optical disk 13 is received by the surface 22a. This optical waveguide 22 is formed on a transparent substrate 23. Moreover, a first .
A second light-collecting diffraction grating (hereinafter referred to as FGC)>31.
32 are provided adjacent to each other.

これらのFGC31,32は曲りとチャープ、あるいは
曲りを有する回折格子であり、それぞれが反射ビーム1
5′を光導波路22内に入射させ、モして光導波路22
内の一点で集束させるように形成されている。第1.第
2のFGC31,32は、前述のトラッキング方向に対
して直角で反射ビーム15′のほぼ中心を通る光導波路
22上の軸(第2図のy軸)をはさんで並設され、また
それぞれがこのy軸をはさんで互いに離れた位置に反射
ビーム15′を集束させるように形成されている。また
第1.第2のFGC31,32は、第2図図示のX軸方
向に直線偏光したS波を受けてTE導波モードを励振す
るようにそれぞれ格子ピッチが設定されている。なおF
GC31,32は、光導波路22の表面22aとは反対
側の表面(第1図中の下表面)に設けられてもよい。
These FGCs 31 and 32 are curved and chirped, or curved diffraction gratings, and each
5' into the optical waveguide 22, and
It is formed to focus at one point within. 1st. The second FGCs 31 and 32 are arranged in parallel with each other across an axis (y-axis in FIG. 2) on the optical waveguide 22 that is perpendicular to the above-mentioned tracking direction and passes approximately through the center of the reflected beam 15'. are formed so as to focus the reflected beams 15' at positions separated from each other across the y-axis. Also number 1. The grating pitch of each of the second FGCs 31 and 32 is set so as to receive the S wave linearly polarized in the X-axis direction shown in FIG. 2 and excite the TE waveguide mode. Furthermore, F
The GCs 31 and 32 may be provided on the surface of the optical waveguide 22 opposite to the surface 22a (the lower surface in FIG. 1).

上記のような作用を果たすFGC31,32のm番目の
格子パターン形状式は、光導波路22上の位置を上記y
軸とX軸(トラッキング方向軸)とによって規定して、
FGC31,32によるビーム集束位置の座標をそれぞ
れ(−FX、Fy)、(Fx。
The m-th lattice pattern shape formula of the FGCs 31 and 32 that performs the above-mentioned function is such that the position on the optical waveguide 22 is
defined by the axis and the X axis (tracking direction axis),
The coordinates of the beam focus positions by the FGCs 31 and 32 are (-FX, Fy) and (Fx, respectively).

Fy)とし、反射ビーム15′の光波長をλ、該ビーム
15′のFGC31,32への入射角をθ、TEモード
光に対する光導波路22の実効屈折率をN とすると、 y 5inO十NT[(x王Fx )2+ (y−Fy
 )”=mλ+const。
Fy), the optical wavelength of the reflected beam 15' is λ, the incident angle of the beam 15' to the FGCs 31 and 32 is θ, and the effective refractive index of the optical waveguide 22 for TE mode light is N, then y 5inO×NT[ (x King Fx)2+ (y-Fy
)”=mλ+const.

[複号はFGC31に関して士、FGC32に関して−
1で与えられる。
[Double numbers are for FGC31 and - for FGC32.
It is given by 1.

そして光導波路22は第2図に示すように、反射ビーム
15′の直線偏光の向き(矢印P方向)に対して、X軸
が45°傾くような向きに配置されている。なお反射ビ
ーム15′の直線偏光の向きは、光磁気ディスク13に
おける磁化の向きに対応して回転するので、本例におい
ては、磁化されていない部分で反射した反射ビーム15
′の直線偏光の向きを基準とし、この向きとX軸とが4
5°の角度をなすようにしている。
As shown in FIG. 2, the optical waveguide 22 is arranged such that the X-axis is inclined at 45 degrees with respect to the direction of linearly polarized light of the reflected beam 15' (direction of arrow P). Note that the direction of the linearly polarized light of the reflected beam 15' rotates in accordance with the direction of magnetization in the magneto-optical disk 13, so in this example, the direction of the linearly polarized light of the reflected beam 15' is
′ is the direction of linearly polarized light, and this direction and the X axis are 4
They form an angle of 5°.

上記のような先導波路22は例えばパイレックスガラス
製基板23上に#7059ガラスをスパッタして形成す
ることができるし、一方FGC31,32は、光導波路
22上に5i−NをP C′V Dにて製膜し、電子ビ
ーム直接描画によりレジストパターンを形成した後、R
IEで5i−N膜に転写する、等の方法によって形成す
ることができる。ちなみに、上記の材料で光導波路22
(厚さ0.76μm)、およびFGC31,32を形成
した場合、前述の各形状式で格子パターンが規定される
FGC31,32(TEモード励振とする)の中心周期
は0.782μmとなる。
The guide waveguide 22 as described above can be formed by sputtering #7059 glass on the Pyrex glass substrate 23, for example, while the FGCs 31 and 32 can be formed by sputtering 5i-N on the optical waveguide 22. After forming a resist pattern by electron beam direct writing, R
It can be formed by a method such as transferring to a 5i-N film using IE. By the way, the optical waveguide 22 is made of the above material.
(thickness: 0.76 μm), and when the FGCs 31 and 32 are formed, the center period of the FGCs 31 and 32 (TE mode excitation) whose grating patterns are defined by each of the above-mentioned shape formulas is 0.782 μm.

一方光導波路22の表面22aには、前述のようにして
集束された反射ビーム15′をそれぞれ検出するように
、第1の光検出器24.第2の光検出器25が設けられ
ている。第1の光検出器24は一例として前記y軸と平
行に延びるギャップで2分割されたフォトダイオードP
D1.PD2からなり、また第2の光検出器25も同様
のフォトダイオードPD3.PD4かうなる。これらの
フォトダイオードPD1〜4は一例として第3図に詳し
く示すように、光導波路22上に下部透明電極27a、
l膜状光導電性材料27b、および上部電極27cをこ
の順に装荷して形成されたものである。そして下部透明
電極27aと上部電極27cとの間には、電源27dか
ら所定の電界が印加される。この構成のフォトダイオー
ドPD1〜4においては、光導電性材料27bが光照射
を受けるとその光量に応じた光電流が流れる。したがっ
て、端子27eにおける電位変化を検出すれば、光導電
性材料27bの受光光量を検出することができる。なお
薄膜状光導電性材料27bGt、例えハlV族の3i、
Ge、IV族の3e。
On the other hand, on the surface 22a of the optical waveguide 22, first photodetectors 24. A second photodetector 25 is provided. The first photodetector 24 is, for example, a photodiode P divided into two by a gap extending parallel to the y-axis.
D1. PD2, and the second photodetector 25 is also a similar photodiode PD3. PD4 roars. These photodiodes PD1 to PD4 have a lower transparent electrode 27a on the optical waveguide 22, as shown in detail in FIG.
It is formed by loading a film-like photoconductive material 27b and an upper electrode 27c in this order. A predetermined electric field is applied from a power source 27d between the lower transparent electrode 27a and the upper electrode 27c. In the photodiodes PD1 to PD4 having this configuration, when the photoconductive material 27b is irradiated with light, a photocurrent flows according to the amount of light. Therefore, by detecting the potential change at the terminal 27e, the amount of light received by the photoconductive material 27b can be detected. Note that the thin film photoconductive material 27bGt, for example 3i of the HalV group,
Ge, 3e of group IV.

■−v族のGaAs1n−VI族のZnO1CdS11
V−VI族のPbS等のエピタキシャル膜、多結晶体膜
、非晶質膜等から形成可能であり、また非晶質カルコゲ
ン膜(a−8e1a−8e−AS−Teなど)、非晶質
Siを主体とし水素および/または77素を含む膜(a
−8i : H,a−8iGe:H,a−8iC:Hな
ど)に■族、V族の原子<B、Pなど)を添加すること
によりpn接合、p−1−n接合を得てフォトダイオー
ドを形成する膜、前記非晶質3iを主体とし水素および
/またはフッ素を含む膜とショットキー接合を構成する
電極を用いてフォトダイオードを形成する膜等から形成
することもできる。
■-V group GaAs1n-VI group ZnO1CdS11
It can be formed from epitaxial films such as V-VI group PbS, polycrystalline films, amorphous films, etc. It can also be formed from amorphous chalcogen films (a-8e1a-8e-AS-Te, etc.), amorphous Si A film containing mainly hydrogen and/or 77 elements (a
-8i: H, a-8iGe:H, a-8iC:H, etc.) by adding group II, group V atoms < B, P, etc.) to obtain p-n junctions and p-1-n junctions, and photo It can also be formed from a film that forms a diode, a film that forms a photodiode using a film that is mainly composed of the amorphous material 3i and contains hydrogen and/or fluorine, and an electrode that forms a Schottky junction.

第2図に示すようにフォトダイオードPD1゜PO2の
出力は加算アンプ34で加算され、またフォトダイオー
ドPD3.PD4の出力も同様に加算アンプ37で加算
され、そして第1.第2の光検出器24.25それぞれ
の外側のフォトダイオードP01、PO4の出力が加算
アンプ35で加算され、内側のフォトダイオードPD2
.PD3の出力が加算アンプ36で加算される。また上
記加算アンプ34、37の出力は加算アンプ38および
差動アンプ40に入力され、そして加算アンプ35.3
6の出力は差動アンプ39に入力される。上記加算アン
138の出力は、差動アンプ41に入力される。それと
ともにこの差動アンプ41には、基準信号3refが入
力され、該アンプ41はこれらの入力の差に応じた出力
S1を発する。この差動アンプ41の出力S1、差動ア
ンプ39の出力S2、および差動アンプ40の出力S3
はそれぞれ、読取回路42、フォーカスコイル駆動制御
回路43およ゛びトラッキングコイル駆動制御回路44
に入力される。
As shown in FIG. 2, the outputs of the photodiodes PD1°PO2 are summed by the summing amplifier 34, and the outputs of the photodiodes PD3. The outputs of PD4 are similarly added by the adding amplifier 37, and the outputs of the first . The outputs of the outer photodiodes P01 and PO4 of each of the second photodetectors 24 and 25 are added by the summing amplifier 35, and the outputs of the inner photodiode PD2
.. The outputs of the PDs 3 are added by an adding amplifier 36. Further, the outputs of the summing amplifiers 34 and 37 are inputted to an summing amplifier 38 and a differential amplifier 40, and the summing amplifiers 35.3
The output of 6 is input to a differential amplifier 39. The output of the adder 138 is input to the differential amplifier 41. At the same time, the reference signal 3ref is input to the differential amplifier 41, and the amplifier 41 generates an output S1 according to the difference between these inputs. The output S1 of the differential amplifier 41, the output S2 of the differential amplifier 39, and the output S3 of the differential amplifier 40
are a reading circuit 42, a focus coil drive control circuit 43, and a tracking coil drive control circuit 44, respectively.
is input.

次に、上記構成のピックアップの作動について説明する
。半導体レーザ16から発せられ平行ビームとされた光
ビーム(レーザビーム)15は基板23および光導波路
22を透過し、光磁気ディスク13の反射面14上で合
焦するように対物レンズ18によって集束される。光磁
気ディスク13は図示しない回転駆動手段により、上記
光ビーム15の照射位置においてトラックが矢印U方向
に移動するように回転される。1周知の通り上記トラッ
クは、磁化の向き(811図において反射面14の上側
に矢印で示す)の形で記録された画像信号や音声信号等
の列であり、光磁気ディスク13からの反射ビーム15
′の直線偏光の向きは、磁化されていない部分からの反
射ビーム15′の直線偏光の向きと比べると、磁化の向
きに応じて互いに反対方向に回転する。つまりある方向
に磁化している部分からの反射ビーム15′の偏光の向
きは、第2図の矢印Pで示す偏光方向−から時計方向に
回転し、それとは反対方向に磁化している部分からの反
射ビーム15′の偏光の向きは、上記矢印Pで示す偏光
方向から反時計方向に回転する。
Next, the operation of the pickup configured as described above will be explained. A parallel light beam (laser beam) 15 emitted from the semiconductor laser 16 passes through the substrate 23 and the optical waveguide 22, and is focused by the objective lens 18 so as to be focused on the reflective surface 14 of the magneto-optical disk 13. Ru. The magneto-optical disk 13 is rotated by a rotation drive means (not shown) so that the track moves in the direction of arrow U at the irradiation position of the light beam 15. 1. As is well known, the track is a row of image signals, audio signals, etc. recorded in the form of magnetization directions (indicated by arrows above the reflective surface 14 in FIG. 15
The directions of the linearly polarized light of ' are rotated in opposite directions depending on the direction of magnetization compared to the direction of the linearly polarized light of the reflected beam 15' from the unmagnetized part. In other words, the polarization direction of the reflected beam 15' from the part magnetized in a certain direction rotates clockwise from the polarization direction - indicated by arrow P in FIG. 2, and from the part magnetized in the opposite direction. The polarization direction of the reflected beam 15' is rotated counterclockwise from the polarization direction indicated by the above arrow P.

この反射ビーム15′は対物レンズ18を通過し、FG
C31,32によって光導°波路22内に取り込まれる
。該光導波路22内を導波する反射ビーム15′は、F
GC31,32それぞれのビーム集束作用により、y軸
をはさんだ2点で集束するようになる。ここで、先に述
べたように第1.第2のFGC31,32は反射ビーム
15′のS偏光成分(第1図において紙面に垂直な電界
を持つ偏光成分)と結合しTE導波モードを励振するよ
うに形成され、第2図の矢印Eで示す方向の電界ベクト
ルを有する光を光導波路22内において導波させる。し
たがって、反射ビーム15′の直線偏光の向きが矢印P
で示す方向よりも時計方向に回転すれば、第1.第2の
FGC31,32により光導波路22内に取り込まれる
反射ビーム15′の光量が減少する。反射ビーム15゛
の直線偏光の向きが矢印P方向よりも反時計方向に回転
すれば、上記の逆となる。より詳しく説明すれば、反射
ビーム15′の直線偏光の向きと第2図のX軸がなす角
度をφとすると、FGC31および32によって光導波
路22内に取り込まれる光it1は、第9図に曲線■で
示すようにCO32φに比例して変化する。したがって
差動アンプ41に入力される基準信号5refを、角度
φが45°のときの光ff1Po(第9図参照)に対応
する値に設定しておけば、反射ビーム15′の直線偏光
の向きが第2図の矢印Pで示す方向より時計方向に回転
しているときは差動アンプ41の出力を−(マイナス)
とし、反対に反時計方向に回転しているときは差動アン
プ41の出力を+(プラス)とすることができる。こう
して差動アンプ41の出力S1を判別することにより、
光磁気ディスク13上の磁化の向き、つまり記録情報を
読み取ることができる。
This reflected beam 15' passes through the objective lens 18 and
The light is taken into the optical waveguide 22 by C31 and C32. The reflected beam 15' guided in the optical waveguide 22 is F
Due to the beam focusing action of each of the GCs 31 and 32, the beams are focused at two points across the y-axis. Here, as mentioned earlier, the first. The second FGCs 31 and 32 are formed so as to combine with the S-polarized component of the reflected beam 15' (the polarized component having an electric field perpendicular to the plane of the paper in FIG. 1) to excite the TE waveguide mode, and Light having an electric field vector in the direction E is guided within the optical waveguide 22. Therefore, the direction of the linearly polarized light of the reflected beam 15' is
If the rotation is more clockwise than the direction indicated by , the first rotation will occur. The amount of reflected beam 15' taken into optical waveguide 22 by the second FGCs 31 and 32 is reduced. If the direction of the linearly polarized light of the reflected beam 15' is rotated counterclockwise with respect to the direction of arrow P, the above will be reversed. To explain in more detail, if the angle between the direction of the linearly polarized light of the reflected beam 15' and the X axis in FIG. As shown by (2), it changes in proportion to CO32φ. Therefore, if the reference signal 5ref input to the differential amplifier 41 is set to a value corresponding to the light ff1Po (see FIG. 9) when the angle φ is 45°, the direction of the linearly polarized light of the reflected beam 15' is rotating clockwise from the direction indicated by arrow P in Fig. 2, the output of the differential amplifier 41 is - (minus).
On the other hand, when the rotation is counterclockwise, the output of the differential amplifier 41 can be set to + (plus). By determining the output S1 of the differential amplifier 41 in this way,
The direction of magnetization on the magneto-optical disk 13, that is, the recorded information can be read.

前記第9図から明らかなように、角度φの変化幅が一定
ならば、φ=45°を変化の中心としたときが光量Is
の変化量が最大となり、差動出力S1も最大となる。し
たがって、光磁気ディスク13上の磁化の向きの違いに
よる反射ビーム15′の直線偏光面回転角(カー回転角
)が、極めて小さいものであっても〈一般に0−13〜
0.5°程度)、この偏光面の回転を精度良く検出可能
となる。しかし、光検出器24.25の検出光量すなわ
ちそれらの出力の和は、偏光角φがO′″のとき最大と
なるから、差動出力S1のS/Nの点から考えれば、偏
光角φの変化中心点を上記45゛よりもさらに小さい角
度(例えば15°等〉に設定するのが好ましい。
As is clear from FIG. 9, if the range of change in angle φ is constant, the light amount Is is when the center of change is at φ=45°.
The amount of change in is the maximum, and the differential output S1 is also the maximum. Therefore, even if the rotation angle (Kerr rotation angle) of the linear polarization plane of the reflected beam 15' due to the difference in the direction of magnetization on the magneto-optical disk 13 is extremely small, <generally 0-13~
(approximately 0.5°), this rotation of the plane of polarization can be detected with high precision. However, since the amount of light detected by the photodetectors 24 and 25, that is, the sum of their outputs, is maximum when the polarization angle φ is O''', considering the S/N of the differential output S1, the polarization angle φ It is preferable to set the center point of change at an angle smaller than the above-mentioned 45° (for example, 15°, etc.).

なお上記実施例では、第1および第2のF G C31
、32がともにTE導波モードをrdJ振するように形
成されているが、これらはTM導波モードを励起するよ
うに形成されてもよい。その場合、先導波路22内に取
り込まれる光量12は、第9図に曲線■で示すように、
sin 2φに比例して変化する。
Note that in the above embodiment, the first and second F G C31
, 32 are both formed to excite the TE waveguide mode, but they may also be formed to excite the TM waveguide mode. In that case, the amount of light 12 taken into the leading waveguide 22 is as shown by the curve ■ in FIG.
It changes in proportion to sin 2φ.

このようにしても、光fJ I 2つまり加算アンプ3
8の出力が偏光角φに応じて変化するから、上記と同球
にして記録情報を読取り可能となる。
Even if this is done, the optical fJ I 2, that is, the addition amplifier 3
Since the output of 8 changes according to the polarization angle φ, it becomes possible to read recorded information using the same sphere as above.

また上記例においては、第1および第2の光検出器24
.25の出力を加算した信号に基づいて信号読取りを行
なうようにしているが、光検出器24゜25の一方の出
力信号に基づいて信号読取りを行なうことも可能である
。そのようにする場合は、第1、第2のFGC31,3
2が互いに異なる導波モードを励振するようにしてもよ
い。しかしその場合は、トラッキングエラーによって光
検出器24または25の出力が変動するので、この変動
によ、る詰、号誤検出を防止するためには上記実施例に
おけるようにするのが好ましい。
Further, in the above example, the first and second photodetectors 24
.. Although the signal is read based on the signal obtained by adding the outputs of the photodetectors 24 and 25, it is also possible to read the signal based on the output signal of one of the photodetectors 24 and 25. When doing so, the first and second FGC31, 3
2 may excite mutually different waveguide modes. However, in that case, the output of the photodetector 24 or 25 fluctuates due to the tracking error, so it is preferable to use the method described in the above embodiment in order to prevent errors in detection due to this fluctuation.

ブロック12は先に述べたように光学系送りモータの駆
動によって矢印U方向と直角な方向、あるいはそれに近
い方向に送られ、それにより光磁気ディスク13上の光
ビーム15の照射位置(ディスク径方向位置)が変えら
れて、記録信号が連続的に読み取られる。ここで上記光
ビーム15は、所定の信号列(トラック)の中心に正し
く照射されなければならない。以下、このように光ビー
ム15の照射位置を正しく維持する制御、すなわちトラ
ッキング制御について説明する。反射ビーム15′の中
心がちょうどFGC31とFGC32との間に位置する
とき、第1の光検出器24(フォトダイオードPD1と
PO2>によって検出される光量と、第2の光検出器2
5(フォトダイオードP′D2とPO2)によって検出
される光量とは一致する。したがってこの場合は差動゛
アンプ40の出力S3はO(ゼロ)となる。一方光ビー
ム15の照射位置が不正になって、反射ビーム15′の
光強度分布が第2図中上方側に変位すると、第1の光検
出器24の検出光量が第2の光検出器25の検出光量を
上回る。したがりて差動アンプ40の出力S3は+(プ
ラス)となる。
As described above, the block 12 is sent in a direction perpendicular to the direction of the arrow U or in a direction close to it by the drive of the optical system feed motor. position) is changed and the recorded signal is read continuously. Here, the light beam 15 must be correctly irradiated onto the center of a predetermined signal train (track). Hereinafter, control for maintaining the correct irradiation position of the light beam 15 in this manner, ie, tracking control, will be described. When the center of the reflected beam 15' is located exactly between the FGC 31 and the FGC 32, the amount of light detected by the first photodetector 24 (photodiodes PD1 and PO2>) and the second photodetector 2
5 (photodiodes P'D2 and PO2) coincide with each other. Therefore, in this case, the output S3 of the differential amplifier 40 becomes O (zero). On the other hand, if the irradiation position of the light beam 15 becomes incorrect and the light intensity distribution of the reflected beam 15' shifts upward in FIG. exceeds the detected light amount. Therefore, the output S3 of the differential amplifier 40 becomes + (plus).

反対に反射ビーム15゛の光強度分布が第2図中下方側
に変位すると、差動アンプ40の出力S3は−(マイナ
ス)となる。つまり差動アンプ40の出力S3は、トラ
ッキングエラーの方向(第2図の矢Ep x方向)を示
すものとなる。この出力S3はトラッキングエラー信号
としてトラッキングコイル駆動制御回路44に送られる
。なおこのようにフォトダイオードPD1〜4の出力を
処理してトラッキングエラーを検出する方法は、プッシ
ュプル法として従来から確立されているものである。ト
ラッキングコイル駆動制御回路44は上記トラッキング
エラー信号S3を受け、該信号S3が示すトラッキング
エラーの方向に応じた電流1tをトラッキングコイル1
9に供給し、このトラッキングエラーが解消される方向
に対物レンズ18を移動させる。
On the other hand, when the light intensity distribution of the reflected beam 15' shifts downward in FIG. 2, the output S3 of the differential amplifier 40 becomes - (minus). In other words, the output S3 of the differential amplifier 40 indicates the direction of the tracking error (arrow Ep x direction in FIG. 2). This output S3 is sent to the tracking coil drive control circuit 44 as a tracking error signal. Note that the method of detecting tracking errors by processing the outputs of the photodiodes PD1 to PD4 in this manner has been conventionally established as a push-pull method. The tracking coil drive control circuit 44 receives the tracking error signal S3 and supplies a current 1t to the tracking coil 1 according to the direction of the tracking error indicated by the signal S3.
9 and moves the objective lens 18 in the direction in which this tracking error is eliminated.

それにより光ビーム15は、常に信号列の中心に正しく
照射されるようになる。
As a result, the light beam 15 is always correctly irradiated onto the center of the signal train.

次にフォーカス制御、すなわち光ビーム15を光磁気デ
ィスク13の反射面14上に正しく集束させる制御につ
いて説明する。光ビーム15が光磁気ディスク13の反
射面14上で合焦しているとき、FGC31により集束
される反射ビーム15′はフォトダイオードPD1とP
O2との中間位置で集束する。
Next, focus control, that is, control for correctly focusing the light beam 15 on the reflective surface 14 of the magneto-optical disk 13 will be explained. When the light beam 15 is focused on the reflective surface 14 of the magneto-optical disk 13, the reflected beam 15' focused by the FGC 31 is reflected by the photodiodes PD1 and P.
Focuses at an intermediate position with O2.

このとき同様にFGC32により集束される反射ビーム
15′は、フォトダイオードPD3とPO2との中間位
置で集束する。したがって加算アンプ35の出力と加算
アンプ36の出力は等しくなり、差動アンプ39の出力
S2は0(ゼロ)となる。一方光ビーム15が上記反射
面14よりも近い位置で集束しているときは、FGC3
1,32に入射する反射ビーム15′は収束ビームとな
り、光検出器24.25の各々における反射ビーム15
′の照射位置はそれぞれ内側(フォトダイオードPD2
側およびフォトダイオードPD3側)に変位する。した
がってこの場合は加算アンプ35の出力が加算アンプ3
6の出力を下回り、差動アンプ39の出力S2は−(マ
イナス)となる。反対に光ビーム15が反射面14より
も遠い位置で集束しているときは、FGC31,32に
入射する反射ビーム15′は発散ビームとなり、光検出
器24.25の各々における反射ビーム15′の照射位
置はそれぞれ外側(フォトダイオードPDI側およびフ
ォトダイオードPD4側)に変位する。
At this time, the reflected beam 15', which is similarly focused by the FGC 32, is focused at an intermediate position between the photodiodes PD3 and PO2. Therefore, the output of the summing amplifier 35 and the output of the summing amplifier 36 become equal, and the output S2 of the differential amplifier 39 becomes 0 (zero). On the other hand, when the light beam 15 is focused at a position closer than the reflecting surface 14, the FGC 3
The reflected beam 15' incident on each of the photodetectors 24.
’ irradiation position is inside (photodiode PD2
side and photodiode PD3 side). Therefore, in this case, the output of the summing amplifier 35 is the output of the summing amplifier 3
6, and the output S2 of the differential amplifier 39 becomes - (minus). On the other hand, when the light beam 15 is focused at a position farther than the reflecting surface 14, the reflected beam 15' incident on the FGCs 31 and 32 becomes a diverging beam, and the reflected beam 15' at each of the photodetectors 24 and 25 becomes a divergent beam. The irradiation positions are respectively displaced to the outside (to the photodiode PDI side and the photodiode PD4 side).

したがってこの場合は加算アンプ35の出力が加算アン
プ36の出力を上回り、差動アンプ39の出力S2は+
〈プラス)となる。このようにq 17Jアンプ39の
出力S2は、フォーカスエラーの方向を示すものとなる
。この出力S2は、フォーカスエラー信号としてフォー
カスコイル駆動制御回路43に送られる。なおこのよう
にフォトダイオードPD1〜4の出力を処理してフォー
カスエラーを検出する方法は、従来より、フーコープリ
ズムを用いるフーコー法において実行されているもので
ある。
Therefore, in this case, the output of the summing amplifier 35 exceeds the output of the summing amplifier 36, and the output S2 of the differential amplifier 39 is +
It becomes 〈plus〉. In this way, the output S2 of the q17J amplifier 39 indicates the direction of the focus error. This output S2 is sent to the focus coil drive control circuit 43 as a focus error signal. Note that the method of detecting focus errors by processing the outputs of the photodiodes PD1 to PD4 in this way has been conventionally implemented in the Foucault method using a Foucault prism.

フォーカスコイル駆動制御回路43は上記フォーカスエ
ラー信号S2を受け、該信号S2が示すフォーカスエラ
ーの方向に応じた電流1fをフォーカスコイル20に供
給し、このフォーカスエラーが解消される方向に対物レ
ンズ18を移動させる。それにより光ビーム15は、常
に光磁気ディスク13の反射面14上で正しく集束する
ようになる。
The focus coil drive control circuit 43 receives the focus error signal S2, supplies a current 1f to the focus coil 20 according to the direction of the focus error indicated by the signal S2, and moves the objective lens 18 in the direction in which the focus error is eliminated. move it. Thereby, the light beam 15 is always correctly focused on the reflective surface 14 of the magneto-optical disk 13.

なお、半導体レーザ16から発せられた光ビーム15は
、コリメータレンズ17から対物レンズ18に向かう際
にFGC31,32によりて一部が光導波路22に取り
込まれるので、この光ビーム15が光導波路22の端面
22cで反射して光検出器24.25に受光されること
がないように、上記端面22cには光吸収部材45を貼
着したり、あるいはこの端面22cを粗面加工しておく
のが望ましい。
Note that a portion of the light beam 15 emitted from the semiconductor laser 16 is taken into the optical waveguide 22 by the FGCs 31 and 32 when heading from the collimator lens 17 to the objective lens 18. To prevent light from being reflected by the end surface 22c and received by the photodetector 24.25, it is recommended to attach a light absorbing member 45 to the end surface 22c or to roughen the end surface 22c. desirable.

またこの実施例において2つのFGC31,32は、そ
れぞれの格子が連続して互いに密接した状態に形成され
ているが、これらのFGC31,32は少しの距離をお
いて互いに独立に形成されてもよい。
Further, in this embodiment, the two FGCs 31 and 32 are formed so that their respective lattices are continuous and close to each other, but these FGCs 31 and 32 may be formed independently from each other with a short distance between them. .

これは以下に説明する実施例においても同様である。This also applies to the embodiments described below.

またFGC31,32によってそれぞれ集束される反射
ビーム15′を互いに交差させる、つまり第2図で説明
すればFGC31によるビーム集束位置がy軸の下側に
、FGC32によるビーム集束位置がy軸の上側に位置
するようにFGC31,32を形成しても構わない。
In addition, the reflected beams 15' focused by the FGCs 31 and 32 are made to intersect with each other. In other words, as shown in FIG. The FGCs 31 and 32 may be formed so as to be located at the same position.

次に第4図を参照して本発明の第2実施例について説明
する。なおこの第4図において、第1図中の要素と同等
の要素には同番号を付し、それらについては必要の無い
限り説明を省く(以下、同様)。この第2実施例のピッ
クアップにおいては、第1図の装置において設けられた
コリメータレンズ17が省かれ、光磁気ディスク13か
らの反射ビーム15′は収束ビームの状態で光導波路2
2内に取り込まれるようになっている。この場合も、光
導波路22内において集束する2系統の反射ビーム15
′を、第2図図示のような第1.第2の光検出器24゜
25で検出し、それらの検出信号を前述のように処理す
れば、記録信号、トラッキングエラー、フォーカスエラ
ーを検出できる。
Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. Note that in FIG. 4, elements that are equivalent to those in FIG. 1 are given the same numbers, and explanations thereof will be omitted unless necessary (the same applies hereinafter). In the pickup of this second embodiment, the collimator lens 17 provided in the apparatus shown in FIG.
It is designed to be incorporated into 2. In this case as well, the two systems of reflected beams 15 converged within the optical waveguide 22
' as shown in FIG. By detecting with the second photodetector 24 and 25 and processing the detection signals as described above, the recording signal, tracking error, and focus error can be detected.

この実施例におけるFGC31,32のm番目の格子パ
ターン形状式は、光導波路22上の位置、およびFGC
31,32によるビーム集束位置の座標を第1実施例に
おけるのと同様に規定し、反射ビーム15′の光波長を
λ、該ビーム15′の中心軸と光導波路22がなす角を
θ、ビーム発散点からFGC31゜32までのビーム中
心軸の距離をL(第4図参照)、TEモード光に対する
光導波路22の実効屈折率をN丁Eとすると、 +mλ+const。
The m-th grating pattern shape formula of FGCs 31 and 32 in this example is based on the position on the optical waveguide 22 and the FGC
The coordinates of the beam focusing position by 31 and 32 are defined in the same way as in the first embodiment, the optical wavelength of the reflected beam 15' is λ, the angle between the central axis of the beam 15' and the optical waveguide 22 is θ, and the beam If the distance of the beam center axis from the divergence point to FGC 31°32 is L (see Fig. 4), and the effective refractive index of the optical waveguide 22 for TE mode light is Nt E, then +mλ+const.

[複号はFGC31に関して+、FGC32に関して一
部で与えられる。
[Designs are given in + for FGC31 and in part for FGC32.

次に第5図を参照して本発明の第3実施例について説明
する。この第3実施例のピックアップにおいては、基板
50が十分屈折率の大きい材料から形成され、光ビーム
15はこの基板50とバッファ層51の界面で反射して
光磁気ディスク13側に進行するようになっている。な
お、バッファ層51と基板50との間に金属等の反射性
薄膜を設けてもよい。
Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In the pickup of this third embodiment, the substrate 50 is made of a material with a sufficiently high refractive index, and the light beam 15 is reflected at the interface between the substrate 50 and the buffer layer 51 and travels toward the magneto-optical disk 13. It has become. Note that a reflective thin film made of metal or the like may be provided between the buffer layer 51 and the substrate 50.

この場合も光磁気ディスク13からの反射ビーム15゛
は、3つのFGC31,32によって光導波路22内に
取り込まれる。
In this case as well, the reflected beam 15' from the magneto-optical disk 13 is taken into the optical waveguide 22 by the three FGCs 31 and 32.

上記の構成とする場合には、基板50を透明部材から形
成する必要がない。したがってこの場合は基板50を例
えばnタイプの3i基板から形成し、導波している反射
ビーム15′の浸み出し光(エバネッセント光)が上記
基板50内に入射することを防ぐバッファ層51を設け
、第6図図示のようなpタイプSi層52と電極53を
設けてフォトダイオードPD1〜PD4を集積化するこ
とが可能となる。
In the case of the above configuration, it is not necessary to form the substrate 50 from a transparent member. Therefore, in this case, the substrate 50 is formed from, for example, an n-type 3i substrate, and a buffer layer 51 is provided to prevent the evanescent light (evanescent light) of the guided reflected beam 15' from entering the substrate 50. By providing a p-type Si layer 52 and an electrode 53 as shown in FIG. 6, it becomes possible to integrate the photodiodes PD1 to PD4.

このようにして集積化されたフォトダイオードPD1〜
PD4は、高速応答が可能であるので特に好ましい。
Photodiodes PD1~ integrated in this way
PD4 is particularly preferable because it allows high-speed response.

第7図は本発明の第4実施例によるピックアップを示す
ものである。この実施例においては、半導体レーザ16
から発せられた光ビーム15を発散ビームの状態のまま
基板50とバッファ層51の界面において反射させ、光
磁気ディスク13に向けて進行させるようにしている。
FIG. 7 shows a pickup according to a fourth embodiment of the present invention. In this embodiment, the semiconductor laser 16
The light beam 15 emitted from the substrate 50 is reflected as a diverging beam at the interface between the substrate 50 and the buffer layer 51, and is caused to travel toward the magneto-optical disk 13.

次に第8図を参照して本発明の第5実施例について説明
する。この実施例においては、光導波路22と対物レン
ズ18とが1つのヘッド60に固定されて一体化され、
このヘッド60がブロック12に対してトラッキング方
向およびフォーカス方向に移動自在に支持されている。
Next, a fifth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In this embodiment, the optical waveguide 22 and the objective lens 18 are fixed to one head 60 and integrated,
This head 60 is supported by the block 12 so as to be movable in the tracking direction and the focusing direction.

そしてこのヘッド60は、トラッキングコイル19、フ
ォーカスコイル20によって移動される。つまり本例で
はトラッキング制佃、フォーカス制御のために、光導波
路22が対物レンズ18とともに移動される。このよう
にすれば、対物レンズ18のみを移動させる場合のよう
にトラッキング制御によって対物レンズ18が光導波路
22に対してオフセットすることが無くなり、トラッン
グ制御をより精度良く行なえるようになる。
This head 60 is moved by a tracking coil 19 and a focusing coil 20. That is, in this example, the optical waveguide 22 is moved together with the objective lens 18 for tracking control and focus control. In this way, the objective lens 18 will not be offset with respect to the optical waveguide 22 due to tracking control, unlike when only the objective lens 18 is moved, and tracking control can be performed with higher accuracy.

なおこの第8図の例においては、基板50とバッファ層
51の界面で反射した光ビーム15を光磁気ディスク1
3に照射させるようにしているが、上述のように光導波
路22と対物レンズ18を一体的に移動さぜる場合にお
いても、光導波路22を透過した光ビーム15を光磁気
ディスク13に照射させることも可能であるし、また光
ビーム15が発散ビームの状態で光導波路22を透過あ
るいは上記界面で反射するようにしてもよいことは勿論
である。また、半導体レーザ16およびコリメータレン
ズ17もヘッド60に固定して、光導波路22および対
物レンズ18と一体的に移動させることも可能である。
In the example shown in FIG.
However, even when the optical waveguide 22 and the objective lens 18 are moved integrally as described above, the light beam 15 that has passed through the optical waveguide 22 is irradiated onto the magneto-optical disk 13. Of course, the light beam 15 may be transmitted through the optical waveguide 22 in a diverging beam state or may be reflected at the interface. Further, it is also possible to fix the semiconductor laser 16 and the collimator lens 17 to the head 60 and move them together with the optical waveguide 22 and the objective lens 18.

以上説明した5つの実施例においては、第1゜第2の光
検出器24.25が光導波路22の表面22aに装荷あ
るいは集積化されているが、これらの光検出器24.2
5はその他の形態で光導波路22に取り付けることも可
能である。すなわち例えば第10図に示すように、光導
波路22の表面22aに近接させて光検出器24.25
を配置することもできる。またこのように光導波路22
の表面22aに光検出器24.25を近接させて配置す
る場合、第11図図示のように、光導波路22の表面2
2aに反射ビーム15′(導波光)を光導波路22外に
出射させる回折格子80を設けて、光検出器24.25
の受光効率を高めることも可能である。さらに第12図
図示のように、光導波路22の端面22bを研磨した上
で該端面22bに光検出器24゜25を密着固定するこ
ともできる。
In the five embodiments described above, the first and second photodetectors 24.25 are loaded or integrated on the surface 22a of the optical waveguide 22, but these photodetectors 24.2
5 can also be attached to the optical waveguide 22 in other forms. That is, for example, as shown in FIG.
You can also place . Also, in this way, the optical waveguide 22
When the photodetectors 24 and 25 are placed close to the surface 22a of the optical waveguide 22, as shown in FIG.
2a is provided with a diffraction grating 80 for emitting the reflected beam 15' (guided light) to the outside of the optical waveguide 22, and a photodetector 24.25 is provided.
It is also possible to increase the light reception efficiency of Furthermore, as shown in FIG. 12, the end surface 22b of the optical waveguide 22 may be polished and the photodetectors 24 and 25 may be closely fixed to the end surface 22b.

またFGC31,32は、先に述べた製造方法に限らず
、公知の7オトリソ法、ホログラフィック転写法等によ
りすべてブレーナ技術で形成可能であり、容易に大量複
製可能である@ (発明の効果) 以上詳細に説明した通り本発明の光磁気記録媒体用ピッ
クアップにおいては、従来のピックアップにおいてビー
ムスプリッタ、レンズ、プリズムおよび検光子等の光学
素子が果たしていた作用が光導波路上に形成した集光性
回折格子によって得られるようになっている。したがっ
て本発明のピックアップは、部品点数が極めて少なく小
形軽量に形成されるので、従来装置に比べて大幅なコス
トダウンが可能となり、またアクセスタイムの短縮も可
能となる。
In addition, FGC31 and 32 can be formed not only by the above-mentioned manufacturing method but also by the well-known 7-otolithography method, holographic transfer method, etc. using the Brenna technology, and can be easily mass-produced. (Effects of the invention) As explained in detail above, in the pickup for magneto-optical recording media of the present invention, the function played by optical elements such as beam splitters, lenses, prisms, and analyzers in conventional pickups is that the condensing diffraction formed on the optical waveguide It can be obtained by using a lattice. Therefore, since the pickup of the present invention has an extremely small number of parts and is made small and lightweight, it is possible to significantly reduce costs and shorten access time compared to conventional devices.

そして本発明のピックアップは、その主要部分がブレー
ナ技術により容易に大量生産されつるので、この点から
も大幅なコストダウンを実現できるものとなる。
Further, since the main parts of the pickup of the present invention can be easily mass-produced using brainer technology, significant cost reductions can also be achieved from this point of view as well.

さらに本発明のピックアップにおいては、上記のような
光学素子の位置調整は勿論不要であり、また光導波路に
光検出器を結合したことにより光学素子と光検出器との
位W1調整も不要であり、この点でもコストダウンが達
成される。
Furthermore, in the pickup of the present invention, there is no need to adjust the position of the optical element as described above, and since the photodetector is coupled to the optical waveguide, there is no need to adjust the position W1 between the optical element and the photodetector. , cost reduction can also be achieved in this respect.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明の第1実施例装置を示す側面図、第2図
は上記第1実施例装置の光導波路の平面形状と電気回路
を示す概略図、 第3図は上記第1実施例装置の光検出器を詳しく示す側
面図、 第4および5図はそれぞれ、本発明の第2実施例装置、
第3実施例装置を示す側面図、第6図は上記第3実施例
1!置の光検出器を詳しく示す側面図、 第7および8図はそれぞれ、本発明の第4および5実施
例装置を示す側面図、 第9図は本発明に係る反射ビーム直線偏光面角度と、集
光性回折格子により光導波路内に取り込まれる先金との
関係を示すグラフ、 第10.11および12図はそれぞれ、本発明装置に用
いられる光検出器の他の例を示す側面図である。 13・・・光磁気ディスク  14・・・ディスクの反
射面15・・・光ビーム     15′・・・反射ビ
ーム16・・・半導体レーザ   17・・・コリメー
タレンズ18・・・対物レンズ    19・・・トラ
ッキングコイル2o0.・フォーカスコイル 22・・
・光導波路22a・・・光導波路の表面 22b・・・
光導波路の端面23、50・・・基  板   24・
・・第1の光検出器25・・・第2の光検出器  31
・・・第1のFGC32・・・第2のFGC 34、35,36,37,38・・・加算アンプ39、
40.41・・・差動アンプ  42・・・読取回路4
3・・・フォーカスコイル駆動副葬回路44・・・トラ
ッキングコイル駆動制御回路51・・・バッファ層  
    60・・・ヘッドPD1〜4・・・フォトダイ
オード 第1図 第3図 へ− 第6図 第7図 第10図 第11図 第12図
FIG. 1 is a side view showing a device according to a first embodiment of the present invention, FIG. 2 is a schematic diagram showing the planar shape of an optical waveguide and an electric circuit of the device according to the first embodiment, and FIG. 3 is a side view showing the device according to the first embodiment. FIGS. 4 and 5 are side views showing details of the photodetector of the device, respectively;
A side view showing the device of the third embodiment, FIG. 6 is the third embodiment 1! 7 and 8 are side views showing the fourth and fifth embodiments of the present invention, respectively. FIG. 9 is a side view showing the reflected beam linear polarization plane angle according to the present invention, A graph showing the relationship between the tip metal taken into the optical waveguide by the condensing diffraction grating, and Figures 10.11 and 12 are side views showing other examples of the photodetector used in the device of the present invention, respectively. . 13... Magneto-optical disk 14... Reflective surface of disk 15... Light beam 15'... Reflected beam 16... Semiconductor laser 17... Collimator lens 18... Objective lens 19... Tracking coil 2o0.・Focus coil 22...
- Optical waveguide 22a...Surface of optical waveguide 22b...
End faces 23, 50 of the optical waveguide...Substrate 24.
...First photodetector 25...Second photodetector 31
...First FGC32...Second FGC 34, 35, 36, 37, 38...Summing amplifier 39,
40.41...Differential amplifier 42...Reading circuit 4
3... Focus coil drive burial circuit 44... Tracking coil drive control circuit 51... Buffer layer
60...Head PD1-4...Photodiode Figure 1 Figure 3 - Figure 6 Figure 7 Figure 10 Figure 11 Figure 12

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)光磁気記録媒体の表面に直線偏光した光ビームを
照射する光源と、 前記光ビームを前記光磁気記録媒体の反射面上で集束さ
せる対物レンズと、 前記光磁気記録媒体で反射した反射ビームを一表面で受
ける向きに配置された光導波路と、この光導波路の表面
の反射ビーム照射位置において、該ビームの略中心を通
りかつこの表面上をトラッキング方向に略直角に延びる
軸をはさんで並設され、それぞれがTEあるいはTM導
波モードを励振して前記反射ビームを該光導波路内に入
射させるとともに、この光導波路内を導波する反射ビー
ムを前記軸をはさんで互いに離れた位置に各々集束させ
る第1および第2の集光性回折格子と、 前記光導波路の表面あるいは端面に取り付けられ、前記
第1および第2の集光性回折格子により集束された各反
射ビームを検出する第1および第2の光検出器と、 これら第1および第2の光検出器の出力に基づいてトラ
ッキングエラーとフォーカスエラー検出を行なうエラー
検出回路と、 前記第1および/または第2の光検出器の出力に基づい
て、前記記録媒体に記録された情報を検出する光磁気信
号検出回路とからなる光磁気記録媒体用ピックアップ。
(1) A light source that irradiates a linearly polarized light beam onto the surface of a magneto-optical recording medium, an objective lens that focuses the light beam on a reflective surface of the magneto-optical recording medium, and a reflection reflected by the magneto-optical recording medium. An optical waveguide arranged to receive the beam on one surface, and an axis passing through the approximate center of the beam and extending approximately perpendicular to the tracking direction on this surface at the reflected beam irradiation position on the surface of this optical waveguide. are arranged in parallel, each excites the TE or TM waveguide mode to make the reflected beam enter the optical waveguide, and the reflected beam guided in the optical waveguide is spaced apart from each other across the axis. first and second condensing diffraction gratings that are respectively focused on positions; and each reflected beam that is attached to the surface or end face of the optical waveguide and that is focused by the first and second condensing diffraction gratings is detected. an error detection circuit that detects a tracking error and a focus error based on the outputs of the first and second photodetectors; A pickup for a magneto-optical recording medium, comprising a magneto-optical signal detection circuit that detects information recorded on the recording medium based on the output of a detector.
(2)前記第1、第2の集光性回折格子が共通の導波モ
ードを励振するように形成され、前記光磁気信号検出回
路が、前記第1、第2の光検出器の出力の和に基づいて
前記情報を検出するように構成されていることを特徴と
する特許請求の範囲第1項記載の光磁気記録媒体用ピッ
クアップ。
(2) The first and second light-collecting diffraction gratings are formed to excite a common waveguide mode, and the magneto-optical signal detection circuit is configured to detect outputs of the first and second photodetectors. 2. The pickup for a magneto-optical recording medium according to claim 1, wherein the pickup is configured to detect the information based on a sum.
(3)前記軸と反射ビームの中心軸とを含む面と、反射
ビームの偏光方向が略0°〜45°傾くように、前記光
導波路が配置されていることを特徴とする特許請求の範
囲第1項または第2項記載の光磁気記録媒体用ピックア
ップ。
(3) The optical waveguide is arranged such that the polarization direction of the reflected beam is inclined by approximately 0° to 45° with respect to a plane including the axis and the central axis of the reflected beam. The pickup for a magneto-optical recording medium according to item 1 or 2.
(4)前記第1、第2の光検出器がそれぞれ、トラッキ
ングエラー検出、フォーカスエラー検出をそれぞれプッ
シュプル法、フーコー法で行なえるように、前記軸と略
平行に延びるギャップで分割された2分割光検出器から
なることを特徴とする特許請求の範囲第1項から第3項
いずれか1項記載の光磁気記録媒体用ピックアップ。
(4) The first and second photodetectors are divided by a gap extending substantially parallel to the axis so that tracking error detection and focus error detection can be performed using the push-pull method and the Foucault method, respectively. A pickup for a magneto-optical recording medium according to any one of claims 1 to 3, characterized in that it comprises a split photodetector.
(5)前記光導波路の基板が透明部材からなり、この光
導波路が前記光源と対物レンズとの間に配置されている
ことを特徴とする特許請求の範囲第1項から第4項いず
れか1項記載の光磁気記録媒体用ピックアップ。
(5) The substrate of the optical waveguide is made of a transparent member, and the optical waveguide is disposed between the light source and the objective lens. A pickup for magneto-optical recording media as described in Section 1.
(6)前記光導波路とその基板との間にバッファ層が設
けられ、該光導波路が、前記光源から発せられた光ビー
ムを前記バッファ層と基板の界面において反射させて、
前記光磁気記録媒体に向けて進行させるように配置され
ていることを特徴とする特許請求の範囲第1項から第4
項いずれか1項記載の光磁気記録媒体用ピックアップ。
(6) A buffer layer is provided between the optical waveguide and its substrate, and the optical waveguide reflects the light beam emitted from the light source at an interface between the buffer layer and the substrate,
Claims 1 to 4 are arranged to advance toward the magneto-optical recording medium.
A pickup for a magneto-optical recording medium according to any one of the items.
(7)前記光導波路と対物レンズとが互いに独立して配
設され、該対物レンズのみがトラッキング制御およびフ
ォーカス制御のために移動されるようになっていること
を特徴とする特許請求の範囲第1項から第6項いずれか
1項記載の光磁気記録媒体用ピックアップ。(8)前記
光導波路が前記対物レンズと一体化され、トラッキング
制御およびフォーカス制御のために該対物レンズととも
に移動されるようになっていることを特徴とする特許請
求の範囲第1項から第6項いずれか1項記載の光磁気記
録媒体用ピックアップ。
(7) The optical waveguide and the objective lens are arranged independently of each other, and only the objective lens is moved for tracking control and focus control. A pickup for a magneto-optical recording medium according to any one of Items 1 to 6. (8) Claims 1 to 6, characterized in that the optical waveguide is integrated with the objective lens and is moved together with the objective lens for tracking control and focus control. A pickup for a magneto-optical recording medium according to any one of the items.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US5428584A (en) * 1992-07-29 1995-06-27 Sharp Kabushiki Kaisha Pickup device for a magneto-optical information recording system

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